特許 7290622 搬送装置およびアダプタペンダント

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2023-06-05

(45)【発行日】2023-06-13

(54)【発明の名称】搬送装置およびアダプタペンダント

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/677 20060101AFI20230606BHJP

   B25J 9/22 20060101ALI20230606BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 A

B25J9/22 A

【請求項の数】 37

(21)【出願番号】P 2020501110

(86)(22)【出願日】2018-07-09

(65)【公表番号】

(43)【公表日】2020-08-31

(86)【国際出願番号】 US2018041327

(87)【国際公開番号】W WO2019014146

(87)【国際公開日】2019-01-17

【審査請求日】2021-05-06

(31)【優先権主張番号】62/531,218

(32)【優先日】2017-07-11

(33)【優先権主張国・地域又は機関】US

(31)【優先権主張番号】16/029,320

(32)【優先日】2018-07-06

(33)【優先権主張国・地域又は機関】US

(73)【特許権者】

【識別番号】522041444

【氏名又は名称】ブルックス オートメーション ユーエス、エルエルシー

(74)【代理人】

【識別番号】110001896

【氏名又は名称】弁理士法人朝日奈特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】アトウッド、ダナ エル

(72)【発明者】

【氏名】モウラ、ジャイロ ティー

【審査官】中田 剛史

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１６－０６００１８（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許出願公開第２０１６／０２９７０６７（ＵＳ，Ａ１）

【文献】米国特許出願公開第２０１５／０３５２７１８（ＵＳ，Ａ１）

【文献】特開２０１１－２２８５５９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１３－２５１６５１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１４－１８４５１９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１７－０１３１５３（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ２１／６７７

Ｂ２５Ｊ ９／２２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

半導体プロセスの搬送装置であって、前記半導体プロセスの搬送装置が、
少なくとも１つのモータを有する駆動セクションと、
関節アームであって、前記関節アームの関節運動を駆動させるための前記駆動セクションに連結された関節アームと、
前記関節アームを１つの位置から異なる他の位置に移動させるために前記少なくとも１つのモータを制御するように前記駆動セクションに動作可能に連結されたマシンコントローラと、
アダプタペンダントであって、前記アダプタペンダントが、前記アダプタペンダントを入力／出力のために前記マシンコントローラと動作可能に連結するマシンコントローラインタフェースを有し、前記アダプタペンダントが、前記マシンコントローラインタフェースとは異なり、互換性のあるスマートモバイルデバイスと動作可能に接続するように構成された別のインタフェースを有し、前記互換性のあるスマートモバイルデバイスが、前記互換性のあるスマートモバイルデバイスに常駐する所定の常駐ユーザ操作可能デバイス機能特性を有している、アダプタペンダントと
を備え、
前記別のインタフェースは、前記互換性のあるスマートモバイルデバイスと前記別のインタフェースとの結合によって、前記アダプタペンダントを介する前記マシンコントローラへの入力／出力を画定して、前記１つの位置から前記他の位置への前記関節アームの運動制御のための入力コマンドおよび出力信号をもたらすように、前記互換性のあるスマートモバイルデバイスの前記常駐ユーザ操作可能デバイス機能特性のうちの少なくとも１つの構成が自動的に可能になるような、接続構成を有している、半導体プロセスの搬送装置。

【請求項2】

前記常駐ユーザ操作可能デバイス機能特性のうちの少なくとも１つの構成が、前記アダプタペンダントに結合された前記互換性のあるスマートモバイルデバイスのユーザ初期化で自動的に可能にされる、請求項１記載の半導体プロセスの搬送装置。

【請求項3】

前記接続構成が、プラグアンドプレイ接続構成であり、短距離または近距離無線周波数の連結およびユニバーサルシリアルバスポートの連結のうちの少なくとも１つである、請求項１記載の半導体プロセスの搬送装置。

【請求項4】

前記常駐ユーザ操作可能デバイス機能特性のうちの少なくとも１つによって画定された前記入力／出力が、前記１つの位置から前記他の位置への前記関節アームの前記マシンコントローラの運動制御の教示をもたらすための運動教示制御を具現化する構成を有している、請求項１記載の半導体プロセスの搬送装置。

【請求項5】

前記常駐ユーザ操作可能デバイス機能特性が、前記１つの位置から前記他の位置への前記関節アームの前記マシンコントローラの運動制御の教示をもたらすための運動教示制御入力／出力インタフェースを画定するように構成されている、前記互換性のあるスマートモバイルデバイスのグラフィカルユーザインタフェースを含む、請求項１記載の半導体プロセスの搬送装置。

【請求項6】

前記アダプタペンダントが、一体型の緊急停止スイッチ、緊急機械停止スイッチ、または緊急システムオフスイッチのうちの１つまたは複数を含む、請求項１記載の半導体プロセスの搬送装置。

【請求項7】

前記アダプタペンダントが、一体型のライブマンスイッチを有している、請求項１記載の半導体プロセスの搬送装置。

【請求項8】

前記別のインタフェースの前記接続構成は、前記互換性のあるスマートモバイルデバイスと前記別のインタフェースとの結合によって、前記互換性のあるスマートモバイルデバイス上の少なくとも別の所定の常駐ユーザ操作可能機能特性のロックアウトまたは制限された機能を初期化するように配置されている、請求項１記載の半導体プロセスの搬送装置。

【請求項9】

前記１つの位置および前記他の位置のうちの少なくとも１つが、半導体処理装置におけるワークピース保持ステーションである、請求項１記載の半導体プロセスの搬送装置。

【請求項10】

前記アダプタペンダントが、一体型のモード切替スイッチを含む、請求項１記載の半導体プロセスの搬送装置。

【請求項11】

関節アームの関節運動を駆動させるための駆動セクションに連結された関節アームを提供する工程であって、前記駆動セクションが、少なくとも１つのモータを有している、工程と、
前記関節アームを１つの位置から異なる他の位置に移動させるために前記少なくとも１つのモータを制御するようにマシンコントローラを前記駆動セクションに動作可能に連結させる工程と、
入力／出力のために、アダプタペンダントのマシンコントローラインタフェースによりアダプタペンダントを前記マシンコントローラに動作可能に連結させる工程であって、前記アダプタペンダントが、前記マシンコントローラインタフェースとは異なり、互換性のあるスマートモバイルデバイスと動作可能に接続するように構成された別のインタフェースを有し、前記互換性のあるスマートモバイルデバイスが、前記互換性のあるスマートモバイルデバイスに常駐する所定の常駐ユーザ操作可能デバイス機能特性を有している、工程と
を含む方法であって、
前記別のインタフェースは、前記互換性のあるスマートモバイルデバイスと前記別のインタフェースとの結合によって、前記アダプタペンダントを介する前記マシンコントローラへの入力／出力を画定して、前記１つの位置から前記他の位置への前記関節アームの運動制御のための入力コマンドおよび出力信号をもたらすように、前記互換性のあるスマートモバイルデバイスの前記常駐ユーザ操作可能デバイス機能特性のうちの少なくとも１つの構成が自動的に可能になるような、接続構成を有している、方法。

【請求項12】

前記アダプタペンダントに結合された前記互換性のあるスマートモバイルデバイスのユーザ初期化で、前記常駐ユーザ操作可能デバイス機能特性のうちの少なくとも１つの構成を自動的に可能にする工程をさらに含む、請求項１１記載の方法。

【請求項13】

前記常駐ユーザ操作可能デバイス機能特性のうちの少なくとも１つによって画定された前記入力／出力が、前記１つの位置から前記他の位置への前記関節アームの前記マシンコントローラの運動制御の教示をもたらすための運動教示制御を具現化する構成を有している、請求項１１記載の方法。

【請求項14】

前記常駐ユーザ操作可能デバイス機能特性が、前記互換性のあるスマートモバイルデバイスのグラフィカルユーザインタフェースを含み、前記方法がさらに、前記グラフィカルユーザインタフェースにより、前記１つの位置から前記他の位置への前記関節アームの前記マシンコントローラの運動制御の教示をもたらすための運動教示制御入力／出力インタフェースを画定する工程を含む、請求項１１記載の方法。

【請求項15】

前記別のインタフェースの前記接続構成は、前記互換性のあるスマートモバイルデバイスと前記別のインタフェースとの結合によって、前記互換性のあるスマートモバイルデバイス上の少なくとも別の所定の常駐ユーザ操作可能機能特性のロックアウトまたは制限された機能を初期化するように配置されている、請求項１１記載の方法。

【請求項16】

前記１つの位置および前記他の位置のうちの少なくとも１つが、半導体処理装置におけるワークピース保持ステーションである、請求項１１記載の方法。

【請求項17】

前記アダプタペンダントが、一体型のモード切替スイッチを含む、請求項１１記載の方法。

【請求項18】

半導体プロセスの搬送装置であって、前記半導体プロセスの搬送装置が、
少なくとも１つのモータを有する駆動セクションと、
関節アームであって、前記関節アームの関節運動を駆動させるための前記駆動セクションに連結された関節アームと、
前記関節アームを１つの位置から異なる他の位置に移動させるために前記少なくとも１つのモータを制御するように前記駆動セクションに動作可能に連結されたマシンコントローラと、
アダプタペンダントであって、前記アダプタペンダントが、前記アダプタペンダントを入力／出力のために前記マシンコントローラと動作可能に連結するマシンコントローラインタフェースを有し、前記アダプタペンダントが、前記マシンコントローラインタフェースとは異なり、互換性のあるスマートモバイルデバイスと動作可能に接続するように構成された別のインタフェースを有し、前記互換性のあるスマートモバイルデバイスが、前記互換性のあるスマートモバイルデバイスに常駐する所定のユーザ操作可能デバイス機能特性を有している、アダプタペンダントと
を備え、
前記別のインタフェースは、前記互換性のあるスマートモバイルデバイスと前記別のインタフェースとの結合によって、前記別のインタフェースに結合された前記互換性のあるスマートモバイルデバイスの前記ユーザ操作可能デバイス機能特性のうちの少なくとも１つが、前記半導体プロセスの搬送装置の密接に連結されたユーザ選択可能な入力／出力を画定するように、前記アダプタペンダントを介して、前記マシンコントローラと結合された前記互換性のあるスマートモバイルデバイスの前記ユーザ操作可能デバイス機能特性のうちの少なくとも１つの密接な連結がもたらされるような、接続構成を有しており、
前記別のインタフェースの前記接続構成は、前記互換性のあるスマートモバイルデバイスと前記別のインタフェースとの結合によって、前記互換性のあるスマートモバイルデバイス上の少なくとも別の所定のユーザ操作可能機能特性のロックアウトまたは制限された機能を初期化するように配置されている、半導体プロセスの搬送装置。

【請求項19】

前記ユーザ操作可能デバイス機能特性のうちの少なくとも１つが、前記搬送装置の密接に連結されたユーザインタフェースをもたらすように、前記アダプタペンダントを介して前記マシンコントローラと密接に連結される前記互換性のあるスマートモバイルデバイスのグラフィカルユーザインタフェースである、請求項１８記載の半導体プロセスの搬送装置。

【請求項20】

前記ユーザ操作可能デバイス機能特性のうちの少なくとも１つが、前記互換性のあるスマートモバイルデバイスに常駐する少なくとも１つのセンサである、請求項１８記載の半導体プロセスの搬送装置。

【請求項21】

前記ユーザ操作可能デバイス機能特性のうちの少なくとも１つが、前記互換性のあるスマートモバイルデバイスに常駐するデータロギング機能である、請求項１８記載の半導体プロセスの搬送装置。

【請求項22】

前記ユーザ操作可能デバイス機能特性のうちの少なくとも１つが、前記関節アームの関節運動を教示する少なくとも１つのユーザ選択可能な教示パラメータを視覚的に表示するように構成された前記互換性のあるスマートモバイルデバイス上のグラフィック表示機能である、請求項１８記載の半導体プロセスの搬送装置。

【請求項23】

前記ユーザ操作可能デバイス機能特性のうちの少なくとも１つが、前記互換性のあるスマートモバイルデバイスに常駐する記録機能の少なくとも１つ、および前記関節アームの関節運動の少なくとも１つの記録されたアーム運動パラメータの時間記録を視覚的に表示するように構成された前記互換性のあるスマートモバイルデバイス上のグラフィック表示機能の少なくとも１つである、請求項１８記載の半導体プロセスの搬送装置。

【請求項24】

前記ユーザ操作可能デバイス機能特性のうちの少なくとも１つによって画定された前記入力／出力が、前記１つの位置から前記他の位置への前記関節アームの前記マシンコントローラの運動制御の教示をもたらすための運動教示制御を具現化する構成を有している、請求項１８記載の半導体プロセスの搬送装置。

【請求項25】

前記ユーザ操作可能デバイス機能特性が、前記１つの位置から前記他の位置への前記関節アームの前記マシンコントローラの運動制御の教示をもたらすための運動教示制御入力／出力インタフェースを画定するように構成されている、前記互換性のあるスマートモバイルデバイスのグラフィカルユーザインタフェースを含む、請求項１８記載の半導体プロセスの搬送装置。

【請求項26】

前記アダプタペンダントが、一体型の緊急停止スイッチ、緊急機械停止スイッチ、および緊急システムオフスイッチのうちの１つまたは複数を含む、請求項１８記載の半導体プロセスの搬送装置。

【請求項27】

前記１つの位置および前記他の位置のうちの少なくとも１つが、半導体処理装置におけるワークピース保持ステーションである、請求項１８記載の半導体プロセスの搬送装置。

【請求項28】

前記アダプタペンダントが、一体型のモード切替スイッチを含む、請求項１８記載の半導体プロセスの搬送装置。

【請求項29】

関節アームの関節運動を駆動させるための駆動セクションに連結された関節アームを提供する工程であって、前記駆動セクションが、少なくとも１つのモータを有している、工程と、
前記関節アームを１つの位置から異なる他の位置に移動させるために前記少なくとも１つのモータを制御するようにマシンコントローラを前記駆動セクションに動作可能に連結させる工程と、
入力／出力のために、アダプタペンダントのマシンコントローラインタフェースによりアダプタペンダントを前記マシンコントローラに動作可能に連結させる工程であって、前記アダプタペンダントが、前記マシンコントローラインタフェースとは異なり、互換性のあるスマートモバイルデバイスと動作可能に接続するように構成された別のインタフェースを有し、前記互換性のあるスマートモバイルデバイスが、前記互換性のあるスマートモバイルデバイスに常駐する所定のユーザ操作可能デバイス機能特性を有している、工程と
を含む方法であって、
前記別のインタフェースは、前記互換性のあるスマートモバイルデバイスと前記別のインタフェースとの結合によって、前記別のインタフェースに結合された前記互換性のあるスマートモバイルデバイスの前記ユーザ操作可能デバイス機能特性のうちの少なくとも１つが、前記関節アームの密接に連結されたユーザ選択可能な入力／出力を画定するように、前記アダプタペンダントを介して、前記マシンコントローラと結合された前記互換性のあるスマートモバイルデバイスの前記ユーザ操作可能デバイス機能特性のうちの少なくとも１つの密接な連結がもたらされるような、接続構成を有しており、
前記別のインタフェースの前記接続構成は、前記互換性のあるスマートモバイルデバイスと前記別のインタフェースとの結合によって、前記互換性のあるスマートモバイルデバイス上の少なくとも別の所定のユーザ操作可能機能特性のロックアウトまたは制限された機能を初期化するように配置されている、方法。

【請求項30】

前記ユーザ操作可能デバイス機能特性のうちの少なくとも１つが、前記関節アームの密接に連結されたユーザインタフェースをもたらすように、前記アダプタペンダントを介して前記マシンコントローラと密接に連結される前記互換性のあるスマートモバイルデバイスのグラフィカルユーザインタフェースである、請求項２９記載の方法。

【請求項31】

前記ユーザ操作可能デバイス機能特性のうちの少なくとも１つが、前記互換性のあるスマートモバイルデバイスに常駐する少なくとも１つのセンサである、請求項２９記載の方法。

【請求項32】

前記ユーザ操作可能デバイス機能特性のうちの少なくとも１つが、前記互換性のあるスマートモバイルデバイスに常駐するデータロギング機能である、請求項２９記載の方法。

【請求項33】

前記ユーザ操作可能デバイス機能特性のうちの少なくとも１つが、前記関節アームの関節運動を教示する少なくとも１つのユーザ選択可能な教示パラメータを視覚的に表示するように構成された前記互換性のあるスマートモバイルデバイス上のグラフィック表示機能である、請求項２９記載の方法。

【請求項34】

前記ユーザ操作可能デバイス機能特性のうちの少なくとも１つによって画定された前記入力／出力が、前記１つの位置から前記他の位置への前記関節アームの前記マシンコントローラの運動制御の教示をもたらすための運動教示制御を具現化する構成を有している、請求項２９に記載の方法。

【請求項35】

前記ユーザ操作可能デバイス機能特性が、前記互換性のあるスマートモバイルデバイスのグラフィカルユーザインタフェースを含み、前記方法がさらに、前記グラフィカルユーザインタフェースにより、前記１つの位置から前記他の位置への前記関節アームの前記マシンコントローラの運動制御の教示をもたらすための運動教示制御入力／出力インタフェースを画定する工程を含む、請求項２９記載の方法。

【請求項36】

前記アダプタペンダントが、一体型の緊急停止スイッチ、緊急機械停止スイッチ、および緊急システムオフスイッチのうちの１つまたは複数を含む、請求項２９記載の方法。

【請求項37】

前記１つの位置および前記他の位置のうちの少なくとも１つが、半導体処理装置におけるワークピース保持ステーションである、請求項２９記載の方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

［関連出願の相互参照］
本出願は、２０１７年７月１１日に出願の米国仮特許出願第６２／５３１，２１８号の利益を主張するものであり、その開示は、その全体が参照により本明細書に組み込まれる。

【0002】

［技術分野］
例示的な実施形態は、概して、半導体処理装置に関し、より具体的には、半導体プロセスの搬送装置に関する。

【背景技術】

【0003】

半導体自動化ロボットは、メモリチップおよびプロセッサなどの半導体チップの製造に使用される基板を取り扱うために利用される特別なコンポーネントである。半導体ツールの自動化のセットアップの一部として、ロボット座標システムにおけるツールプロセスステーションのロボット位置を教示するようにロボットの移動を手動で命令するために、教示ペンダントが使用される。これらの教示ペンダントによって、ローカルオペレータは、対象にされたプロセスステーション位置でロボット動作を手動で命令することができ、各々の対象にされたプロセスステーションの座標を効果的に保存することができる。

【0004】

従来の教示ペンダントは、一般に、画面サイズが限定されたタッチパッドキーボードを有する専用のデバイスである。従来の教示ペンダントはまた、一般に、限定されないが、ジョギング、ロボットパラメータの構成、特定の絶対座標への移動、ロボット位置の報告などを含む他の機能タスクを達成するための複数のナビゲーションステップを有している。自動化装置の機能が拡張するにつれて、半導体自動化のための教示ペンダントの機能的要求がその複雑性の点で増加し続けている。複雑なタスクを取り扱うことができる従来の教示ペンダントは、自動化装置のコストに比べて高価であり、市場では望まれていない。一部の自動化装置に関して、教示ペンダントの代わりにグラフィカルユーザインタフェースを備えたラップトップコンピュータまたはデスクトップコンピュータが使用されており（その使用時の可動性および柔軟性を諦める）、それにより、自動化装置のユーザは、高価な教示ペンダントを購入する追加のコストを負担することはない。従来の教示ペンダントのファームウェアはまた、エンドユーザが複数の教示ペンダントを有することを必要とする特定のロボット／ツールに特有である。教示ペンダントのファームウェアへのアップグレードおよび改訂は、フィールドユニットで実行することが困難であり、教示ペンダントのメニューはナビゲートするのが面倒であり、生産環境における不要な装置セットアップ時間につながる。従来の教示ペンダントはまた、使用するためにトレーニングを必要とし、参照用の製品マニュアルは別個になっている。

【0005】

さらに、２００６／４２／ＥＣ機械指令の要件を満たすために、緊急停止および３位置のライブマン（live-man）スイッチまたはイネーブルスイッチを備えた教示ペンダントが、ロボットのサービス活動のために求められているのかもしれない。緊急停止およびライブマンスイッチの機能を有する利用可能な従来の教示ペンダントは、通常はそれぞれのロボット／ツールに配線されている内臓ユニットであり、インターネットアクセスがなく、機能的なカスタマイズのための柔軟性が非常に乏しい。

【発明の概要】

【0006】

開示された実施形態の上記の態様および他の特徴は、添付の図面と関連して以下の説明で説明される。

【図面の簡単な説明】

【0007】

【図1A】開示された実施形態の態様を組み込む処理装置の概略図である。

【図1B】開示された実施形態の態様を組み込む処理装置の概略図である。

【図1C】開示された実施形態の態様を組み込む処理装置の概略図である。

【図1D】開示された実施形態の態様を組み込む処理装置の概略図である。

【図1E】図１Ａ－図１Ｄおよび図１Ｇ－図１Ｍの処理装置の一部の概略図である。

【図1F】図１Ａ－図１Ｄおよび図１Ｇ－図１Ｍの処理装置の一部の概略図である。

【図1G】開示された実施形態の態様を組み込む処理装置の概略図である。

【図1H】開示された実施形態の態様を組み込む処理装置の概略図である。

【図1I】開示された実施形態の態様を組み込む処理装置の概略図である。

【図1J】開示された実施形態の態様を組み込む処理装置の概略図である。

【図1K】開示された実施形態の態様を組み込む処理装置の概略図である。

【図1L】開示された実施形態の態様を組み込む処理装置の概略図である。

【図1M】開示された実施形態の態様を組み込む処理装置の概略図である。

【図2】開示された実施形態の態様による半導体プロセスの搬送装置の概略図である。

【図3A】開示された実施形態の態様による半導体プロセスの搬送装置の一部の概略図である。

【図3B】開示された実施形態の態様による半導体プロセスの搬送装置の一部の概略図である。

【図3C】開示された実施形態の態様による半導体プロセスの搬送装置の一部の概略図である。

【図3D】開示された実施形態の態様による半導体プロセスの搬送装置の一部の概略図である。

【図3E】開示された実施形態の態様による半導体プロセスの搬送装置の一部の概略図である。

【図4A】開示された実施形態の態様による半導体プロセスの搬送装置のアダプタペンダントの概略図である。

【図4B】開示された実施形態の態様による半導体プロセスの搬送装置の概略図である。

【図5A】開示された実施形態の態様による半導体プロセスの搬送装置によって可能にされる互換性のあるスマートモバイルデバイス上のグラフィカルユーザインタフェースの一部の概略図である。

【図5B】開示された実施形態の態様による図５Ａのグラフィカルユーザインタフェースの一部の概略図である。

【図5C】開示された実施形態の態様による図５Ａのグラフィカルユーザインタフェースの一部の概略図である。

【図5D】開示された実施形態の態様による図５Ａのグラフィカルユーザインタフェースの一部の概略図である。

【図5E】開示された実施形態の態様による図５Ａのグラフィカルユーザインタフェースの一部の概略図である。

【図5F】開示された実施形態の態様による図５Ａのグラフィカルユーザインタフェースの一部の概略図である。

【図5G】開示された実施形態の態様による図５Ａのグラフィカルユーザインタフェースの一部の概略図である。

【図5H】開示された実施形態の態様による図５Ａのグラフィカルユーザインタフェースの一部の概略図である。

【図5I】開示された実施形態の態様による図５Ａのグラフィカルユーザインタフェースの一部の概略図である。

【図6】開示された実施形態の態様によるフロー図である。

【発明を実施するための形態】

【0008】

図１Ａ－図１Ｍは、開示された実施形態の態様による例示的な基板処理システムを例示している。開示された実施形態の態様は、図面を参照して説明されるが、多くの形態で実施され得ることが理解されるべきである。さらに、任意の適切なサイズ、形状または種類の要素または材料が使用され得る。開示された実施形態の態様は、半導体処理システムに関して本明細書で説明されているが、他の態様では、開示された実施形態は、限定されないが、自動車、航空宇宙および海事産業を含む、組み立ておよび／または製造のための自動化装置（たとえば、ロボットマニピュレータ、自動案内車両など）を利用する任意の適切な産業に適用されてもよいことも理解されるべきである。

【0009】

開示された実施形態の態様は、教示ペンダント機能を達成するために、互換性のあるスマートデバイス（たとえば、スマートフォンおよびタブレットデバイス）を活用している。開示された実施形態の態様は、相手先ブランド製造（ＯＥＭ）ハードウェア（たとえば、従来の専門の教示ペンダントおよび従来の専門の教示ペンダントに関連する電子機器およびハードウェアのすべて）を生産および／または製造するコストを削減させるだけでなく、製品およびエンドユーザに価値を加えるために教示ペンダントの機能性も向上させる。向上した機能性には、たとえば、高度にカスタマイズ可能なメニュー、教示ペンダントメニューを介する最小のナビゲーションで教示するプロセスステーション、および最小化されたセットアップ時間（たとえば、これは、結果として生産性を高め得る）を有するタッチスクリーンを備える使いやすいウェブベースのインタフェース（たとえば、グラフィカルユーザインタフェース）、ロボットの健全性状態および故障診断を照会しモニタリングする性能、ロボットコントローラからファームウェアのアップグレードおよびバックアップを実行する性能、ロボットの動作および検証のためにテストスクリプトをプログラムし実行する性能、熱膨張補償を可能にするためにロボットのアーム、駆動部、およびチャンバの温度をモニタリングする性能、ロボットステーションのための自動化された教示（「自動教示（AutoTeach）」と呼ばれる）アルゴリズムを実施する性能（たとえば、２０１５年１１月１０日に出願の発明の名称「Ｔｏｏｌ Ａｕｔｏ－Ｔｅａｃｈ Ｍｅｔｈｏｄｓ ａｎｄ Ａｐｐａｒａｔｕｓ」と題された米国特許出願第１４／９３７，６７６号明細書に開示され、その全体が参照により本明細書に組み込まれているものなど）、遠隔モニタリングのためのステーションに対するロボットの動作および位置のアニメーションを提供する性能、たとえば、（限定されないが）半導体装置用アプリケーション（互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤにインストールされているアプリケーションＳＤＰ１－ＳＤＰｎ）、製品マニュアル、コマンド構文、サービス報告、ファームウェア（または他の）アップグレード指示書、修理指示書、およびトラブルシューティングガイドを含む、自動化装置および／またはインターネットからの任意の適切な情報／文書へのユーザクセスを提供する性能、ならびにロボットのステーションの平準化、振動モニタリングおよび自動教示に対するチェックなどの教示および診断を支援するために互換性のあるスマートデバイスに埋め込まれたオンボードの感知能力を活用する性能などの、特徴が含まれ得る。これらのオンボードの感知能力によって、ロボット１０４Ｒのソフトウェアは、非限定的な例の非網羅的なリストとして、故障診断、健全性モニタリング、自動化された教示、高度な制御アルゴリズム、および熱膨張補償に対する、より高度なアルゴリズムに使用され得る追加の情報を評価することができる。

【0010】

上記に加えて、このような互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤの利用によって、ユーザまたはロボットソフトウェアは、限定されないが、たとえば、カメラ、温度センサ、加速度計、湿度センサ、ガス流量計、および真空品質用ゲージを含む、外部デバイスＥＤ１－ＥＤｎとさらに接続することができる（図４を参照）。このような外部デバイスＥＤ１－ＥＤｎへの接続のタイプは、Ｂｌｕｅｔｏｏｔｈ（登録商標）またはＷｉｆｉなどの、互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤのインタフェースの既存の性能を活用することによって確立され得る。たとえば、外部デバイスＥＤ１－ＥＤｎは、（１つまたは複数の）外部デバイスＥＤ１－ＥＤｎによって受信、感知または収集されたデータが（１つまたは複数の）外部デバイスＥＤ１－ＥＤｎから互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤに無線通信されるように、任意の適切な無線接続４９７（図４）を介して互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤと通信するための任意の適切な無線接続性を含み得る。

【0011】

アダプタペンダント４００（図２、図４Ａおよび図４Ｂを参照）はまた、ＥｔｈｅｒＣａｔ（登録商標）ネットワークなどの製造設備ＦＡＢの任意の適切なネットワーク２５８においてスレーブ装置として動作するなど、半導体製造設備ＦＡＢの環境との接続性の強化のためにインタフェースをさらに補足するように設計することができ、ここでは、アダプタペンダント４００は、ＥｔｈｅｒＣａｔ（登録商標）スレーブとして構成される。これによって、ユーザは、ロボット１０４Ｒまたは接続されたセンサＥＤ１－ＥＤｎからの情報／データを、ＥｔｈｅｒＣａｔ（登録商標）ネットワークなどの製造設備ＦＡＢネットワーク２５８に（またはＦＡＢネットワーク２５８からアダプタペンダント４００に）ストリーミングされるように、カスタマイズすることができる。一態様では、アダプタペンダント４００（およびそれに連結された互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤ）は、アダプタペンダント４００が連結されるロボット１０４Ｒの教示をもたらすために、他のロボット／ツールまたは製造設備の任意の他の適切な自動装置から任意の適切なデータを受信し得る。開示された実施形態の別の態様は、アダプタペンダント４００のデバイスが、ＲＳ－２３２シリアルポートを備えるものなどの古いロボットコントローラに対する後方互換性のインタフェースをサポートすることもできるということである。これによって、より古いまたは「レガシー（legacy）」製品を教示しモニタリングするためにも使用され得るように、互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤの利用が可能になる。なお、上述の性能は、互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤに対する物理的な修正を必要としない。任意のハードウェアの「カスタマイゼーション」が、アダプタペンダント４００の一部として実施され得る。しかし、この「カスタマイゼーション」は、開示された実施形態のインタフェースまたは接続性能の範囲を強化または拡張する目的で使用され得るので必須ではない。

【0012】

上記の（および本明細書でさらに詳細に説明される）性能は、任意の適切なアプリケーション／機能（図４Ｂに示され、本明細書に記載されるユーザ操作可能デバイス機能特性ＳＤＣ１－ＳＤＣｎのうちの１つまたは複数であり得る、図２に示される組込み機能および／またはアプリケーションＳＤＰ１－ＳＤＰｎを参照）によってまたはそれらにおいて提供されてもよく、これらは、互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤにダウンロードされ、互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤの任意の適切なアプリケーションプログラムインタフェース（ＡＰＩ）によって実行される。一態様では、アプリケーション／機能は、１つまたは複数の性能のための単一のアプリケーション、または１つまたは複数の性能のための複数のアプリケーション／機能であり得る。本明細書に記載され、互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤに常駐する１つまたは複数のアプリケーション／機能および／またはセンサによって有効にされる特徴／性能は、以下にさらに説明されるように、アダプタペンダント４００（図２、図４Ａおよび図４Ｂ）を介して搬送ロボット１０４Ｒのマシンコントローラ１１０に密接に連結される。密接な連結は、互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤ上のユーザ選択可能な入力／出力、そこから生成される動作コマンド／ユーザ選択（たとえば、入力／出力に対するユーザ選択によって、ロボットの動作、初期の位置（図２の位置２３０Ａ－２３０Ｃの１つなど）、他の位置（図２の位置２３０Ａ－２３０Ｃの１つなど）、自由に選択可能であるすべてのものを通知するロボット１０４Ｒの動作コマンド）、およびマシンコントローラ１１０の間で（入力／出力を再構成または反復／再送するように）介在する介在ロボット１０４Ｒの動作コマンドインタフェースを有していない。

【0013】

開示された実施形態の態様によれば、アダプタペンダント４００（図２、図４Ａおよび図４Ｂ）が提供される。アダプタペンダント４００は、互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤ（図４Ｂ）に常駐する所定の常駐ユーザ操作可能デバイス機能特性ＳＤＣ１－ＳＤＣｎ（たとえば、アプリケーション、プログラムモジュール、少なくとも１つのセンサ、データロギング機能、グラフィックディスプレイ、記録機能（たとえば、ビデオおよび／またはオーディオまたはその他のデータ）など）を有する互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤ（図２および図４Ｂ）（たとえば、スマートフォンまたはタブレット）を保持するための汎用の取付部／連結部を備えた携帯用クレードル（たとえば、「スマート」クレードル）である。開示された実施形態の一態様では、互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤは、一般的に互換性のあるデバイスであってもよく、すなわち、１つの互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤは、任意の他の互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤと交換可能であってもよい。したがって、互換性のあるスマートモバイルデバイス１６は、専用のデバイスではなく、半導体プロセスの搬送装置１０４の操作のために互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤにダウンロードされインストールされるアプリケーションに依存する代わりに、本明細書に記載されるような半導体プロセスの搬送装置１０４の操作に望まれる特定の固有の構造を有していない。一態様では、互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤは、このデバイスに搭載されている任意の特別なアプリケーションを必要とせずに、教示ペンダント機能（前述したようなロボット／基板保持ステーションの位置の教示など）を実行するために使用され得る。この場合、ユーザは、ウェブベースのブラウザ（Ｇｏｏｇｌｅ Ｃｈｒｏｍｅ（商標）、Ｍｏｚｉｌｌａ（登録商標）Ｆｉｒｅｆｏｘ（登録商標）、Ｍｉｃｒｏｓｏｆｔ Ｉｎｔｅｒｎｅｔ Ｅｘｐｌｏｒｅｒ（登録商標）、Ａｐｐｌｅ Ｓａｆａｒｉ（商標）、または常駐ユーザ操作可能デバイス機能特性ＳＤＣ１－ＳＤＣｎのうちの１つであり得る任意の他の適切なウェブベースのブラウザ）を利用して、（本明細書で説明するように）接続性を確立し、本開示のロボット１０４Ｒの制御およびデータ収集の態様を実施する役割を有する、ウェブサーバアプリケーションＷＳＡが存在するロボットコントローラ１１０に接続することになる。コントローラ１１０のウェブサーバアプリケーションＷＳＡに接続するためにウェブベースのブラウザが使用される場合、ウェブサーバアプリケーションＷＳＡは、ウェブベースのブラウザによって、ウェブアドレス、インターネットプロトコル（ＩＰ）アドレスを介して、または任意の他の適切な方法でアクセスされ得る。以下により詳細に説明するアダプタペンダント４００は、上述した従来の教示ペンダントの欠点を改善するだけでなく、教示ペンダントの製造／購入コストを削減する前述の利点を提供し、教示ペンダントの機能性を増大させて、製品およびエンドユーザに価値を加える。開示された実施形態の態様は、処理装置１００Ａ、１００Ｂ、１００Ｃ、１００Ｄ、１００Ｅ、１００Ｆ、１００Ｇ、１００Ｈ、または教示ペンダントを使用する任意の他の適切な自動化装置などの、任意の適切な処理装置とともに使用され得る。

【0014】

たとえば半導体ツールステーションなどの処理装置１００Ａ、１００Ｂ、１００Ｃ、１００Ｄ、１００Ｅ、１００Ｆ、１００Ｇ、１００Ｈは、開示された実施形態の態様に従って示されている。半導体ツールステーションが図面に示されているが、本明細書に記載する開示された実施形態の態様は、ロボットマニピュレータを利用する任意のツールステーションまたはアプリケーションに適用することができる。一態様では、処理装置１００Ａ、１００Ｂ、１００Ｃ、１００Ｄ、１００Ｅ、１００Ｆは、クラスタツール構成を有する（たとえば、中央チャンバに接続された基板保持ステーションを有する）ものとして示されているが、他の態様では、処理装置は、２０１３年３月１９日に発行された発明の名称「Ｌｉｎｅａｒｌｙ Ｄｉｓｔｒｉｂｕｔｅｄ Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ Ｗｏｒｋｐｉｅｃｅ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｔｏｏｌ」の米国特許第８，３９８，３５５号明細書（本開示はその全体が参照によって本明細書に組み込まれる）に記載されるように、直線状に配置されたツール１００Ｇ、１００Ｈであってもよく、しかし、開示された実施形態の態様は、任意の適切なツールステーションに適用されてもよい。装置１００Ａ、１００Ｂ、１００Ｃ、１００Ｄ、１００Ｅ、１００Ｆ、１００Ｇ、１００Ｈは、概して、大気フロントエンド１０１と、少なくとも１つの真空ロードロック１０２、１０２Ａ、１０２Ｂ、１０２Ｃと、真空バックエンド１０３とを含む。少なくとも１つの真空ロードロック１０２、１０２Ａ、１０２Ｂ、１０２Ｃは、任意の適切な配置で、大気フロントエンド１０１および／または真空バックエンド１０３の任意の適切な（１つまたは複数の）ポートまたは（１つまたは複数の）開口部に連結されてもよい。たとえば、一態様では、１つまたは複数の真空ロードロック１０２、１０２Ａ、１０２Ｂ、１０２Ｃは、図１Ｂ－図１Ｄおよび図１Ｇ－図１Ｋに見られるように、並列した配置で共通の水平面に配置されてもよい。他の態様では、１つまたは複数の真空ロードロックは、図１Ｅに示す通り、少なくとも２つの真空ロードロック１０２Ａ、１０２Ｂ、１０２Ｃ、１０２Ｄが、行（たとえば離間した水平面を有する）および列（たとえば離間した垂直面を有する）に配置されるように、格子状に配置されてもよい。さらに他の態様では、１つまたは複数のロードロックは、図１Ａに示すように単一の一列に並んだロードロック１０２であってもよい。また別の態様では、少なくとも１つの真空ロードロック１０２、１０２Ｅは、図１Ｆに示すように、積層された一列に並んだ配置で配置されてもよい。真空ロードロックは、搬送チャンバ１２５Ａ、１２５Ｂ、１２５Ｃ、１２５Ｄの端部１００Ｅ１または面１００Ｆ１上に例示されているが、他の態様では、１つまたは複数のロードロックは、搬送チャンバ１２５Ａ、１２５Ｂ、１２５Ｃ、１２５Ｄの任意の数の側面１００Ｓ１、１００Ｓ２、端部１００Ｅ１、１００Ｅ２または面１００Ｆ１－１００Ｆ８に配置されてもよいことが理解されるべきである。少なくとも１つのロードロックの各々はまた、基板がそれぞれの真空ロードロック内の適切な支持部上に保持される、１つまたは複数のウエハ／基板の載置面ＷＲＰ（図１Ｆ）を含んでもよい。他の態様では、ツールステーションは、任意の適切な構成を有し得る。大気フロントエンド１０１、少なくとも１つのロードロック１０２、１０２Ａ、１０２Ｂ、１０２Ｃおよびバックエンド１０３の各々のコンポーネントは、たとえばクラスタ化したアーキテクチャ制御部などの任意の適切な制御アーキテクチャの一部であり得るマシンコントローラ１１０に接続されてもよい。制御システムは、２０１１年３月８日に発行の発明の名称「Ｓｃａｌａｂｌｅ Ｍｏｔｉｏｎ Ｃｏｎｔｒｏｌ Ｓｙｓｔｅｍ」と題された米国特許第７，９０４，１８２号明細書（本開示はその全体が参照により本明細書に組み込まれる）に開示されるものなどの、マスタコントローラ（一態様ではマシンコントローラ１１０であってもよい）と、クラスタコントローラと、自律リモートコントローラとを有する閉ループコントローラであってもよい。他の態様では、任意の適切なコントローラおよび／または制御システムが利用されてもよい。マシンコントローラ１１０は、関節アーム（本明細書で説明するものなど）を１つの位置２３０Ａ、２３０Ｂ、２３０Ｃ（図２）から異なる他の位置２３０Ａ、２３０Ｂ、２３０Ｃに移動させるために少なくとも１つのモータ２００Ｍ１、２０Ｍ２（図２）を制御するように、搬送装置１０４の駆動セクション２００（図２）に動作可能に連結され、そこでは、１つの位置２３０Ｂ、２３０Ｃおよび他の位置２３０Ｂ、２３０Ｃのうちの少なくとも１つは、本明細書に記載するように、半導体処理装置１００Ａ、１００Ｂ、１００Ｃ、１００Ｄ、１００Ｅ、１００Ｆ、１００Ｇ、１００Ｈにおけるワークピース保持ステーションである。

【0015】

一態様では、フロントエンド１０１は、概して、ロードポートモジュール１０５およびたとえば機器フロントエンドモジュール（ＥＦＥＭ）などのミニエンバイロメント１０６を含む。ロードポートモジュール１０５は、３００ｍｍのロードポート、前部開口部または底部開口部のボックス／ポッドおよびカセットのための、ＳＥＭＩ規格Ｅ１５．１、Ｅ４７．１、Ｅ６２、Ｅ１９．５またはＥ１．９に準拠するボックスオープナ／ローダ・ツー・ツール・スタンダード（ＢＯＬＴＳ）のインタフェースであってもよい。他の態様では、ロードポートモジュールは、２００ｍｍのウエハ／基板インタフェース、４５０ｎｍのウエハ／基板インタフェース、または、たとえば、より大きいまたは小さい半導体ウエハ／基板、フラットパネルディスプレイ用のフラットパネル、ソーラーパネル、レチクル、もしくは任意の他の適切な物体などの、任意の他の適切な基板インタフェースとして構成されてもよい。３つのロードポートモジュール１０５が図１Ａ－図１Ｄ、図１Ｊおよび図１Ｋに示されているが、他の態様では、任意の適切な数のロードポートモジュールがフロントエンド１０１に組み込まれ得る。ロードポートモジュール１０５は、オーバーヘッド搬送システム、無人搬送車、有人搬送車、有軌道式搬送車、または任意の他の適切な搬送方法から基板キャリアまたはカセットＣを受け取るように構成されてもよい。ロードポートモジュール１０５は、ロードポート１０７を介してミニエンバイロメント１０６と接続してもよい。ロードポート１０７によって、基板カセットとミニエンバイロメント１０６との間の基板の通行が可能になり得る。ミニエンバイロメント１０６は、概して、本明細書に記載する開示された実施形態の１つまたは複数の態様を組み込み得る任意の適切な移送ロボット１０８を含む。一態様では、ロボット１０８は、たとえば、１９９９年１２月１４日に発行の米国特許第６，００２，８４０号明細書、２０１３年４月１６日に発行の米国特許第８，４１９，３４１号明細書、および２０１０年１月１９日に発行の米国特許第７，６４８，３２７号明細書（これらの開示は、それら全体が参照によって本明細書に組み込まれる）に記載されるロボットなどの軌道搭載型のロボットであってもよい。他の態様では、ロボット１０８は、バックエンド１０３に関して本明細書に記載するものとほぼ同様であり得る。ミニエンバイロメント１０６は、複数のロードポートモジュール間の基板移送のための制御されたクリーンゾーンを提供し得る。

【0016】

少なくとも１つの真空ロードロック１０２、１０２Ａ、１０２Ｂ、１０２Ｃは、ミニエンバイロメント１０６と真空バックエンド１０３との間に配置され、それらに接続され得る。他の態様では、ロードポート１０５は、実質的に直接、少なくとも１つのロードロック１０２、１０２Ａ、１０２Ｂ、１０２Ｃまたは搬送チャンバ１２５Ａ、１２５Ｂ、１２５Ｃ、１２５Ｄ、１２５Ｅ、１２５Ｆに連結されてもよく、ここでは、基板キャリアＣは、搬送チャンバ１２５Ａ、１２５Ｂ、１２５Ｃ、１２５Ｄの真空まで真空引きされ、基板は、基板キャリアＣと真空ロードロックまたは搬送チャンバとの間で直接移送される。この態様では、基板キャリアＣは、搬送チャンバの処理真空が基板キャリアＣ内に延びるようにロードロックとして機能し得る。理解され得るように、基板キャリアＣが、実質的に直接、適切なロードポートを介してロードロックに連結される場合、任意の適切な移送装置が、ロードロック内に設けられ得るか、そうでなければ基板キャリアＣへとおよび基板キャリアＣから基板を移送するためのキャリアＣへのアクセスを有し得る。なお、本明細書で使用する真空という用語は、基板が処理される１０^-5トール以下などの高真空を意味し得る。少なくとも１つのロードロック１０２、１０２Ａ、１０２Ｂ、１０２Ｃは、概して、大気および真空のスロットバルブを含む。ロードロック１０２、１０２Ａ、１０２Ｂのスロットバルブ（処理ステーション１３０用のものも）は、基板を大気フロントエンドから装填した後にロードロックを排気するために、および窒素などの不活性ガスでロックを通気する際に搬送チャンバ内の真空を維持するために利用される環境隔離を提供し得る。本明細書で説明するように、処理装置１００Ａ、１００Ｂ、１００Ｃ、１００Ｄ、１００Ｅ、１００Ｆ（および線形処理装置１００Ｇ、１００Ｈ）のスロットバルブは、（ロードポートに関して上述したように）同一の平面、異なる垂直に積み重ねられた面またはその組み合わせで配置され得ることで、搬送チャンバ１２５Ａ、１２５Ｂ、１２５Ｃ、１２５Ｄ、１２５Ｅ、１２５Ｆに連結された少なくとも処理ステーション１３０および真空ロードロック１０２、１０２Ａ、１０２Ｂ、１０２Ｃへのおよびそれらからの基板の移送に適応する。少なくとも１つのロードロック１０２、１０２Ａ、１０２Ｂ、１０２Ｃ（および／または大気フロントエンド１０１）はまた、基板の基準を処理に望ましい位置に並べるためのアライナ、または任意の他の適切な基板測定機器を含んでもよい。他の態様では、真空ロードロックは、処理装置の任意の適切な位置に配置され、任意の適切な構成を有し得る。

【0017】

真空バックエンド１０３は、概して、搬送チャンバ１２５Ａ、１２５Ｂ、１２５Ｃ、１２５Ｄ、１２５Ｅ、１２５Ｆと、１つまたは複数の処理ステーションまたはモジュール１３０と、本明細書に記載する開示された実施形態の１つまたは複数の態様を含み得る１つまたは複数の搬送ロボット１０４Ｒ（各々が、後述する少なくとも１つのモータ２００Ｍ１、２００Ｍ２を備える駆動セクション２００と、少なくとも１つ関節アームとを有しており、少なくとも１つ関節アームは、関節アームの関節運動を駆動させるために駆動セクション２００に連結されている－図２を参照）を含む任意の適切な数の半導体プロセスの搬送装置１０４（本明細書では搬送装置１０４と呼ぶ）と、を含む。搬送チャンバ１２５Ａ、１２５Ｂ、１２５Ｃ、１２５Ｄ、１２５Ｅ、１２５Ｆは、たとえば、ＳＥＭＩ規格Ｅ７２ガイドラインに準拠する任意の適切な形状およびサイズを有し得る。（１つまたは複数の）搬送装置１０４および１つまたは複数の搬送ロボット１０４Ｒ（これは、本明細書に記載するこれらのロボットと実質的に類似し得る）は、以下で説明するが、ロードロック１０２、１０２Ａ、１０２Ｂ、１２０Ｃ（またはロードポートに位置するカセットＣ）と様々な処理ステーション１３０との間に基板を搬送するために、少なくとも部分的に搬送チャンバ１２５Ａ、１２５Ｂ、１２５Ｃ、１２５Ｄ、１２５Ｅ、１２５Ｆ内に配置されてもよい。一態様では、搬送装置１０４は、ＳＥＭＩ規格Ｅ７２ガイドラインに準拠するように、モジュラユニットとして搬送チャンバ１２５Ａ、１２５Ｂ、１２５Ｃ、１２５Ｄ、１２５Ｅ、１２５Ｆから取り外し可能であり得る。

【0018】

処理ステーション１３０は、様々な堆積、エッチング、または他の種類のプロセスを介して基板上で動作することで、基板上に電気回路または他の望ましい構造を形成し得る。典型的なプロセスには、限定されないが、プラズマエッチングまたは他のエッチングプロセス、化学蒸着（ＣＶＤ）、プラズマ蒸着（ＰＶＤ）などの、真空を使用する薄膜プロセス、イオン注入などの注入、計測、急速熱処理（ＲＴＰ）、ドライストリップ原子層堆積（ＡＬＤ）、酸化／拡散、窒化物の形成、真空リソグラフィ、エピタキシ（ＥＰＩ）、ワイヤボンダ、および真空圧を使用する蒸着または他の薄膜プロセスが挙げられる。処理ステーション１３０が、スロットバルブＳＶを介するなど、任意の適切な方法で、搬送チャンバ１２５Ａ、１２５Ｂ、１２５Ｃ、１２５Ｄ、１２５Ｅ、１２５Ｆに連通可能に接続されることで、基板は、搬送チャンバ１２５Ａ、１２５Ｂ、１２５Ｃ、１２５Ｄ、１２５Ｅ、１２５Ｆから処理ステーション１３０に通されることが可能になり、逆に処理ステーション１３０から搬送チャンバ１２５Ａ、１２５Ｂ、１２５Ｃ、１２５Ｄ、１２５Ｅ、１２５Ｆに通されることも可能になる。搬送チャンバ１２５Ａ、１２５Ｂ、１２５Ｃ、１２５Ｄ、１２５Ｅ、１２５ＦのスロットバルブＳＶは、対（twin）（たとえば、共通のハウジング内に配置された複数の基板処理チャンバ）または並列したプロセスステーション１３０Ｔ１－１３０Ｔ８、単一のプロセスステーション１３０Ｓおよび／または積層したプロセスモジュール／ロードロック（図１Ｅおよび図１Ｆ）の接続を可能にするように配置されてもよい。

【0019】

なお、移送チャンバ１２５Ａ、１２５Ｂ、１２５Ｃ、１２５Ｄ、１２５Ｅ、１２５Ｆに連結された、処理ステーション１３０、ロードロック１０２、１０２Ａ、１０２Ｂ、１０２Ｃ（またはカセットＣ）へのおよびそれらからの基板の移送は、搬送装置１０４の１つまたは複数のアームが搬送装置１０４の伸長および収縮の軸Ｒに沿って所定の処理ステーション１３０と整列されるときに生じ得る。開示された実施形態の態様によれば、１つまたは複数の基板は、個々にまたはほぼ同時にそれぞれの所定の処理ステーション１３０に移送され得る（たとえば、図１Ｂ、図１Ｃ、図１Ｄおよび図１Ｇ－図１Ｋに示すように、基板が、並列または直列した処理ステーションから取り出される／配置されるときなど）。一態様では、搬送装置１０４は、ブームアーム１４３上に取り付けられてもよく（たとえば、図１Ｄおよび図１Ｇ－図１Ｉを参照）、ここでは、ブームアーム１４３は、単一のブームリンクもしくは複数のブームリンク１２１、１２２、または２０１３年１０月１８日出願の発明の名称「Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ａｐｐａｒａｔｕｓ」と題された米国仮特許出願第６１／８９２，８４９号明細書および２０１３年１１月１５日出願の発明の名称「Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ａｐｐａｒａｔｕｓ」と題された米国仮特許出願第６１／９０４，９０８号明細書および２０１３年２月１１日出願の発明の名称「Ｓｕｂｓｔｒａｔｅ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ａｐｐａｒａｔｕｓ」と題された国際特許出願番号ＰＣＴ／ＵＳ２０１３／０２５５１３号明細書（これらの開示は、それら全体が参照によって本明細書に組み込まれる）に記載されるような線形キャリッジ１４４を有している。

【0020】

ここで図１Ｌを参照すると、リニアウエハ処理システム１００Ｇの概略平面図が示されており、ここでは、ツールインタフェースセクション２０１２が搬送チャンバモジュール３０１８に取り付けられており、それによって、インタフェースセクション２０１２は、概して搬送チャンバ３０１８の長手方向軸Ｘの方向に（たとえば内側に）面しているが、長手方向軸Ｘからオフセットされている。搬送チャンバモジュール３０１８は、米国特許第８，３９８，３５５号明細書（前に参照によって本明細書に組み込まれている）に記載されるように、他の搬送チャンバモジュール３０１８Ａ、３０１８Ｉ、３０１８Ｊをインタフェース２０５０、２０６０、２０７０に取り付けることによって、任意の適切な方向に伸長され得る。各搬送チャンバモジュール３０１８、３０１８Ａ、３０１８Ｉ、３０１８Ｊは、ウエハを、処理システム１００Ｇを通して、たとえば、処理モジュールＰＭへとおよび処理モジュールＰＭから搬送するための、本明細書に記載する開示された実施形態の１つまたは複数の態様を含み得る、任意の適切なウエハ搬送部２０８０を含む。理解され得るように、各チャンバモジュールは、隔離されたまたは制御された雰囲気（たとえば、Ｎ２、清浄空気、真空）を保持することができてもよい。

【0021】

図１Ｍを参照すると、リニア搬送チャンバ４１６の長手方向軸Ｘに沿って得られるものなどの例示的な処理ツール１００Ｈの概略立面図が示されている。図１Ｍに示す開示された実施形態の態様では、ツールインタフェースセクション１２は、搬送チャンバ４１６に典型的に接続され得る。この態様では、インタフェースセクション１２は、ツール搬送チャンバ４１６の一端を画定し得る。図１Ｍに見られるように、搬送チャンバ４１６は、たとえばインタフェースステーション１２と対向する端部で、別のワークピースの入口／出口ステーション４１２を有してもよい。他の態様では、搬送チャンバからワークピースを挿入／取り出しするための他の入口／出口ステーションが設けられてもよい。一態様では、インタフェースセクション１２および入口／出口ステーション４１２は、ツールからのワークピースの積み込みおよび積み下ろしを可能にし得る。他の態様では、ワークピースは、一端からツール内に積み込まれ、他端から取り出され得る。一態様では、搬送チャンバ４１６は、１つまたは複数の搬送チャンバモジュール１８Ｂ、１８ｉを有してもよい。各チャンバモジュールは、隔離されたまたは制御された雰囲気（たとえば、Ｎ２、清浄空気、真空）を保持することができてもよい。前に述べたように、搬送チャンバモジュール１８Ｂ、１８ｉ、ロードロックモジュール５６Ａ、５６、および図１Ｍに示す搬送チャンバ４１６を形成するワークピースのステーションの構成／配置は、単に例示的なものであり、他の態様では、搬送チャンバは、任意の望ましいモジュール配置で配置されたより多くのまたはより少ないモジュールを有してもよい。図示の態様では、ステーション４１２は、ロードロックであってもよい。他の態様では、ロードロックモジュールは、端部の入口／出口ステーション（ステーション４１２と同様）間に配置され得るか、または隣接する搬送チャンバモジュール（モジュール１８ｉと同様）は、ロードロックとして動作するように構成され得る。

【0022】

また、前に述べたように、搬送チャンバモジュール１８Ｂ、１８ｉは、その中に配置された、本明細書に記載する開示された実施形態の１つまたは複数の態様を含み得る１つまたは複数の対応する搬送ロボット２６Ｂ、２６ｉを有している。それぞれの搬送チャンバモジュール１８Ｂ、１８ｉの搬送ロボット２６Ｂ、２６ｉは、協働して、搬送チャンバ内に直線状に分布されたワークピース搬送システム４２０を提供し得る。この態様では、搬送ロボット２６Ｂは、一般的なＳＣＡＲＡアーム構成を有してもよい（しかし他の態様では、搬送アームは、以下に説明するような任意の他の望ましい配置を有してもよい）。

【0023】

図１Ｍに示す開示された実施形態の態様では、搬送ロボット２６Ｂのアームおよび／またはエンドエフェクタは、取り上げ／配置位置からウエハを迅速に交換する搬送を可能にする、高速交換配置と呼ばれ得るものを提供するように配置されてもよい。搬送アーム２６Ｂは、各アームに任意の適切な数の自由度（たとえば、Ｚ軸運動を伴うショルダおよびエルボのジョイントの周りの独立した回転など）を提供するための、任意の適切な駆動セクション２００（たとえば、同軸に配置された駆動シャフト、並列の駆動シャフト、水平方向に隣接するモータ、垂直に積層されたモータなど－図２を参照）を有してもよい。図１Ｍに見られるように、この態様では、モジュール５６Ａ、５６、３０ｉは、搬送チャンバモジュール１８Ｂ、１８ｉの間の間隙に配置され、適切な処理モジュール、（１つまたは複数の）ロードロック、（１つまたは複数の）バッファステーション、（１つまたは複数の）計測ステーション、または任意の他の望ましい（１つまたは複数の）ステーションを画定し得る。たとえば、ロードロック５６Ａ、５６およびワークピースステーション３０ｉなどの間隙モジュールは各々、搬送アームと協働して搬送チャンバの直線軸Ｘに沿った搬送チャンバの全長にわたる搬送またはワークピースを有効にする固定したワークピースの支持体／棚５６Ｓ、５６Ｓ１、５６Ｓ２、３０Ｓ１、３０Ｓ２を有している。一例として、（１つまたは複数の）ワークピースは、インタフェースセクション１２によって搬送チャンバ４１６内に搭載されてもよい。（１つまたは複数の）ワークピースは、インタフェースセクションの搬送アーム１５とともにロードロックモジュール５６Ａの（１つまたは複数の）支持体上に配置されてもよい。ロードロックモジュール５６Ａ内の（１つまたは複数の）ワークピースは、モジュール１８Ｂ内の搬送アーム２６Ｂによってロードロックモジュール５６Ａとロードロックモジュール５６との間で、および同様のおよび連続的な方法で（モジュール１８ｉ内の）アーム２６ｉを用いてロードロック５６とワークステーション３０ｉとの間で、およびモジュール１８ｉ内のアーム２６ｉを用いてステーション３０ｉとステーション４１２との間で移動されてもよい。このプロセスは、（１つまたは複数の）ワークピースを反対方向に移動させるために全体的または部分的に逆にされてもよい。したがって、一態様では、ワークピースは、軸Ｘに沿って任意の方向におよび搬送チャンバに沿って任意の位置に移動され、搬送チャンバと連通する任意の望ましい（処理またはその他の）モジュールに搭載され得る、およびそこから取り外され得る。他の態様では、固定したワーク支持体または棚を備える間隙搬送チャンバモジュールは、搬送チャンバモジュール１８Ｂ、１８ｉ間に設けられなくてもよい。そのような態様では、隣接する搬送チャンバモジュールの搬送アームは、ワークピースを、直接、エンドエフェクタまたは一方の搬送アームから、別の搬送アームのエンドエフェクタに通過させて、搬送チャンバを通り抜けさせ得る。処理ステーションモジュールは、様々な堆積、エッチング、または他の種類のプロセスを介してウエハ上で動作することで、ウエハ上に電気回路または他の望ましい構造を形成し得る。処理ステーションモジュールが搬送チャンバモジュールに接続されることで、ウエハが搬送チャンバから処理ステーションに渡されることが可能になり、処理ステーションから搬送チャンバに渡されることも可能になる。図１Ｄに描いた処理装置に類似した一般的な特徴を備える処理ツールの好適な例が、米国特許第８，３９８，３５５号明細書に記載されており、前にその全体が参照によって本明細書に組み込まれている。

【0024】

ここで図２および図３Ａ－図３Ｅを参照すると、ブームアーム１４３および／または搬送装置１０４は、任意の適切な（１つまたは複数の）アームリンク機構を含み得る。アームリンク機構の適切な例は、たとえば、２００９年８月２５日に発行された米国特許第７，５７８，６４９号明細書、１９９８年８月１８日に発行された米国特許第５，７９４，４８７号明細書、２０１１年５月２４日に発行された米国特許第７，９４６，８００号明細書、２００２年１１月２６日に発行された米国特許第６，４８５，２５０号明細書、２０１１年２月２２日に発行された米国特許第７，８９１，９３５号明細書、２０１３年４月１６日に発行された米国特許第８，４１９，３４１号明細書、および２０１１年１１月１０日に出願された発明の名称「Ｄｕａｌ Ａｒｍ Ｒｏｂｏｔ」と題された米国特許出願第１３／２９３，７１７号明細書および２０１３年９月５日に出願された発明の名称「Ｌｉｎｅａｒ Ｖａｃｕｕｍ Ｒｏｂｏｔ ｗｉｔｈ Ｚ Ｍｏｔｉｏｎ ａｎｄ Ａｒｔｉｃｕｌａｔｅｄ Ａｒｍ」と題された米国特許出願第１３／８６１，６９３号明細書（これらの開示はすべて、それら全体が参照によって本明細書に組み込まれる）で見ることができる。開示された実施形態の態様では、各々の搬送装置１０４の少なくとも１つの搬送アーム、ブームアーム１４３および／またはリニアスライド１４４は、アッパーアーム３１５Ｕ、バンド駆動のフォアアーム３１５Ｆ、バンド制限されたエンドエフェクタ３１５Ｅを含む、従来のＳＣＡＲＡアーム３１５（選択的コンプライアント関節ロボットアーム）（図３Ｃ）のタイプ設計、または伸縮アームもしくはデカルトリニアスライドアーム３１４（図３Ｂ）などの他の任意の適切なアーム設計に起因し得る。搬送アームの適切な例は、たとえば、２００８年５月８日に出願された発明の名称「Ｓｕｂｓｔｒａｔｅ Ｔｒａｎｓｐｏｒｔ Ａｐｐａｒａｔｕｓ ｗｉｔｈ Ｍｕｌｔｉｐｌｅ Ｍｏｖａｂｌｅ Ａｒｍｓ Ｕｔｉｌｉｚｉｎｇ ａ Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｓｗｉｔｃｈ Ｍｅｃｈａｎｉｓｍ」と題された米国特許出願第１２／１１７，４１５号明細書および２０１０年１月１９日に発行された米国特許第７，６４８，３２７号明細書で見ることができ、これらの開示は、それら全体が参照によって本明細書に組み込まれる。搬送アームの動作は、互いに独立し得る（たとえば、各アームの伸長／収縮は、他のアームとは独立している）か、ロストモーションスイッチを介して動作され得るか、またはアームが少なくとも１つの共通の駆動軸を共有するように任意の適切な方法で動作可能にリンクされ得る。さらに他の態様では、搬送アームは、フロッグレッグアーム３１６（図３Ａ）構成、カエル跳び型のアーム（leap frog arm）３１７（図３Ｅ）構成、左右対称型のアーム３１８（図３Ｄ）構成などの任意の他の望ましい構成を有し得る。搬送アームの適切な例は、２００１年５月１５日に発行された米国特許第６，２３１，２９７号明細書、１９９３年１月１９日に発行された米国特許第５，１８０，２７６号明細書、２００２年１０月１５日に発行された米国特許第６，４６４，４４８号明細書、２００１年５月１日に発行された米国特許第第６，２２４，３１９号明細書、１９９５年９月５日に発行された米国特許第５，４４７，４０９号明細書、２００９年８月２５日に発行された米国特許第７，５７８，６４９号明細書、１９９８年８月１８日に発行された米国特許第５，７９４，４８７号明細書、２０１１年５月２４日に発行された米国特許第７，９４６，８００号明細書、２００２年１１月２６日に発行された米国特許第６，４８５，２５０号明細書、２０１１年２月２２日に発行された米国特許第７，８９１，９３５号明細書、および２０１１年１１月１０日に出願された発明の名称「Ｄｕａｌ Ａｒｍ Ｒｏｂｏｔ」と題された米国特許出願第１３／２９３，７１７号明細書および２０１１年１０月１１日に出願された発明の名称「Ｃｏａｘｉａｌ Ｄｒｉｖｅ Ｖａｃｕｕｍ Ｒｏｂｏｔ」と題された米国特許出願第１３／２７０，８４４号明細書で見ることができ、これらの開示はすべて、それら全体が参照によって本明細書に組み込まれる。なお、ブームアーム１４３が、搬送アーム３１４、３１５、３１６、３１７、３１８とほぼ類似した構成を有してもよく、ここでは、搬送装置１０４は、エンドエフェクタ３１５Ｅ、３１６Ｅ、３１７Ｅ１、３１７Ｅ１、３１８Ｅ１、３１８Ｅ２の代わりにブームアームに取り付けられる。

【0025】

理解され得るように、（１つまたは複数の）搬送アーム３１４、３１５、３１６、３１７、３１８は、フレーム２００Ｆに対する運動の少なくとも１つの軸（たとえば、Ｒ、θ、Ｚのうちの少なくとも１つ）に沿って搬送アーム３１４、３１５、３１６、３１７、３１８の関節動作によって画定された搬送空間ＴＳＰ（図２を参照）において、第１のアーム位置２３０Ａ（たとえば、搬送アームの後退位置など－図２を参照）と、第１のアーム位置２３０Ａとは異なる第２のアーム位置２３０Ｂまたは２３０Ｃ（たとえば、搬送アームの伸長位置など－図２を参照）との間で、それぞれの駆動セクション２００が、フレーム２００Ｆまたは処理ツール１００Ａ－１００Ｈの任意の適切なフレームなどのフレームに対する搬送アーム３１４、３１５、３１６、３１７、３１８の関節運動をもたらすように、任意の適切な方法で、それぞれの駆動セクション２００に動作可能に連結されている。駆動セクションの好適な例は、上述した特許出願および公報だけでなく、たとえば、米国特許第６，８４５，２５０号明細書、第５，８９９，６５８号明細書、第５，８１３，８２３号明細書、および第５，７２０，５９０号明細書で見ることができ、これらの開示は、それら全体が参照によって本明細書に組み込まれる。コントローラ１１０などの任意の適切なコントローラも、搬送アーム３１４、３１５、３１６、３１７、３１８の関節運動をもたらすために、駆動セクション２００を駆動するように、任意の適切な方法で駆動セクション２００に連結される。

【0026】

ここで図２、図４Ａおよび図４Ｂを参照すると、アダプタペンダント４００は、たとえば、入力／出力Ｉ／Ｏのためにマシンコントローラ１１０と動作可能に連結されるように、任意の適切な半導体搬送装置１０４とともに含まれ得るかまたはその一部となり得る。一態様では、アダプタペンダント４００は、任意の適切な方法（たとえば、ユニバーサルシリアルバス（ＵＳＢ）の連結、ＦｉｒｅＷｉｒｅ（商標）の連結、Ｔｈｕｎｄｅｒｂｏｌｔ（商標）の連結、シリアルインタフェース（たとえば、ＲＳ－２３２など）、Ｓａｆｅｔｙ ｏｖｅｒ ＥｔｈｅｒＣａｔ（登録商標）を介するなど）で、ロボット１０４Ｒ（および、マシンコントローラ１１０）に配線され得る４９９が、他の態様では、アダプタペンダントは、任意の適切な無線通信プロトコル（たとえば、限定されないが、Ｂｌｕｅｔｏｏｔｈ（登録商標）、Ｚｉｇｂｅｅ（登録商標）、Ｚ－Ｗａｖｅ（登録商標）、無線ローカルエリアネットワークＩＥＥＥ８０２．１１規格などを含む）を介して任意の適切な方法で、ロボット１０４Ｒ（および、マシンコントローラ１１０）に無線接続され得る４９８。一態様では、アダプタペンダント４００は、既存の／レガシー処理装置／ロボットと後方互換性を有するように構成されている。たとえば、アダプタペンダント４００と、たとえば、既存の／レガシーロボットとの間で使用される通信プロトコルは、配線された４９９連結を介して実施される標準的なＲＳ－２３２通信プロトコルであってもよく、ここでは、互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤは、アダプタペンダント４００内で一体化されたドライバおよびアダプタモジュール４４０を使用して、既存の／レガシーロボットと通信することができる。ここで、レガシーコマンドは、古い製品／装置が、開示された実施形態の態様から恩恵を得ることができるように（たとえば、アダプタペンダント４００および互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤを介して）サポートされ得る。

【0027】

アダプタペンダント４００は、任意の適切な互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤ用のクレードルまたはその他のユニバーサルマウント４１０を形成するフレーム４０１を含む。ユニバーサルマウント４１０は、互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤが挿入され、保持される凹部、または互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤが固定される任意の適切なブラケットであり得る。以下では、互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤとアダプタペンダント４００との間の通信インタフェースについて説明する。

【0028】

アダプタペンダント４００は、ロボット１０４Ｒおよび／または半導体プロセスの搬送装置１０４の動作モードを変更するように構成されたモード切替スイッチ４２９（図２）と概して呼ばれるものを含み得る。一態様では、モード切替スイッチ４２９は、ライブマンスイッチ４３０、Ｅストップスイッチ４５０および動作選択スイッチ４６０のうちの１つまたは複数を含む。一態様では、ライブマンスイッチ４３０またはその同等物は、（アダプタペンダント４００と一体になるように）任意の適切な方法でフレーム４０１に連結され、アダプタペンダント４００を使用しながらロボット１０４Ｒを動作することが可能になる。たとえば、ライブマンスイッチ４３０は、３位置ライブマン（または有効化）スイッチ４３０または任意の他の適切な機能的に同等なスイッチであってもよい。例示目的で、３位置ライブマンスイッチは、軽く押されて第２の位置４３０Ｐ２（「オン（ON）」または第２の位置）で保持されたときにのみロボット１０４Ｒの動作を許容する３位置スイッチ（スイッチの第１の位置４３０Ｐ１、第２の位置４３０Ｐ２、および第３の位置４３０Ｐ３に順次対応するオフ－オン－オフ（OFF-ON-OFF））である。３位置ライブマンスイッチは、解除されたとき（「オフ（OFF）」または第１の位置）または完全に押し下げられたとき（「オフ」または第３の位置）などの、第１の位置４３０Ｐ１および第３の位置４３０Ｐ３にあるときに、ロボット１０４Ｒの動作を不能にする。ライブマンスイッチ４３０は、アダプタペンダント４００が利用される用途（たとえば、半導体、自動車、製造、組み立てなどの任意の産業のための自動化されたロボットまたは他の用途）をカバーする任意の適切な産業基準（Ｅストップスイッチ４５０に関して本明細書に記載するものを含む）に従って、（本明細書で説明するような）ロボット１０４Ｒに適合し、その動作を停止させ得る。一態様では、適用可能である場合、ライブマンスイッチ４３０は、互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤのディスプレイ４７７に表示されるグラフィカルユーザインタフェースＧＵＩを介するなど、互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤを介して実施されてもよい。たとえば、グラフィカルユーザインタフェースＧＵＩは、ライブマンアイコン５９９（図５Ａの「進む（GO）」アイコンなど）を含んでもよく、それによって、ロボット１０４Ｒの動作が可能になるが、ロボット１０４Ｒの（たとえば、移動を可能にするための）動作のためには、ユーザが（たとえば、ユーザの指などで）ライブマンアイコン５９９との物理的な接触を維持する必要があり、ユーザとライブマンアイコン５９９との間の物理的な接触が遮断されると、ライブマンスイッチ４３０に関して本明細書に記載される方法と類似した方法でロボット動作が停止する。さらに、タッチ式スクリーン（たとえば、感圧性の特徴（たとえば、感圧式タッチスクリーン）を備えた互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤのディスプレイ４７７など）は、ユーザがライブマンアイコン５９９との接触を遮断したときや、ユーザがライブマンアイコン５９９を強く押しすぎたときに、ロボットが停止するように、従来の３位置ライブマンスイッチのオフ－オン－オフ機能を提供するように機能し得る。

【0029】

アダプタペンダント４００はまた、緊急停止スイッチ、緊急機械停止スイッチ／緊急遮断（ＥＭＯ）、電子遮断（ＥＳＯ）、緊急システムオフスイッチ、および／または、アダプタペンダント４００と一体になるように任意の適切な方法でフレーム４０１に連結された他の適切なスイッチ（概して、図２、図４Ａおよび図４Ｂに例示され、Ｅストップスイッチ４５０と呼ばれる）のうちの１つまたは複数を含んでもよい。Ｅストップスイッチ４５０は、限定されないが、ＳＥＭＩＳ２－９３規格；ＡＮＳＩ（アメリカ規格協会）Ｂ１１、電気および機械設備ガイドライン（Electrical and Mechanical Equipment Guidelines）規格；および／またはＡＮＳＩ／ＮＦＰＡ（アメリカ防火協会）７９、少なくとも停止カテゴリ０（マシンに対する電力の即時の除去または危険な要素の機械的切断（クラッチ切断））および停止カテゴリ１（機械を停止するために使用可能な電力で制御された停止、その後停止が達成されたときに電力を除去）のための工業機械規格に対する電気規格を含む、アダプタペンダント４００が使用される用途（たとえば、自動化ロボットまたは半導体、自動車、製造、組み立てなどの任意の産業のための他の用途）をカバーする任意の適用可能な産業規格に準拠し得る。一態様では、適用可能である場合に、Ｅストップスイッチ４５０は、互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤのグラフィカルユーザインタフェースＧＵＩを介するなど、互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤを介して実施されてもよい。たとえば、グラフィカルユーザインタフェースＧＵＩは、ロボット１０４Ｒの動作を無効にする緊急停止アイコン５９８（図５Ａの「停止！（STOP!）」アイコンなど）を含んでもよく、それによって、緊急停止アイコンがユーザによって押される／タッチされると、ロボット動作は、Ｅストップスイッチ４５０に関して記載される方法と類似した方法で停止する。

【0030】

アダプタペンダント４００はまた、動作選択スイッチ４６０を含んでもよい。動作選択スイッチ４６０は、たとえばアダプタペンダント４００が連結されるロボット１０４Ｒの動作モードを切り替えるように構成されている。ロボット１０４Ｒの動作モードは、自動動作モード、手動動作モードおよび／または教示動作モードを含み得る。一態様では、ロボット１０４Ｒの動作モードの選択は、互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤのソフトウェアおよび／またはアダプタペンダント４００のハードウェアを介して有効にされ得る。たとえば、互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤおよびアダプタペンダント４００は、互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤとアダプタペンダントとの連結によって、少なくとも手動動作モードおよび教示動作モードが有効になる（どのモードも、その後、互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤのグラフィカルユーザインタフェースＧＵＩを介して選択され得る）ように構成されてもよい。一態様では、互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤとアダプタペンダントとの連結によって、自動動作モード、手動動作モード、および教示動作モードが可能になる（どのモードも、その後、互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤのグラフィカルユーザインタフェースＧＵＩを介して選択され得る）。一態様では、アダプタペンダント４００からの互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤの取り外しまたは連結解除は、手動動作モードおよび教示動作モードでのロボット１０４Ｒの動作を除外し得る（たとえば、ロボット１０４Ｒは、互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤがアダプタペンダント４００から取り外される／連結解除されている状態で、自動動作モードでのみ動作し得る）。

【0031】

一態様では、アダプタペンダント４００は、任意の適切な方法でフレーム４０１に連結された物理モード切替スイッチ４７３を含んでもよい。モード切替スイッチ４７３は、インタフェース４１０を介して互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤに動作可能に連結されてもよく、それによって、モード切替スイッチ４７３が自動、手動および教示モード間で切り替えられると、互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤのグラフィカルユーザインタフェースＧＵＩは自動的に変更される、たとえば、スマートデバイスは、自動的に、モード切替スイッチ４７３の位置に応じて、異なる動作スクリーン（以下で説明するものなど）をユーザに表示するように構成される。

【0032】

図２、図４Ａおよび図４Ｂを参照すると、上述したように、アダプタペンダント４００は、互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤおよびロボット１０４Ｒの両方に動作可能に連結される。一態様では、ロボット１０４Ｒの移動は、互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤがアダプタペンダント４００に動作可能に連結されているときに、任意の適切な教示パラメータ内にあるように運動学的に（たとえば、速度、加速度、ジャーク、トルクなど）制限され得る。互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤおよびロボット１０４Ｒの両方の動作可能な連結を促進するために、アダプタペンダント４００は、マシンコントローラインタフェース４０５および別のインタフェース４１０を含む。マシンコントローラインタフェース４０５は、配線された４９９連結または無線４９８連結を使用して、上述の方法でアダプタペンダント４００を入力／出力Ｉ／Ｏのためにマシンコントローラ１１０と動作可能に連結させる。別のインタフェース４１０は、マシンコントローラインタフェース４０５とは異なり、互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤと動作可能に接続するように構成されている。

【0033】

上述したように、互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤは、互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤに常駐する所定の常駐ユーザ操作可能デバイス機能特性ＳＤＣ１－ＳＤＣｎを有している。別のインタフェース４１０は、互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤと別のインタフェース４１０との結合によって、アダプタペンダント４００を介するマシンコントローラ１１０への入力／出力Ｉ／Ｏを画定して、１つの位置２３０Ａ、２３０Ｂ、２３０Ｃ（図２）から他の位置２３０Ａ、２３０Ｂ、２３０Ｃ（図２）へのロボット１０４Ｒの関節アーム３１５の動作を制御するための入力コマンドおよび出力信号をもたらすように、互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤの常駐ユーザ操作可能デバイス機能特性ＳＤＣ１－ＳＤＣｎの少なくとも１つの構成が自動的に可能になるような、接続構成４１０Ｃを有している。一態様では、別のインタフェース４１０は、互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤと別のインタフェース４１０との結合によって、アダプタペンダント４００を介する、マシンコントローラ１１０と結合された互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤのユーザ操作可能機能特性ＳＤＣ１－ＳＤＣｎのうちの少なくとも１つの密接な連結が有効にされ、それによって、別のインタフェースＳＤに結合された互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤのユーザ操作可能デバイス機能特性ＳＤＣ１－ＳＤＣｎのうちの少なくとも１つが、半導体プロセスの搬送装置１０４の密接に連結されたユーザ選択可能な入力／出力４９８ＣＣ、４９９ＣＣを画定する（図４Ｂを参照）ような、接続構成を有している。なお、互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤのユーザ操作可能機能特性ＳＤＣ１－ＳＤＣｎのうちの少なくとも１つの密接な連結４９８ＣＣ、４９９ＣＣは、互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤ上のユーザ選択可能な入力／出力、そこから生成される動作コマンド／ユーザ選択（たとえば、入力／出力に対するユーザ選択によって、ロボットの動作、初期の位置（位置２３０Ａ－２３０Ｃの１つなど－図２）、他の位置（位置２３０Ａ－２３０Ｃの１つなど－図２）、自由に選択可能であるすべてのものを知らせるロボット１０４Ｒの動作コマンド）およびマシンコントローラ１１０間で（入力／出力を再構成または反復／再送するように）介在する介在ロボット１０４Ｒ動作コマンドインタフェースを有していない。

【0034】

一態様では、接続構成は、プラグアンドプレイ接続構成であり、（上述したような）短距離または近距離無線周波数の連結およびユニバーサルシリアルバスポートの連結（または上述したような他の有線連結）のうちの少なくとも１つである。一態様では、常駐ユーザ操作可能デバイス機能特性ＳＤＣ１－ＳＤＣｎのうちの少なくとも１つの構成は、アダプタペンダント４００に結合された互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤのユーザ初期化で自動的に可能にされる。たとえば、一態様では、ロボット１０４Ｒとインタフェース接続するためのグラフィカルユーザインタフェースＧＵＩ（およびマシンコントローラ１１０）は、自動的に「起動」または初期化されて、互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤ上に視覚的に表示され（たとえば、ユーザがロボット１０４Ｒの関節アーム３１５を制御することができるように開かれ）、一方、他の態様では、ユーザは、コントローラ１１０およびロボット１０４Ｒとインタフェース接続するための常駐ユーザ操作可能デバイス機能特性ＳＤＣ１－ＳＤＣｎのうちの少なくとも１つをアクティブに選択する必要があってもよく、それにより、グラフィカルユーザインタフェースＧＵＩは、互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤ上に表示される。

【0035】

一態様では、別のインタフェース４１０の接続構成４１０Ｃは、互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤと別のインタフェース４１０との結合によって、互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤ上の少なくとも別の所定の常駐ユーザ操作可能機能特性ＳＤＣＬのロックアウト（または制限されたアクセス／機能）を初期化するように配置される。なお、少なくとも別の所定の常駐ユーザ操作可能機能特性ＳＤＣＬは、所定の常駐ユーザ操作可能機能特性ＳＤＣ１－ＳＤＣｎのうちの１つまたは複数であり得る。ここで、互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤは、（互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤが、たとえば、マシンコントローラ１１０にログインされていないとき、および／またはアダプタペンダント４００に連結されていないときなどの）無制限の動作モードおよび（互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤが、たとえば、マシンコントローラ１１０にログインされているとき、および／またはアダプタペンダント４００に連結されているときなどの）制限された動作モードを有し得る。制限された動作モードにあるとき、互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤは、無制限の動作モードと比較して、無効化され利用できない１つまたは複数の機能特性ＳＤＣ１－ＳＤＣｎを有し得る。たとえば、一態様では、マシンコントローラ１１０は、所定の常駐ユーザ操作可能機能特性ＳＤＣ１－ＳＤＣｎのうちの１つまたは複数へのアクセスを防ぎ得るおよび／または許可し得る任意の適切な所定のシステムの規則または基準に従って、互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤのユーザ操作可能デバイス機能特性ＳＤＣＬ、ＳＤＣ１－ＳＤＣｎを遠隔で管理および制御するように構成されてもよい。一態様では、マシンコントローラ１１０は、搬送ロボット１０４を制御するためにグラフィカルユーザインタフェースＧＵＩ（図４Ｂおよび図５Ａ－図５Ｉを参照）へのアクセスを可能にし、マシンコントローラ１１０と通信し得る他の所定の常駐ユーザ操作可能機能特性ＳＤＣ１－ＳＤＣｎのうちの１つまたは複数を制限するように構成されてもよい。

【0036】

たとえば、互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤが、アダプタペンダント４００に連結されているときに、互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤを介する搬送ロボット１０４へのアクセスの制御は、ユーザ操作可能デバイス機能特性ＳＤＣＬの「ログイン」機能によって制限され得る（たとえば、互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤは、無制限の動作モードとログイン機能付きの制限された動作モードとの間で移行する）。他の態様では、搬送ロボット１０４を制御するためのユーザ操作可能デバイス機能特性ＳＤＣＬは、互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤがアダプタペンダント４００に接続されない限り、制限され得る（たとえば、アクセス不能であり得る）。さらに他の態様では、互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤのユーザは、搬送ロボット１０４が配置されている製造設備（ＦＡＢ）に入る前に、搬送ロボット１０４を制御するためのユーザ操作可能デバイス機能特性ＳＤＣ１－ＳＤＣｎに「ログインする」ことが要求されてもよく、そのログイン時に、互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤの１つまたは複数のユーザ操作可能デバイス機能特性ＳＤＣ１－ＳＤＣｎ（たとえば、ビデオレコーダ、オーディオレコーダ、センサなど、互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤのデータが制限され得る）は、ロックされてアクセス不能であり、一方で互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤはＦＡＢ内に配置され、ここでは、互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤをアダプタペンダント４００に結合させることで、少なくともグラフィカルユーザインタフェースＧＵＩ（図４Ｂ－図５Ｉを参照）は、搬送ロボット１０４を制御すためのアクセスが可能になる。アダプタペンダント４００への接続で、搬送ロボット１０４の基板保持ステーションの位置２３０Ｂ、２３０Ｃ（図２を参照）を教示するためのカメラの使用、振動解析用の加速度計データの使用が可能になり得るなど、データ記録への制限されたアクセスも提供され得る。

【0037】

互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤのコンピュータネットワークおよび／またはインターネットアクセスも制限され得る。たとえば、互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤがアダプタペンダント４００に連結されると、所定のウェブページ（たとえば、ファームウェアアップデートのダウンロードおよびオンライントラブルシューティングのための装置製造業者のウェブサイトなど）のみへのインターネットアクセスが提供され得る。別の例として、ＦＡＢコンピュータネットワークへのアクセスは、マシンコントローラ１１０によって、および／または搬送ロボット１０４を制御するためのユーザ操作可能デバイス機能特性ＳＤＣＬの任意の適切な「ログイン」を介して、ＦＡＢコンピュータネットワークの所定の領域に（たとえば、所定のサーバ／ファイルに）制限され得る。

【0038】

一態様では、マシンコントローラ１１０は、ユーザのログイン、個別の設定およびデータに関連する情報、ならびに任意の他の適切な資格情報を含むログインデータベース１１０ＤＢ（図２および図４Ｂを参照）を含む。ログインデータベース１１０ＤＢは、自動ログインシステムの一部であってもよく、ここでは、マシンコントローラ１１０は、互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤとアダプタペンダント４００との連結を検出し、互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤから所定の資格情報を自動的に取得し、資格情報に従って、互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤに所定の機能（搬送ロボット１０４を制御するためのグラフィカルユーザインタフェースＧＵＩへのアクセスなど）を提供するが、一方で、他の操作可能デバイス機能特性を制限している（たとえば、所定のウェブページへのインターネットアクセスを制限する、データの記録を制限する、カメラの使用を制限する、テキスト（ＳＭＳ）メッセージを制限するなど）。一態様では、互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤの電話機能は、ユーザまたは他の人が、たとえば、装置製造業者の技術サービスに電話でアクセスすることができるようにアクティブのままであり得る。他の態様では、互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤの電話機能は、着信を受けることに制限されてもよく、ここでは、発信は、所定の電話番号のみに制限されている（たとえば、装置製造業者の技術サービスおよび他の所定の電話番号など）。他の態様では、互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤの機能は、ハードウェア（アダプタペンダント４００および／またはコントローラ１１０Ｃなど）および／またはソフトウェア（互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤに常駐するアプリケーションなど）を介する任意の適切な方法で、たとえば、搬送ロボット１０４が設置されている製造設備にある間の互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤによる不必要なデータの取り込みおよび／またはマシン改ざんを防止することに制限され得る。

【0039】

上述したように、別のインタフェース４１０は、互換性のあるスマートモバイル装置ＳＤと別のインタフェース４１０との結合によって、マシンコントローラ１１０への入力／出力Ｉ／Ｏを画定するように互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤの常駐ユーザ操作可能デバイス機能特性ＳＤＣ１－ＳＤＣｎのうちの少なくとも１つの構成を自動的に可能にするような、接続構成４１０Ｃを有している。常駐ユーザ操作可能デバイス機能特性ＳＤＣ１－ＳＤＣｎのうちの少なくとも１つによって画定された入力／出力Ｉ／Ｏは、１つの位置２３０Ａ、２３０Ｂ、２３０Ｃ（図２）から他の位置２３０Ａ、２３０Ｂ、２３０Ｃ（図２）へのロボット１０４Ｒの関節アーム３１５のマシンコントローラ１１０の運動制御の教示をもたらすための運動教示制御（図５Ａ－図５Ｉを参照）を具現化する構成を有している。たとえば、常駐ユーザ操作可能デバイス機能特性ＳＤＣ１－ＳＤＣｎは、１つの位置２３０Ａ、２３０Ｂ、２３０Ｃ（図２）から他の位置２３０Ａ、２３０Ｂ、２３０Ｃ（図２）への関節アーム３１５のマシンコントローラ１１０の運動制御の教示をもたらすための運動教示制御入力／出力インタフェース５００を画定するように構成されている、互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤのグラフィカルユーザインタフェースＧＵＩを含む。入力／出力インタフェース５００は、例示目的で図４Ｂにおいて互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤ上に例示されている。

【0040】

ここで図５Ａ－図５Ｉを参照して、運動教示制御入力／出力インタフェース５００を画定するように構成されている、互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤの例示的なグラフィカルユーザインタフェースＧＵＩを説明する。一態様では、運動教示制御入力／出力インタフェース５００は、ホームページまたはホーム画面５００Ｐを含む。上述の方法で、ホームページ５００Ｐは、アダプタペンダント４００に結合された互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤのユーザ初期化で自動的にグラフィカルユーザインタフェースＧＵＩ上に表示され得るが、一方で、他の態様では、運動教示制御入力／出力インタフェース５００は、ホームページ５００Ｐが表示されるように、グラフィカルユーザインタフェースＧＵＩから手動で選択され得る。ホームページ５００Ｐは、ユーザが様々な方法でロボット１０４Ｒの関節アーム３１５を制御することを可能にする運動教示制御入力／出力インタフェース５００の他の「ページ」へのリンクを含み得る。たとえば、ホームページ５００Ｐは、リンクまたはアイコン５０１－５０６を含んでもよく、これらは、たとえば、グラフィカルユーザインタフェースＧＵＩ上の対応するアイコンをタッチすることによって起動されると、運動教示制御入力／出力インタフェース５００のそれぞれのページを開く。たとえば、ホームページ５００Ｐは、ホーミングアイコン５０１、構成アイコン５０２、診断アイコン５０３、教示アイコン５０４、スクリプトアイコン５０５、データ収集アイコン５０６、および／または任意の適切な方法でロボット１０４Ｒおよびコントローラ１１０とインタフェース接続するための運動教示制御入力／出力インタフェース５００の制御にユーザを誘導するための任意の他の適切なアイコンを含み得る。運動教示制御入力／出力インタフェース５００のいずれか１つまたは複数のページはまた、適切な場合に、上述のライブマンアイコン５９９および緊急停止アイコン５９８を含んでもよい。

【0041】

図５Ｂは、ホーミングアイコン５０１が起動されるときにグラフィカルユーザインタフェースＧＵＩ上に表示されるホーミングページ（homing page）５０１Ｐの例示的な図である。ホーミングページ５０１Ｐは、ロボット１０４Ｒの関節アーム３１５を関節アーム３１５の所定の較正されたホーム位置（たとえば、エンドエフェクタ３１５Ｅが、回転軸θに沿って０°方向に対応する位置、伸長軸Ｒに沿った０（ゼロ）位置、備え付けられたＺ軸に沿った０（ゼロ）の高さに、移動させられる場合など、ここで、ホーム位置は、関節アーム３１５のすべての移動が測定される基準となる位置である）に移動させるための任意の適切な機能を含み得る。たとえば、ホーミングページ５０１Ｐは、機能５１０－５１３のホーム軸５０９のカテゴリを含み得る。これらの機能５１０－５１３は、Ｒ、θ、Ｚ軸のすべてをそれらのホーム位置に戻すホームオール機能５１０、伸長軸Ｒをそのホーム位置に戻すホームＲ機能５１１、回転軸θをそのホーム位置に戻すホームＴ機能５１２、およびＺ軸をそのホーム位置に戻すホームＺ機能５１３のうちの１つまたは複数を含み得る。ホーミングページ５０１はまた、ロボットタイプ５１４および軸Ｒ、θ、Ｚの各々のホーム状態（homed status）５１５などの、ロボット１０４Ｒの動作に関連する情報を（コントローラ１１０から得られるように）含み得る。一態様では、ホームページ５００Ｐ（または少なくともホームページアイコン）は、グラフィカルユーザインタフェース上に常に存在してもよく（図５Ｄおよび図５Ｅを参照）、それによって、ユーザは、単一の選択ステップで運動教示制御入力／出力インタフェース５００の（アイコン５０２－５０６に対応する）異なるページ５０２Ｐ、５０３Ｐ、５０４Ｐ、５０５Ｐ、５０６Ｐを簡単に切り替え得る。他の態様では、アイコン５０２－５０６に対応するページ５０２Ｐ、５０３Ｐ、５０４Ｐ、５０５Ｐ、５０６Ｐの各々は、アイコン５０２－５０６に対応する異なるページ５０２Ｐ、５０３Ｐ、５０４Ｐ、５０５Ｐ、５０６Ｐの間で切り替えるために、グラフィカルユーザインタフェースＧＵＩ上でホームページ５００Ｐを再表示する「ホームページに戻る」アイコン５９７を含み得る。

【0042】

図５Ｃは、教示アイコン５０４が起動されるときに（互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤのディスプレイ４７７上に表示される－図２）グラフィカルユーザインタフェースＧＵＩ上に表示される教示ページ５０４Ｐの例示的な図である。ここで、ディスプレイ４７７は、関節アーム３１５の関節アーム運動を教示する少なくとも１つのユーザ選択可能教示パラメータを視覚的に表示するように構成されている（図２）。ここで、選択可能教示パラメータは、限定されないが、関節アーム位置（Ｒ、θ、Ｚ）５１７、基板保持ステーション数５７１、関節アーム３１５のパン数５７２、基板保持ステーションでのスロットの数５７３、基板保持スロット間のピッチ５７４、増分移動ステップ距離５７５、または任意の他の適切な教示パラメータを含む、任意の適切な教示パラメータであり得る。教示ページ５０４Ｐは、位置２３０Ｂ、２３０Ｃなどのステーション位置の配置をロボット１０４およびロボットコントローラ１１０に教示するために、ロボット１０４Ｒの関節アーム３１５を移動させるための任意の適切な機能を含み得る。教示ページ５０４Ｐは、関節アーム３１５を手動で移動させるためのジョグコントロール５１６、関節アームの位置を表示するための位置インジケータ５１７、およびステーション教示状態情報５１８のうちの１つまたは複数を含み得る。ジョグコントロール５１６は、手動で移動される軸Ｒ、θ、Ｚを選択するためのアイコン５１６Ｓを含み得る。ジョグコントロール５１６はまた、関節アーム３１５を選択された軸Ｒ、θ、Ｚに沿って移動させるためのトグルアイコン５１６Ｍを含み得る。位置インジケータ５１７は、トグルアイコン５１６Ｍを使用してアームが移動されるときの関節アーム３１５の位置を示し得る。ステーション教示状態情報５１８は、基板保持ステーション（ＳＴＮ－位置２３０Ｂ、２３０Ｃなど）を識別し、ステーションのための特定のロボットの移動（ＳＴＥＰ－取り出し移動、配置移動、および／または特定の軸に沿った伸長移動など）が教示されているか否かについての表示（ＳＴＡＴＵＳ）、および識別された基板保持ステーション（ＳＴＮ）のためのロボット移動の動作モードを提供し得る。

【0043】

図５Ｄは、教示ページ５０４Ｐの例示的な図であり、そこでは、ホームページ５００Ｐが常にＧＵＩ上に存在し、ホーミングページ５０１Ｐの機能が教示ページ５０４Ｐの機能に含まれる／機能と組み合わされる。図５Ｅは、ホーミングページ５００Ｐが常にＧＵＩ上に存在する教示ページ５０４Ｐの別の例示的な図である。しかしながら、図５Ｅの教示ページ５０４Ｐは、ホーミングページ５０１Ｐの機能を欠いている。

【0044】

図５Ｆは、構成アイコン５０２が起動されるときにグラフィカルユーザインタフェースＧＵＩ上に表示される構成ページ５０２Ｐの例示的な図である。構成ページ５０２Ｐは、互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤとロボット１０４Ｒ／コントローラ１１０との間の通信（ロボットＩ／Ｏアイコン５１２を参照）、ネットワーク通信（ネットワークＩ／Ｏアイコン５２２を参照）、ロボットアプリケーション（ロボットアプリケーションアイコン５２０を参照）、およびステーションオプション（ステーションオプションアイコン５２３を参照）のうちの１つまたは複数を構成するための任意の適切な機能を含み得る。ロボットＩ／Ｏアイコン５２１によって、ユーザは、任意の適切な方法で互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤとロボット１０４Ｒ／コントローラ１１０との間で使用される通信プロトコルを構成することが可能となり得る。ネットワークＩ／Ｏアイコン５２２によって、ユーザは、インターネット、および／または半導体プロセス装置１０４がインストールされる製造設備（ＦＡＢ）のコンピュータネットワークへのアクセスを互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤに提供するなど、任意の適切なネットワーク設定を構成することが可能となり得る。ネットワークＩ／Ｏアイコンによって提供されるネットワーク構成機能は、ＦＡＢ所有者が（アダプタペンダント４００の通常のユーザとは対照的に）、所定のウェブページへのインターネットアクセスを制限し得るか、またはコンピュータネットワーク上の所定の情報へのコンピュータネットワークアクセスを制限し得るように、パスワード／キーで保護され得る。ロボットアプリケーションアイコン５２０は、ロボット１０４Ｒの駆動セクション２００が含むモータ２００Ｍ１、２００Ｍ２の数、アームリンクの数、エンドエフェクタ３１５Ｅのタイプ、および／またはロボット１０４Ｒの任意の他の適切な構成可能なオプションを選択するために機能を提供し得る。ステーションオプションアイコン５２３は、基板保持ステーションの数、基板保持ステーションのタイプ（たとえば、カセット、アライナ、プロセスステーションなど）、基板保持ステーションでの基板保持スロットの数、および／または（１つまたは複数の）基板保持ステーションに存在し得る任意の他の適切なオプションを設定するために機能を提供し得る。なお、構成ページ５０２Ｐで入力された設定／構成は、どのアイコンが他のページに現れるかに影響を与え得る。たとえば、ロボット１０４Ｒが伸長軸Ｒおよび回転軸θを含むがＺ軸を含まないことが構成ページ５０２Ｐで指定されている場合、ホーミングページ５０１Ｐ（および／または教示ページ５０４Ｐなどの他のページ）は、Ｚ軸に関連するアイコンを含まなくてもよい。

【0045】

図５Ｇは、スクリプトアイコン５０５が起動されるときにグラフィカルユーザインタフェースＧＵＩ上に表示されるスクリプトページ５０５Ｐの例示的な図である。スクリプトページ５０５Ｐは、ロボット１０４Ｒの機能の新しいスクリプトを作成するか、または既存のスクリプトを変更するための任意の適切な機能を含み得る。たとえば、スクリプトページ５０５Ｐは、ロボット１０４Ｒの動作のスクリプトをユーザに表示するスクリプトインタフェース５３０を含み得る。スクリプトインタフェース５３０は、スクリプトを実行、一時停止および／または停止するための機能（実行、一時停止および停止のアイコンを参照）を含み得る。スクリプトページ５０５Ｐはまた、ユーザによって選択されたときに、グラフィカルユーザインタフェースＧＵＩ上に互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤの英数字キーボードＫＢを表示して、ユーザが新しいスクリプトを入力するか、またはスクリプトインタフェース５３０に表示されたスクリプトを変更することを可能にする、コマンドラインインタフェース５３１を含み得る。互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤのユーザ操作可能デバイス機能特性ＳＤＣ１－ＳＤＣｎはまた、ロボット１０４Ｒのアニメーション機能を提供し得る。たとえば、スクリプトページ５０５Ｐは、たとえば、スクリプトインタフェース５３０に入力されたスクリプトに対応するロボット１０４Ｒのアニメーションを表示するように構成されている表示領域５３０Ｄを含み得る。

【0046】

図５Ｈは、診断アイコン５０３が起動されるときにグラフィカルユーザインタフェースＧＵＩ上に表示される診断ページ５０３Ｐの例示的な図である。診断ページ５０３Ｐは、グラフィカルユーザインタフェースＧＵＩを介して、半導体プロセスの搬送装置１０４の任意の適切なコンポーネントの動作状態をユーザに示すための任意の適切な機能を含み得る。たとえば、モータ動作、エンコーダ動作、（コントローラ１１０の）プロセッサ利用、ネットワーク利用、振動レベル、およびエネルギー消費に対する状態標識５４０が存在し得る。動作状態を色調整する、診断ページ５０３Ｐ上に表示される色分けされた凡例５５０が存在し得る。たとえば、緑色は通常の動作を示し、黄色は警告状態を示し、赤色はモニタリング対象のコンポーネントの障害を示し得る。各状態標識５４０は、モニタリング対象のそれぞれの（１つまたは複数の）コンポーネント（たとえば、モータ、エンコーダ、プロセッサなど）の動作状態を示すために色を変更してもよい。

【0047】

図５Ｉは、データ収集アイコン５０６が起動されるときにグラフィカルユーザインタフェースＧＵＩ上に表示されるデータ収集ページ５０６Ｐの例示的な図である。データ収集ページ５０６Ｐは、半導体プロセスの搬送装置１０４の任意の適切なコンポーネントに関するデータを収集および閲覧するための任意の適切な機能を含み得る。たとえば、データ収集ページ５０６Ｐは、ユーザが、サンプリング期間、サンプル数、トリガータイプ（たとえばサンプリング開始時）、トリガー遅延、サンプリングされたデータをディスプレイ５６３上に継続的に表示するか否か、または任意の他の適切なデータ収集パラメータを設定することを可能にするように構成されているパラメータ設定５６０を含み得る。ここで、ディスプレイ５６３（これは互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤのディスプレイ４７７のすべてまたは一部であり得る）は、関節アーム３１５の関節運動の少なくとも１つの記録されたアーム運動パラメータ（たとえば、モータのフィードフォワードトルクまたは任意の他の適切なパラメータ）の時間記録を視覚的に表示するように構成されている。データ収集ページ５０６Ｐはまた、ユーザが、データ収集のためのモニタリング対象のコンポーネントに対応する任意の適切なパラメータを選択することを可能にするように構成されている変数選択設定５６１を含み得る。たとえば、パラメータは、モータトルク、モータ電流、モータ出力、モータ追跡エラー、エンドエフェクタ追跡エラーなどを含み得る。データ収集ページ５０６Ｐ上には制御アイコン５６２も提供され、これらは、データ収集を開始する、データ収集を停止する、（たとえば、互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤのコントローラ１１０の任意の適切なメモリ、またはアダプタペンダントが連結されているＦＡＢコンピュータネットワークの任意の他の適切な保存場所に）収集されたデータを保存する、またはたとえば、選択されたパラメータ設定５６０および／または変数選択設定５６１に基づいてデータ収集をシミュレートするためにユーザが選択するように構成されている。収集されたデータは、データ収集ページ５０６Ｐのディスプレイ５６３上に、視覚的にまたは任意の他の適切な方法で表示され得る。

【0048】

一態様では、図２を参照すると、互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤの組み込み機能および／またはアプリケーションＳＤＰ１－ＳＤＰｎ（これらは、本明細書に記載するユーザ操作可能デバイス機能特性ＳＤＣ１－ＳＤＣｎのうちの１つまたは複数であり得る）は、アダプタペンダント４００を用いて、半導体プロセスツールのセットアップをより効率的なものにし、マシンのダウンタイムを縮小させるように活用され得る。たとえば、互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤは、レベル（たとえば水平からの傾斜）インジケータ／センサＳＤＰ１、加速度計ＳＤＰ２、カメラＳＤＰ３、温度センサＳＤＰ８、無線接続ＳＤＰ４、インターネットアクセスＳＤＰ５、（１つまたは複数の）マイクＳＤＰ７、および／または任意の他の適切なソフトウェア／ハードウェア機能を含み得る任意の適切な組み込み機能および／またはアプリケーションＳＤＰ１－ＳＤＰｎを含み得る。

【0049】

レベルインジケータＳＤＰ１は、エンドエフェクタ３１５Ｅ、処理ステーション／基板保持ステーション２３０Ｂ、２３０Ｃ、および／または処理装置１００Ａ、１００Ｂ、１００Ｃ、１００Ｄ、１００Ｅ、１００Ｆ、１００Ｇ、１００Ｈの任意の他の適切な（１つまたは複数の）特徴部のレベル測定（たとえば水平軸からの偏差）に使用され得る。たとえば、互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤが連結されたアダプタペンダント４００は、搬送アーム３１５または基板保持ステーションのレベル／傾斜を検出するために、エンドエフェクタ３１５Ｅ（図２を参照）、または搬送ロボット１０４Ｒもしくは基板ステーションの他の適切な構造的特徴上に配置／着座され得る（例示目的で、アダプタペンダント４００は、基板保持ステーション／位置２３０Ｃの基板ステーションの表面２３０ＣＳに着座されるように例示されている）。

【0050】

一態様では、互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤの加速度計ＳＤＰ２は、搬送アーム３１５、および／または処理装置１００Ａ、１００Ｂ、１００Ｃ、１００Ｄ、１００Ｅ、１００Ｆ、１００Ｇ、１００Ｈの任意の他の適切な特徴部によって生成される振動ＶＩＢを検出する、測定する、および／またはそうでなければモニタリングするために使用され得る。たとえば、互換性のあるスマートモバイルデバイスは、遅延した移動（たとえば、所定の期間が経過した後に、関節アーム３１５の関節移動が開始する）のために、搬送ロボット１０４Ｒの移動が、たとえば、スクリプトページ５０５Ｐを介してプログラムされ得るように、および関節アーム３１５の遅延した移動の間に加速度計ＳＤＰ２で振動ＶＩＢを検出するために、互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤが、エンドエフェクタ３１５Ｅ（図２を参照）または搬送ロボット１０４Ｒもしくは基板ステーションの他の適切な構造的特徴部に配置／着座されるように、アダプタペンダント４００に無線で連結され得る。関節アーム３１５のプログラムされた関節移動が停止した後、互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤは、取り出されて、アダプタペンダント４００に再挿入され得る。他の態様では、搬送アーム３１５、および／または処理装置１００Ａ、１００Ｂ、１００Ｃ、１００Ｄ、１００Ｅ、１００Ｆ、１００Ｇ、１００Ｈの任意の他の適切な特徴部によって生成される振動ＶＩＢを検出する、測定する、および／またはそうでなければモニタリングするために、外部デバイスＥＤ１の加速度計（図２を参照）が使用され得る。たとえば、外部デバイスＥＤ１の加速度計は、加速度計のデータを互換性のあるスマートモバイルデバイスに無線で送信するために、アダプタペンダント４００に配置された互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤに無線で連結され得る。

【0051】

（たとえば、任意の適切なオーディオデータ記録アプリケーションＳＤＰ７に関連している）マイクＳＤＰ７Ｍも、たとえば、関節アーム３１５の移動の間に振動を検出するために使用され得る。なお、（マイクＳＤＰ７Ｍ／オーディオデータ記録アプリケーションＳＤＰ７または加速度計ＳＤＰ２のいずれかから）検出された振動ＶＩＢは、図５Ｉに関連して示され説明された方法と類似した方法でディスプレイ５６３上に表示され得る。

【0052】

互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤの（１つまたは複数の）カメラは、搬送ロボット１０４に基板保持ステーション２３０Ｂ、２３０Ｃの位置を自動的に教示するために、および／または基板Ｓの検査のために（一態様では、制限されたアクセスで）使用され得る（たとえば、図３Ａを参照）。

【0053】

温度センサは、一態様では、互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤの温度センサＳＤＰ８であってもよく、または他の態様では、たとえば、温度センサＥＤ２（図２）などの無線温度センサ（これは上記の外部デバイスＥＤ１－ＥＤｎのうちの１つであり得る）であってもよい。温度センサＥＤ２および／または温度センサＳＤＰ８は、精度および再現性を改善するべく、ロボット位置決めアルゴリズムに関する健全性モニタリングまたは熱補償のためのフィードバックを提供するために、互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤによって読み取ることができる。たとえば、１つまたは複数のアームリンク３１５Ｆ、３１５Ｕ、３１５Ｅは、熱補償をもたらすために、それぞれのアームリンク３１５Ｆ、３１５Ｕ、３１５Ｅに対する熱効果を判定するためのそれぞれの温度センサを含み得るか、および／または駆動セクション２００の１つまたは複数のモータは、モータ故障を検出するためにそれぞれのモータの温度をモニタリングするためのそれぞれの温度センサを有し得る。

【0054】

無線接続ＳＤＰ４（Ｂｌｕｅｔｏｏｔｈ（登録商標）など）は、互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤとアダプタペンダント４００との間の通信を確立するために使用され得る。

【0055】

互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤのインターネットアクセスＳＤＰ５（これは、本明細書に記載するように、任意の適切な方法で制限され得る）は、たとえば、搬送ロボット１０４、アダプタペンダント４００、または処理装置１００Ａ、１００Ｂ、１００Ｃ、１００Ｄ、１００Ｅ、１００Ｆ、１００Ｇ、１００Ｈの任意の他の適切な特徴部へのソフトウェア／ファームウェアのダウンロードを提供し得る。互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤのインターネットアクセスＳＤＰ５はまた、たとえば、（限定されないが）半導体装置のアプリケーション（互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤにインストールされているアプリケーションＳＤＰ１－ＳＤＰｎなど）、製品マニュアル、コマンド構文、サービス報告、ファームウェアの（または他の）アップグレード指示書、修理指示書、およびトラブルシューティングガイドを含む、自動化装置および／またはインターネットからの任意の適切な情報／文書へのユーザアクセスを提供し得る。インターネットアクセスＳＤＰ５（および／または無線接続ＳＤＰ４）はまた、エンドユーザのＦＡＢコンピュータネットワークからの、互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤによる自動化ステータス電子メール通知の受信をもたらし得る。アプリケーションＳＤＰ１－ＳＤＰ６は、自動化から任意の適切なデータを収集し、（コントローラ１１０Ｃと組み合わせて、または単独で）収集されたデータを分析することによって、互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤを用いて自動化機械コンポーネントのための統合されたデータ収集および診断解析を促進し得る（図５Ｉおよび本明細書に記載するデータ収集ページ５０６Ｐを参照）。

【0056】

互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤはまた、アプリケーションまたはプログラムをダウンロード、保存、および実行する能力を有している（この機能および関連するアプリケーション／プログラムはまた、ユーザ操作可能デバイス機能特性ＳＤＣ１－ＳＤＣｎのうちの１つまたは複数であり得る）。開示された実施形態の態様によって、自動化サプライヤ（搬送ロボット１０４のサプライヤなど）は、自動化装置（搬送ロボット１０４など）と使用するために互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤにダウンロードすることができる互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤのためのアプリケーションまたはプログラムを提供する柔軟性を持つことができる。たとえば、自動化サプライヤは、互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤにダウンロードされるアプリケーションＳＤＰ６を提供し得る。アプリケーションＳＤＰ６は、処理装置１００Ａ、１００Ｂ、１００Ｃ、１００Ｄ、１００Ｅ、１００Ｆ、１００Ｇ、１００Ｈの少なくとも一部（搬送装置１０４など）に単一の制御点を提供するように構成されてもよい。たとえば、アプリケーションＳＤＰ６は、本明細書に記載するグラフィカルユーザインタフェースＧＵＩとともに構成されてもよく、それによって、ユーザとの対話時に、搬送装置１０４は任意の適切な方法で制御される。

【0057】

図２、図４Ａ、図４Ｂ、および図６を参照して、開示された実施形態の態様による例示的な操作を説明する。たとえば、操作は、関節アーム３１５の関節運動を駆動させるための駆動セクション２００に連結された関節アーム３１５を提供する工程を含む（図６、ブロック６００）。本明細書に記載するように、駆動セクション２００は、少なくとも１つのモータ２００Ｍ１、２００Ｍ２を有している。マシンコントローラ１１０は、関節アーム３１５を１つの位置２３０Ｂ、２３０Ｃから異なる他の位置２３０Ｂ、２３０Ｃに移動させるために少なくとも１つのモータ２００Ｍ１、２００Ｍ２を制御するように駆動セクション２００に動作可能に連結される（図６、ブロック６０５）。アダプタペンダント４００は、入力／出力のために、アダプタペンダント４００のマシンコントローラインタフェース４０５によりマシンコントローラ１１０に動作可能に連結される（図６、ブロック６１０）。本明細書に記載するように、アダプタペンダント４００は、マシンコントローラインタフェース４０５とは異なり、互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤと動作可能に接続するように構成された（図６、ブロック６１５）、別のインタフェース４１０を有し、互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤは、互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤに常駐する所定の常駐ユーザ操作可能デバイス機能特性ＳＤＣＬ、ＳＤＣ１－ＳＤＣｎを有している。本明細書に記載するように、別のインタフェース４１０は、互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤの結合によって、アダプタペンダントを介するマシンコントローラへの入力／出力を画定して、１つの位置から他の位置への関節アームの運動制御のための入力コマンドおよび出力信号をもたらすように、互換性のあるスマートモバイルデバイスの常駐ユーザ操作可能デバイス機能特性ＳＤＬＣ、ＳＤＣ１－ＳＤＣｎのうちの少なくとも１つの構成が可能になる（図６、ブロック６２０）ような、接続構成を有している。たとえば、一態様では、常駐ユーザ操作可能デバイス機能特性ＳＤＣＬ、ＳＤＣ１－ＳＤＣｎのうちの少なくとも１つの構成は、アダプタペンダント４００に結合された互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤのユーザ初期化で自動的に可能にされる。一態様では、別のインタフェース４１０は、互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤと別のインタフェース４１０との結合によって、別のインタフェース４１０に結合された互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤのユーザ操作可能デバイス機能特性ＳＤＣ１－ＳＤＣｎのうちの少なくとも１つが、半導体プロセスの搬送装置１０４の密接に連結されたユーザ選択可能入力／出力４９８ＣＣ、４９９ＣＣを画定するように、アダプタペンダント４００を介して、マシンコントローラ１１０と結合された互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤのユーザ操作可能デバイス機能特性ＳＤＣ１－ＳＤＣｎのうちの少なくとも１つの密接な連結がもたらされる（図６、ブロック６２１）ような、接続構成を有している。一態様では、別のインタフェース４１０の接続構成は、互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤと別のインタフェース４１０との結合によって、互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤ上の少なくとも別の所定のユーザ操作可能機能特性ＳＤＣＬ、ＳＤＣ１－ＳＤＣｎのロックアウト（または制限されたアクセス／機能）を初期化する（図６、ブロック６２５）ように配置されている。

【0058】

本明細書に記載するように、開示された実施形態の態様によって、自動化サプライヤは、自動化サプライヤによって生産／提供された自動化装置と使用するための互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤ（自動化装置のサービス担当者またはその他のユーザによって携帯される互換性のあるスマートモバイルデバイスなど）にダウンロードすることができる、互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤ（スマートフォンおよびタブレットなど）のためのアプリケーションを提供する柔軟性を持つことができる。開示された実施形態の態様によれば、ユーザは、互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤをアダプタペンダント４００に取り付け、無線接続または有線接続のいずれかを介して、アダプタペンダント４００と互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤとの間の接続を確立する。接続が確立されると、ユーザは、適切なアプリケーションＳＤＰ１－ＳＤＰ６（これは、１つまたは複数の常駐ユーザ操作可能機能特性ＳＤＣＬ、ＳＤＣ１－ＳＤＣｎであり得る）を選択し得るか、または適切なアプリケーションは、アダプタペンダント４００と互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤとの間の接続が確立されたときに自動的に起動／アクティブ化され得る。アダプタペンダント４００および互換性のあるスマートモバイルデバイスＳＤ上で実行される（１つまたは複数の）アプリケーションは、自動化装置に単一の制御点を提供する。

【0059】

本明細書に記載するように、アダプタペンダント４００は、搬送ロボット１０４などの自動化装置との電気機械的インタフェースを確立する。一態様では、アダプタペンダント４００は、１つまたは複数のＥストップスイッチ４５０、ライブマンスイッチ４３０、および本明細書に記載される他の適切なスイッチを含む、任意の適切なモード切替スイッチ４２９を含み得るが、他の態様において、適切な場合には、Ｅストップスイッチ４５０、ライブマンスイッチ４３０、および他の適切なスイッチ（図２、図４Ａおよび図４Ｂを参照）は、グラフィカルユーザインタフェースＧＵＩを介して、ユーザ操作可能デバイス機能特性ＳＤＬＣ、ＳＤＣ１－ＳＤＣｎによって提供され得る（図５Ａを参照）。

【0060】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、半導体プロセスの搬送装置は、

【0061】

少なくとも１つのモータを有する駆動セクションと、

【0062】

関節アームであって、関節アームの関節運動を駆動させるための駆動セクションに連結された関節アームと、

【0063】

関節アームを１つの位置から異なる他の位置に移動させるために少なくとも１つのモータを制御するように駆動セクションに動作可能に連結されたマシンコントローラと、

【0064】

アダプタペンダントであって、アダプタペンダントが、アダプタペンダントを入力／出力のためにマシンコントローラと動作可能に連結するマシンコントローラインタフェースを有し、アダプタペンダントが、マシンコントローラインタフェースとは異なり、互換性のあるスマートモバイルデバイスと動作可能に接続するように構成された別のインタフェースを有し、互換性のあるスマートモバイルデバイスが、互換性のあるスマートモバイルデバイスに常駐する所定の常駐ユーザ操作可能デバイス機能特性を有している、アダプタペンダントとを備え、

【0065】

別のインタフェースは、互換性のあるスマートモバイルデバイスと別のインタフェースとの結合によって、アダプタペンダントを介するマシンコントローラへの入力／出力を画定して、１つの位置から他の位置への関節アームの運動制御のための入力コマンドおよび出力信号をもたらすように、互換性のあるスマートモバイルデバイスの常駐ユーザ操作可能デバイス機能特性のうちの少なくとも１つの構成が自動的に可能になるような、接続構成を有している。

【0066】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、常駐ユーザ操作可能デバイス機能特性のうちの少なくとも１つの構成は、アダプタペンダントに結合された互換性のあるスマートモバイルデバイスのユーザ初期化で自動的に可能にされる。

【0067】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、接続構成は、プラグアンドプレイ接続構成であり、短距離または近距離無線周波数の連結およびユニバーサルシリアルバスポートの連結のうちの少なくとも１つである。

【0068】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、常駐ユーザ操作可能デバイス機能特性のうちの少なくとも１つによって画定された入力／出力は、１つの位置から他の位置への関節アームのマシンコントローラの運動制御の教示をもたらすための運動教示制御を具現化する構成を有している。

【0069】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、常駐ユーザ操作可能デバイス機能特性は、１つの位置から他の位置への関節アームのマシンコントローラの運動制御の教示をもたらすための運動教示制御入力／出力インタフェースを画定するように構成されている、互換性のあるスマートモバイルデバイスのグラフィカルユーザインタフェースを含む。

【0070】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、アダプタペンダントは、一体型の緊急停止スイッチ、緊急機械停止スイッチまたは緊急システムオフスイッチの１つまたは複数を含む。

【0071】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、アダプタペンダントは、一体型のライブマンスイッチを有している。

【0072】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、別のインタフェースの接続構成は、互換性のあるスマートモバイルデバイスと別のインタフェースとの結合によって、互換性のあるスマートモバイルデバイス上の少なくとも別の所定の常駐ユーザ操作可能機能特性のロックアウト（または制限されたアクセス／機能）を初期化するように配置されている。

【0073】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、１つの位置および他の位置のうちの少なくとも１つは、半導体処理装置におけるワークピース保持ステーションである。

【0074】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、アダプタペンダントは、一体型のモード選択スイッチを含む。

【0075】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、方法は、

【0076】

関節アームの関節運動を駆動させるための駆動セクションに連結された関節アームを提供する工程であって、駆動セクションが、少なくとも１つのモータを有している、工程と、

【0077】

関節アームを１つの位置から異なる他の位置に移動させるために少なくとも１つのモータを制御するようにマシンコントローラを駆動セクションに動作可能に連結させる工程と、

【0078】

入力／出力のために、アダプタペンダントのマシンコントローラインタフェースによりアダプタペンダントをマシンコントローラに動作可能に連結させる工程であって、アダプタペンダントが、マシンコントローラインタフェースとは異なり、互換性のあるスマートモバイルデバイスと動作可能に接続するように構成された別のインタフェースを有し、互換性のあるスマートモバイルデバイスが、互換性のあるスマートモバイルデバイスに常駐する所定の常駐ユーザ操作可能デバイス機能特性を有している、工程とを含み、

【0079】

別のインタフェースは、互換性のあるスマートモバイルデバイスと別のインタフェースとの結合によって、アダプタペンダントを介するマシンコントローラへの入力／出力を画定して、１つの位置から他の位置への関節アームの運動制御のための入力コマンドおよび出力信号をもたらすように、互換性のあるスマートモバイルデバイスの常駐ユーザ操作可能デバイス機能特性のうちの少なくとも１つの構成が自動的に可能になるような、接続構成を有している。

【0080】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、方法はさらに、アダプタペンダントに結合された互換性のあるスマートモバイルデバイスのユーザ初期化で、常駐ユーザ操作可能デバイス機能特性のうちの少なくとも１つの構成を自動的に可能にする工程を含む。

【0081】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、接続構成は、プラグアンドプレイ接続構成であり、短距離または近距離無線周波数の連結およびユニバーサルシリアルバスポートの連結のうちの少なくとも１つである。

【0082】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、常駐ユーザ操作可能デバイス機能特性のうちの少なくとも１つによって画定された入力／出力は、１つの位置から他の位置への関節アームのマシンコントローラの運動制御の教示をもたらすための運動教示制御を具現化する構成を有している。

【0083】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、常駐ユーザ操作可能デバイス機能特性は、互換性のあるスマートモバイルデバイスのグラフィカルユーザインタフェースを含み、方法はさらに、グラフィカルユーザインタフェースにより、１つの位置から他の位置への関節アームのマシンコントローラの運動制御の教示をもたらすための運動教示制御入力／出力インタフェースを画定する工程を含む。

【0084】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、アダプタペンダントは、一体型の緊急停止スイッチ、緊急機械停止スイッチ、および緊急システムオフスイッチの１つまたは複数を含む。

【0085】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、アダプタペンダントは、一体型のライブマンスイッチを有している。

【0086】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、別のインタフェースの接続構成は、互換性のあるスマートモバイルデバイスと別のインタフェースとの結合によって、互換性のあるスマートモバイルデバイス上の少なくとも別の所定のユーザ操作可能機能特性のロックアウト（または制限されたアクセス／機能）を初期化するように配置されている。

【0087】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、１つの位置および他の位置のうちの少なくとも１つは、半導体処理装置におけるワークピース保持ステーションである。

【0088】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、アダプタペンダントは、一体型のモード選択スイッチを含む。

【0089】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、半導体プロセスの搬送装置は、

【0090】

少なくとも１つのモータを有する駆動セクションと、

【0091】

関節アームであって、関節アームの関節運動を駆動させるための駆動セクションに連結された関節アームと、

【0092】

関節アームを１つの位置から異なる他の位置に移動させるために少なくとも１つのモータを制御するように駆動セクションに動作可能に連結されたマシンコントローラと、

【0093】

アダプタペンダントであって、アダプタペンダントが、アダプタペンダントを入力／出力のためにマシンコントローラと動作可能に連結するマシンコントローラインタフェースを有し、アダプタペンダントが、マシンコントローラインタフェースとは異なり、互換性のあるスマートモバイルデバイスと動作可能に接続するように構成された別のインタフェースを有し、互換性のあるスマートモバイルデバイスが、互換性のあるスマートモバイルデバイスに常駐する所定のユーザ操作可能デバイス機能特性を有している、アダプタペンダントとを備え、

【0094】

別のインタフェースは、互換性のあるスマートモバイルデバイスと別のインタフェースとの結合によって、別のインタフェースに結合された互換性のあるスマートモバイルデバイスのユーザ操作可能デバイス機能特性のうちの少なくとも１つが、半導体プロセスの搬送装置の密接に連結されたユーザ選択可能な入力／出力を画定するように、アダプタペンダントを介して、マシンコントローラと結合された互換性のあるスマートモバイルデバイスのユーザ操作可能デバイス機能特性のうちの少なくとも１つの密接な連結がもたらされるような、接続構成を有している。

【0095】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、ユーザ操作可能デバイス機能特性のうちの少なくとも１つは、搬送装置の密接に連結されたユーザインタフェースをもたらすように、アダプタペンダントを介してマシンコントローラと密接に連結される互換性のあるスマートモバイルデバイスのグラフィカルユーザインタフェースである。

【0096】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、ユーザ操作可能デバイス機能特性のうちの少なくとも１つは、互換性のあるスマートモバイルデバイスに常駐する少なくとも１つのセンサである。

【0097】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、ユーザ操作可能デバイス機能特性のうちの少なくとも１つは、互換性のあるスマートモバイルデバイスに常駐するデータロギング機能である。

【0098】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、ユーザ操作可能デバイス機能特性のうちの少なくとも１つは、関節アームの関節運動を教示する少なくとも１つのユーザ選択可能な教示パラメータを視覚的に表示するように構成された互換性のあるスマートモバイルデバイス上のグラフィック表示機能である。

【0099】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、ユーザ操作可能デバイス機能特性のうちの少なくとも１つは、互換性のあるスマートモバイルデバイスに常駐する記録機能の少なくとも１つ、および関節アームの関節運動の少なくとも１つの記録されたアーム運動パラメータの時間記録を視覚的に表示するように構成された互換性のあるスマートモバイルデバイス上のグラフィック表示機能の少なくとも１つである。

【0100】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、ユーザ操作可能デバイス機能特性のうちの少なくとも１つの構成は、アダプタペンダントに結合された互換性のあるスマートモバイルデバイスのユーザ初期化で自動的に可能にされる。

【0101】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、接続構成は、プラグアンドプレイ接続構成であり、短距離または近距離無線周波数の連結およびユニバーサルシリアルバスポートの連結のうちの少なくとも１つである。

【0102】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、ユーザ操作可能デバイス機能特性のうちの少なくとも１つによって画定された入力／出力は、１つの位置から他の位置への関節アームのマシンコントローラの運動制御の教示をもたらすための運動教示制御を具現化する構成を有している。

【0103】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、ユーザ操作可能デバイス機能特性は、１つの位置から他の位置への関節アームのマシンコントローラの運動制御の教示をもたらすための運動教示制御入力／出力インタフェースを画定するように構成されている、互換性のあるスマートモバイルデバイスのグラフィカルユーザインタフェースを含む。

【0104】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、アダプタペンダントは、一体型の緊急停止スイッチ、緊急機械停止スイッチ、および緊急システムオフスイッチのうちの１つまたは複数を含む。

【0105】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、アダプタペンダントは、一体型のライブマンスイッチを有している。

【0106】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、別のインタフェースの接続構成は、互換性のあるスマートモバイルデバイスと別のインタフェースとの結合によって、互換性のあるスマートモバイルデバイス上の少なくとも別の所定のユーザ操作可能機能特性のロックアウト（または制限されたアクセス／機能）を初期化するように配置されている。

【0107】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、１つの位置および他の位置のうちの少なくとも１つは、半導体処理装置におけるワークピース保持ステーションである。

【0108】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、アダプタペンダントは、一体型のモード選択スイッチを含む。

【0109】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、方法は、

【0110】

関節アームの関節運動を駆動させるための駆動セクションに連結された関節アームを提供する工程であって、駆動セクションが、少なくとも１つのモータを有している、工程と、

【0111】

関節アームを１つの位置から異なる他の位置に移動させるために少なくとも１つのモータを制御するようにマシンコントローラを駆動セクションに動作可能に連結させる工程と、

【0112】

入力／出力のために、アダプタペンダントのマシンコントローラインタフェースによりアダプタペンダントをマシンコントローラに動作可能に連結させる工程であって、アダプタペンダントが、マシンコントローラインタフェースとは異なり、互換性のあるスマートモバイルデバイスと動作可能に接続するように構成された別のインタフェースを有し、互換性のあるスマートモバイルデバイスが、互換性のあるスマートモバイルデバイスに常駐する所定のユーザ操作可能デバイス機能特性を有している、工程とを含み、

【0113】

別のインタフェースは、互換性のあるスマートモバイルデバイスと別のインタフェースとの結合によって、別のインタフェースに結合された互換性のあるスマートモバイルデバイスのユーザ操作可能デバイス機能特性のうちの少なくとも１つが、半導体プロセスの搬送装置の密接に連結されたユーザ選択可能な入力／出力を画定するように、アダプタペンダントを介して、マシンコントローラと結合された互換性のあるスマートモバイルデバイスのユーザ操作可能デバイス機能特性のうちの少なくとも１つの密接な連結がもたらされるような、接続構成を有している。

【0114】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、ユーザ操作可能デバイス機能特性のうちの少なくとも１つは、搬送装置の密接に連結されたユーザインタフェースをもたらすように、アダプタペンダントを介してマシンコントローラと密接に連結される互換性のあるスマートモバイルデバイスのグラフィカルユーザインタフェースである。

【0115】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、ユーザ操作可能デバイス機能特性のうちの少なくとも１つは、互換性のあるスマートモバイルデバイスに常駐する少なくとも１つのセンサである。

【0116】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、ユーザ操作可能デバイス機能特性のうちの少なくとも１つは、互換性のあるスマートモバイルデバイスに常駐するデータロギング機能である。

【0117】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、ユーザ操作可能デバイス機能特性のうちの少なくとも１つは、関節アームの関節運動を教示する少なくとも１つのユーザ選択可能な教示パラメータを視覚的に表示するように構成された互換性のあるスマートモバイルデバイス上のグラフィック表示機能である。

【0118】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、ユーザ操作可能デバイス機能特性のうちの少なくとも１つは、互換性のあるスマートモバイルデバイスに常駐する記録機能の少なくとも１つ、および関節アームの関節運動の少なくとも１つの記録されたアーム運動パラメータの時間記録を視覚的に表示するように構成された互換性のあるスマートモバイルデバイス上のグラフィック表示機能の少なくとも１つである。

【0119】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、方法はさらに、アダプタペンダントに結合された互換性のあるスマートモバイルデバイスのユーザ初期化で、ユーザ操作可能デバイス機能特性のうちの少なくとも１つの構成を自動的に可能にする工程を含む。

【0120】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、接続構成は、プラグアンドプレイ接続構成であり、短距離または近距離無線周波数の連結およびユニバーサルシリアルバスポートの連結のうちの少なくとも１つである。

【0121】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、ユーザ操作可能デバイス機能特性のうちの少なくとも１つによって画定された入力／出力は、１つの位置から他の位置への関節アームのマシンコントローラの運動制御の教示をもたらすための運動教示制御を具現化する構成を有している。

【0122】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、ユーザ操作可能デバイス機能特性は、互換性のあるスマートモバイルデバイスのグラフィカルユーザインタフェースを含み、方法はさらに、グラフィカルユーザインタフェースにより、１つの位置から他の位置への関節アームのマシンコントローラの運動制御の教示をもたらすための運動教示制御入力／出力インタフェースを画定する工程を含む。

【0123】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、アダプタペンダントは、一体型の緊急停止スイッチ、緊急機械停止スイッチ、および緊急システムオフスイッチのうちの１つまたは複数を含む。

【0124】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、アダプタペンダントは、一体型のライブマンスイッチを有している。

【0125】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、別のインタフェースの接続構成は、互換性のあるスマートモバイルデバイスと別のインタフェースとの結合によって、互換性のあるスマートモバイルデバイス上の少なくとも別の所定のユーザ操作可能機能特性のロックアウト（または制限されたアクセス／機能）を初期化するように配置されている。

【0126】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、１つの位置および他の位置のうちの少なくとも１つは、半導体処理装置におけるワークピース保持ステーションである。

【0127】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、アダプタペンダントは、一体型のモード選択スイッチを含む。

【0128】

前述の説明が、開示された実施形態の態様の単なる例示であることが理解されるべきである。開示された実施形態の態様から逸脱することなく、様々な代替および修正が当業者によって考案され得る。したがって、開示された実施形態の態様は、添付の特許請求の範囲内にある、すべてのそのような代替、修正、および変形を包含するように意図されている。さらに、異なる特徴が相互に異なる従属または独立請求項に列挙されているということだけでは、開示された実施形態の態様の範囲内にある組み合わせなどの、これらの特徴の組み合わせが、有利に使用され得ないことを示唆していることにはならない。

【図1A】

【図1B】

【図1C】

【図1D】

【図1E】

【図1F】

【図1G】

【図1H】

【図1I】

【図1J】

【図1K】

【図1L】

【図1M】

【図2】

【図3A】

【図3B】

【図3C】

【図3D】

【図3E】

【図4A】

【図4B】

【図5A】

【図5B】

【図5C】

【図5D】

【図5E】

【図5F】

【図5G】

【図5H】

【図5I】

【図6】