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中国科学院光電技術研究所

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7576192 照明視野の不均一性検知システム、検知方法、補正方法および装置 2024年10月30日
特許 7564972 フォトリソグラフィ方法 2024年10月 9日
特許 7558433 表面プラズモン近接場リソグラフィにおけるマスクのトポロジ最適化の方法及びシステム 2024年 9月30日
特許 7519554 近接場フォトリソグラフィー浸漬システム、その浸漬ユニット及びインターフェースモジュール 2024年 7月19日
特許 7500035 多機能フォトリソグラフィ装置 2024年 6月17日
特許 7497537 レベルセットアルゴリズムに基づく超解像リソグラフィのリバース光近接効果補正方法 2024年 6月10日
特許 7431475 超解像フォトリソグラフィ精密マスク用のインテリジェント補正装置制御システム 2024年 2月15日

7 件中 1-7 件を表示

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7576192 7564972 7558433 7519554 7500035 7497537 7431475

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