特許7326647IP Force 特許公報全文掲載

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技術分野

本願は、搬送装置および基板処理装置

要約特許出願時に添付された[要約書]

基板の搬送速度を向上させ、かつ、基板の被処理面にパーティクルが付着するのを抑制する。
基板を昇降方向および昇降方向に直交する走行方向に搬送するように構成された搬送装置は、基板搬入出口４０４－１～４０４－８を有するめっきモジュールを設置するための第１のモジュールフレーム４０２Ａの側面に固定される取り付け部材７１０－１を含む。取り付け部材７１０－１は、基板搬入出口４０４－１～４０４－８の昇降方向における両側に配置され走行方向に伸びる複数の走行レール７１４－１～７１４－３を含む。搬送装置は、複数の走行レール７１４－１～７１４－３に跨って昇降方向に伸び、複数の走行レール７１４－１～７１４－３に沿って移動可能な昇降レール７１６と、昇降レール７１６に沿って昇降可能であり、基板を保持するためのハンドを有する搬送ロボット７１８と、を含む。

発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

しかしながら、特許文献１に開示された搬送装置は、基板の搬送速度を向上させ、かつ、基板の被処理面にパーティクルが付着するのを抑制することは考慮されていない。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

一実施形態によれば、基板を昇降方向および昇降方向に直交する走行方向に搬送するように構成された搬送装置であって、基板搬入出口を有する処理モジュールを設置するためのモジュールフレームの側面に固定される取り付け部材であって、前記基板搬入出口の昇降方向における両側に配置され走行方向に伸びる複数の走行レールを含む、取り付け部材と、前記複数の走行レールに跨って昇降方向に伸び、前記複数の走行レールに沿って・・・　続きを知財ポータルサイト IP Force にログインして見る

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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋

【図1】 図１は、一実施形態のめっき装置の全体構成を示す斜視図である。
【図2A】 図２Ａは、一実施形態のめっき装置の全体構成を示す平面図である。
【図2B】 図２Ｂは、図２ＡのＢ－Ｂ線における断面図である。
【図2C】 図２Ｃは、図２ＢのＣ－Ｃ線における断面図である。
【図3】 図３は、一実施形態のモジュールフレームの一部の構成を概略的に示す斜視図である。
【図4A】 図４Ａは、一実施形態のめっき装置の全体構成を示す平面図である。
【図4B】 図４Ｂは、図４ＡのＢ－Ｂ線における断面図である。
【図4C】 図４Ｃは、図４ＢのＣ－Ｃ線における断面図である。
【図5】 図５は、一実施形態の搬送装置の構成を概略的に示す斜視図である。
【図6A】 図６Ａは、一実施形態のめっき装置の全体構成を示す平面図である。
【図6B】 図６Ｂは、図６ＡのＢ－Ｂ線における断面図である。
【図6C】 図６Ｃは、図６ＢのＣ－Ｃ線における断面図である。
【図7A】 図７Ａは、一実施形態のめっき装置の全体構成を示す平面図である。
【図7B】 図７Ｂは、図７ＡのＢ－Ｂ線における断面図である。
【図7C】 図７Ｃは、図７ＢのＣ－Ｃ線における断面図である。
【図8A】 図８Ａは、一実施形態のめっき装置の全体構成を示す平面図である。
【図8B】 図８Ｂは、図８ＡのＢ－Ｂ線における断面図である。
【図8C】 図８Ｃは、図８ＢのＣ－Ｃ線における断面図である。
１３０ 第１の領域 ２００ プリウェットモジュール ２０４ 側面（基板搬入出口 ２０４，４０４ 基板搬入出口 ２０４ 基板搬入出口 ２０５ 第１の側面 ４００ めっきモジュール ４０２Ａ 第１のモジュールフレーム ４０２Ｂ 第２のモジュールフレーム ４０４ 基板搬入出口 ４０５Ａ 第１の側面 ４０５Ｂ，６０５ 第２の側面 ４０８ ファンフィルタユニット ６００ スピンリンスドライヤ ６０４ 基板搬入出口 ７００ 搬送装置 ７０１ 基板搬送空間 ７１０－１～７１０－５ 取り付け部材 ７１２ 固定レール ７１４ 走行レール ７１６ 昇降レール ７１８ 搬送ロボット ８０２ アクセス口 ８１０ 第２の領域 １０００ めっき装置

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