特許7322891組成物、接着性ポリマーの洗浄方法、デバイスウェハの製造方法、及び支持ウェハの再生方法

発明の名称　組成物、接着性ポリマーの洗浄方法、デバイスウェハの製造方法、及び支持ウェハの再生方法

出願人　日立化成株式会社　（識別番号 4455）

　　　　特許公開件数ランキング 83 位（335件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 46 位（451件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7322891

公報発行日　2023年8月8

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7322891

知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、特許-7322891「組成物、接着性ポリマーの洗浄方法、デバイスウェハの製造方法、及び支持ウェハの再生方法」の公報全文を閲覧することができます。

ログインはこちら　ログイン・ユーザー登録