特許 7295728 レーザー光走査装置及びレーザー光走査方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2023-06-13

(45)【発行日】2023-06-21

(54)【発明の名称】レーザー光走査装置及びレーザー光走査方法

(51)【国際特許分類】

   G02F 1/29 20060101AFI20230614BHJP

   G02B 26/10 20060101ALI20230614BHJP

   G02B 5/18 20060101ALI20230614BHJP

   B23K 26/064 20140101ALI20230614BHJP

   B23K 26/082 20140101ALI20230614BHJP

【ＦＩ】

G02F1/29

G02B26/10 Z

G02B5/18

B23K26/064 Z

B23K26/082

【請求項の数】 7

(21)【出願番号】P 2019128924

(22)【出願日】2019-07-11

(65)【公開番号】P2021015170

(43)【公開日】2021-02-12

【審査請求日】2021-12-01

(73)【特許権者】

【識別番号】000004226

【氏名又は名称】日本電信電話株式会社

(73)【特許権者】

【識別番号】000102739

【氏名又は名称】エヌ・ティ・ティ・アドバンステクノロジ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100098394

【弁理士】

【氏名又は名称】山川 茂樹

(74)【代理人】

【識別番号】100153006

【弁理士】

【氏名又は名称】小池 勇三

(74)【代理人】

【識別番号】100064621

【弁理士】

【氏名又は名称】山川 政樹

(74)【代理人】

【識別番号】100121669

【弁理士】

【氏名又は名称】本山 泰

(72)【発明者】

【氏名】川村 宗範

(72)【発明者】

【氏名】赤毛 勇一

(72)【発明者】

【氏名】坂本 尊

(72)【発明者】

【氏名】岡 宗一

(72)【発明者】

【氏名】八木 生剛

【審査官】野口 晃一

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１８－０６９３１０（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００９－３００８３３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００９－１８６６４７（ＪＰ，Ａ）

【文献】国際公開第００／０５３３６５（ＷＯ，Ａ１）

【文献】特開２００８－１１０３８４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特表２０１８－５２０００７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平０８－２７６２８８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平１１－０５２２８４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平０８－１７９１０８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１５－２０５３２７（ＪＰ，Ａ）

【文献】韓国登録特許第１０－０５２９３０３（ＫＲ，Ｂ１）

【文献】米国特許第０５３０５１２５（ＵＳ，Ａ）

【文献】米国特許第０５６８４６１７（ＵＳ，Ａ）

【文献】特開２０１６－１０７２９３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平０４－３０５７８６（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｇ０２Ｆ １／００－１／１２５

１／２１－７／００

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

光源から放射されたレーザー光から平行光を生成する光学系と、
前記光学系からの平行光に対して１次元の偏向を行う光偏向器と、
前記光偏向器からの偏向光を回折する回折光学素子とを備え、
前記回折光学素子は、前記回折光学素子に対向する所定の平面上に回折光が結像され、前記偏向光の入射位置に応じて、前記回折光が結像される前記所定の平面上の位置が異なるように構成され、加工対象物における前記所定の平面上に、複数の直線の回折像を一定の間隔で結像するように構成され、前記加工対象物の所定の長方形の範囲が所定の温度分布となるように、前記複数の直線の回折像の間で、前記複数の直線の回折像からの熱拡散により、前記加工対象物の温度を上昇させる
レーザー光走査装置。

【請求項2】

前記回折光学素子は、複数の区分に分割されており、前記複数の区分のそれぞれに照射された光が、それぞれ異なる位置に結像されるように加工されている
請求項１に記載のレーザー光走査装置。

【請求項3】

前記光偏向器は、電気光学効果を利用する光偏向器である
請求項１または２に記載のレーザー光走査装置。

【請求項4】

前記電気光学効果を利用する光偏向器は、ＫＴＮ単結晶を用いた光偏向器である
請求項３に記載のレーザー光走査装置。

【請求項5】

前記回折光学素子は、脱着可能に構成されている
請求項１～４のいずれか１項に記載のレーザー光走査装置。

【請求項6】

前記回折光学素子は、結像される回折光のエネルギー密度が、前記回折光学素子に入射するレーザー光のエネルギー密度と等しくなるように構成されている
請求項１～５のいずれか１項に記載のレーザー光走査装置。

【請求項7】

光偏向器と回折光学素子とを備えたレーザー光走査装置におけるレーザー光走査方法であって、
光源から放射されたレーザー光から平行光を生成するステップと、
前記平行光に対して１次元の偏向を行うステップと、
前記偏向された偏向光を回折するステップとを含み、
前記回折するステップでは、前記回折光学素子に対向する所定の平面上に回折光が結像され、前記回折光学素子における前記偏向光の入射位置に応じて、前記回折光が結像される前記所定の平面上の位置が異なるように前記偏向光が回折され、加工対象物における前記所定の平面上に、複数の直線の回折像を一定の間隔で結像するように構成され、前記加工対象物の所定の長方形の範囲が所定の温度分布となるように、前記複数の直線の回折像の間で、前記複数の直線の回折像からの熱拡散により、前記加工対象物の温度を上昇させる
レーザー光走査方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本願発明は、金属等の加工や塗料の除去等を行うためにレーザー光を走査するレーザー光走査装置に関する。

【背景技術】

【0002】

レーザー加工装置は、金属や樹脂などの切断、溶接、印字など幅広く用いられており、最近では屋外で金属の錆を取り除く、いわゆる除錆や、金属に塗装された塗料を取り除くなど、構造物の保守用途へと利用範囲が拡大している。例えば、除錆作業にレーザー加工装置を用いれば、騒音の抑制、金属の細かな凹凸部の除錆や飛散物の回収が容易になるなどの利点がある（特許文献１、非特許文献１、２参照）。

【0003】

除錆用途のレーザー加工装置はレーザー光源と加工用のヘッドから構成されており、ヘッド内のプリズムなどの光学部品を高速で回転させる機構により、除錆対象物上でレーザー光を、円形を例として２次元走査するなど、除錆に最適な条件を実現するためのエネルギー密度や走査範囲、走査速度などが最適化されているほか、単位時間あたりの除錆作業が完了する面積を大きくするための工夫がなされている（特許文献１参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【文献】特許第５５７４３５４号公報

【文献】特開２０１８－２１９３０号公報

【非特許文献】

【0005】

【文献】「レーザークリーニング工法 可搬型レーザーによる塗膜及びサビの除去工法」、静岡県交通基板部技術管理課、新技術・新工法情報データベース、登録番号１６２４，［平成３０年８月２３日検索］、インターネット＜URL:http://www2.pref.shizuoka.jp/all/new_technique.nsf/7BFBD8898312FB56492581930029788E/$FILE/1624gaiyou.pdf＞

【文献】Koichiro Nakamura, Jun Miyazu, Yuzo Sasaki, Tadayuki Imai, Masahiro Sasaura, and Kazuo Fujiura, "Space-charge-controlled electro-optic effect: Optical beam deflection by electro-optic effect and space-charge-controlled electrical conduction", Journal of Applied Physics 104, 013105 _2008_

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

ここで、除錆作業に限らずレーザー光を２次元走査して金属等を加工するレーザー加工装置においても、同様に光学部品を回転させたり、あるいはミラー数枚を高速に動作させて２次元走査を行っており、この２次元走査を行うためには、特許文献２に示すように、少なくとも２つの機械駆動機構が必要となるのが一般的である。ビーム走査を行う次元が複数必要な場合、ビーム走査を行う装置の機械駆動機構を構成する構成部品が多くなるという問題がある。

【0007】

本願発明は、このような課題に鑑みてなされたものであり、ビーム走査を行うための構成部品が少なく、レーザー光による加工作業等における作業効率を上げることが可能なレーザー光走査装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0008】

上記課題を解決するために、本願発明のレーザー光走査装置は、光源から放射されたレーザー光から平行光を生成する光学系と、前記光学系からの平行光に対して１次元の偏向を行う光偏向器と、前記光偏向器からの偏向光を回折する回折光学素子とを備え、前記回折光学素子は、前記回折光学素子に対向する所定の平面上に回折光が結像され、前記偏向光の入射位置に応じて、前記回折光が結像される、前記所定の平面上の位置が異なるように構成され、加工対象物における前記所定の平面上に、複数の直線の回折像を一定の間隔で結像するように構成され、前記加工対象物の所定の長方形の範囲が所定の温度分布となるように、前記複数の直線の回折像の間で、前記複数の直線の回折像からの熱拡散により、前記加工対象物の温度を上昇させる。

【0009】

上記課題を解決するために、本願発明のレーザー光走査方法は、光偏向器と回折光学素子とを備えたレーザー光走査装置におけるレーザー光走査方法であって、光源から放射されたレーザー光から平行光を生成するステップと、前記平行光に対して１次元の偏向を行うステップと、前記偏向された偏向光を回折するステップとを含み、前記回折するステップでは、前記回折光学素子に対向する所定の平面上に回折光が結像され、前記回折光学素子における前記偏向光の入射位置に応じて、前記回折光が結像される前記所定の平面上の位置が異なるように前記偏向光が回折され、加工対象物における前記所定の平面上に、複数の直線の回折像を一定の間隔で結像するように構成され、前記加工対象物の所定の長方形の範囲が所定の温度分布となるように、前記複数の直線の回折像の間で、前記複数の直線の回折像からの熱拡散により、前記加工対象物の温度を上昇させる。

【発明の効果】

【0010】

本願発明によれば、ビーム走査を行うための構成部品が少なく、レーザー光による加工作業等における作業効率を上げることが可能なレーザー光走査装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0011】

【図1A】図１Ａは、本願発明のレーザー光走査装置（透過型）の構成例を示す図である。

【図1B】図１Ｂは、本願発明のレーザー光走査装置（反射型）の構成例を示す図である。

【図2】図２は、入射光の光強度分布及びプロファイルの一例を示す図である。

【図3A】図３Ａは、本願発明の実施形態に係る透過型の回折光学素子を説明するための図である。

【図3B】図３Ｂは、本願発明の実施形態に係る反射型の回折光学素子を説明するための図である。

【図4A】図４Ａは、本願発明の第１の実施の形態に係るレーザー光走査装置の構成例を示す図である。

【図4B】図４Ｂは、本願発明の第１の実施の形態に係る光偏向器の動作例を示す図である。

【図5A】図５Ａは、本願発明の第２の実施の形態に係るレーザー光走査装置の構成例を示す図である。

【図5B】図５Ｂは、本願発明の第２の実施の形態に係る光偏向器の動作例を示す図である。

【図6A】図６Ａは、本願発明の第３の実施の形態に係るレーザー光走査装置の構成例を示す図である。

【図6B】図６Ｂは、本願発明の第３の実施の形態に係る光偏向器の動作例を示す図である。

【図6C】図６Ｃは、本願発明の第３の実施の形態に係るビーム形成の一例を示す図である。

【図6D】図６Ｄは、本願発明の第３の実施の形態に係るビーム形成の他の例を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0012】

以下、本願発明の実施の形態について図面を用いて説明する。本願発明は、多くの異なる態様で実施することが可能であり、以下に説明する本願発明の実施の形態に限定されるものではない。

【0013】

＜レーザー光走査装置の構成＞
図１Ａ、図１Ｂを用いて、本願発明の実施の形態に係るレーザー光走査装置の構成を説明する。レーザー光走査装置１０は、光源３０から出射され、光ファイバ３１により伝搬されたレーザー光を処理対象の表面に照射するためのヘッド部２０とを備え、ヘッド部２０は、平行光生成光学系２１、光偏向器２３および透過型回折光学素子２５（図１Ａ）、あるいは反射型回折光学素子２６（図１Ｂ）とを備える。

【0014】

光源３０から放射されたレーザー光は、光ファイバ３１により伝搬され、ヘッド部２０に入射し、平行光生成光学系２１により平行光２２とされる。平行光２２は、光偏向器２３により偏向され、偏向光２４は、透過型回折光学素子２５または反射型回折光学素子２６により回折され、回折光２７が処理対象の表面に結像される。

【0015】

光偏向器２３により偏向された平行光２２は、透過型回折光学素子２５を通過し、または反射型回折素子２６で反射され、所望の光強度分布つまり回折像４０に成形される。透過型回折光学素子２５、または反射型回折光学素子２６によって回折光２７の結像位置を変化させることにより所望の走査を行い、回折像４０により処理対象物の表面に所定の加工等を施すことができる。

【0016】

＜回折光学素子＞
回折光学素子とは、回折光学素子に入射したレーザー光を、所定の形状の光強度分布に成形することができる光学素子である。図２のような光の強度分布、プロファイルを有するレーザー光を回折することで、四角形等の所定の形状の光強度分布をもつ回折像４０を成形することができる。回折光学素子としては、図３Ａのように、入射した偏向光２４が透過して結像する透過型回折光学素子２５と、図３Ｂのように、入射した偏向光２４が反射して結像する反射型回折光学素子２６がある。本願発明の実施の形態では、これらの透過型、反射型回折光学素子のいずれも用いることができる。これらの回折光学素子２５、２６は、ヘッド部２０への脱着が可能であり、レーザー光走査装置の用途に応じて回折光学素子を交換することで所望の光強度分布をもつ回折像４０を得ることができる。

【0017】

＜第１の実施の形態＞
円や輪の形状の光強度分布を持つ光を加工対象物に照射する場合において、従来のビーム走査方法を用いる場合、２次元の偏向動作を行うために２つの機械駆動を用いた光偏向器が必要であった。これに対して、本実施の形態では、図４Ａに示すように、１つの機械駆動を用いた１次元の偏向動作を行う光偏向器２３と所定の加工が施された回折光学素子２５とを組み合わせて、従来の２次元のビーム走査と同等のビーム走査を実現する。光偏向器２３としてはビームの１次元の偏向動作ができるものであれば、どのような機械駆動機構を使用しても構わない。

【0018】

図４Ａの回折光学素子２５は、光偏向器２３のビーム走査方向に沿って、複数の区間に分割されており、それぞれの区間における回折像４０の結像位置が異なるように、区間毎に異なる微細構造が施されている。図４Ａでは、前記回折光学素子に対向する所定の平面上、例えば、光偏向器２３から回折光学素子２５に向かう軸に垂直な平面上に、回折光が結像されるように構成されている。

【0019】

この回折光が結像される平面は、上記の例に限られず、所望のビーム走査の形状等に応じて、回折光学素子に所定の加工を施すことにより、前記回折光学素子に対向する所定の平面上に回折光を結像することができる。本実施の形態によれば、１次元の偏向動作を行う光偏向器と所定の加工が施された回折光学素子とを組み合わせて、回折光学素子に対向する所定の平面上の所望の位置に回折光を結像する２次元ビーム走査が可能となる。

【0020】

回折光学素子２５は、複数の区間のそれぞれにおける回折像４０の結像位置が異なるように、区間毎に異なる微細構造が施されているので、偏向された偏向光２４の回折光学素子２５における入射位置を時間的に変化させることで、光偏向器２３の１次元のビームの偏向動作により、所望の位置に回折像を結像させて所望の形状のビーム走査を行うことができる。

【0021】

図４Ｂは、光偏向器２３の偏向動作の一例であり、偏向されたビームの回折光学素子２５における入射位置（Ａ～Ｄ）の時間的な変化を示したものである。図４Ｂでは、時刻０において、偏向されたビームは、区間Ａに照射される。時間の経過と共に図４Ａの右方向にビームが走査されて各区間を通過する際に円弧を描きながら回折像４０の結像位置が変化し、位相がπ／２になったときには偏向光２４は区間Ｂに照射され、図４Ａの右側の半円の走査が終了する。

【0022】

その後、ビームは図４Ａの左側に走査されていくが、区間Ｂから区間Ｃに戻るまでの間ビームの出力を停止し、区間Ｃを通過した後にビームの出力を再開し、位相が３π／２となって区間Ｄに到達したときにビームの出力を停止すれば、この時点で図４Ａの左側の半円の走査も完了し、輪の形のビーム走査を完了することができる。

【0023】

ここで、区間Ｂから区間Ｃまでの間、区間Ｄから区間Ａまでの間ビームの出力を停止しなければ、左右の半円のそれぞれを２重に走査でき、加工対象物に照射するエネルギーを倍にすることができる。複数回の走査を行うことでそれに応じて照射するエネルギーを増加させることができる。

【0024】

このように、本実施の形態によれば、１つの機械駆動を用いた光偏向器２３と所定の加工が施された回折光学素子との組み合わせにより、光偏向器における１次元のビーム走査によって、２次元走査と同じビーム走査を行うことが可能となり、従来と比較して、光偏向器の機械駆動機構の構成部品を減らすことができる。

【0025】

＜レーザー光走査装置（機械駆動）の具体例＞
図４Ａの構成において、鏡を機械駆動することによって５００Ｈｚでビームを偏向するレーザー光走査装置を作製した。このとき、光偏向器２３に入射する光のエネルギー密度は８ｍＪ／ｍｍ²であり、使用した透過型回折光学素子２５のエネルギー変換効率、すなわち、回折像のエネルギーを入射光のエネルギーで割った値は０．９であった。

【0026】

上記エネルギー変換効率を有し、回折光学素子の入射光と同じエネルギー密度となるように正方形の回折像４０を成形可能な透過型回折光学素子２５を用い、輪の形のビーム走査を行って金属加工を行った。エネルギー密度を変化させることなく、従来の２次元のビーム走査と同等のビーム走査を実現し、光偏向器の構成部品の減少により、レーザー光走査装置の製造コストを低減させることができた。

【0027】

＜第２の実施の形態＞
第１の実施の形態では、光偏向器２３として機械駆動機構を用いたが、機械駆動機構を必要としない電気光学効果を利用した光偏向器２３を使用してもよい。電気光学効果を利用した光偏向器２３として、ニオブ酸チタン酸カリウム（ＫＴａ_1-xＮｂ_x０₃：ＫＴＮ）単結晶を用いたものが挙げられる。ＫＴＮ単結晶では、非特許文献２に記載されているように、電圧の印加によってレーザー光を偏向することが可能である。

【0028】

電気光学効果を利用した光偏向器２３を用いた場合でも、１次元のビーム走査によって、２次元のビーム走査と同等のビーム走査を実現することができる。さらに、ＫＴＮ単結晶を用いた光偏向器２３は、５００ｋＨｚ程度まで高速にビーム走査することが可能であり、機械駆動機構の光偏向器２３を用いた場合よりも作業効率を改善することが可能である。

【0029】

＜レーザー光走査装置の具体例＞
図４Ａの構成において、電気光学効果を利用するＫＴＮ単結晶光偏向器によってビームを５００ｋＨｚで走査する装置を作製した。このとき、光偏向器２３に入射する光のエネルギー密度は８ｍＪ／ｍｍ²であり、使用した透過型回折光学素子２５のエネルギー変換効率、すなわち、回折像のエネルギーを入射光のエネルギーで割った値は０．９であった。

【0030】

上記エネルギー変換効率を有し、回折光学素子の入射光と同じエネルギー密度となるように輪形状の回折像４０を成形可能な透過型回折光学素子２５を用いて、輪の形のビーム走査を行って金属加工を行った。従来の２次元のビーム走査と同等のビーム走査を実現しながら、光偏向器の構成部品の減少によりレーザー光走査装置の製造コストを低減させることができた。さらに、ＫＴＮ単結晶光偏向器を利用したことにより、機械駆動機構を用いた光偏向器を用いた場合と比較して作業時間を１０００分の１程度まで短縮することができた。

【0031】

＜その他の実施の形態＞
図５Ａ、５Ｂは、従来の直線を複数描く走査と同等のビーム走査を、１次元の偏向を行う光偏向器２３と、直線の回折像４０を成形できる回折光学素子２５を組み合わせて実現する構成例を示したものである。図５Ｂは、光偏向器２３の偏向動作の一例であり、偏向されたビームの回折光学素子２５における入射位置（Ａ～Ｄ）の時間的な変化は、図４Ｂと同様である。

【0032】

図６Ａ、６Ｂは、従来の長方形を描く走査と同等のビーム走査を、１次元の偏向を行う光偏向器２３と、直線の回折像４０を成形できる回折光学素子２５を組み合わせて実現する構成例を示したものである。図６Ｂは、光偏向器２３の偏向動作の一例であり、偏向されたビームの回折光学素子２５における入射位置（Ａ～Ｄ）の時間的な変化は、図４Ｂと同様である。

【0033】

図６Ｃに示すように、回折像である直線の間隔が無い状態にすることにより、任意の幅の長方形を描くビーム走査を実現できるが、長方形を描くビーム走査は、直線の回折像の間隔を無くさなくても実現することができる。具体的には、直線の回折像を一定の間隔で結像させて、図６Ｄのように熱の拡散によって、直線の回折像の間で、加工対象物の温度を上昇させ、加工に十分な温度にさせることにより、任意の幅の長方形を描くビーム走査を実現することができる。

【産業上の利用可能性】

【0034】

本願発明は、金属等の加工や塗料の除去等を行うためにレーザー光を走査するレーザー光走査装置に利用することができる。

【符号の説明】

【0035】

１０…レーザー光走査装置、２０…ヘッド部、２１…平行光生成光学系、２２…平行光、２３…光偏向器、２４…偏向光、２５…透過型回折素子、２６…反射型回折素子、２７…回折光、３０…光源、３１…光ファイバ、４０…回折像。

【図1A】

【図1B】

【図2】

【図3A】

【図3B】

【図4A】

【図4B】

【図5A】

【図5B】

【図6A】

【図6B】

【図6C】

【図6D】