特許7340520投影リソグラフィシステム用の瞳ファセットミラー、光学システム、および照明光学系

発明の名称　投影リソグラフィシステム用の瞳ファセットミラー、光学システム、および照明光学系

出願人　カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー　（識別番号 503263355）

　　　　特許公開件数ランキング 445 位（21件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 626 位（11件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7340520

公報発行日　2023年9月7

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7340520

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