特許 7333697 蒸着装置及び蒸着方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2023-08-17

(45)【発行日】2023-08-25

(54)【発明の名称】蒸着装置及び蒸着方法

(51)【国際特許分類】

   C23C 14/24 20060101AFI20230818BHJP

【ＦＩ】

C23C14/24 U

【請求項の数】 5

(21)【出願番号】P 2019023630

(22)【出願日】2019-02-13

(65)【公開番号】P2020132897

(43)【公開日】2020-08-31

【審査請求日】2021-11-29

(73)【特許権者】

【識別番号】000231464

【氏名又は名称】株式会社アルバック

(74)【代理人】

【識別番号】110003339

【氏名又は名称】弁理士法人南青山国際特許事務所

(74)【代理人】

【識別番号】100104215

【弁理士】

【氏名又は名称】大森 純一

(74)【代理人】

【識別番号】100196575

【弁理士】

【氏名又は名称】高橋 満

(74)【代理人】

【識別番号】100168181

【弁理士】

【氏名又は名称】中村 哲平

(74)【代理人】

【識別番号】100144211

【弁理士】

【氏名又は名称】日比野 幸信

(72)【発明者】

【氏名】北沢 僚也

【審査官】今井 淳一

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１４－１６２９６９（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許出願公開第２０１２／０００９７０６（ＵＳ，Ａ１）

【文献】特開２０１５－０１０２５７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平１１－０５０２３８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１４－００９３８６（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｃ２３Ｃ １４／２４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

チャンバと、
前記チャンバ内に配置され、蒸着材料を収容する室内空間を形成する圧力室と、前記蒸着材料を加熱する加熱機構と、前記チャンバ内における前記圧力室の外部空間である室外空間に前記室内空間を連通させるノズルとを備える蒸発源と、
前記室内空間の圧力である室内圧力を計測する室内圧力センサと、
前記室外空間の圧力である室外圧力を計測する室外圧力センサと、
前記室外圧力を調整する圧力調整機構と、
前記加熱機構の温度と前記圧力調整機構を制御する制御部と
を具備し、
前記圧力調整機構は、前記チャンバに配管によって接続され、前記チャンバ内を真空排気する真空ポンプ、または、前記配管に接続された調圧バルブにより構成され、
前記制御部は、前記室外圧力と前記室内圧力の圧力差が予め設定された設定値となるように前記加熱機構の温度と前記圧力調整機構を制御する
蒸着装置。

【請求項2】

請求項１に記載の蒸着装置であって、
前記制御部は、前記圧力差が前記設定値より小さい場合には前記加熱機構の温度を上昇させると共に前記室外圧力を減少させ、前記圧力差が前記設定値より大きい場合には前記加熱機構の温度を低下させると共に前記室外圧力を増加させる
蒸着装置。

【請求項3】

請求項１又は２に記載の蒸着装置であって、
前記蒸発源は、前記室内空間に配置され、前記蒸着材料の蒸気を分散させる分散板をさらに備える
蒸着装置。

【請求項4】

請求項１又は２に記載の蒸着装置であって、
前記室内圧力センサはイオンゲージである
蒸着装置。

【請求項5】

チャンバ内に配置され、蒸着材料を収容する室内空間を形成する圧力室と、前記蒸着材料を加熱する加熱機構と、前記チャンバ内における前記圧力室の外部空間である室外空間に前記室内空間を連通させるノズルとを備える蒸発源と、
前記室外空間の圧力である室外圧力を、前記チャンバに配管によって接続され、前記チャンバ内を真空排気する真空ポンプ、または、前記配管に接続された調圧バルブにより調整する圧力調整機構と、
を用い、
前記室外圧力と前記室内空間の圧力である室内圧力の圧力差が予め設定された設定値となるように前記加熱機構の温度と前記圧力調整機構を制御する
蒸着方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、蒸着材料を蒸発させ、蒸着対象物に付着させる蒸着装置及び蒸着方法に関する。

【背景技術】

【0002】

蒸着材料を蒸発させ、蒸着対象物に付着させる蒸着装置は、有機ＥＬ（electro-luminescence）ディスプレイやイメージセンサ等の各種製品の製造に利用されている。蒸着装置は、チャンバ内に配置された蒸発源を備え、ディスプレイのパネル等の蒸着対象物が蒸発源に対向して配置される。

【0003】

蒸発源は、固体又は液体である蒸着材料を収容可能であり、加熱機構を備える。加熱機構によって蒸着材料を加熱し、発生した蒸気を蒸着対象物に供給する。蒸着速度、即ち単位時間当たりの蒸着膜厚は蒸着材料の加熱温度によって調整することが可能である。

【0004】

蒸着速度の測定は膜厚センサによって行われ、膜厚センサとしては水晶振動子センサが多く用いられる。水晶振動子を所定の周波数で振動させておき、蒸着を行うと、蒸着材料が水晶振動子に付着し、周波数が変動する。この周波数変動に基づいて蒸着速度を測定することができる。例えば特許文献１には、水晶振動子センサを備える蒸着装置が開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【文献】特開２０１４－８０６５９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

しかしながら、水晶振動子センサは振動や圧力変動に弱く、各種の問題が生じる。例えば、水晶振動子に付着した蒸着材料が剥がれると急激な周波数変動（周波数ジャンプ）が発生する。また、水晶振動子センサは通常、複数が切り替えられながら使用されるが、切り替え時に周波数ジャンプが生じる場合もある。

【0007】

さらに、蒸発源を蒸着対象物に対して移動させながら蒸着が行われる場合、蒸発源の駆動による温度変化や振動が水晶振動子センサの指示値に影響を与える場合がある。加えて、水晶振動子センサを蒸着材料が多量に付着する位置に配置すると、センサ寿命が短くなってしまうため、設定されたセンサ寿命を達成するためには配置にも幾何学的な制限が発生する。

【0008】

以上のような事情に鑑み、本発明の目的は、水晶振動子センサを用いることなく蒸着速度の制御が可能な蒸着装置及び蒸着方法を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0009】

上記目的を達成するため、本発明の一形態に係る蒸着装置は、チャンバと、蒸発源と、室内圧力センサと、制御部とを具備する。
上記蒸発源は、上記チャンバ内に配置され、蒸着材料を収容する室内空間を形成する圧力室と、上記蒸着材料を加熱する加熱機構と、上記チャンバ内における上記圧力室の外部空間である室外空間に上記室内空間を連通させるノズルとを備える。
上記室内圧力センサは、上記室内空間の圧力である室内圧力を計測する。
上記制御部は、上記室内圧力に基づいて上記加熱機構の温度を制御する。

【0010】

蒸発源においてノズルから放出される蒸着材料の放出速度は、室外空間の圧力である室外圧力と室内圧力の圧力差によって決まる。上記構成によれば、制御部が室内圧力に基づいて加熱機構の温度を調整し、室内圧力を増減させることで蒸着材料の放出速度、即ち蒸着速度を制御することが可能となる。この構成では、蒸着速度を測定するための水晶振動子センサが不要であり、水晶振動子センサに起因する問題の発生を防止することが可能である。

【0011】

上記制御部は、上記室外空間の圧力である室外圧力と上記室内圧力の圧力差が予め設定された設定値となるように上記加熱機構の温度を制御してもよい。

【0012】

上記制御部は、上記圧力差が上記設定値より小さい場合には上記加熱機構の温度を上昇させ、上記圧力差が上記設定値より大きい場合には上記加熱機構の温度を低下させてもよい。

【0013】

上記蒸着装置は、上記チャンバに設けられ、上記室外圧力を計測する室外圧力センサをさらに具備してもよい。

【0014】

上記蒸発源は、上記室内空間に配置され、上記蒸着材料の蒸気を分散させる分散板をさらに備えてもよい。

【0015】

上記室内圧力センサはイオンゲージであってもよい。

【0016】

上記蒸着装置は、上記室外圧力を調整する圧力調整機構をさらに具備し、
上記制御部は、さらに、上記室内圧力と上記室外圧力に基づいて上記圧力調整機構を制御してもよい。

【0017】

上記目的を達成するため、本発明の一形態に係る蒸着方法は、チャンバ内に配置され、蒸着材料を収容する室内空間を形成する圧力室と、上記蒸着材料を加熱する加熱機構と、上記チャンバ内における上記圧力室の外部空間である室外空間に上記室内空間を連通させるノズルとを備える蒸発源を用い、上記室内空間の圧力である室内圧力に基づいて上記加熱機構の温度を制御する。

【発明の効果】

【0018】

以上のように、本発明によれば水晶振動子センサを用いることなく蒸着速度の制御が可能な蒸着装置及び蒸着方法を提供することが可能である。

【図面の簡単な説明】

【0019】

【図1】本発明の第１の実施形態に係る蒸着装置の模式図である。

【図2】同蒸着装置の一部構成の斜視図である。

【図3】同蒸着装置が備える蒸発源の模式図である。

【図4】同蒸着装置が備える蒸着源における蒸着材料の経路を示す模式図である。

【図5】同蒸着装置の動作を示す模式図である。

【図6】同蒸着装置の動作を示す模式図である。

【図7】同蒸着装置が備える蒸発源の他の構成を示す模式図である。

【図8】同蒸着装置が備える蒸発源の他の構成を示す模式図である。

【図9】本発明の第２の実施形態に係る蒸着装置の模式図である。

【発明を実施するための形態】

【0020】

（第１の実施形態）
本技術の第１の実施形態に係る蒸着装置について説明する。

【0021】

［蒸着装置の構成］
図１は、本実施形態に係る蒸着装置１００の構成を示す模式図であり、図２は、蒸着装置１００の一部構成の斜視図である。以下の図において相互に直交する三方向をそれぞれＸ方向、Ｙ方向及びＺ方向とする。Ｘ方向及びＹ方向は例えば水平方向、Ｚ方向は例えば鉛直方向である。

【0022】

これらの図に示すように、蒸着装置１００は、チャンバ１０１、支持機構１０２、蒸発源１０３、室内圧力センサ１０４、室外圧力センサ１０５、温度調整器１０６及び制御部１０７を備える。

【0023】

チャンバ１０１は、図示しない真空ポンプに接続され、内部を所定の圧力に維持する。支持機構１０２及び蒸発源１０３はチャンバ１０１内に収容されている。

【0024】

支持機構１０２は、チャンバ１０１内に配置され、蒸着対象物Ｓを支持する。支持機構１０２は、図２に示すように、蒸着対象物Ｓを蒸発源１０３に対向する位置と対向しない位置の間でＸ方向において移動させることが可能に構成されている。蒸着対象物Ｓは例えばディスプレイのパネルである。

【0025】

蒸着対象物Ｓの表面には、マスクＭが設けられている。マスクＭには所定のパターンで開口が設けられ、蒸着対象物Ｓの表面に蒸着材料のパターンを形成する。なお、蒸着対象物Ｓの全面に蒸着を行う場合にはマスクＭは設けられなくてもよい。

【0026】

蒸発源１０３は、チャンバ１０１内に配置され、蒸着対象物Ｓに蒸着材料を供給する。

【0027】

図３は、蒸発源１０３の構造を示す断面図であり、図４は蒸発源１０３における蒸着材料の流れを矢印で示す模式図である。図３に示すように、蒸発源１０３は、圧力室１１１、加熱機構１１２及びノズル１１３を備える。

【0028】

圧力室１１１は、蒸着材料Ｒを収容する。蒸着材料Ｒは、金属や有機物等であり特に限定されない。以下、圧力室１１１の内部空間を室内空間Ｋ１とし、圧力室１１１の外部空間であってチャンバ１０１内の空間を室外空間Ｋ２とする。

【0029】

室内空間Ｋ１には、第１分散板１１４、第２分散板１１５及びメッシュ板１１６が設けられている。これらの部材は、蒸発した蒸着材料Ｒの流れを分散させ、各ノズル１１３から蒸着材料Ｒを均等に放出させるためのものである。

【0030】

第１分散板１１４には複数個所に開口１１４ａが設けられ、第２分散板１１５には第１分散板１１４の開口１１４ａとは対向しない位置に開口１１５ａが設けられている。

【0031】

図４に示すように、開口１１４ａを通過した蒸着材料Ｒは開口１１５ａに向かって第１分散板１１４と第２分散板１１５の間を流れ、分散される。このような構造はトーナメント方式と呼ばれる。なお、蒸発源１０３は必ずしもトーナメント方式の構造を有するものでなくてもよい。

【0032】

加熱機構１１２は、圧力室１１１の周囲に設けられ、蒸着材料Ｒを加熱し、蒸発させる。加熱機構１１２は、抵抗加熱又は誘導加熱等によって発熱するものとすることができる。加熱機構１１２には温度調整器１０６が接続され、温度調整器１０６によって加熱機構１１２の加熱温度が調整される。

【0033】

ノズル１１３は、蒸発した蒸着材料Ｒを放出するノズルであり、室内空間Ｋ１を室外空間Ｋ２に連通させる。ノズル１１３は複数が設けられ、図２に示すように、複数のノズル１１３がＹ方向に沿って配列するものとすることができる。なお、ノズル１１３の数は特に限定されず、１つであってもよい。

【0034】

蒸着装置１００は、１つの蒸発源１０３を備えるものであってもよく、複数の蒸発源１０３を備えるものであってもよい。複数の蒸発源１０３を備える場合、互いに異なる蒸着材料Ｒを蒸着対象物Ｓに供給するものとすることができる。

【0035】

室内圧力センサ１０４は、室内空間Ｋ１内の気体の圧力（以下、室内圧力Ｐ１）を測定するセンサである。室内圧力センサ１０４は、イオンゲージとすることができる。また、室内圧力センサ１０４は他の圧力センサを用いてもよいが、長寿命とするために蒸着材料Ｒの付着を防止できるものが好適であり、例えば蒸着防止加工を施した圧力計とすることも可能である。

【0036】

室内圧力センサ１０４の配置は、室内圧力を測定できる位置であれば限定されないが、ノズル１１３の近傍が好適である。なお、蒸着装置１００は複数の室内圧力センサ１０４を備えるものであってもよい。

【0037】

室内圧力センサ１０４は図１に示すように制御部１０７に接続され、測定した室内圧力Ｐ１を制御部１０７に出力する。

【0038】

室外圧力センサ１０５は、室外空間Ｋ２内の気体の圧力（以下、室外圧力Ｐ２）を測定するセンサである。室外圧力センサ１０５は、イオンゲージとすることができる。また、室外圧力センサ１０５は他の圧力センサを用いてもよいが、長寿命とするために蒸着材料Ｒの付着を防止できるものが好適であり、例えば蒸着防止加工を施した圧力計とすることも可能である。

【0039】

室外圧力センサ１０５の配置は、室外圧力を測定できる位置であれば限定されない。室外圧力センサ１０５は図１に示すように制御部１０７に接続され、測定した室外圧力Ｐ２を制御部１０７に出力する。

【0040】

温度調整器１０６は、加熱機構１１２に接続され、制御部１０７から指示された温度となるように加熱機構１１２の温度を調整する。温度調整器１０６は例えば、加熱機構１１２に供給する電力を増減させることにより、加熱機構１１２の温度を調整することができる。

【0041】

制御部１０７は、室内圧力センサ１０４及び室外圧力センサ１０５の出力に基づいて、温度調整器１０６に温度を指示し、加熱機構１１２の温度を制御する。制御部１０７は例えば、ＰＬＣ（programmable logic controller）とすることができる。制御部１０７の動作については後述する。

【0042】

［蒸着装置の動作について］
蒸着装置１００の動作について説明する。図５乃至図６は蒸着装置１００の動作を示す模式図である。

【0043】

図５に示すように、蒸発源１０３において加熱機構１１２（図３参照）により蒸着材料Ｒを加熱し、蒸着材料Ｒをノズル１１３から放出させる。

【0044】

蒸着開始前には図５に示すように蒸着対象物Ｓは蒸発源１０３から離間した待機位置に位置している。蒸着材料Ｒが所定の温度に到達すると、支持機構１０２を駆動し、図６に示すように蒸着対象物Ｓを蒸発源１０３に対向する位置に移動させる。

【0045】

蒸着材料Ｒはノズル１１３から蒸着対象物Ｓに向かって飛散し、蒸着対象物Ｓに付着する。また、一部はマスクＭによって遮蔽され、パターニングされる。

【0046】

蒸着対象物Ｓが終端位置（図中、左端）に到達すると、支持機構１０２は蒸着対象物Ｓを図５に示す待機位置に戻す。

【0047】

蒸着材料Ｒは、蒸着対象物Ｓの待機位置から終端位置への往路と終端位置から待機位置への復路の両方で蒸着対象物Ｓに蒸着される。これにより、蒸着対象物Ｓの表面に蒸着材料Ｒからなる膜が成膜される。

【0048】

なお、蒸着対象物Ｓをチャンバ１０１に対して固定し、蒸発源１０３を蒸着対象物Ｓに対して移動させながら蒸着を行ってもよく、蒸着対象物Ｓと蒸発源１０３の相対位置を固体して蒸着を行ってもよい。

【0049】

［制御部による制御について］
上述のように蒸着材料Ｒが所定の温度に到達すると制御部１０７による加熱機構１１２の制御が実施される。

【0050】

具体的には、制御部１０７が室内圧力センサ１０４から室内圧力Ｐ１を取得し、室外圧力センサ１０５から室外圧力Ｐ２を取得する。さらに、制御部１０７は室内圧力Ｐ１と室外圧力Ｐ２の圧力差を算出する。

【0051】

制御部１０７は、室内圧力Ｐ１と室外圧力Ｐ２の圧力差が、予め設定された値より小さい場合、温度調整器１０６に加熱機構１１２の加熱温度を上昇させるように指示する。これにより、室内圧力Ｐ１が上昇し、室内圧力Ｐ１と室外圧力Ｐ２の圧力差が増加する。

【0052】

また、制御部１０７は、室内圧力Ｐ１と室外圧力Ｐ２の圧力差が、予め設定された値より大きい場合、温度調整器１０６に加熱機構１１２の加熱温度を下降させるように指示する。これにより、室内圧力Ｐ１が下降し、室内圧力Ｐ１と室外圧力Ｐ２の圧力差が減少する。

【0053】

制御部１０７はこのようにして室内圧力Ｐ１と室外圧力Ｐ２の圧力差が予め設定された値となるように加熱機構１１２の加熱温度を調整する。

【0054】

ノズル１１３から放出される蒸着材料Ｒの放出速度は、未蒸発の蒸着材料Ｒの表面からノズル１１３の開口の間のコンダクタンスＱによって決定される。（式１）は、コンダクタンスＱを表す式である。

【0055】

Ｑ＝Ｃ（Ｐ１－Ｐ２） （式１）

【0056】

なお、Ｃは定数である。（式１）に示すように、室内圧力Ｐ１と室外圧力Ｐ２の圧力差（Ｐ１－Ｐ２）によってコンダクタンスＱを調整することができる。このように、制御部１０７は、加熱機構１１２の加熱温度によって室内圧力Ｐ１と室外圧力Ｐ２の圧力差を調整し、蒸着材料Ｒの放出速度、即ち蒸着速度を制御することが可能である。

【0057】

なお、室内圧力Ｐ１と室外圧力Ｐ２の圧力差の設定値は、その蒸着材料について予め蒸着試験を行うことによって求めることが可能である。

【0058】

［蒸着装置による効果について］
蒸着装置１００では上述のように、室内圧力Ｐ１と室外圧力Ｐ２の圧力差に基づいて加熱機構１１２の加熱温度を調整し、蒸着速度を制御することができる。蒸着速度を測定する必要がなく、水晶振動子センサ等の膜厚センサを用いないため、膜厚センサに起因する蒸着速度測定値の変動を防止することができる。

【0059】

また、室内圧力センサ１０４及び室外圧力センサ１０５はセンサへ蒸着材料Ｒを付着させる必要がないため、蒸着材料の付着を利用する膜厚センサに比べて高寿命を実現することが可能である。さらに、蒸着材料の付着を利用する膜厚センサでは、適正な付着量とするために膜厚センサの配置に幾何学的な制限が生じるが、室内圧力センサ１０４及び室外圧力センサ１０５にはそのような制限が生じず、配置の自由度が高い。

【0060】

さらに、蒸着装置が水晶振動子センサを備える場合、水晶振動子センサから出力される周波数を蒸着速度に変換するための成膜コントローラが必要となる。蒸着装置１００ではこのような成膜コントーラが不要であるため蒸着装置１００のフットプリントやコストの低減が可能である。

【0061】

加えて、蒸着装置１００ではノズル１１３での蒸着材料のつまりが生じると、室内圧力Ｐ１が上昇するため、室内圧力センサ１０４の出力に基づいてノズル１１３のつまりを検知することが可能である。

【0062】

［変形例］
上記説明では、蒸着装置１００は室内圧力センサ１０４及び室外圧力センサ１０５を備えるものとしたが、蒸着装置１００が室外圧力Ｐ２の制御機構を備える場合等、室外圧力Ｐ２が既知の場合、必ずしも室外圧力センサ１０５は設けられなくてもよい。制御部１０７は既知の室外圧力Ｐ２と室内圧力センサ１０４から出力される室内圧力Ｐ１を用いて加熱機構１１２の温度を制御することが可能である。

【0063】

蒸発源１０３の構造も上述のものに限られない。図７及び図８は他の構造を有する蒸発源１０３の模式図である。

【0064】

図７に示すように、圧力室１１１には蒸着材料Ｒを収容するポット部１２１が設けられてもよい。加熱機構１１２はポット部１２１の周囲に設けられ、蒸着材料Ｒを加熱する。また、図８に示すように、圧力室１１１には分散板が設けられなくてもよい。

【0065】

この他にも蒸発源１０３は、蒸着材料Ｒを収容する室内空間Ｋ１を形成し、加熱機構１１２とノズル１１３が設けられた構造を有するものであればよい。

【0066】

（第２の実施形態）
本技術の第２の実施形態に係る蒸着装置について説明する。

【0067】

［蒸着装置の構成］
図９は、本実施形態に係る蒸着装置２００の構成を示す模式図である。なお、蒸着装置２００の構成において、第１の実施形態に係る蒸着装置１００と同一の構成については蒸着装置１００と同一の符号を付し、説明を省略する。

【0068】

図９に示すように、蒸着装置２００は、チャンバ１０１、支持機構１０２、蒸発源１０３、室内圧力センサ１０４、室外圧力センサ１０５、温度調整器１０６、圧力調整機構２０７及び制御部２０８を備える。圧力調整機構２０７及び制御部２０８以外の構成は第１の実施形態と同一である。

【0069】

第１の実施形態と同様に、圧力室１１１の内部空間を室内空間Ｋ１とし、圧力室１１１の外部空間であってチャンバ１０１内の空間を室外空間Ｋ２とする。また、室内空間Ｋ１の圧力を室内圧力Ｐ１とし、室外空間Ｋ２の圧力を室外圧力Ｐ２とする。

【0070】

圧力調整機構２０７は、室外圧力Ｐ２を調整する。圧力調整機構２０７は、図示しない配管によってチャンバ１０１に接続された調圧バルブとすることができる。また、圧力調整機構２０７は、図示しない配管によってチャンバ１０１に接続された真空ポンプであってもよい。この他にも圧力調整機構２０７は室外圧力Ｐ２を調整可能なものであればよい。

【0071】

制御部２０８は、室内圧力センサ１０４及び室外圧力センサ１０５の出力に基づいて、加熱機構１１２及び圧力調整機構２０７を制御する。制御部２０８は、例えばＰＬＣ（programmable logic controller）とすることができる。

【0072】

［制御部による制御について］
蒸着装置２００においても、第１の実施形態と同様に蒸着材料Ｒが所定温度まで加熱され、蒸着が行われる。蒸着材料Ｒが所定の温度に到達すると制御部２０８による加熱機構１１２及び圧力調整機構２０７の制御が実施される。

【0073】

具体的には、制御部２０８が室内圧力センサ１０４から室内圧力Ｐ１を取得し、室外圧力センサ１０５から室外圧力Ｐ２を取得する。さらに、制御部２０８は室内圧力Ｐ１と室外圧力Ｐ２の圧力差を算出する。

【0074】

制御部２０８は、室内圧力Ｐ１と室外圧力Ｐ２の圧力差が、予め設定された値より小さい場合、温度調整器１０６に加熱機構１１２の加熱温度を上昇させるように指示する。これにより、室内圧力Ｐ１が上昇し、室内圧力Ｐ１と室外圧力Ｐ２の圧力差が増加する。

【0075】

さらに制御部２０８は、圧力調整機構２０７に室外圧力Ｐ２を減少させるように指示する。これにより、室内圧力Ｐ１と室外圧力Ｐ２の圧力差が増加する。

【0076】

また、制御部２０８は、室内圧力Ｐ１と室外圧力Ｐ２の圧力差が、予め設定された値より大きい場合、温度調整器１０６に加熱機構１１２の加熱温度を下降させるように指示する。これにより、室内圧力Ｐ１が下降し、室内圧力Ｐ１と室外圧力Ｐ２の圧力差が減少する。

【0077】

さらに制御部２０８は、圧力調整機構２０７に室外圧力Ｐ２を増加させるように指示する。これにより、室内圧力Ｐ１と室外圧力Ｐ２の圧力差が減少する。

【0078】

制御部２０８はこのようにして室内圧力Ｐ１と室外圧力Ｐ２の圧力差が予め設定された値となるように加熱機構１１２の加熱温度及び室外圧力Ｐ２を調整する。

【0079】

ノズル１１３から放出される蒸着材料Ｒの放出速度は、第１の実施形態において説明したように、未蒸発の蒸着材料Ｒの表面からノズル１１３の開口の間のコンダクタンスによって決定されるため、室内圧力Ｐ１と室外圧力Ｐ２の圧力差（Ｐ１－Ｐ２）によってコンダクタンスを調整することができる。

【0080】

制御部２０８は、加熱機構１１２の加熱温度及び室外圧力Ｐ２によって室内圧力Ｐ１と室外圧力Ｐ２の圧力差を調整し、蒸着材料Ｒの放出速度、即ち蒸着速度を制御することが可能である。

【0081】

なお、室内圧力Ｐ１と室外圧力Ｐ２の圧力差の設定値は、その蒸着材料について予め蒸着試験を行うことによって求めることが可能である。

【0082】

［蒸着装置による効果について］
蒸着装置２００は、第１の実施形態と同様の効果を有する。即ち、蒸着速度の測定に水晶振動子センサ等の膜厚センサを用いないため、膜厚センサに起因する蒸着速度測定値の変動を防止することができる。また、室内圧力センサ１０４及び室外圧力センサ１０５の高寿命を実現することが可能であり、これらのセンサの配置の自由度も高いものとなっている。

【0083】

さらに、蒸着装置２００では、室内圧力Ｐ１と室外圧力Ｐ２の圧力差を加熱機構１１２の温度だけでなく、室外圧力Ｐ２によっても調整することができる。蒸着材料Ｒの種類によっては、一定温度以上に加熱すると劣化を生じるものもあるため、加熱機構１１２の温度調整のみによっては室内圧力Ｐ１と室外圧力Ｐ２の圧力差を設定値に調整できない場合でも室外圧力Ｐ２の調整によって同圧力差を設定値に調整することが可能となる。

【0084】

［変形例］
本実施形態においても、蒸発源１０３の構造は上述のものに限られず、図７及び図８に示したような蒸発源１０３あるいは蒸着材料Ｒを収容する室内空間Ｋ１を形成し、加熱機構１１２とノズル１１３が設けられた構造を有する蒸発源１０３とすることができる。

【符号の説明】

【0085】

１００、２００…蒸着装置
１０１…チャンバ
１０２…支持機構
１０３…蒸発源
１０４…室内圧力センサ
１０５…室外圧力センサ
１０６…温度調整器
１０７、２０８…制御部
１１１…圧力室
１１２…加熱機構
１１３…ノズル
１１４…第１分散板
１１５…第２分散板
１１６…メッシュ板
１２１…ポット部
２０７…圧力調整機構

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】