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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B1)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2023-06-02
(45)【発行日】2023-06-12
(54)【発明の名称】圧力変動吸着式ガス分離装置
(51)【国際特許分類】
B01D 53/047 20060101AFI20230605BHJP
C01B 23/00 20060101ALI20230605BHJP
【ＦＩ】
B01D53/047
C01B23/00 P
【請求項の数】
8
(21)【出願番号】P 2021214396
(22)【出願日】2021-12-28
【審査請求日】2022-11-28
【早期審査対象出願】
(73)【特許権者】
【識別番号】320011650
【氏名又は名称】大陽日酸株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】110001634
【氏名又は名称】弁理士法人志賀国際特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】山脇 正也
【審査官】壷内 信吾
(56)【参考文献】
【文献】国際公開第２００７／０５５０３５（ＷＯ，Ａ１）
【文献】国際公開第２０１０／１１６６２３（ＷＯ，Ａ１）
【文献】特開２００６－０６１８３１（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００２－１３７９０９（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００３－１９２３１５（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００３－０７１２３１（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００２－１２６４３５（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００４－０００８１９（ＪＰ，Ａ）
【文献】国際公開第２０１５／１４６２１１（ＷＯ，Ａ１）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｂ０１Ｄ ５３／０２－５３／１２
Ｃ０１Ｂ １５／００－２３／００
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
２以上の成分を含有する原料ガスから圧力変動吸着式ガス分離方法を用いて前記成分を分離し、回収する装置であって、１以上の前記成分に対して易吸着性を有し、他の前記成分に対して難吸着性を有する吸着剤を充填する、１以上の吸着筒と、
前記原料ガスを貯留する原料ガス貯留槽と、
前記吸着筒から導出される易吸着性の前記成分を貯留する易吸着成分貯留槽と、
前記原料ガス貯留槽又は易吸着成分貯留槽から導出されるガスを圧縮し、前記吸着筒に供給する圧縮機と、
前記圧縮機と前記吸着筒との間に位置する第１流路と、
第１分岐点において、前記第１流路から分岐し、前記第１分岐点と前記易吸着成分貯留槽との間に位置する第２流路と、
前記第２流路に位置する第１開閉装置と、
第２分岐点において、前記第１流路から分岐し、前記第２分岐点と前記原料ガス貯留槽との間に位置する第３流路と、
前記第３流路に位置する第２開閉装置と、を備え、
前記第１開閉装置の内部から前記第１分岐点までの経路の容積が、前記圧縮機が１分間に吸引するガス容積の０．１体積％以下である場所に、前記第１開閉装置が位置し、
前記第２開閉装置の内部から前記第２分岐点までの経路の容積が、前記圧縮機が１分間に吸引するガス容積の０．１体積％以下である場所に、前記第２開閉装置が位置する、圧力変動吸着式ガス分離装置。
【請求項2】
前記第１分岐点と前記吸着筒との間の前記第１流路の容積が、前記圧縮機が１分間に吸引するガス容積の１体積％以下である場所に、前記第１分岐点が位置する、請求項１に記載の圧力変動吸着式ガス分離装置。
【請求項3】
前記第２分岐点と前記吸着筒との間の前記第１流路の容積が、前記圧縮機が１分間に吸引するガス容積の１体積％以下である場所に、前記第２分岐点が位置する、請求項２に記載の圧力変動吸着式ガス分離装置。
【請求項4】
２以上の成分を含有する原料ガスから圧力変動吸着式ガス分離方法を用いて前記成分を分離し、回収する装置であって、１以上の前記成分に対して易吸着性を有し、他の前記成分に対して難吸着性を有する吸着剤を充填する、１以上の吸着筒と、
前記原料ガスを貯留する原料ガス貯留槽と、
前記吸着筒から導出される易吸着性の前記成分を貯留する易吸着成分貯留槽と、
前記原料ガス貯留槽又は易吸着成分貯留槽から導出されるガスを圧縮し、前記吸着筒に供給する圧縮機と、
前記圧縮機と前記吸着筒との間に位置する第１流路と、
第１分岐点において、前記第１流路から分岐し、前記第１分岐点と前記易吸着成分貯留槽との間に位置する第２流路と、
前記第２流路に位置する第１開閉装置と、
前記吸着筒と前記原料ガス貯留槽とを接続する第３流路と、を備え、
前記第３流路の一端は前記吸着筒に直接接続されており、
前記第１開閉装置の内部から前記第１分岐点までの経路の容積が、前記圧縮機が１分間に吸引するガス容積の０．１体積％以下である場所に、前記第１開閉装置が位置する、圧力変動吸着式ガス分離装置。
【請求項5】
前記第１分岐点と前記吸着筒との間の前記第１流路の容積が、前記圧縮機が１分間に吸引するガス容積の１体積％以下である場所に、前記第１分岐点が位置する、請求項４に記載の圧力変動吸着式ガス分離装置。
【請求項6】
２以上の成分を含有する原料ガスから圧力変動吸着式ガス分離方法を用いて前記成分を分離し、回収する装置であって、１以上の前記成分に対して易吸着性を有し、他の前記成分に対して難吸着性を有する吸着剤を充填する、１以上の吸着筒と、
前記原料ガスを貯留する原料ガス貯留槽と、
前記吸着筒から導出される易吸着性の前記成分を貯留する易吸着成分貯留槽と、
前記原料ガス貯留槽又は易吸着成分貯留槽から導出されるガスを圧縮し、前記吸着筒に供給する圧縮機と、
前記圧縮機と前記吸着筒との間に位置する第１流路と、
第１分岐点において、前記第１流路から分岐し、前記第１分岐点と前記易吸着成分貯留槽との間に位置する第２流路と、
前記第２流路に位置する第１開閉装置と、
第２分岐点において、前記第１流路から分岐し、前記第２分岐点と前記原料ガス貯留槽との間に位置する第３流路と、を備え、
前記第１開閉装置の内部から前記第１分岐点までの経路の容積が、前記圧縮機が１分間に吸引するガス容積の０．１体積％以下である場所に、前記第１開閉装置が位置し、
前記第１分岐点が、前記第２分岐点よりも前記吸着筒に対して近い、圧力変動吸着式ガス分離装置。
【請求項7】
前記第１分岐点と前記吸着筒との間の前記第１流路の容積が、前記圧縮機が１分間に吸引するガス容積の１体積％以下である場所に、前記第１分岐点が位置する、請求項６に記載の圧力変動吸着式ガス分離装置。
【請求項8】
前記第２分岐点と前記吸着筒との間の前記第１流路の容積が、前記圧縮機が１分間に吸引するガス容積の１体積％以下である場所に、前記第２分岐点が位置する、請求項７に記載の圧力変動吸着式ガス分離装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、圧力変動吸着式ガス分離装置に関する。
【背景技術】
【0002】
半導体集積回路、液晶パネル等の半導体製品を製造する工程では、希ガス雰囲気中で高周波放電によりプラズマを発生させ、該プラズマによって半導体製品もしくは表示装置の各種処理を行う装置が広く用いられている。このような処理において使用される希ガスとして、従来はアルゴンが用いられてきたが、近年はより高度な処理を行うためにクリプトンやキセノンが注目されている。しかし、クリプトンやキセノンは、原料となる空気中の存在比及び分離工程の複雑さから極めて希少で高価なガスであるため、使用済みの希ガスを回収し、再利用することが極めて重要となる。なお、希ガスを再利用するためには、少なくとも９９％以上の濃度が求められる。
【0003】
ここで、キセノンやクリプトンを分離する装置としては、キセノンまたはクリプトンと、不純物である他成分とを含む原料ガスを、キセノンやクリプトンに対して易吸着性で、不純物である他成分に対して難吸着性の吸着剤を充填した吸着筒に流し、易吸着成分であるキセノンまたはクリプトンを吸着剤に吸着させ、難吸着成分である不純物をキセノンやクリプトンと分離するとともに、吸着剤に吸着したキセノンまたはクリプトンを吸着剤より脱離させて高濃度で回収する方法がある。
【0004】
例えば、特許文献１には、直列に接続した２本の吸着筒（上部筒、下部筒）に原料ガス貯留槽の原料ガスを加圧して流し、易吸着成分であるキセノンまたはクリプトンを吸着し、難吸着成分である不純物を分離する工程ａと、易吸着成分貯留槽に充填されたキセノンまたはクリプトンを加圧して下部筒に導入し、これの空隙に残る難吸着成分である不純物を上部筒に導出し、上部筒において易吸着成分であるキセノンまたはクリプトンを吸着し、上部筒より難吸着成分である不純物を回収する工程ｂと、下部筒を減圧し、易吸着成分であるキセノンまたはクリプトンを吸着剤より脱離させて易吸着成分貯留槽に回収する工程ｃと、上部筒を減圧し、吸着剤に吸着した成分を脱離させて下部筒に導入し、さらに下部筒より流出したガスを原料ガス貯留槽に回収する工程ｄと、先に回収した難吸着成分である不純物を上部筒に導入し、易吸着成分であるキセノンまたはクリプトンを吸着剤より脱離させて下部筒に導入し、さらに下部筒より流出したガスを原料ガス貯留槽に回収する工程ｅとを備え、これらの工程ａ～ｅをシーケンスに従って順次行う分離方法が開示されている。
【0005】
また、特許文献１には、吸着筒の下部筒に、原料ガス貯留槽の原料ガスを加圧して導入する流路と、易吸着成分貯留槽のガスを加圧して導入する流路と、上部筒と接続する流路と、原料ガス貯留槽に減圧して排出する流路と、易吸着成分貯留槽に減圧して排出する流路が位置し、各流路にガス流れを制御するバルブが設けられた装置が開示されている。そして、特許文献１に開示された装置では、下部筒とこれらの流路に設けられたバルブの間に、バルブを接続するために必要となる配管が設けられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0006】
【文献】特開２００６－６１８３１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0007】
特許文献１に開示された分離方法及び装置には、以下の課題がある。
上述した工程ａでは、特許文献１の図１中に示すように、原料ガス貯留槽１から下部筒１０Ｂに導入された原料ガスが、下部筒１０Ｂから、易吸着成分貯留槽２に接続する配管Ｌ９に設けられたバルブＶ１２と下部筒１０Ｂとの間の配管に流入する。
次いで、上述した工程ｂでは、易吸着成分貯留槽２の易吸着成分ガスが、配管Ｌ４を通じて下部筒１０Ｂに導入される。しかしながら、上述した配管Ｌ９のうち、バルブＶ１２と下部筒１０Ｂとの間であって、バルブＶ１２の近傍には、易吸着成分ガスが流れないため、原料ガスが存在し続ける。
その結果、上述した工程ｃにおいて、上述した配管Ｌ９のうち、バルブＶ１２と下部筒１０Ｂとの間であって、バルブＶ１２の近傍に存在する原料ガスが、易吸着成分貯留槽２に排出される。原料ガスに含まれる難吸着成分は、易吸着成分貯留槽２の易吸着成分ガスの不純物であるため、分離した易吸着成分の純度を低下させる要因となる。特に、原料ガスの難吸着成分の濃度が高いと、上述した配管Ｌ９のうち、バルブＶ１２と下部筒１０Ｂとの間の容積が少なくても、純度を低下させる要因としては非常に大きい。
上述した工程ａでは、特許文献１の図１中に示すように、原料ガス貯留槽１から下部筒１０Ｂに導入された原料ガスが、下部筒１０Ｂから、易吸着成分貯留槽２に接続する配管Ｌ９に設けられたバルブＶ１２と下部筒１０Ｂとの間の配管に流入する。
次いで、上述した工程ｂでは、易吸着成分貯留槽２の易吸着成分ガスが、配管Ｌ４を通じて下部筒１０Ｂに導入される。しかしながら、上述した配管Ｌ９のうち、バルブＶ１２と下部筒１０Ｂとの間であって、バルブＶ１２の近傍には、易吸着成分ガスが流れないため、原料ガスが存在し続ける。
その結果、上述した工程ｃにおいて、上述した配管Ｌ９のうち、バルブＶ１２と下部筒１０Ｂとの間であって、バルブＶ１２の近傍に存在する原料ガスが、易吸着成分貯留槽２に排出される。原料ガスに含まれる難吸着成分は、易吸着成分貯留槽２の易吸着成分ガスの不純物であるため、分離した易吸着成分の純度を低下させる要因となる。特に、原料ガスの難吸着成分の濃度が高いと、上述した配管Ｌ９のうち、バルブＶ１２と下部筒１０Ｂとの間の容積が少なくても、純度を低下させる要因としては非常に大きい。
【0008】
そこで、本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、高純度の易吸着成分を回収できる圧力変動吸着式ガス分離装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【0009】
上記課題を解決するため、本発明は以下の構成を備える。
［１］ ２以上の成分を含有する原料ガスから圧力変動吸着式ガス分離方法を用いて前記成分を分離し、回収する装置であって、
１以上の前記成分に対して易吸着性を有し、他の前記成分に対して難吸着性を有する吸着剤を充填する、１以上の吸着筒と、
前記原料ガスを貯留する原料ガス貯留槽と、
前記吸着筒から導出される易吸着性の前記成分を貯留する易吸着成分貯留槽と、
前記原料ガス貯留槽又は易吸着成分貯留槽から導出されるガスを圧縮し、前記吸着筒に供給する圧縮機と、
前記圧縮機と前記吸着塔との間に位置する第１流路と、
第１分岐点において、前記第１流路から分岐し、前記第１分岐点と前記易吸着成分貯留槽との間に位置する第２流路と、
前記第２流路に位置する第１開閉装置と、を備え、
前記第１開閉装置が、前記第１分岐点寄りに位置する、圧力変動吸着式ガス分離装置。
［２］ 前記第１分岐点が、前記吸着塔寄りに位置する、［１］に記載の圧力変動吸着式ガス分離装置。
［３］ 第２分岐点において、前記第１流路から分岐し、前記第２分岐点と前記原料ガス貯留槽との間に位置する第３流路と、
前記第３流路に位置する第２開閉装置と、をさらに備え、
前記第２開閉装置が、前記第２分岐点寄りに位置する、［１］又は［２］に記載の圧力変動吸着式ガス分離装置。
［４］ 前記第２分岐点が、前記吸着塔寄りに位置する、［３］に記載の圧力変動吸着式ガス分離装置。
［１］ ２以上の成分を含有する原料ガスから圧力変動吸着式ガス分離方法を用いて前記成分を分離し、回収する装置であって、
１以上の前記成分に対して易吸着性を有し、他の前記成分に対して難吸着性を有する吸着剤を充填する、１以上の吸着筒と、
前記原料ガスを貯留する原料ガス貯留槽と、
前記吸着筒から導出される易吸着性の前記成分を貯留する易吸着成分貯留槽と、
前記原料ガス貯留槽又は易吸着成分貯留槽から導出されるガスを圧縮し、前記吸着筒に供給する圧縮機と、
前記圧縮機と前記吸着塔との間に位置する第１流路と、
第１分岐点において、前記第１流路から分岐し、前記第１分岐点と前記易吸着成分貯留槽との間に位置する第２流路と、
前記第２流路に位置する第１開閉装置と、を備え、
前記第１開閉装置が、前記第１分岐点寄りに位置する、圧力変動吸着式ガス分離装置。
［２］ 前記第１分岐点が、前記吸着塔寄りに位置する、［１］に記載の圧力変動吸着式ガス分離装置。
［３］ 第２分岐点において、前記第１流路から分岐し、前記第２分岐点と前記原料ガス貯留槽との間に位置する第３流路と、
前記第３流路に位置する第２開閉装置と、をさらに備え、
前記第２開閉装置が、前記第２分岐点寄りに位置する、［１］又は［２］に記載の圧力変動吸着式ガス分離装置。
［４］ 前記第２分岐点が、前記吸着塔寄りに位置する、［３］に記載の圧力変動吸着式ガス分離装置。
【発明の効果】
【0010】
本発明の圧力変動吸着式ガス分離装置は、高純度の易吸着成分を回収できる。
【図面の簡単な説明】
【0011】
【発明を実施するための形態】
【0012】
なお、以下の説明において例示される図の寸法等は一例であって、本発明はそれらに必ずしも限定されるものではなく、その要旨を変更しない範囲で適宜変更して実施することが可能である。
【0013】
＜第１実施形態＞
先ず、本発明の第１の実施形態である圧力変動吸着式ガス分離装置を、図面を参照して説明する。図１は、本発明の第１実施形態である圧力変動吸着式ガス分離装置５０の構成を示す模式図である。
図１に示すように、本実施形態の圧力変動吸着式ガス分離装置（以下、単に「ＰＳＡ装置」ともいう）５０は、２以上の成分を含有する原料ガスを貯留する原料ガス貯留槽１、易吸着性の成分（易吸着成分）を貯留する易吸着成分貯留槽２、難吸着性の成分（難吸着成分）を貯留する難吸着成分貯留槽３、圧縮機４、圧縮機５、下部筒１０Ｂ，１１Ｂ、上部筒１０Ｕ，１１Ｕの４つの吸着筒、経路Ｌ１～Ｌ１７、及び開閉弁Ｖ１～Ｖ１５を備えて、概略構成されている。本実施形態のＰＳＡ装置５０は、２以上の成分を含有する原料ガスから圧力変動吸着式ガス分離方法を用いてこれらの成分を分離し、それぞれ高濃度のガス成分として回収する装置である。
先ず、本発明の第１の実施形態である圧力変動吸着式ガス分離装置を、図面を参照して説明する。図１は、本発明の第１実施形態である圧力変動吸着式ガス分離装置５０の構成を示す模式図である。
図１に示すように、本実施形態の圧力変動吸着式ガス分離装置（以下、単に「ＰＳＡ装置」ともいう）５０は、２以上の成分を含有する原料ガスを貯留する原料ガス貯留槽１、易吸着性の成分（易吸着成分）を貯留する易吸着成分貯留槽２、難吸着性の成分（難吸着成分）を貯留する難吸着成分貯留槽３、圧縮機４、圧縮機５、下部筒１０Ｂ，１１Ｂ、上部筒１０Ｕ，１１Ｕの４つの吸着筒、経路Ｌ１～Ｌ１７、及び開閉弁Ｖ１～Ｖ１５を備えて、概略構成されている。本実施形態のＰＳＡ装置５０は、２以上の成分を含有する原料ガスから圧力変動吸着式ガス分離方法を用いてこれらの成分を分離し、それぞれ高濃度のガス成分として回収する装置である。
【0014】
原料ガス貯留槽１、易吸着成分貯留槽２、及び難吸着成分貯留槽３は、いずれも気体成分（原料ガス、易吸着成分、及び難吸着成分）を貯留することが可能な容器である。これらの容器の形状や大きさ（容量）は、特に限定されるものではなく、供給量、回収量等に応じて、適宜選択することができる。また、これらの容器の材質は、貯留する気体によって腐食しない材質であれば、特に限定されるものではない。
【0015】
原料ガスは、２以上の成分を含有する混合ガスである。混合ガスとしては、２以上の気体成分を含有するものであれば、特に限定されない。このような混合ガスとしては、例えば、窒素ガスとキセノンとの２つの気体成分を含む混合ガスが挙げられる。
【0016】
下部筒１０Ｂ、１１Ｂ、及び上部筒１０Ｕ、１１Ｕは、それぞれ筒状容器の内側の空間に吸着剤が充填された吸着筒である。これらの吸着筒の形状や大きさ（容量）は、特に限定されるものではなく、供給量、回収量等に応じて、適宜選択することができる。また、これらの吸着筒の材質は、貯留する気体によって腐食しない材質であれば、特に限定されるものではない。
【0017】
下部筒１０Ｂ、１１Ｂ、及び上部筒１０Ｕ、１１Ｕには、それぞれ吸着剤が充填されている。吸着剤としては、原料ガス中の目的成分に対して易吸着性あるいは難吸着性を有し、目的成分以外の成分に対して難吸着性あるいは易吸着性を有するものであれば、特に限定されない。
【0018】
例えば、原料ガスが窒素ガスとキセノンとの２つの気体成分を含む混合ガスである場合、吸着剤として活性炭を用いることができる。ここで、活性炭は、平衡吸着量としてキセノンの吸着量が多く（易吸着性）、窒素の吸着量が少ない（難吸着性）という性質を持つ。
【0019】
経路Ｌ１～Ｌ１７は、上述した各構成にガスを導入、又は各構成からガスを導出するガス経路である。
経路Ｌ１は、原料ガスを原料ガス貯留槽１に導入する経路である。
経路Ｌ２は、一端が原料ガス貯留槽１に接続し、他端が分岐点Ｔにおいて経路Ｌ３及び経路Ｌ１５と接続する。すなわち、経路Ｌ２は、原料ガス貯留槽１のガスを圧縮機４へ導出するガス経路の一部である。
経路Ｌ３は、一端が易吸着成分貯留槽２に接続し、他端が分岐点Ｔにおいて経路Ｌ２及び経路Ｌ１５と接続する。すなわち、経路Ｌ３は、易吸着成分貯留槽２のガスを圧縮機４へ導出するガス経路の一部である。
経路Ｌ１は、原料ガスを原料ガス貯留槽１に導入する経路である。
経路Ｌ２は、一端が原料ガス貯留槽１に接続し、他端が分岐点Ｔにおいて経路Ｌ３及び経路Ｌ１５と接続する。すなわち、経路Ｌ２は、原料ガス貯留槽１のガスを圧縮機４へ導出するガス経路の一部である。
経路Ｌ３は、一端が易吸着成分貯留槽２に接続し、他端が分岐点Ｔにおいて経路Ｌ２及び経路Ｌ１５と接続する。すなわち、経路Ｌ３は、易吸着成分貯留槽２のガスを圧縮機４へ導出するガス経路の一部である。
【0020】
経路Ｌ４は、経路Ｌ１５から分岐し、下部筒１０Ｂに接続されている。すなわち、経路Ｌ４は、圧縮機４から導出される圧縮されたガスを下部筒１０Ｂに導入するガス経路（第１流路）の一部である。また、経路Ｌ４の下部筒１０Ｂの一次側には、分岐点Ｐ，Ｒがそれぞれ位置する。
経路Ｌ５は、経路Ｌ１５から分岐し、下部筒１１Ｂに接続されている。すなわち、経路Ｌ５は、圧縮機４から導出される圧縮されたガスを下部筒１１Ｂに導入するガス経路（第１流路）の一部である。また、経路Ｌ５の下部筒１１Ｂの一次側には、分岐点Ｑ，Ｓがそれぞれ位置する。
経路Ｌ５は、経路Ｌ１５から分岐し、下部筒１１Ｂに接続されている。すなわち、経路Ｌ５は、圧縮機４から導出される圧縮されたガスを下部筒１１Ｂに導入するガス経路（第１流路）の一部である。また、経路Ｌ５の下部筒１１Ｂの一次側には、分岐点Ｑ，Ｓがそれぞれ位置する。
【0021】
経路Ｌ６は、経路Ｌ４、及び経路Ｌ５とそれぞれ合流し、上部筒１０Ｕ、１１Ｕより導出される難吸着成分を難吸着成分貯留槽３に導入するガス経路である。
経路Ｌ７は、難吸着成分貯留槽３から導出される難吸着成分を装置系外に排出するガス経路である。
経路Ｌ８は、難吸着成分貯留槽３から導出される難吸着成分を上部筒１０Ｕ、１１Ｕにそれぞれ導入するガス経路の一部である。
経路Ｌ７は、難吸着成分貯留槽３から導出される難吸着成分を装置系外に排出するガス経路である。
経路Ｌ８は、難吸着成分貯留槽３から導出される難吸着成分を上部筒１０Ｕ、１１Ｕにそれぞれ導入するガス経路の一部である。
【0022】
経路Ｌ９は、経路Ｌ４を介して下部筒１０Ｂに接続され、経路Ｌ１７を介して原料ガス貯留槽１に接続されている。具体的には、経路Ｌ９は、経路Ｌ４（第１流路）に位置する分岐点（第２分岐点）Ｒにおいて、経路Ｌ４から分岐し、経路Ｌ１０及び経路Ｌ１７と合流する。すなわち、経路Ｌ９は、経路Ｌ４と経路Ｌ１７との間に位置し、下部筒１０Ｂからのガスを原料ガス貯留槽１に返送する流路（第３流路）の一部である。
経路Ｌ１０は、経路Ｌ５を介して下部筒１１Ｂに接続され、経路Ｌ１７を介して原料ガス貯留槽１に接続されている。具体的には、経路Ｌ１０は、経路Ｌ５（第１流路）に位置する分岐点（第２分岐点）Ｓにおいて、経路Ｌ５から分岐し、経路Ｌ９及び経路Ｌ１７と合流する。すなわち、経路Ｌ１０は、経路Ｌ５と経路Ｌ１７との間に位置し、下部筒１１Ｂからのガスを原料ガス貯留槽１に返送する流路（第３流路）の一部である。
経路Ｌ１０は、経路Ｌ５を介して下部筒１１Ｂに接続され、経路Ｌ１７を介して原料ガス貯留槽１に接続されている。具体的には、経路Ｌ１０は、経路Ｌ５（第１流路）に位置する分岐点（第２分岐点）Ｓにおいて、経路Ｌ５から分岐し、経路Ｌ９及び経路Ｌ１７と合流する。すなわち、経路Ｌ１０は、経路Ｌ５と経路Ｌ１７との間に位置し、下部筒１１Ｂからのガスを原料ガス貯留槽１に返送する流路（第３流路）の一部である。
【0023】
経路Ｌ１１は、経路Ｌ４を介して下部筒１０Ｂに接続され、経路Ｌ１６を介して易吸着成分貯留槽２に接続されている。具体的には、経路Ｌ１１は、経路Ｌ４（第１流路）に位置する分岐点（第１分岐点）Ｐにおいて、経路Ｌ４から分岐し、経路Ｌ１２及び経路Ｌ１６と合流する。すなわち、経路Ｌ１１は、経路Ｌ４と経路Ｌ１６との間に位置し、下部筒１０Ｂからのガスを易吸着成分貯留槽２に返送する流路（第２流路）の一部である。
経路Ｌ１２は、経路Ｌ５を介して下部筒１１Ｂに接続され、経路Ｌ１６を介して易吸着成分貯留槽２に接続されている。具体的には、経路Ｌ１２は、経路Ｌ５（第１流路）に位置する分岐点（第１分岐点）Ｑにおいて、経路Ｌ５から分岐し、経路Ｌ１１及び経路Ｌ１６と合流する。すなわち、経路Ｌ１２は、経路Ｌ５と経路Ｌ１６との間に位置し、下部筒１１Ｂからのガスを易吸着成分貯留槽２に返送する流路（第２流路）の一部である。
経路Ｌ１２は、経路Ｌ５を介して下部筒１１Ｂに接続され、経路Ｌ１６を介して易吸着成分貯留槽２に接続されている。具体的には、経路Ｌ１２は、経路Ｌ５（第１流路）に位置する分岐点（第１分岐点）Ｑにおいて、経路Ｌ５から分岐し、経路Ｌ１１及び経路Ｌ１６と合流する。すなわち、経路Ｌ１２は、経路Ｌ５と経路Ｌ１６との間に位置し、下部筒１１Ｂからのガスを易吸着成分貯留槽２に返送する流路（第２流路）の一部である。
【0024】
経路Ｌ１３は、易吸着成分貯留槽２に接続され、易吸着成分貯留槽２からの易吸着成分を装置系外に供給する経路である。
経路Ｌ１４は、上部筒１０Ｕと上部筒１１Ｕとの間に位置し、上部筒１０Ｕと上部筒１１Ｕとの間で均圧を行う均圧ラインである。
経路Ｌ１４は、上部筒１０Ｕと上部筒１１Ｕとの間に位置し、上部筒１０Ｕと上部筒１１Ｕとの間で均圧を行う均圧ラインである。
【0025】
経路Ｌ１５は、一端が経路Ｌ４及び経路Ｌ５に分岐し、これらの経路Ｌ４及び経路Ｌ５を介して下部筒１０Ｂ、１１Ｂとそれぞれ連通するとともに、他端が分岐点Ｔにおいて経路Ｌ２及び経路Ｌ３と接続する。すなわち、経路Ｌ１５は、圧縮機４と下部筒１０Ｂ、１１Ｂ（吸着塔）との間に位置し、圧縮機４から導出される圧縮されたガスを下部筒１０Ｂ、１１Ｂに導入するガス経路（第１流路）の一部である。
経路Ｌ１６は、一端が経路Ｌ１１及び経路Ｌ１２に分岐し、他端が易吸着成分貯留槽２と接続する。すなわち、経路Ｌ１６は、分岐点（第１分岐点）Ｐ，Ｑと易吸着成分貯留槽２との間に位置し、下部筒１０Ｂ、１１Ｂからのガスを易吸着成分貯留槽２に返送する流路（第２流路）の一部である。
経路Ｌ１７は、一端が経路Ｌ９及び経路Ｌ１０に分岐し、他端が原料ガス貯留槽１と接続する。すなわち、経路Ｌ１７は、下部筒１０Ｂ、１１Ｂと原料ガス貯留槽１との間に位置し、下部筒１０Ｂ、１１Ｂからのガスを原料ガス貯留槽１に返送する流路（第３流路）の一部である。
経路Ｌ１６は、一端が経路Ｌ１１及び経路Ｌ１２に分岐し、他端が易吸着成分貯留槽２と接続する。すなわち、経路Ｌ１６は、分岐点（第１分岐点）Ｐ，Ｑと易吸着成分貯留槽２との間に位置し、下部筒１０Ｂ、１１Ｂからのガスを易吸着成分貯留槽２に返送する流路（第２流路）の一部である。
経路Ｌ１７は、一端が経路Ｌ９及び経路Ｌ１０に分岐し、他端が原料ガス貯留槽１と接続する。すなわち、経路Ｌ１７は、下部筒１０Ｂ、１１Ｂと原料ガス貯留槽１との間に位置し、下部筒１０Ｂ、１１Ｂからのガスを原料ガス貯留槽１に返送する流路（第３流路）の一部である。
【0026】
圧縮機４は、経路Ｌ１５に位置し、原料ガス貯留槽１から経路Ｌ２を介して経路Ｌ１５に導出される原料ガス、及び易吸着成分貯留槽２から経路Ｌ３を介して経路Ｌ１５に導出される易吸着成分のうち、いずれか一方を昇圧（圧縮）した後、経路Ｌ４又は経路Ｌ５を介して下部筒１０Ｂ又は下部筒１１Ｂに供給する。
【0027】
圧縮機４は、気体成分を昇圧（圧縮）できるものであれば、特に限定されない。このような圧縮機４としては、例えば、ダイアフラム式圧縮機が挙げられる。
また、圧縮機４の吐出量は、特に限定されるものではなく、気体成分の供給量、回収量等に応じて、適宜選択することができる。
また、圧縮機４の吐出量は、特に限定されるものではなく、気体成分の供給量、回収量等に応じて、適宜選択することができる。
【0028】
圧縮機５は、経路Ｌ１３に位置し、易吸着成分貯留槽２から経路Ｌ１３に導出される易吸着成分を昇圧（圧縮）した後、装置系外に供給する。圧縮機５は、気体成分を昇圧（圧縮）できるものであれば、特に限定されない。このような圧縮機５としては、例えば、ダイアフラム式圧縮機が挙げられる。また、圧縮機５の吐出量は、特に限定されるものではなく、気体成分の供給量、回収量等に応じて、適宜選択することができる。
【0029】
開閉弁Ｖ１～Ｖ１５は、経路Ｌ２～Ｌ１４にそれぞれ位置し、経路内の気体成分の流路を開放又は閉止する開閉装置である。
本実施形態のＰＳＡ装置５０では、これらの開閉弁のうち、経路Ｌ１１に位置する開閉弁（第１開閉装置）Ｖ１２が、分岐点（第１分岐点）Ｐ寄りに位置する。
本実施形態のＰＳＡ装置５０では、これらの開閉弁のうち、経路Ｌ１１に位置する開閉弁（第１開閉装置）Ｖ１２が、分岐点（第１分岐点）Ｐ寄りに位置する。
【0030】
ここで、開閉弁Ｖ１２が分岐点Ｐ寄りに位置するとは、開閉弁Ｖ１２と分岐点Ｐとの距離が短いことをいう。これにより、開閉弁Ｖ１２と分岐点Ｐとの間の経路内の容積を低減できる。すなわち、下部筒１０Ｂから導出されるガスを易吸着成分貯留槽２に導出する際、開閉弁Ｖ１２と分岐点Ｐとの間の経路Ｌ１１内に残留するガス量を低減できる。
【0031】
なお、開閉弁Ｖ１２から分岐点Ｐまでの間の経路Ｌ１１に残留するガスの量（残留ガス量）は、開閉弁Ｖ１２から分岐点Ｐまでの経路Ｌ１１を構成する配管の容積と、開閉弁Ｖ１２の内部の容積との総和となる。
本実施形態のＰＳＡ装置５０では、開閉弁Ｖ１２の内部から分岐点Ｐまでの経路Ｌ１１の容積が、圧縮機４が１分間に吸引するガス容積の０．１体積％以下であることが好ましい。
本実施形態のＰＳＡ装置５０では、開閉弁Ｖ１２の内部から分岐点Ｐまでの経路Ｌ１１の容積が、圧縮機４が１分間に吸引するガス容積の０．１体積％以下であることが好ましい。
【0032】
同様に、本実施形態のＰＳＡ装置５０では、これらの開閉弁のうち、経路Ｌ１２に位置する開閉弁（第１開閉装置）Ｖ１３が、分岐点（第１分岐点）Ｑ寄りに位置する。
【0033】
ここで、開閉弁Ｖ１３が分岐点Ｑ寄りに位置するとは、開閉弁Ｖ１３と分岐点Ｑとの距離が短いことをいう。これにより、開閉弁Ｖ１３と分岐点Ｑとの間の経路内の容積を低減できる。すなわち、下部筒１１Ｂから導出されるガスを易吸着成分貯留槽２に導出する際、開閉弁Ｖ１３と分岐点Ｑとの間の経路Ｌ１２内に残留するガス量を低減できる。
【0034】
なお、開閉弁Ｖ１３から分岐点Ｑまでの間の経路Ｌ１２に残留するガスの量（残留ガス量）は、開閉弁Ｖ１３から分岐点Ｑまでの経路Ｌ１２を構成する配管の容積と、開閉弁Ｖ１３の内部の容積との総和となる。
本実施形態のＰＳＡ装置５０では、開閉弁Ｖ１３の内部から分岐点Ｑまでの経路Ｌ１１の容積が、圧縮機４が１分間に吸引するガス容積の０．１体積％以下であることが好ましい。
本実施形態のＰＳＡ装置５０では、開閉弁Ｖ１３の内部から分岐点Ｑまでの経路Ｌ１１の容積が、圧縮機４が１分間に吸引するガス容積の０．１体積％以下であることが好ましい。
【0035】
また、本実施形態のＰＳＡ装置５０では、これらの開閉弁のうち、経路Ｌ９に位置する開閉弁（第２開閉装置）Ｖ１０が、分岐点（第２分岐点）Ｒ寄りに位置することが好ましい。
【0036】
ここで、開閉弁Ｖ１０が分岐点Ｒ寄りに位置するとは、開閉弁Ｖ１０と分岐点Ｒとの距離が短いことをいう。これにより、開閉弁Ｖ１０と分岐点Ｒとの間の経路内の容積を低減できる。すなわち、下部筒１０Ｂから導出されるガスを原料ガス貯留槽１に導出する際、開閉弁Ｖ１０と分岐点Ｒとの間の経路Ｌ９内に残留するガス量を低減できる。
【0037】
なお、開閉弁Ｖ１０から分岐点Ｒまでの間の経路Ｌ９に残留するガスの量（残留ガス量）は、開閉弁Ｖ１０から分岐点Ｒまでの経路Ｌ９を構成する配管の容積と、開閉弁Ｖ１０の内部の容積との総和となる。
本実施形態のＰＳＡ装置５０では、開閉弁Ｖ１０の内部から分岐点Ｒまでの経路Ｌ９の容積が、圧縮機４が１分間に吸引するガス容積の０．１体積％以下であることが好ましい。
本実施形態のＰＳＡ装置５０では、開閉弁Ｖ１０の内部から分岐点Ｒまでの経路Ｌ９の容積が、圧縮機４が１分間に吸引するガス容積の０．１体積％以下であることが好ましい。
【0038】
同様、本実施形態のＰＳＡ装置５０では、これらの開閉弁のうち、経路Ｌ１０に位置する開閉弁（第２開閉装置）Ｖ１１が、分岐点（第２分岐点）Ｓ寄りに位置することが好ましい。
【0039】
ここで、開閉弁Ｖ１１が分岐点Ｓ寄りに位置するとは、開閉弁Ｖ１１と分岐点Ｓとの距離が短いことをいう。これにより、開閉弁Ｖ１１と分岐点Ｓとの間の経路内の容積を低減できる。すなわち、下部筒１１Ｂから導出されるガスを原料ガス貯留槽１に導出する際、開閉弁Ｖ１１と分岐点Ｓとの間の経路Ｌ１０内に残留するガス量を低減できる。
【0040】
なお、開閉弁Ｖ１１から分岐点Ｓまでの間の経路Ｌ１０に残留するガスの量（残留ガス量）は、開閉弁Ｖ１１から分岐点Ｓまでの経路Ｌ１０を構成する配管の容積と、開閉弁Ｖ１１の内部の容積との総和となる。
本実施形態のＰＳＡ装置５０では、開閉弁Ｖ１１の内部から分岐点Ｓまでの経路Ｌ１０の容積が、圧縮機４が１分間に吸引するガス容積の０．１体積％以下であることが好ましい。
本実施形態のＰＳＡ装置５０では、開閉弁Ｖ１１の内部から分岐点Ｓまでの経路Ｌ１０の容積が、圧縮機４が１分間に吸引するガス容積の０．１体積％以下であることが好ましい。
【0041】
開閉弁Ｖ１０～Ｖ１３は、ガス成分の流路となる配管に残留するガス量を低減することが可能であれば、特に限定されない。このような開閉弁としては、ボールバルブ、ロータリーバルブ、ベローズバルブ、ダイアフラムバルブ等が挙げられる。
これらは、開閉弁内の容積を小さくできるため、好ましい。
また、ボールバルブの中でも、三方流路切替式のボールバルブは、配管容積を極めて小さくできるため、より好ましい。
さらに、ベローズバルブやダイアフラムバルブの中でも、三方分流型や複数のバルブが一つのブロックで構成される二連三方弁等のブロック型は、配管容積を極めて小さくでき、バルブの駆動耐久性も優れるため、非常に好ましい。
これらは、開閉弁内の容積を小さくできるため、好ましい。
また、ボールバルブの中でも、三方流路切替式のボールバルブは、配管容積を極めて小さくできるため、より好ましい。
さらに、ベローズバルブやダイアフラムバルブの中でも、三方分流型や複数のバルブが一つのブロックで構成される二連三方弁等のブロック型は、配管容積を極めて小さくでき、バルブの駆動耐久性も優れるため、非常に好ましい。
【0042】
また、本実施形態のＰＳＡ装置５０では、上述した分岐点（第１分岐点）Ｐ、及び分岐点（第２分岐点）Ｒが、それぞれ経路Ｌ４の下部筒１０Ｂ寄りに位置することが好ましい。
同様に、本実施形態のＰＳＡ装置５０では、上述した分岐点（第１分岐点）Ｑ、及び分岐点（第２分岐点）Ｓが、それぞれ経路Ｌ５の下部筒１１Ｂ寄りに位置することが好ましい。
同様に、本実施形態のＰＳＡ装置５０では、上述した分岐点（第１分岐点）Ｑ、及び分岐点（第２分岐点）Ｓが、それぞれ経路Ｌ５の下部筒１１Ｂ寄りに位置することが好ましい。
【0043】
ここで、分岐点Ｐ，Ｒが下部筒１０Ｂ寄りに位置するとは、分岐点Ｐ，Ｒと下部筒１０Ｂとの距離が短いことをいう。これにより、分岐点Ｐ，Ｒと下部筒１０Ｂとの間の経路Ｌ４内の容積を低減できる。すなわち、下部筒１０Ｂから導出されるガスを原料ガス貯留槽１あるいは易吸着成分貯留槽２に導出する際、各分岐点Ｐ，Ｒと下部筒１０Ｂとの間の経路Ｌ４内に残留するガス量を低減できる。
本実施形態のＰＳＡ装置５０では、各分岐点Ｐ，Ｒと下部筒１０Ｂとの間の経路Ｌ４の容積が、圧縮機４が１分間に吸引するガス容積の１体積％以下であることが好ましい。
本実施形態のＰＳＡ装置５０では、各分岐点Ｐ，Ｒと下部筒１０Ｂとの間の経路Ｌ４の容積が、圧縮機４が１分間に吸引するガス容積の１体積％以下であることが好ましい。
【0044】
同様に、分岐点Ｑ，Ｓが下部筒１１Ｂ寄りに位置するとは、分岐点Ｑ，Ｓと下部筒１１Ｂとの距離が短いことをいう。これにより、分岐点Ｑ，Ｓと下部筒１１Ｂとの間の経路Ｌ５内の容積を低減できる。すなわち、下部筒１１Ｂから導出されるガスを原料ガス貯留槽１あるいは易吸着成分貯留槽２に導出する際、各分岐点Ｑ，Ｓと下部筒１１Ｂとの間の経路Ｌ５内に残留するガス量を低減できる。
本実施形態のＰＳＡ装置５０では、各分岐点Ｑ，Ｓと下部筒１１Ｂとの間の経路Ｌ５の容積が、圧縮機４が１分間に吸引するガス容積の１体積％以下であることが好ましい。
本実施形態のＰＳＡ装置５０では、各分岐点Ｑ，Ｓと下部筒１１Ｂとの間の経路Ｌ５の容積が、圧縮機４が１分間に吸引するガス容積の１体積％以下であることが好ましい。
【0045】
また、本実施形態のＰＳＡ装置５０では、上述した各流路にそれぞれ濃度計を設置してもよい。
具体的な濃度計の位置としては、開閉弁Ｖ３と分岐点Ｒとの間の経路Ｌ４、開閉弁Ｖ１２と分岐点Ｐとの間の経路Ｌ１１、開閉弁１０と分岐点Ｒとの間の経路Ｌ１０、開閉弁Ｖ４と分岐点Ｓとの間の経路Ｌ５、開閉弁Ｖ１３と分岐点Ｑとの間の経路Ｌ１２、開閉弁１１と分岐点Ｓとの間の経路Ｌ１１が挙げられる。
また、各濃度計は、経路Ｌ４においては分岐点Ｒ寄り、経路Ｌ１１においては分岐点Ｐ寄り、経路Ｌ１０においては分岐点Ｒ寄り、経路Ｌ５においては分岐点Ｓ寄り、経路Ｌ１２においては分岐点Ｑ寄り、経路Ｌ１１においては分岐点Ｓ寄りに設けることが好ましい。
具体的な濃度計の位置としては、開閉弁Ｖ３と分岐点Ｒとの間の経路Ｌ４、開閉弁Ｖ１２と分岐点Ｐとの間の経路Ｌ１１、開閉弁１０と分岐点Ｒとの間の経路Ｌ１０、開閉弁Ｖ４と分岐点Ｓとの間の経路Ｌ５、開閉弁Ｖ１３と分岐点Ｑとの間の経路Ｌ１２、開閉弁１１と分岐点Ｓとの間の経路Ｌ１１が挙げられる。
また、各濃度計は、経路Ｌ４においては分岐点Ｒ寄り、経路Ｌ１１においては分岐点Ｐ寄り、経路Ｌ１０においては分岐点Ｒ寄り、経路Ｌ５においては分岐点Ｓ寄り、経路Ｌ１２においては分岐点Ｑ寄り、経路Ｌ１１においては分岐点Ｓ寄りに設けることが好ましい。
【0046】
次に、本実施形態の圧力変動吸着式ガス分離装置５０の運転方法について、説明する。
なお、以下の説明では、原料ガスとして、窒素ガスとキセノンとの２つの気体成分を含む混合ガスを用い、下部筒１０Ｂ、１１Ｂ、及び上部筒１０Ｕ、１１Ｕに充填する吸着剤として、平衡分離型吸着剤である活性炭を使用する場合を一例として説明する。
なお、以下の説明では、原料ガスとして、窒素ガスとキセノンとの２つの気体成分を含む混合ガスを用い、下部筒１０Ｂ、１１Ｂ、及び上部筒１０Ｕ、１１Ｕに充填する吸着剤として、平衡分離型吸着剤である活性炭を使用する場合を一例として説明する。
【0047】
本実施形態のＰＳＡ装置５０の運転方法では、先ず、下部筒１０Ｂ及び上部筒１０Ｕにおいて、（１）吸着工程、（２）リンス工程、（３）下部筒減圧工程、（４）上部筒減圧工程、（５）パージ再生工程、及び（６）均圧加圧工程を行う。
【0048】
（１）吸着工程
先ず、吸着工程では、開閉弁Ｖ２，Ｖ４，Ｖ７，Ｖ９，Ｖ１０，Ｖ１２を閉止し、開閉弁Ｖ１，Ｖ３，Ｖ５，Ｖ１４を開放して、原料ガス貯留槽１から導出される混合ガスを圧縮機４で圧縮した後、経路Ｌ１５，Ｌ４を介して、下部筒１０Ｂの下部に導入する。
ここで、下部筒１０Ｂと上部筒１０Ｕとは、開閉弁Ｖ５が開放されているため連通しており、ほぼ同様に圧力上昇する。
なお、原料ガス貯留槽１から導出される混合ガスは、経路Ｌ１から原料ガス貯留槽１に導入された原料ガスと、後述する上部筒減圧工程、及びパージ再生工程において下部筒１０Ｂもしくは１１Ｂから導出されたガスとの混合ガスである。
先ず、吸着工程では、開閉弁Ｖ２，Ｖ４，Ｖ７，Ｖ９，Ｖ１０，Ｖ１２を閉止し、開閉弁Ｖ１，Ｖ３，Ｖ５，Ｖ１４を開放して、原料ガス貯留槽１から導出される混合ガスを圧縮機４で圧縮した後、経路Ｌ１５，Ｌ４を介して、下部筒１０Ｂの下部に導入する。
ここで、下部筒１０Ｂと上部筒１０Ｕとは、開閉弁Ｖ５が開放されているため連通しており、ほぼ同様に圧力上昇する。
なお、原料ガス貯留槽１から導出される混合ガスは、経路Ｌ１から原料ガス貯留槽１に導入された原料ガスと、後述する上部筒減圧工程、及びパージ再生工程において下部筒１０Ｂもしくは１１Ｂから導出されたガスとの混合ガスである。
【0049】
次いで、下部筒１０Ｂの下部に導入された混合ガスは、下部筒１０Ｂの上部に進むにつれて、キセノンが吸着剤に優先的に吸着され、気相中に窒素が濃縮される。濃縮された窒素は、下部筒１０Ｂの上部から上部筒１０Ｕの下部に導入され、上部筒１０Ｕにおいて、窒素中に含まれる微量のキセノンがさらに吸着剤に吸着される。上部筒１０Ｕの圧力が難吸着成分貯留槽３の圧力より高くなった後、上部筒１０Ｕにおいてさらに濃縮された窒素は、経路Ｌ６を介して、難吸着成分貯留槽３へ導出される。
なお、難吸着成分貯留槽３に貯留された窒素は、原料ガス中に含まれる窒素に応じた流量が経路Ｌ７から装置系外に排出され、残りの窒素が後述するパージ再生工程において向流パージガスとして使用される。
なお、難吸着成分貯留槽３に貯留された窒素は、原料ガス中に含まれる窒素に応じた流量が経路Ｌ７から装置系外に排出され、残りの窒素が後述するパージ再生工程において向流パージガスとして使用される。
【0050】
（２）リンス工程
次に、リンス工程では、開閉弁Ｖ１を閉止し、開閉弁Ｖ２を開放して、易吸着成分貯留槽２から導出されるキセノンを下部筒１０Ｂの下部に導入する。易吸着成分であるキセノンを下部筒１０Ｂに導入することで、下部筒１０Ｂの吸着剤の充填層に共吸着された窒素と、吸着剤の空隙に存在する窒素とを下部筒１０Ｂから上部筒１０Ｕへ押し出し、下部筒１０Ｂ内をキセノンで吸着飽和とする。次いで、開閉弁Ｖ７，Ｖ８，Ｖ１４，Ｖ１５を閉止し、開閉弁Ｖ９を開放することで、上部筒１０Ｕの上部から導出された窒素は、経路Ｌ１４を介して上部筒１１Ｕに送られる。
次に、リンス工程では、開閉弁Ｖ１を閉止し、開閉弁Ｖ２を開放して、易吸着成分貯留槽２から導出されるキセノンを下部筒１０Ｂの下部に導入する。易吸着成分であるキセノンを下部筒１０Ｂに導入することで、下部筒１０Ｂの吸着剤の充填層に共吸着された窒素と、吸着剤の空隙に存在する窒素とを下部筒１０Ｂから上部筒１０Ｕへ押し出し、下部筒１０Ｂ内をキセノンで吸着飽和とする。次いで、開閉弁Ｖ７，Ｖ８，Ｖ１４，Ｖ１５を閉止し、開閉弁Ｖ９を開放することで、上部筒１０Ｕの上部から導出された窒素は、経路Ｌ１４を介して上部筒１１Ｕに送られる。
【0051】
（３）下部筒減圧工程
次に、下部筒減圧工程では、開閉弁Ｖ３、Ｖ５、Ｖ１０を閉止し、開閉弁Ｖ１２を開放する。これにより、上述した吸着工程及びリンス工程の間に下部筒１０Ｂに吸着されたキセノンは、下部筒１０Ｂと易吸着成分貯留槽２との差圧によって、経路Ｌ１１及び経路Ｌ１６を介して易吸着成分貯留槽２へ回収される。易吸着成分貯留槽２に回収されたキセノンは、原料ガス中に含まれるキセノンに応じた流量が、圧縮機５によって加圧された後、経路Ｌ１３から製品として採取され、残りのキセノンが上述したリンス工程において並流パージガスとして使用される。
なお、下部筒減圧工程の間、開閉弁Ｖ５，Ｖ７，Ｖ９，Ｖ１４が閉止され、上部筒１０Ｕは休止状態となる。
次に、下部筒減圧工程では、開閉弁Ｖ３、Ｖ５、Ｖ１０を閉止し、開閉弁Ｖ１２を開放する。これにより、上述した吸着工程及びリンス工程の間に下部筒１０Ｂに吸着されたキセノンは、下部筒１０Ｂと易吸着成分貯留槽２との差圧によって、経路Ｌ１１及び経路Ｌ１６を介して易吸着成分貯留槽２へ回収される。易吸着成分貯留槽２に回収されたキセノンは、原料ガス中に含まれるキセノンに応じた流量が、圧縮機５によって加圧された後、経路Ｌ１３から製品として採取され、残りのキセノンが上述したリンス工程において並流パージガスとして使用される。
なお、下部筒減圧工程の間、開閉弁Ｖ５，Ｖ７，Ｖ９，Ｖ１４が閉止され、上部筒１０Ｕは休止状態となる。
【0052】
ここで、本実施形態のＰＳＡ装置５０によれば、下部筒１０Ｂと易吸着成分貯留槽２との間の流路（第２流路）Ｌ１１に位置する開閉弁（第１開閉装置）Ｖ１２が分岐点Ｐ寄りに位置しており、開閉弁Ｖ１２の内部から分岐点Ｐまでの経路Ｌ１１の容積が低減されている。これにより、吸着工程において開閉弁Ｖ１２の内部から分岐点Ｐまでの経路Ｌ１１に残存する混合ガス量が低減されるため、下部筒減圧工程において下部筒１０Ｂから導出される高純度のキセノンを、経路Ｌ４及び経路Ｌ１１を経由する際、不純物の混合量が低減される。その結果、下部筒減圧工程において、易吸着成分であるキセノンを高純度で易吸着成分貯留槽２に回収できる。
【0053】
（４）上部筒減圧工程
次に、上部筒減圧工程では、開閉弁Ｖ３，Ｖ７，Ｖ９，Ｖ１１，Ｖ１２，Ｖ１４を閉止し、開閉弁Ｖ５、Ｖ１０を開放する。これにより、上述した下部筒減圧工程の間に休止していた上部筒１０Ｕと、減圧した下部筒１０Ｂとの差圧によって、上部筒１０Ｕ内のガスが下部筒１０Ｂに導入される。下部筒１０Ｂに導入されたガスは、下部筒１０Ｂ内をパージした後、下部筒１０Ｂから導出され、経路Ｌ１０及び経路Ｌ１７を介して原料ガス貯留槽１に回収される。原料ガス貯留槽１に回収されたガスは、経路Ｌ１から導入される原料ガスと混合された後、上述した吸着工程において混合ガスとして使用される。
次に、上部筒減圧工程では、開閉弁Ｖ３，Ｖ７，Ｖ９，Ｖ１１，Ｖ１２，Ｖ１４を閉止し、開閉弁Ｖ５、Ｖ１０を開放する。これにより、上述した下部筒減圧工程の間に休止していた上部筒１０Ｕと、減圧した下部筒１０Ｂとの差圧によって、上部筒１０Ｕ内のガスが下部筒１０Ｂに導入される。下部筒１０Ｂに導入されたガスは、下部筒１０Ｂ内をパージした後、下部筒１０Ｂから導出され、経路Ｌ１０及び経路Ｌ１７を介して原料ガス貯留槽１に回収される。原料ガス貯留槽１に回収されたガスは、経路Ｌ１から導入される原料ガスと混合された後、上述した吸着工程において混合ガスとして使用される。
【0054】
（５）パージ再生工程
次に、パージ再生工程では、開閉弁Ｖ３，Ｖ９，Ｖ１２，Ｖ１４を閉止し、開閉弁Ｖ５，Ｖ７，Ｖ１０を開放する。これにより、難吸着成分貯留槽３に貯留された窒素が、向流パージガスとして経路Ｌ８を介して上部筒１０Ｕの上方から導入される。上部筒１０Ｕに導入された窒素は、上部筒１０Ｕの下方に進むにつれて、吸着剤に吸着されたキセノンを置換脱着させる。吸着剤から脱着された比較的キセノンを多く含むガスは、上部筒１０Ｕから導出された後、下部筒１０Ｂ、経路Ｌ１０及び経路Ｌ１７を介して、原料ガス貯留槽１に回収される。原料ガス貯留槽１に回収されたガスは、上述した上部筒減圧工程と同様に、経路Ｌ１から導入される原料ガスと混合された後、上述した吸着工程において混合ガスとして使用される。
なお、向流パージガスとして、難吸着成分貯留槽３に貯留された窒素に代えて、上述した吸着工程において上部筒１０Ｕから導出された窒素を用い、パージ再生工程を行っている上部筒１０Ｕに直接導入してもよい。
次に、パージ再生工程では、開閉弁Ｖ３，Ｖ９，Ｖ１２，Ｖ１４を閉止し、開閉弁Ｖ５，Ｖ７，Ｖ１０を開放する。これにより、難吸着成分貯留槽３に貯留された窒素が、向流パージガスとして経路Ｌ８を介して上部筒１０Ｕの上方から導入される。上部筒１０Ｕに導入された窒素は、上部筒１０Ｕの下方に進むにつれて、吸着剤に吸着されたキセノンを置換脱着させる。吸着剤から脱着された比較的キセノンを多く含むガスは、上部筒１０Ｕから導出された後、下部筒１０Ｂ、経路Ｌ１０及び経路Ｌ１７を介して、原料ガス貯留槽１に回収される。原料ガス貯留槽１に回収されたガスは、上述した上部筒減圧工程と同様に、経路Ｌ１から導入される原料ガスと混合された後、上述した吸着工程において混合ガスとして使用される。
なお、向流パージガスとして、難吸着成分貯留槽３に貯留された窒素に代えて、上述した吸着工程において上部筒１０Ｕから導出された窒素を用い、パージ再生工程を行っている上部筒１０Ｕに直接導入してもよい。
【0055】
ここで、本実施形態のＰＳＡ装置５０によれば、下部筒１０Ｂと原料ガス貯留槽１との間の流路（第３流路）Ｌ９に位置する開閉弁（第２開閉装置）Ｖ１０が分岐点Ｒ寄りに位置しており、開閉弁Ｖ１０の内部から分岐点Ｒまでの経路Ｌ９の容積が低減されている。これにより、上部筒減圧工程、及びパージ再生工程において開閉弁Ｖ１０の内部から分岐点Ｒまでの経路Ｌ９に残存するキセノン量が低減されるため、吸着工程において、混合ガス中のキセノン濃度を変動させることなく、原料ガス貯留槽１に貯留される混合ガスを下部筒１０に導入できる。
【0056】
（６）均圧加圧工程
次に、均圧加圧工程では、開閉弁Ｖ３，Ｖ７，Ｖ８，Ｖ１０，Ｖ１２，Ｖ１４，Ｖ１５を閉止し、開閉弁Ｖ９を開放する。ここで、下部筒１０Ｂ及び上部筒１０Ｕにおいて均圧加圧工程が行われる際、下部筒１１Ｂ及び上部筒１１Ｕにおいて上述したリンス工程が行われる。均圧加圧工程では、リンス工程が行われている上部筒１１Ｕから導出された窒素が、経路Ｌ１４を介して上部筒１０Ｕ及び下部筒１０Ｂに導入される。
次に、均圧加圧工程では、開閉弁Ｖ３，Ｖ７，Ｖ８，Ｖ１０，Ｖ１２，Ｖ１４，Ｖ１５を閉止し、開閉弁Ｖ９を開放する。ここで、下部筒１０Ｂ及び上部筒１０Ｕにおいて均圧加圧工程が行われる際、下部筒１１Ｂ及び上部筒１１Ｕにおいて上述したリンス工程が行われる。均圧加圧工程では、リンス工程が行われている上部筒１１Ｕから導出された窒素が、経路Ｌ１４を介して上部筒１０Ｕ及び下部筒１０Ｂに導入される。
【0057】
なお、上述した「均圧加圧工程」から「吸着工程」に戻る際、開閉弁Ｖ１を開放し、開閉弁Ｖ２を閉止する。次いで、原料ガス貯留槽１から導出される混合ガスを圧縮機４で圧縮した後、経路Ｌ１５，Ｌ４を介して、下部筒１０Ｂの下部に導入する。
【0058】
本実施形態のＰＳＡ装置５０では、下部筒１１Ｂ及び上部筒１１Ｕにおいても、下部筒１０Ｂ及び上部筒１０Ｕと同様に、上述した６つの工程を順次実施する。
ここで、一方の吸着筒（下部筒１０Ｂ及び上部筒１０Ｕ）において、「吸着工程」～「リンス工程」が行われている間、他方の吸着筒（下部筒１１Ｂ及び上部筒１１Ｕ）において、「下部筒減圧工程」～「パージ再生工程」～「均圧加圧工程」が行われる。
また、一方の吸着筒において、「下部筒減圧工程」～「パージ再生工程」～「均圧加圧工程」が行われている間、他方の吸着筒において、「吸着工程」～「リンス工程」が行われる。
ここで、一方の吸着筒（下部筒１０Ｂ及び上部筒１０Ｕ）において、「吸着工程」～「リンス工程」が行われている間、他方の吸着筒（下部筒１１Ｂ及び上部筒１１Ｕ）において、「下部筒減圧工程」～「パージ再生工程」～「均圧加圧工程」が行われる。
また、一方の吸着筒において、「下部筒減圧工程」～「パージ再生工程」～「均圧加圧工程」が行われている間、他方の吸着筒において、「吸着工程」～「リンス工程」が行われる。
【0059】
本実施形態のＰＳＡ装置５０によれば、上述した６つの工程を、下部筒１０Ｂ及び上部筒１０Ｕと、下部筒１１Ｂ及び上部筒１１Ｕとの間で順次繰り返すことにより、窒素の濃縮とキセノンの濃縮とを連続的に行うことができる。
【0060】
なお、本実施形態のＰＳＡ装置５０では、経路Ｌ１から原料ガス貯留槽１への原料ガスの導入、難吸着成分貯留槽３から経路Ｌ７を介しての窒素の排出、及び、易吸着成分貯留槽２から経路Ｌ１３を介してのキセノンの導出は、上述した工程に依らず連続的に行われる。
【0061】
本実施形態のＰＳＡ装置５０によれば、原料ガスから高純度のキセノンを分離回収することができる。
なお、本実施形態のＰＳＡ装置５０で分離回収されるキセノンの純度としては、特に限定されるものではないが、９９体積％以上であることが好ましく、９９．９体積％以上であることがより好ましく、９９．９５体積％以上であることがさらに好ましい。
なお、本実施形態のＰＳＡ装置５０で分離回収されるキセノンの純度としては、特に限定されるものではないが、９９体積％以上であることが好ましく、９９．９体積％以上であることがより好ましく、９９．９５体積％以上であることがさらに好ましい。
【0062】
本実施形態のＰＳＡ装置５０は、半導体製品、あるいは表示装置の製造設備の一部として用いることができる。本実施形態のＰＳＡ装置５０によれば、製造設備から排出される排ガスを原料ガスとし、原料ガスに含まれるキセノンを分離回収した後、高純度のキセノンを製造設備に供給できる。
【0063】
また、本実施形態のＰＳＡ装置５０を上述した製造設備の一部として用いる場合、キセノンを供給する必要がない状況や、原料ガス（すなわち、製造設備からの排ガス）が流入してこない状況が頻繁に起こり得る。このような場合、本実施形態のＰＳＡ装置５０では、難吸着成分貯留槽３から経路Ｌ７を介して排出される窒素、あるいは易吸着成分貯留槽２から経路Ｌ１３を介して導出されるキセノンを原料ガス貯留槽１に返送することで、常に製品ガス（キセノン）を供給できる状態を維持しながら供給停止状態とすることができる。
【0064】
以上説明したように、本実施形態のＰＳＡ装置５０によれば、下部筒１０Ｂと易吸着成分貯留槽２との間の流路（第２流路）を構成する経路Ｌ１１に位置する開閉弁（第１開閉装置）Ｖ１２が分岐点Ｐ寄りに位置する。これにより、開閉弁Ｖ１２の内部から分岐点Ｐまでの経路Ｌ１１の容積が低減されるため、経路中に残存するガス量を低減できる。したがって、本実施形態のＰＳＡ装置５０によれば、下部筒１０Ｂから易吸着成分（ガス）を易吸着成分貯留槽２に導出する際、キセノンへの不純物（原料ガス中のキセノン以外の成分）の混合量が低減され、高純度のキセノン（易吸着成分）を製品として分離回収できる。
【0065】
また、本実施形態のＰＳＡ装置５０によれば、経路Ｌ４に位置する分岐点Ｐが下部筒１０Ｂ寄りに位置する。これにより、分岐点Ｐから下部筒１０Ｂまでの経路Ｌ４の容積を低減できる。したがって、本実施形態のＰＳＡ装置５０によれば、下部筒１０Ｂから易吸着成分（ガス）を易吸着成分貯留槽２に導出する際、下部筒１０Ｂ、経路Ｌ４、経路Ｌ１１及び開閉弁Ｖ１２で閉塞される経路内に残留するガス量をさらに低減できる。
【0066】
本実施形態のＰＳＡ装置５０によれば、下部筒１０Ｂと原料ガス貯留槽１との間の流路（第３流路）を構成する経路Ｌ９に位置する開閉弁（第２開閉装置）Ｖ１０が分岐点Ｒ寄りに位置する。また、経路Ｌ４に位置する分岐点Ｒが下部筒１０Ｂ寄りに位置する。これにより、下部筒１０Ｂから混合ガスを原料ガス貯留槽１に導出する際、下部筒１０Ｂ、経路Ｌ４、経路Ｌ９及び開閉弁Ｖ１０で閉塞される経路内に残留するガス量をさらに低減できる。
【0067】
なお、本実施形態のＰＳＡ装置５０では、経路Ｌ４（Ｌ５）に位置する分岐点Ｐ（分岐点Ｑ）が、原料貯留槽１への返送経路となる経路Ｌ１７への分岐点Ｒ（分岐点Ｓ）よりも下部筒１０Ｂ（１１Ｂ）に対して近い構成であるため、易吸着成分ガスが分岐点Ｒ（分岐点Ｓ）を通過しない利点が得られる。しかしながら、上述した構成は一例であり、本発明はこれに限定されない。すなわち、本実施形態のＰＳＡ装置５０において、経路Ｌ４（Ｌ５）における分岐点Ｐ（分岐点Ｑ）と分岐点Ｒ（分岐点Ｓ）との位置関係は逆であってもよいし、また、クロス継手を用いることによって分岐点Ｐ（分岐点Ｑ）と分岐点Ｒ（分岐点Ｓ）とを同じ位置としてもよい。
【0068】
＜第２実施形態＞
次に、本発明を適用した第２の実施形態であるＰＳＡ装置について、図２を参照して詳細に説明する。
図２に示すように、第２実施形態のＰＳＡ装置６０の構成は、前述した第１実施形態のＰＳＡ装置５０の構成とは、第１実施形態で示した経路Ｌ９が経路Ｌ４に位置する分岐点Ｒから分岐するものであるのに対し、分岐点Ｒではなく下部筒１０Ｂに直接接続された経路Ｌ９’を備える点で異なるものであり、その他の構成については第１の実施形態と同一である。したがって、本実施形態のＰＳＡ装置６０については、第１実施形態のＰＳＡ装置５０の構成と同一の構成部分については同じ符号を付すると共に説明を省略する。
次に、本発明を適用した第２の実施形態であるＰＳＡ装置について、図２を参照して詳細に説明する。
図２に示すように、第２実施形態のＰＳＡ装置６０の構成は、前述した第１実施形態のＰＳＡ装置５０の構成とは、第１実施形態で示した経路Ｌ９が経路Ｌ４に位置する分岐点Ｒから分岐するものであるのに対し、分岐点Ｒではなく下部筒１０Ｂに直接接続された経路Ｌ９’を備える点で異なるものであり、その他の構成については第１の実施形態と同一である。したがって、本実施形態のＰＳＡ装置６０については、第１実施形態のＰＳＡ装置５０の構成と同一の構成部分については同じ符号を付すると共に説明を省略する。
【0069】
経路Ｌ９’は、一端が下部筒１０Ｂに接続しており、他端が経路Ｌ１０’及び経路Ｌ１７’と合流している。すなわち、経路Ｌ９’は、下部筒１０Ｂと経路Ｌ１７’との間に位置し、下部筒１０Ｂからのガスを原料ガス貯留槽１に返送する流路（第３流路）の一部である。
経路Ｌ１０’は、一端が下部筒１１Ｂに接続しており、他端が経路Ｌ９’及び経路Ｌ１７’と合流している。すなわち、経路Ｌ１０’は、下部筒１１Ｂと経路Ｌ１７’との間に位置し、下部筒１１Ｂからのガスを原料ガス貯留槽１に返送する流路（第３流路）の一部である。
経路Ｌ１０’は、一端が下部筒１１Ｂに接続しており、他端が経路Ｌ９’及び経路Ｌ１７’と合流している。すなわち、経路Ｌ１０’は、下部筒１１Ｂと経路Ｌ１７’との間に位置し、下部筒１１Ｂからのガスを原料ガス貯留槽１に返送する流路（第３流路）の一部である。
【0070】
経路Ｌ１７’は、一端が経路Ｌ９’及び経路Ｌ１０’に分岐し、他端が原料ガス貯留槽１と接続する。すなわち、経路Ｌ１７’は、下部筒１０Ｂ、１１Ｂと原料ガス貯留槽１との間に位置し、下部筒１０Ｂ、１１Ｂからのガスを原料ガス貯留槽１に返送する流路（第３流路）の一部である。
【0071】
本実施形態のＰＳＡ装置６０では、これらの開閉弁のうち、経路Ｌ９’に位置する開閉弁（第２開閉装置）Ｖ１０が、下部筒１０Ｂ寄りに位置することが好ましい。
【0072】
ここで、開閉弁Ｖ１０が下部筒１０Ｂ寄りに位置するとは、開閉弁Ｖ１０と下部筒１０Ｂとの距離が短いことをいう。これにより、開閉弁Ｖ１０と下部筒１０Ｂとの間の経路Ｌ９’内の容積を低減できる。すなわち、下部筒１０Ｂから導出されるガスを原料ガス貯留槽１に導出する際、開閉弁Ｖ１０と下部筒１０Ｂとの間の経路Ｌ９’内に残留するガス量を低減できる。
【0073】
なお、開閉弁Ｖ１０から下部筒１０Ｂまでの間の経路Ｌ９’に残留するガスの量（残留ガス量）は、開閉弁Ｖ１０から下部筒１０Ｂまでの経路Ｌ９’を構成する配管の容積と、開閉弁Ｖ１０の内部の容積との総和となる。
本実施形態のＰＳＡ装置６０では、開閉弁Ｖ１０の内部から下部筒１０Ｂまでの経路Ｌ９’の容積が、圧縮機４が１分間に吸引するガス容積の０．１体積％以下であることが好ましい。
本実施形態のＰＳＡ装置６０では、開閉弁Ｖ１０の内部から下部筒１０Ｂまでの経路Ｌ９’の容積が、圧縮機４が１分間に吸引するガス容積の０．１体積％以下であることが好ましい。
【0074】
同様、本実施形態のＰＳＡ装置６０では、これらの開閉弁のうち、経路Ｌ１０’に位置する開閉弁（第２開閉装置）Ｖ１１が、下部筒１１Ｂ寄りに位置することが好ましい。
【0075】
ここで、開閉弁Ｖ１１が下部筒１１Ｂ寄りに位置するとは、開閉弁Ｖ１１と下部筒１１Ｂとの距離が短いことをいう。これにより、開閉弁Ｖ１１と下部筒１１Ｂとの間の経路Ｌ１０’内の容積を低減できる。すなわち、下部筒１１Ｂから導出されるガスを原料ガス貯留槽１に導出する際、開閉弁Ｖ１１と下部筒１１Ｂとの間の経路Ｌ１０’内に残留するガス量を低減できる。
【0076】
なお、開閉弁Ｖ１１から下部筒１１Ｂまでの間の経路Ｌ１０’に残留するガスの量（残留ガス量）は、開閉弁Ｖ１１から下部筒１１Ｂまでの経路Ｌ１０’を構成する配管の容積と、開閉弁Ｖ１１の内部の容積との総和となる。
本実施形態のＰＳＡ装置６０では、開閉弁Ｖ１１の内部から下部筒１１Ｂまでの経路Ｌ１０’の容積が、圧縮機４が１分間に吸引するガス容積の０．１体積％以下であることが好ましい。
本実施形態のＰＳＡ装置６０では、開閉弁Ｖ１１の内部から下部筒１１Ｂまでの経路Ｌ１０’の容積が、圧縮機４が１分間に吸引するガス容積の０．１体積％以下であることが好ましい。
【0077】
以上説明したように、本実施形態のＰＳＡ装置６０によれば、上述した第１実施形態のＰＳＡ装置５０と同様の効果が得られる。
さらに、本実施形態のＰＳＡ装置６０によれば、下部筒１０Ｂに直接接続される経路Ｌ９’を備え、下部筒１０Ｂ寄りに開閉弁Ｖ１０を設けることで、経路内に残留するガス量をさらに低減できるという効果を奏する。
さらに、本実施形態のＰＳＡ装置６０によれば、下部筒１０Ｂに直接接続される経路Ｌ９’を備え、下部筒１０Ｂ寄りに開閉弁Ｖ１０を設けることで、経路内に残留するガス量をさらに低減できるという効果を奏する。
【0078】
なお、本発明の技術範囲は上記実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計等も含まれる。
【実施例】
【0079】
以下、実施例によって本発明を具体的に説明するが、本発明は以下の記載によっては限定されない。
【0080】
図１に示すＰＳＡ装置５０を用い、下表１に示すように開閉弁を制御して、原料ガスから製品ガスを分離回収した。
ＰＳＡ装置５０の構成は、以下の通りであった。
・下部筒（１０Ｂ、１１Ｂ）、上部筒（１０Ｕ、１１Ｕ）：ステンレス鋼８０Ａ（内径８３．１ｍｍ）、吸着剤充填高さ５００ｍｍ
・吸着剤：活性炭（大阪ガスケミカル株式会社社製）、各１．５ｋｇ充填
・圧縮機４：ダイアフラム式圧縮機（ＫＮＦ社製、吐出量：２０Ｌ／ｍｉｎ）
・圧縮機５：ダイアフラム式圧縮機（ＫＮＦ社製、吐出量：０．２Ｌ／ｍｉｎ）
（以下、すべて０℃、大気圧下）
・原料ガス：キセノン（Ｘｅ）＋窒素
・経路Ｌ１から原料ガス貯留槽１への原料ガスの導入量：２．０Ｌ／ｍｉｎ
・易吸着成分：キセノン
・易吸着成分貯留槽２から経路Ｌ１３への導出量：０．２Ｌ／ｍｉｎ
・難吸着成分：窒素
・難吸着成分貯留槽３から経路Ｌ７への導出量：１．８Ｌ／ｍｉｎ
ＰＳＡ装置５０の構成は、以下の通りであった。
・下部筒（１０Ｂ、１１Ｂ）、上部筒（１０Ｕ、１１Ｕ）：ステンレス鋼８０Ａ（内径８３．１ｍｍ）、吸着剤充填高さ５００ｍｍ
・吸着剤：活性炭（大阪ガスケミカル株式会社社製）、各１．５ｋｇ充填
・圧縮機４：ダイアフラム式圧縮機（ＫＮＦ社製、吐出量：２０Ｌ／ｍｉｎ）
・圧縮機５：ダイアフラム式圧縮機（ＫＮＦ社製、吐出量：０．２Ｌ／ｍｉｎ）
（以下、すべて０℃、大気圧下）
・原料ガス：キセノン（Ｘｅ）＋窒素
・経路Ｌ１から原料ガス貯留槽１への原料ガスの導入量：２．０Ｌ／ｍｉｎ
・易吸着成分：キセノン
・易吸着成分貯留槽２から経路Ｌ１３への導出量：０．２Ｌ／ｍｉｎ
・難吸着成分：窒素
・難吸着成分貯留槽３から経路Ｌ７への導出量：１．８Ｌ／ｍｉｎ
【0081】
【表1】
【0082】
＜実施例１＞
開閉弁Ｖ１０、Ｖ１１、Ｖ１２、Ｖ１３として、ダイアフラム式二方弁（フジキン社製メタルダイアフラムバルブ；ＦＰＲ－ＮＤ－７１－９．５２）を用い、上記表１の条件で運転した。
結果を以下の表２に示す。
なお、開閉弁Ｖ１２と分岐点Ｐとの間の経路Ｌ１１の配管容積と、開閉弁Ｖ１２内の容積とを加えた総容積は、１９ｍＬであった。
また、開閉弁Ｖ１３と分岐点Ｑとの間の経路Ｌ１２の配管容積と、開閉弁Ｖ１３内の容積とを加えた総容積、開閉弁Ｖ１０と点Ｒまでの間の経路Ｌ９の配管容積と、開閉弁Ｖ１０内の容積とを加えた総容積、及び開閉弁Ｖ１１と分岐点Ｓとの間の経路Ｌ１０の配管容積と、開閉弁Ｖ１１内の容積とを加えた総容積は、いずれも１９ｍＬであった。
開閉弁Ｖ１０、Ｖ１１、Ｖ１２、Ｖ１３として、ダイアフラム式二方弁（フジキン社製メタルダイアフラムバルブ；ＦＰＲ－ＮＤ－７１－９．５２）を用い、上記表１の条件で運転した。
結果を以下の表２に示す。
なお、開閉弁Ｖ１２と分岐点Ｐとの間の経路Ｌ１１の配管容積と、開閉弁Ｖ１２内の容積とを加えた総容積は、１９ｍＬであった。
また、開閉弁Ｖ１３と分岐点Ｑとの間の経路Ｌ１２の配管容積と、開閉弁Ｖ１３内の容積とを加えた総容積、開閉弁Ｖ１０と点Ｒまでの間の経路Ｌ９の配管容積と、開閉弁Ｖ１０内の容積とを加えた総容積、及び開閉弁Ｖ１１と分岐点Ｓとの間の経路Ｌ１０の配管容積と、開閉弁Ｖ１１内の容積とを加えた総容積は、いずれも１９ｍＬであった。
【0083】
【表2】
【0084】
表２に示すように、本発明の圧力変動吸着式ガス分離装置によれば、易吸着成分を高純度で分離できることがわかった。特に、原料ガス貯留槽の易吸着成分濃度が６０％以上において、易吸着成分（キセノン）を９９体積％以上の高純度で分離できた。
【0085】
＜比較例１＞
本発明の比較例として、従来技術（上述した特許文献１に示す図１）の装置を使い、実施例１と同様にして分離実験を行った。
なお、各経路における配管容積と開閉弁内の容積とを加えた総容積は、５３ｍＬであった。
結果を以下の表３に示す。
本発明の比較例として、従来技術（上述した特許文献１に示す図１）の装置を使い、実施例１と同様にして分離実験を行った。
なお、各経路における配管容積と開閉弁内の容積とを加えた総容積は、５３ｍＬであった。
結果を以下の表３に示す。
【0086】
【表3】
【0087】
表３に示すように、従来技術の装置では、各経路における配管容積と開閉弁内の容積とを加えた総容積は、５３ｍＬであるため、易吸着成分（キセノン）の濃度はいずれも９９体積％未満であった。
【0088】
＜実施例２＞
開閉弁Ｖ１０、Ｖ１１、Ｖ１２、Ｖ１３として、ダイアフラム式三方分流弁（フジキン社製、メタルダイアフラムバルブ：ＦＰＲ－ＮＤＴＢ－７１－９．５２）を用い、上記表１の条件で運転した。
結果を以下の表４に示す。
なお、開閉弁Ｖ１２と分岐点Ｐとの間の経路Ｌ１１の配管容積と、開閉弁Ｖ１２内の容積とを加えた総容積は、５ｍＬであった。
また、開閉弁Ｖ１３と分岐点Ｑとの間の経路Ｌ１２の配管容積と、開閉弁Ｖ１３内の容積とを加えた総容積、開閉弁Ｖ１０と点Ｒまでの間の経路Ｌ９の配管容積と、開閉弁Ｖ１０内の容積とを加えた総容積、及び開閉弁Ｖ１１と分岐点Ｓとの間の経路Ｌ１０の配管容積と、開閉弁Ｖ１１内の容積とを加えた総容積は、いずれも５ｍＬであった。
開閉弁Ｖ１０、Ｖ１１、Ｖ１２、Ｖ１３として、ダイアフラム式三方分流弁（フジキン社製、メタルダイアフラムバルブ：ＦＰＲ－ＮＤＴＢ－７１－９．５２）を用い、上記表１の条件で運転した。
結果を以下の表４に示す。
なお、開閉弁Ｖ１２と分岐点Ｐとの間の経路Ｌ１１の配管容積と、開閉弁Ｖ１２内の容積とを加えた総容積は、５ｍＬであった。
また、開閉弁Ｖ１３と分岐点Ｑとの間の経路Ｌ１２の配管容積と、開閉弁Ｖ１３内の容積とを加えた総容積、開閉弁Ｖ１０と点Ｒまでの間の経路Ｌ９の配管容積と、開閉弁Ｖ１０内の容積とを加えた総容積、及び開閉弁Ｖ１１と分岐点Ｓとの間の経路Ｌ１０の配管容積と、開閉弁Ｖ１１内の容積とを加えた総容積は、いずれも５ｍＬであった。
【0089】
【表4】
【0090】
表４に示すように、本発明によれば、ガス成分が残留する配管部分の総容積を各５ｍＬとすることで、易吸着成分をさらに高純度で分離できることがわかった。特に、原料ガス貯留槽の易吸着成分濃度が６０％以上において、易吸着成分（キセノン）を９９．９５体積％以上の高純度で分離できた。
【0091】
＜実施例３＞
開閉弁Ｖ１０、Ｖ１１、Ｖ１２、Ｖ１３として、三方ボールバルブ（Ｓｗａｇｅｌｏｋ社製；ＳＳ－６３ＸＬＴＳ８－Ａ３０Ｓ４）を用い、上記表１の条件で運転した。
結果を以下の表５に示す。
なお、開閉弁Ｖ１２と分岐点Ｐとの間の経路Ｌ１１の配管容積と、開閉弁Ｖ１２内の容積とを加えた総容積は、５ｍＬであった。
また、開閉弁Ｖ１３と分岐点Ｑとの間の経路Ｌ１２の配管容積と、開閉弁Ｖ１３内の容積とを加えた総容積、開閉弁Ｖ１０と点Ｒまでの間の経路Ｌ９の配管容積と、開閉弁Ｖ１０内の容積とを加えた総容積、及び開閉弁Ｖ１１と分岐点Ｓとの間の経路Ｌ１０の配管容積と、開閉弁Ｖ１１内の容積とを加えた総容積は、いずれも５ｍＬであった。
開閉弁Ｖ１０、Ｖ１１、Ｖ１２、Ｖ１３として、三方ボールバルブ（Ｓｗａｇｅｌｏｋ社製；ＳＳ－６３ＸＬＴＳ８－Ａ３０Ｓ４）を用い、上記表１の条件で運転した。
結果を以下の表５に示す。
なお、開閉弁Ｖ１２と分岐点Ｐとの間の経路Ｌ１１の配管容積と、開閉弁Ｖ１２内の容積とを加えた総容積は、５ｍＬであった。
また、開閉弁Ｖ１３と分岐点Ｑとの間の経路Ｌ１２の配管容積と、開閉弁Ｖ１３内の容積とを加えた総容積、開閉弁Ｖ１０と点Ｒまでの間の経路Ｌ９の配管容積と、開閉弁Ｖ１０内の容積とを加えた総容積、及び開閉弁Ｖ１１と分岐点Ｓとの間の経路Ｌ１０の配管容積と、開閉弁Ｖ１１内の容積とを加えた総容積は、いずれも５ｍＬであった。
【0092】
【表5】
【0093】
表５に示すように、本発明によれば、開閉弁として三方ボールバルブを用いた場合であっても、ガス成分が残留する配管部分の総容積を各５ｍＬとすることで、易吸着成分を実施例２と同程度の高純度で分離できることがわかった。すなわち、原料ガス貯留槽の易吸着成分濃度が６０％以上において、易吸着成分（キセノン）を９９．９５体積％以上の高純度で分離できた。
【0094】
＜実施例４＞
原料ガスに含まれる難吸着成分として、窒素に代えてアルゴンを用いた以外は、実施例２と同じ条件を用いて運転を行った。
結果を以下の表６に示す。
原料ガスに含まれる難吸着成分として、窒素に代えてアルゴンを用いた以外は、実施例２と同じ条件を用いて運転を行った。
結果を以下の表６に示す。
【0095】
【表6】
【0096】
表６に示すように、本発明によれば、難吸着成分としてアルゴンを用いた場合であっても、ガス成分が残留する配管部分の総容積を各５ｍＬとすることで、易吸着成分を実施例２と同程度の高純度で分離できることがわかった。すなわち、原料ガス貯留槽の易吸着成分濃度が６０％以上において、易吸着成分（キセノン）を９９．９５体積％以上の高純度で分離できた。
【0097】
＜比較例２＞
原料ガスに含まれる難吸着成分として、窒素に代えてアルゴンを用いた以外は、比較例１と同じ条件を用いて運転を行った。
結果を以下の表７に示す。
原料ガスに含まれる難吸着成分として、窒素に代えてアルゴンを用いた以外は、比較例１と同じ条件を用いて運転を行った。
結果を以下の表７に示す。
【0098】
【表7】
【0099】
表７に示すように、原料ガスに含まれる難吸着成分として、窒素に代えてアルゴンを用いた場合であっても、従来技術の装置では、各経路における配管容積と開閉弁内の容積とを加えた総容積は、５３ｍＬであるため、易吸着成分（キセノン）の濃度はいずれも９９体積％未満であった。
【符号の説明】
【0100】
１・・・原料ガス貯留槽
２・・・易吸着成分貯留槽
３・・・難吸着成分貯留槽
４、５・・・圧縮機
１０Ｂ、１１Ｂ・・・下部筒
１０Ｕ、１１Ｕ・・・上部筒
５０，６０・・・圧力変動吸着式ガス分離装置（ＰＳＡ装置）
Ｖ１～Ｖ１５・・・開閉弁（開閉装置）
Ｌ１～Ｌ１７・・・経路（流路）
Ｐ，Ｑ，Ｒ，Ｓ，Ｔ・・・分岐点
２・・・易吸着成分貯留槽
３・・・難吸着成分貯留槽
４、５・・・圧縮機
１０Ｂ、１１Ｂ・・・下部筒
１０Ｕ、１１Ｕ・・・上部筒
５０，６０・・・圧力変動吸着式ガス分離装置（ＰＳＡ装置）
Ｖ１～Ｖ１５・・・開閉弁（開閉装置）
Ｌ１～Ｌ１７・・・経路（流路）
Ｐ，Ｑ，Ｒ，Ｓ，Ｔ・・・分岐点
【要約】
【課題】高純度の易吸着成分を回収できる圧力変動吸着式ガス分離装置を提供する。
【解決手段】１以上の成分に対して易吸着性を有し、他の成分に対して難吸着性を有する吸着剤を充填する吸着筒１０Ｂ，１０Ｕ，１１Ｂ，１１Ｕと、原料ガスを貯留する原料ガス貯留槽１と、易吸着性成分を貯留する易吸着成分貯留槽２と、圧縮機４と前記吸着筒１０Ｂ，１１Ｂとの間に位置する経路（第１流路）Ｌ４，Ｌ５と、分岐点（第１分岐点）Ｐ，Ｑにおいて、経路Ｌ４，Ｌ５から分岐し、分岐点Ｐ，Ｑと易吸着成分貯留槽２との間に位置する経路（第２流路）Ｌ１１，Ｌ１２と、経路Ｌ１１，Ｌ１２に位置する開閉弁（第１開閉装置）Ｖ１３，Ｖ１２と、を備え、開閉弁Ｖ１３，Ｖ１２が、分岐点Ｐ，Ｑ寄りに位置する、圧力変動吸着式ガス分離装置５０を選択する。
【選択図】図１
【解決手段】１以上の成分に対して易吸着性を有し、他の成分に対して難吸着性を有する吸着剤を充填する吸着筒１０Ｂ，１０Ｕ，１１Ｂ，１１Ｕと、原料ガスを貯留する原料ガス貯留槽１と、易吸着性成分を貯留する易吸着成分貯留槽２と、圧縮機４と前記吸着筒１０Ｂ，１１Ｂとの間に位置する経路（第１流路）Ｌ４，Ｌ５と、分岐点（第１分岐点）Ｐ，Ｑにおいて、経路Ｌ４，Ｌ５から分岐し、分岐点Ｐ，Ｑと易吸着成分貯留槽２との間に位置する経路（第２流路）Ｌ１１，Ｌ１２と、経路Ｌ１１，Ｌ１２に位置する開閉弁（第１開閉装置）Ｖ１３，Ｖ１２と、を備え、開閉弁Ｖ１３，Ｖ１２が、分岐点Ｐ，Ｑ寄りに位置する、圧力変動吸着式ガス分離装置５０を選択する。
【選択図】図１
【図1】
【図2】