特許 7306892 防着機構、および、成膜装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2023-07-03

(45)【発行日】2023-07-11

(54)【発明の名称】防着機構、および、成膜装置

(51)【国際特許分類】

   C23C 14/00 20060101AFI20230704BHJP

   C23C 16/44 20060101ALI20230704BHJP

【ＦＩ】

C23C14/00 B

C23C16/44 J

【請求項の数】 6

(21)【出願番号】P 2019119799

(22)【出願日】2019-06-27

(65)【公開番号】P2021004408

(43)【公開日】2021-01-14

【審査請求日】2022-04-21

(73)【特許権者】

【識別番号】000231464

【氏名又は名称】株式会社アルバック

(74)【代理人】

【識別番号】100105957

【弁理士】

【氏名又は名称】恩田 誠

(74)【代理人】

【識別番号】100068755

【弁理士】

【氏名又は名称】恩田 博宣

(72)【発明者】

【氏名】山田 竜蔵

(72)【発明者】

【氏名】青代 信

【審査官】山本 一郎

(56)【参考文献】

【文献】特開２００７－１２６７２７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１２－１２６９３９（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｃ２３Ｃ １４／００

Ｃ２３Ｃ １６／４４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

第１ローラーと、
第２ローラーと、
前記第１ローラーから前記第２ローラーに向けて搬送される途中で成膜源と対向する被着面を有し、前記第２ローラーに巻き取られる防着シートと、
前記第２ローラーの鉛直方向に位置し、前記防着シートから剥がれる着膜物を回収する回収部と、を備え、
前記防着シートは、成膜粒子を通す開口を有した空隙を前記被着面に備え、
前記第２ローラーは、前記防着シートの前記被着面および前記被着面とは反対側の裏面のうち、前記被着面を内面として前記防着シートを巻き取る方向に回転するように構成されている
防着機構。

【請求項2】

前記防着シートは布であり、
前記第１ローラーと前記第２ローラーとの間において前記防着シートの張力を所定値に制御する張力制御部をさらに備える
請求項１に記載の防着機構。

【請求項3】

前記第１ローラーの軸線と前記第２ローラーの軸線とは互いに平行であり、前記第１ローラーと前記第２ローラーとは、水平方向に沿う回転軸を備え、前記第２ローラーは、前記第１ローラーの鉛直方向に位置する
請求項１または２に記載の防着機構。

【請求項4】

前記第１ローラーから送り出された前記防着シートの前記被着面が、前記第２ローラーの中心よりも下方にて前記第２ローラーに巻き付けられるように、前記防着シートを前記第２ローラーに向けて案内する案内部材をさらに備える
請求項３に記載の防着機構。

【請求項5】

前記第１ローラーの軸線と前記第２ローラーの軸線とは互いに平行であり、前記第１ローラーと前記第２ローラーとは、前記鉛直方向に沿う回転軸を備え、
前記回収部は、前記第２ローラーの下方、および、前記第１ローラーと前記第２ローラーとの間の下方に位置する
請求項１または２に記載の防着機構。

【請求項6】

請求項１から５のいずれか一項に記載された防着機構と、
前記防着シートのなかで、前記第１ローラーと前記第２ローラーとの間に位置する部分と対向する成膜源と、を備える
成膜装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、防着機構、および、防着機構を備える成膜装置に関する。

【背景技術】

【0002】

スパッタ装置は、基板に対して各種の薄膜を形成するために用いられている。スパッタ装置は、基板以外の部位に対する着膜を抑える目的で、防着板を備えている。スパッタ装置の一例において、防着板は、金属箔、供給ローラー、および、巻取りローラーを備えている。供給ローラーに巻回された金属箔は、巻取りローラーに架け渡されている。巻取りローラーが金属箔を巻き取ることによって、金属箔のなかで、スパッタ粒子の付着によって堆積した着膜物を有する部分が、巻取りローラーに巻き取られる（例えば、特許文献１を参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】実開平７－１９３６１号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

ところで、金属箔に堆積した着膜物は、巻取りローラーに巻き取られる際に、金属箔内での擦れや、巻取りローラーと金属箔との間での擦れなどによって、金属箔から剥がれ落ちる場合がある。金属箔から剥がれ落ちた着膜物は、スパッタ装置内においてパーティクルを生じさせる一因となる。こうした課題は、成膜源としてカソードを備えるスパッタ装置に限らず、成膜源として蒸着源を備える蒸着装置などの成膜装置においても共通する。

【0005】

本発明は、着膜物に起因したパーティクルの発生を抑えることを可能とした防着機構、および、成膜装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

上記課題を解決するための防着機構は、第１ローラーと、第２ローラーと、前記第１ローラーから前記第２ローラーに向けて搬送される途中で成膜源と対向する被着面を有し、前記第２ローラーに巻き取られる防着シートと、前記第２ローラーの鉛直方向に位置し、前記被着面から剥がれる着膜物を回収する回収部と、を備える。

【0007】

上記課題を解決するための成膜装置は、上記防着機構と、前記防着シートのなかで、前記第１ローラーと前記第２ローラーとの間に位置する部分と対向する成膜源と、を備える。

【0008】

上記各構成によれば、第１ローラーと第２ローラーとの間において防着シートに堆積した着膜物は、防着シートが第２ローラーに巻き取られるときに、防着シート内での擦れなどを通じて防着シートから剥がれ落ちる。この点で、上述した構成であれば、第２ローラーの鉛直方向に位置する回収部が、防着シートから剥がれ落ちる着膜物を回収することができるため、防着シートから剥がれ落ちる着膜物に起因したパーティクルの発生が抑えられる。

【0009】

上記防着機構において、前記防着シートは、成膜粒子を通す開口を有した空隙を前記被着面に備える布であり、前記第１ローラーと前記第２ローラーとの間において前記防着シートの張力を所定値に制御する張力制御部をさらに備えてもよい。

【0010】

上記構成によれば、防着シートに作用する張力の差異によって、防着シート１３が第２ローラー１２に巻き取られる際に、防着シート１３から剥がれ落ちる着膜物の量が変わることを抑えられることから、第２ローラー１２に巻き取られる被着面に堆積し得る着膜物の量や、被着面から落ちる着膜物の量の安定化を図ることができる。

【0011】

上記防着機構において、前記第１ローラーの軸線と前記第２ローラーの軸線とは互いに平行であり、前記第１ローラーと前記第２ローラーとは、水平方向に沿う回転軸を備え、前記第２ローラーは、前記第１ローラーの鉛直方向に位置してもよい。

【0012】

上記構成によれば、防着シートが巻き付けられる第２ローラーが、第１ローラーに対して鉛直方向に位置するため、第２ローラーが第１ローラーよりも上方に位置する場合に比べて、第２ローラーから剥がれ落ちた着膜物が飛散する領域を制限することが可能である。

【0013】

上記防着機構において、前記第１ローラーから送り出された前記防着シートの前記被着面が、前記第２ローラーの中心よりも下方にて前記第２ローラーに巻き付けられるように、前記防着シートを前記第２ローラーに向けて案内する案内部材をさらに備えてもよい。

【0014】

上記構成によれば、防着シートの被着面が第２ローラーの中心よりも下方で第２ローラーに巻き付けられるため、防着シートが第２ローラーに巻き付けられることによって被着面から剥がれ落ちた着膜物を第２ローラーの下方に向けて落としやすい。

【0015】

上記防着機構において、前記第１ローラーの軸線と前記第２ローラーの軸線とは互いに平行であり、前記第１ローラーと前記第２ローラーとは、前記鉛直方向に沿う回転軸を備え、前記回収部は、前記第２ローラーの下方、および、前記第１ローラーと前記第２ローラーとの間の下方に位置してもよい。

【0016】

上記構成によれば、防着シートが第１ローラーから第２ローラーに搬送される間に防着シートから剥がれ落ちた着膜物が回収部によって回収される。そのため、第１ローラーと第２ローラーとが鉛直方向に沿う回転軸を備える場合であっても、防着シートから剥がれ落ちた着膜物に起因したパーティクルの発生を抑えることが可能である。

【図面の簡単な説明】

【0017】

【図1】第１実施形態における防着機構の構成を防着機構が搭載される成膜装置が備える成膜源とともに示す装置構成図。

【図2】第１ローラーおよび第２ローラーの斜視構造を、張力制御部と張力検出部とともに示す図。

【図3】防着シートの構造を模式的に示す斜視図。

【図4】第２実施形態における防着機構の構成を防着機構が搭載される成膜装置が備える成膜源とともに示す装置構成図。

【発明を実施するための形態】

【0018】

［第１実施形態］
図１から図３を参照して、防着機構、および、成膜装置の第１実施形態を説明する。
成膜装置２０は、防着機構１０と成膜源ＤＳとを備えている。防着機構１０は、第１ローラー１１、第２ローラー１２、防着シート１３、および、回収部１４を備えている。防着シート１３は、第１ローラー１１から第２ローラー１２に向けて搬送される途中で成膜源ＤＳと対向する被着面１３Ｓを有し、第２ローラー１２に巻き取られる。回収部１４は、第２ローラー１２の鉛直方向に位置し、被着面１３Ｓから剥がれる着膜物ＤＦを回収する。

【0019】

第１ローラー１１と第２ローラー１２との間において防着シート１３に堆積した着膜物ＤＦは、防着シート１３が第２ローラー１２に巻き取られるときに、防着シート１３内での擦れなどを通じて防着シート１３から剥がれ落ちる。この点で、防着機構１０では、第２ローラー１２の鉛直方向に位置する回収部１４が、防着シート１３から剥がれ落ちる着膜物ＤＦを回収することができるため、防着シート１３から剥がれ落ちる着膜物ＤＦに起因したパーティクルの発生が抑えられる。

【0020】

第１ローラー１１は、紙面の奥行き方向に沿って延びる円筒状を有している。すなわち、第１ローラー１１の第１軸線１１Ａは、紙面の奥行き方向に沿って延びている。第１ローラー１１の両端部は、軸受などを介して、例えば、防着機構１０が搭載された成膜装置の壁部に固定されている。

【0021】

第２ローラー１２は、紙面の奥行き方向に沿って延びる円筒状を有している。すなわち、第２ローラー１２の第２軸線１２Ａは、紙面の奥行き方向に沿って延びている。第２ローラー１２の両端部は、軸受などを介して、例えば、防着機構１０が搭載された成膜装置の壁部に固定されている。

【0022】

第１ローラー１１の第１軸線１１Ａと、第２ローラー１２の第２軸線１２Ａとは互いに平行である。第１ローラー１１と第２ローラー１２とは、水平方向に沿う回転軸を備えている。本実施形態では、第１ローラー１１の回転軸は、第１軸線１１Ａに一致し、かつ、第２ローラー１２の回転軸は、第２軸線１２Ａに一致している。第２ローラー１２は、第１ローラー１１の鉛直方向に位置している。

【0023】

防着シート１３が巻き付けられる第２ローラー１２が、第１ローラー１１に対して鉛直方向に位置するため、第２ローラー１２が第１ローラー１１よりも上方に位置する場合に比べて、第２ローラー１２から剥がれ落ちた着膜物ＤＦが飛散する領域を制限することが可能である。

【0024】

また、本実施形態では、第１ローラー１１の第１軸線１１Ａと、第２ローラー１２の第２軸線１２Ａとが防着シート１３を挟むように、第１ローラー１１と第２ローラー１２とが配置されている。第１軸線１１Ａは、被着面１３Ｓに対して裏面１３Ｒ寄りに位置している。第２軸線１２Ａは、裏面１３Ｒに対して被着面１３Ｓ寄りに位置している。図１が示す防着機構１０では、第１ローラー１１が、防着シート１３に対して紙面における右側に位置し、かつ、第２ローラー１２が、防着シート１３に対して紙面における左側に位置している。

【0025】

防着シート１３は、紙面の奥行き方向に沿って広がり、かつ、紙面の上下方向に沿って延びる帯状を有している。防着シート１３は、可撓性を有し、これによって、防着シート１３は、第１ローラー１１の外周面に追従した形状、および、第２ローラー１２の外周面に追従した形状を有することが可能である。

【0026】

防着シート１３は、上述した被着面１３Ｓと、被着面１３Ｓとは反対側の裏面１３Ｒとを含んでいる。防着シート１３は、防着シート１３の長さ方向における各位置において、裏面１３Ｒが、被着面１３Ｓに比べて第１ローラー１１寄りに位置するように、第１ローラー１１に巻き付けられる。これに対して、防着シート１３は、防着シート１３の長さ方向における各位置において、被着面１３Ｓが、裏面１３Ｒに比べて第２ローラー１２寄りに位置するように、第２ローラー１２に巻き取られる。

【0027】

本実施形態では、第１ローラー１１が、第１軸線１１Ａを回転軸として、左回りに回転する。これに対して、第２ローラー１２が、第２軸線１２Ａを回転軸として、右回りに回転する。これによって、防着シート１３は、防着シート１３の長さ方向における各位置において、被着面１３Ｓが、裏面１３Ｒに比べて第２ローラー１２寄りに位置するように、第２ローラー１２に巻き取られる。

【0028】

回収部１４は、第２ローラー１２の第２軸線１２Ａに沿って延びる形状を有している。第２軸線１２Ａが延びる方向において、回収部１４の長さは、第２ローラー１２の長さ以上であることが好ましい。また、回収部１４の幅は、第２ローラー１２の径方向において、第２ローラー１２の直径以上であることが好ましい。本実施形態において、回収部１４は、防着シート１３が第２ローラー１２に巻き取られる際に、防着シート１３から剥がれ落ちた着膜物ＤＦを受ける受け皿である。

【0029】

防着機構１０がスパッタ装置に搭載された場合には、成膜源ＤＳは、ターゲットを含むカソードである。成膜源ＤＳは、ターゲットから叩き出されたスパッタ粒子を成膜粒子ＤＰとして放出する。防着機構１０が蒸着装置に搭載された場合には、成膜源ＤＳは、蒸着源である。成膜源ＤＳは、気化または昇華された蒸着材料を成膜粒子ＤＰとして放出する。なお、成膜源ＤＳは、物理蒸着（ＰＶＤ）、および、化学蒸着（ＣＶＤ）のうち、いずれの原理を用いた成膜源であってもよい。

【0030】

防着機構１０は、案内部材１５をさらに備えている。案内部材１５は、第１ローラー１１と第２ローラー１２との間を搬送されている防着シート１３を第２ローラー１２に向けて案内する。案内部材１５は、第１ローラー１１から送り出された防着シート１３の被着面１３Ｓが、第２ローラー１２の中心よりも下方にて第２ローラー１２に巻き付けられるように、防着シート１３を第２ローラー１２に向けて案内する。

【0031】

防着シート１３の被着面１３Ｓが第２ローラー１２の中心よりも下方で第２ローラー１２に巻き付けられるため、防着シート１３が第２ローラー１２に巻き付けられることによって被着面１３Ｓから剥がれ落ちた着膜物ＤＦを第２ローラー１２の下方に向けて落としやすい。

【0032】

防着機構１０は、１つの案内部材１５を備えてもよい。この場合には、案内部材１５は、第２ローラー１２の第２軸線１２Ａに沿って延びる円筒状を有し、かつ、案内部材１５の長さが、第２ローラー１２の長さとほぼ等しいことが好ましい。防着機構１０は、複数の案内部材１５を備えてもよい。この場合には、案内部材１５は、第２ローラー１２の第２軸線１２Ａに沿って間隔を開けて配置されることが好ましい。

【0033】

本実施形態において、案内部材１５は、第２ローラー１２の第２軸線１２Ａと平行な回転軸に沿って回転することが可能に構成されている。案内部材１５の回転方向は、第２ローラー１２の回転方向と同一である。案内部材１５は、従動ローラーでもよい。この場合には、案内部材１５は、防着シート１３の被着面１３Ｓに接し、防着シート１３の搬送に伴って案内部材１５も回転する。また、案内部材１５は、駆動ローラーでもよい。この場合には、案内部材１５は、案内部材１５を回転させるモーターに接続され、モーターの回転によって、案内部材１５が回転する。

【0034】

このように、防着機構１０において、第１ローラー１１の第１回転軸１１Ｒにおける回転方向は、防着シート１３により成膜源ＤＳからの成膜粒子ＤＰが遮蔽された状態で、防着シート１３が備える新規の面、すなわち、被着面１３Ｓにおいて着膜物ＤＦが付着していない部分が繰り出される方向であることが好ましい。また、第２ローラー１２の第２回転軸１２Ｒにおける回転方向は、着膜物ＤＦの付着面、すなわち成膜源ＤＳと対向する被着面１３Ｓを内面として巻き取る方向であることが好ましい。

【0035】

これにより、防着シート１３の搬送に起因して、着膜物ＤＦが崩壊されてパーティクル源となることが抑えられる。もし、第１ローラー１１の第１回転軸１１Ｒの回転方向が上述の状態でない場合には、図１に示した被着面１３Ｓの反対側の面である裏面１３Ｒに着膜物ＤＦが着膜してしまい、当該着膜物ＤＦは、案内部材１５と第２ローラー１２とによる開裂方向の応力を受けてしまう。第２ローラー１２の第２回転軸１２Ｒにおける回転方向が上述の通りであれば、着膜物ＤＦは圧縮方向の応力を受け、これによって破壊されにくい方向の応力を受けると同時に、着膜物ＤＦが第２ローラー１２に巻き込まれることによって、着膜物ＤＦが外部に飛散しにくい。

【0036】

図２は、第１ローラー１１、および、第２ローラー１２の斜視構造を、第１ローラー１１と第２ローラー１２とに架け渡された防着シート１３とともに示している。
図２が示すように、第１ローラー１１は、第１ローラー１１の第１軸線１１Ａに一致する第１回転軸１１Ｒを中心に回転する。第２ローラー１２は、第２ローラー１２の第２軸線１２Ａに一致する第２回転軸１２Ｒを中心に回転する。

【0037】

第１ローラー１１の第１回転軸１１Ｒには、防着シート１３の張力を制御するための第１張力調整部１１ＡＵが接続されている。第２ローラー１２の第２回転軸１２Ｒには、防着シート１３の張力を制御するための第２張力調整部１２ＡＵが接続されている。防着機構１０は、さらに、張力検出部１１Ｓと、制御部１０Ｃとを備えている。張力検出部１１Ｓは、第１ローラー１１の第１軸線１１Ａにおける張力を検出する。

【0038】

制御部１０Ｃは、第１張力調整部１１ＡＵ、第２張力調整部１２ＡＵ、および、張力検出部１１Ｓに電気的に接続されている。制御部１０Ｃは、張力検出部１１Ｓの検出結果に応じた制御信号を生成し、生成した制御信号を第１張力調整部１１ＡＵおよび第２張力調整部１２ＡＵに出力する。各張力調整部１１ＡＵ，１２ＡＵは、入力した制御信号に応じて動作する。これにより、第１ローラー１１と第２ローラー１２との間において、防着シート１３の張力が所定値に制御される。本実施形態では、第１張力調整部１１ＡＵ、第２張力調整部１２ＡＵ、張力検出部１１Ｓ、および、制御部１０Ｃが、張力制御部を構成している。

【0039】

なお、第１張力調整部１１ＡＵは、例えば、第１ローラー１１を回転させるモーターであり、第２張力調整部１２ＡＵは、例えば、第２ローラー１２を回転させるモーターである。張力検出部１１Ｓは、例えばロードセルである。ロードセルは、第１ローラー１１に取り付けられてもよいし、第１ローラー１１の軸受に取り付けられてもよい。この場合には、制御部１０Ｃは、張力検出部１１Ｓの検出結果に応じた制御信号を生成することによって、第１張力調整部１１ＡＵの回転速度、および、第２張力調整部１２ＡＵの回転速度を制御する。各張力調整部１１ＡＵ，１２ＡＵは、制御信号に応じた回転速度で回転する。これによって、防着シート１３の張力が、所定値に制御される。

【0040】

なお、張力制御部は、第１ローラー１１の第１軸線１１Ａにおける張力を検出する張力検出部に代えて、第２ローラー１２の第２軸線１２Ａにおける張力を検出する張力検出部を備えてもよい。または、張力制御部は、第１軸線１１Ａの張力を検出する張力検出部と、第２軸線１２Ａの張力を検出する張力検出部との両方を備えてもよい。

【0041】

図３は、防着シート１３の斜視構造を模式的に示している。
図３が示すように、防着シート１３は、成膜粒子ＤＰを通す開口１３ａを有した空隙１３ｇを被着面１３Ｓに備える布である。防着シート１３は、被着面１３Ｓに多数の開口１３ａを有している。各開口１３ａは、防着シート１３の厚さ方向に沿って延びる空隙１３ｇに含まれる。空隙１３ｇは、成膜粒子ＤＰを収容することが可能な空間を区画している。そのため、防着シート１３が複数の空隙１３ｇを含まない場合に比べて、防着シート１３の被着面１３Ｓにおける表面積が大きくなり、これによって、多くの成膜粒子ＤＰが、防着シート１３によって捕捉される。防着シート１３は、織布であってもよいし、不織布であってもよい。

【0042】

本実施形態によるように、被着面１３Ｓに多数の空隙１３ｇを有した防着シート１３の張力を張力制御部によって制御することによって、防着シート１３に作用する張力の差異によって防着シート１３に対する着膜量が変わることが抑えられる。そのため、被着面１３Ｓに堆積し得る着膜物の量や、被着面１３Ｓから剥がれ落ちる着膜物の量の安定化を図ることができる。

【0043】

なお、張力を制御することは、第２ローラー１２に巻き取られる際に防着シート１３の被着面１３Ｓに存在する着膜物ＤＦに対するせん断応力が適正な値に制御されることを意味する。着膜物ＤＦが防着シート１３の巻取時に破壊されない応力値の範囲にせん断応力、すなわち張力を制御することによって、被着面１３Ｓから剥がれ落ちる着膜物の量を安定化することができる。この応力値は、着膜状況によって変化するため、予め実験的に求めることが好ましい。

【0044】

以上説明した防着機構１０では、第２ローラー１２による防着シート１３の巻き取りは、例えば、成膜源ＤＳが成膜対象に対して成膜粒子ＤＰを放出していない間に行われる。あるいは、第２ローラー１２による防着シート１３の巻き取りは、例えば、成膜源ＤＳによる成膜が行われた時間が所定の時間を超えたときに行われる。この場合には、第２ローラー１２は、一度の巻き取りによって、第１ローラー１１と第２ローラー１２との距離とほぼ同じ長さだけ防着シート１３を巻き取ることができる。あるいは、第２ローラー１２による防着シート１３の巻き取りは、成膜源ＤＳによる成膜が行われている間にわたって連続して行われてもよい。

【0045】

以上説明したように、防着機構の第１実施形態によれば、以下に記載の効果を得ることができる。
（１）防着機構１０では、第２ローラー１２の鉛直方向に位置する回収部１４が、防着シート１３から剥がれ落ちる着膜物ＤＦを回収することができるため、防着シート１３から剥がれ落ちる着膜物ＤＦに起因したパーティクルの発生が抑えられる。

【0046】

（２）防着シート１３が巻き付けられる第２ローラー１２が、第１ローラー１１に対して鉛直方向に位置するため、第２ローラー１２が第１ローラー１１よりも上方に位置する場合に比べて、第２ローラー１２から剥がれ落ちた着膜物ＤＦが飛散する領域を制限することが可能である。

【0047】

（３）防着シート１３の被着面１３Ｓが第２ローラー１２の中心よりも下方で第２ローラー１２に巻き付けられるため、防着シート１３が第２ローラー１２に巻き付けられることによって被着面１３Ｓから剥がれ落ちた着膜物ＤＦを第２ローラー１２の下方に向けて落としやすい。

【0048】

（４）防着シート１３に作用する張力の差異によって、防着シート１３が第２ローラー１２に巻き取られる際に、防着シート１３から剥がれ落ちる着膜物の量が変わることを抑えられる。そのため、第２ローラー１２に巻き取られる被着面１３Ｓに堆積し得る着膜物の量や、被着面１３Ｓから剥がれ落ちる着膜物の量の安定化を図ることができる。

【0049】

なお、上述した第１実施形態は、以下のように変更して実施することができる。
［案内部材］
・防着機構１０は、案内部材１５を備えなくてもよい。この場合であっても、第２ローラー１２の鉛直方向に位置する回収部１４を備えていれば、上述した（１）に準じた効果を得ることはできる。

【0050】

［張力制御部］
・防着機構１０は、張力制御部を備えなくてもよい。この場合であっても、第２ローラー１２の鉛直方向に位置する回収部１４を備えていれば、上述した（１）に準じた効果を得ることはできる。

【0051】

［防着シート］
・防着シート１３は布でなくてもよい。防着シート１３は、例えば、被着面１３Ｓに開口１３ａを有した空隙１３ｇを含む樹脂製のシート、および、ガラス製のシートなどの多孔質なシートであってもよい。この場合であっても、上述した（４）に準じた効果を得ることはできる。

【0052】

・防着シート１３は、被着面１３Ｓに空隙１３ｇを有しなくてもよい。この場合であっても、第２ローラー１２の鉛直方向に位置する回収部１４を備えていれば、上述した（１）に準じた効果を得ることはできる。

【0053】

［第１ローラーおよび第２ローラー］
・第２ローラー１２は、第１ローラー１１よりも上方に位置してもよい。この場合であっても、第２ローラー１２の鉛直方向に位置する回収部１４を備えていれば、上述した（１）に準じた効果を得ることはできる。なお、この場合には、回収部１４は、第１ローラー１１よりも上方に位置してもよいし、第１ローラー１１よりも下方に位置してもよい。

【0054】

・第１ローラー１１の第１軸線１１Ａと、第２ローラー１２の第２軸線１２Ａとは、互いに交差する方向に沿って延びてもよい。この場合であっても、第２ローラー１２の鉛直方向に位置する回収部１４を備えていれば、上述した（１）に準じた効果を得ることはできる。

【0055】

・第１ローラー１１の第１回転軸１１Ｒと、第２ローラー１２の第２回転軸１２Ｒとは、水平方向に交差する方向に沿って延びてもよい。また、第１ローラー１１の第１回転軸１１Ｒは、第１ローラー１１の第１軸線１１Ａに一致していなくてもよいし、第２ローラー１２の第２回転軸１２Ｒは、第２ローラー１２の第２軸線１２Ａに一致していなくてもよい。いずれの場合であっても、第２ローラー１２の鉛直方向に位置する回収部１４を備えていれば、上述した（１）に準じた効果を得ることはできる。

【0056】

［第２実施形態］
図４を参照して、防着機構、および、成膜装置の第２実施形態を説明する。第２実施形態において、第１ローラーの軸線が延びる方向、および、第２ローラーの軸線が延びる方向が、第１実施形態とは異なっている。そのため以下では、第２実施形態において第１実施形態とは異なる構成を詳しく説明する一方で、第２実施形態において第１実施形態と共通する構成には第１実施形態と同一の符号を付すことによって、当該構成の詳しい説明を省略する。

【0057】

図４が示すように、防着機構３０は、第１ローラー３１、第２ローラー３２、防着シート１３、および、回収部３４を備えている。第１ローラー３１の第１軸線３１Ａと、第２ローラー３２の第２軸線３２Ａとは互いに平行である。第１ローラー３１と第２ローラー３２とは、鉛直方向に沿う回転軸を備えている。第１ローラー３１の第１回転軸３１Ｒは、第１軸線３１Ａに一致している。第２ローラー３２の第２回転軸３２Ｒは、第２軸線３２Ａに一致している。本実施形態では、第１ローラー３１の第１軸線３１Ａが鉛直方向に沿って延び、これによって、第１回転軸３１Ｒも鉛直方向に沿って延びている。第２ローラー３２の第２軸線３２Ａが鉛方向に沿って延び、これによって、第２回転軸３２Ｒも鉛直方向に沿って延びている。

【0058】

回収部３４は、第２ローラー３２の下方、および、第１ローラー３１と第２ローラー３２との間の下方に位置している。本実施形態では、回収部３４は、第１ローラー３１の下方にも位置している。回収部３４は、第１ローラー３１から第２ローラー３２にわたって延びる皿状を有している。

【0059】

第１ローラー３１の第１回転軸３１Ｒ、および、第２ローラー３２の第２回転軸３２Ｒがともに鉛直方向に沿って延びるため、第１ローラー３１と第２ローラー３２との間を搬送される防着シート１３は、鉛直方向と、鉛直方向に交差する方向とによって規定される平面において、鉛直方向と交差する方向に沿って搬送される。本実施形態では、防着シート１３は、鉛直方向と水平方向とによって規定される平面において、水平方向に沿って搬送される。そのため、防着シート１３に堆積した着膜物ＤＦは、防着シート１３が水平方向に沿って搬送されている間に防着シート１３から剥がれ落ちる場合がある。

【0060】

この点で、本実施形態によれば、防着シート１３が第１ローラー３１から第２ローラー３２に搬送される間に防着シート１３から剥がれ落ちた着膜物ＤＦが回収部３４によって回収される。そのため、第１ローラー３１と第２ローラー３２とが鉛直方向に沿う回転軸３１Ｒ，３２Ｒを備える場合であっても、防着シート１３から剥がれ落ちた着膜物ＤＦに起因したパーティクルの発生を抑えることが可能である。

【0061】

以上説明したように、防着機構の第２実施形態によれば、上述した（１）および（４）の効果に加えて、以下に記載の効果を得ることができる。
（５）第１ローラー３１と第２ローラー３２とが鉛直方向に沿う回転軸３１Ｒ，３２Ｒを備える場合であっても、防着シート１３から剥がれ落ちた着膜物ＤＦに起因したパーティクルの発生を抑えることが可能である。

【0062】

なお、上述した第２実施形態は、以下のように変更して実施することができる。
［第１ローラーおよび第２ローラー］
・第１ローラー３１の第１回転軸３１Ｒは、第１ローラー３１の第１軸線３１Ａに一致していなくてもよい。また、第２ローラー３２の第２回転軸３２Ｒは、第２ローラー３２の第２軸線３２Ａに一致していなくてもよい。これらの場合であっても、各回転軸３１Ｒ，３２Ｒが鉛直方向に沿って延び、かつ、回収部３４が、第２ローラー３２の下方、および、第１ローラー３１と第２ローラー３２との間の下方に位置していれば、上述した（５）に準じた効果を得ることはできる。

【0063】

・第１ローラー３１および第２ローラー３２は、鉛直方向と、水平方向に交差する方向とに沿って防着シート１３を搬送してもよい。この場合であっても、回収部３４が、第２ローラー３２の下方、および、第１ローラー３１と第２ローラー３２との間の下方に位置していれば、上述した（５）に準じた効果を得ることはできる。

【0064】

［回収部］
・回収部３４は、第２ローラー３２の下方、および、第１ローラー３１と第２ローラー３２との間の下方に位置していれば、第１ローラー３１の下方には位置していなくてもよい。この場合であっても、第１ローラー３１に巻き付けられた防着シート１３には着膜物は堆積しないため、上述した（５）に準じた効果をことはできる。
［張力制御部］
・防着機構３０は、第１実施形態の防着機構１０が備える張力制御部と同等の張力制御部を備えることが可能である。

【符号の説明】

【0065】

１０，３０…防着機構、１０Ｃ…制御部、１１，３１…第１ローラー、１１Ａ，３１Ａ…第１軸線、１１ＡＵ…第１張力調整部、１１Ｒ，３１Ｒ…第１回転軸、１１Ｓ…張力検出部、１２，３２…第２ローラー、１２Ａ，３２Ａ…第２軸線、１２ＡＵ…第２張力調整部、１２Ｒ，３２Ｒ…第２回転軸、１３…防着シート、１３ａ…開口、１３ｇ…空隙、１３Ｒ…裏面、１３Ｓ…被着面、１４，３４…回収部、１５…案内部材、２０…成膜装置、ＤＦ…着膜物、ＤＰ…成膜粒子、ＤＳ…成膜源。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】