特許7344534IP Force 特許公報全文掲載

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ノズル管理装置、ノズル管理方法、及び塗布装置

発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

しかしながら、ノズル先端を液体に浸漬させると、毛細管現象により液体がノズル先端からスリットノズルの内部に浸入し、基板への塗布時に塗布ムラが発生する場合がある。また、ノズル先端に液体を吹き付ける場合であっても、ノズル先端に付着した液滴がスリットノズルの内部に浸入し、同様の問題が生じる場合がある。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明の第１態様においては、ノズル管理装置を提供する。ノズル管理装置は、ノズルから吐出される液体に含まれる溶媒を気化させて所定ガスを生成するガス生成部を備える。ノズル管理装置は、溶媒のミストを生成するミスト生成部を備える。ノズル管理装置は、ガス生成部により生成された所定ガスをノズルの先端の周辺領域に供給するガス供給部を備える。ガス生成部は、ミスト生成部により生成されたミストと、溶媒とを気化さ・・・　続きを知財ポータルサイト IP Force にログインして見る

発明の効果[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明の態様によれば、ノズル先端の乾燥を防止しつつ、基板への塗布時に塗布ムラが生じるのを防止することができる。

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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋

【図1】 第１塗布装置の一例を模式的に示す側面図である。
【図2】 第１塗布装置の一例を模式的に示す平面図である。
【図3】 ノズルの一例を示す図である。
【図4】 ノズル管理装置の一例を示す図である。
【図5】 ノズルの先端に所定ガスを供給する供給動作の一例を示す図である。
【図6】 第１塗布装置の制御方法の一例を示すフローチャートである。
【図7】 第１塗布装置の動作の一例を示す図である。
【図8】 第１塗布装置の動作の一例を示す図である。
【図9】 第１塗布装置の動作の一例を示す図である。
【図10】 第２ノズル管理装置の一例を示す図である。
【図11】 第３塗布装置の一例を模式的に示す側面図である。
【図12】 第４塗布装置の一例を模式的に示す側面図である。
【図13】 第５塗布装置の一例を模式的に示す側面図である。
【図14】 第６塗布装置の一例を模式的に示す平面図である。

代表図 図1本件の代表的な図

Ｇ・・・所定ガス Ｐ１・・・待機位置 Ｐ２・・・塗布位置 Ｐ３・・・予備吐出位置 Ｑ１・・・塗布液 Ｑ２、Ｑ３・・・溶媒 Ｓ・・・基板 １０・・・ステージ １１・・・載置面 ２０・・・ノズル ２１・・・先端 ２２・・・位置検出部 ２５・・・周辺領域 ３０、１３０、２３０、３３０、４３０、５３０・・・ノズル管理装置 ３１、１３１・・・ガス生成部 ３２、１３２、２３２、４３２・・・ガス供給部 ３３・・・ノズル受 ３４・・・加熱部 ３４ｂ・・・供給管（冷却部） ３４ｃ・・・ヒータ ３５・・・不活性ガス供給部 ３６・・・ミスト生成部 ３７・・・溶媒補充部 ３８・・・流量調整部 ３９・・・混合部 ４０・・・移動装置 ５０・・・制御部 ５１・・・動作制御部 ６０・・・予備吐出部 １００、３００、４００、５００、６００・・・塗布装置 １３９・・・混合部

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