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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2023-09-11
(45)【発行日】2023-09-20
(54)【発明の名称】光学フィルタ
(51)【国際特許分類】
G02B 5/28 20060101AFI20230912BHJP
G02B 5/22 20060101ALI20230912BHJP
G02B 5/26 20060101ALI20230912BHJP
B32B 7/023 20190101ALI20230912BHJP
【ＦＩ】
G02B5/28
G02B5/22
G02B5/26
B32B7/023
【請求項の数】
9
(21)【出願番号】P 2021509103
(86)(22)【出願日】2020-03-16
(86)【国際出願番号】 JP2020011524
(87)【国際公開番号】W WO2020196051
(87)【国際公開日】2020-10-01
【審査請求日】2022-08-04
(31)【優先権主張番号】P 2019063526
(32)【優先日】2019-03-28
(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP
(73)【特許権者】
【識別番号】000000044
【氏名又は名称】ＡＧＣ株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100107766
【弁理士】
【氏名又は名称】伊東 忠重
(74)【代理人】
【識別番号】100070150
【弁理士】
【氏名又は名称】伊東 忠彦
(72)【発明者】
【氏名】長田 崇
(72)【発明者】
【氏名】坂上 貴尋
【審査官】酒井 康博
(56)【参考文献】
【文献】特開２０１４－０４８４０２（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１８－０６０１６３（ＪＰ，Ａ）
【文献】国際公開第２０１８／０４３５６４（ＷＯ，Ａ１）
【文献】国際公開第２０１４／１０３９２１（ＷＯ，Ａ１）
【文献】特開２００６－０７８６７２（ＪＰ，Ａ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｇ０２Ｂ ５／２０ － ５／２８
Ｂ３２Ｂ ７／０２３
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
光学フィルタであって、４３０ｎｍ～６５０ｎｍの波長範囲として定められる特定可視領域における光の平均透過率が８０％以上であり、９００ｎｍ～１０００ｎｍの波長範囲として定められる特定赤外領域における光の平均透過率が２５％～８５％のガラス基板と、
前記特定可視領域における光の平均透過率が８０％以上であり、前記特定赤外領域における光の平均透過率が４５％～６５％の範囲であり、前記特定可視領域と前記特定赤外領域の間に、光を遮断する第１の遮断帯を有する第１の光学多層膜と、
前記特定可視領域における光の平均透過率が８０％以上であり、前記特定赤外領域における光の平均透過率が４５％～６５％の範囲であり、前記特定赤外領域よりも長波長側に、光を遮断する第２の遮断帯を有する第２の光学多層膜と、
を有する、光学フィルタ。
【請求項2】
前記ガラス基板の前記特定赤外領域における光の平均透過率は、前記第１の光学多層膜と前記第２の光学多層膜との組み合わせによる前記特定赤外領域における光の平均透過率よりも低い、請求項１に記載の光学フィルタ。
【請求項3】
以下の（Ｉ）式で表される前記ガラス基板の吸収寄与度Ｐが３２％以上である、請求項１または２に記載の光学フィルタ：吸収寄与度Ｐ（％）＝（Ｖ１／Ｖ２）×１００ （Ｉ）式
ここで、Ｖ１は、
Ｖ１＝１００（％）－
前記ガラス基板の前記特定赤外領域における平均透過率（％） （ＩＩ）式
で表され、Ｖ２は、
Ｖ２＝１００（％）－
当該光学フィルタの前記特定赤外領域における平均透過率（％） （ＩＩＩ）式
で表される。
【請求項4】
当該光学フィルタは、第２特定赤外領域と称される１１００ｎｍ～１２００ｎｍの波長範囲における光の平均透過率が２．５％以下であり、以下の（ＩＶ）式で表される前記ガラス基板の第２の吸収寄与度Ｑが９％以上である、請求項１乃至３のいずれか一つに記載の光学フィルタ：
第２の吸収寄与度Ｑ（％）＝（Ｗ１／Ｗ２）×１００ （ＩＶ）式
ここで、Ｗ１は、
Ｗ１＝１００（％）－
前記ガラス基板の前記第２特定赤外領域における平均透過率（％） （Ｖ）式
で表され、Ｗ２は、
Ｗ２＝１００（％）－
当該光学フィルタの前記第２特定赤外領域における平均透過率（％） （ＶＩ）式
で表される。
【請求項5】
前記ガラス基板は、鉄および／または銅を含有する、請求項１乃至４のいずれか一つに記載の光学フィルタ。
【請求項6】
前記ガラス基板は、相互に対向する第１の主面および第２の主面を有し、前記第１の光学多層膜および前記第２の光学多層膜は、いずれも前記第１の主面の側に配置される、請求項１乃至５のいずれか一つに記載の光学フィルタ。
【請求項7】
前記ガラス基板は、相互に対向する第１の主面および第２の主面を有し、前記第１の光学多層膜は、前記第１の主面の側に配置され、
前記第２の光学多層膜は、前記第２の主面の側に配置される、請求項１乃至５のいずれか一つに記載の光学フィルタ。
【請求項8】
前記特定可視領域において、光の平均透過率が８０％以上である、請求項１乃至７のいずれか一つに記載の光学フィルタ。
【請求項9】
さらに、前記特定可視領域の光を遮断する第３の光学多層膜を備える、請求項１乃至８のいずれか一つに記載の光学フィルタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、赤外領域の波長の光を透過する光学フィルタに関する。
【背景技術】
【0002】
ＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ Ｃｏｕｐｌｅｄ Ｄｅｖｉｃｅ）イメージセンサやＣＭＯＳ（Ｃｏｍｐｌｅｍｅｎｔａｒｙ Ｍｅｔａｌ Ｏｘｉｄｅ Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ）イメージセンサ等の固体撮像素子は、人間の視感度特性に比べて赤外光に強い感度を有する。このため、例えばデジタルカメラやデジタルビデオ等では、赤外線カットフィルタ等の光学フィルタを用いることにより分光補正が行われている。
【0003】
一方、昼夜連続で撮像を行う監視カメラ等の撮像装置では、昼間は可視領域の波長を有する光が入射することで撮像を行うことができる。しかしながら、夜間は暗視下であるため、赤外領域の波長を有する光を取り込んで撮像を行う必要がある。このため、可視領域および赤外領域の両方の光を透過する光学フィルタを用いて分光補正を行うことが必要となる。
【0004】
なお、可視領域と赤外領域の両方の光を透過する光学フィルタは、基板の上に設置される光学多層膜を適正に設計することにより構成可能である。すなわち、高屈折率層と低屈折率層の繰り返し構造を有する光学多層膜を形成することにより、前述のような光学特性を発現させることができる。
【0005】
例えば、特許文献１、２には、高屈折率層と低屈折率層の繰り返し構造により、可視領域と赤外領域の両方の光を透過できる光学フィルタが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0006】
【文献】特開２００６－１０７６４号公報
【文献】特開２０１６－１０９８０９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0007】
従来の光学フィルタでは、光学多層膜に含まれる層の数が増加すると、量産時に光学フィルタごとの光学特性のばらつきが大きくなる傾向にある。これは、光学多層膜に含まれる層の数が多くなると、それぞれの層の厚さの変動が、光学特性に及ぼす影響が無視できなくなるからである。特に、赤外領域では、光学多層膜を構成する層の数が増加すると、透過率等の光学特性に無視できないほどのばらつきが生じ得る。
【0008】
本発明は、このような背景に鑑みなされたものであり、本発明では、光学多層膜に含まれる層の数が多くなっても、光学特性のばらつきを有意に抑制することが可能な光学フィルタを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0009】
本発明では、光学フィルタであって、
４３０ｎｍ～６５０ｎｍの波長範囲として定められる特定可視領域における光の平均透過率が８０％以上であり、９００ｎｍ～１０００ｎｍの波長範囲として定められる特定赤外領域における光の平均透過率が２５％～８５％のガラス基板と、
前記特定可視領域における光の平均透過率が８０％以上であり、前記特定赤外領域における光の平均透過率が４５％～６５％の範囲であり、前記特定可視領域と前記特定赤外領域の間に、光を遮断する第１の遮断帯を有する第１の光学多層膜と、
前記特定可視領域における光の平均透過率が８０％以上であり、前記特定赤外領域における光の平均透過率が４５％～６５％の範囲であり、前記特定赤外領域よりも長波長側に、光を遮断する第２の遮断帯を有する第２の光学多層膜と、
を有する、光学フィルタが提供される。
４３０ｎｍ～６５０ｎｍの波長範囲として定められる特定可視領域における光の平均透過率が８０％以上であり、９００ｎｍ～１０００ｎｍの波長範囲として定められる特定赤外領域における光の平均透過率が２５％～８５％のガラス基板と、
前記特定可視領域における光の平均透過率が８０％以上であり、前記特定赤外領域における光の平均透過率が４５％～６５％の範囲であり、前記特定可視領域と前記特定赤外領域の間に、光を遮断する第１の遮断帯を有する第１の光学多層膜と、
前記特定可視領域における光の平均透過率が８０％以上であり、前記特定赤外領域における光の平均透過率が４５％～６５％の範囲であり、前記特定赤外領域よりも長波長側に、光を遮断する第２の遮断帯を有する第２の光学多層膜と、
を有する、光学フィルタが提供される。
【発明の効果】
【0010】
本発明では、光学多層膜に含まれる層の数が多くなっても、光学特性のばらつきを有意に抑制することが可能な光学フィルタを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【0011】
【図1】本発明の一実施形態による光学フィルタに含まれるガラス基板の透過率特性の一例を、模式的に示した図である。
【図2】本発明の一実施形態による光学フィルタに含まれる第１の光学多層膜の透過率特性の一例を、模式的に示した図である。
【図3】本発明の一実施形態による光学フィルタに含まれる第２の光学多層膜の透過率特性の一例を、模式的に示した図である。
【図4】本発明の一実施形態による光学フィルタにおいて得られる透過率特性の一例を、模式的に示した図である。
【図5】本発明の一実施形態による光学フィルタの断面を模式的に示した図である。
【図6】本発明の別の実施形態による光学フィルタの断面を模式的に示した図である。
【図7】本発明の一実施形態に使用されるガラスＡの光学特性を示したグラフである。
【図8】本発明の一実施形態に使用される第１の光学多層膜の、シミュレーション計算によって得られた光学特性を示したグラフである
【図9】本発明の一実施形態に使用される第２の光学多層膜の、シミュレーション計算によって得られた光学特性を示したグラフである
【図10】本発明の一実施形態に係る光学フィルタの、シミュレーション計算によって得られた光学特性を示したグラフである。
【図11】本発明の別の実施形態に使用されるガラスＢの光学特性を示したグラフである。
【図12】本発明の別の実施形態に係る光学フィルタの、シミュレーション計算によって得られた光学特性を示したグラフである。
【図13】比較例に使用されるガラスＣの光学特性を示したグラフである。
【図14】比較例に係る光学フィルタの、シミュレーション計算によって得られた光学特性を示したグラフである。
【発明を実施するための形態】
【0012】
以下、図面を参照して、本発明の一実施形態について説明する。
【0013】
なお、本発明の一実施形態におけるガラス基板および光学フィルタの透過率は、特に記載がない限り、基板と空気との界面の反射を考慮した値である。また、光学多層膜の透過率は、白板ガラスに光学多層膜を設けた場合の透過率を表し、この透過率は、白板ガラスの光学多層膜が設けられていない裏面側の反射を考慮した値である。
【0014】
本発明の一実施形態では、
光学フィルタであって、
４３０ｎｍ～６５０ｎｍの波長範囲として定められる特定可視領域における光の平均透過率が８０％以上であり、９００ｎｍ～１０００ｎｍの波長範囲として定められる特定赤外領域における光の平均透過率が２５％～８５％のガラス基板と、
前記特定可視領域における光の平均透過率が８０％以上であり、前記特定赤外領域における光の平均透過率が４５％～６５％の範囲であり、前記特定可視領域と前記特定赤外領域の間に、光を遮断する第１の遮断帯を有する第１の光学多層膜と、
前記特定可視領域における光の平均透過率が８０％以上であり、前記特定赤外領域における光の平均透過率が４５％～６５％の範囲であり、前記特定赤外領域よりも長波長側に、光を遮断する第２の遮断帯を有する第２の光学多層膜と、
を有する、光学フィルタが提供される。
光学フィルタであって、
４３０ｎｍ～６５０ｎｍの波長範囲として定められる特定可視領域における光の平均透過率が８０％以上であり、９００ｎｍ～１０００ｎｍの波長範囲として定められる特定赤外領域における光の平均透過率が２５％～８５％のガラス基板と、
前記特定可視領域における光の平均透過率が８０％以上であり、前記特定赤外領域における光の平均透過率が４５％～６５％の範囲であり、前記特定可視領域と前記特定赤外領域の間に、光を遮断する第１の遮断帯を有する第１の光学多層膜と、
前記特定可視領域における光の平均透過率が８０％以上であり、前記特定赤外領域における光の平均透過率が４５％～６５％の範囲であり、前記特定赤外領域よりも長波長側に、光を遮断する第２の遮断帯を有する第２の光学多層膜と、
を有する、光学フィルタが提供される。
【0015】
本願において、「特定可視領域」とは、波長が４３０ｎｍ～６５０ｎｍの範囲を表し、「特定赤外領域」とは、波長が９００ｎｍ～１０００ｎｍの範囲を表す。また、後述するように、波長１１００ｎｍ～１２００ｎｍの範囲を、特に「第２特定赤外領域」と称する。
【0016】
本発明の一実施形態による光学フィルタは、ガラス基板を有する。該ガラス基板は、特定可視領域における光の平均透過率が８０％以上であり、特定赤外領域における光の平均透過率が２５％～８５％であるという特徴を有する。
【0017】
図１には、本発明の一実施形態による光学フィルタに使用されるガラス基板の透過率特性の一例を、模式的に示す。
【0018】
図１に示すように、このガラス基板は、特定可視領域における透過率が高くなっており、特定可視領域における平均透過率は、８０％以上である。
【0019】
また、ガラス基板は、特定赤外領域では、特定可視領域に比べて透過率が低下する特徴を有し、特定赤外領域における平均透過率は、２５％～８５％の範囲である。
【0020】
また、本発明の一実施形態による光学フィルタは、第１の光学多層膜を有する。
【0021】
該第１の光学多層膜は、特定可視領域における光の平均透過率が８０％以上であり、特定赤外領域における光の平均透過率が４５％～６５％の範囲である。また、第１の光学多層膜は、前記特定可視領域と前記特定赤外領域の間に、光を遮断する第１の遮断帯を有するという特徴を有する。
【0022】
図２には、本発明の一実施形態による光学フィルタに使用される第１の光学多層膜の透過率特性の一例を、模式的に示す。
【0023】
図２に示すように、第１の光学多層膜は、特定可視領域に第１の透過帯Ｂｔ１を有し、特定赤外領域に第２の透過帯Ｂｔ２を有する。また、第１の光学多層膜は、第１の透過帯Ｂｔ１と、第２の透過帯Ｂｔ２との間に、第１の遮断帯Ｃｔ１を有する。
【0024】
第１の光学多層膜において、第１の透過帯Ｂｔ１は、高い透過率を有し、例えば、特定可視領域の平均透過率は、８０％以上である。
【0025】
また、第２の透過帯Ｂｔ２は、中程度以上の透過率を有し、例えば、特定赤外領域の平均透過率は、４５％～６５％の範囲である。
【0026】
一方、第１の遮断帯Ｃｔ１は、低い透過率を有し、例えば、波長７８０ｎｍ～８３０ｎｍの範囲における平均透過率は、３％以下である。
【0027】
なお、第１の光学多層膜において、特定赤外領域よりも高い波長における光学特性は、特に限られない。従って、図２に示した曲線は、単なる一例である。
【0028】
さらに、本発明の一実施形態による光学フィルタは、第２の光学多層膜を有する。
【0029】
該第２の光学多層膜は、特定可視領域における光の平均透過率が８０％以上であり、特定赤外領域における光の平均透過率が４５％～６５％の範囲である。また、第２の光学多層膜は、特定赤外領域よりも長波長側に、光を遮断する第２の遮断帯を有するという特徴を有する。
【0030】
図３には、本発明の一実施形態による光学フィルタに使用される第２の光学多層膜の透過率特性の一例を、模式的に示す。
【0031】
図３に示すように、第２の光学多層膜は、特定可視領域に第１の透過帯Ｂｕ１を有し、特定赤外領域に第２の透過帯Ｂｕ２を有する。また、第２の光学多層膜は、第２の透過帯Ｂｕ２よりも長波長側に、第２の遮断帯Ｃｕ２を有する。
【0032】
第２の光学多層膜において、第１の透過帯Ｂｕ１は、高い透過率を有する。例えば、特定可視領域の平均透過率は、８０％以上である。
【0033】
また、第２の透過帯Ｂｕ２は、中程度の透過率を有し、例えば、特定赤外領域の平均透過率は、４５％～６５％の範囲である。
【0034】
第２の遮断帯Ｃｕ２は、低い透過率を有し、例えば、波長１０５０ｎｍ～１２００ｎｍの範囲における平均透過率は、５％以下である。
【0035】
なお、第２の光学多層膜において、特定可視領域～特定赤外領域の間の光学特性は、特に限られない。従って、図３に示した曲線は、単なる一例である。
【0036】
本発明の一実施形態による光学フィルタは、前述のような特徴を有するガラス基板、第１の光学多層膜および第２の光学多層膜を有するため、光学フィルタの光学特性は、各部材の光学特性の組み合わせとして、図４のように表される。
【0037】
図４には、本発明の一実施形態による光学フィルタにおいて得られる透過率特性の一例を、模式的に示す。
【0038】
図４に示すように、本発明の一実施形態による光学フィルタの透過率曲線は、特定可視領域に第１の透過帯Ｂａ１を有し、特定赤外領域に第２の透過帯Ｂａ２を有する。
【0039】
また、本発明の一実施形態による光学フィルタの透過率曲線は、第１の透過帯Ｂａ１と第２の透過帯Ｂａ２の間に、第１の遮断帯Ｃａ１を有し、第２の透過帯Ｂａ２よりも長波長側に第２の遮断帯Ｃａ２を有する。
【0040】
第１の透過帯Ｂａ１は、高い透過率を有し、例えば、特定可視領域における平均透過率は、８０％以上である。また、第２の透過帯Ｂａ２は、中程度の透過率を有し、例えば、特定赤外領域における平均透過率は、４０％～９０％の範囲である。
【0041】
第１の遮断帯Ｃａ１は、低い透過率を有し、例えば、波長７００ｎｍ～８５０ｎｍの範囲における平均透過率は、５％以下である。また、第２の遮断帯Ｃａ２は、低い透過率を有し、例えば、波長１０５０ｎｍ～１２００ｎｍの範囲における平均透過率は、５％以下である。
【0042】
なお、図４に示した例では、第１の透過帯Ｂａ１は、波長４３０ｎｍ～６５０ｎｍの範囲にわたって認められ、第２の透過帯Ｂａ２は、波長９００ｎｍ～１０００ｎｍの範囲にわたって認められている。
【0043】
しかしながら、これは単なる一例であり、特定可視領域における平均透過率が８０％以上である限り、第１の透過帯Ｂａ１は、より狭い領域に存在してもよい。同様に、特定赤外領域における平均透過率が４０％～６０％の範囲である限り、第２の透過帯Ｂａ２は、より狭い領域に存在してもよい。
【0044】
また、図４に示した例では、第１の遮断帯Ｃａ１は、波長７００ｎｍ～８５０ｎｍの範囲に認められ、第２の遮断帯Ｃａ２は、波長１０００ｎｍ以上の領域に認められる。
【0045】
しかしながら、これは単なる一例であって、波長７００ｎｍ～８５０ｎｍの範囲における平均透過率が５％以下である限り、第１の遮断帯Ｃａ１は、より狭い領域に存在してもよい。
【0046】
第２の遮断帯Ｃａ２についても同様のことが言える。
【0047】
ここで、図４から明らかなように、本発明の一実施形態による光学フィルタは、特定可視領域および特定赤外領域の両方において、光を透過できる。このため本発明の一実施形態による光学フィルタは、例えば、昼夜連続で撮像を行う撮像装置等に利用できる。
【0048】
また、本発明の一実施形態による光学フィルタにおいて、ガラス基板は、特定赤外領域における光の平均透過率が２５％～８５％であるという特徴を有する。
【0049】
従来の光学フィルタでは、光学多層膜に含まれる層の数が増加すると、これに伴い、光学特性のばらつきが大きくなる傾向にある。これは、光学多層膜に含まれる層の数が多くなると、それぞれの層の厚さが僅かに変動しただけでも、光学特性に及ぼす影響が無視できなくなるからである。特に、特定赤外領域では、光学多層膜を構成する層の数が増加すると、透過率等の光学特性に、無視できないほどの大きなばらつきが生じてしまう。
【0050】
しかしながら、光学フィルタの一部材として、前述の特徴を有するガラス基板を使用した場合、特定赤外領域において、光の一部が吸収される。このため、第１の光学多層膜における第２の透過帯Ｂｔ２、および第２の光学多層膜における第２の透過帯Ｂｕ２に生じ得る特性ばらつきの影響は、ガラス基板による光の吸収特性により、有意に軽減または排除される。
【0051】
従って、本発明の一実施形態による光学フィルタでは、第１の光学多層膜および／または第２の光学多層膜に含まれる層の数が多くなっても、ガラス基板、第１の光学多層膜、および第２の光学多層膜の組み合わせによって発現する、第２の透過帯Ｂａ２における光学特性のばらつきを有意に抑制することが可能となる。
【0052】
なお、本発明の一実施形態による光学フィルタでは、ガラス基板による光の吸収特性のため、特定赤外領域における光学フィルタの透過率は、幾分低下する。しかしながら、それでも、本発明の一実施形態による光学フィルタの第２の透過帯Ｂａ２の透過率は、例えば４０％～６０％の範囲に維持することができる。
【0053】
さらに、本発明の一実施形態による光学フィルタでは、前述の特徴により、第２の透過帯Ｂａ２に生じ得る、入射光の角度依存性の問題も有意に抑制できる。
【0054】
すなわち、従来の光学フィルタでは、光学多層膜の好適な組み合わせにより、特定赤外領域に透過帯が発現される。しかしながら、そのような光学多層膜の光学特性は、光の入射角度によって変化するという問題がある。
【0055】
一方、本発明の一実施形態による光学フィルタでは、特定赤外領域における第２の透過帯Ｂａ２は、ガラス基板の吸収特性により、例えば４０％～６０％の範囲まで低下される。また、このようなガラス基板の吸収特性は、入射角度依存性が比較的小さいという特徴を有する。
【0056】
このため、本発明の一実施形態による光学フィルタでは、第２の透過帯Ｂａ２の光学特性が入射光の角度に影響を受け難くなり、角度依存性の問題を軽減することができる。
【0057】
（本発明の一実施形態による光学フィルタ）
以下、図５を参照して、本発明の一実施形態についてより詳しく説明する。
以下、図５を参照して、本発明の一実施形態についてより詳しく説明する。
【0058】
図５には、本発明の一実施形態による光学フィルタ（以下、「第１の光学フィルタ」と称する）１００の断面を模式的に示す。
【0059】
図５に示すように、第１の光学フィルタ１００は、ガラス基板１１０と、第１の光学多層膜１３０と、第２の光学多層膜１６０と、を有する。
【0060】
ガラス基板１１０は、相互に対向する第１の主面１１２および第２の主面１１４を有し、第１の光学多層膜１３０および第２の光学多層膜１６０は、いずれもガラス基板１１０の第１の主面１１２上に配置される。
【0061】
なお、図１に示した例では、第２の光学多層膜１６０は、第１の光学多層膜１３０に比べてより基板側に設置されている。しかしながら、第１の光学多層膜１３０および第２の光学多層膜１６０は、逆の順番で配置されてもよい。
【0062】
ガラス基板１１０は、特定可視領域における光の平均透過率が８０％以上である。また、ガラス基板１１０は、特定赤外領域における光の平均透過率が２５％～８５％の範囲にある。ガラス基板１１０は、例えば、前述の図１に示したような透過率特性を有する。
【0063】
第１の光学多層膜１３０は、特定可視領域における光の平均透過率が８０％以上である。また、第１の光学多層膜１３０は、特定赤外領域における光の平均透過率が４５％～６５％の範囲であり、特定可視領域と特定赤外領域の間に、光を遮断する第１の遮断帯を有する。
【0064】
第１の光学多層膜１３０は、例えば、前述の図２に示したような透過率特性を有してもよい。
【0065】
第１の光学多層膜１３０は、「高屈折率層」と「低屈折率層」との繰り返し構造を有する。なお、「高屈折率層」とは、波長５００ｎｍにおける屈折率が２．０以上の層を意味し、「低屈折率層」とは、波長５００ｎｍにおける屈折率が１．６以下の層を意味する。
【0066】
例えば、図５に示した例では、第１の光学多層膜１３０は、第１の高屈折率層１３２－１、第１の低屈折率層１３２－２、第２の高屈折率層１３２－３、第２の低屈折率層１３２－４、……、第ｍの低屈折率層１３２－ｍを有する。ここで、ｍは、例えば２～１００の整数である。
【0067】
一方、第２の光学多層膜１６０は、特定可視領域における光の平均透過率が８０％以上である。また、第２の光学多層膜１６０は、特定赤外領域における光の平均透過率が４５％～６５％の範囲であり、特定赤外領域よりも長波長側に、光を遮断する第２の遮断帯を有する。
【0068】
第２の光学多層膜１６０は、例えば、前述の図３に示したような透過率特性を有してもよい。
【0069】
第２の光学多層膜１６０も、第１の光学多層膜１３０と同様、「高屈折率層」と「低屈折率層」との繰り返し構造を有する。
【0070】
例えば、図５に示した例では、第２の光学多層膜１６０は、第１の高屈折率層１６２－１、第１の低屈折率層１６２－２、第２の高屈折率層１６２－３、第２の低屈折率層１６２－４、……、第ｎの低屈折率層１６２－ｎを有する。ここで、ｎは、例えば、２～１３０の整数である。
【0071】
ただし、後述するように、第２の光学多層膜１６０の構成、例えば各層の厚さは、第１の光学多層膜１３０とは異なっている。
【0072】
このような構成を有する第１の光学フィルタ１００では、前述の図４に示したような透過率特性を得ることができる。
【0073】
第１の光学フィルタ１００では、前述のように、第１の光学多層膜１３０および第２の光学多層膜１６０に生じ得る特性ばらつきの影響は、ガラス基板１１０による光の吸収特性により、有意に軽減または排除される。
【0074】
従って、第１の光学フィルタ１００では、第１の光学多層膜１３０および／または第２の光学多層膜１６０に含まれる層の数が多くなっても、第２の透過帯Ｂａ２における光学特性のばらつきを、有意に抑制することができる。
【0075】
また、第１の光学フィルタ１００では、特定赤外領域における光の入射角度依存性を有意に抑制できる。
【0076】
（光学フィルタの各構成部材について）
次に、本発明の一実施形態による光学フィルタに使用される各部材について、より詳しく説明する。
次に、本発明の一実施形態による光学フィルタに使用される各部材について、より詳しく説明する。
【0077】
なお、以下の説明では、明確化のため、各部材を表す際に、図５に示した参照符号を使用する。
【0078】
（ガラス基板１１０）
ガラス基板１１０は、前述のような特徴を有する限り、いかなる組成を有してもよい。
ガラス基板１１０は、前述のような特徴を有する限り、いかなる組成を有してもよい。
【0079】
ガラス基板１１０は、赤外線吸収成分を含有する、赤外線吸収ガラスであってもよい。
【0080】
赤外線吸収成分は、例えば、鉄および／または銅であってもよい。赤外線吸収成分の量は、０．０５カチオン％以上であってもよい。
ガラス基板１１０は、例えば、銅を含有するフツリン酸ガラス、銅を含有するリン酸ガラス、鉄を含有するリン酸ガラスなどが挙げられるが、これらに限らない。
ガラス基板１１０は、例えば、銅を含有するフツリン酸ガラス、銅を含有するリン酸ガラス、鉄を含有するリン酸ガラスなどが挙げられるが、これらに限らない。
【0081】
ガラス基板１１０は、前述のように、特定可視領域において、８０％以上の平均透過率を有する。特定可視領域における平均透過率は、８１％以上であることが好ましく、８２％以上であることがより好ましい。
【0082】
また、ガラス基板１１０は、特定赤外領域において、２５％～８５％の平均透過率を有する。特定赤外領域における平均透過率は、３０％～８０％の範囲であることが好ましく、３５％～７５％の範囲であることがより好ましい。
【0083】
ガラス基板１１０の厚さは、特に限られない。ただし、第１の光学フィルタ１００が小型デバイスに使用される場合、第１の光学フィルタ１００の薄肉化のため、ガラス基板１１０の厚さは、０．０５ｍｍ～２ｍｍの範囲であることが好ましい。
【0084】
なお、ガラス基板１１０は、特定赤外領域における平均透過率をＴｇｌａｓｓ（％）としたとき、
Ｔｇｌａｓｓ＜Ｔｔ１＋ｔ２（１）式
を満たしてもよい。ここで、Ｔｔ１＋ｔ２（％）は、第１の光学多層膜１３０と第２の光学多層膜１６０の組み合わせによって得られる、特定赤外領域における平均透過率である。
Ｔｇｌａｓｓ＜Ｔｔ１＋ｔ２（１）式
を満たしてもよい。ここで、Ｔｔ１＋ｔ２（％）は、第１の光学多層膜１３０と第２の光学多層膜１６０の組み合わせによって得られる、特定赤外領域における平均透過率である。
【0085】
（１）式を満たす場合、第１の光学フィルタ１００において、量産上の透過率のばらつきを少なくすることができるという効果が得られる。
【0086】
（第１の光学多層膜１３０）
第１の光学多層膜１３０は、前述のような特徴を有する限り、いかなる層構成を有してもよい。
第１の光学多層膜１３０は、前述のような特徴を有する限り、いかなる層構成を有してもよい。
【0087】
第１の光学多層膜１３０は、前述のように、高屈折率層と低屈折率層の繰り返し構造を有してもよい。
【0088】
繰り返しの回数は、特に限られないが、例えば、１回～５０回の範囲である（すなわち層数は、２～１００）。繰り返しの回数は、２０回以下であることが好ましく、１５回以下であることがより好ましい。
【0089】
なお、前述のように、第１の光学フィルタ１００では、第１の光学多層膜１３０における繰り返し回数を、例えば２０回以上に高めても、光学特性のばらつきを有意に抑制することができる。このため、従来に比べて、繰り返し回数を有意に増やすことができ、これにより、より精密な光学フィルタの光学設計を行うことが可能となる。
【0090】
高屈折率層としては、例えば、酸化チタン、酸化タンタル、および酸化ニオブなどが挙げられる。低屈折率層としては、例えば、酸化ケイ素およびフッ化マグネシウムなどが挙げられる。例えば、波長５００ｎｍにおける酸化チタンの屈折率は、結晶状態にもよるが、一般に、２．３～２．８の範囲であり、酸化ケイ素の屈折率は、一般に１．４～１．５の範囲である。
【0091】
第１の光学多層膜１３０において、前述の図２に示したような透過率特性は、各高屈折率層および各低屈折率層の厚さを調整することにより、得ることができる。
【0092】
（第２の光学多層膜１６０）
第２の光学多層膜１６０は、前述のような特徴を有する限り、いかなる層構成を有してもよい。
第２の光学多層膜１６０は、前述のような特徴を有する限り、いかなる層構成を有してもよい。
【0093】
第２の光学多層膜１６０は、前述のように、高屈折率層と低屈折率層の繰り返し構造を有してもよい。
【0094】
繰り返しの回数は、特に限られないが、例えば、１回～７０回の範囲である（すなわち層数は、２～１４０）。繰り返しの回数は、５０回以下であることが好ましく、２６回以下であることがより好ましい。
【0095】
なお、前述のように、第１の光学フィルタ１００では、第２の光学多層膜１６０における繰り返し回数を、例えば２０回以上に高めても、光学特性のばらつきを有意に抑制することができる。このため、従来に比べて、繰り返し回数を有意に増やすことができる。
【0096】
高屈折率層としては、例えば、酸化チタンが挙げられ、低屈折率層としては、例えば、酸化ケイ素が挙げられる。
【0097】
第２の光学多層膜１６０において、前述の図３に示したような透過率特性は、各高屈折率層および各低屈折率層の厚さを調整することにより、得ることができる。
【0098】
（第１の光学フィルタ１００）
第１の光学フィルタ１００は、例えば、図４に示したような透過率特性を有する。
第１の光学フィルタ１００は、例えば、図４に示したような透過率特性を有する。
【0099】
第１の光学フィルタ１００は、特定可視領域における平均透過率が８０％以上であってもよい。特定可視領域における平均透過率は、８５％以上であることが好ましく、９０％以上であることがより好ましい。
【0100】
第１の光学フィルタ１００は、特定可視領域に第１の透過帯Ｂａ１を有する。第１の透過帯Ｂａ１は、波長４３０ｎｍ～６５０ｎｍの範囲全体にわたって存在してもよい。
【0101】
また、第１の光学フィルタ１００は、特定赤外領域に第２の透過帯Ｂａ２を有する。第２の透過帯Ｂａ２は、波長９００ｎｍ～１０００ｎｍの範囲全体にわたって存在してもよい。また、第２の透過帯Ｂａ２は、中心波長が９２０ｎｍ～９８０ｎｍの範囲にあってもよく、あるいは、中心波長が９３０ｎｍ～９６０ｎｍの範囲にあってもよい。
【0102】
また、第１の光学フィルタ１００は、波長７８０ｎｍ～８３０ｎｍの範囲における平均透過率が、３％未満であってもよい。さらに、第１の光学フィルタ１００は、第２特定赤外領域における平均透過率が、２．５％以下であってもよい。
【0103】
ここで、第１の光学フィルタ１００において、以下の（２）式で表されるガラス基板１１０の吸収寄与度Ｐは、３２％以上であってもよい：
吸収寄与度Ｐ（％）＝（Ｖ１／Ｖ２）×１００ （２）式
ここで、Ｖ１は、
Ｖ１＝１００（％）－Ｔｇｌａｓｓ（％） （３）式
で表され、Ｖ２は、
Ｖ２＝１００（％）－
第１の光学フィルタ１００の特定赤外領域における平均透過率（％） （４）式
で表される。
吸収寄与度Ｐ（％）＝（Ｖ１／Ｖ２）×１００ （２）式
ここで、Ｖ１は、
Ｖ１＝１００（％）－Ｔｇｌａｓｓ（％） （３）式
で表され、Ｖ２は、
Ｖ２＝１００（％）－
第１の光学フィルタ１００の特定赤外領域における平均透過率（％） （４）式
で表される。
【0104】
また、第１の光学フィルタ１００において、以下の（５）式で表されるガラス基板１１０の第２の吸収寄与度Ｑは、９％以上であってもよい：
第２の吸収寄与度Ｑ（％）＝（Ｗ１／Ｗ２）×１００ （５）式
ここで、Ｗ１は、
Ｗ１＝１００（％）－
ガラス基板１１０の第２特定赤外領域における平均透過率（％） （６）式
で表され、Ｗ２は、
Ｗ２＝１００（％）－
第１の光学フィルタ１００の第２特定赤外領域における平均透過率（％） （７）式
で表される。
第２の吸収寄与度Ｑ（％）＝（Ｗ１／Ｗ２）×１００ （５）式
ここで、Ｗ１は、
Ｗ１＝１００（％）－
ガラス基板１１０の第２特定赤外領域における平均透過率（％） （６）式
で表され、Ｗ２は、
Ｗ２＝１００（％）－
第１の光学フィルタ１００の第２特定赤外領域における平均透過率（％） （７）式
で表される。
【0105】
前述のように、「第２特定赤外領域」とは、波長１１００ｎｍ～１２００ｎｍの範囲を表す。
【0106】
（本発明の別の実施形態による光学フィルタ）
次に、図６を参照して、本発明の別の実施形態による光学フィルタについて説明する。
次に、図６を参照して、本発明の別の実施形態による光学フィルタについて説明する。
【0107】
図６には、本発明の別の実施形態による光学フィルタ（以下、「第２の光学フィルタ」と称する）２００の断面を模式的に示す。
【0108】
図６に示すように、第２の光学フィルタ２００は、ガラス基板１１０と、第１の光学多層膜１３０と、第２の光学多層膜１６０とを有する。
【0109】
ただし、第２の光学フィルタ２００においては、第１および第２の光学多層膜の配置が、前述の第１の光学フィルタ１００とは異なっている。すなわち、第２の光学フィルタ２００では、ガラス基板１１０の第１の主面１１２の側に、第１の光学多層膜１３０が設置され、ガラス基板１１０の第２の主面１１４の側に、第２の光学多層膜１６０が設置される。
【0110】
このような構成の第２の光学フィルタ２００においても、前述の図４に示したような透過率特性を得ることができる。
【0111】
また、第２の光学フィルタ２００においても、第１の光学フィルタ１００の場合と同様の効果、すなわち、第１の光学多層膜１３０および／または第２の光学多層膜１６０に含まれる層の数が多くなっても、第２の透過帯Ｂａ２における光学特性のばらつきを、有意に抑制することができるという効果が得られる。
【0112】
さらに、第２の光学フィルタ２００においても、特定赤外領域における光の入射角度依存性を有意に抑制できる。
【0113】
以上、第１の光学フィルタ１００および第２の光学フィルタ２００を例に、本発明の一実施形態による構成について説明した。
【0114】
しかしながら、本発明において、光学フィルタが別の構成を有し得ることは、当業者には明らかである。
【0115】
例えば、第１の光学フィルタ１００または第２の光学フィルタ２００において、さらに、特定可視領域に第３の遮断帯を有する第３の光学多層膜を設置してもよい。この場合、特定可視領域に透過帯を有さず、特定赤外領域のみに透過帯（例えば、第２の透過帯Ｂａ２）を有する光学フィルタを得ることができる。
【0116】
このような特徴を有する第１および第２の光学フィルタ１００、２００は、例えば、監視カメラ、車載カメラ、およびウェブカメラなどの撮像装置等に適用できる。
【実施例】
【0117】
以下、本発明の実施例について説明する。
【0118】
なお、以下の説明において、例１および例２は実施例であり、例３は比較例である。また、シミュレーション計算は、光学薄膜設計ソフト（ＴＦ Ｃａｌｃ、Ｓｏｆｔｗａｒｅ Ｓｐｅｃｔｒａ Ｉｎｃ製）を用いて行った。また、第２の主面１１４には反射防止膜（不図示）がある。
【0119】
（例１）
ガラス基板、第１の光学多層膜、および第２の光学多層膜を組み合わせて、前述の図５に示したような光学フィルタ（以下、「例１に係る光学フィルタ」と称する）を構成した。
ガラス基板、第１の光学多層膜、および第２の光学多層膜を組み合わせて、前述の図５に示したような光学フィルタ（以下、「例１に係る光学フィルタ」と称する）を構成した。
【0120】
ガラス基板には、以下の表１における「ガラスＡ」の組成を有する赤外線吸収ガラスを使用した。ガラス基板の厚さは、０．３ｍｍである。
【0121】
【0122】
ガラスＡの特定赤外領域における平均透過率Ｔｇｌａｓｓは、４６．９％であった。また、ガラスＡの第２特定赤外領域における平均透過率は、３８．３％であった。
【0123】
以下の表２および表３には、それぞれ、ガラス基板の上に積層される第１の光学多層膜および第２の光学多層膜の構成を示す。
【0124】
【表2】
【0125】
【表3】
第１の光学多層膜は、高屈折率層と低屈折率層の繰り返し構造とし、層数は、２２とした。また、第２の光学多層膜は、高屈折率層と低屈折率層の繰り返し構造とし、層数は、５２とした。第１の光学多層膜および第２の光学多層膜のいずれにおいても、高屈折率層はＴｉＯ２とし、低屈折率層はＳｉＯ２とした。
【0126】
なお、第１の光学多層膜は、第２の光学多層膜の上に積層した。すなわち、ガラス基板、第２の光学多層膜、および第１の光学多層膜の順に積層して、例１に係る光学フィルタを構成した。
【0127】
ここで、表２および表３の記載において、層番号が小さい層ほど、ガラス基板に近いことを意味する。従って、例１では、ガラス基板の一方の主面上に、第２の光学多層膜を構成する、厚さ２６．７５ｎｍの第１の層から順に、合計５２層を積層し、その後、さらに第１の光学多層膜を構成する、厚さ１０７．４５ｎｍの第１の層から順に、合計２２層を積層する構成とした。
【0128】
【0129】
第１の光学多層膜と第２の光学多層膜の組み合わせの特定赤外領域における平均透過率Ｔｔ１＋ｔ２（％）は、７９．４％であった。
【0130】
図１０には、シミュレーション計算によって得られた例１に係る光学フィルタの光学特性を示す。
【0131】
例１に係る光学フィルタの特定可視領域における平均透過率は、９６．９％であった。また、特定赤外領域における平均透過率は、４０．１％であり、第２特定赤外領域における平均透過率は、１．０％であった。
【0132】
前述の（２）式に基づき、ガラス基板の吸収寄与度Ｐを求めた。その結果、
吸収寄与度Ｐ（％）＝（Ｖ１／Ｖ２）×１００＝｛（１００－４６．９）／（１００－４０．１）｝×１００＝８８．６％
となった。
吸収寄与度Ｐ（％）＝（Ｖ１／Ｖ２）×１００＝｛（１００－４６．９）／（１００－４０．１）｝×１００＝８８．６％
となった。
【0133】
また、前述の（５）式に基づき、ガラス基板の第２の吸収寄与度Ｑを求めた。その結果、
第２の吸収寄与度Ｑ（％）＝（Ｗ１／Ｗ２）×１００＝｛（１００－３８．３）／（１００－１．０）｝×１００＝６２．３％
となった。
第２の吸収寄与度Ｑ（％）＝（Ｗ１／Ｗ２）×１００＝｛（１００－３８．３）／（１００－１．０）｝×１００＝６２．３％
となった。
【0134】
（例２）
例１と同様の方法により、光学フィルタ（以下、「例２に係る光学フィルタ」と称する）を構成した。
例１と同様の方法により、光学フィルタ（以下、「例２に係る光学フィルタ」と称する）を構成した。
【0135】
ただし、この例２では、ガラス基板として、前述の表１における「ガラスＢ」の組成を有する赤外線吸収ガラスを使用した。
【0136】
その他の条件は、例１と同様である。
【0137】
図１１には、ガラスＢの光学特性を示す。
【0138】
ガラスＢの特定赤外領域における平均透過率Ｔｇｌａｓｓは、８０．０％であった。また、ガラスＢの第２特定赤外領域における平均透過率は、８４．２％であった。
【0139】
図１２には、シミュレーション計算によって得られた例２に係る光学フィルタの光学特性を示す。
【0140】
例２に係る光学フィルタの特定可視領域における平均透過率は、９４．３％であった。また、特定赤外領域における平均透過率は、４２．５％であり、第２特定赤外領域における平均透過率は、１．８％であった。
【0141】
前述の（２）式および（５）式に基づき、ガラス基板の吸収寄与度Ｐおよび第２の吸収寄与度Ｑを求めた。その結果、吸収寄与度Ｐは３４．８％であり、第２の吸収寄与度Ｑは１５．４％であった。
【0142】
（例３）
例１と同様の方法により、光学フィルタ（以下、「例３に係る光学フィルタ」と称する）を構成した。
例１と同様の方法により、光学フィルタ（以下、「例３に係る光学フィルタ」と称する）を構成した。
【0143】
ただし、この例３では、ガラス基板として、市販のガラス（Ｄ２６３、Ｓｃｈｏｔｔ社製）を使用した。以下、このガラス基板を「ガラスＣ」と称する。
【0144】
その他の条件は、例１と同様である。
【0145】
図１３には、ガラスＣの光学特性を示す。
【0146】
ガラスＣの特定赤外領域における平均透過率Ｔｇｌａｓｓは、９２．０％であった。また、ガラスＣの第２特定赤外領域における平均透過率は９２．０％であった。
【0147】
図１４には、シミュレーション計算によって得られた例３に係る光学フィルタの光学特性を示す。
【0148】
例３に係る光学フィルタの特定可視領域における平均透過率は、９８．０％であった。また、特定赤外領域における平均透過率は、７４．３％であり、第２特定赤外領域における平均透過率は、２．６％であった。
【0149】
前述の（２）式および（５）式に基づき、ガラス基板の吸収寄与度Ｐおよび第２の吸収寄与度Ｑを求めた。その結果、吸収寄与度Ｐは３１．３％であり、第２の吸収寄与度Ｑは８．２％であった。
【0150】
以下の表４には、例１～例３に係る光学フィルタの主要な光学特性をまとめて示した。
【0151】
【表4】
（評価）
例１～例３に係る光学フィルタにおいて、いくつかの仮定の下、透過率特性に生じ得るばらつきをモンテカルロシミュレーションにより評価した。
【0152】
前提条件として、ガラス基板上に、前述の表２に示した構成の第１の光学多層膜および前述の表３に示した構成の第２の光学多層膜（全体層数７４層）を積層する際に、各層の厚さに３σ＝２．６％のばらつきが生じると仮定した。また、ガラス基板の厚さにも、±１２μｍのばらつきが生じると仮定した。
【0153】
上記の仮定の下、シミュレーションにより、１００通りの光学フィルタを構成した。また、得られた光学フィルタの１００通りの透過率特性から、特定赤外領域における平均透過率のばらつき度合いを評価した。
【0154】
結果を以下の表５に示す。
【0155】
【表5】
表５から、例３に係る光学フィルタの場合、特定赤外領域における平均透過率の標準偏差σは、４．００２であった。これに対して、例１および例２に係る光学フィルタの場合、標準偏差σは、いずれも２未満となった。
【0156】
このように、例１および例２に係る光学フィルタでは、特定赤外領域における光学特性のばらつきが有意に抑制されることがわかった。
【0157】
本願は、２０１９年３月２８日に出願した日本国特許出願第２０１９－０６３５２６号に基づく優先権を主張するものであり、同日本国出願の全内容を本願に参照により援用する。
【符号の説明】
【0158】
１００ 第１の光学フィルタ
１１０ ガラス基板
１１２ 第１の主面
１１４ 第２の主面
１３０ 第１の光学多層膜
１３２－１ 第１の高屈折率層
１３２－２ 第１の低屈折率層
１３２－３ 第２の高屈折率層
１３２－４ 第２の低屈折率層
１３２－ｍ 第ｍの低屈折率層
１６０ 第２の光学多層膜
１６２－１ 第１の高屈折率層
１６２－２ 第１の低屈折率層
１６２－３ 第２の高屈折率層
１６２－４ 第２の低屈折率層
１６２－ｎ 第ｍの低屈折率層
２００ 第２の光学フィルタ
Ｂａ１ 光学フィルタの第１の透過帯
Ｂａ２ 光学フィルタの第２の透過帯
Ｂｔ１ 第１の光学多層膜の第１の透過帯
Ｂｔ２ 第１の光学多層膜の第２の透過帯
Ｂｕ１ 第２の光学多層膜の第１の透過帯
Ｂｕ２ 第２の光学多層膜の第２の透過帯
Ｃａ１ 光学フィルタの第１の遮断帯
Ｃａ２ 光学フィルタの第２の遮断帯
Ｃｔ１ 第１の光学多層膜の第１の遮断帯
Ｃｕ２ 第２の光学多層膜の第２の遮断帯
１１０ ガラス基板
１１２ 第１の主面
１１４ 第２の主面
１３０ 第１の光学多層膜
１３２－１ 第１の高屈折率層
１３２－２ 第１の低屈折率層
１３２－３ 第２の高屈折率層
１３２－４ 第２の低屈折率層
１３２－ｍ 第ｍの低屈折率層
１６０ 第２の光学多層膜
１６２－１ 第１の高屈折率層
１６２－２ 第１の低屈折率層
１６２－３ 第２の高屈折率層
１６２－４ 第２の低屈折率層
１６２－ｎ 第ｍの低屈折率層
２００ 第２の光学フィルタ
Ｂａ１ 光学フィルタの第１の透過帯
Ｂａ２ 光学フィルタの第２の透過帯
Ｂｔ１ 第１の光学多層膜の第１の透過帯
Ｂｔ２ 第１の光学多層膜の第２の透過帯
Ｂｕ１ 第２の光学多層膜の第１の透過帯
Ｂｕ２ 第２の光学多層膜の第２の透過帯
Ｃａ１ 光学フィルタの第１の遮断帯
Ｃａ２ 光学フィルタの第２の遮断帯
Ｃｔ１ 第１の光学多層膜の第１の遮断帯
Ｃｕ２ 第２の光学多層膜の第２の遮断帯
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】