特許 7310345 検査装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2023-07-10

(45)【発行日】2023-07-19

(54)【発明の名称】検査装置

(51)【国際特許分類】

   G01R 31/00 20060101AFI20230711BHJP

   G01R 31/28 20060101ALI20230711BHJP

   G02F 1/13 20060101ALI20230711BHJP

【ＦＩ】

G01R31/00

G01R31/28 K

G02F1/13 101

【請求項の数】 17

(21)【出願番号】P 2019112294

(22)【出願日】2019-06-17

(65)【公開番号】P2020204529

(43)【公開日】2020-12-24

【審査請求日】2022-05-26

(73)【特許権者】

【識別番号】392019709

【氏名又は名称】ニデックアドバンステクノロジー株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100074561

【弁理士】

【氏名又は名称】柳野 隆生

(74)【代理人】

【識別番号】100138689

【弁理士】

【氏名又は名称】梶原 慶

(74)【代理人】

【識別番号】100177264

【弁理士】

【氏名又は名称】柳野 嘉秀

(74)【代理人】

【識別番号】100124925

【弁理士】

【氏名又は名称】森岡 則夫

(74)【代理人】

【識別番号】100141874

【弁理士】

【氏名又は名称】関口 久由

(74)【代理人】

【氏名又は名称】大西 裕人

(72)【発明者】

【氏名】山本 和哉

(72)【発明者】

【氏名】生野 裕仁

【審査官】續山 浩二

(56)【参考文献】

【文献】特開２００６－３３２４２２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００５－２３３９９７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平１１－０５１９９９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００７－２６３６３０（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１５－０８１８３７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１５－１３０４２２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１５－０３１５７８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００７－００３５１７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平１１－１８６３４８（ＪＰ，Ａ）

【文献】中国特許出願公開第１０６８７３１９５（ＣＮ，Ａ）

【文献】韓国公開特許第１０－２０１８－００７０３３７（ＫＲ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｇ０１Ｒ ３１／００

Ｇ０１Ｒ ３１／２８

Ｇ０２Ｆ １／１３

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

略板状形状の検査対象物の上方に配設されると共に、前記検査対象物の上面に接触させるための上プローブを保持する上治具が下方から脱着可能に取りつけられる上側取付部と、
前記検査対象物の下方に配設されると共に、前記検査対象物の下面に接触させるための下プローブを保持する下治具が上方から脱着可能に取りつけられる下側取付部と、
前記上治具と前記下治具とを収容可能な治具棚と、
前記上治具及び前記下治具を選択的に載置可能なアーム部材と、
前記アーム部材を駆動することによって、前記上治具及び前記下治具を搬送するアーム駆動部と、
前記アーム部材から前記上治具を受け取って前記上側取付部に取りつける上側脱着機構と、
前記アーム部材から前記下治具を受け取って前記下側取付部に取りつける下側脱着機構とを備え、
前記アーム駆動部は、前記上治具を前記治具棚から取り出して前記上側脱着機構に搬送し、前記下治具を前記治具棚から取り出して前記下側脱着機構に搬送し、
前記上治具は、
略板状の上プレートと、
複数の前記上プローブを前記上プレートの下面側から下方に向かって延びる向きに保持する上治具ヘッドとを備え、
前記下治具は、
略板状の下プレートと、
複数の前記下プローブを前記下プレートの上面側から上方に向かって延びる向きに保持する下治具ヘッドとを備え、
前記アーム部材の先端部は、前記アーム部材に前記上治具が載置されたときに前記上治具ヘッドが位置する部分が基端部方向に凹没して切り欠かれている検査装置。

【請求項2】

前記アーム部材に載置された前記上治具又は前記下治具の載置位置を検出する載置位置検出部をさらに備える請求項１に記載の検査装置。

【請求項3】

略板状形状の検査対象物の上方に配設されると共に、前記検査対象物の上面に接触させるための上プローブを保持する上治具が下方から脱着可能に取りつけられる上側取付部と、
前記検査対象物の下方に配設されると共に、前記検査対象物の下面に接触させるための下プローブを保持する下治具が上方から脱着可能に取りつけられる下側取付部と、
前記上治具と前記下治具とを収容可能な治具棚と、
前記上治具及び前記下治具を選択的に載置可能なアーム部材と、
前記アーム部材を駆動することによって、前記上治具及び前記下治具を搬送するアーム駆動部と、
前記アーム部材から前記上治具を受け取って前記上側取付部に取りつける上側脱着機構と、
前記アーム部材から前記下治具を受け取って前記下側取付部に取りつける下側脱着機構とを備え、
前記アーム駆動部は、前記上治具を前記治具棚から取り出して前記上側脱着機構に搬送し、前記下治具を前記治具棚から取り出して前記下側脱着機構に搬送し、
前記上治具は、
略板状の上プレートと、
複数の前記上プローブを前記上プレートの下面側から下方に向かって延びる向きに保持する上治具ヘッドとを備え、
前記下治具は、
略板状の下プレートと、
複数の前記下プローブを前記下プレートの上面側から上方に向かって延びる向きに保持する下治具ヘッドとを備え、
前記アーム部材に載置された前記上治具又は前記下治具の載置位置を検出する載置位置検出部をさらに備える検査装置。

【請求項4】

前記載置位置検出部による前記載置位置の検出結果に基づいて、前記アーム部材に載置された前記上治具又は前記下治具の両側から前記上プレート又は前記下プレートへ向けて第一押圧部材を突出させることによって、前記アーム部材上の前記上治具又は前記下治具の載置位置を調節するアーム側位置調節機構をさらに備える請求項２又は３に記載の検査装置。

【請求項5】

前記上側取付部は、装置側上コネクタを備え、
前記上治具は、前記上プレートの上面側に設けられ、前記装置側上コネクタと接続可能な治具側上コネクタをさらに備え、
前記下側取付部は、装置側下コネクタを備え、
前記下治具は、前記下プレートの下面側に設けられ、前記装置側下コネクタと接続可能な治具側下コネクタをさらに備え、
前記上側脱着機構は、前記装置側上コネクタと前記治具側上コネクタとを接続させることによって、前記上治具を前記上側取付部に取りつけ、
前記下側脱着機構は、前記装置側下コネクタと前記治具側下コネクタとを接続させることによって、前記下治具を前記下側取付部に取りつける請求項１～４のいずれか１項に記載の検査装置。

【請求項6】

前記上プレートの下面側には、前記複数の上プローブと前記治具側上コネクタとを接続する配線が配置され、
前記上プレートの下面には、前記配線を間に挟んだ両側で突起した一対のブレードが設けられている請求項５に記載の検査装置。

【請求項7】

前記アーム部材の上面には、前記一対のブレードの頂部を受け入れるように凹没した溝部が設けられている請求項６に記載の検査装置。

【請求項8】

前記一対のブレードの頂部が、互いに平行に延びて延設されている請求項６又は７に記載の検査装置。

【請求項9】

前記アーム部材には、前記アーム部材に前記下治具が載置されたときに前記治具側下コネクタが位置する部分に開口部が設けられている請求項５～８のいずれか１項に記載の検査装置。

【請求項10】

前記上側脱着機構は、
前記上プレートの両側で前記上プレートの下面を支持する上第一突起部と、前記上第一突起部の上方で前記上第一突起部と対向配置された上第二突起部とを含む上保持部材と、
前記上保持部材を昇降させる上治具昇降機構とを備え、
前記上第一突起部と前記上第二突起部の間隔は、前記上プレートの厚さよりも大きく、
前記下側脱着機構は、
前記下プレートの両側で前記下プレートの下面を支持する下第一突起部と、前記下第一突起部の上方で前記下第一突起部と対向配置された下第二突起部とを含む下保持部材と、
前記下保持部材を昇降させる下治具昇降機構とを備え、
前記下第一突起部と前記下第二突起部の間隔は、前記下プレートの厚さよりも大きい請求項１～９のいずれか１項に記載の検査装置。

【請求項11】

前記アーム駆動部は、前記アーム部材に載置された前記上プレートの幅方向両端部を、前記アーム部材を駆動して前記上第一突起部と前記上第二突起部の間に非接触で差し入れ、
前記上治具昇降機構は、前記上保持部材を上昇させることによって、前記上保持部材に保持された前記上プレート上面側の前記治具側上コネクタを前記装置側上コネクタに接続し、
前記アーム駆動部は、前記アーム部材に載置された前記下プレートの幅方向両端部を、前記アーム部材を駆動して前記下第一突起部と前記下第二突起部の間に非接触で差し入れ、
前記下治具昇降機構は、前記下保持部材を下降させることによって、前記下保持部材に保持された前記下プレート下面側の前記治具側下コネクタを前記装置側下コネクタに接続する請求項１０に記載の検査装置。

【請求項12】

前記上治具昇降機構は、前記上保持部材を下降させることによって、前記上側取付部に取りつけられた前記上治具を前記上側取付部から取り外し、
前記アーム駆動部は、前記アーム部材を駆動することによって、前記上保持部材により保持された前記上プレートの下方に前記アーム部材を非接触で差し入れ、前記上保持部材と前記アーム部材とを相対的に移動させることにより前記上第一突起部及び前記上第二突起部のいずれからも離間した位置に前記上プレートを位置させて前記アーム部材により前記上治具をすくい上げ、前記すくい上げられた前記上治具を前記上保持部材から抜き取り、
前記下治具昇降機構は、前記下保持部材を上昇させることによって、前記下側取付部に取りつけられた前記下治具を前記下側取付部から取り外し、
前記アーム駆動部は、前記アーム部材を駆動することによって、前記下保持部材により保持された前記下プレートの下方に前記アーム部材を非接触で差し入れ、前記一対の下保持部材と前記アーム部材とを相対的に移動させることにより前記下第一突起部及び前記下第二突起部のいずれからも離間した位置に前記下プレートを位置させて前記アーム部材に
より前記下治具をすくい上げ、前記すくい上げられた前記下治具を前記下保持部材から抜き取る請求項１０又は１１に記載の検査装置。

【請求項13】

前記上保持部材に保持された前記上プレートの両側から、前記上プレートへ向けて第二押圧部材を突出させることによって、前記上治具の位置を調節する上位置調節機構と、
前記下保持部材に保持された前記下プレートの両側から、前記下プレートへ向けて第三押圧部材を突出させることによって、前記下治具の位置を調節する下位置調節機構とをさらに備える請求項１０～１２のいずれか１項に記載の検査装置。

【請求項14】

前記アーム駆動部は、
前記治具棚に収容された前記上治具の下方に前記アーム部材を差し入れて前記上治具をすくい上げることによって前記上治具を前記治具棚から取り出し、
前記治具棚に収容された前記下治具の下方に前記アーム部材を差し入れて前記下治具をすくい上げることによって前記下治具を前記治具棚から取り出す請求項１～１３のいずれか１項に記載の検査装置。

【請求項15】

前記治具棚は、前記上プレート及び前記下プレートの少なくとも一方の両端部を下から受け止め可能な一対の受止部材を備え、
前記アーム駆動部は、
前記治具棚において、前記一対の受止部材によって受け止められている前記上プレートの下方に前記上プレートとは離間した状態で前記アーム部材を差し入れ、前記一対の受止部材と前記アーム部材とを相対的に移動させることにより前記上治具をすくい上げて前記上プレートと前記一対の受止部材とを離間させた状態で前記上治具を前記治具棚から取り出し、
前記治具棚において、前記一対の受止部材によって受け止められている前記下プレートの下方に前記下プレートとは離間した状態で前記アーム部材を差し入れ、前記一対の受止部材と前記アーム部材とを相対的に移動させることにより前記下治具をすくい上げて前記下プレートと前記一対の受止部材とを離間させた状態で前記下治具を前記治具棚から取り出す請求項１４に記載の検査装置。

【請求項16】

前記アーム駆動部は、
前記アーム部材に載置された前記上プレートを、前記治具棚の前記一対の受止部材の上方に離間した状態で搬送し、前記一対の受止部材と前記アーム部材とを相対的に移動させることにより前記上プレートを前記一対の受止部材に受け止めさせて前記上治具を前記治具棚に収容し、
前記アーム部材に載置された前記下プレートを、前記治具棚の前記一対の受止部材の上方に離間した状態で搬送し、前記一対の受止部材と前記アーム部材とを相対的に移動させることにより前記下プレートを前記一対の受止部材に受け止めさせて前記下治具を前記治具棚に収容する請求項１４又は１５に記載の検査装置。

【請求項17】

前記治具棚は、複数の前記上治具と、複数の前記下治具とを収容可能である請求項１～１６のいずれか１項に記載の検査装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、検査対象物にプローブを接触させて検査を行う検査装置に関する。

【背景技術】

【0002】

従来より、液晶基板を検査する検査装置とプローバ交換装置とを併設して備え、前記プローバ交換装置は、液品基板を検査するためのプローバを搬送する搬送装置を備えた液晶基板検査装置が知られている（例えば、特許文献１参照。）。

【0003】

特許文献１には、プローバ６を液晶基板３０上に設置して検査を行うことが記載されている（特許文献１の図６（ａ）、段落００４４～００４７）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【文献】特開２００５－２３３９９７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

ところで、回路基板又は半導体基板等を検査する場合、基板の上面と下面の両方に、検査対象となる配線、パッド等の検査点が設けられている場合がある。このような基板を検査する場合、基板の上面と下面の両方にプローブを接触させる必要がある。

【0006】

しかしながら、特許文献１に記載の技術では、検査対象物の上にプローブを搬送することしかできないので、検査対象物の下にプローブを搬送することができない。そのため、両面に検査点が設けられた検査対象物を検査する検査装置に対しては、特許文献１に記載のプロ－バ交換装置を適用することが困難である。

【0007】

本発明の目的は、検査対象物の上面に接触する上治具及び検査対象物の下面に接触する下治具の両方を搬送することが容易な検査装置を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0008】

本発明の一例に係る検査装置は、略板状形状の検査対象物の上方に配設されると共に、前記検査対象物の上面に接触させるための上プローブを保持する上治具が下方から脱着可能に取りつけられる上側取付部と、前記検査対象物の下方に配設されると共に、前記検査対象物の下面に接触させるための下プローブを保持する下治具が上方から脱着可能に取りつけられる下側取付部と、前記上治具と前記下治具とを収容可能な治具棚と、前記上治具及び前記下治具を選択的に載置可能なアーム部材と、前記アーム部材を駆動することによって、前記上治具及び前記下治具を搬送するアーム駆動部と、前記アーム部材から前記上治具を受け取って前記上側取付部に取りつける上側脱着機構と、前記アーム部材から前記下治具を受け取って前記下側取付部に取りつける下側脱着機構とを備え、前記アーム駆動部は、前記上治具を前記治具棚から取り出して前記上側脱着機構に搬送し、前記下治具を前記治具棚から取り出して前記下側脱着機構に搬送し、前記上治具は、略板状の上プレートと、複数の前記上プローブを前記上プレートの下面側から下方に向かって延びる向きに保持する上治具ヘッドとを備え、前記下治具は、略板状の下プレートと、複数の前記下プローブを前記下プレートの上面側から上方に向かって延びる向きに保持する下治具ヘッドとを備える。

【発明の効果】

【0009】

このような構成の検査装置は、検査対象物の上面に接触する上治具及び検査対象物の下面に接触する下治具の両方を搬送することが容易である。

【図面の簡単な説明】

【0010】

【図1】本発明の一実施形態に係る検査装置の概略構成を、概念的に示す断面図である。

【図2】図１に示す上治具６Ｕを、下斜め方向から見た斜視図である。

【図3】図１に示す上側取付部２Ｕ、上側脱着機構８Ｕ、上位置調節機構１０Ｕ、及び上位置センサ８５Ｕを、下斜め方向から見た斜視図である。

【図4】図３に示す上側取付部２Ｕのベースプレート２２Ｕに対し、上治具６Ｕが取り付けられた状態を示す説明図である。

【図5】アーム部材４１と、アーム側位置調節機構９との一例を示す斜視図である。

【図6】図５に示すアーム部材４１に上治具６Ｕが載置された状態を示す斜視図である。

【図7】図１に示す検査装置１の電気的構成の一例を示すブロック図である。

【図8】取付部２から治具棚３へ治具６を搬送する場合の検査装置１の動作の一例を示すフローチャートである。

【図9】治具棚３から取付部２へ治具６を搬送する場合の検査装置１の動作の一例を示すフローチャートである。

【図10】治具棚３から取付部２へ治具６を搬送する場合の検査装置１の動作の一例を示すフローチャートである。

【図11】アーム部材４１によって上保持部材８０Ｕに非接触で差し入れられた上治具６Ｕを、Ｘ軸方向から見た説明図である。

【図12】アーム部材４１によって下保持部材８０Ｄに非接触で差し入れられた下治具６Ｄを、Ｘ軸方向から見た説明図である。

【図13】上プレート６１Ｕを、受止部材３１Ｕ，３１Ｕの上方に搬送した状態を説明するための説明図である。

【図14】下プレート６１Ｄを、受止部材３１Ｄ，３１Ｄの上方に搬送した状態を説明するための説明図である。

【発明を実施するための形態】

【0011】

以下、本発明に係る実施形態を図面に基づいて説明する。なお、各図において同一の符号を付した構成は、同一の構成であることを示し、その説明を省略する。図１には、後述する各図との方向関係を明確にするために、ＸＹＺ直交座標軸及び回転方向θが示されている。

【0012】

図１に示す検査装置１は、筐体１５内に、大略的に、上側取付部２Ｕ、下側取付部２Ｄ、治具棚３ａ，３ｂ、治具搬送機構４、上治具駆動機構５Ｕ、及び下治具駆動機構５Ｄを備えている。また、検査装置１は、後述する上側脱着機構８Ｕ、下側脱着機構８Ｄ、アーム側位置調節機構９、上位置調節機構１０Ｕ、及び下位置調節機構１０Ｄを備えている。

【0013】

検査対象物１００は、略板状形状を有している。検査対象物１００は、例えばプリント配線基板、ガラスエポキシ基板、フレキシブル基板、セラミック多層配線基板、半導体パッケージ用のパッケージ基板、インターポーザ基板、又はフィルムキャリア等の基板であってもよく、液晶ディスプレイ、ＥＬ（Electro-Luminescence）ディスプレイ、又はタッチパネルディスプレイ等の、ディスプレイ用の電極板又はタッチパネル用等の電極板であってもよく、半導体チップ、CSP(Chip size package)、半導体素子（ＩＣ：Integrated Circuit）、又は半導体ウェハ等の半導体基板であってもよく、種々の基板であってよい。

【0014】

検査対象物１００は、図略の搬送保持機構によって、所定の検査位置Ａに搬送され、水平に保持される。

【0015】

上側取付部２Ｕは、検査位置Ａに位置する検査対象物１００の上方に配設されている。上側取付部２Ｕは、上治具６Ｕを下方から脱着可能にされている。下側取付部２Ｄは、検査位置Ａに位置する検査対象物１００の下方に配設されている。下側取付部２Ｄは、下治具６Ｄを上方から脱着可能にされている。以下、上側取付部２Ｕ及び下側取付部２Ｄを総称して取付部２と称し、上治具６Ｕ及び下治具６Ｄを総称して治具６と称する。

【0016】

上治具駆動機構５Ｕ及び下治具駆動機構５Ｄは、モータ、及びギヤ等の動力伝達機構によって構成されている。上治具駆動機構５Ｕは、上側取付部２ＵをＸ、Ｙ、Ｚ軸方向に移動させ、Ｚ軸回りのθ方向に回転させる。下治具駆動機構５Ｄは、下側取付部２ＤをＸ、Ｙ、Ｚ軸方向に移動させ、Ｚ軸回りのθ方向に回転させる。

【0017】

治具棚３ａ，３ｂは、それぞれ、上治具６Ｕと下治具６Ｄの組を、二組ずつ収容可能とされている。以下、治具棚３ａ，３ｂを総称して治具棚３と称する。

【0018】

治具搬送機構４は、アーム部材４１と、アーム駆動部４２ａ～４２ｄとを備えている。以下、アーム駆動部４２ａ～４２ｄを総称してアーム駆動部４２と称する。
アーム部材４１の上面には、上治具６Ｕ及び下治具６Ｄを、選択的に載置可能とされている。アーム駆動部４２ａの上に、アーム駆動部４２ｄ，４２ｂ，４２ｃが下からこの順に搭載されている。アーム部材４１はアーム駆動部４２ｃに連結されている。

【0019】

アーム駆動部４２ａは、アーム駆動部４２ｄ，４２ｂ，４２ｃをＸ軸方向にスライド移動させる。これにより、アーム駆動部４２ａは、アーム駆動部４２ｃに連結されたアーム部材４１をＸ軸方向、すなわち取付部２に対して接近又は離間する方向にアーム部材４１を移動させる。

【0020】

アーム駆動部４２ｄは、アーム駆動部４２ｂ，４２ｃをＺ軸まわりに回動させる。これにより、アーム駆動部４２ｄは、アーム駆動部４２ｃに連結されたアーム部材４１の向きを、Ｘ軸方向すなわち取付部２に向く方向と、Ｙ軸方向すなわち治具棚３に向く方向との間で姿勢変更可能にされている。

【0021】

アーム駆動部４２ｂは、アーム部材４１と連結されたアーム駆動部４２ｃを、アーム部材４１の長手方向に沿ってスライド移動させる。これにより、アーム駆動部４２ｂは、アーム部材４１が取付部２の方向を向いているときはアーム部材４１を取付部２に対して進退させ、アーム部材４１が治具棚３の方向を向いているときはアーム部材４１を治具棚３に対して進退させることができる。

【0022】

また、アーム駆動部４２ｂには、後述するアーム側位置調節機構９の四本の支柱９０の一端が取りつけられている。図１では、押圧部９１Ｕ，９２Ｕ，９１Ｄ，９２Ｄの記載を省略し、支柱９０のみを二点鎖線で透過させて記載している。四本の支柱９０がアーム駆動部４２ｂに取りつけられていることによって、アーム側位置調節機構９は、アーム駆動部４２ｂと共に、アーム駆動部４２ａによってＸ軸方向にスライド移動され、アーム駆動部４２ｄによって、Ｚ軸まわりに回動される。

【0023】

アーム駆動部４２ａ～４２ｃは、例えばモータ、ギア機構、スライドレール、ラックアンドピニオン、ベルト、チェーン等を用いて構成されている。アーム駆動部４２ｄは、例えばモータ及びギア機構等を用いて構成されている。

【0024】

治具搬送機構４は、後述する制御部７からの制御信号に応じてアーム駆動部４２ａ～４２ｄを連係動作させることによって、アーム部材４１に載置された治具６を、取付部２と治具棚３との間で双方向に搬送可能にされている。

【0025】

図２は、アーム部材４１が取付部２の方向を向いている状態を図示している。以下、図３～図６、図１１、図１２においては、アーム部材４１が図２と同じ方向を向いている状態でのＸＹＺ方向を矢示している。

【0026】

図２に示す上治具６Ｕは、略板状の上プレート６１Ｕと、複数の上プローブＰｕと、複数の上プローブＰｕを上プレート６１Ｕの下面側から下方に向かって延びる向きに保持する上治具ヘッド６２Ｕと、上プレート６１Ｕの上面側に設けられ、装置側上コネクタ２１Ｕと接続可能な治具側上コネクタ６３Ｕと、上プレート６１Ｕの下面側に設けられ、複数の上プローブＰｕと治具側上コネクタ６３Ｕの各端子とを接続する配線６４Ｕと、上プレート６１Ｕの下面側に設けられ、上治具ヘッド６２Ｕ及び配線６４Ｕを間に挟んだ両側で突起した一対のブレード６５とを備えている。

【0027】

上プレート６１Ｕの幅はＷ３とされている。上治具６Ｕは、配線６４Ｕ及び治具側上コネクタ６３Ｕの各端子を覆う保護カバーを備えていてもよい。

【0028】

図２に示す例では、Ｘ軸方向左側が上治具６Ｕの先端側、Ｘ軸方向右側が上治具６Ｕの後端側となっている。上治具ヘッド６２Ｕは上治具６Ｕの先端近傍に配設され、治具側上コネクタ６３Ｕは上治具ヘッド６２Ｕよりも後端側に配設されている。

【0029】

一対のブレード６５は、Ｘ軸方向に長尺の板状形状を有し、上プレート６１Ｕの下面に立設されている。一対のブレード６５は、その頂部６５１が、互いに平行に延びて延設されている。一対のブレード６５の上プレート６１Ｕ下面からの突出量（高さ）はＸ軸方向に対して一定とされている。これにより、アーム部材４１の上面に一対のブレード６５の頂部６５１を当接させてアーム部材４１上に上治具６Ｕを載置した場合に、一対のブレード６５によって上プレート６１Ｕが水平に支持されるようになっている。

【0030】

一対のブレード６５は、上プレート６１Ｕ下面からの突出量すなわち頂部６５１の高さが、配線６４Ｕ及び治具側上コネクタ６３Ｕの各端子、あるいはその保護カバーよりも大きくされている。図２に示すように、ブレード６５の、頂部６５１と上プレート６１Ｕ下面との間の部分が一部切り欠かれていてもよい。

【0031】

上プレート６１Ｕの上面には、治具側上コネクタ６３Ｕの正面が露出している。図２では、治具側上コネクタ６３Ｕの背面側が上プレート６１Ｕの下面に見えている。また、上プレート６１Ｕの上面には、後述する上側取付部２Ｕの位置決ピン２３を受け入れる図略の位置決孔が設けられている。

【0032】

下治具６Ｄは、上治具６Ｕから一対のブレード６５を取り除き、上下反転したものに相当する。図２には、上治具６Ｕ、上プレート６１Ｕ、上治具ヘッド６２Ｕ、治具側上コネクタ６３Ｕ、配線６４Ｕ、及び上プローブＰｕに対応する下治具６Ｄ、下プレート６１Ｄ、下治具ヘッド６２Ｄ、治具側下コネクタ６３Ｄ、配線６４Ｄ、及び下プローブＰｄを示す符号を括弧書きで記載している。

【0033】

すなわち、図１、図２に示す下治具６Ｄは、略板状の下プレート６１Ｄと、複数の下プローブＰｄと、複数の下プローブＰｄを下プレート６１Ｄの上面側から上方に向かって延びる向きに保持する下治具ヘッド６２Ｄと、下プレート６１Ｄの下面側に設けられ、装置側下コネクタ２１Ｄと接続可能な治具側下コネクタ６３Ｄと、下プレート６１Ｄの上面側に設けられ、複数の下プローブＰｄと治具側下コネクタ６３Ｄの各端子とを接続する配線６４Ｄとを備えている。

【0034】

上プレート６１Ｕ、下プレート６１Ｄ、及び一対のブレード６５としては、例えばアルミ又はステンレス等の金属板を好適に用いることができる。以下、上プレート６１Ｕ及び下プレート６１Ｄを総称してプレート６１と称し、上プローブＰｕ及び下プローブＰｄを総称してプローブＰと称する。

【0035】

図３に示す上側取付部２Ｕは、略板状のベースプレート２２Ｕを備えている。図３に示す例では、Ｘ軸方向奥側がベースプレート２２Ｕの先端側、Ｘ軸方向手前側がベースプレート２２Ｕの後端側となっている。ベースプレート２２Ｕの四隅には切欠２２１が形成されている。

【0036】

ベースプレート２２Ｕの後端側の位置には、装置側上コネクタ２１Ｕが配設されている。ベースプレート２２Ｕの下面には、下方に向けて突出する複数の位置決ピン２３が取り付けられている。ベースプレート２２Ｕに上治具６Ｕを取り付けると、各位置決ピン２３が上述の位置決孔に挿入され、ベースプレート２２Ｕと上治具６Ｕとが位置決めされて、装置側上コネクタ２１Ｕと治具側上コネクタ６３Ｕとが接続されるようになっている。

【0037】

上側脱着機構８Ｕは、上保持部材８０Ｕと、図７に示す上治具昇降機構８３Ｕとを備えている。上保持部材８０Ｕは、ベースプレート２２ＵのＹ軸方向両側に、Ｘ軸方向に沿って互いに平行に延びる保持棒８１Ｕ，８２Ｕを備えている。保持棒８１Ｕは、ＹＺ平面で切断した断面が略Ｌ字形状を有している。

【0038】

保持棒８１Ｕ，８２Ｕは、相対向する縦壁８１１，８２１を備えている。

【0039】

保持棒８１Ｕは、縦壁８１１の下端から保持棒８２Ｕへ向かって延びる板状の上第一突起部８１２Ｕと、縦壁８１１の上端すなわち上第一突起部８１２Ｕの上方で、上第一突起部８１２Ｕと対向して保持棒８２Ｕへ向かって突出する上第二突起部８１３Ｕ，８１３Ｕとを備えている。

【0040】

保持棒８２Ｕは、縦壁８２１の下端から保持棒８１Ｕへ向かって延びる板状の上第一突起部８２２Ｕと、縦壁８２１の上端すなわち上第一突起部８２２Ｕの上方で、上第一突起部８２２Ｕと対向して保持棒８１Ｕへ向かって突出する上第二突起部８２３Ｕ，８２３Ｕとを備えている。

【0041】

上第一突起部８１２Ｕと上第二突起部８１３Ｕ，８１３Ｕとの間隔Ｗ１、及び上第一突起部８２２Ｕと上第二突起部８２３Ｕ，８２３Ｕとの間隔Ｗ１は、上プレート６１Ｕの厚さＴよりも大きくされている。これにより、図４に示すように、保持棒８１Ｕ，８２Ｕの間隔Ｗ１に上プレート６１Ｕを挿入可能にされている。間隔Ｗ１に挿入された上プレート６１Ｕの下面は、上第一突起部８１２Ｕ，８２２Ｕによって支持される。

【0042】

上第一突起部８１２Ｕと上第一突起部８２２Ｕの間隔Ｗ５は、プレート６１の幅Ｗ３より狭く、かつ後述するアーム部材４１の幅Ｗ２よりも広い。これにより、アーム部材４１と上第一突起部８１２Ｕ，８２２Ｕとが干渉することなく、アーム部材４１によって、上プレート６１Ｕを、保持棒８１Ｕ，８２Ｕの間隔Ｗ１内に搬送、搬出することが可能となる。

【0043】

なお、下保持部材８０Ｄの場合には、下第一突起部８１３Ｄと下第一突起部８２３Ｄとの間の間隔Ｗ６が、プレート６１の幅Ｗ３より狭く、かつ後述するアーム部材４１の幅Ｗ２よりも広い。これにより、アーム部材４１と下第一突起部８１３Ｄ，８２３Ｄとが干渉することなく、アーム部材４１によって、下プレート６１Ｄを、保持棒８１Ｄ，８２Ｄの間隔Ｗ１内に搬送、搬出することが可能となる。

【0044】

保持棒８１Ｕ，８２Ｕは、後述する上治具昇降機構８３Ｕによって、昇降可能にされている。保持棒８１Ｕ，８２Ｕが上治具昇降機構８３Ｕによって上昇されると、上第二突起部８１３Ｕ，８１３Ｕ，８２３Ｕ，８２３Ｕが、ベースプレート２２Ｕの四隅の切欠２２１に嵌まり込む。

【0045】

上位置センサ８５Ｕは、例えば保持棒８１Ｕ，８２Ｕの先端部Ｆ側に配設されている。上位置センサ８５Ｕは、上保持部材８０Ｕによって保持された上治具６Ｕの位置を検出する。上位置センサ８５Ｕとしては、載置位置検出部４４と同様の位置検出センサを用いることができる。

【0046】

図３を参照して、上位置調節機構１０Ｕは、保持棒８１Ｕ，８２Ｕの例えば一端部近傍と他端部近傍に取りつけられている。上位置調節機構１０Ｕは、略棒状の押圧部材１１（第二押圧部材）と、押圧部材１１を進退させるアクチュエータ１２とを備えている。

【0047】

各アクチュエータ１２は、保持棒８１Ｕ，８２Ｕの縦壁８１１，８２１の外側に取り付けられている。縦壁８１１，８２１における、アクチュエータ１２の取り付け位置には、孔８４が形成されている。各アクチュエータ１２は、後述する治具搬送制御部７１からの制御信号に応じて、孔８４から押圧部材１１を突出させたり、押圧部材１１を退避させたりする。

【0048】

これにより、各アクチュエータ１２は、後述する治具搬送制御部７１からの制御信号に応じて上保持部材８０Ｕに保持された上プレート６１Ｕの両側から上プレート６１Ｕへ向けて押圧部材１１を突出させ、上プレート６１Ｕの縁部に押圧部材１１を当接させることによって、上治具６Ｕの位置を調節する。

【0049】

下側取付部２Ｄ、下側脱着機構８Ｄ、下位置調節機構１０Ｄ、及び下位置センサ８５Ｄは、図３に示す上側取付部２Ｕ、上側脱着機構８Ｕ、上位置調節機構１０Ｕ、及び上位置センサ８５Ｕを上下反転したものに相当し、上側取付部２Ｕ、上側脱着機構８Ｕ、上位置調節機構１０Ｕ、及び上位置センサ８５Ｕと同様に構成されているのでその説明を省略する。

【0050】

図３においては、上側取付部２Ｕ、装置側上コネクタ２１Ｕ、ベースプレート２２Ｕ、上側脱着機構８Ｕ、上保持部材８０Ｕ、保持棒８１Ｕ，８２Ｕ、上第一突起部８１２Ｕ，８２２Ｕ、上第二突起部８１３Ｕ，８１３Ｕ、上第二突起部８２３Ｕ，８２３Ｕ、上位置センサ８５Ｕ、及び上位置調節機構１０Ｕに対応する、下側取付部２Ｄ、装置側下コネクタ２１Ｄ、ベースプレート２２Ｄ、下側脱着機構８Ｄ、下保持部材８０Ｄ、保持棒８１Ｄ，８２Ｄ、下第二突起部８１２Ｄ，８２２Ｄ、下第一突起部８１３Ｄ，８１３Ｄ、下第一突起部８２３Ｄ，８２３Ｄ、下位置センサ８５Ｄ、及び下位置調節機構１０Ｄの符号を括弧書きで図示している。下位置調節機構１０Ｄの押圧部材１１が第三押圧部材の一例に相当している。

【0051】

下保持部材８０Ｄの場合、保持棒８１Ｄ，８２Ｄの間隔Ｗ１に挿入された下プレート６１Ｄの下面は、下第一突起部８１３Ｄ，８１３Ｄ及び下第一突起部８２３Ｄ，８２３Ｄによって支持される。

【0052】

図４に示すように、保持棒８１Ｕ，８２Ｕの間隔Ｗ１に上プレート６１Ｕが挿入された状態で保持棒８１Ｕ，８２Ｕが上昇すると、上第一突起部８１２Ｕ及び上第一突起部８２２Ｕによって、上プレート６１Ｕがベースプレート２２Ｕに圧接され、治具側上コネクタ６３Ｕと装置側上コネクタ２１Ｕとが接続される。このようにして、上治具６Ｕが上側取付部２Ｕに取り付けられる。

【0053】

一方、図４に示す状態から、保持棒８１Ｕ，８２Ｕが下降すると、上第二突起部８１３Ｕ，８１３Ｕ及び上第二突起部８２３Ｕ，８２３Ｕによって、上プレート６１Ｕがベースプレート２２Ｕから引き離される。その結果、上治具６Ｕが上側取付部２Ｕから取り外される。

【0054】

同様に、下側脱着機構８Ｄの場合、保持棒８１Ｄ，８２Ｄの間隔Ｗ１に下プレート６１Ｄが挿入された状態で保持棒８１Ｄ，８２Ｄが下降すると、下第二突起部８１２Ｄ及び下第二突起部８２２Ｄによって、下プレート６１Ｄがベースプレート２２Ｄに圧接され、治具側下コネクタ６３Ｄと装置側下コネクタ２１Ｄとが接続される。このようにして、下治具６Ｄが下側取付部２Ｄに取り付けられる。

【0055】

一方、保持棒８１Ｄ，８２Ｄが上昇すると、下第一突起部８１３Ｄ，８１３Ｄ及び下第一突起部８２３Ｄ，８２３Ｄによって、下プレート６１Ｄがベースプレート２２Ｄから引き離される。その結果、下治具６Ｄが下側取付部２Ｄから取り外される。

【0056】

図５に示すアーム部材４１は、連結部４３によってアーム駆動部４２ｃと連結されている。アーム部材４１は、治具６をその上面に載置可能な略板状の形状を有している。連結部４３は、アーム部材４１を水平に維持した状態で、アーム駆動部４２ｃの駆動に連動させてアーム部材４１を昇降させる。

【0057】

アーム部材４１の上面、連結部４３近傍には、四つの載置位置検出部４４が配設されている。載置位置検出部４４は、アーム部材４１上に載置された治具６の載置位置を検出するセンサである。載置位置検出部４４としては、例えば光センサ、超音波センサ、又は治具６に対してレバーを物理的に当接させて治具６の位置を検出する機械式センサ等、種々のセンサを用いることができる。

【0058】

アーム部材４１の、連結部４３とは反対側の先端部Ｆには、連結部４３と連結された基端部Ｒ方向に凹没して切り欠かれた凹没部４５が設けられている。凹没部４５は、アーム部材４１に上治具６Ｕが載置されたときに上治具ヘッド６２Ｕが位置する部分に設けられている。

【0059】

これにより、アーム部材４１に上治具６Ｕが載置されると、図６に示すように、凹没部４５から上治具ヘッド６２Ｕが通り抜けて、アーム部材４１の下側に上治具ヘッド６２Ｕが突出する。このように、凹没部４５が設けられていることによって、アーム部材４１に上治具６Ｕが載置されたときに、アーム部材４１と上治具ヘッド６２Ｕとが干渉しないようになっている。

【0060】

また、アーム部材４１の上面には、一対のブレード６５の頂部６５１を受け入れるように凹没した一対の溝部４６が設けられている。これにより、アーム部材４１に上治具６Ｕが載置されたときに、一対のブレード６５の頂部６５１が一対の溝部４６に嵌まり込む結果、アーム部材４１で上治具６Ｕが横滑りするおそれが低減される。

【0061】

また、アーム部材４１に上治具６Ｕが載置されたとき、アーム部材４１と上プレート６１Ｕとの間に一対のブレード６５が介在する。その結果、アーム部材４１の上面と上プレート６１Ｕの下面とが、ブレード６５の高さから溝部４６の深さを減算した距離だけ離間する。このように、アーム部材４１の上面と上プレート６１Ｕの下面とが離間することによって、配線６４Ｕがアーム部材４１と上プレート６１Ｕとに挟まれないようになっている。

【0062】

アーム部材４１には、アーム部材４１に下治具６Ｄが載置されたときに治具側下コネクタ６３Ｄが位置する部分に開口部４７が形成されている。これにより、アーム部材４１に下治具６Ｄが載置された場合であっても、下治具６Ｄの治具側下コネクタ６３Ｄがアーム部材４１と干渉しないようになっている。アーム部材４１には、さらに、予備的に開口部４８が形成されている。

【0063】

アーム部材４１の幅Ｗ２は、プレート６１の幅Ｗ３よりも小さくされている。これにより、アーム部材４１に治具６が載置されたとき、アーム部材４１の幅方向両側にプレート６１がはみ出すようになっている。

【0064】

アーム側位置調節機構９は、一対の押圧部９１Ｕ，９１Ｕ、一対の押圧部９２Ｕ，９２Ｕ、一対の押圧部９１Ｄ，９１Ｄ、及び一対の押圧部９２Ｄ，９２Ｄの計八つの押圧部と、これらの押圧部を支持する四本の支柱９０とを備えている。各一対の押圧部は、対の一方と対の他方との間に、アーム部材４１に載置された治具６が位置するように、それぞれＹ軸方向に対向配置されている。各押圧部は、それぞれ、押圧部材９１１（第一押圧部材）と、アクチュエータ９１２とを備えている。

【0065】

一対の押圧部９１Ｕ，９１Ｕ及び一対の押圧部９２Ｕ，９２Ｕは、一対の押圧部９１Ｄ，９１Ｄ及び一対の押圧部９２Ｄ，９２Ｄの上方に配置されている。一対の押圧部９１Ｕ，９１Ｕ及び一対の押圧部９１Ｄ，９１Ｄと、一対の押圧部９２Ｕ，９２Ｕ及び一対の押圧部９２Ｄ，９２Ｄとは、下プレート６１Ｄ及び上プレート６１ＵのＸ軸方向長さよりも短い所定距離、互いに離間して配設されている。

【0066】

押圧部９１Ｕ，９１Ｕ，９２Ｕ，９２Ｕは、上側取付部２Ｕと治具棚３との間で上治具６Ｕを搬送する際の位置調節に用いられ、押圧部９１Ｄ，９１Ｄ，９２Ｄ，９２Ｄは、下側取付部２Ｄと治具棚３との間で下治具６Ｄを搬送する際の位置調節に用いられる。アーム側位置調節機構９によって、アーム部材４１上における上治具６Ｕ、下治具６Ｄの載置位置を調節することによって、上治具６Ｕ、下治具６Ｄを搬送する際に、上側脱着機構８Ｕ、下側脱着機構８Ｄ又は治具棚３と干渉、摺動するおそれが低減される。その結果、摺動による粉塵が発生するおそれが低減される。

【0067】

また、上方の押圧部９１Ｕ，９１Ｕ，９２Ｕ，９２Ｕと、下方の押圧部９１Ｄ，９１Ｄ，９２Ｄ，９２Ｄとを備えることによって、治具６を取付部２へ搬送する際の、アーム部材４１の移動量を低減することができる。

【0068】

アクチュエータ９１２は、後述する治具搬送制御部７１からの制御信号に応じて各押圧部の押圧部材９１１を進退させる。図６に示すように、アーム側位置調節機構９は、アーム部材４１に載置された上治具６Ｕ又は下治具６Ｄの両側から押圧部材９１１を突出させ、上プレート６１Ｕ又は下プレート６１Ｄの縁部に押圧部材９１１を当接させることによって、アーム部材４１上の治具６の載置位置を調節可能とされている。

【0069】

図１に示す治具棚３ａ，３ｂは、それぞれ、相対向する縦壁３２，３２と、縦壁３２，３２の内壁から突出する二対の受止部材３１Ｕ，３１Ｕと、二対の受止部材３１Ｄ，３１Ｄとを備えている。一対の受止部材３１Ｕ，３１Ｕで上治具６Ｕを一つ受け止めることができ、一対の受止部材３１Ｄ，３１Ｄで下治具６Ｄを一つ受け止めることができる。以下、受止部材３１Ｕ，３１Ｄを総称して、受止部材３１と称する。

【0070】

従って、治具棚３ａには上治具６Ｕと下治具６Ｄとを二つずつ収容することができ、治具棚３ｂにも、上治具６Ｕと下治具６Ｄとを二つずつ収容することができる。図１は、治具棚３ａに上治具６Ｕと下治具６Ｄとが一つずつ、治具棚３ｂに上治具６Ｕと下治具６Ｄとが二つずつ収容された状態を示している。

【0071】

一対の受止部材３１，３１相互間の間隔Ｗ４は、治具６の幅Ｗ３よりも狭く、かつアーム部材４１の幅Ｗ２よりも広い。これにより、一対の受止部材３１，３１によって受け止められている治具６の下方にアーム部材４１を差し入れて、アーム部材４１を上昇させることによって、アーム部材４１で治具６をすくい上げることができるようになっている。

【0072】

図７に示す検査装置１は、制御部７を備えている。制御部７には、装置側下コネクタ２１Ｄ、装置側上コネクタ２１Ｕ、アーム駆動部４２、載置位置検出部４４、アーム側位置調節機構９、上治具昇降機構８３Ｕ、上位置センサ８５Ｕ、上位置調節機構１０Ｕ、下治具昇降機構８３Ｄ、下位置センサ８５Ｄ、及び下位置調節機構１０Ｄが電気的に接続されている。

【0073】

制御部７は、例えば、所定の演算処理を実行するＣＰＵ（Central Processing Unit）、データを一時的に記憶するＲＡＭ（Random Access Memory）、所定の制御プログラム等を記憶するフラッシュメモリ又はＨＤＤ（Hard Disk Drive）等の不揮発性の記憶装置、及びこれらの周辺回路等を用いて構成されている。制御部７は、例えば上述の制御プログラムを実行することによって、治具搬送制御部７１、及び検査部７２として機能する。

【0074】

治具側上コネクタ６３Ｕと装置側上コネクタ２１Ｕとが接続され、治具側下コネクタ６３Ｄと装置側下コネクタ２１Ｄとが接続されると、上プローブＰｕが治具側上コネクタ６３Ｕ及び装置側上コネクタ２１Ｕを介して制御部７と接続され、下プローブＰｄが治具側下コネクタ６３Ｄ及び装置側下コネクタ２１Ｄを介して制御部７と接続される。

【0075】

検査部７２は、上プローブＰｕ及び下プローブＰｄのうちの、任意のプローブ間に検査用の電流を供給し、任意のプローブ間の電圧を測定することによって、検査対象物１００を検査する。

【0076】

治具搬送制御部７１は、アーム駆動部４２、上治具昇降機構８３Ｕ、及び下治具昇降機構８３Ｄの動作を制御することによって、上治具６Ｕを治具棚３と上側取付部２Ｕとの間で搬送し、下治具６Ｄを治具棚３と下側取付部２Ｄとの間で搬送する。

【0077】

また、治具搬送制御部７１は、載置位置検出部４４によって検出された、アーム部材４１上での治具６の載置位置に基づいてアーム側位置調節機構９を制御する。これにより、治具搬送制御部７１は、アーム部材４１上の適切な位置に治具６を載置させるよう、アーム側位置調節機構９によって治具６の載置位置を調節させる。

【0078】

また、治具搬送制御部７１は、上位置センサ８５Ｕによって検出された、上保持部材８０Ｕによる上治具６Ｕの保持位置に基づいて上位置調節機構１０Ｕを制御する。これにより、治具搬送制御部７１は、上保持部材８０Ｕによって適切な位置に上治具６Ｕを保持させるよう、上位置調節機構１０Ｕによって上治具６Ｕの位置を調節させる。

【0079】

また、治具搬送制御部７１は、下位置センサ８５Ｄによって検出された、下保持部材８０Ｄによる下治具６Ｄの保持位置に基づいて下位置調節機構１０Ｄを制御する。これにより、治具搬送制御部７１は、下保持部材８０Ｄによって適切な位置に下治具６Ｄを保持させるよう、下位置調節機構１０Ｄによって下治具６Ｄの位置を調節させる。

【0080】

また、治具搬送制御部７１は、上治具昇降機構８３Ｕの動作を制御することによって上側取付部２Ｕに対して上治具６Ｕを脱着し、下治具昇降機構８３Ｄの動作を制御することによって下側取付部２Ｄに対して下治具６Ｄを脱着する。

【0081】

治具搬送制御部７１は、これらアーム駆動部４２、アーム側位置調節機構９、上治具昇降機構８３Ｕ、上位置調節機構１０Ｕ、下治具昇降機構８３Ｄ、及び下位置調節機構１０Ｄを連携動作させることによって、上側取付部２Ｕ及び下側取付部２Ｄに取りつけられた治具６を、治具棚３に収容された他の治具６と交換することができる。

【0082】

図８を参照して、取付部２から取り外した治具６を治具棚３に収容する場合の検査装置１の動作を説明する。

【0083】

まず、上側取付部２Ｕには上治具６Ｕが取りつけられ、下側取付部２Ｄには下治具６Ｄが取りつけられているものとする。この状態から上治具６Ｕを搬送する場合、上治具昇降機構８３Ｕは、治具搬送制御部７１からの制御信号に応じて上保持部材８０Ｕを下降させる。そうすると、上第二突起部８１３Ｕ，８１３Ｕ，８２３Ｕ，８２３Ｕが上プレート６１Ｕの上面を下方に押し下げる結果、治具側上コネクタ６３Ｕが装置側上コネクタ２１Ｕから切り離されて、上治具６Ｕが上側取付部２Ｕから取り外される（ステップＳ１）。

【0084】

上プローブＰｕ及び下プローブＰｄは、それぞれ千本以上設けられている場合が少なくない。そうすると、治具側上コネクタ６３Ｕ及び治具側下コネクタ６３Ｄのピン数も、プローブ本数に応じて千個を超えることが少なくない。千を超えるピン数を有するコネクタの脱着には、大きな力が必要になる。そこで、上第二突起部８１３Ｕ，８１３Ｕ，８２３Ｕ，８２３Ｕを備えることによって、上治具昇降機構８３Ｕが上保持部材８０Ｕを下降させる力で強制的に治具側上コネクタ６３Ｕを装置側上コネクタ２１Ｕから切り離し、上治具６Ｕを上側取付部２Ｕから取り外すことができるようになっている。

【0085】

なお、フローチャートに括弧書きで記載しているように、下治具６Ｄを搬送する場合、治具搬送制御部７１からの制御信号に応じて、下治具昇降機構８３Ｄが、下保持部材８０Ｄを上昇させる（ステップＳ１）。これにより、上治具６Ｕの場合と同様にして、治具側下コネクタ６３Ｄを装置側下コネクタ２１Ｄから切り離し、下治具６Ｄを下側取付部２Ｄから取り外すことができるようになっている。

【0086】

以下、下治具６Ｄに関わる動作については適宜括弧書きで併記する。

【0087】

次に、アーム駆動部４２は、治具搬送制御部７１からの制御信号に応じて、上プレート６１Ｕの下方に、上プレート６１Ｕと接触しないように非接触でアーム部材４１を差し入れ、アーム部材４１を上昇させることによって、上治具６Ｕをすくい上げる（ステップＳ２）。

【0088】

図１１は、上治具６Ｕをすくい上げた状態を示す説明図である。図１１に示すように、アーム部材４１に上治具６Ｕが載置された状態では、アーム部材４１の上面にブレード６５，６５の頂部が当接し、アーム部材４１の凹没部４５から上治具６Ｕの上治具ヘッド６２Ｕが下方に突出している。

【0089】

アーム部材４１の幅Ｗ２、上第一突起部８１２Ｕ，８２２Ｕの間隔Ｗ５、プレート６１の幅Ｗ３、及び縦壁８１１，８２１間の間隔Ｗ７は、Ｗ２＜Ｗ５＜Ｗ３＜Ｗ７の関係を有し、かつ、上第一突起部８１２Ｕと上第二突起部８１３Ｕ，８１３Ｕとの間隔Ｗ１、及び上第一突起部８２２Ｕと上第二突起部８２３Ｕ，８２３Ｕとの間隔Ｗ１と、プレート６１の厚さＴとは、Ｗ１＞Ｔの関係を有している。従って、アーム部材４１は、上保持部材８０Ｕと干渉することなく上プレート６１Ｕをすくい上げることができる。その結果、上治具６Ｕと上保持部材８０Ｕとを、非接触状態にすることができる。

【0090】

下治具６Ｄを搬送する場合もまた、上治具６Ｕを搬送する場合と同様、アーム駆動部４２は、治具搬送制御部７１からの制御信号に応じて、下プレート６１Ｄの下方に、下プレート６１Ｄと接触しないように非接触でアーム部材４１を差し入れ、アーム部材４１を上昇させることによって、下治具６Ｄをすくい上げる（ステップＳ２）。

【0091】

図１２に示すように、アーム部材４１の幅Ｗ２、下第一突起部８１３Ｄ，８２３Ｄ間の間隔Ｗ６、プレート６１の幅Ｗ３、及び縦壁８１１，８２１間の間隔Ｗ７は、Ｗ２＜Ｗ６＜Ｗ３＜Ｗ７の関係を有し、かつ、下第一突起部８１３Ｄ，８１３Ｄと下第二突起部８１２Ｄとの間隔Ｗ１、及び下第一突起部８２３Ｄ，８２３Ｄと下第二突起部８２２Ｄとの間隔Ｗ１と、プレート６１の厚さＴとは、Ｗ１＞Ｔの関係を有している。従って、アーム部材４１は、下保持部材８０Ｄと干渉することなく下プレート６１Ｄをすくい上げることができる。その結果、下治具６Ｄと下保持部材８０Ｄとを、非接触状態にすることができる。

【0092】

次に、アーム駆動部４２は、治具搬送制御部７１からの制御信号に応じてアーム部材４１をＸ軸方向に水平移動させることによって、アーム部材４１上の上プレート６１Ｕ（下プレート６１Ｄ）を、上保持部材８０Ｕ（下保持部材８０Ｄ）から抜き取って搬送する（ステップＳ３）。

【0093】

この場合、上治具６Ｕ（下治具６Ｄ）と上保持部材８０Ｕ（下保持部材８０Ｄ）とが非接触のまま摺動することなく上治具６Ｕ（下治具６Ｄ）が搬送される。その結果、摺動による粉塵の発生を抑制することができる。もし仮に、検査装置１内で粉塵が発生し、検査対象物１００に付着すると、正確な検査結果が得られなくなるおそれがある。しかしながら、ステップＳ２，Ｓ３によれば、上治具６Ｕ（下治具６Ｄ）と上保持部材８０Ｕ（下保持部材８０Ｄ）とが非接触のまま摺動することなく上治具６Ｕ（下治具６Ｄ）が搬送されるので、粉塵が発生するおそれを低減することができる。

【0094】

次に、治具搬送制御部７１は、載置位置検出部４４による検出位置に基づきアーム側位置調節機構９を制御するべく制御信号を出力する。アーム側位置調節機構９は、治具搬送制御部７１からの制御信号に基づき、アーム部材４１上の治具６の両側から押圧部９１Ｕ，９１Ｕ（押圧部９１Ｄ，９１Ｄ）の押圧部材９１１を適宜突出させる。これにより、アーム部材４１上の上治具６Ｕ（下治具６Ｄ）の載置位置を調節する（ステップＳ４）。

【0095】

次に、突出した押圧部材９１１によって治具６を両側から押圧させたまま、アーム駆動部４２は、治具搬送制御部７１からの制御信号に応じてアーム部材４１を旋回させてアーム部材４１の先端を、治具棚３に向ける（ステップＳ５）。

【0096】

この場合、押圧部材９１１によって治具６が保持された状態のままアーム部材４１が旋回するので、旋回により治具６の載置位置がズレたり、治具６がアーム部材４１から脱落したりするおそれが低減される。

【0097】

次に、アーム側位置調節機構９は、治具搬送制御部７１からの制御信号に基づき、押圧部材９１１を退避させる（ステップＳ６）。

【0098】

次に、アーム駆動部４２は、治具搬送制御部７１からの制御信号に応じてアーム部材４１上の上プレート６１Ｕ（下プレート６１Ｄ）を、受止部材３１Ｕ，３１Ｕ（受止部材３１Ｄ，３１Ｄ）の上方に離間した状態で搬送する（ステップＳ７、図１３（図１４））。

【0099】

この場合、上プレート６１Ｕ（下プレート６１Ｄ）を、受止部材３１Ｕ，３１Ｕ（受止部材３１Ｄ，３１Ｄ）と摺動させることなく受止部材３１Ｕ，３１Ｕ（受止部材３１Ｄ，３１Ｄ）の上方に搬送することができるので、摺動による粉塵の発生を抑制することができる。

【0100】

また、ステップＳ４においてアーム部材４１上の治具６の載置位置が適切に調節された状態で、治具６が治具棚３に搬入されるので、治具６の載置位置のズレに起因して治具６と治具棚３とが干渉したり摺動したりするおそれが低減される。その結果、干渉、摺動に起因して粉塵が発生するおそれを低減することができる。

【0101】

なお、ステップＳ３～Ｓ７において、アーム部材４１上の治具６が搬送されている期間中、治具搬送制御部７１は、載置位置検出部４４による治具６の載置位置を監視することが好ましい。そして、治具６の載置位置がズレて予め設定された載置範囲から出た場合、治具搬送制御部７１は、アーム駆動部４２によるアーム部材４１の搬送動作を停止させることが好ましい。

【0102】

これにより、治具６の搬送過程において、治具６が何らかの物に干渉した状態で治具６に搬送力が加えられたり、治具６がアーム部材４１から落下したりするおそれが低減される。

【0103】

次に、アーム駆動部４２は、治具搬送制御部７１からの制御信号に応じてアーム部材４１を下降させ、上治具６Ｕ（下治具６Ｄ）を受止部材３１Ｕ，３１Ｕ（受止部材３１Ｄ，３１Ｄ）で受け止めさせる（ステップＳ８）。

【0104】

図１３に示すように、アーム部材４１の幅Ｗ２、受止部材３１Ｕ，３１Ｕ間の間隔Ｗ４、プレート６１の幅Ｗ３、及び縦壁３２，３２間の間隔Ｗ８は、Ｗ２＜Ｗ４＜Ｗ３＜Ｗ８の関係を有している。従って、アーム部材４１は、受止部材３１Ｕ，３１Ｕと干渉することなく受止部材３１Ｕ，３１Ｕの下方まで下降して、上治具６Ｕを受止部材３１Ｕ，３１Ｕで受け止めさせることができる。

【0105】

同様に、図１４に示すように、アーム部材４１の幅Ｗ２、受止部材３１Ｄ，３１Ｄ間の間隔Ｗ４、プレート６１の幅Ｗ３、及び縦壁３２，３２間の間隔Ｗ８は、Ｗ２＜Ｗ４＜Ｗ３＜Ｗ８の関係を有している。従って、アーム部材４１は、受止部材３１Ｄ，３１Ｄと干渉することなく受止部材３１Ｄ，３１Ｄの下方まで下降して、下治具６Ｄを受止部材３１Ｄ，３１Ｄで受け止めさせることができる。

【0106】

ステップＳ７，Ｓ８によれば、上治具６Ｕ（下治具６Ｄ）と受止部材３１Ｕ，３１Ｕ（受止部材３１Ｄ，３１Ｄ）とを非接触のまま摺動させることなく上治具６Ｕ（下治具６Ｄ）を治具棚３に収容することができる。その結果、粉塵が発生するおそれを低減することができる。

【0107】

以上、ステップＳ１～Ｓ８によれば、上側取付部２Ｕ（下側取付部２Ｄ）に取りつけられている上治具６Ｕ（下治具６Ｄ）を取り外して治具棚３に収容することができる。また、アーム部材４１によって、上治具６Ｕの搬送と下治具６Ｄの搬送とを両方行うことができるので、上治具６Ｕ及び下治具６Ｄの両方を搬送することが容易となる。

【0108】

なお、ステップＳ５において、必ずしも突出した押圧部材９１１によって治具６を両側から押圧させたままアーム部材４１を旋回させる必要はなく、ステップＳ６で押圧部材９１１を退避させた後にステップＳ５でアーム部材４１を旋回させてもよい。

【0109】

また、ステップＳ５でアーム部材４１を旋回させた後にステップＳ４で治具６の載置位置を調節してもよい。

【0110】

図９を参照して、治具棚３から取り出した治具６を取付部２に取りつける場合の検査装置１の動作を説明する。

【0111】

まず、アーム駆動部４２は、治具搬送制御部７１からの制御信号に応じて、受止部材３１Ｕ，３１Ｕ（３１Ｄ，３１Ｄ）によって受け止められている上プレート６１Ｕ（下プレート６１Ｄ）の下方に上プレート６１Ｕ（下プレート６１Ｄ）とは離間した状態でアーム部材４１を差し入れ、アーム部材４１を上昇させて上治具６Ｕ（下治具６Ｄ）をすくい上げる（ステップＳ１１）。

【0112】

図１３（図１４）は、アーム部材４１によって上治具６Ｕ（下治具６Ｄ）をすくい上げた状態を示している。上述したように、Ｗ２＜Ｗ４＜Ｗ３＜Ｗ８の関係を有しているので、アーム部材４１を、受止部材３１Ｕ，３１Ｕ（３１Ｄ，３１Ｄ）と干渉させることなく上昇させ、上治具６Ｕ（下治具６Ｄ）を、受止部材３１Ｕ，３１Ｕ（３１Ｄ，３１Ｄ）から離間させることができる。

【0113】

次に、アーム駆動部４２は、治具搬送制御部７１からの制御信号に応じてアーム部材４１を水平移動させ、上治具６Ｕ（下治具６Ｄ）を受止部材３１Ｕ，３１Ｕ（３１Ｄ，３１Ｄ）から離間させた状態のまま治具棚３から取り出す（ステップＳ１２）。

【0114】

ステップＳ１１，Ｓ１２によれば、上治具６Ｕ（下治具６Ｄ）と受止部材３１Ｕ，３１Ｕ（受止部材３１Ｄ，３１Ｄ）とを非接触のまま摺動させることなく上治具６Ｕ（下治具６Ｄ）を治具棚３から取り出すことができる。その結果、粉塵が発生するおそれを低減することができる。

【0115】

次に、治具搬送制御部７１は、載置位置検出部４４による検出位置に基づきアーム側位置調節機構９を制御するべく制御信号を出力する。アーム側位置調節機構９は、治具搬送制御部７１からの制御信号に基づき、押圧部９１Ｕ，９１Ｕ（押圧部９１Ｄ，９１Ｄ）の押圧部材９１１を適宜突出させる。これにより、アーム部材４１上の上治具６Ｕ（下治具６Ｄ）の載置位置を調節する（ステップＳ１３）。

【0116】

次に、突出した押圧部材９１１によって治具６を両側から押圧させたまま、アーム駆動部４２は、治具搬送制御部７１からの制御信号に応じてアーム部材４１を旋回させてアーム部材４１の先端を、取付部２の方向に向ける（ステップＳ１４）。

【0117】

この場合、押圧部材９１１によって治具６が保持された状態のままアーム部材４１が旋回するので、旋回により治具６の載置位置がズレたり、治具６がアーム部材４１から脱落したりするおそれが低減される。

【0118】

次に、アーム側位置調節機構９は、治具搬送制御部７１からの制御信号に基づき、押圧部材９１１を退避させる（ステップＳ１５）。

【0119】

次に、アーム駆動部４２は、治具搬送制御部７１からの制御信号に応じてアーム部材４１を移動させ、アーム部材４１に載置された上プレート６１Ｕ（下プレート６１Ｄ）の幅方向両端部を、上第一突起部８１２Ｕ，８２２Ｕと上第二突起部８１３Ｕ，８１３Ｕ，８２３Ｕ，８２３Ｕ（下第一突起部８１３Ｄ，８１３Ｄ，８２３Ｄ，８２３Ｄと下第二突起部８１２Ｄ，８２２Ｄ）の間隔Ｗ１に差し入れる（ステップＳ１６）。

【0120】

図１１（図１２）は、アーム部材４１によって上治具６Ｕを、上保持部材８０Ｕの間隔Ｗ１に差し入れた状態を示している。上述したように、Ｗ２＜Ｗ５＜Ｗ３＜Ｗ７、かつＷ１＞Ｔの関係を有しているので、アーム部材４１が上保持部材８０Ｕと干渉することなく、かつ上治具６Ｕを、上保持部材８０Ｕに接触させずに非接触で差し入れることができる。

【0121】

同様に、図１２に示すように、Ｗ２＜Ｗ６＜Ｗ３＜Ｗ７、かつＷ１＞Ｔの関係を有しているので、アーム部材４１が下保持部材８０Ｄと干渉することなく、かつ下治具６Ｄを、下保持部材８０Ｄに接触させずに非接触で差し入れることができる。

【0122】

従って、ステップＳ１６によれば、上治具６Ｕ（下治具６Ｄ）と受止部材３１Ｕ，３１Ｕ（受止部材３１Ｄ，３１Ｄ）とを非接触のまま摺動させることなく上保持部材８０Ｕ（下保持部材８０Ｄ）の間隔Ｗ１に差し入れることができる。その結果、粉塵が発生するおそれを低減することができる。

【0123】

また、ステップＳ１３でアーム部材４１上での上治具６Ｕ（下治具６Ｄ）の載置位置を調整した後に、ステップＳ１６で上治具６Ｕ（下治具６Ｄ）を上保持部材８０Ｕ（下保持部材８０Ｄ）の間隔Ｗ１に差し入れるので、上治具６Ｕ（下治具６Ｄ）の差し入れ精度が向上する。その結果、上治具６Ｕ（下治具６Ｄ）と受止部材３１Ｕ，３１Ｕ（受止部材３１Ｄ，３１Ｄ）とが干渉したり摺動したりするおそれが低減される。その結果、干渉、摺動に起因して粉塵が発生するおそれを低減することができる。

【0124】

なお、ステップＳ１３～Ｓ１６において、アーム部材４１上の治具６が搬送されている期間中、治具搬送制御部７１は、載置位置検出部４４による治具６の載置位置を監視することが好ましい。そして、治具６の載置位置がズレて予め設定された載置範囲から出た場合、治具搬送制御部７１は、アーム駆動部４２によるアーム部材４１の搬送動作を停止させることが好ましい。

【0125】

これにより、治具６の搬送過程において、治具６が何らかの物に干渉した状態で治具６に搬送力が加えられたり、治具６がアーム部材４１から落下したりするおそれが低減される。

【0126】

次に、アーム駆動部４２は、治具搬送制御部７１からの制御信号に応じてアーム部材４１を下降させ、上プレート６１Ｕ（下プレート６１Ｄ）を上第一突起部８１２Ｕ，８２２Ｕ（下第一突起部８１３Ｄ，８１３Ｄ，８２３Ｄ，８２３Ｄ）で受け止めさせる（ステップＳ１７）。

【0127】

次に、治具搬送制御部７１は、載置位置検出部４４による検出位置に基づき、各上位置調節機構１０Ｕ（下位置調節機構１０Ｄ）を制御するべく制御信号を出力する。各上位置調節機構１０Ｕ（下位置調節機構１０Ｄ）は、治具搬送制御部７１からの制御信号に応じて上保持部材８０Ｕ（下保持部材８０Ｄ）に差し入れられた上プレート６１Ｕ（下プレート６１Ｄ）へ押圧部材１１を適宜突出させることによって、上保持部材８０Ｕ（下保持部材８０Ｄ）に保持された上治具６Ｕ（下治具６Ｄ）の位置を調節する（ステップＳ１８）。

【0128】

次に、上治具昇降機構８３Ｕは、治具搬送制御部７１からの制御信号に応じて、上保持部材８０Ｕを上昇させ、上治具６Ｕを上側取付部２Ｕに取り付ける（ステップＳ１９）。下治具６Ｄの場合は、下治具昇降機構８３Ｄが、治具搬送制御部７１からの制御信号に応じて、下保持部材８０Ｄを下降させ、下治具６Ｄを下側取付部２Ｄに取り付ける（ステップＳ１９）。

【0129】

上述したように、治具側上コネクタ６３Ｕ及び治具側下コネクタ６３Ｄのピン数は千個を超えることが少なくない。千を超えるピン数を有するコネクタの接続には、大きな力が必要になる。そこで、上第一突起部８１２Ｕ，８２２Ｕを備えることによって、上治具昇降機構８３Ｕが上保持部材８０Ｕを上昇させる力で強制的に治具側上コネクタ６３Ｕを装置側上コネクタ２１Ｕに接続し、上治具６Ｕを上側取付部２Ｕに取り付けることができる。

【0130】

同様に、下第二突起部８１２Ｄ，８２２Ｄを備えることによって、下治具昇降機構８３Ｄが下保持部材８０Ｄを下降させる力で強制的に治具側下コネクタ６３Ｄを装置側下コネクタ２１Ｄに接続し、下治具６Ｄを下側取付部２Ｄに取り付けることができる。

【0131】

また、ステップＳ１９で治具側上コネクタ６３Ｕ（治具側下コネクタ６３Ｄ）と、装置側上コネクタ２１Ｕ（装置側下コネクタ２１Ｄ）とを接続する前に、ステップＳ１８で、上保持部材８０Ｕ（下保持部材８０Ｄ）に保持された上治具６Ｕ（下治具６Ｄ）の位置が微調節されるので、治具側上コネクタ６３Ｕ（治具側下コネクタ６３Ｄ）と、装置側上コネクタ２１Ｕ（装置側下コネクタ２１Ｄ）とを精度よく位置決めしてから接続させることができる。その結果、上治具６Ｕ（下治具６Ｄ）の取り付けの際に、治具側上コネクタ６３Ｕ（治具側下コネクタ６３Ｄ）と、装置側上コネクタ２１Ｕ（装置側下コネクタ２１Ｄ）とが位置ずれにより干渉するおそれが低減される。

【0132】

以上、ステップＳ１１～Ｓ１９によれば、治具棚３に収容された上治具６Ｕ（下治具６Ｄ）を、上側取付部２Ｕ（下側取付部２Ｄ）に取り付けることができる。従って、ステップＳ１～Ｓ８と、ステップＳ１１～Ｓ１９とを組み合わせることによって、上側取付部２Ｕ（下側取付部２Ｄ）に取り付けられた上治具６Ｕ（下治具６Ｄ）と、治具棚３に収容された上治具６Ｕ（下治具６Ｄ）とを交換することができる。

【0133】

さらに、上治具６Ｕを交換する場合、及び下治具６Ｄを交換する場合の何れの場合であっても、同じアーム部材４１を用いて交換することができるので、検査対象物１００の上面に接触する上治具６Ｕ及び検査対象物１００の下面に接触する下治具６Ｄの両方を交換することが容易となる。

【0134】

なお、ステップＳ１４において、必ずしも突出した押圧部材９１１によって治具６を両側から押圧させたままアーム部材４１を旋回させる必要はなく、ステップＳ１５で押圧部材９１１を退避させた後にステップＳ１４でアーム部材４１を旋回させてもよい。

【0135】

また、ステップＳ１４でアーム部材４１を旋回させた後にステップＳ１３で治具６の載置位置を調節してもよい。

【0136】

なお、治具棚３は、複数対の上治具６Ｕ及び下治具６Ｄを収容可能な例を示したが、治具棚３は、上治具６Ｕ及び下治具６Ｄを一対のみ収納可能であってもよい。

【0137】

また、治具棚３から上治具６Ｕ（下治具６Ｄ）を出し入れする際に、受止部材３１Ｕ，３１Ｕ（３１Ｄ，３１Ｄ）と上治具６Ｕ（下治具６Ｄ）とを摺動させない例を示したが、摺動させてもよい。

【0138】

また、上治具６Ｕ（下治具６Ｄ）を、上保持部材８０Ｕ（下保持部材８０Ｄ）に対して、抜き取り又は差し入れする際に、上治具６Ｕ（下治具６Ｄ）と上保持部材８０Ｕ（下保持部材８０Ｄ）とを摺動させない例を示したが、摺動させてもよい。

【0139】

また、上治具６Ｕ（下治具６Ｄ）を治具棚３に収容する際に、アーム部材４１を下降させて上治具６Ｕ（下治具６Ｄ）を受止部材３１Ｕ，３１Ｕ（３１Ｄ，３１Ｄ）に受け止めさせる例を示した。しかしながら、アーム部材４１と受止部材３１Ｕ，３１Ｕ（３１Ｄ，３１Ｄ）とを相対的に移動させて、上治具６Ｕ（下治具６Ｄ）を受止部材３１Ｕ，３１Ｕ（３１Ｄ，３１Ｄ）に受け止めさせればよい。従って、アーム部材４１を下降させる代わりに受止部材３１Ｕ，３１Ｕ（３１Ｄ，３１Ｄ）を上昇させてもよく、アーム部材４１の下降と受止部材３１Ｕ，３１Ｕ（３１Ｄ，３１Ｄ）の上昇とを組み合わせてもよい。

【0140】

同様に、上治具６Ｕ（下治具６Ｄ）を治具棚３から取り出す際に、アーム部材４１を上昇させる代わりに受止部材３１Ｕ，３１Ｕ（３１Ｄ，３１Ｄ）を下降させることによって上治具６Ｕ（下治具６Ｄ）をすくい上げてもよく、受止部材３１Ｕ，３１Ｕ（３１Ｄ，３１Ｄ）の下降とアーム部材４１の上昇とを組み合わせて上治具６Ｕ（下治具６Ｄ）をすくい上げてもよい。

【0141】

また、上治具６Ｕ（下治具６Ｄ）を上保持部材８０Ｕ（下保持部材８０Ｄ）から抜き取る際に、アーム部材４１を上昇させて上治具６Ｕ（下治具６Ｄ）をすくい上げる例を示した。しかしながら、アーム部材４１と上保持部材８０Ｕ（下保持部材８０Ｄ）とを相対的に移動させて上治具６Ｕ（下治具６Ｄ）をすくい上げればよい。従って、アーム部材４１を上昇させる代わりに上保持部材８０Ｕ（下保持部材８０Ｄ）を下降させて上治具６Ｕ（下治具６Ｄ）をすくい上げてもよく、上保持部材８０Ｕ（下保持部材８０Ｄ）の下降とアーム部材４１の上昇とを組み合わせて上治具６Ｕ（下治具６Ｄ）をすくい上げてもよい。

【0142】

また、アーム側位置調節機構９及び載置位置検出部４４を備えず、ステップＳ１３を実行しなくてもよい。また、上位置調節機構１０Ｕ、下位置調節機構１０Ｄ、上位置センサ８５Ｕ、及び下位置センサ８５Ｄを備えず、ステップＳ１８を実行しなくてもよい。

【0143】

また、アーム部材４１には、開口部４７，４８が形成されていなくてもよい。また、アーム部材４１には、溝部４６，４６が形成されていなくてもよい。

【0144】

また、上治具６Ｕは、ブレード６５，６５を備えていなくてもよい。

【0145】

すなわち、本発明の一例に係る検査装置は、略板状形状の検査対象物の上方に配設されると共に、前記検査対象物の上面に接触させるための上プローブを保持する上治具が下方から脱着可能に取りつけられる上側取付部と、前記検査対象物の下方に配設されると共に、前記検査対象物の下面に接触させるための下プローブを保持する下治具が上方から脱着可能に取りつけられる下側取付部と、前記上治具と前記下治具とを収容可能な治具棚と、前記上治具及び前記下治具を選択的に載置可能なアーム部材と、前記アーム部材を駆動することによって、前記上治具及び前記下治具を搬送するアーム駆動部と、前記アーム部材から前記上治具を受け取って前記上側取付部に取りつける上側脱着機構と、前記アーム部材から前記下治具を受け取って前記下側取付部に取りつける下側脱着機構とを備え、前記アーム駆動部は、前記上治具を前記治具棚から取り出して前記上側脱着機構に搬送し、前記下治具を前記治具棚から取り出して前記下側脱着機構に搬送し、前記上治具は、略板状の上プレートと、複数の前記上プローブを前記上プレートの下面側から下方に向かって延びる向きに保持する上治具ヘッドとを備え、前記下治具は、略板状の下プレートと、複数の前記下プローブを前記下プレートの上面側から上方に向かって延びる向きに保持する下治具ヘッドとを備える。

【0146】

この構成によれば、上治具及び下治具を選択的に載置可能なアーム部材を備え、アーム駆動部は、アーム部材を駆動することによって、上治具を治具棚から取り出して上側脱着機構に搬送し、下治具を治具棚から取り出して下側脱着機構に搬送することができる。そして、上側脱着機構は、アーム部材から上治具を受け取って上側取付部に取りつけることができ、下側脱着機構は、アーム部材から下治具を受け取って下側取付部に取りつけることができる。従って、治具棚から上治具と下治具とを取り出して、取り出された上治具と下治具とをそれぞれの取付部へ搬送することができる。これにより、検査対象物の上面に接触する上治具及び検査対象物の下面に接触する下治具の両方を搬送することが容易となる。

【0147】

また、前記アーム部材の先端部は、前記アーム部材に前記上治具が載置されたときに前記上治具ヘッドが位置する部分が基端部方向に凹没して切り欠かれていることが好ましい。

【0148】

この構成によれば、検査対象物の上面に接触させるべく板状の上プレートから下方に向かって突出する上治具ヘッドを避けるようにアーム部材の先端部が基端部方向に凹没して切り欠かれている。その結果、アーム部材に上治具を載置したときに、上治具ヘッドがアーム部材と干渉しないので、アーム部材に上治具を載置して搬送することが可能となる。

【0149】

また、前記アーム部材に載置された前記上治具又は前記下治具の載置位置を検出する載置位置検出部をさらに備えることが好ましい。

【0150】

この構成によれば、載置位置検出部によって、上治具又は下治具の、アーム部材上の載置位置が検出されるので、上治具又は下治具がアーム部材の適切な位置に載置されているか否かを確認することが容易となる。

【0151】

また、前記載置位置検出部による前記載置位置の検出結果に基づいて、前記アーム部材に載置された前記上治具又は前記下治具の両側から前記上プレート又は前記下プレートへ向けて第一押圧部材を突出させることによって、前記アーム部材上の前記上治具又は前記下治具の載置位置を調節するアーム側位置調節機構をさらに備えることが好ましい。

【0152】

この構成によれば、上治具又は下治具を、アーム部材上の適切な位置に載置するように、載置位置を調節することができる。

【0153】

また、前記上側取付部は、装置側上コネクタを備え、前記上治具は、前記上プレートの上面側に設けられ、前記装置側上コネクタと接続可能な治具側上コネクタをさらに備え、前記下側取付部は、装置側下コネクタを備え、前記下治具は、前記下プレートの下面側に設けられ、前記装置側下コネクタと接続可能な治具側下コネクタをさらに備え、前記上側脱着機構は、前記装置側上コネクタと前記治具側上コネクタとを接続させることによって、前記上治具を前記上側取付部に取りつけ、前記下側脱着機構は、前記装置側下コネクタと前記治具側下コネクタとを接続させることによって、前記下治具を前記下側取付部に取りつけることが好ましい。

【0154】

この構成によれば、装置側上コネクタと治具側上コネクタの挿抜に必要な力が上側脱着機構によって加えられて装置側上コネクタと治具側上コネクタとを接続することができ、装置側下コネクタと治具側下コネクタの挿抜に必要な力が下側脱着機構によって加えられて装置側下コネクタと治具側下コネクタとを接続することができる。

【0155】

また、前記上プレートの下面側には、前記複数の上プローブと前記治具側上コネクタとを接続する配線が配置され、前記上プレートの下面には、前記配線を間に挟んだ両側で突起した一対のブレードが設けられていることが好ましい。

【0156】

この構成によれば、上治具をアーム部材に載置した場合、一対のブレードがアーム部材上面に当接し、一対のブレードによって上プレートが支持される。このとき、アーム部材上面と上プレートとの間に一対のブレードの高さ分、隙間が生じるので、配線が引き回される空間が確保される。

【0157】

また、前記アーム部材の上面には、前記一対のブレードの頂部を受け入れるように凹没した溝部が設けられていることが好ましい。

【0158】

この構成によれば、上治具をアーム部材に載置した場合、一対のブレードの頂部が溝部に受け入れられる結果、アーム部材で上治具が横滑りするおそれが低減される。

【0159】

また、前記一対のブレードの頂部が、互いに平行に延びて延設されていることが好ましい。

【0160】

この構成によれば、上治具をアーム部材に載置した場合に、一対のブレードによって上プレートを安定的に支持することが容易である。

【0161】

また、前記アーム部材には、前記アーム部材に前記下治具が載置されたときに前記治具側下コネクタが位置する部分に開口部が設けられていることが好ましい。

【0162】

この構成によれば、下プレートの下面から治具側下コネクタが突出している場合であっても、アーム部材に下治具を載置したときに治具側下コネクタが干渉するおそれが低減される。

【0163】

また、前記上側脱着機構は、前記上プレートの両側で前記上プレートの下面を支持する上第一突起部と、前記上第一突起部の上方で前記上第一突起部と対向配置された上第二突起部とを含む上保持部材と、前記上保持部材を昇降させる上治具昇降機構とを備え、前記上第一突起部と前記上第二突起部の間隔は、前記上プレートの厚さよりも大きく、前記下側脱着機構は、前記下プレートの両側で前記下プレートの下面を支持する下第一突起部と、前記下第一突起部の上方で前記下第一突起部と対向配置された下第二突起部とを含む下保持部材と、前記下保持部材を昇降させる下治具昇降機構とを備え、前記下第一突起部と前記下第二突起部の間隔は、前記下プレートの厚さよりも大きいことが好ましい。

【0164】

この構成によれば、上第一突起部と上第二突起部の間隔に上プレートを差し入れることによって、上保持部材が上治具を保持することが可能となる。そして、上保持部材を昇降させることによって、上治具を昇降させることができる。また、下第一突起部と下第二突起部の間隔に下プレートを差し入れることによって、下保持部材が下治具を保持することが可能となる。そして、下保持部材を昇降させることによって、下治具を昇降させることができる。

【0165】

また、前記アーム駆動部は、前記アーム部材に載置された前記上プレートの幅方向両端部を、前記アーム部材を駆動して前記上第一突起部と前記上第二突起部の間に非接触で差し入れ、前記上治具昇降機構は、前記上保持部材を上昇させることによって、前記上保持部材に保持された前記上プレート上面側の前記治具側上コネクタを前記装置側上コネクタに接続し、前記アーム駆動部は、前記アーム部材に載置された前記下プレートの幅方向両端部を、前記アーム部材を駆動して前記下第一突起部と前記下第二突起部の間に非接触で差し入れ、前記下治具昇降機構は、前記下保持部材を下降させることによって、前記下保持部材に保持された前記下プレート下面側の前記治具側下コネクタを前記装置側下コネクタに接続することが好ましい。

【0166】

この構成によれば、上第一突起部及び上第二突起部と、上プレートとを摺動させることなく上プレートを上保持部材に保持させ、治具側上コネクタを装置側上コネクタに接続させることができる。また、下第一突起部及び下第二突起部と、下プレートとを摺動させることなく下プレートを下保持部材に保持させ、治具側下コネクタを装置側下上コネクタに接続させることができる。これにより、上治具及び下治具の取り付けを行う際に、摺動による粉塵が生じるおそれを低減することができる。

【0167】

また、前記上治具昇降機構は、前記上保持部材を下降させることによって、前記上側取付部に取りつけられた前記上治具を前記上側取付部から取り外し、前記アーム駆動部は、前記アーム部材を駆動することによって、前記上保持部材により保持された前記上プレートの下方に前記アーム部材を非接触で差し入れ、前記上保持部材と前記アーム部材とを相対的に移動させることにより前記上第一突起部及び前記上第二突起部のいずれからも離間した位置に前記上プレートを位置させて前記アーム部材により前記上治具をすくい上げ、前記すくい上げられた前記上治具を前記上保持部材から抜き取り、前記下治具昇降機構は、前記下保持部材を上昇させることによって、前記下側取付部に取りつけられた前記下治具を前記下側取付部から取り外し、前記アーム駆動部は、前記アーム部材を駆動することによって、前記下保持部材により保持された前記下プレートの下方に前記アーム部材を非接触で差し入れ、前記一対の下保持部材と前記アーム部材とを相対的に移動させることにより前記下第一突起部及び前記下第二突起部のいずれからも離間した位置に前記下プレートを位置させて前記アーム部材により前記下治具をすくい上げ、前記すくい上げられた前記下治具を前記下保持部材から抜き取ることが好ましい。

【0168】

この構成によれば、上治具を上側取付部から取り外し、上プレートの下方にアーム部材を非接触で差し入れ、上第一突起部及び上第二突起部のいずれからも離間した位置に上プレートを位置させてからアーム部材により上治具をすくい上げて抜き取る。従って、上治具を上側取付部から取り外す際に、摺動による粉塵が生じるおそれを低減することができる。また、下治具を下側取付部から取り外し、下プレートの下方にアーム部材を非接触で差し入れ、下第一突起部及び下第二突起部のいずれからも離間した位置に下プレートを位置させてからアーム部材により下治具をすくい上げて抜き取る。従って、下治具を下側取付部から取り外す際に、摺動による粉塵が生じるおそれを低減することができる。

【0169】

また、前記上保持部材に保持された前記上プレートの両側から、前記上プレートへ向けて第二押圧部材を突出させることによって、前記上治具の位置を調節する上位置調節機構と、前記下保持部材に保持された前記下プレートの両側から、前記下プレートへ向けて第三押圧部材を突出させることによって、前記下治具の位置を調節する下位置調節機構とをさらに備えることが好ましい。

【0170】

この構成によれば、上保持部材に保持された上治具の保持位置、及び下保持部材に保持された下治具の保持位置を微調節することが可能となる。

【0171】

また、前記アーム駆動部は、前記治具棚に収容された前記上治具の下方に前記アーム部材を差し入れて前記上治具をすくい上げることによって前記上治具を前記治具棚から取り出し、前記治具棚に収容された前記下治具の下方に前記アーム部材を差し入れて前記下治具をすくい上げることによって前記下治具を前記治具棚から取り出すことが好ましい。

【0172】

この構成によれば、治具棚に収容された上治具及び下治具が、アーム部材によってすくい上げるようにして取り出されるので、上治具及び下治具を治具棚から取り出す際に、摺動による粉塵が生じるおそれを低減することができる。

【0173】

また、前記治具棚は、前記上プレート及び前記下プレートの少なくとも一方の両端部を下から受け止め可能な一対の受止部材を備え、前記アーム駆動部は、前記治具棚において、前記一対の受止部材によって受け止められている前記上プレートの下方に前記上プレートとは離間した状態で前記アーム部材を差し入れ、前記一対の受止部材と前記アーム部材とを相対的に移動させることにより前記上治具をすくい上げて前記上プレートと前記一対の受止部材とを離間させた状態で前記上治具を前記治具棚から取り出し、前記治具棚において、前記一対の受止部材によって受け止められている前記下プレートの下方に前記下プレートとは離間した状態で前記アーム部材を差し入れ、前記一対の受止部材と前記アーム部材とを相対的に移動させることにより前記下治具をすくい上げて前記下プレートと前記一対の受止部材とを離間させた状態で前記下治具を前記治具棚から取り出すことが好ましい。

【0174】

この構成によれば、上プレートの下方に上プレートとは離間した状態でアーム部材を差し入れ、上治具をすくい上げて上プレートと一対の受止部材とを離間させた状態で上治具を治具棚から取り出すので、上治具を治具棚から取り出す際に、摺動による粉塵が生じるおそれを低減することができる。また、下プレートの下方に下プレートとは離間した状態でアーム部材を差し入れ、下治具をすくい上げて下プレートと一対の受止部材とを離間させた状態で下治具を治具棚から取り出すので、下治具を治具棚から取り出す際に、摺動による粉塵が生じるおそれを低減することができる。

【0175】

また、前記アーム駆動部は、前記アーム部材に載置された前記上プレートを、前記治具棚の前記一対の受止部材の上方に離間した状態で搬送し、前記一対の受止部材と前記アーム部材とを相対的に移動させることにより前記上プレートを前記一対の受止部材に受け止めさせて前記上治具を前記治具棚に収容し、前記アーム部材に載置された前記下プレートを、前記治具棚の前記一対の受止部材の上方に離間した状態で搬送し、前記一対の受止部材と前記アーム部材とを相対的に移動させることにより前記下プレートを前記一対の受止部材に受け止めさせて前記下治具を前記治具棚に収容することが好ましい。

【0176】

この構成によれば、上プレートを、一対の受止部材の上方に離間した状態で搬送し、上プレートを一対の受止部材に受け止めさせて上治具を治具棚に収容するので、上治具を治具棚に収容する際に、摺動による粉塵が生じるおそれを低減することができる。また、下プレートを、一対の受止部材の上方に離間した状態で搬送し、下プレートを一対の受止部材に受け止めさせて下治具を治具棚に収容するので、下治具を治具棚に収容する際に、摺動による粉塵が生じるおそれを低減することができる。

【0177】

また、前記治具棚は、複数の前記上治具と、複数の前記下治具とを収容可能であることが好ましい。

【0178】

この構成によれば、交換用の上治具及び下治具を、予め治具棚に収容しておくことができるので、治具の交換が容易となる。

【符号の説明】

【0179】

１ 検査装置
２ 取付部
２Ｄ 下側取付部
２Ｕ 上側取付部
３，３ａ，３ｂ 治具棚
４ 治具搬送機構
５Ｄ 下治具駆動機構
５Ｕ 上治具駆動機構
６ 治具
６Ｄ 下治具
６Ｕ 上治具
７ 制御部
８Ｄ 下側脱着機構
８Ｕ 上側脱着機構
９ アーム側位置調節機構
１０Ｄ 下位置調節機構
１０Ｕ 上位置調節機構
１１ 押圧部材（第二押圧部材、第三押圧部材）
１２ アクチュエータ
１５ 筐体
２１Ｄ 装置側下コネクタ
２１Ｕ 装置側上コネクタ
２２Ｄ，２２Ｕ ベースプレート
２３ 位置決ピン
３１，３１Ｕ，３１Ｄ 受止部材
３２，３２ 縦壁
４１ アーム部材
４２，４２ａ～４２ｄ アーム駆動部
４３ 連結部
４４ 載置位置検出部
４５ 凹没部
４６，４６ 溝部
４７，４８ 開口部
６１ プレート
６１Ｄ 下プレート
６１Ｕ 上プレート
６２Ｄ 下治具ヘッド
６２Ｕ 上治具ヘッド
６３Ｄ 治具側下コネクタ
６３Ｕ 治具側上コネクタ
６４Ｄ，６４Ｕ 配線
６５，６５ ブレード
７１ 治具搬送制御部
７２ 検査部
８０Ｄ 下保持部材
８０Ｕ 上保持部材
８１Ｄ，８２Ｄ，８１Ｕ，８２Ｕ 保持棒
８３Ｄ 下治具昇降機構
８３Ｕ 上治具昇降機構
８４ 孔
８５Ｄ 下位置センサ
８５Ｕ 上位置センサ
９０ 支柱
９１Ｄ，９１Ｕ，９２Ｄ，９２Ｕ 押圧部
１００ 検査対象物
２２１ 切欠
６５１ 頂部
８１１，８２１ 縦壁
８１２Ｄ，８２２Ｄ 下第二突起部
８１２Ｕ，８２２Ｕ 上第一突起部
８１３Ｄ，８１３Ｄ，８２３Ｄ，８２３Ｄ 下第一突起部
８１３Ｕ，８１３Ｕ，８２３Ｕ，８２３Ｕ 上第二突起部
８２１ 縦壁
９１１ 押圧部材（第一押圧部材）
９１２ アクチュエータ
Ａ 検査位置
Ｆ 先端部
Ｐ プローブ
Ｐｄ 下プローブ
Ｐｕ 上プローブ
Ｒ 基端部
Ｗ１，Ｗ４，Ｗ５，Ｗ６，Ｗ７，Ｗ８ 間隔
Ｗ２，Ｗ３ 幅
θ 回転方向

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】