特許 7288959 裏側コーティングを有する極紫外線マスク

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2023-05-31

(45)【発行日】2023-06-08

(54)【発明の名称】裏側コーティングを有する極紫外線マスク

(51)【国際特許分類】

   G03F 1/24 20120101AFI20230601BHJP

【ＦＩ】

G03F1/24

【請求項の数】 15

(21)【出願番号】P 2021522333

(86)(22)【出願日】2019-10-25

(65)【公表番号】

(43)【公表日】2022-01-14

(86)【国際出願番号】 US2019058012

(87)【国際公開番号】W WO2020086932

(87)【国際公開日】2020-04-30

【審査請求日】2021-06-18

(31)【優先権主張番号】62/751,239

(32)【優先日】2018-10-26

(33)【優先権主張国・地域又は機関】US

(31)【優先権主張番号】16/662,742

(32)【優先日】2019-10-24

(33)【優先権主張国・地域又は機関】US

(73)【特許権者】

【識別番号】390040660

【氏名又は名称】アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド

【氏名又は名称原語表記】ＡＰＰＬＩＥＤ ＭＡＴＥＲＩＡＬＳ，ＩＮＣＯＲＰＯＲＡＴＥＤ

【住所又は居所原語表記】３０５０ Ｂｏｗｅｒｓ Ａｖｅｎｕｅ Ｓａｎｔａ Ｃｌａｒａ ＣＡ ９５０５４ Ｕ．Ｓ．Ａ．

(74)【代理人】

【識別番号】110002077

【氏名又は名称】園田・小林弁理士法人

(72)【発明者】

【氏名】ジンダル， ビブー

(72)【発明者】

【氏名】チャンドラチュッド， マダヴィ アール．

(72)【発明者】

【氏名】バンシア， ヴィカシュ

【審査官】今井 彰

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１５－２２２７８３（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許出願公開第２００４／００６７４２０（ＵＳ，Ａ１）

【文献】特開２０１５－０１８９１８（ＪＰ，Ａ）

【文献】韓国公開特許第１０－２０１５－００５６４３５（ＫＲ，Ａ）

【文献】特開２０１７－２２３９０５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１７－０６２５２１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００７－３３５６２５（ＪＰ，Ａ）

【文献】国際公開第２００７／０１３３１３（ＷＯ，Ａ１）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｇ０３Ｆ １／２４、７／２０－７／２４、９／００－９／０２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

第１の面と第２の面とを有する基板、
前記基板の前記第１の面上の、タンタルとニッケルとの合金を含み、０．１nmから５０nmの範囲内の厚さを有する裏側コーティング層、
前記基板の前記第２の面上の、反射層の多層積層体であって、６．９nmの厚さの反射層対を含む複数の反射層を含み、前記反射層対の数は２０から６０の範囲内である、反射層の多層積層体、
前記反射層の多層積層体上のキャッピング層、及び
前記キャッピング層上の吸収体層を含む、極紫外線（EUV）マスクブランク。

【請求項2】

前記タンタルとニッケルとの合金が、７０から８５重量％のタンタルと１５から３０重量％のニッケルとを含む、請求項１に記載の極紫外線（EUV）マスクブランク。

【請求項3】

前記タンタルとニッケルとの合金が、４５から５５重量％のタンタルと４５から５５重量％のニッケルとを含む、請求項１に記載の極紫外線（EUV）マスクブランク。

【請求項4】

前記タンタルとニッケルとの合金が、３０から４５重量％のタンタルと５５から７０重量％のニッケルとを含む、請求項１に記載の極紫外線（EUV）マスクブランク。

【請求項5】

前記裏側コーティング層が、ホウ素、窒素、又は酸素のうちの１以上から選択された、０．１重量％から１０重量％のドーパントを更に含む、請求項１に記載の極紫外線（EUV）マスクブランク。

【請求項6】

前記裏側コーティング層が、０．１nmから４０nmの範囲内、又は０．１nmから２５nmの範囲内の厚さを有する、請求項１に記載の極紫外線（EUV）マスクブランク。

【請求項7】

極紫外線（EUV）マスクブランクを製造する方法であって、
第１の面と第２の面とを有する基板を提供すること、
前記基板の前記第１の面上に、タンタルとニッケルとの合金を含み、０．１nmから５０nmの範囲内の厚さを有する裏側コーティング層を形成すること、
前記基板の前記第２の面上に、反射層の多層積層体であって、複数の６．９nmの厚さの反射層対を含み、前記反射層対の数は２０から６０の範囲内である、反射層の多層積層体を形成すること、
前記反射層の多層積層体上にキャッピング層を形成すること、及び
前記キャッピング層上に吸収体層を形成することを含む、方法。

【請求項8】

前記タンタルとニッケルとの合金が、７０から８５重量％のタンタルと１５から３０重量％のニッケルとを含む、請求項７に記載の方法。

【請求項9】

前記タンタルとニッケルとの合金が、４５から５５重量％のタンタルと４５から５５重量％のニッケルとを含む、請求項７に記載の方法。

【請求項10】

前記タンタルとニッケルとの合金が、３０から４５重量％のタンタルと５５から７０重量％のニッケルとを含む、請求項７に記載の方法。

【請求項11】

前記タンタルとニッケルとの合金が、アルゴン（Ar）、酸素（O₂）、又は窒素（N₂）のうちの１以上から選択されたガスによって同時スパッタリングされて、前記裏側コーティング層を形成する、請求項７に記載の方法。

【請求項12】

前記タンタルとニッケルとの合金が、前記タンタルとニッケルとの合金と同じ組成を有するバルクターゲットを使用して堆積され、アルゴン（Ar）、酸素（O₂）、又は窒素（N₂）のうちの１以上から選択されたガスを使用してスパッタリングされて、前記裏側コーティング層を形成する、請求項７に記載の方法。

【請求項13】

前記裏側コーティング層が、０．１nmから４０nmの範囲内、又は０．１nmから２５nmの範囲内の厚さを有する、請求項７に記載の方法。

【請求項14】

極紫外線光源、並びに
第１の面と第２の面とを有する基板を含むレチクルであって、当該レクチルは集積回路の処理層を表すパターンを有し、かつ当該レクチルは、前記基板の前記第１の面上のタンタルとニッケルとの合金を含み、０．１nmから５０nmの範囲内の厚さを有する裏側コーティング層と、前記基板の前記第２の面上の反射層の多層積層体であって、複数の６．９nmの厚さの反射層対を含み、前記反射層対の数は２０から６０の範囲内である、反射層の多層積層体と、前記多層積層体の上の吸収体層であって、８０nm未満の厚さ、及び１３．５nmの波長における２％未満の極紫外線（EUV）光の反射率を有する吸収体層とを含む、レチクルを備える、極紫外線（EUV）リソグラフィシステム。

【請求項15】

前記多層積層体と前記吸収体層との間に、前記多層積層体を保護するためのキャッピング層を更に含む、請求項１４に記載の極紫外線（EUV）リソグラフィシステム。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

[0001] 本開示は、広くは、極紫外線リソグラフィに関し、特に、タンタルとニッケルとの合金を含む裏側コーティング層を有する極紫外線マスクブランク、及びその製造方法に関する。

【背景技術】

【0002】

[0002] ０．０１３５ミクロン以下の最小特徴サイズの半導体デバイスの製造には、軟Ｘ線投影リソグラフィとしても知られる極紫外線（EUV）リソグラフィが使用される。しかし、概して、５から１００ナノメートルの波長範囲内の極紫外線光は、ほとんど全ての材料によって強く吸収される。この理由により、極紫外線システムは、光の透過よりも反射によって機能する。一連の鏡又はレンズ素子、及び非反射性吸収体マスクパターンでコーティングされた反射素子又はマスクブランクの使用を介して、パターン化された化学光が、レジストでコーティングされた半導体基板上に反射される。

【0003】

[0003] 極紫外線リソグラフィシステムのレンズ素子及びマスクブランクは、モリブデンやシリコンなどの材料の反射性多層コーティングでコーティングされる。１３．５ナノメートルの極紫外線光では、例えば１２．５から１４．５ナノメートルの帯域などの非常に狭い紫外線の帯域内の光を強く反射する多層コーティングでコーティングされた基板を使用することによって、レンズ素子又はマスクブランク当たり近似的に６５％の反射値が得られている。

【0004】

[0004] 図１は、従来のEUV反射マスク１０を示しており、これはEUVマスクブランクから形成されており、そのブランクは、基板１４上に反射性多層積層体１２を含み、その積層体は、ブラッグ干渉（Bragg interference）によってマスクされていない部分でEUV放射を反射する。従来のEUV反射マスク１０のマスクされた（反射しない）エリア１６は、緩衝層１８及び吸収層２０をエッチングすることによって形成される。吸収層は、典型的には、５１nmから７７nmの範囲内の厚さを有する。キャッピング層２２が、反射性多層積層体１２の上に形成され、エッチング処理中に、反射性多層積層体１２を保護する。EUVマスクブランクは、多層、キャッピング層、及び吸収層でコーティングされた低熱膨張材料基板から作製され、次いで、エッチングされて、マスクされた（反射しない）エリア１６及び反射エリア２４を提供する。

【0005】

[0005] 典型的には窒化クロム（CrN）のコーティングである裏側コーティング層２６が、図１で示されているような基板１４の反対側に設けられる。裏側層は、抵抗、適正な摩擦係数、適正な硬度、適正な粗さ、適正な光学濃度、不均一性、及び欠陥の欠如を提供しなければならない。現在の解決策、すなわちCrNの裏側コーティング層は、チャッキング中に所望よりも高い欠陥率をもたらす。CrNはまた、CrNの導電率が比較的低いために、所望より高い厚さを必要とする。低減された厚さを提供するためにチタンホウ素合金が提案されているが、そのような裏側コーティング層は、エッチング処理中に低耐久性を示すことが分かっている。EUVリソグラフィが進化するにつれて、改善された特性を有する裏側層を有するEUVマスクブランクを提供する必要性が生じてきた。

【発明の概要】

【0006】

[0006] 本開示の１以上の実施形態は、第１の面と第２の面とを有する基板と、基板の第１の面上のタンタルとニッケルとの合金を含む裏側コーティング層と、基板の第２の面上の反射層の多層積層体であって、反射層対を含む複数の反射層を含む反射層の多層積層体と、反射層の多層積層体上のキャッピング層と、キャッピング層上の吸収体層とを含む、極紫外（EUV）マスクブランクを対象とする。

【0007】

[0007] 本開示の更なる実施形態は、第１の面及び第２の面を有する基板を提供することと、基板の第１の面上にタンタル及びニッケルの合金を含む裏側コーティング層を形成することと、基板の第２の面上に反射層の多層積層体であって、複数の反射層対を含む反射層の多層積層体を形成することと、反射層の多層積層体上にキャッピングマスクを形成することと、キャッピング層上に吸収体層を形成することとを含む、極紫外（EUV）マスクブランクを製造する方法を対象とする。

【0008】

[0008] 本開示の更なる実施形態は、極紫外線光源、並びに、レチクルであって、第１の面と第２の面とを有する基板と、基板の第１の面上のタンタルとニッケルとの合金を含む裏側コーティング層と、基板の第２の面上の多層積層体と、多層積層体の上の吸収体層であって、８０nm未満の厚さ、及び１３．５nmの波長における２％未満の極紫外線（EUV）光の反射率を有する吸収体層とを含む、レチクルを備える、極紫外線（EUV）リソグラフィシステムを対象とする。

【0009】

[0009] 上述した本開示の特徴を詳細に理解できるように、一部が添付の図面に例示されている実施形態を参照しながら、上記に短く要約した本開示をより具体的に説明する。しかし、添付の図面は、本開示の典型的な実施形態のみを示し、したがって、本開示は、他の等しく有効な実施形態を認めることができるので、本開示の範囲を限定すると見なされるべきではないことに留意されたい。

【図面の簡単な説明】

【0010】

【図1】[0010] 従来の裏側材料（CrN）を採用する背景技術のEUV反射マスクを概略的に示す。

【図2】[0011] EUVリソグラフィシステムの一実施形態を概略的に示す。

【図3】[0012] EUV反射素子製造システムの一実施形態を示す。

【図4】[0013] EUVマスクブランクなどのEUV反射素子の一実施形態を示す。

【図5】[0014] EUVマスクブランクなどのEUV反射素子の一実施形態を示す。

【図6】[0015] マルチカソード物理堆積チャンバの一実施形態を示す。

【発明を実施するための形態】

【0011】

[0016] 本開示の幾つかの例示的な実施形態を説明する前に、本開示が以下の説明で提示される構成又は処理ステップの詳細に限定されないことを理解されたい。本開示は、他の実施形態も可能であり、様々な方法で実施又は実行することができる。

【0012】

[0017] 本明細書で使用する「水平」という用語は、その配向性と関係なく、マスクブランクの面又は表面に平行する面として定義される。「垂直」という用語は、ここで定義された水平に対して垂直の方向を指すものである。「上方（above）」、「下方（below）」、「下（bottom）」、「上（top）」、「側（side）」（「側壁（sidewall）」のような）、「より高い（higher）」、「より低い（lower）」、「より上の（upper）」、「の上（over）」、「の下（under）」などの用語は、図で示されているように、水平な面に対して定義される。

【0013】

[0018] 「上（on）」という語は、要素間で直接の接触があることを示す。「すぐ上、真上（directly on）」という語は、介在する要素がない要素間での直接の接触を示す。

【0014】

[0019] １以上の実施形態に従って本明細書で使用される際に、「前駆体」、「反応物」、「反応性ガス」などの用語は、基板面と反応する任意のガス種を指すために互換的に使用される。

【0015】

[0020] 当業者であれば、処理領域について説明するための「第１（first）」や「第２（second）」などの序数の使用が、処理チャンバ内における具体的な場所、又は、処理チャンバ内での曝露の順序を示唆するものではないことが理解されよう。

【0016】

［0021］本明細書及び添付の特許請求の範囲において使用される「基板」という用語は、処理が作用する表面又は表面の一部分を表している。また、基板に対して言及がなされるとき、文脈において特に明示されない限り、基板の一部のみを指すことができることを当業者は理解するであろう。更に、基板上への堆積に対して言及がなされるとき、それは、ベア基板と、１以上の膜又は特徴が上に堆積又は形成された基板と、の両方を意味する。

【0017】

[0022] 次に図２を参照すると、極紫外線リソグラフィシステム１００の例示的な一実施形態が示されている。極紫外線リソグラフィシステム１００は、極紫外線光１１２を生成するための極紫外線光源１０２、一組の反射素子、及びターゲットウエハ１１０を含む。反射素子は、コンデンサ１０４、EUV反射マスク１０６、光学縮小アセンブリ１０８、マスクブランク、鏡、又はこれらの組み合わせを含む。

【0018】

[0023] 極紫外線光源１０２は、極紫外線光１１２を生成する。極紫外線光１１２は、５から５０nmの範囲内の波長を有する電磁放射である。例えば、極紫外線光源１０２は、レーザー、レーザー生成プラズマ、放電生成プラズマ、自由電子レーザー、シンクロトロン放射線、又はこれらの組み合わせを含む。

【0019】

[0024] 極紫外線光源１０２は、様々な特性を有する極紫外線光１１２を生成する。極紫外線光源１０２は、ある範囲の波長にわたる広帯域の極紫外線放射を生成する。例えば、極紫外線光源１０２は、５から５０nmの範囲の波長を有する極紫外線光１１２を生成する。

【0020】

[0025] １以上の実施形態では、極紫外線光源１０２が、狭帯域幅を有する極紫外線光１１２を生成する。例えば、極紫外線光源１０２は、１３．５nmの極紫外線光１１２を生成する。波長ピークの中心は、１３．５nmである。

【0021】

[0026] コンデンサ１０４は、極紫外線光１１２を反射し、集中させるための光学ユニットである。コンデンサ１０４は、極紫外線光源１０２からの極紫外線光１１２を反射し、集中させて、EUV反射マスク１０６を照射する。

【0022】

[0027] コンデンサ１０４は、単一の要素として示されているが、幾つかの実施形態におけるコンデンサ１０４は、極紫外線光１１２を反射し、集中させるために、凹面鏡、凸面鏡、平面鏡、又はそれらの組み合わせなどの１以上の反射素子を含むことが理解される。例えば、幾つかの実施形態では、コンデンサ１０４が、単一の凹面鏡、又は凸状、凹状、及び平坦な光学素子を有する光学アセンブリである。

【0023】

[0028] EUV反射マスク１０６は、マスクパターン１１４を有する極紫線反射素子である。EUV反射マスク１０６は、リソグラフィパターンを生成して、ターゲットウエハ１１０上に形成される回路レイアウトを形成する。EUV反射マスク１０６は、極紫外線光１１２を反射する。マスクパターン１１４は、回路レイアウトの一部分を画定する。

【0024】

[0029] 光学縮小アセンブリ１０８は、マスクパターン１１４の像を縮小するための光学ユニットである。EUV反射マスク１０６からの極紫外線光１１２の反射は、光学縮小アセンブリ１０８によって縮小され、ターゲットウエハ１１０上に反射される。幾つかの実施形態における光学縮小アセンブリ１０８は、マスクパターン１１４の像のサイズを縮小するために、鏡及び他の光学素子を含む。例えば、光学縮小アセンブリ１０８は、極紫外線光１１２を反射し、集中させるための凹面鏡を含む。

【0025】

[0030] 光学縮小アセンブリ１０８は、ターゲットウエハ１１０上のマスクパターン１１４の像のサイズを縮小する。例えば、幾つかの実施形態におけるマスクパターン１１４は、光学縮小アセンブリ１０８によってターゲットウエハ１１０上で４：１の比率で像を結び、マスクパターン１１４によって表される回路をターゲットウエハ１１０上に形成する。極紫外線光１１２は、ターゲットウエハ１１０と同期するようにEUV反射マスク１０６をスキャンして、ターゲットウエハ１１０上にマスクパターン１１４を形成する。

【0026】

[0031] 次に図３を参照すると、極紫外線反射素子製造システム２００の一実施形態が示されている。極紫外線反射素子は、EUVマスクブランク２０４、極紫外線鏡２０５、又はEUV反射マスク１０６などの他の反射素子を含む。

【0027】

[0032] 極紫外線反射素子製造システム２００は、図２の極紫外線光１１２を反射するマスクブランク、鏡、又は他の素子を製造する。極紫外線反射素子製造システム２００は、ソース基板２０３に薄いコーティングを付加することによって反射素子を製造する。

【0028】

[0033] 図３を参照すると、EUVマスクブランク２０４は、図２のEUV反射マスク１０６を形成するための多層構造である。幾つかの実施形態では、EUVマスクブランク２０４が、半導体製造技法を使用して形成される。EUV反射マスク１０６は、エッチングおよび他のプロセスによってEUVマスクブランク２０４上に形成された図２のマスクパターン１１４を有する。

【0029】

[0034] 極紫外線鏡２０５は、ある範囲の極紫外線光を反射する多層構造である。幾つかの実施形態における極紫外線鏡２０５は、半導体製造技法を使用して形成される。幾つかの実施形態におけるEUVマスクブランク２０４及び極紫外線鏡２０５は、各素子上に形成された層であることに関して類似するが、極紫外線鏡２０５はマスクパターン１１４を有さない。

【0030】

[0035] 反射素子は、極紫外線光１１２の効率的なリフレクタである。一実施形態では、EUVマスクブランク２０４及び極紫外線鏡２０５が、６０％を超える極紫外線反射率を有する。反射素子は、概して、極紫外線光１１２の６０％より上を反射する場合、効率的であると考えられる。

【0031】

[0036] 極紫外線反射素子製造システム２００は、ソース基板２０３がその中に装填され、反射素子がそこから取り出される、ウエハ装填・キャリア操作システム２０２を含む。雰囲気操作システム２０６により、ウエハ操作減圧チャンバ２０８へのアクセスが提供される。幾つかの実施形態におけるウエハ装填・キャリア操作システム２０２は、基板搬送ボックス、ロードロック、及び他の構成要素を含み、基板を雰囲気からシステムの内側の減圧に移送する。EUVマスクブランク２０４を使用して、非常に小さいスケールでデバイスを形成するので、ソース基板２０３及びEUVマスクブランク２０４は、汚染及び他の欠陥を防止するために減圧システム内で処理される。

【0032】

[0037] 幾つかの実施形態におけるウエハ操作減圧チャンバ２０８は、２つの減圧チャンバ、すなわち第１の減圧チャンバ２１０と第２の減圧チャンバ２１２とを含む。第１の減圧チャンバ２１０は、第１のウエハ操作システム２１４を含み、第２の減圧チャンバ２１２は、第２のウエハ操作システム２１６を含む。ウエハ操作減圧チャンバ２０８は、２つの減圧チャンバを伴って説明されるが、１以上の実施形態のシステムは、任意の数の減圧チャンバを有することが理解される。

【0033】

[0038] 幾つかの実施形態におけるウエハ操作減圧チャンバ２０８は、様々な他のシステムの取り付け用に、その周縁の周りに複数のポートを有する。第１の減圧チャンバ２１０は、ガス抜きシステム２１８、第１の物理的気相堆積システム２２０、第２の物理的気相堆積システム２２２、及び予洗浄システム２２４を有する。ガス抜きシステム２１８は、基板から水分を熱的に脱着させるためのものである。予洗浄システム２２４は、ウエハ、マスクブランク、鏡、又は他の光学部品の表面を洗浄するためのものである。

【0034】

[0039] 幾つかの実施形態における第１の物理的気相堆積システム２２０や第２の物理的気相堆積システム２２２などのような物理的気相堆積システムを使用して、ソース基板２０３上に導電性材料の薄膜を形成する。例えば、幾つかの実施例における物理的気相堆積システムは、マグネトロンスパッタリングシステム、イオンスパッタリングシステム、パルスレーザー堆積、カソードアーク堆積、又はこれらの組み合わせなどのような減圧堆積システムを含む。マグネトロンスパッタリングシステムなどの物理的気相堆積システムは、ソース基板２０３上に、シリコン、金属、合金、化合物、又はこれらの組み合わせの層を含む薄い層を形成する。

【0035】

[0040] 物理的気相堆積システムは、反射層、キャッピング層、及び吸収体層を形成する。例えば、幾つかの実施形態の物理的気相堆積システムは、シリコン、モリブデン、酸化チタン、二酸化チタン、酸化ルテニウム、酸化ニオビウム、ルテニウムタングステン、ルテニウムモリブデン、ルテニウムニオビウム、クロム、タンタル、窒化物、化合物、又はそれらの組み合わせの層を形成する。幾つかの化合物は酸化物として説明されるが、幾つかの実施形態の化合物は、酸化物、二酸化物、酸素原子を有する原子混合物、又はそれらの組み合わせを含むことが理解される。

【0036】

[0041] 第２の減圧チャンバ２１２は、それに接続された、第１のマルチカソード源２２６、化学気相堆積システム２２８、硬化チャンバ２３０、及び超平滑堆積チャンバ２３２を有する。例えば、幾つかの実施形態の化学気相堆積システム２２８は、流動性化学気相堆積システム（FCVD）、プラズマアシスト化学気相堆積システム（CVD）、エアロゾルアシストCVD、熱フィラメントCVDシステム、又は同様のシステムを含む。別の一実施例では、幾つかの実施形態における化学気相堆積システム２２８、硬化チャンバ２３０、及び超平滑堆積チャンバ２３２が、極紫外線反射素子製造システム２００とは別個のシステム内にある。

【0037】

[0042] 幾つかの実施形態の化学気相堆積システム２２８は、ソース基板２０３上に材料の薄膜を形成する。例えば、幾つかの実施形態における化学気相堆積システム２２８を使用して、ソース基板２０３上に、モノ結晶層、多結晶層、アモルファス層、エピタキシャル層、又はそれらの組み合わせを含む、材料の層を形成する。幾つかの実施形態の化学気相堆積システム２２８は、シリコン、酸化ケイ素、酸炭化ケイ素（silicon oxycarbide）、炭素、タングステン、炭化ケイ素、窒化ケイ素、窒化チタン、金属、合金、及び化学気相堆積に適切な他の材料の層を形成する。例えば、幾つかの実施形態の化学気相堆積システムは、平坦化層を形成する。

【0038】

[0043] 第１のウエハ操作システム２１４は、連続的な減圧下で、雰囲気操作システム２０６と、第１の減圧チャンバ２１０の周縁の周りにある様々なシステムと、の間でソース基板２０３を移動させることができる。第２のウエハ操作システム２１６は、連続的な減圧内にソース基板２０３を維持しながら、第２の減圧チャンバ２１２の周りでソース基板２０３を移動させることができる。幾つかの実施形態の極紫外線反射素子製造システム２００は、ソース基板２０３及びEUVマスクブランク２０４を、連続的な減圧内で、第１のウエハ操作システム２１４と第２のウエハ操作システム２１６との間で移送する。

【0039】

[0044] 次に図４を参照すると、極紫外線反射素子３０２の一実施形態が示されている。１以上の実施形態では、極紫外線反射素子３０２が、図３のEUVマスクブランク２０４又は図３の極紫外線鏡２０５である。極紫外線マスクブランク２０４及び極紫外線鏡２０５は、図２の極紫外線光１１２を反射するための構造である。幾つかの実施形態におけるEUVマスクブランク２０４を使用して、図２で示されているEUV反射マスク１０６を形成する。

【0040】

[0045] 極紫外線反射素子３０２は、基板３０４、反射層の多層積層体３０６、及びキャッピング層３０８を含む。１以上の実施形態では、極紫外線鏡２０５を使用して、図２のコンデンサ１０４又は図２の光学縮小アセンブリ１０８内で使用される反射構造を形成する。

【0041】

[0046] 極紫外線反射素子３０２は、幾つかの実施形態ではEUVマスクブランク２０４であり、基板３０４、反射層の多層積層体３０６、キャッピング層３０８、及び吸収体層３１０を含む。幾つかの実施態様における極紫外線反射素子３０２は、EUVマスクブランク２０４であり、これを使用して、吸収体層３１０に必要とされる回路のレイアウトをパターニングすることによって図２のEUV反射マスク１０６を形成する。吸収体層は、特定の実施形態では、例えば、酸窒化タンタルとタンタルホウ素酸化物から選択された反射防止コーティングなどの反射防止コーティング（図示せず）でコーティングされる。

【0042】

[0047] 以下のセクションでは、簡略化のために、EUVマスクブランク２０４向けの用語が、極紫外線鏡２０５の用語と相互交換可能に使用される。１以上の実施形態では、EUVマスクブランク２０４が、図２のマスクパターン１１４を形成するために追加された吸収体層３１０を有する極紫外線鏡２０５の構成要素を含む。

【0043】

[0048] EUVマスクブランク２０４は、集積回路の処理層を表すマスクパターン１１４を有するEUV反射マスク１０６を形成するために使用される光学的に平坦な構造である。反射マスク１０６は、一旦完全に処理されると、幾つかの実施形態では、レチクルと呼ばれる。１以上の実施形態では、EUVマスクブランク２０４の反射面が、図２の極紫外線光１１２などの入射光を反射するための平坦な焦点面を形成する。

【0044】

[0049] 図４を参照すると、基板３０４は、極紫外線反射素子３０２に構造的な支持を提供するための要素である。１以上の実施形態では、基板３０４が、温度変化中に安定性を提供するために、低熱膨張係数（CTE）を有する材料から作製される。１以上の実施形態では、基板３０４が、機械サイクル、熱サイクル、結晶形成、又はそれらの組み合わせに対する安定性などの特性を有する。１以上の実施形態による基板３０４は、例えば、シリコン、ガラス、酸化物、セラミック、ガラスセラミック、又はそれらの組み合わせなどのような材料から形成される。

【0045】

[0050] 多層積層体３０６は、極紫外線光１１２を反射する構造である。多層積層体３０６は、第１の反射層３１２と第２の反射層３１４との交互の反射層を含む。第１の反射層３１２及び第２の反射層３１４は、図４の反射対３１６を形成する。非限定的な実施形態では、多層積層体３０６が、２０から６０の範囲の反射対３１６（合計で最大１２０までの反射層）を含む。

【0046】

[0051] 幾つかの実施形態における第１の反射層３１２と第２の反射層３１４とは、様々な材料から形成される。一実施形態では、第１の反射層３１２と第２の反射層３１４とが、それぞれ、シリコンとモリブデンとから形成される。層は、シリコンとモリブデンとして示されているが、幾つかの実施形態における交互層は、他の材料から形成されるか又は他の内部構造を有することが理解される。

【0047】

[0052] 第１の反射層３１２と第２の反射層３１４とは、様々な実施形態に従って様々な構造を有する。一実施形態では、第１の反射層３１２と第２の反射層３１４との両方が、単一層、複数の層、分割層構造、不均一構造、又はそれらの組み合わせで形成される。

【0048】

[0053] 大部分の材料は、極紫外波長の光を吸収するので、使用される光学素子は、他のリソグラフィシステムで使用されるような透過性ではなく反射性である。多層積層体３０６は、異なる光学特性を有する材料の薄い交互層を有することによって反射性構造を形成して、ブラッグリフレクタ（Bragg reflector）又は鏡を生成する。

【0049】

[0054] 一実施形態では、交互層のそれぞれが、極紫外線光１１２に対して異なる光学定数を有する。交互層の厚さの周期が、紫外線光１１２の波長の半分であるときに、交互層は共鳴反射率（resonant reflectivity）を提供する。一実施形態では、１３nmの波長の極紫外線光１１２では、交互層の厚さが約６．５nmである。提供されるサイズ及び寸法は、典型的な素子向けの通常の光学的許容誤差内であることが理解される。

【0050】

[0055] 幾つか実施形態における多層積層体３０６は、様々な方法で形成される。一実施形態では、第１の反射層３１２と第２の反射層３１４とが、マグネトロンスパッタリング、イオンスパッタリングシステム、パルスレーザー堆積、カソードアーク堆積、又はそれらの組み合わせで形成される。

【0051】

[0056] 例示的な一実施形態では、多層積層体３０６が、マグネトロンスパッタリングなどの物理的気相堆積技法を使用して形成される。一実施形態では、多層積層体３０６の第１の反射層３１２と第２反射層３１４とが、正確な厚さ、低い粗さ、及び層間の清浄なインターフェースを含む、マグネトロンスパッタリング技法によって形成される特性を有する。一実施形態では、多層積層体３０６の第１の反射層３１２と第２反射層３１４とが、正確な厚さ、低い粗さ、及び層間の清浄なインターフェースを含む、物理的気相堆積によって形成される特性を有する。

【0052】

[0057] 幾つかの実施態様における物理的気相堆積技法を使用して形成される多層積層体３０６の層の物理的寸法は、反射率を高めるように正確に制御される。一実施形態では、シリコンの層などの第１の反射層３１２が、４．１nmの厚さを有する。モリブデンの層などの第２の反射層３１４は、２．８nmの厚さを有する。層の厚さにより、極紫外線反射素子のピーク反射率波長が決まる。層の厚さが正しくない場合、幾つかの実施形態での所望の波長１３．５nmにおける反射率が低下する。

【0053】

[0058] 一実施形態では、多層積層体３０６は、６０％を超える反射率を有する。一実施形態では、物理的気相堆積を使用して形成される多層積層体３０６が、６６％～６７％の範囲内の反射率を有する。１以上の実施形態では、多層積層体３０６の上に、より硬い材料で形成されたキャッピング層３０８を形成することによって、反射率が改善される。幾つかの実施形態では、低い粗さの層、層間の清浄なインターフェース、改善された層材料、又はそれらの組み合わせを使用して、７０％を超える反射率が実現される。

【0054】

[0059] １以上の実施形態では、キャッピング層３０８が、極紫外線光１１２の透過を可能にする保護層である。一実施形態では、キャッピング層３０８が、多層積層体３０６上に直接的に形成される。１以上の実施形態では、キャッピング層３０８が、多層積層体３０６を汚染及び機械的損傷から保護する。一実施形態では、多層積層体３０６が、酸素、炭素、炭化水素、又はそれらの組み合わせによる汚染の影響を受け易い。一実施形態によるキャッピング層３０８は、汚染物と相互作用してそれらを中和する。

【0055】

[0060] １以上の実施形態では、キャッピング層３０８が、極紫外線光１１２に対して透明な光学的に均一な構造である。極紫外線光１１２は、キャッピング層３０８を通過して、多層積層体３０６から反射する。１以上の実施形態では、キャッピング層３０８が、１％から２％の全反射率損失を有する。１以上の実施形態では、種々の材料のそれぞれが、厚さに応じて種々の反射率損失を有するが、それらの全てが１％から２％の範囲内である。

【0056】

[0061] １以上の実施形態では、キャッピング層３０８が滑らかな表面を有する。例えば、キャッピング層３０８の表面は、０．２nm RMS未満の粗さ（二乗平均平方根測定値）を有する。別の一実施例では、キャッピング層３０８の表面が、１／１００nmと１／1μmとの範囲内の長さに対して０．０８nm RMSの粗さを有する。RMS粗さは、それが測定される範囲に応じて変動するだろう。１００nmから１ミクロンの特定の範囲では、その粗さが０．０８nm以下になる。より大きい範囲にわたり、その粗さはより高くなるだろう。

【0057】

[0062] 幾つかの実施形態におけるキャッピング層３０８は、様々な方法で形成される。一実施形態では、キャッピング層３０８が、マグネトロンスパッタリング、イオンスパッタリングシステム、イオンビーム堆積、電子ビーム蒸着、高周波（RF）スパッタリング、原子層堆積（ALD）、パルスレーザー堆積、カソードアーク堆積、又はそれらの組み合わせを用いて、多層積層体３０６上に又はその真上に直接的に形成される。１以上の実施形態では、キャッピング層３０８が、正確な厚さ、低い粗さ、及び層間の清浄なインターフェースを含む、マグネトロンスパッタリングによって形成される物理的特性を有する。一実施形態では、キャッピング層３０８が、正確な厚さ、低い粗さ、及び層間の清浄なインターフェースを含む、物理的気相堆積によって形成される物理的特性を有する。

【0058】

[0063] １以上の実施形態では、キャッピング層３０８が、洗浄中の浸食に抵抗するのに十分な硬度を有する様々な材料から形成される。一実施形態では、ルテニウムが、キャッピング層の材料として使用される。というのも、それは、優れたエッチング停止であり、動作条件下で比較的不活性だからである。しかし、幾つかの実施形態における他の材料も、キャッピング層３０８を形成するために使用されることが理解される。特定の実施形態では、キャッピング層３０８が、２．５と５．０nmの範囲内の厚さを有する。

【0059】

[0064] １以上の実施形態では、吸収体層３１０が、極紫外線光１１２を吸収する層である。一実施形態では、吸収体層３１０が、極紫外線光１１２を反射しないエリアを設けることによって、EUV反射マスク１０６上にパターンを形成するために使用される。吸収体層３１０は、１以上の実施形態によれば、約１３．５nmなどの極紫外線光１１２の特定の周波数に対して高吸収率を有する材料を含む。一実施態様では、吸収体層３１０が、キャッピング層３０８上に直接的に形成され、吸収体層３１０は、フォトリソグラフィプロセスを使用してエッチングされて、EUV反射マスク１０６のパターンを形成する。

【0060】

[0065] １以上の実施形態によれば、極紫外線鏡２０５などの極紫外線反射素子３０２は、基板３０４、多層積層体３０６、及びキャッピング層３０８で形成される。極紫外線鏡２０５は、光学的に平坦な表面を有し、極紫外線光１１２を効率的に且つ均一に反射し得る。

【0061】

[0066] １以上の実施形態によれば、EUVマスクブランク２０４などの極紫外線反射素子３０２は、裏側コーティング層３１８、基板３０４、多層積層体３０６、キャッピング層３０８、及び吸収体層３１０で形成される。マスクブランク２０４は、光学的に平坦な表面を有し、極紫外線光１１２を効率的に且つ均一に反射し得る。一実施形態では、EUVマスクブランク２０４の吸収体層３１０にマスクパターン１１４が形成される。

【0062】

[0067] １以上の実施形態によれば、吸収体層３１０をキャッピング層３０８の上に形成することにより、EUV反射マスク１０６の信頼性が増加する。キャッピング層３０８は、吸収体層３１０のエッチング停止層として機能する。図２のマスクパターン１１４が、吸収体層３１０の中にエッチングされたときに、吸収体層３１０の下のキャッピング層３０８は、エッチング作用を停止して、多層積層体３０６を保護する。１以上の実施形態では、吸収体層３１０が、キャッピング層３０８に対してエッチング選択性である。幾つかの実施形態では、キャッピング層３０８がルテニウムを含み、吸収体層３１０がルテニウムに対してエッチング選択性である。一実施例として、吸収体層３１０は窒化タンタルを含む。１以上の実施形態では、吸収体層が、物理堆積チャンバ内で同時スパッタリング（co-sputter）される。他の実施形態では、吸収体層が、第１の材料と第２の材料との積層体として、層毎に堆積される。

【0063】

[0068] 基板３０４の下側には、タンタルとニッケルの合金を含む裏側コーティング層３１８が設けられる。一実施形態では、裏側コーティング層３１８がアモルファス膜である。

【0064】

[0069] 裏側コーティング層３１８内に含まれるタンタルとニッケルの合金は、他の材料から構成される裏側コーティング層よりも比較的薄い厚さで、適切な摩擦係数（μ）及び抵抗を維持しながら、耐久性を改善する硬度を提供する。タンタルとニッケルのインスタントな合金（instant alloy）は、裏側コーティング層内に含まれたときに、以前に裏側コーティング層として採用されてきたCrN及び他の材料より優れた点を提供する、硬度、粗さ、及び光学濃度も提供する。同様に、タンタルとニッケルのインスタントな合金は、欠陥を生じにくく、適切な不均一性を有する裏側コーティング層を生み出す。

【0065】

[0070] 一実施形態では、裏側コーティング層２６が、０．１nmから約５０nm、若しくは約０．１から約４０nm、若しくは約０．１から約３０nm、若しくは約０．１から約２５nm、又は約０．１から約２０nmまでの範囲の厚さを有する。上述のように、特定の実施形態では、タンタルとニッケルの合金が、他の材料から成る裏側コーティング層と比較して、これらの他の材料と少なくとも実質的に同様な性能又は優れた性能を維持しながら、裏側コーティング層がより薄い厚さで提供されることを可能にする。

【0066】

[0071] １以上の実施形態では、タンタルとニッケルの合金が、約７０重量％から約８５重量％のタンタル及び約１５重量％から約３０重量％のニッケルを有する合金、約４５重量％から約５５重量％のタンタル及び約４５重量％から約５５重量％のニッケルを有する合金、並びに約３０重量％から約４５重量％のタンタル及び約５５重量％から約７０重量%のニッケルを有する合金から選択され、全ての重量パーセント（重量％）は合金の総重量に基づく。

【0067】

[0072] 他の実施形態では、タンタルとニッケルの合金が、約７０重量％から約７５重量%のタンタル及び約２５重量％から約３０重量％のニッケルを有する合金、約４８重量％から約５５重量％のタンタル及び約４５重量％から約５２重量％のニッケルを有する合金、並びに約３５重量％から約４５重量％のタンタル及び約５５重量％から約６５重量％のニッケルを有する合金から選択され、全ての重量％（重量％）は合金の総重量に基づく。

【0068】

[0073] 特定の一実施形態では、タンタルとニッケルの合金物が、タンタルに富む合金である。本明細書で使用される際に、「タンタルに富む」という用語は、合金内にニッケルよりも有意に多くのタンタルが存在することを意味する。例えば、特定の一実施形態では、タンタルとニッケルの合金が、約７０重量％から約８５重量％のタンタル及び約１５重量％から約３０重量％のニッケルを有する合金である。別の特定の一実施形態では、タンタルとニッケルの合金が、約７０重量％から約７５重量％のタンタル及び約２５重量％から約３０重量％のニッケルを有する合金である。

【0069】

[0074] 別の特定の一実施形態では、タンタルとニッケルの合金が、等比合金である。本明細書で使用される際に、「等比」という用語は、合金内に存在するタンタルとニッケルの量が重量で近似的に同じであることを意味する。例えば、一実施形態では、タンタルとニッケルの合金が、約４５重量％から約５５重量％のタンタル及び約４５重量％から約５５重量％のニッケルを有する合金である。別の一実施形態では、タンタルとニッケルの合金が、約４８重量％から約５５重量％のタンタル及び約４５重量％から約５２重量％のニッケルを有する合金である。

【0070】

[0075] また更に特定の一実施形態では、タンタルとニッケルの合金が、ニッケルに富む合金である。本明細書で使用される際に、「ニッケルに富む」という用語は、合金内にタンタルよりも有意に多くのニッケルが存在することを意味する。例えば、一実施形態では、タンタルとニッケルの合金が、約３０重量％から約４５重量％のタンタル及び約５５重量％から約７０重量％%のニッケルを有する合金である。別の一実施形態では、タンタルとニッケルの合金が、約３５重量％から約４５重量％のタンタル及び約５５重量％から約６５重量％のニッケルを有する合金である。

【0071】

[0076] １以上の実施形態では、タンタルとニッケルの合金がドーパントを含む。ドーパントは、ホウ素、窒素、又は酸素のうちの１以上から選択され得る。一実施形態では、ドーパントが酸素を含む。代替的な一実施形態では、ドーパントが窒素を含む。代替的な一実施形態では、ドーパントがホウ素を含む。一実施形態では、ドーパントが、ホウ素、窒素、及び酸素のうちの１以上の組み合わせ（例えば、ホウ素及び窒素、ホウ素及び酸素、酸素及び窒素、窒素及びホウ素）を含む。

【0072】

[0077] 一実施形態では、ドーパントが、合金の重量に基づいて、約０．１重量％から約１０重量％の量で合金内に存在する。他の実施形態では、ドーパントが、約０．１重量％、０．２重量％、０．３重量％、０．４重量％、０．５重量％、０．６重量％、０．７重量％、０．８重量％、０．９重量％、１．０％重量％、１．１重量％、１．２重量％、１．３重量％、１．４重量％%、１．５重量％、１．６重量％、１．７重量％、１．８重量％、１．９重量％、２．０重量％、２．１重量％、２．２重量％、２．３.重量％、２．４重量％、２．５重量％、２．６重量％、２．７重量％、２．８重量％、２．９重量％、３．０重量％、３．１重量％、３．２重量％、３．３重量％、３．４重量％、３．５重量％、３．６重量％、３．７重量％、３．８重量％、３．９重量％、４．０重量％、４．１重量％、４．２重量％、４．３重量％、４．４重量％、４．５重量％、４．６重量％、４．７重量％、４．８重量％、４．９重量％、５．０重量％、５．１重量％、５．２重量％、５．３重量％、５．４重量％、５．５重量％、５．６重量％、５．７重量％、５．８重量％、５．９重量％、６．０重量％、６．１重量％、６．２重量％、６．３重量％、６．４重量％、６．５重量％、６．６重量％、６．７重量％、６．８重量％、６．９重量％、７．０重量％、７．１重量％、７．２重量％、７．３重量％、７．４重量％、７．５重量％、７．６重量％、７．７重量％、７．８重量％、７．９重量％、８．０重量％、８．１重量％、８．２重量％、８．３重量％、８．４重量％、８．５重量％、８．６重量％、８．７重量％、８．８重量％、８．９重量％、９．０重量％、９．１重量％、９．２重量％、９．３重量％%、９．４重量％、９．５重量％、９．６重量％、９．７重量％、９．８重量％、９．９重量％、又は１０．０重量％の量で合金内に存在する。

【0073】

[0078] １以上の実施形態では、裏側コーティング層の合金が、物理堆積チャンバ内で形成される同時スパッタリングされた合金である。そのチャンバは、かなり薄い裏側コーティング層の厚さ（例えば３０nm未満）を提供する。１以上の実施形態では、裏側コーティング層の合金が、アルゴン（Ar）、酸素（O₂）、又は窒素（N₂）のうちの１以上から選択されたガスによって同時スパッタリングされる。一実施形態では、裏側コーティング層の合金が、アルゴンと酸素のガス（Ar＋O₂）の混合物によって同時スパッタリングされる。幾つかの実施形態では、アルゴンと酸素の混合物による同時スパッタリングが、ニッケルの酸化物及び／又はタンタルの酸化物を形成する。他の実施形態では、アルゴンと酸素の混合物による同時スパッタリングが、ニッケル又はタンタルの酸化物を形成しない。一実施形態では、裏側コーティング層の合金が、アルゴンと窒素のガス（Ar＋N₂）の混合物によって同時スパッタリングされる。幾つかの実施形態では、アルゴンと窒素の混合物による同時スパッタリングが、ニッケルの窒化物及び／又はタンタルの窒化物を形成する。他の実施形態では、アルゴンと窒素の混合物による同時スパッタリングが、ニッケル又はタンタルの窒化物を形成しない。一実施形態では、本裏側コーティング層の合金が、アルゴンと酸素と窒素のガス（Ar＋O₂＋N₂）の混合物によって同時スパッタリングされる。幾つかの実施形態では、アルゴンと酸素と窒素の混合物による同時スパッタリングが、ニッケルの酸化物及び／若しくは窒化物並びに／又はタンタルの酸化物及び／若しくは窒化物を形成する。他の実施形態では、アルゴンと酸素と窒素の混合物による同時スパッタリングが、ニッケル又はタンタルの酸化物若しくは窒化物を形成しない。一実施形態では、裏側コーティング層のエッチング特性及び／又は他の特性が、上述のように、（１以上の）合金百分率を制御することによって仕様に合わせられる。一実施形態では、（１以上の）合金百分率が、物理的気相堆積チャンバの電圧、圧力、流量などのような動作パラメータによって正確に制御される。一実施形態では、プロセスガスを使用して材料特性を更に修正し、例えば、N₂ガスを使用してタンタルとニッケルの窒化物を形成する。

【0074】

[0079] １以上の実施形態では、本明細書で使用される際に、「同時スパッタリング」は、２つのターゲット（１つのターゲットがニッケルを含み、第２のターゲットがタンタルを含む）が、アルゴン（Ar）、酸素（O₂）、又は窒素（N₂）から選択された１以上のガスを使用して同時にスパッタリングされ、タンタルとニッケルの合金を含む裏側コーティング層を堆積させ／形成することを意味する。

【0075】

[0080] 他の実施形態では、タンタルとニッケルの合金が、アルゴン（Ar）、酸素（O₂）、又は窒素（N₂）のうちの１以上から選択されたガスを使用して、タンタルとニッケルの層の積層体として層毎に堆積される。一実施形態では、タンタルとニッケルが、アルゴンと酸素のガス（Ar＋O₂）の混合物を使用して、タンタルとニッケルの層の積層体として層毎に堆積される。幾つかの実施形態では、アルゴンと酸素の混合物を使用した層毎の堆積が、ニッケルの酸化物及び／又はタンタルの酸化物を形成する。他の実施形態では、アルゴンと酸素の混合物を使用した層毎の堆積が、ニッケル又はタンタルの酸化物を形成しない。一実施形態では、裏側コーティング層の合金が、アルゴンと窒素のガス（Ar＋N₂）の混合物を使用して、タンタルとニッケルの層の積層体として層毎に堆積される。幾つかの実施形態では、アルゴンと窒素の混合物を使用した層毎の堆積が、ニッケル及び／又はタンタルの窒化物を形成する。他の実施形態では、アルゴンと窒素との混合物を使用する層毎の堆積が、ニッケル又はタンタルの窒化物を形成しない。一実施形態では、裏側コーティング層の合金が、アルゴンと酸素と窒素のガス（Ar＋O₂＋N₂）の混合物を使用して、タンタルとニッケルの層の積層体として層毎に堆積される。幾つかの実施形態では、アルゴンと酸素と窒素の混合物を使用した層毎の堆積が、ニッケルの酸化物及び／若しくは窒化物並びに／又はタンタルの酸化物及び／若しくは窒化物を形成する。他の実施形態では、アルゴンと酸素と窒素の混合物を使用する層毎の堆積が、ニッケル又はタンタルの酸化物若しくは窒化物を形成しない。

【0076】

[0081] １以上の実施形態では、本明細書で説明される合金組成のバルクターゲットが、アルゴン（Ar）、酸素（O₂）、又は窒素（N₂）のうちの１以上から選択されたガスを使用して、通常のスパッタリングによってスパッタリングされる。１以上の実施形態では、タンタルとニッケルの合金が、その合金の同じ組成を有するバルクターゲットを使用して堆積され、アルゴン(Ar)、酸素(O₂)、又は窒素(N₂)のうちの１以上から選択されたガスを使用してスパッタリングされて、裏側コーティング層を形成する。一実施形態では、裏側コーティング層の合金が、その合金の同じ組成を有するバルクターゲットを使用して堆積され、アルゴンと酸素のガス（Ar＋O₂）の混合物を使用してスパッタリングされる。幾つかの実施形態では、アルゴンと酸素の混合物を使用するバルクターゲットの堆積が、ニッケルの酸化物及び／又はタンタルの酸化物を形成する。他の実施形態では、アルゴンと酸素の混合物を使用するバルクターゲットの堆積が、ニッケル又はタンタルの酸化物を形成しない。一実施形態では、裏側コーティング層の合金が、その合金の同じ組成物を有するバルクターゲットを使用して堆積され、アルゴンと窒素のガス（Ar＋N₂）の混合物を使用してスパッタリングされる。幾つかの実施形態では、アルゴンと窒素の混合物を使用するバルクターゲットの堆積が、ニッケルの窒化物及び／又はタンタルの窒化物を形成する。他の実施形態では、アルゴンと窒素の混合物を使用するバルクターゲットの堆積が、ニッケル又はタンタルの窒化物を形成しない。一実施形態では、裏側コーティング層の合金が、その合金の同じ組成を有するバルクターゲットを使用して堆積され、アルゴンと酸素と窒素のガス（Ar＋O₂＋N₂）の混合物を使用してスパッタリングされる。幾つかの実施形態では、アルゴンと酸素と窒素の混合物を使用するバルクターゲットの堆積が、ニッケルの酸化物及び／若しくは窒化物並びに／又はタンタルの酸化物及び／若しくは窒化物を形成する。他の実施形態では、アルゴンと酸素と窒素の混合物を使用するバルクターゲットの堆積が、ニッケル又はタンタルの酸化物若しくは窒化物を形成しない。

【0077】

[0082] 次に図５を参照すると、極紫外マスクブランク４００は、裏側コーティング層４２４、基板４１４、基板４１４上の反射層４１２の多層積層体であって、複数の反射層対を含む反射層４１２の多層積層体を含む。１以上の実施形態では、複数の反射層対が、モリブデン（Mo）含有材料とシリコン（Si）含有材料とから選択された材料から作製される。幾つかの実施形態では、複数の反射層対が、モリブデンとシリコンとの交互層を含む。極紫外マスクブランク４００は、反射層４１２の多層積層体上にキャッピング層４２２を更に含み、キャッピング層４２２上に吸収体層の多層積層体４２０が存在する。１以上の実施形態では、複数の反射層４１２は、モリブデン（Mo）含有材料とシリコン（Si）含有材料から選択され、キャッピング層４２２はルテニウムを含む。複数の吸収体層対４２０ａ、４２０ｂ、４２０ｃ、４２０ｄ、４２０ｅ、４２０ｆを含む、吸収体層の多層積層体４２０も提供される。裏側コーティング層４２４は、タンタルとニッケルの合金を含み、幾つかの実施形態では、本明細書で開示される合金組成のうちの何れか１つを含む。

【0078】

[0083] １以上の実施形態によれば、種々の吸収体層の材料と吸収体層の厚さとは、極紫外線光が、吸光度によって、及び反射層の多層積層体からの光との破壊的な緩衝によってもたらされる相変化によって吸収されるように選択される。図５で示されている実施形態は、３つの吸収体層対（４２０ａ／４２０ｂ、４２０ｃ／４２０ｄ、及び４２０ｅ／４２０ｆ）を示しているが、本開示は、特定の数の吸収体層対に限定されるべきではない。１以上の実施形態によれば、EUVマスクブランク４００は、５と６０との範囲の吸収体層対、又は１０と４０との範囲の吸収体層対を含む。

【0079】

[0084] １以上の実施形態によれば、（１以上の）吸収体層は、２％未満の反射率及び他のエッチング特性を提供する厚さを有する。幾つかの実施形態における供給ガスは、（１以上の）吸収体層の材料特性を更に修正するために使用され、例えば、窒素（N₂）ガスを使用して、上記で提供された材料の窒化物を形成する。１以上の実施形態による（１以上の）吸収体層の多層積層体は、種々の材料の個々の厚さの繰り返しパターンである。それによって、EUV光は、吸光度によって吸収されるだけではなく、多層吸収体積層体によってもたらされる相変化によっても吸収される。それは、下にある反射材料の多層積層体からの光と破壊的に緩衝して、より良好なコントラスト（better contrast）を提供する。

【0080】

[0085] 本開示の別の一態様は、以下のことを含む極紫外線（EUV）マスクブランクを製造する方法に関する。すなわち、第１の面と第２の面とを有する基板を提供することと、基板の第１の面上に裏側コーティング層を形成することと、基板の第２の面上に反射層の多層積層体であって、複数の反射層対を含む多層積層体を形成することと、反射層の多層積層体上にキャッピング層を形成することと、キャッピング層上に吸収体層を形成することとである。裏側コーティング層は、本明細書で説明される合金のうちの何れか１つなどの、タンタルとニッケルの合金を含む。

【0081】

[0086] １以上の実施形態のEUVマスクブランクは、図４及び図５に関連して上述された実施形態の特性のうちの何れかを有し、幾つかの実施形態における方法は、図３に関連して説明されたシステム内で実行される。

【0082】

[0087] 次に図６を参照すると、特定の一実施形態による、マルチカソード源チャンバ５００の上部が示されている。マルチカソードチャンバ５００は、上部アダプタ５０４によって覆われている円筒形本体部５０２を有する基礎構造５０１を含む。上部アダプタ５０４は、上部アダプタ５０４の周りに配置されたカソード源５０６、５０８、５１０、５１２、及び５１４などの、幾つかのカソード源を提供する。

【0083】

[0088] 幾つかの実施形態におけるマルチカソード源チャンバ５００は、図３で示されているシステムの部分である。一実施形態では、極紫外線（EUV）マスクブランク製造システムが、減圧を生成するための基板操作減圧チャンバと、基板操作減圧チャンバ内に装填される基板を搬送するための減圧内の基板操作プラットフォームと、EUVマスクブランクであって、基板上の反射層の多層積層体であって、複数の反射層対を含む多層積層体、多層積層体の反射層上のキャッピング層、及びキャッピング層上の吸収体層、タンタルとニッケルとの合金を含む裏側コーティング層を含む、EUVマスクブランクを形成するために、基板操作プラットフォームによってアクセスされる複数のサブチャンバとを備える。幾つかの実施形態におけるシステムは、EUVマスクブランクであって、図４又は図５に関連して示され、上記の図４又は図５に関連して説明されたEUVマスクブランクに関連して説明された特性のうちの何れかを有する、EUVマスクブランクを作製するために使用される。

【0084】

[0089] この明細書全体を通じて、「一実施形態（one embodiment）」、「特定の実施形態（certain embodiments）」、「１以上の実施形態（one or more embodiments）」、又は「実施形態（an embodiment）」に対する言及は、実施形態に関連して説明されている特定の特徴、構造、材料、又は特性が、本開示の少なくとも１つの実施形態に含まれることを意味する。故に、この明細書全体の様々な箇所での「１以上の実施形態で」、「特定の実施形態で」、「一実施形態で」、又は「実施形態で」などの表現は、必ずしも、本開示の同一の実施形態に言及するものではない。更に、特定の特徴、構造、材料、又は特質は、１以上の実施形態において、任意の適切なやり方で組み合わされ得る。

【0085】

[0090] 本明細書の開示は特定の実施形態を参照して説明されているが、これらの実施形態は、本開示の原理及び用途の例示にすぎないことを理解されたい。本開示の精神及び範囲から逸脱することなく、本開示の方法及び装置に対して様々な改変及び変形を行い得ることが、当業者には明らかになろう。したがって、本発明は、添付の特許請求の範囲及びその均等物の範囲内にある修正及び変形を含むことが意図されている。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】