▶ アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドの特許一覧
(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2023-09-22
(45)【発行日】2023-10-02
(54)【発明の名称】高いフローコンダクタンスのための対称型フローバルブ
(51)【国際特許分類】
F16K 51/02 20060101AFI20230925BHJP
F16K 1/00 20060101ALI20230925BHJP
H01L 21/3065 20060101ALI20230925BHJP
【ＦＩ】
F16K51/02 A
F16K1/00 E
H01L21/302 101G
【請求項の数】
20
(21)【出願番号】P 2022510086
(86)(22)【出願日】2020-08-13
(65)【公表番号】
(43)【公表日】2022-10-21
(86)【国際出願番号】 US2020046203
(87)【国際公開番号】W WO2021034614
(87)【国際公開日】2021-02-25
【審査請求日】2022-04-20
(31)【優先権主張番号】16/542,798
(32)【優先日】2019-08-16
(33)【優先権主張国・地域又は機関】US
(73)【特許権者】
【識別番号】390040660
【氏名又は名称】アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド
【氏名又は名称原語表記】ＡＰＰＬＩＥＤ ＭＡＴＥＲＩＡＬＳ，ＩＮＣＯＲＰＯＲＡＴＥＤ
【住所又は居所原語表記】３０５０ Ｂｏｗｅｒｓ Ａｖｅｎｕｅ Ｓａｎｔａ Ｃｌａｒａ ＣＡ ９５０５４ Ｕ．Ｓ．Ａ．
(74)【代理人】
【識別番号】110002077
【氏名又は名称】園田・小林弁理士法人
(72)【発明者】
【氏名】グエン， アンドリュー
(72)【発明者】
【氏名】ヴィシュワナート， ヨガナンダ サロード
(72)【発明者】
【氏名】チャン， シュエ
(72)【発明者】
【氏名】ラヤロス， アニルクマール
(72)【発明者】
【氏名】ナイク， チェタン
(72)【発明者】
【氏名】ナラヤン， バラシャンドラ ジャタク
【審査官】冨永 達朗
(56)【参考文献】
【文献】特開２０１７－２２７３２５（ＪＰ，Ａ）
【文献】国際公開第２０１３／１１９４３０（ＷＯ，Ａ１）
【文献】特開２００３－２４７５０５（ＪＰ，Ａ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｆ１６Ｋ ５１／０２
Ｆ１６Ｋ １／００
Ｈ０１Ｌ ２１／３０６５
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
基板処理チャンバにおいて使用する対称型フローバルブであって、内部空間を画定している側壁、底板、および上板を有するバルブ本体であって、前記上板は複数の軸対称に設けられた第１の開口を含み、前記底板は、ポンプポートに連結するように構成された１つまたは複数の第２の開口を含む、バルブ本体と、
ポペットであって、少なくとも開位置と閉位置とに前記ポペットを動かし、前記第１の開口の１つを選択的に密閉するか、または前記第２の開口の１つを選択的に密閉するように第１のアクチュエータに結合されたポペットと、を備える対称型フローバルブ。
【請求項2】
前記ポペットがアルミニウム製またはステンレス鋼製である、請求項１に記載の対称型フローバルブ。
【請求項3】
前記バルブ本体の上板が前記ポペットに取り外し可能に結合されている、請求項１に記載の対称型フローバルブ。
【請求項4】
前記バルブ本体は、１つまたは複数の側壁に、ポペット保守点検を容易にする保守点検ドアを含む、請求項１に記載の対称型フローバルブ。
【請求項5】
前記バルブ本体の形状が長方形、六角形、または八角形である、請求項１に記載の対称型フローバルブ。
【請求項6】
前記第１のアクチュエータと共に、前記内部空間内の前記ポペットを少なくとも前記開位置と前記閉位置に位置付けるように前記ポペットに結合された第２のアクチュエータをさらに備える、請求項１から５のいずれか一項に記載の対称型フローバルブ。
【請求項7】
前記第１のアクチュエータが前記バルブ本体の前記底板または前記バルブ本体の前記上板に結合されている、請求項１から５のいずれか一項に記載の対称型フローバルブ。
【請求項8】
前記ポペットは、中央開口と、前記中央開口から径方向外側に延在する１つまたは複数の凹部とを含む、請求項１から５のいずれか一項に記載の対称型フローバルブ。
【請求項9】
前記ポペットは、前記閉位置において前記複数の軸対称に設けられた第１の開口の少なくとも１つを選択的に密閉するように構成された複数の部分と、前記複数の部分のそれぞれの間に設けられた１つまたは複数のスロットとを含む、請求項１から５のいずれか一項に記載の対称型フローバルブ。
【請求項10】
前記ポペットは、前記ポペットの底面から前記ポペットの上面へ延在する１つまたは複数の切り欠きを含む、請求項１から５のいずれか一項に記載の対称型フローバルブ。
【請求項11】
前記上板は、３つの軸対称に設けられた第１の開口を含み、前記ポペットは、前記閉位置において前記３つの軸対称に設けられた第１の開口を選択的に密閉するように構成された複数の部分を含み、前記複数の部分は、前記上板の前記３つの軸対称に設けられた第１の開口に対応する３つの隆起部を含む、請求項１から５のいずれか一項に記載の対称型フローバルブ。
【請求項12】
前記３つの隆起部が前記３つの軸対称に設けられた第１の開口に嵌まる大きさになっている、請求項１１に記載の対称型フローバルブ。
【請求項13】
前記ポペットは、中央開口と、前記中央開口から径方向外側に延在する１つまたは複数の凹部とを含む、請求項１１に記載の対称型フローバルブ。
【請求項14】
前記ポペットは、切り欠きと、前記ポペットの側壁から前記切り欠き内に径方向内側に延在する結合要素とを含み、前記結合要素が、前記ポペットを前記第１のアクチュエータに結合するように構成されている、請求項１１に記載の対称型フローバルブ。
【請求項15】
前記ポペットは、前記ポペットから径方向外側に延在する複数のウイングを含み、前記複数のウイングのそれぞれは、前記第１のアクチュエータを受ける結合要素を含む、請求項１１に記載の対称型フローバルブ。
【請求項16】
チャンバ本体と、請求項１から５のいずれか一項に記載の対称型フローバルブであって、前記対称型フローバルブの上板が前記チャンバ本体の底に結合されている、対称型フローバルブと、を備える基板処理チャンバ。
【請求項17】
前記底板の１つまたは複数の第２の開口が３つの第２の開口から成る、請求項１６に記載の基板処理チャンバ。
【請求項18】
前記対称型フローバルブを通して６５００～７５００リットル／秒をポンピングするように構成されている、請求項１６に記載の基板処理チャンバ。
【請求項19】
前記第１のアクチュエータが、前記バルブ本体の前記底板または前記バルブ本体の前記上板に結合されている、請求項１６に記載の基板処理チャンバ。
【請求項20】
前記第１のアクチュエータは、ストローク長が３．０インチ～４．０インチである、請求項１６に記載の基板処理チャンバ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本開示の実施形態は、一般に半導体処理機器に関する。
【背景技術】
【0002】
基板処理チャンバは、一般に、基板処理チャンバを排気するための真空ポンプを有する真空システムに結合されている。しかし、発明者らは、基板処理チャンバ内の既存のフローバルブが流れを詰まらせ、基板処理チャンバに結合された真空ポンプへのフローコンダクタンスを妨げることを発見した。
【0003】
その結果、発明者らは、より高いフローコンダクタンスを提供するための改良型フローバルブを提供した。
【発明の概要】
【0004】
本明細書では、基板処理チャンバにおいて使用する対称型フローバルブの実施形態を提供する。実施形態によっては、基板処理チャンバにおいて使用する対称型フローバルブは、共に内部空間を画定している側壁、底板、および上板を有するバルブ本体であって、上板には１つまたは複数の軸対称に設けられた開口があり、底板にはポンプポートと連結するように構成された開口がある、バルブ本体と、内部空間に設けられたポペットであって、中央開口と、対称型フローバルブが閉位置であるときに上板の１つまたは複数の軸対称に設けられた開口を選択的に密閉するように構成された複数の部分と、がある、ポペットと、ポペットに結合された第１のアクチュエータであって、内部空間内のポペットを少なくとも開位置と閉位置とに位置付け、開位置では、上板の１つまたは複数の軸対称に設けられた開口に流れを通すことができるようにポペットが上板から離間されている、アクチュエータと、を含む。
【0005】
実施形態によっては、基板処理チャンバにおいて使用する対称型フローバルブは、内部空間を画定している側壁、底板、および上板を有するバルブ本体であって、底板はポンプポートと連結するように構成された１つの開口を含み、上板は、上板の中央周りに軸対称に配置された３つの開口を含む、バルブ本体と、内部空間に設けられ、中央開口があるポペットであって、上板の３つの開口に対応する３つの隆起部を含む、ポペットと、ポペットに結合された複数のアクチュエータであって、対象型フローバルブに気体流を通すことができるようにポペットが上板から離間されている開位置と、３つの隆起部が上板の３つの開口を覆って、対称型フローバルブに気体流をほぼ通さなくする閉位置とに、内部空間内のポペットを上げるか下げる、複数のアクチュエータと、を含む。
【0006】
実施形態によっては、基板処理チャンバは、チャンバ本体と、対称型フローバルブであって、共に内部空間を画定している側壁、底板、および上板を有するバルブ本体であって、上板には１つまたは複数の軸対称に設けられた開口があり、底板にはポンプポートと連結するように構成された１つまたは複数の開口がある、バルブ本体と、内部空間に設けられ、複数の部分を有するポペットと、ポペットに結合された複数のアクチュエータであって、対称型フローバルブに気体流を通すことができるように、ポペットが上板から離間されている開位置と、複数の部分が上板の１つまたは複数の軸対称に設けられた開口を覆って、対称型フローバルブに気体流をほぼ通さなくする閉位置とに、ポペットを動かすように構成されている、複数のアクチュエータと、を備える対称型フローバルブと、底板の１つまたは複数の開口のそれぞれに結合されたポンプと、を含む。
【0007】
本開示の他の実施形態およびさらなる実施形態は、以下に説明される。
【0008】
上記で簡単にまとめられ、以下でより詳細に議論される本開示の実施形態は、添付図面に示された本開示の例示的な実施形態を参照することによって理解することができる。しかしながら、添付図面は、本開示の典型的な実施形態のみを示すものであり、したがって、本開示は、他の同様に有効な実施形態を認めることができるため、範囲を限定するものとはみなされない。
【図面の簡単な説明】
【0009】
【図1A】本開示のいくつかの実施形態による、閉位置にある対称型フローバルブの断面側面図である。
【図1B】本開示のいくつかの実施形態による、開位置にある対称型フローバルブの断面側面図である。
【図2】本開示のいくつかの実施形態による、対称型フローバルブを有する基板処理チャンバの分解等角図である。
【図3】本開示のいくつかの実施形態による、対称型フローバルブの分解等角図である。
【図4】本開示のいくつかの実施形態による、対称型フローバルブの上面図である。
【図5】本開示のいくつかの実施形態による、対称型フローバルブの概略等角図である。
【図6A】本開示のいくつかの実施形態による、ポペットの上面図である。
【図7A】本開示のいくつかの実施形態による、ポペットの上面等角図である。
【図8A】本開示のいくつかの実施形態による、ポペットの上面等角図である。
【図9】本開示のいくつかの実施形態による、ポペットの上面等角図である。
【図10】本開示のいくつかの実施形態による、ポペットの上面等角図である。
【発明を実施するための形態】
【0010】
理解を容易にするために、図に共通する同一の要素を指定するため、可能な限り同一の参照番号が使用されている。図は縮尺通りに描かれておらず、分かりやすくするために簡略化されている場合がある。ある実施形態の要素および特徴は、これ以上言及することなく、他の実施形態に有益に組み込まれ得る。
【0011】
基板処理チャンバで使用するための対称型フローバルブの実施形態が本明細書に提供される。対称型フローバルブは、ポンプがチャンバ本体の内部空間を排気しているときに、チャンバ本体の間のインターフェースにおける詰まった流れを低減または防止するように構成される。対称型フローバルブは、既存の基板処理チャンバに、チャンバ本体を最小限の変更で、または全く変更せずに、より大きな容量のポンプを設置することを有利に促進する。実施形態によっては、対称型フローバルブは、最初は既存のフローバルブを通して毎秒約４０００～約５０００リットルをポンピングするように構成された基板処理チャンバに設置され得、その後、基板処理チャンバは対称型フローバルブを通して毎秒約６５００～約７５００リットルをポンピングできる。
【0012】
図１Ａは、本開示のいくつかの実施形態による、閉位置にある対称型フローバルブ１１０の断面側面図を示す。実施形態によっては、対称型フローバルブ１１０は、チャンバ本体１０４とポンプ１３０との間に設けられる。対称型フローバルブ１１０は、側壁１０８、底板１０６、および上板１１２を有するバルブ本体１０２を含む。側壁１０８、底板１０６、および上板１１２は、一緒になってバルブ本体１０２の内部空間１１４を画定する。実施形態によっては、バルブ本体１０２は、約２５．０インチ～約３３．０インチの幅を有する。実施形態によっては、バルブ本体１０２は、約５．０インチ～約９．０インチの高さを有する。また、バルブ本体は、異なるサイズの基板処理チャンバおよびポンプと連結するために、適宜スケーリングされた他の寸法を有することができる。
【0013】
実施形態によっては、上板１１２は、１つまたは複数の開口１２０を含む。実施形態によっては、１つまたは複数の開口１２０は、チャンバ本体１０４の内部処理空間の中心軸に対して軸対称に設けられる。実施形態によっては、１つまたは複数の開口１２０は、３つの開口である（図２参照）。実施形態によっては、１つまたは複数の開口１２０は、１つの開口である（図４参照）。実施形態によっては、上板１１２は、底板１０６と実質的に同じサイズおよび幾何学的形状である。上板１１２は、上板１１２をチャンバ本体１０４に結合するためのファスナを受けるための開口を含み得る。
【0014】
底板１０６は、ポンプポート１２２と連結するように構成された開口１１８を含む。ポペット１２６は、上板１１２と底板１０６との間の内部空間１１４に設けられる。ポペット１２６は、中央開口１３６を含む。ポペット１２６は、アルミニウム、ステンレス鋼、または他の任意の適切な材料で作られ得る。実施形態によっては、ポペット１２６は、約０．５インチ～約２．５インチの厚さを有する。実施形態によっては、中央開口１３６は円形状である。実施形態によっては、ポペット１２６は、ポペット１２６から径方向外側に延在する複数のウイング１３２を含む。実施形態によっては、複数のウイング１３２は、ポペット１２６について互いに直径方向に対向する２つのウイングである。実施形態によっては、複数のウイング１３２は、バルブ本体１０２の側壁１０８において対応する開口１２８を通って延在している。実施形態によっては、複数のウイング１３２は、ポペット１２６の残部から取り外し可能に結合される。
【0015】
実施形態によっては、複数のウイング１３２のそれぞれ１つは、アクチュエータを受け取るための結合要素を含む。例えば、図１Ａに示すように、第１のシャフト１４６を有する第１のアクチュエータ１４２が複数のウイング１３２の１つに結合され、第２のシャフト１４８を有する第２のアクチュエータ１４４が複数のウイング１３２の別の１つに結合されている。第１のアクチュエータ１４２および第２のアクチュエータ１４４は、ポペット１２６を少なくとも開位置と閉位置に位置付けるように構成される。第１のアクチュエータ１４２および第２のアクチュエータ１４４は、対称型フローバルブ１１０を通るフローコンダクタンスを有利に制御するために、ポペットを内部空間１１４内に位置決めするように構成されている。実施形態によっては、第１のアクチュエータ１４２および第２のアクチュエータ１４４は、バルブ本体１０２の側壁１０８の外面に結合されている。実施形態によっては、第１のアクチュエータ１４２および第２のアクチュエータ１４４は、上板１１２の上面に結合されている。実施形態によっては、第１のアクチュエータ１４２および第２のアクチュエータ１４４のストローク長は、約３．０インチ～約４．０インチである。
【0016】
図１Ａに示すように、閉位置では、ポペット１２６は、上板１１２に隣接して設けられる。ポペット１２６は、対称型フローバルブ１１０が閉位置にあるとき、上板１１２の１つまたは複数の開口１２０を選択的に封止するように構成されている。図１Ｂは、本開示のいくつかの実施形態による、開位置にある対称型フローバルブの断面側面図を示す。開位置において、ポペット１２６は、１つまたは複数の開口１２０を通る流れを可能にするために、上板１１２から離間されている。実施形態によっては、上板１１２は、バルブ本体１０２の残部に取り外し可能に結合され、ポペット１２６の容易な取り付けおよび取り外しを有利に提供する。
【0017】
図２は、本開示のいくつかの実施形態による、対称型フローバルブ１１０を有する基板処理チャンバ２０２の分解等角図を示す。基板処理チャンバ２０２は、その中に配置された基板を処理するように構成されている。例えば、基板処理チャンバ２０２は、エッチングチャンバ、物理気相堆積チャンバ、または化学気相堆積チャンバであり得る。しかしながら、異なるプロセス用に構成された他のタイプの基板処理チャンバも、本明細書に記載の対称型フローバルブ１１０の実施形態と共に使用するために使用または変更することができる。基板処理チャンバ２０２は、独立した基板処理チャンバであり得るか、マルチチャンバ処理ツールの一部であり得る。実施形態によっては、バルブ本体１０２は、実質的に長方形の形状を有する。実施形態によっては、図２に示すように、ポペット１２６および複数のウイング１３２は、完全にバルブ本体１０２内に設けられる。実施形態によっては、第１のアクチュエータ１４２および第２のアクチュエータ１４４は、底板１０６の底面に結合される。
【0018】
実施形態によっては、バルブ本体１０２の側壁１０８は、内部空間１１４内の構成要素を保守点検するための１つまたは複数の保守点検ドア２０６を含む。実施形態によっては、上板１１２は、上板１１２がチャンバ本体１０４に結合されたときに、密閉をもたらすためにＯリングを収容するためのＯリング溝２０８を含む。ポペットは、対称型フローバルブ１１０が閉位置にあるときに、上板１１２の１つまたは複数の開口１２０を選択的に封止するように構成された複数の部分２１０を含む。
【0019】
図３は、本開示のいくつかの実施形態による、対称型フローバルブの分解等角図を示している。実施形態によっては、バルブ本体１０２は、八角形の形状を有する。実施形態によっては、ポペット１２６は、複数の部分２１０の対応するものに結合された複数のカバープレート３０２を含む。複数のカバープレート３０２は、ポペット１２６全体を交換することなく、有利に交換され得る。実施形態によっては、複数のカバープレート３０２は、ポペット１２６の上面３０４に対して隆起し得る。実施形態によっては、ポペット１２６は、中央開口から径方向外側に延在する１つまたは複数の凹部３０６を含む。１つまたは複数の凹部３０６は、ポペット１２６の重みを軽くさせ、フローコンダクタンスのためのより大きな開口を提供するように構成される。
【0020】
図４は、本開示のいくつかの実施形態による、対称型フローバルブの上面図を表す。実施形態によっては、チャンバ本体１０４には、複数のスポーク４０６が径方向外側に延在しているフロア４０４があり、スポーク４０６間には複数の軸対称型チャンバポート４１６が画定されている。実施形態によっては、複数の軸対称型チャンバポート４１６は、３つのポート４１６を含む。実施形態によっては、対称型フローバルブ１１０は、より大きなポンプ１３０と同様のフローコンダクタンスをもたらすように構成されている３つのより小さいポンプに結合されている。実施形態によっては、底板４０８には、第１の円形開口４１２、第２の円形開口４２２、および第３の円形開口４３２が軸対称に設けられている。
【0021】
第１のポペット４１４、第２のポペット４２４、第３のポペット４３４がバルブ本体１０２に設けられ、対称型フローバルブ１１０が閉位置になると、それぞれ、第１の円形開口４１２、第２の円形開口４２２、第３の円形開口４３２を選択的に密閉するように構成されている。実施形態によっては、それぞれ、第１のポペット４１４が第１のアクチュエータ４１０に、第２のポペット４２４が第２のアクチュエータ４２０に、第３のポペットが第３のアクチュエータ４３０に結合されることによって、少なくとも閉位置と開位置とに第１のポペット４１４、第２のポペット４２４、および第３のポペット４３４が選択的に上げるか下げられる。開位置では、第１のポペット４１４、第２のポペット４２４、および第３のポペット４３４は底板４０８に対して上げられる。
【0022】
実施形態によっては、ポンピング効率を高めるために、第１の円形開口４１２、第２の円形開口４２２、および第３の円形開口４３２が複数のスポーク４０６の真下に設けられている。実施形態によっては、３つのより小さいポンプが軸対称型チャンバポート４１６と一直線にあり、フローコンダクタンスをより一様にするように、隣り合うスポーク４０６間に、第１の円形開口４１２、第２の円形開口４２２、および第３の円形開口４３２が設けられている。
【0023】
図５は、本開示のいくつかの実施形態による、対称型フローバルブの概略等角図を表す。実施形態によっては、バルブ本体１０２の形状が六角形である。実施形態によっては、図５に示す通り、対称型フローバルブ１１０には、第１のアクチュエータ５０２、第２のアクチュエータ５０４、および第３のアクチュエータ５０６が上板１１２のあちこちに設けられている。実施形態によっては、アクチュエータのそれぞれは、バルブ本体１０２の同じ側に取り付けられている。実施形態によっては、アクチュエータの少なくとも１つがバルブ本体１０２の他とは異なる側に取り付けられている。例えば、図５に表す通り、実施形態によっては、第１のアクチュエータ５０２および第２のアクチュエータ５０４が上板１１２の上面に結合されている。実施形態によっては、バルブ本体１０２には、ポペット保守点検を容易にする保守点検ドア２０６が第１のアクチュエータ５０２および第２のアクチュエータ５０４のそれぞれに隣接している。実施形態によっては、第３のアクチュエータ５０６は、バルブ本体１０２の側壁１０８および底板１０６のうちの少なくとも１つに結合され、第１のアクチュエータ５０２および第２のアクチュエータ５０４と反対方向に延在し、対称型フローバルブ１１０の保守点検を楽にするのに好都合であり、底構成要素との干渉を減らす。３つのアクチュエータ５０２、５０４、５０６によりポペット１２６の撓みが軽減されるのが好都合である。
【0024】
実施形態によっては、上板１１２には大まかなポンプポート５２０が設けられている。実施形態によっては、上板１１２の１つまたは複数の開口１２０の各開口間には大まかなポンプチャネル５１０が延在し、このポンプチャネル５１０は、大まかなポンプポート５２０に流体結合されている。実施形態によっては、大まかなポンプチャネル５１０は、上板１１２に埋め込まれている。実施形態によっては、大まかなポンプチャネル５１０は、上板１１２の上面から上板１１２に掘りこむ溝を成している。大まかなポンプポート５２０は、対称型フローバルブ１１０が閉位置であるときに、ポンプ１３０により高真空ポンピングになる前に、基板処理チャンバ２０２の大まかなポンピングをもたらすように構成されている。実施形態によっては、大まかなポンプチャネル５１０は、クロスすなわち「プラス」形状を呈し、クロスすなわち「プラス」形状の中心が、１つまたは複数の開口１２０のうちの開口のすべての間に設けられている。実施形態によっては、大まかなポンプチャネル５１０は、クロスすなわち「プラス」形状を呈し、クロスすなわち「プラス」形状の中心が、１つまたは複数の開口１２０のうちの隣り合う開口間に、上板１１２の周縁に近接して設けられている。実施形態によっては、大まかなポンプチャネル５１０の直径は、約０．３～約０．７インチである。
【0025】
図６Ａは、本開示のいくつかの実施形態による、ポペットの上面図を表す。実施形態によっては、ポペット１２６は、複数の部分２１０のうちの隣り合う部分２１０間に設けられた１つまたは複数のスロット（細長穴）６０２を含む。１つまたは複数のスロット６０２によって有利には、ポペット１２６を通るフローコンダクタンスが向上し、さらにポペット１２６の重みを軽減することができる。実施形態によっては、１つまたは複数のスロット６０２は、４つのスロットを含む。
【0026】
図６Ｂは、図６Ａのポペットの底面図を表す。実施形態によっては、ポペット１２６は底面６０８に、複数の部分２１０の真下に位置付けられた切り欠き６０４を含む。切り欠き６０４によって、ポペット１２６の重みが軽減されるのが好都合である。実施形態によっては、ポペット１２６には、ポペット１２６の剛性を高めるリブ６０６が切り欠き６０４内に設けられている。リブ６０６は、例えば、ジグザクパターン（図６Ｂに表す通り）、放射状のパターン、ハニカムパターンなど、ポペットの剛性を高めるのに望ましい如何なる幾何学的パターンにおいても設けられてよい。図６Ａおよび図６Ａのポペット１２６には、複数のウイング１３２のうちの２つのウイング１３２しか示していないが、ポペット１２６には、３つのアクチュエータを有する対称型フローバルブ１１０の実施形態で使用される場合は３つのウイング１３２、４つのアクチュエータを有する対称型フローバルブ１１００の実施形態で使用される場合には４つのウイング１３２があってもよい。
【0027】
図７Ａは、本開示のいくつかの実施形態によるポペットの上面等角図を表し、図７Ｂは、本開示のいくつかの実施形態によるポペットの底面等角図を表す。実施形態によっては、ポペット１２６には、３つの凹部３０６が中央開口１３６から径方向外側に延在する。実施形態によっては、ポペット１２６の底面６０８には、環状切り欠き７０４がある。実施形態によっては、環状切り欠き７０４は、中央開口１３６および３つの凹部３０６で画定されている第１の側壁７１２とポペット１２６の外面で画定されている第２の側面７１４との間に延在する。環状切り欠き７０４によって、ポペット１２６の重みが軽減されるのが好都合である。実施形態によっては、ポペット１２６には、対称型フローバルブ１１０の２つ以上のアクチュエータ（例えば、アクチュエータ１４２、１４４、５０２、５０４、５０６）との結合に適合する１つまたは複数の結合要素７０２が第２の側壁１７４から径方向内側に延在する。実施形態によっては、１つまたは複数の結合要素７０２は、バルブ本体１０２の上板１１２に設けられた１つまたは複数のアクチュエータ（例えば、アクチュエータ１４２、１４４、５０２、５０４、５０６）に結合される。
【0028】
図８Ａは、本開示のいくつかの実施形態によるポペットの上面等角図を表し、図８Ｂは、本開示のいくつかの実施形態によるポペットの底面等角図を表す。実施形態によっては、ポペット１２６には、３つのスロット６０２が複数の部分２１０のうちの隣り合う部分２１０間に設けられている。実施形態によっては、ポペット１２６の底面６０８には、複数の部分２１０の真下に位置付けられた切り欠き６０４がある。実施形態によっては、切り欠き６０４のうちの少なくとも２つには、対称型フローバルブ１１０の２つ以上のアクチュエータ（例えば、アクチュエータ１４２、１４４、５０２、５０４、５０６）との結合に適合する結合要素８０２が切り欠き６０４の側壁から径方向内側に延在する。
【0029】
図９には、本開示のいくつかの実施形態によるポペットの上面等角図を表す。実施形態によっては、ポペット１２６には、複数のスポーク９０２がポペット１２６の中心から中央開口１３６まで延在する。複数のスポーク９０２が、ポペット１２６のさらなる構造上の支えとなるのが好都合である。実施形態によっては、複数のスポーク９０２は３つのスポークから成る。実施形態によっては、図７Ａ～図９のポペット１２６には複数のウイング１３２がある。実施形態によっては、本明細書に開示されるポペット１２６のいずれにも、１つまたは複数のウイング１３２と１つまたは複数の結合要素７０２、８０２とが組み合わせられている。
【0030】
図１０には、本開示のいくつかの実施形態によるポペットの上面等角図を表す。実施形態によっては、ポペット１２６の複数のウイング１３２が４つのウイング１３２を含む。４つのアクチュエータを有する対称型フローバルブ１１０は、有利には、ポペット１２６をさらに支持し、ポペット１２６の変形を減少する。実施形態によっては、４つのアクチュエータが上板１１２の上面に置かれていることがある。実施形態によっては、４つのアクチュエータが側壁１０８および底板１０６のうちの少なくとも１つに結合されていることがある。
【0031】
これまで述べたことは、本開示の実施形態が対象であるが、その基本的な範囲から外れない限り、本開示のその他の実施形態やさらなる実施形態を考案することができる。
【図1A】
【図1B】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6A】
【図6B】
【図7A】
【図7B】
【図8A】
【図8B】
【図9】
【図10】