特許 7344048 弾性膜、および基板保持装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2023-09-05

(45)【発行日】2023-09-13

(54)【発明の名称】弾性膜、および基板保持装置

(51)【国際特許分類】

   B24B 37/30 20120101AFI20230906BHJP

   H01L 21/304 20060101ALI20230906BHJP

【ＦＩ】

B24B37/30 C

H01L21/304 622J

H01L21/304 621D

【請求項の数】 9

(21)【出願番号】P 2019156988

(22)【出願日】2019-08-29

(65)【公開番号】P2021030410

(43)【公開日】2021-03-01

【審査請求日】2022-05-12

(73)【特許権者】

【識別番号】000000239

【氏名又は名称】株式会社荏原製作所

(74)【代理人】

【識別番号】100118500

【弁理士】

【氏名又は名称】廣澤 哲也

(74)【代理人】

【識別番号】100091498

【弁理士】

【氏名又は名称】渡邉 勇

(74)【代理人】

【識別番号】100174089

【弁理士】

【氏名又は名称】郷戸 学

(74)【代理人】

【識別番号】100186749

【弁理士】

【氏名又は名称】金沢 充博

(72)【発明者】

【氏名】程 誠

(72)【発明者】

【氏名】富樫 真吾

(72)【発明者】

【氏名】廣川 一人

【審査官】山内 康明

(56)【参考文献】

【文献】特開２００６－１５９３９２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特表２００２－５３０８７６（ＪＰ，Ａ）

【文献】国際公開第２０１７／０７３３１８（ＷＯ，Ａ１）

【文献】特開２００５－０７９４６５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１９－０９３４６６（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許第０８４７５２３１（ＵＳ，Ｂ２）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｂ２４Ｂ ３７／３０

Ｈ０１Ｌ ２１／３０４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

基板保持装置に用いられる弾性膜であって、
基板に当接して該基板を研磨パッドに押圧する当接部と、
前記当接部の周端部から延びるエッジ周壁と、を備え、
前記エッジ周壁は、その上部に、前記基板保持装置のヘッド本体と、該エッジ周壁を前記ヘッド本体に固定するためのエッジ取付部材との間に挟まれるエッジ周壁リップ部を有しており、
前記エッジ周壁リップ部は、前記エッジ取付部材に形成された第１凹部および／または前記ヘッド本体に形成された第２凹部に嵌合される複数のエッジ周壁突起を有しており、
前記エッジ周壁突起は、前記エッジ周壁の周方向に沿って等間隔に配置されていることを特徴とする弾性膜。

【請求項2】

前記エッジ周壁突起は、前記エッジ周壁リップ部の上面または下面から突出する縦エッジ突起であることを特徴とする請求項１に記載の弾性膜。

【請求項3】

前記エッジ周壁突起は、前記エッジ周壁リップ部の先端から前記エッジ周壁の径方向に突出する横エッジ突起であることを特徴とする請求項１に記載の弾性膜。

【請求項4】

前記エッジ周壁突起のいくつかは、前記エッジ周壁リップ部の上面または下面から突出する縦エッジ突起であり、
前記エッジ周壁突起の残りは、前記エッジ周壁リップ部の先端から前記エッジ周壁の径方向に突出する横エッジ突起であることを特徴とする請求項１に記載の弾性膜。

【請求項5】

前記エッジ周壁の径方向内側に配置され、前記当接部から延びる少なくとも１つの内部周壁をさらに備え、
前記内部周壁は、その上部に、前記ヘッド本体と、該内部周壁を前記ヘッド本体に固定するための内部取付部材との間に挟まれる内部周壁リップ部を有しており、
前記内部周壁リップ部は、前記エッジ取付部材に形成された第３凹部および／または前記ヘッド本体に形成された第４凹部に嵌合される複数の内部周壁突起を有しており、
前記内部周壁突起は、前記内部周壁の周方向に沿って等間隔に配置されていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載の弾性膜。

【請求項6】

前記内部周壁突起は、前記内部周壁リップ部の上面または下面から突出する縦内部突起であることを特徴とする請求項５に記載の弾性膜。

【請求項7】

前記内部周壁突起は、前記内部周壁リップ部の先端から前記内部周壁の径方向に突出する横内部突起であることを特徴とする請求項５に記載の弾性膜。

【請求項8】

前記内部周壁突起のいくつかは、前記内部周壁リップ部の上面または下面から突出する縦内部突起であり、
前記内部周壁突起の残りは、前記内部周壁リップ部の先端から前記内部周壁の径方向に突出する横内部突起であることを特徴とする請求項５に記載の弾性膜。

【請求項9】

基板を押圧するための少なくとも１つの圧力室を形成する弾性膜と、
前記弾性膜が固定されるヘッド本体と、
前記弾性膜を前記ヘッド本体に固定する少なくとも１つの取付部材と、を備え、
前記弾性膜は、請求項１乃至８のいずれか一項に記載の弾性膜であることを特徴とする基板保持装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、研磨装置の基板保持装置に用いられる弾性膜に関する。さらに、本発明は、弾性膜を備えた基板保持装置に関する。

【背景技術】

【0002】

ＣＭＰを行うための研磨装置は、研磨パッドを支持する研磨テーブルと、ウェハなどの基板を保持するための基板保持装置とを備えている。基板保持装置は、トップリングまたは研磨ヘッドと称されることもある。このような研磨装置を用いて基板の研磨を行う場合には、基板保持装置により基板を保持しつつ、この基板を研磨パッドの研磨面に対して所定の圧力で押圧する。このとき、研磨テーブルと基板保持装置とを相対運動させることにより基板が研磨面に摺接し、基板の表面が研磨される。

【0003】

研磨中の基板と研磨パッドの研磨面との間の相対的な押圧力が基板の全面に亘って均一でない場合には、基板の各部分に与えられる押圧力に応じて研磨不足や過研磨が生じてしまう。そこで、基板に対する押圧力を均一化するために、基板保持装置の下部に柔軟な弾性膜（メンブレン）から形成される圧力室を設け、この圧力室に空気などの流体を供給することで弾性膜を介して流体圧により基板を研磨パッドの研磨面に押圧することが行われている。

【0004】

このような基板保持装置は、例えば、基板を研磨パッドの研磨面に押圧するためのヘッド本体と、ヘッド本体に取り付けられる上記弾性膜と、該弾性膜をヘッド本体に固定するための取付部材と、弾性膜を介してヘッド本体に保持された基板の周囲を取り囲むリテーナリングと、を備える。弾性膜が取付部材を介してヘッド本体に固定されると、該弾性膜によって少なくとも１つの圧力室が形成される。このような弾性膜は消耗品であり、定期的なメンテナンスおよび／または交換が必要とされる。そのため、弾性膜は、取付部材を介してヘッド本体に着脱可能に構成される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【文献】特開２００６－１５９３９２号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

しかしながら、弾性膜は、一般的に、柔軟性だけでなく高い粘着性も有するゴムなどの材料から形成されている。そのため、作業者が弾性膜を取付部材を介してヘッド本体に固定する際に、該弾性膜の一部がヘッド本体および／または取付部材に密着して、弾性膜を適切にヘッド本体に固定することが困難な場合がある。より具体的には、弾性膜の一部分（または、複数部分）がヘッド本体および／または取付部材に密着すると、この密着部分が弾性膜の他の部分を引っ張ってしまい、該弾性膜の周方向における変形具合にばらつきが生じるおそれがある。言い換えれば、ヘッド本体に取り付けられた弾性膜がその周方向に不均一に歪んでしまうおそれがある。

【0007】

基板の研磨を行う際には、弾性膜によって形成された圧力室に所定の圧力を有する流体が供給される。そのため、弾性膜の周方向における変形具合にばらつきが生じていると、弾性膜がその周方向に均一に膨張せず、その結果、基板の周方向における研磨レートの均一性が悪化するおそれがある。

【0008】

上記不具合を防止するために、弾性膜をヘッド本体に固定する作業者が該弾性膜の周方向における変形具合のばらつきを解消しようとすると、この作業者の負担と労力が増大し、さらに、弾性膜をヘッド本体に固定するために長時間を要してしまう。

【0009】

そこで、本発明は、弾性膜の周方向における変形具合のばらつきを抑えつつ、基板保持装置のヘッド本体に容易に取り付けることが可能な弾性膜を提供することを目的とする。また、本発明は、このような弾性膜を備えた基板保持装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0010】

一態様では、基板保持装置に用いられる弾性膜であって、基板に当接して該基板を研磨パッドに押圧する当接部と、前記当接部の周端部から延びるエッジ周壁と、を備え、前記エッジ周壁は、その上部に、前記基板保持装置のヘッド本体と、該エッジ周壁を前記ヘッド本体に固定するためのエッジ取付部材との間に挟まれるエッジ周壁リップ部を有しており、前記エッジ周壁リップ部は、前記エッジ取付部材に形成された第１凹部および／または前記ヘッド本体に形成された第２凹部に嵌合される複数のエッジ周壁突起を有しており、前記エッジ周壁突起は、前記エッジ周壁の周方向に沿って等間隔に配置されていることを特徴とする弾性膜が提供される。

【0011】

一態様では、前記エッジ周壁突起は、前記エッジ周壁リップ部の上面または下面から突出する縦エッジ突起である。
一態様では、前記エッジ周壁突起は、前記エッジ周壁リップ部の先端から前記エッジ周壁の径方向に突出する横エッジ突起である。
一態様では、前記エッジ周壁突起のいくつかは、前記エッジ周壁リップ部の上面または下面から突出する縦エッジ突起であり、前記エッジ周壁突起の残りは、前記エッジ周壁リップ部の先端から前記エッジ周壁の径方向に突出する横エッジ突起である。

【0012】

一態様では、前記弾性膜は、前記エッジ周壁の径方向内側に配置され、前記当接部から延びる少なくとも１つの内部周壁をさらに備え、前記内部周壁は、その上部に、前記ヘッド本体と、該内部周壁を前記ヘッド本体に固定するための内部取付部材との間に挟まれる内部周壁リップ部を有しており、前記内部周壁リップ部は、前記エッジ取付部材に形成された第３凹部および／または前記ヘッド本体に形成された第４凹部に嵌合される複数の内部周壁突起を有しており、前記内部周壁突起は、前記内部周壁の周方向に沿って等間隔に配置されている。
一態様では、前記内部周壁突起は、前記内部周壁リップ部の上面または下面から突出する縦内部突起である。
一態様では、前記内部周壁突起は、前記内部周壁リップ部の先端から前記内部周壁の径方向に突出する横内部突起である。
一態様では、前記内部周壁突起のいくつかは、前記内部周壁リップ部の上面または下面から突出する縦内部突起であり、前記内部周壁突起の残りは、前記内部周壁リップ部の先端から前記内部周壁の径方向に突出する横内部突起である。

【0013】

一態様では、基板を押圧するための少なくとも１つの圧力室を形成する弾性膜と、前記弾性膜が固定されるヘッド本体と、前記弾性膜を前記ヘッド本体に固定する少なくとも１つの取付部材と、を備え、前記弾性膜は、上記弾性膜であることを特徴とする基板保持装置が提供される。

【発明の効果】

【0014】

本発明によれば、エッジ周壁の周方向に沿って等間隔に配置された複数のエッジ周壁突起が第１凹部および／または第２凹部に嵌め込まれた状態で、弾性膜がヘッド本体に固定される。したがって、弾性膜の周方向における変形を最小限に抑制しながら、該弾性膜をヘッド本体に固定することができる。さらに、弾性膜を取付部材を介してヘッド本体に固定する際に、複数のエッジ周壁突起は、ヘッド本体および／またはエッジ取付部材に対するガイドして機能する。したがって、弾性膜をヘッド本体に容易に取り付けることができる。

【図面の簡単な説明】

【0015】

【図1】図１は、一実施形態に係る研磨装置を示す模式図である。

【図2】図２は、一実施形態に係る基板保持装置の概略断面図である。

【図3】図３は、図２に示す弾性膜の一部を示す拡大断面図である。

【図4】図４は、図２に示す第２取付リングの近傍の拡大断面図である。

【図5】図５は、図２のＡ－Ａ線断面図である。

【図6】図６は、他の実施形態に係る弾性膜のエッジ周壁の近傍の拡大断面図である。

【図7】図７は、図６に示す弾性膜の下面図である。

【図8】図８は、さらに他の実施形態に係る弾性膜のエッジ周壁の近傍の拡大断面図である。

【図9】図９は、さらに他の実施形態に係る弾性膜のエッジ周壁を拡大して示す模式図である。

【発明を実施するための形態】

【0016】

以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。
図１は、一実施形態に係る研磨装置を示す図である。図１に示すように、研磨装置は、研磨パッド１９を支持する研磨テーブル１８と、基板の一例としてのウェハＷを保持して研磨テーブル１８上の研磨パッド１９に押圧する基板保持装置１を備えている、以下の説明では、基板保持装置１を「研磨ヘッド１」と称する。

【0017】

研磨テーブル１８は、テーブル軸１８ａを介してその下方に配置されるテーブルモータ２９に連結されており、そのテーブル軸１８ａ周りに回転可能になっている。研磨パッド１９は研磨テーブル１８の上面に貼付されており、研磨パッド１９の表面１９ａがウェハＷを研磨する研磨面を構成している。研磨テーブル１８の上方には研磨液供給ノズル２５が設置されており、この研磨液供給ノズル２５によって研磨テーブル１８上の研磨パッド１９上に研磨液Ｑが供給されるようになっている。

【0018】

研磨ヘッド１は、ウェハＷを研磨面１９ａに対して押圧するヘッド本体２と、ウェハＷを保持してウェハＷが研磨ヘッド１から飛び出さないようにするリテーナリング３とを備えている。研磨ヘッド１は、ヘッドシャフト２７に接続されており、このヘッドシャフト２７は、上下動機構８１によりヘッドアーム６４に対して上下動するようになっている。このヘッドシャフト２７の上下動により、ヘッドアーム６４に対して研磨ヘッド１の全体を昇降させ位置決めするようになっている。ヘッドシャフト２７の上端にはロータリージョイント８２が取り付けられている。

【0019】

ヘッドシャフト２７および研磨ヘッド１を上下動させる上下動機構８１は、軸受８３を介してヘッドシャフト２７を回転可能に支持するブリッジ８４と、ブリッジ８４に取り付けられたボールねじ８８と、支柱８６により支持された支持台８５と、支持台８５上に設けられたサーボモータ９０とを備えている。サーボモータ９０を支持する支持台８５は、支柱８６を介してヘッドアーム６４に固定されている。

【0020】

ボールねじ８８は、サーボモータ９０に連結されたねじ軸８８ａと、このねじ軸８８ａが螺合するナット８８ｂとを備えている。ヘッドシャフト２７は、ブリッジ８４と一体となって上下動するようになっている。したがって、サーボモータ９０を駆動すると、ボールねじ８８を介してブリッジ８４が上下動し、これによりヘッドシャフト２７および研磨ヘッド１が上下動する。

【0021】

ヘッドシャフト２７はキー（図示しない）を介して回転筒６６に連結されている。この回転筒６６はその外周部にタイミングプーリ６７を備えている。ヘッドアーム６４にはヘッドモータ６８が固定されており、上記タイミングプーリ６７は、タイミングベルト６９を介してヘッドモータ６８に設けられたタイミングプーリ７０に接続されている。したがって、ヘッドモータ６８を回転駆動することによってタイミングプーリ７０、タイミングベルト６９、およびタイミングプーリ６７を介して回転筒６６およびヘッドシャフト２７が一体に回転し、研磨ヘッド１が回転する。ヘッドアーム６４は、フレーム（図示しない）に回転可能に支持されたアームシャフト８０によって支持されている。研磨装置は、ヘッドモータ６８、サーボモータ９０をはじめとする装置内の各機器を制御する制御装置４０を備えている。

【0022】

研磨ヘッド１は、その下面にウェハＷを保持できるように構成されている。ヘッドアーム６４はアームシャフト８０を中心として旋回可能に構成されており、下面にウェハＷを保持した研磨ヘッド１は、ヘッドアーム６４の旋回によりウェハＷの受取位置から研磨テーブル１８の上方位置に移動される。

【0023】

ウェハＷの研磨は次のようにして行われる。研磨ヘッド１および研磨テーブル１８をそれぞれ回転させ、研磨テーブル１８の上方に設けられた研磨液供給ノズル２５から研磨パッド１９上に研磨液Ｑを供給する。この状態で、研磨ヘッド１を所定の位置（所定の高さ）まで下降させ、この所定の位置でウェハＷを研磨パッド１９の研磨面１９ａに押圧する。ウェハＷは研磨パッド１９の研磨面１９ａに摺接され、これによりウェハＷの表面が研磨される。

【0024】

次に、図２を参照して、研磨ヘッド１の構成の一例について説明する。図２は、一実施形態に係る研磨ヘッド（基板保持装置）１の概略断面図である。図２に示すように、研磨ヘッド１は、ウェハＷを研磨面１９ａ（図１参照）に対して押圧するヘッド本体２と、ウェハＷを囲むように配置されたリテーナリング３とを備えている。リテーナリング３は、ヘッド本体２に連結されており、ヘッド本体２およびリテーナリング３は、ヘッドシャフト２７の回転により一体に回転するように構成される。さらに、ヘッド本体２およびリテーナリング３は、上下動機構８１（図１参照）を動作させることにより、ヘッドシャフト２７と一体に上下動するように構成されている。ヘッド本体２は、例えば、エンジニアリングプラスティック（例えば、ＰＥＥＫ）などの樹脂により形成されている。

【0025】

リテーナリング３は、ヘッド本体２に固定された弾性膜１０、および該弾性膜１０を介してヘッド本体２に保持されたウェハＷを囲むように配置されている。このリテーナリング３は、ウェハＷの研磨中にウェハＷが研磨ヘッド１から飛び出さないようにウェハＷを保持している。

【0026】

ヘッド本体２の下面には、ウェハＷの裏面（すなわち、研磨すべき表面とは反対側の面）に当接する弾性膜１０が固定されている。弾性膜１０の下面が基板保持面１０ａを構成する。弾性膜１０は複数の（図２では、４つの）環状の周壁３０，３１，３２，３３を有しており、これら周壁３０～３３は、同心状に配置されている。

【0027】

本実施形態では、研磨ヘッド１は、弾性膜１０をヘッド本体２に固定する２つの取付部材４５，４７を備えている。２つの取付部材４５，４７は、それぞれ、略環状の形状を有する取付リングであり、以下の説明では、取付部材４５を「第１取付リング４５」と称することがあり、取付部材４７を「第２取付リング４７」と称することがある。

【0028】

周壁３０～３３の上端は、２つの取付リング４５，４７を介してヘッド本体２の下面に固定される。より具体的には、第１取付リング４５によって、周壁３０，３１の上端がヘッド本体２の下面に固定され、第２取付リング４７によって、周壁３２，３３の上端がヘッド本体２の下面に固定される。これら取付リング４５，４７は、それぞれ、ねじなどの締結具（図示せず）によってヘッド本体２に着脱可能に固定されている。したがって、締結具を解除すると、取付リング４５，４７がヘッド本体２から離れ、これによって弾性膜１０をヘッド本体２から取り外すことができる。

【0029】

周壁３０～３３により、弾性膜１０とヘッド本体２との間に４つの圧力室、すなわち、中央に位置する円形状の中央圧力室１６ａ、最外周に位置する環状のエッジ圧力室１６ｄ、および中央圧力室１６ａとエッジ圧力室１６ｄとの間に位置する中間圧力室１６ｂおよび１６ｃが形成されている。

【0030】

これらの圧力室１６ａ～１６ｄはロータリージョイント８２を経由して圧力調整装置６５に接続されており、圧力調整装置６５から各圧力室１６ａ～１６ｄにそれぞれ延びる流体ライン７３を通って流体（例えば、空気）が供給されるようになっている。圧力調整装置６５は、制御装置４０に接続されており、これら４つの圧力室１６ａ～１６ｄ内の圧力を独立に調整できるようになっている。

【0031】

さらに、圧力調整装置６５は、圧力室１６ａ～１６ｄ内に負圧を形成することも可能となっている。このように、研磨ヘッド１においては、ヘッド本体２と弾性膜１０との間に形成される各圧力室１６ａ～１６ｄに供給する流体の圧力を調整することにより、ウェハＷに加えられる押圧力をウェハＷの領域毎に調整できる。

【0032】

弾性膜１０は、エチレンプロピレンゴム（ＥＰＤＭ）、ポリウレタンゴム、シリコンゴム等の強度および耐久性に優れた柔軟なゴム材によって形成されている。このような弾性膜１０は、柔軟性だけでなく高い粘着性も有する。各圧力室１６ａ～１６ｄは大気開放機構（図示しない）にも接続されており、圧力室１６ａ～１６ｄを大気開放することも可能である。

【0033】

次に、図２に示す弾性膜１０についてより詳細に説明する。図３は、図２に示す弾性膜１０の一部を示す拡大断面図である。より具体的には、図３は、弾性膜１０の中心軸線ＣＬを含む鉛直面で分割された弾性膜１０の半分の概略断面を示している。図４は、図２に示す第２取付リング４７の近傍（すなわち、後述するエッジ周壁近傍）の拡大断面図である。図５は、図２のＡ－Ａ線断面図である。

【0034】

図３に示す弾性膜１０は、ウェハＷの裏面に接触する円形の当接部１１と、該当接部１１に接続される４つの環状周壁３０～３３を有している。当接部１１はウェハＷの裏面に接触し、ウェハＷを研磨パッド１９に対して押し付ける。すなわち、当接部１１の下面が上記基板保持面１０ａとして機能する。環状周壁３０～３３は、当接部１１の上面から上方に延びる。

【0035】

周壁３３は、最も外側の周壁であり、当接部１１の周端部から上方に延びる。本明細書では、周壁３３を「エッジ周壁３３」と称する。さらに、本明細書では、エッジ周壁３３の径方向内側に配置される周壁を内部周壁と称する。図３に示す例では、３つの周壁３０，３１，３２が内部周壁として構成されている。以下の説明では、周壁３０を「第１内部周壁３０」と称することがあり、周壁３１を「第２内部周壁３１」と称することがあり、周壁３２を「第３内部周壁３２」と称することがある。なお、内部周壁の数は図示した例に限定されない。例えば、弾性膜１０は、エッジ周壁３３と１つの内部周壁を有していてもよく、エッジ周壁３３と２つ以上の内部周壁を有していてもよい。あるいは、弾性膜１０は、内部周壁を有さずに、エッジ周壁３３のみを有していてもよい。

【0036】

エッジ周壁３３は、当接部１１から延びるエッジ周壁本体３３ａと、該エッジ周壁本体３３ａに接続されるエッジ周壁リップ部３３ｂとを有する。図３に示す例では、エッジ周壁本体３３ａは、当接部１１から鉛直方向に上方に延びており、エッジ周壁リップ部３３ｂは、エッジ周壁本体３３ａの先端から水平方向に延びている。エッジ周壁本体３３ａは、中心軸線ＣＬまわりに環状に（すなわち、当接部１１の全周にわたって）延びており、エッジ周壁リップ部３３ｂはエッジ周壁本体３３ａの全周にわたってフランジ状に形成されている。エッジ周壁リップ部３３ｂは、その下面にシール突起３３ｃを有する。シール突起３３ｃは、エッジ周壁リップ部３３ｂの先端部の下面に形成されており、エッジ周壁リップ部３３ｂの全周にわたって環状に形成されている。

【0037】

さらに、エッジ周壁３３は、エッジ周壁本体３３ａとエッジ周壁リップ部３３ｂとの接続点から延びるフラップ３３ｄを有していてもよい。フラップ３３ｄは、エッジ周壁３３の全周にわたって延びている。フラップ３３ｄは、その断面が逆Ｕ字状のフラップ本体１４５と、フラップ本体１４５の先端から水平に延びるフラップリップ部１４６を有する。フラップリップ部１４６は、ヘッド本体２とリテーナリング３との間に挟まれる（図４参照）。

【0038】

図４に示すように、エッジ周壁リップ部３３ｂは、第２取付リング４７とヘッド本体２との間に挟まれるエッジ周壁３３の一部分である。したがって、エッジ周壁リップ部３３ｂは、フラップ３３ｄを除いたエッジ周壁３３の上部に形成されている。言い換えれば、エッジ周壁リップ部３３ｂは、エッジ周壁本体３３ａの上端に接続される。エッジ周壁リップ部３３ｂをヘッド本体２と第２取付リング４７とで挟んだ状態で、第２取付リング４７をねじなどの締結具（図示せず）によってヘッド本体２に固定すると、エッジ周壁３３がヘッド本体２に固定される。したがって、第２取付リング４７は、エッジ周壁３３をヘッド本体１０に固定するためのエッジ取付部材として機能する。

【0039】

第２取付リング４７には、シール突起３３ｃが嵌め込まれるシール凹部５５が形成されている。シール凹部５５は、シール突起３３ｃに対応して、第２取付リング４７の全周にわたって形成されている。エッジ周壁３３をヘッド本体２に取り付ける際には、シール突起３３ｃはシール凹部５５に嵌め込まれる。この状態で、第２取付リング４７を締結具（図示せず）を用いてヘッド本体２に取り付けると、シール突起３３ｃがシール凹部５５に押圧され、これにより、第２取付リング４７とエッジ周壁リップ部３３ｂと間の隙間がシールされる。

【0040】

第３内部周壁３２も、当接部１１から延びる第３内部周壁本体３２ａと、該第３内部周壁本体３２ａに接続される第３内部周壁リップ部３２ｂとを有する。第３内部周壁本体３２ａも中心軸線ＣＬまわりに環状に延びており、第３内部周壁リップ部３２ｂは、第３内部周壁本体３２ａの全周にわたってフランジ状に形成されている。第３内部周壁本体３２ａは、当接部１１から径方向内側に斜め上方に延びる傾斜部１３０と、傾斜部１３０に接続され、径方向内側に延びる水平部１３１と、水平部１３１に接続され、該水平部１３１から垂直に延びる垂直部１３２とから構成される。第３内部周壁リップ部３２ｂは、第３内部周壁本体３２ａの垂直部１３２の先端に接続され、該先端から径方向外側に水平方向に延びる。第３内部周壁３２も、第３内部周壁リップ部３２ｂの全周わたって環状に形成されたシール突起３２ｃを有する。

【0041】

第３内部周壁リップ部３２ｂは、第２取付リング４７とヘッド本体２との間に挟まれる第３内部周壁３２の一部であり、第３内部周壁３２の上部に形成されている。言い換えれば、第３内部周壁リップ部３２ｂは、第３内部周壁本体３２ａの先端に接続される。第２取付リング４７は、上述したエッジ周壁３３に対してはエッジ取付部材として機能し、第３内部周壁３２に対しては該第３内部周壁３２をヘッド本体２に固定するための内部取付部材として機能する。そのため、第２取付リング４７は、第３内部周壁３２のシール突起３２ｃに対応して形成されたシール凹部５４も有している。シール凹部５４は、第２取付リング４７の全周にわたって形成されている。第２取付リング４７を、図示しない締結具を用いてヘッド本体２に取り付けると、第３内部周壁リップ部３２ｂは、ヘッド本体２と第２取付リング４７との間に挟まれ、これにより第３内部周壁３２がヘッド本体２に固定される。さらに、第３内部周壁３２のシール突起３２ｃがシール凹部５４に押圧され、これにより、第２取付リング４７と第３内部周壁リップ部３２ｂと間の隙間がシールされる。

【0042】

図３に示すように、第１内部周壁３０は、第３内部周壁３２と同一の形状を有しており、第２内部周壁３１は、第２内部周壁リップ部３１ｂが径方向外側ではなく、径方向内側に延びている点のみで第３内部周壁３２の形状と異なる。具体的には、第１内部周壁３０は、当接部１１から上方に延びる第１内部周壁本体３０ａと、該第１内部周壁本体３０ａに接続される第１内部周壁リップ部３０ｂとを有し、第２内部周壁３１は、当接部１１から上方に延びる第２内部周壁本体３１ａと、該第２内部周壁本体３１ａに接続される第２内部周壁リップ部３１ｂとを有する。第１内部周壁本体３０ａおよび第２内部周壁本体３１ａは、中心軸線ＣＬまわりに環状に延びている。第１内部周壁リップ部３０ｂは、第１内部周壁本体３０ａの全周にわたってフランジ状に形成され、第２内部周壁リップ部３１ｂは、第２内部周壁本体３１ａの全周にわたってフランジ状に形成されている。

【0043】

第１内部周壁本体３０ａは、当接部１１から径方向内側に斜め上方に延びる傾斜部１１０と、傾斜部１１０に接続され、径方向内側に延びる水平部１１１と、水平部１１１に接続され、該水平部１１１から垂直に延びる垂直部１１２とから構成される。第２内部周壁本体３１ａは、当接部１１から径方向内側に斜め上方に延びる傾斜部１２０と、傾斜部１２０に接続され、径方向内側に延びる水平部１２１と、水平部１２１に接続され、該水平部１２１から垂直に延びる垂直部１２２とから構成される。

【0044】

さらに、第１内部周壁３０は、第１内部周壁リップ部３０ｂの全周わたって環状に形成されたシール突起３０ｃを有し、第２内部周壁３１は、第２内部周壁リップ部３１ｂの全周わたって環状に形成されたシール突起３１ｃを有する。

【0045】

第１取付リング４５は、第１内部周壁３０および第２内部周壁３１をヘッド本体２に取り付ける内部取付部材として機能する（図２参照）。第１取付リング４５も、第１内部周壁３０のシール突起３０ｃ、および第２内部周壁３１のシール突起３１ｃがそれぞれ嵌合される２つのシール凹部を有する。これらシール凹部も第１取付リング４５の全周にわたって形成されている。第１取付リング４５を、図示しない締結具を用いてヘッド本体２に固定すると、第１内部周壁リップ部３０ｂおよび第２内部周壁リップ部３１ｂがヘッド本体２と第１取付リング４５との間に挟まれ、これにより第１内部周壁３０および第２内部周壁３１がヘッド本体２に固定される。さらに、第１内部周壁３０のシール突起３０ｃが一方のシール凹部に押圧され、同時に、第２内部周壁３１のシール突起３１ｃが他方のシール凹部に押圧される。これにより、第１取付リング４５と第１内部周壁リップ部３０ｂと間の隙間がシールされ、同時に、第１取付リング４５と第２内部周壁リップ部３１ｂとの間の隙間がシールされる。

【0046】

上記したように、弾性膜１０は、柔軟性だけなく高い粘着性も有している。そのため、弾性膜１０を取付リング４５，４７を介してヘッド本体２に固定する際に、弾性膜１０の周壁３０～３３の一部分（または、複数部分）がヘッド本体２および／または取付リング４５，４７に密着してしまうことがある。この場合、弾性膜１０の密着部分に他の部分が引っ張られ、弾性膜１０の周方向における変形具合にばらつきが生じるおそれがある。特に、弾性膜１０の最外周部に位置するエッジ周壁３３がヘッド本体２および／または第２取付リング４７に密着すると、弾性膜１０の周方向の変形具合のばらつきが大きくなってしまう。

【0047】

そこで、本実施形態では、エッジ周壁３３のエッジ周壁リップ部３３ｂは、その先端（内周端）から径方向内側に突出する複数のエッジ周壁突起３３ｅを有する。図５に示すように、本実施形態に係るエッジ周壁リップ部３３ｂは、エッジ周壁３３の周方向に沿って等間隔に配置された６個のエッジ周壁突起３３ｅを有する。各エッジ周壁突起３３ｅは、図５に示すような水平断面視で円弧形状を有しており、エッジ周壁リップ部３３ｂの先端からエッジ周壁３３の径方向内側にかつ水平に突出する。以下の説明では、エッジ周壁リップ部３３ｂの径方向に突出するエッジ周壁突起３３ｅを、「横エッジ突起３３ｅ」と称することがある。

【0048】

図４および図５に示すように、第２取付リング４７は、各エッジ突起３３ｅに対応して形成された複数の（図５では、６個の）凹部６０を有している。これら凹部６０は、横エッジ突起３３ｅに対応する形状を有しており、第２取付リング４７の周方向に沿って等間隔に配置されている。

【0049】

弾性膜１０を取付リング４５，４７を介してヘッド本体２に固定する際には、エッジ周壁３３のエッジ周壁リップ部３３ｂに設けられた横エッジ突起３３ｅが第２取付リング４７に形成された凹部６０に嵌め込まれる。この状態で、第２取付リング４７がねじなどの締結具（図示せず）によってヘッド本体２に固定され、これにより、エッジ周壁３３がヘッド本体２に固定される。すなわち、エッジ周壁３３の周方向に沿って配置された複数の横エッジ突起３３ｅが第２取付リング４７に形成された凹部６０に嵌め込まれた状態で、エッジ周壁３３が第２取付リング４７を介してヘッド本体２に固定される。したがって、エッジ周壁３３の周方向における変形を最小限に抑制しながら、該エッジ周壁３３をヘッド本体２に固定することができる。

【0050】

さらに、弾性膜１０を取付リング４５，４７を介してヘッド本体２に固定する際に、複数のエッジ周壁突起３３ｅは、第２取付リング４７に対するガイドして機能する。したがって、弾性膜１０をヘッド本体２に容易に取り付けることができる。横エッジ突起３３ｅを容易に凹部６０に挿入するために、横エッジ突起３３ｅは、その先端に向かって断面積が減少するテーパ形状を有しているのが好ましい。

【0051】

図４および図５に示す例では、６個の横エッジ突起３３ｅと、これら横エッジ突起３３ｅにそれぞれ対応する６個の凹部６０とが設けられているが、横エッジ突起３３ｅの数および凹部６０の数はこの例に限定されない。横エッジ突起３３ｅの数および凹部６０の数は、エッジ周壁３３の周方向に等間隔で配置されている限り任意である。好ましくは、横エッジ突起３３ｅの数および凹部６０の数は２～８個の範囲にある。さらに、横エッジ突起３３ｅは、図４に示す鉛直断面視でテーパ形状を有し、図５に示す水平断面視で円弧形状を有しているが、横エッジ突起３３ｅの形状もこの例に限定されない。例えば、横エッジ突起３３ｅは、鉛直断面視で直方形状または三角形状を有していてもよい。好ましくは、横エッジ突起３３ｅは、中心軸線ＣＬを対称軸とする回転対称にある（図５参照）。

【0052】

図３および図４に示すように、第３内部周壁３２の第３内部周壁リップ部３２ｂは、その先端（外周端）から内部周壁３３の径方向外側にかつ水平に突出する複数の内部周壁突起３２ｄを有していてもよい。以下の説明では、第３内部周壁３２の径方向に突出する内部周壁突起３２ｄを、「横内部突起３２ｄ」と称することがある。

【0053】

本実施形態に係る第３内部周壁リップ部３２ｂは、第３内部周壁３２の周方向に沿って等間隔に配置された複数の横内部突起３２ｄを有する。横内部突起３２ｄの数は、横エッジ突起３３ｅと同様に、第３内部周壁３２の周方向に等間隔で配置されている限り任意であり、好ましくは、２～８個の範囲にある。さらに、横内部突起３２ｄの形状も、横エッジ突起３３ｅと同様に任意である。横内部突起３２ｄは、その先端に向かって断面積が減少するテーパ形状を有しているのが好ましい。好ましくは、横内部突起３２ｄは、中心軸線ＣＬを対称軸とする回転対称にある。

【0054】

第２取付リング４７は、横内部突起３２ｄに対応して形成された複数の凹部６２を有する。弾性膜１０を取付リング４５，４７を介してヘッド本体２に固定する際には、第３内部周壁３２の周方向に沿って配置された複数の横内部突起３２ｄが第２取付リング４７に形成された凹部６２に嵌め込まれ、この状態で、第３内部周壁３２が第２取付リング４７を介してヘッド本体２に固定される。

【0055】

弾性膜１０がエッジ周壁リップ部３３ｂの横エッジ突起３３ｅに加えて、第３内部周壁リップ部３２ｂの横内部突起３２ｄを有することにより、より効果的に弾性膜１０の周方向における変形具合のばらつきを抑制することができる。

【0056】

さらに、図３の点線で示すように、第１内部周壁３０の第１内部周壁リップ部３０ｂ、および第２内部周壁３１の第２内部周壁リップ部３１ｂも、その先端から径方向に突出する複数の横内部突起３０ｄ，３１ｄを有していてもよい。第１内部周壁リップ部３０ｂの横内部突起３０ｄは、第１内部周壁リップ部３０ｂの先端から径方向外側にかつ水平に突出し、第２内部周壁リップ部３１ｂの横内部突起３１ｄは、第２内部周壁リップ部３１ｂの先端から径方向内側にかつ水平に突出する。第１内部周壁リップ部３０ｂの横内部突起３０ｄは、第３内部周壁リップ部３２ｂの横内部突起３２ｄと同様の構成を有する。第２内部周壁リップ部３１ｂの横内部突起３１ｄは、その突出方向が第３内部周壁リップ部３２ｂの横内部突起３２ｄと異なる点以外は、該横内部突起３２ｄと同様の構成を有する。

【0057】

第１取付リング４５は、第１内部周壁リップ部３０ｂの横内部突起３０ｄに対応して形成された複数の凹部、および第２内部周壁リップ部３１ｂの横内部突起３１ｄに対応して形成された複数の凹部を有する。弾性膜１０を取付リング４５，４７を介してヘッド本体２に固定する際には、第１内部周壁３０の周方向に沿って配置された複数の横内部突起３０ｄ、および第２内部周壁３１の周方向に沿って配置された複数の横内部突起３１ｄがそれぞれ第１取付リング４５に形成された複数の凹部に嵌め込まれ、この状態で、第１内部周壁３０および第２内部周壁３１が第１取付リング４５を介してヘッド本体２に固定される。

【0058】

このように、エッジ周壁リップ部３３ｂだけでなく、第１内部周壁リップ部３０ｂ、第２内部周壁リップ部３１ｂ、および第３内部周壁リップ部３２ｂのそれぞれが横内部突起３０ｄ，３１ｄ，３２ｄを有していてもよい。一実施形態では、第１内部周壁リップ部３０ｂ、第２内部周壁リップ部３１ｂ、および第３内部周壁リップ部３２ｂのうちのいずれか１つまたは２つが横内部突起を有していてもよい。このような構成により、より効果的に弾性膜１０の周方向における変形具合のばらつきを抑制することができる。さらに、第１内部周壁リップ部３０ｂの横内部突起３０ｄ、および第２内部周壁リップ部３１ｂの横内部突起３１ｄは第１取付リング４５に対するガイドして機能するので、弾性膜１０をより容易にヘッド本体２に固定することができる。

【0059】

図６は、他の実施形態に係る弾性膜１０のエッジ周壁３３の近傍の拡大断面図である。図７は、図６に示す弾性膜１０の下面図である。図７では、周壁３０～３３の各リップ部３０ｂ～３３ｂが抽出して描かれている。特に説明しない構成は、上述した実施形態と同様であるため、その重複する説明を省略する。

【0060】

図６および図７に示すエッジ周壁３３のエッジ周壁リップ部３３ｂは、その下面から下方に突出する複数の（図７では、６つの）エッジ突起３３ｅ’を有している。以下の説明では、エッジ周壁リップ部３３ｂの下面から下方に突出するエッジ突起３３ｅ’を、「縦エッジ突起３３ｅ’」と称することがある。

【0061】

複数の縦エッジ突起３３ｅ’は、エッジ周壁３３の径方向に等間隔で配置されている。第２取付リング４７は、複数の縦エッジ突起３３ｅ’に対応して形成された複数の凹部６０を有している。縦エッジ突起３３ｅ’の数および凹部６０の数は、横エッジ突起３３ｅと同様に、エッジ周壁３３の周方向に等間隔で配置されている限り任意であり、好ましくは、２～８個の範囲にある。さらに、縦エッジ突起３３ｅ’の形状も、横エッジ突起３３ｅと同様に任意である。好ましくは、縦エッジ突起３３ｅ’は、その先端に向かって断面積が減少するテーパ形状を有し（図６参照）、水平断面視で円弧形状を有する（図７参照）。さらに、複数の縦エッジ突起３３ｅ’は、中心軸線ＣＬを対称軸とする回転対称にあるのが好ましい。

【0062】

本実施形態でも、エッジ周壁３３の周方向に沿って配置された複数の縦エッジ突起３３ｅ’が第２取付リング４７に形成された凹部６０に嵌め込まれた状態で、エッジ周壁３３が第２取付リング４７を介してヘッド本体２に固定される。したがって、エッジ周壁３３の周方向における変形を最小限に抑制しながら、該エッジ周壁３３をヘッド本体２に固定することができる。さらに、弾性膜１０を取付リング４５，４７を介してヘッド本体２に固定する際に、複数の縦エッジ突起３３ｅ’は、第２取付リング４７に対するガイドして機能する。したがって、弾性膜１０をヘッド本体２に容易に取り付けることができる。このように、エッジ周壁突起は、縦エッジ突起３３ｅ’のように、エッジ周壁リップ部３３ｂの下面から下方に突出していてもよい。

【0063】

図６および図７に示すように、第３内部周壁３２の第３内部周壁リップ部３２ｂは、その下面から下方に突出する複数の（図７では、６つの）内部突起３２ｄ’を有していてもよい。以下の説明では、第３内部周壁リップ部３２ｂの下面から下方に突出する内部突起３２ｄ’を、「縦内部突起３２ｄ’」と称することがある。

【0064】

複数の縦内部突起３２ｄ’は、第３内部周壁３２の周方向に沿って等間隔で配置されている。第２取付リング４７は、複数の縦内部突起３２ｄ’に対応して形成された複数の凹部６２を有している。縦内部突起３２ｄ’の数および凹部６２の数も、縦エッジ突起３３ｅ’と同様に、第３内部周壁３２の周方向に等間隔で配置されている限り任意であり、好ましくは、２～８個の範囲にある。さらに、縦内部突起３２ｄ’の形状も、縦エッジ突起３３ｅ’と同様に任意である。好ましくは、縦内部突起３２ｄ’は、その先端に向かって断面積が減少するテーパ形状を有し（図６参照）、水平断面視で円弧形状を有する（図７参照）。さらに、複数の縦内部突起３２ｄ’は、中心軸線ＣＬを対称軸とする回転対称にあるのが好ましい。

【0065】

図７の点線で示すように、第１内部周壁３０の第１内部周壁リップ部３０ｂ、および第２内部周壁３１の第２内部周壁リップ部３１ｂも、その下面から下方に突出する複数の縦内部突起３０ｄ’，３１ｄ’を有していてもよい。第１内部周壁リップ部３０ｂの縦内部突起３０ｄ’および第２内部周壁リップ部３１ｂの縦内部突起３１ｄ’は、第３内部周壁リップ部３２ｂの縦内部突起３２ｄ’と同様の構成を有する。図示はしないが、第１取付リング４５は、第１内部周壁リップ部３０ｂの縦内部突起３０ｄ’に対応して形成された複数の凹部、および第２内部周壁リップ部３１ｂの縦内部突起３１ｄ’に対応して形成された複数の凹部を有する。

【0066】

このように、エッジ周壁リップ部３３ｂだけでなく、第１内部周壁リップ部３０ｂ、第２内部周壁リップ部３１ｂ、および第３内部周壁リップ部３２ｂのそれぞれが縦内部突起３０ｄ’，３１ｄ’，３２ｄ’を有していてもよい。一実施形態では、第１内部周壁リップ部３０ｂ、第２内部周壁リップ部３１ｂ、および第３内部周壁リップ部３２ｂのうちのいずれか１つまたは２つが縦内部突起を有していてもよい。このような構成により、より効果的に弾性膜１０の周方向における変形具合のばらつきを抑制することができる。さらに、第１内部周壁リップ部３０ｂの縦内部突起３０ｄ’、および第２内部周壁リップ部３１ｂの縦内部突起３１ｄ’は第１取付リング４５に対するガイドして機能するので、弾性膜１０をより容易にヘッド本体２に固定することができる。

【0067】

図８は、さらに他の実施形態に係る弾性膜１０のエッジ周壁３３の近傍の拡大断面図である。特に説明しない本実施形態の構成は、図６および図７に示した実施形態と同様であるため、その重複する説明を省略する。

【0068】

図８に示すエッジ周壁３３のエッジ周壁リップ部３３ｂは、その上面から上方に突出する複数の縦エッジ突起３３ｅ’’を有する。本実施形態でも、複数の縦エッジ突起３３ｅ’’は、エッジ周壁３３の周方向に沿って等間隔で配置されている。ヘッド本体２は、縦エッジ突起３３ｅ’’に対応して形成された複数の凹部６１を有する。

【0069】

本実施形態では、エッジ周壁３３の周方向に沿って配置された複数の縦エッジ突起３３ｅ’’がヘッド本体２に形成された凹部６１に嵌め込まれた状態で、エッジ周壁３３が第２取付リング４７を介してヘッド本体２に固定される。この場合でも、エッジ周壁３３の周方向における変形を最小限に抑制しながら、該エッジ周壁３３をヘッド本体２に固定することができる。さらに、弾性膜１０を取付リング４５，４７を介してヘッド本体２に固定する際に、複数の縦エッジ突起３３ｅ’’は、ヘッド本体２に対するガイドして機能する。したがって、弾性膜１０をヘッド本体２に容易に取り付けることができる。このように、エッジ周壁突起は、縦エッジ突起３３ｅ’’のように、エッジ周壁リップ部３３ｂの上面から上方に突出していてもよい。

【0070】

図８に示すように、第３内部周壁３２の第３内部周壁リップ部３２ｂも、その上面から突出する縦内部突起３２ｄ’’を有していてもよい。ヘッド本体２は、縦内部突起３２ｄ’’に対応して形成された複数の凹部６３を有する。図示はしないが、第１内部周壁３０の第１内部周壁リップ部３０ｂ、および第２内部周壁３１の第２内部周壁リップ部３１ｂも、それぞれ、その上面から突出する縦内部突起を有していてもよい。この場合、ヘッド本体２は、第１内部周壁リップ部３０ｂの縦内部突起、および第２内部周壁リップ部３１ｂの縦内部突起に対応して形成された複数の凹部を有する。一実施形態では、第１内部周壁リップ部３０ｂ、第２内部周壁リップ部３１ｂ、および第３内部周壁リップ部３２ｂのうちのいずれか１つまたは２つが縦内部突起を有していてもよい。

【0071】

このような構成でも、効果的に弾性膜１０の周方向における変形具合のばらつきを抑制することができる。さらに、第１内部周壁リップ部３０ｂの縦内部突起、および第２内部周壁リップ部３１ｂの縦内部突起もヘッド本体２に対するガイドして機能するので、弾性膜１０を容易にヘッド本体２に固定することができる。

【0072】

図９は、さらに他の実施形態に係る弾性膜１０のエッジ周壁３３を拡大して示す模式図である。特に説明しない本実施形態の構成は、上述した実施形態の構成と同様であるため、その重複する説明を省略する。

【0073】

図９に示すエッジ周壁３３は、当接部１１の周端部から斜め上方に延びるエッジ周壁本体３３ａと、エッジ周壁本体３３ａの先端から延びるエッジ周壁リップ部３３ｂとを有する。上述した実施形態では、エッジ周壁本体３３ａは、当接部１１の周端部から鉛直方向に上方に延びているが、本発明は、これら実施形態に限定されない。エッジ周壁本体３３ａの形状は任意であり、例えば、図９に示すように斜め上方に延びていてもよい。

【0074】

さらに、図９に示すエッジ周壁３３のエッジ周壁リップ部３３ｂは、その上面から上方に突出するエッジ突起３３ｅ’’を有している。しかしながら、図９の点線で示すように、エッジ周壁リップ部３３ｂは、エッジ周壁リップ部３３ｂの下面から下方に突出するエッジ突起３３ｅ’を有していてもよいし、エッジ周壁リップ部３３ｂの先端から径方向に突出する横エッジ突起３３ｅを有していてもよい。

【0075】

図示はしないが、内部周壁３０，３１，３２の内部周壁本体３０ａ，３１ａ，３２ａの形状も任意であり、図９に示すエッジ周壁３３のように、当接部１１から斜め上方に延びていてもよい。さらに、内部周壁３０，３１，３２の内部周壁本体３０ａ，３１ａ，３２ａの形状は互いに同一であってもよいし、異なっていてもよい。

【0076】

上述した実施形態では、エッジ周壁３３のエッジ周壁リップ部３３ｂは、横エッジ突起３３ｅ、縦エッジ突起３３ｅ’、および縦エッジ突起３３ｅ’’のいずれかを有しているが、本発明はこれらの実施形態に限定されない。例えば、エッジ周壁リップ部３３ｂは、横エッジ突起３３ｅ、縦エッジ突起３３ｅ’、および縦エッジ突起３３ｅ’’のうちの２つを有していてもよいし、これら突起３３ｅ，３３ｅ’，３３ｅ’’の全てを有していてもよい。同様に、各内部周壁リップ部３０ｂ～３２ｂは、各内部周壁リップ部３０ｂ～３２ｂの先端から径方向に突出する横内部突起、各内部周壁リップ部３０ｂ～３２ｂの上面から突出する縦内部突起、および各内部周壁リップ部３０ｂ～３２ｂの下面から突出する縦内部突起のうちのの２つを有していてもよいし、これら突起の全てを有していてもよい。

【0077】

上述した実施形態は、本発明が属する技術分野における通常の知識を有する者が本発明を実施できることを目的として記載されたものである。上記実施形態の種々の変形例は、当業者であれば当然になしうることであり、本発明の技術的思想は他の実施形態にも適用しうる。したがって、本発明は、記載された実施形態に限定されることはなく、特許請求の範囲によって定義される技術的思想に従った最も広い範囲に解釈されるものである。

【符号の説明】

【0078】

１ 基板保持装置（研磨ヘッド）
２ ヘッド本体
３ リテーナリング
１０ 弾性膜（メンブレン）
１１ 当接部
１６ａ，１６ｂ，１６ｃ，１６ｄ 圧力室
１８ 研磨テーブル
１９ 研磨パッド
２７ ヘッドシャフト
３０，３１，３２ 内部周壁
３０ａ，３１ａ，３２ａ 内部周壁本体
３０ｂ，３１ｂ，３２ｂ 内部周壁リップ部
３０ｃ，３１ｃ，３２ｃ シール突起
３２ｄ 横内部突起
３２ｄ’，３２ｄ’’ 縦内部突起
３３ エッジ周壁
３３ａ エッジ周壁本体
３３ｂ エッジ周壁リップ部
３３ｃ シール突起
３３ｅ 横エッジ突起
３３ｅ’，３３ｅ’’ 縦エッジ突起
４０ 制御装置
４５ 内部取付リング（内部取付部材）
４７ エッジ取付リング（エッジ取付部材）
５４，５５ シール凹部
６０ 第１凹部
６１ 第２凹部
６２ 第３凹部
６３ 第４凹部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】