１、２…パターン評価システム、３…堆積装置、４、１４、２４、３４、４４、６４…パターン、５、４５…ＳＥＭ画像、６、１６、６６…ラインプロファイル、９…充填装置、２７…ウェハ、２８…ゲート、３１…ウェハ、３７…金属膜、６７…空洞、１００、５０２、５１２、６０２、６１２…コンピュータサブシステム、１０１…荷電粒子ビーム照射サブシステム（走査型電子顕微鏡）、１０２…全体制御部、１０３…信号処理部、１０４…入出力部、１０５…メモリ部、１０６…電子銃、１０７…電子ビーム、１０８…集束レンズ、１０９…集束レンズ、１１０…偏向器、１１１…対物レンズ、１１２…試料、１１３…ステージ、１１４…放出電子、１１５…偏向器、１１６…検出絞り、１１７…反射板、１１８…三次電子、１１９…検出器、１２０…三次電子、１２１…検出器、１２３…偏向器、１３０…シャッター、１３１…ブランキング偏向器、１３２…ブランキング用電極、２００…ネットワーク、５００…ＳＥＭ画像記憶部、５０１…ＳＥＭ画像生成部、５０３、５１３、６０３、６１３…輝度評価部、５０４、５１４、６０４、６１４…演算部、５０５、５１５、６０５、６１５…メモリ部、５０６、５１６、６０６、６１６…表示部、５０７、５１７、６０７、６１７…入力部