特許7317738膜厚測定用成膜部材及びこれを用いた膜厚測定方法

発明の名称　膜厚測定用成膜部材及びこれを用いた膜厚測定方法

出願人　藤森工業株式会社　（識別番号 224101）

　　　　特許公開件数ランキング 472 位（61件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 414 位（61件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7317738

公報発行日　2023年7月31

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7317738

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