特許 7303830 静電チャックフィルターボックスおよび取付けブラケット

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2023-06-27

(45)【発行日】2023-07-05

(54)【発明の名称】静電チャックフィルターボックスおよび取付けブラケット

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/683 20060101AFI20230628BHJP

   H02N 13/00 20060101ALI20230628BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 R

H02N13/00 D

【請求項の数】 27

(21)【出願番号】P 2020564458

(86)(22)【出願日】2019-05-10

(65)【公表番号】

(43)【公表日】2021-09-13

(86)【国際出願番号】 US2019031725

(87)【国際公開番号】W WO2019222047

(87)【国際公開日】2019-11-21

【審査請求日】2022-05-09

(31)【優先権主張番号】15/982,972

(32)【優先日】2018-05-17

(33)【優先権主張国・地域又は機関】US

(73)【特許権者】

【識別番号】592010081

【氏名又は名称】ラム リサーチ コーポレーション

【氏名又は名称原語表記】ＬＡＭ ＲＥＳＥＡＲＣＨ ＣＯＲＰＯＲＡＴＩＯＮ

(74)【代理人】

【識別番号】110000028

【氏名又は名称】弁理士法人明成国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】バスケス・ミゲル・ベンジャミン

(72)【発明者】

【氏名】プール・ジェレミー・ジェローム

(72)【発明者】

【氏名】スレビン・ダミアン・マーティン

【審査官】宮久保 博幸

(56)【参考文献】

【文献】特開２００９－１７０５０９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特表２０１３－５３６９７２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平０６－３１８５６６（ＪＰ，Ａ）

【文献】中国実用新案第２０７３３８２９９（ＣＮ，Ｕ）

【文献】米国特許出願公開第２０１４／０３０２２５６（ＵＳ，Ａ１）

【文献】米国特許出願公開第２００８／０１８２４１８（ＵＳ，Ａ１）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ２１／６８３

Ｈ０２Ｎ １３／００

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

ペデスタルリフトのブラケットに取り付けて複数の電気的接続を行うための静電チャックＲＦフィルターボックスであって、
ＲＦフィルターブロックの合わせ面上に複数の自動位置合わせ電気コネクタを含む少なくとも１つのコンタクトブロックであって、前記合わせ面は前記ＲＦフィルターボックスの外側表面である、少なくとも１つのコンタクトブロックと、
前記ＲＦフィルターボックスの前記合わせ面上の少なくとも１つの位置合わせ機構であって、前記コンタクトブロックが前記ペデスタルリフトの前記ブラケットに取り付けられた時に、前記自動位置合わせ電気コネクタと前記ペデスタルリフトの前記ブラケット上の対応する電気コネクタとが自動的に嵌合するように、前記少なくとも１つの位置合わせ機構は、前記自動位置合わせ電気コネクタを前記ペデスタルリフトの前記ブラケット上の前記対応する電気コネクタと位置合わせさせるように構成されている、少なくとも１つの位置合わせ機構と、
を備える静電チャックＲＦフィルターボックス。

【請求項2】

請求項１に記載の静電チャックＲＦフィルターボックスであって、少なくとも２つのコンタクトブロックを備え、第１のコンタクトブロックがＲＦ信号をフィルタリングするように構成され、第２のコンタクトブロックがＡＣ信号をフィルタリングするように構成されている、静電チャックＲＦフィルターボックス。

【請求項3】

請求項２に記載の静電チャックＲＦフィルターボックスであって、前記第１のコンタクトブロックは少なくとも３つのＲＦ信号をフィルタリングするように構成され、前記第２のコンタクトブロックは少なくとも４つのＡＣ信号をフィルタリングするように構成されている、静電チャックＲＦフィルターボックス。

【請求項4】

請求項１に記載の静電チャックＲＦフィルターボックスであって、低周波および高周波のＲＦ信号をフィルタリングする、静電チャックＲＦフィルターボックス。

【請求項5】

請求項１に記載の静電チャックＲＦフィルターボックスであって、ＡＣヒーター信号をフィルタリングする、静電チャックＲＦフィルターボックス。

【請求項6】

請求項１に記載の静電チャックＲＦフィルターボックスであって、ＤＣクランプ電圧をフィルタリングする、静電チャックＲＦフィルターボックス。

【請求項7】

請求項１に記載の静電チャックＲＦフィルターボックスであって、少なくとも１つのファンアセンブリを更に備える、静電チャックＲＦフィルターボックス。

【請求項8】

請求項１に記載の静電チャックＲＦフィルターボックスであって、前記合わせ面上に少なくとも２つの位置合わせ機構を備える、静電チャックＲＦフィルターボックス。

【請求項9】

請求項８に記載の静電チャックＲＦフィルターボックスであって、前記少なくとも２つの位置合わせ機構は位置合わせピンおよびキー溝穴を備える、静電チャックＲＦフィルターボックス。

【請求項10】

請求項８に記載の静電チャックＲＦフィルターボックスであって、前記少なくとも２つの位置合わせ機構は少なくとも２つの位置合わせピンを備える、静電チャックＲＦフィルターボックス。

【請求項11】

請求項８に記載の静電チャックＲＦフィルターボックスであって、前記少なくとも２つの位置合わせ機構は少なくとも２つのキー溝穴を備える、静電チャックＲＦフィルターボックス。

【請求項12】

請求項１に記載の静電チャックＲＦフィルターボックスであって、前記ペデスタルリフトは移動可能である、静電チャックＲＦフィルターボックス。

【請求項13】

請求項１に記載の静電チャックＲＦフィルターボックスであって、前記少なくとも１つのコンタクトブロックは絶縁材料で形成されている、静電チャックＲＦフィルターボックス。

【請求項14】

請求項１に記載の静電チャックＲＦフィルターボックスであって、前記少なくとも１つのコンタクトブロックは、絶縁材料で形成された締結具によって前記ＲＦフィルターボックスの筐体に締結されている、静電チャックＲＦフィルターボックス。

【請求項15】

静電チャックＲＦフィルターボックスをペデスタルリフトと電気的に結合させる方法であって、前記方法は、
前記静電チャックＲＦフィルターボックスを提供することであって、前記ＲＦフィルターボックスは、
ＲＦフィルターブロックの外側合わせ面上に複数の自動位置合わせ電気コネクタを含む少なくとも１つのコンタクトブロックと、
前記ＲＦフィルターボックスの前記外側合わせ面上の少なくとも１つの位置合わせ機構であって、前記コンタクトブロックが前記ペデスタルリフトのブラケットに取り付けられた時に、前記自動位置合わせ電気コネクタと前記ペデスタルリフトの前記ブラケット上の対応する電気コネクタとが自動的に嵌合するように、前記少なくとも１つの位置合わせ機構は、前記自動位置合わせ電気コネクタを前記ペデスタルリフトの前記ブラケット上の前記対応する電気コネクタと位置合わせさせるように構成されている、少なくとも１つの位置合わせ機構と、を備える、前記静電チャックＲＦフィルターボックスの提供と、
前記少なくとも１つの位置合わせ機構を使用して、前記ＲＦフィルターボックスの前記外側合わせ面を前記ペデスタルリフトの取付けブラケットの合わせ面に対して配置して、前記ペデスタルリフトの前記取付けブラケット上の対応する位置合わせ機構と係合させることと、
前記ＲＦフィルターボックスを前記ペデスタルリフトと電気的に結合させるために、前記ＲＦフィルターボックスを前記ペデスタルリフトの前記取付けブラケットに固定することであって、前記ＲＦフィルターボックスが前記ペデスタルリフトの前記取付けブラケットに固定された時に、前記ＲＦフィルターボックス上の前記複数の電気コネクタと前記ペデスタルリフトの前記ブラケット上の前記対応する電気コネクタとが自動的に嵌合する、前記ＲＦフィルターボックスの固定と、を含む方法。

【請求項16】

請求項１５に記載の方法であって、前記ＲＦフィルターボックスは少なくとも２つのコンタクトブロックを備え、第１のコンタクトブロックがＲＦ信号をフィルタリングするように構成され、第２のコンタクトブロックがＡＣ信号をフィルタリングするように構成されている、方法。

【請求項17】

請求項１６に記載の方法あって、前記第１のコンタクトブロックは少なくとも３つのＲＦ信号をフィルタリングするように構成され、前記第２のコンタクトブロックは少なくとも４つのＡＣ信号をフィルタリングするように構成されている、方法。

【請求項18】

請求項１５に記載の方法であって、前記ＲＦフィルターボックスは低周波および高周波のＲＦ信号をフィルタリングする、方法。

【請求項19】

請求項１５に記載の方法であって、前記ＲＦフィルターボックスはＡＣヒーター信号をフィルタリングする、方法。

【請求項20】

請求項１５に記載の方法であって、前記ＲＦフィルターボックスはＤＣクランプ電圧をフィルタリングする、方法。

【請求項21】

請求項１５に記載の方法であって、前記ＲＦフィルターボックスは前記合わせ面上に少なくとも２つの位置合わせ機構を備える、方法。

【請求項22】

請求項２１に記載の方法であって、
前記合わせ面上の位置合わせピンを前記ペデスタルリフトの前記ブラケットのキー溝穴に位置合わせすることと、
前記合わせ面上のキー溝穴を前記ペデスタルリフトの前記ブラケットの位置合わせピンに位置合わせすることと、を更に含む方法。

【請求項23】

請求項２１に記載の方法であって、少なくとも２つの位置合わせピンを、前記ペデスタルリフトの前記ブラケット上の２つの対応するキー溝穴と位置合わせすることを更に含む、方法。

【請求項24】

請求項２１に記載の方法であって、少なくとも２つのキー溝穴を、前記ペデスタルリフトの前記ブラケット上の２つの対応する位置合わせピンと位置合わせすることを更に含む、方法。

【請求項25】

請求項１に記載の静電チャックＲＦフィルターボックスであって、前記ペデスタルリフトは移動可能である、静電チャックＲＦフィルターボックス。

【請求項26】

請求項１に記載の静電チャックＲＦフィルターボックスであって、前記少なくとも１つのコンタクトブロックは絶縁材料で形成されている、静電チャックＲＦフィルターボックス。

【請求項27】

請求項１に記載の静電チャックＲＦフィルターボックスであって、前記少なくとも１つのコンタクトブロックは、絶縁材料で形成された締結具によって前記ＲＦフィルターボックスの筐体に締結されている、静電チャックＲＦフィルターボックス。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

関連出願の相互参照
本出願は、２０１８年５月１７日に出願された米国特許出願第１５／９８２，９７２号の優先権の利益を主張し、それがあらゆる目的で本明細書に参照として組み込まれる。

【背景技術】

【0002】

本開示は、半導体処理のための方法および装置に関する。より具体的には、本開示は他の信号からＲＦ信号をフィルタリングするための静電チャックフィルターボックスおよび取付けブラケットに関する。

【0003】

半導体ウェハなどの基板を処理するために使用される半導体処理システムは、典型的には、半導体処理中にウェハを保持するための、チャックなどの基板支持体を含む。チャックの１つのタイプは電極を有するプラテンを含む静電チャック（ＥＳＣ）であり、電極は、ウェハをプラテンに保持するために電圧でバイアスされてウェハとプラテンとの間に静電力を発生させる。典型的には、ＥＳＣのクランプおよびデクランプ機能を制御するために、ＤＣ信号を使用して電圧電源を制御する。

【0004】

無線周波数（ＲＦ）フィルターボックスは、ＲＦ信号を、（ＥＳＣクランプ電圧からの）敏感なＤＣ信号および（ＥＳＣヒーターからの）ＡＣ信号などの他の信号からフィルタリングする電気機械アセンブリである。典型的には、ＲＦフィルターボックスはＥＳＣペデスタルリフトと電気的に結合され、手動コネクタを使用して電気的接続をそれぞれ別々に行う。ＲＦフィルターボックスは、最初にペデスタルリフトに取り付ける必要がある。次いで、ＲＦフィルターボックス上のパネルを取り外して、これら手動電気的接続部にアクセスできる。これら電気的接続を手動で行うには、接続ワイヤの操作が必要であり、困難な可能性があり、常に一貫しているとは限らない。ワイヤの一貫した配置はフィルタリング回路の性能にとって不可欠である。したがって、電気的および機械的接続を自動的に行うための、信頼性が高く一貫した方法を提供するＥＳＣ ＲＦフィルターボックスが必要である。

【発明の概要】

【0005】

一実施形態によれば、ペデスタルリフトのブラケットに取り付けて複数の電気的接続を行うための静電チャックＲＦフィルターボックスが提供される。ＲＦフィルターボックスは、少なくとも１つのコンタクトブロックおよび少なくとも１つの位置合わせ機構を含む。コンタクトブロックは、ＲＦフィルターブロックの合わせ面上に複数の自動位置合わせ電気コネクタを含む。合わせ面はＲＦフィルターボックスの外側表面である。位置合わせ機構はＲＦフィルターボックスの合わせ面上にあり、自動位置合わせ電気コネクタをペデスタルリフトのブラケット上の対応する電気コネクタと位置合わせさせるように構成されている。それにより、コンタクトブロックがペデスタルリフトのブラケットに取り付けられた時に、自動位置合わせ電気コネクタとペデスタルリフトのブラケット上の対応する電気コネクタとが自動的に嵌合する。

【0006】

別の実施形態によれば、静電チャックＲＦフィルターボックスをペデスタルリフトと電気的に結合させるための方法が提供される。静電チャックＲＦフィルターボックスが提供される。フィルターボックスは、少なくとも１つのコンタクトブロックおよび少なくとも１つの位置合わせ機構を含む。コンタクトブロックは、ＲＦフィルターブロックの外側合わせ面上に複数の自動位置合わせ電気コネクタを含み、位置合わせ機構は、ＲＦフィルターボックスの外側合わせ面上にある。位置合わせ機構は、自動位置合わせ電気コネクタをペデスタルリフトのブラケット上の対応する電気コネクタと位置合わせさせるように構成されており、それにより、コンタクトブロックがペデスタルリフトのブラケットに取り付けられた時に、自動位置合わせ電気コネクタとペデスタルリフトのブラケット上の対応する電気コネクタとが自動的に嵌合する。次いで、少なくとも１つの位置合わせ機構を使用して、ＲＦフィルターボックスの外側合わせ面をペデスタルリフトの取付けブラケットの合わせ面に対して配置して、ペデスタルリフトの取付けブラケット上の対応する位置合わせ機構と係合させる。次いで、ＲＦフィルターボックスをペデスタルリフトと電気的に結合させるために、ＲＦフィルターボックスはペデスタルリフトの取付けブラケットに固定され、ＲＦフィルターボックスがペデスタルリフトに取り付けられた時に、ＲＦフィルターボックス上の複数の電気コネクタとペデスタルリフトのブラケット上の対応する電気コネクタとは自動的に嵌合する。

【0007】

本開示は、添付の図面の図において限定としてではなく例として図示され、図では類似する参照番号は同様の要素を指す。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】図１は、一実施形態による、ＲＦフィルターボックスの前面の斜視図である。

【0009】

【図2】図２は、図１に示すＲＦフィルターボックスの分解図である。

【0010】

【図3】図３は、図１および図２に示すＲＦフィルターボックスの背面の斜視図である。

【0011】

【図4】図４は、図１～図３に示すＲＦフィルターボックスの底面の斜視図である。

【0012】

【図5A】図５Ａは、ＲＦフィルターボックスの取付けブラケット内のコンタクトブロックおよび電気ソケットの実施形態の詳細図である。

【0013】

【図5B】図５Ｂは、図５Ａに示す電気ソケットのうちの１つ、および対応するピンの詳細図である。

【0014】

【図6】図６は、一実施形態による、ペデスタルリフト上の取付けブラケットの嵌合側の斜視図である。

【0015】

【図7A】図７Ａは、一実施形態による、ＲＦ信号用のコンタクトブロック、電気ソケット、およびピンの詳細な分解図である。

【0016】

【図7B】図７Ｂは、図７Ａに示すＲＦ信号用のコンタクトブロック、電気ソケット、およびピンの詳細な斜視図である。

【0017】

【図8A】図８Ａは、一実施形態による、ＡＣ信号用のコンタクトブロック、電気ソケット、およびピンの詳細な分解図である。

【0018】

【図8B】図８Ｂは、図８Ａに示すＡＣ信号用のコンタクトブロック、電気ソケット、およびピンの詳細な斜視図である。

【0019】

【図9】図９は、一実施形態による、静電チャックＲＦフィルターボックスをペデスタルリフトと電気的に結合させる方法のフローチャートである。

【発明を実施するための形態】

【0020】

ここで、添付の図面に示されるような本発明のいくつかの好ましい実施形態を参照して、本発明を詳細に説明する。以下の記載には、本発明の完全な理解を提供するために数多くの具体的な詳細が記述されている。しかしながら、これらの具体的な詳細の一部または全てがなくても、本発明を実施し得ることが当業者には明らかであろう。その他の場合、本発明を不必要に不明瞭にしないように、周知のプロセスステップおよび／または構造は詳細には説明されていない。

【0021】

図１～図９を参照すると、ＲＦフィルターボックス１００の実施形態が記載されている。ＲＦフィルターボックス１００は、電気的接続を行うためにＥＳＣのペデスタルリフト６１０のブラケットに取り付けるための電気機械アセンブリである。いくつかの実施形態によれば、ペデスタルリフト６１０を移動させることができる。ＲＦフィルターボックス１００は、敏感なＤＣ信号（ＥＳＣクランプからの）およびＡＣ信号（ＥＳＣのヒーターからの）などの他の信号からのＲＦ信号をフィルタリングする。本明細書でより詳細に説明するように、一実施形態によれば、ＲＦフィルターボックス１００の機械的部分は、カスタムコンタクトブロックの中に設定されるソケットを使用する。次いで、これらのソケットは、ペデスタルリフトアセンブリの取付けブラケット上に位置するピンに嵌合されて、ＲＦ、ＡＣ、およびＤＣ信号に対して自動的に電気的接続を行う。以下でより詳細に論じるように、ＲＦフィルターボックス１００上の位置合わせピンを使用して、嵌合構成要素も形成し信頼性を高めることに役立ち得る。電気的接続の正確で再現性のある配置により、ＲＦ、ＡＣ、およびＤＣ信号の完全性と信頼性が確保される。

【0022】

図１～図４は、ＥＳＣペデスタルリフト取付けブラケット（図６）に取り付けられるように構成されたＲＦフィルターボックス１００の実施形態を示す。図１～図４に示すように、ＲＦフィルターボックス１００は、ワイヤおよび他の構成要素が収容される筐体１１０を有する。筐体１１０は、図１および図２に示すように、前面にある筐体カバー１２０で閉じられている。図３に示すように、ＲＦフィルターボックス１００の背面には、フィルターボックス取付けブラケット１１２がある。この取付けブラケット１１２により、ＲＦフィルターボックス１００をペデスタルリフト６１０の取付けブラケット６００（図６）に取り付けることが可能になる。ＲＦフィルターボックス１００の外側表面は、筐体１１０、筐体カバー１２０、および取付けブラケット１１２を含む。図示した実施形態では、ＲＦフィルターボックス１００はまた、ＥＳＣ／高周波（ＨＦ）フィルターファンアセンブリ１３０、低周波数（ＬＦ）フィルターファンアセンブリ１４０、およびファンセンスアセンブリ１５０を含むいくつかのファンアセンブリを含む。

【0023】

図１～図４では、ヒーターラインからＡＣ信号を受信するために、ＡＣコネクタ１６０がＲＦフィルターボックス上に設けられている。図２は、ＲＦフィルターボックス１００の分解図であり、ＥＳＣ ＤＣプリント回路基板アセンブリ（ＰＣＢＡ）１６２、低周波入力用の低周波ＲＦ ＰＣＢＡ１６４、および高周波入力用の高周波ＲＦ ＰＣＢＡ１６６、を含むＲＦフィルターボックス１００内の構成要素を示す。図４は、ＡＣコネクタ１６０、ＲＦコネクタ１６８、およびＤＣコネクタ１６９を有するＲＦフィルターボックス１００の底面図を示す。

【0024】

ＲＦフィルターボックス１００をペデスタルリフト６１０に電気的に接続するために、ＲＦフィルターボックス１００の背面（合わせ面）にある取付けブラケット１１２は、ペデスタルリフト６１０上の取付けブラケット６００（図６）と位置合わせされて取り付けられるように構成されている。図３に示すように、位置合わせに役立つ機構が、取付けブラケット１１２の合わせ面に設けられている。これらの位置合わせ機構は、ＡＣヒーターライン用の自動位置合わせＡＣコネクタ１７０、ＲＦ入力用の自動位置合わせＲＦコネクタ１７２、取付けキー溝穴１７４、取付け位置合わせピン１７６、およびブラケット取付け穴１７８を含む。

【0025】

図示した実施形態では、キー溝インサート６０４が設けられて、ＲＦフィルターボックス１００の取付けブラケット１１２上のキー溝穴１７４の中に挿入されてロックされる。この実施形態では、穴６０６がＲＦフィルターボックス１００の合わせ面にも設けられて、図３に示すように、ＲＦフィルターボックス１００の取付けブラケット１１２上の対応する位置合わせピン１７６を受け入れる。他の実施形態では、取付けブラケット１１２の合わせ面は、１つの位置合わせ機構のみを有してもよく、これは位置合わせピン、穴、キー溝インサート、およびキー溝穴のうちの１つであってもよい。任意の好適な位置合わせ機構を使用して、２つの取付けブラケット１１２、６００を位置合わせできることが理解されるであろう。他の実施形態によれば、取付けブラケット１１２の合わせ面は、任意の数のそのような位置合わせ機構を有してもよい。位置合わせ機構は、任意の組み合わせで提供することができ、典型的には、一方の合わせ面（取付けブラケット１１２）上のピンまたは突起が、他方の合わせ面（取付けブラケット６００）上の対応する凹部または穴と嵌合するように構成されている。これらの位置合わせ機構は、単純な円形または円筒形から、より複雑な形状に至る、任意の形状、例えばキー溝穴などであり得る。

【0026】

そのような位置合わせ機構は、取付けブラケット１１２上の自動位置合わせ電気コネクタ１７１をペデスタルリフト６１０の取付けブラケット６００上の対応する電気コネクタ６０１に位置合わせすることを手助けするように構成されており、それにより、取付けブラケット１１２、６００が位置合わせされ、それらの合わせ面が一緒に押し合わされた時に、自動位置合わせ電気コネクタ１７１とペデスタルリフト６１０の取付けブラケット６００上の対応する電気コネクタ６０１とが自動的に嵌合することが理解されるであろう。これらの位置合わせ機構により、ＲＦフィルターボックス１００とＥＳＣペデスタルリフト６１０との間の電気的および機械的接続が、可能な限り自動的かつ再現可能になる。位置合わせ機構により、接続ワイヤを手動で操作する必要なく電気的結合が可能になる。接続ワイヤの一貫した配置は、フィルタリング回路の性能にとって不可欠である。

【0027】

キー溝穴１７４は、ペデスタルリフト取付けブラケット６００上の対応するキー溝インサート６０４を受け入れてロックするように構成されている。同様に、ＲＦフィルターボックス１００の取付けブラケット１１２上のピン１７６は、ペデスタルリフト６１０の取付けブラケット６００内の対応する穴６０６の中に挿入されるように構成されている。これらの位置合わせ機構に加えて、取付けブラケット１１２には、自動位置合わせＡＣコネクタ１７０および自動位置合わせＲＦコネクタ１７２も設けられている。

【0028】

自動位置合わせＡＣコネクタ１７０および自動位置合わせＲＦコネクタ１７２の各々はコンタクトブロック１７３を含み、コンタクトブロック１７３はその内部に取り付けられた電気コネクタ１７１を有する。図示した実施形態では、電気コネクタ１７１は、コンタクトブロック１７３内に取り付けられたソケットであり、ＲＦフィルターボックス１００は、移動が可能なペデスタルリフトアセンブリに取り付けられているので、ペデスタルリフト取付けブラケット６００上のピン６０１への自動的な電気的接続が可能になる。他の実施形態では、取付けブラケット上の電気コネクタ１７１はピンとすることができる一方で、ペデスタルリフト取付けブラケット６００上の電気コネクタ６０１は電気ソケットとすることができることが理解されよう。

【0029】

各電気ソケット１７１は、ペデスタルリフト取付けブラケット６００上の対応するピン６０１を受け入れて、ＲＦフィルターボックス１００とＥＳＣペデスタルリフト６１０との間の電気的接続を行うように構成されている。好適なプッシュプルソケットピンコネクタが、カリフォルニア州ＣａｍａｒｉｌｌｏにあるＯＤＵ ＵＳＡ，Ｉｎｃ．から市販されている。図５Ａおよび図５Ｂは、そのようなプッシュプルソケットピンコネクタの詳細図である。図５Ａは、コンタクトブロック１７３内に設定された複数の電気ソケット１７１を示す。図５Ｂに示すように、ソケット１７１は、ピン６０１がソケット１７１の中に挿入された時にピン６０１と接触するようにソケット１７１の内面を裏打ちするスプリングワイヤ１７５を有する。

【0030】

取付けブラケット１１２上のコンタクトブロック１７３は、絶縁材料で形成されている。一実施形態によれば、コンタクトブロック１７３は、ＳＡＢＩＣ（サウジ基礎産業公社：Ｓａｕｄｉ Ｂａｓｉｃ Ｉｎｄｕｓｔｒｉｅｓ Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ）によって製造されたアモルファス熱可塑性ポリエーテルイミド（ＰＥＩ）樹脂の一種であるＵｌｔｅｍ １０００（ＵＬ９４ Ｖ０）で形成されている。Ｕｌｔｅｍ １０００は、大きな絶縁耐力および耐熱性を有する。絶縁コンタクトブロック１７３は電圧絶縁のための電気的特性を有すること、およびコンタクトブロック１７３は、電気的絶縁のための分離を提供しながら、ピン間の緻密な位置合わせを可能にするように設計できることが理解されるであろう。

【0031】

図示した実施形態では、自動位置合わせＡＣコネクタ１７０および自動位置合わせＲＦコネクタ１７２は、ＲＦフィルターボックス１００とペデスタルリフトアセンブリとの間の３つのＲＦ信号および４つのＡＣ信号の自動的な電気的接続を可能にする。他の実施形態では、異なる数のＲＦ信号およびＡＣ信号があり得ることが理解されるであろう。

【0032】

図６に示すように、ペデスタルリフト６１０上の取付けブラケット６００は、ＲＦフィルターボックス１００の取付けブラケット１１２（合わせ面）と嵌合するように構成されている。ＲＦフィルターボックス１００の取付けブラケット１１２は、ＲＦフィルターボックス１００の取付けブラケット１１２のブラケット取付け穴１７８を通してねじ切りされたねじ（図示せず）と、ペデスタルリフト取付けブラケット６００の対応するブラケット取付け穴６０８とを使用して、ペデスタルリフト６１０上の取付けブラケット６００に固定することができる。

【0033】

図示した実施形態では、ペデスタルリフト取付けブラケット６００上のコンタクトブロック６７３および電気ピン６０１は、２つの取付けブラケット１１２、６００が位置合わせされた時に、ＲＦフィルターボックス１００上の取付けブラケット１１２上の対応するコンタクトブロック１７３およびソケット１７１と嵌合するように配置される。上で論じたように、取付けブラケット上の位置合わせ機構は位置合わせを手助けし、電気ソケット１７１は、取付けブラケット１１２、６００が位置合わせ後に押し合わされた時に、対応するピン６０１と自動的に電気的に結合するように構成されている。

【0034】

この実施形態では、取付けブラケット６００にはまた、電気的接続を接地面および金属壁から絶縁するためのスナップイン誘電体取付けプレート６０２が設けられている。図６に示すように、コンタクトブロック６７３は、取付けプレート６０２内に取り付けられている。一実施形態によれば、取付けプレート６０２は、Ｕｌｔｅｍで形成され、ナイロン締結具が取付けプレート６０２を取付けブラケット６００に保持する。

【0035】

図７Ａおよび図７Ｂは、ＲＦ信号用のコンタクトブロック、ならびに電気ソケットおよびピンの実施形態の詳細図であり、図８Ａおよび図８Ｂは、ＡＣ信号用のコンタクトブロック、ならびに電気ソケットおよびピンの実施形態の詳細図である。図７Ｂおよび図８Ｂは、嵌合位置にあるコンタクトブロックおよび電気コネクタを示す。図７Ａ～図８Ｂに示すように、この実施形態では、電気ソケット１７１はコンタクトブロック１７３内に取り付けられている。

【0036】

同様に、ピン６０１は、コンタクトブロック６７３内に取り付けられている。この実施形態では、コンタクトブロック６７３は、２つの部分６７３Ａ、６７３Ｂを備えて、設置後であってもピン６０１を交換することが可能である。すなわち、コンタクトブロック６７３の後部は、ペデスタルリフト６１０の取付けブロック６００上に設置され、ピン６０１は、後部６７３Ｂの中に挿入される。次いで、ピン６０１が所定位置に配置された後に、前部６７３Ａが後部６７３Ｂに取り付けられる。したがって、ピン６０１を交換する必要がある場合、アセンブリ全体をペデスタルリフト取付けブロック６００から取り外すことなく、前部６７３Ａを取り外すことができる。

【0037】

コンタクトブロック１７３、６７３は、ナイロンなどの絶縁材料で形成された締結具により、取付けブラケット１１２、６００に締結される。図７Ａ～図８Ｂに示すように、コンタクトブロック１７３、６７３は、ナイロンスタンドオフ１７７Ａ、ナイロンワッシャ１７７Ｂ、およびナイロンキャップスクリュー１７７Ｃを含む複数の締結具によって取付けブロック１１２、６００に締結される。コンタクトブロック１７３、６７３の自己位置合わせにより、嵌合側の位置の違いに対応する若干の浮き上がりが可能になることが理解されよう。わずかに拡大された穴とスタンドオフ１７７Ａにより、コンタクトブロック１７３、６７３が浮き上がることが可能になる。

【0038】

図９は、静電チャックＲＦフィルターボックスをペデスタルリフトと電気的に結合させる方法９００のフローチャートである。ステップ９１０において、ＥＳＣ ＲＦフィルターボックスが提供される。ＲＦフィルターボックスは、ＲＦフィルターボックスの外側合わせ面上に少なくとも１つのコンタクトブロックおよび少なくとも１つの位置合わせ機構を含む。コンタクトブロックは、ＲＦフィルターブロックの外側合わせ面上に複数の自動位置合わせ電気コネクタを含み、少なくとも１つの位置合わせ機構は、自動位置合わせ電気コネクタをペデスタルリフトのブラケット上の対応する電気コネクタと位置合わせさせるように構成されており、それにより、コンタクトブロックがペデスタルリフトのブラケットに取り付けられた時に、自動位置合わせ電気コネクタとペデスタルリフトのブラケット上の対応する電気コネクタとが自動的に嵌合される。ステップ９２０において、少なくとも１つの位置合わせ機構を使用して、ＲＦフィルターボックスの外側合わせ面をペデスタルリフトの取付けブラケットの合わせ面に対して配置して、ペデスタルリフトの取付けブラケット上の対応する位置合わせ機構と係合させる。ステップ９３０において、ＲＦフィルターボックスをペデスタルリフトの取付けブラケットに固定してＲＦフィルターボックスをペデスタルリフトに電気的に結合させて、ＲＦフィルターボックスがペデスタルリフトの取り付けブラケットに固定された時に、ＲＦフィルターボックス上の複数の電気コネクタとペデスタルリフトのブラケット上の対応する電気コネクタとが自動的に嵌合する。
本発明は、たとえば、以下のような態様で実現することもできる。
適用例１：
ペデスタルリフトのブラケットに取り付けて複数の電気的接続を行うための静電チャックＲＦフィルターボックスであって、
ＲＦフィルターブロックの合わせ面上に複数の自動位置合わせ電気コネクタを含む少なくとも１つのコンタクトブロックであって、前記合わせ面は前記ＲＦフィルターボックスの外側表面である、少なくとも１つのコンタクトブロックと、
前記ＲＦフィルターボックスの前記合わせ面上の少なくとも１つの位置合わせ機構であって、前記コンタクトブロックが前記ペデスタルリフトの前記ブラケットに取り付けられた時に、前記自動位置合わせ電気コネクタと前記ペデスタルリフトの前記ブラケット上の対応する電気コネクタとが自動的に嵌合するように、前記少なくとも１つの位置合わせ機構は、前記自動位置合わせ電気コネクタを前記ペデスタルリフトの前記ブラケット上の前記対応する電気コネクタと位置合わせさせるように構成されている、少なくとも１つの位置合わせ機構と、
を備える静電チャックＲＦフィルターボックス。
適用例２：
適用例１の静電チャックＲＦフィルターボックスであって、少なくとも２つのコンタクトブロックを備え、第１のコンタクトブロックがＲＦ信号をフィルタリングするように構成され、第２のコンタクトブロックがＡＣ信号をフィルタリングするように構成されている、静電チャックＲＦフィルターボックス。
適用例３：
適用例２の静電チャックＲＦフィルターボックスであって、前記第１のコンタクトブロックは少なくとも３つのＲＦ信号をフィルタリングするように構成され、前記第２のコンタクトブロックは少なくとも４つのＡＣ信号をフィルタリングするように構成されている、静電チャックＲＦフィルターボックス。
適用例４：
適用例１の静電チャックＲＦフィルターボックスであって、低周波および高周波のＲＦ信号をフィルタリングする、静電チャックＲＦフィルターボックス。
適用例５：
適用例１の静電チャックＲＦフィルターボックスであって、ＡＣヒーター信号をフィルタリングする、静電チャックＲＦフィルターボックス。
適用例６：
適用例１の静電チャックＲＦフィルターボックスであって、ＤＣクランプ電圧をフィルタリングする、静電チャックＲＦフィルターボックス。
適用例７：
適用例１の静電チャックＲＦフィルターボックスであって、少なくとも１つのファンアセンブリを更に備える、静電チャックＲＦフィルターボックス。
適用例８：
適用例１の静電チャックＲＦフィルターボックスであって、前記合わせ面上に少なくとも２つの位置合わせ機構を備える、静電チャックＲＦフィルターボックス。
適用例９：
適用例８の静電チャックＲＦフィルターボックスであって、前記少なくとも２つの位置合わせ機構は位置合わせピンおよびキー溝穴を備える、静電チャックＲＦフィルターボックス。
適用例１０：
適用例８の静電チャックＲＦフィルターボックスであって、前記少なくとも２つの位置合わせ機構は少なくとも２つの位置合わせピンを備える、静電チャックＲＦフィルターボックス。
適用例１１：
適用例８の静電チャックＲＦフィルターボックスであって、前記少なくとも２つの位置合わせ機構は少なくとも２つのキー溝穴を備える、静電チャックＲＦフィルターボックス。
適用例１２：
適用例１の静電チャックＲＦフィルターボックスであって、前記ペデスタルリフトは移動可能である、静電チャックＲＦフィルターボックス。
適用例１３：
適用例１の静電チャックＲＦフィルターボックスであって、前記少なくとも１つのコンタクトブロックは絶縁材料で形成されている、静電チャックＲＦフィルターボックス。
適用例１４：
適用例１の静電チャックＲＦフィルターボックスであって、前記少なくとも１つのコンタクトブロックは、絶縁材料で形成された締結具によって前記ＲＦフィルターボックスの筐体に締結されている、静電チャックＲＦフィルターボックス。
適用例１５：
静電チャックＲＦフィルターボックスをペデスタルリフトと電気的に結合させる方法であって、前記方法は、
前記静電チャックＲＦフィルターボックスを提供することであって、前記ＲＦフィルターボックスは、
ＲＦフィルターブロックの外側合わせ面上に複数の自動位置合わせ電気コネクタを含む少なくとも１つのコンタクトブロックと、
前記ＲＦフィルターボックスの前記外側合わせ面上の少なくとも１つの位置合わせ機構であって、前記コンタクトブロックが前記ペデスタルリフトのブラケットに取り付けられた時に、前記自動位置合わせ電気コネクタと前記ペデスタルリフトの前記ブラケット上の対応する前記電気コネクタとが自動的に嵌合するように、前記少なくとも１つの位置合わせ機構は、前記自動位置合わせ電気コネクタを前記ペデスタルリフトの前記ブラケット上の対応する電気コネクタと位置合わせさせるように構成されている、少なくとも１つの位置合わせ機構と、を備える、前記静電チャックＲＦフィルターボックスの提供と、
前記少なくとも１つの位置合わせ機構を使用して、前記ＲＦフィルターボックスの前記外側合わせ面を前記ペデスタルリフトの取付けブラケットの合わせ面に対して配置して、前記ペデスタルリフトの前記取付けブラケット上の対応する位置合わせ機構と係合させることと、
前記ＲＦフィルターボックスを前記ペデスタルリフトと電気的に結合させるために、前記ＲＦフィルターボックスを前記ペデスタルリフトの前記取付けブラケットに固定することであって、前記ＲＦフィルターボックスが前記ペデスタルリフトの前記取付けブラケットに固定された時に、前記ＲＦフィルターボックス上の前記複数の電気コネクタと前記ペデスタルリフトの前記ブラケット上の対応する前記電気コネクタとが自動的に嵌合する、前記ＲＦフィルターボックスの固定と、を含む方法。
適用例１６：
適用例１５の方法であって、前記ＲＦフィルターボックスは少なくとも２つのコンタクトブロックを備え、第１のコンタクトブロックがＲＦ信号をフィルタリングするように構成され、第２のコンタクトブロックがＡＣ信号をフィルタリングするように構成されている、方法。
適用例１７：
適用例１６の方法あって、前記第１のコンタクトブロックは少なくとも３つのＲＦ信号をフィルタリングするように構成され、前記第２のコンタクトブロックは少なくとも４つのＡＣ信号をフィルタリングするように構成されている、方法。
適用例１８：
適用例１５の方法であって、前記ＲＦフィルターボックスは低周波および高周波のＲＦ信号をフィルタリングする、方法。
適用例１９：
適用例１５の方法であって、前記ＲＦフィルターボックスはＡＣヒーター信号をフィルタリングする、方法。
適用例２０：
適用例１５の方法であって、前記ＲＦフィルターボックスはＤＣクランプ電圧をフィルタリングする、方法。
適用例２１：
適用例１５の方法であって、前記ＲＦフィルターボックスは前記合わせ面上に少なくとも２つの位置合わせ機構を備える、方法。
適用例２２：
適用例２１の方法であって、
前記合わせ面上の位置合わせピンを前記ペデスタルリフトの前記ブラケットのキー溝穴に位置合わせすることと、
前記合わせ面上のキー溝穴を前記ペデスタルリフトの前記ブラケットの位置合わせピンに位置合わせすることと、を更に含む方法。
適用例２３：
適用例２１の方法であって、少なくとも２つの位置合わせピンを、前記ペデスタルリフトの前記ブラケット上の２つの対応するキー溝穴と位置合わせすることを更に含む、方法。
適用例２４：
適用例２１の方法であって、少なくとも２つのキー溝穴を、前記ペデスタルリフトの前記ブラケット上の２つの対応する位置合わせピンと位置合わせすることを更に含む、方法。
適用例２５：
適用例１の静電チャックＲＦフィルターボックスであって、前記ペデスタルリフトは移動可能である、静電チャックＲＦフィルターボックス。
適用例２６：
適用例１の静電チャックＲＦフィルターボックスであって、前記少なくとも１つのコンタクトブロックは絶縁材料で形成されている、静電チャックＲＦフィルターボックス。
適用例２７：
適用例１の静電チャックＲＦフィルターボックスであって、前記少なくとも１つのコンタクトブロックは、絶縁材料で形成された締結具によって前記ＲＦフィルターボックスの筐体に締結されている、静電チャックＲＦフィルターボックス。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5A】

【図5B】

【図6】

【図7A】

【図7B】

【図8A】

【図8B】

【図9】