特許 7278983出願番号特願 2020-27747
マルチビーム走査透過荷電粒子顕微鏡

出願人エフ　イー　アイ　カンパニ（識別番号 501233536）

2026年特許公開件数ランキング 620位 32件（※）

2026年特許取得件数ランキング 956位 15件（※）

公報発行日　2023年5月22

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7278983　ログイン済みの方はこのURLへ

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※ 共同出願を含む

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本明細書で開示される技術は、概して、電子顕微鏡の分野に関し、より具体的には、いくつかの実施形態では、マルチビーム走査透過電子顕微鏡

【図1】開示された技術が実装され得るＳＴＣＰＭの実施形態の非常に概略的な描写である。

【図2】本発明の実施形態の動作原理を示す。

同様の参照番号は、図面のいくつかの図を通して対応する部分を指す。

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