特許 7354418出願番号特願 2022-510086
高いフローコンダクタンスのための対称型フローバルブ

出願人アプライド　マテリアルズ　インコーポレイテッド（識別番号 390040660）

2026年特許公開件数ランキング 31位 537件（※）

2026年特許取得件数ランキング 45位 387件（※）

公報発行日　2023年10月2

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7354418　ログイン済みの方はこのURLへ

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※ 共同出願を含む

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本開示の一般に半導体処理機器

【図1A】本開示のいくつかの実施形態による、閉位置にある対称型フローバルブの断面側面図である。

【図1B】本開示のいくつかの実施形態による、開位置にある対称型フローバルブの断面側面図である。

【図2】本開示のいくつかの実施形態による、対称型フローバルブを有する基板処理チャンバの分解等角図である。

【図3】本開示のいくつかの実施形態による、対称型フローバルブの分解等角図である。

【図4】本開示のいくつかの実施形態による、対称型フローバルブの上面図である。

【図5】本開示のいくつかの実施形態による、対称型フローバルブの概略等角図である。

【図6A】本開示のいくつかの実施形態による、ポペットの上面図である。

【図6B】図６Ａのポペットの底面図である。

【図7A】本開示のいくつかの実施形態による、ポペットの上面等角図である。

【図7B】図７Ａのポペットの底面等角図である。

【図8A】本開示のいくつかの実施形態による、ポペットの上面等角図である。

【図8B】図８Ａのポペットの底面等角図である。

【図9】本開示のいくつかの実施形態による、ポペットの上面等角図である。

【図10】本開示のいくつかの実施形態による、ポペットの上面等角図である。

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