特許7307413曲面基板のエッチング方法

発明の名称　曲面基板のエッチング方法

出願人　中国科学院光電技術研究所　（識別番号 510232360）

　　　　特許公開件数ランキング 5080 位（1件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 12559 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7307413

公報発行日　2023年7月12

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7307413

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