(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2023-10-02
(45)【発行日】2023-10-11
(54)【発明の名称】カーボンナノチューブ分散液の製造方法
(51)【国際特許分類】
C01B 32/174 20170101AFI20231003BHJP
B82Y 40/00 20110101ALI20231003BHJP
【ＦＩ】
C01B32/174
B82Y40/00
【請求項の数】
6
(21)【出願番号】P 2020032214
(22)【出願日】2020-02-27
(65)【公開番号】P2021134125
(43)【公開日】2021-09-13
【審査請求日】2023-01-12
(73)【特許権者】
【識別番号】000229117
【氏名又は名称】日本ゼオン株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100147485
【弁理士】
【氏名又は名称】杉村 憲司
(74)【代理人】
【識別番号】230118913
【弁護士】
【氏名又は名称】杉村 光嗣
(74)【代理人】
【識別番号】100150360
【弁理士】
【氏名又は名称】寺嶋 勇太
(74)【代理人】
【識別番号】100209679
【弁理士】
【氏名又は名称】廣 昇
(72)【発明者】
【氏名】塚田 啓介
(72)【発明者】
【氏名】村川 惠美
【審査官】廣野 知子
(56)【参考文献】
【文献】特開２００８－１００８９５（ＪＰ，Ａ）
【文献】国際公開第２０１０／１０１２０５（ＷＯ，Ａ１）
【文献】特開２０１５－１４７１８７（ＪＰ，Ａ）
【文献】国際公開第２０１８／０４３４８７（ＷＯ，Ａ１）
【文献】特開２０１８－１４５０６０（ＪＰ，Ａ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｃ０１Ｂ ３２／００－３２／９９１
Ｂ８２Ｙ ５／００－９９／００
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
ヒーターを用いて、酸化剤およびカーボンナノチューブを含む被処理液を加熱する酸化処理工程を含むカーボンナノチューブ分散液の製造方法であって、前記被処理液の質量または体積の値をＭとし、
前記ヒーターをオンにした時点から、前記被処理液の温度が処理温度に達した時点までの前記被処理液の昇温速度をΔＴとし、
前記被処理液の温度が処理温度に達した時点から、前記ヒーターをオフにする時点までの処理時間をｔｒとしたときの積Ｍ・ΔＴ・ｔｒの値に基づいて、前記ヒーターをオフにする時点を決定する、カーボンナノチューブ分散液の製造方法。
【請求項2】
前記積Ｍ・ΔＴ・ｔｒの値が予め定められた範囲内に達した時点で前記ヒーターをオフにする、請求項１に記載のカーボンナノチューブ分散液の製造方法。
【請求項3】
前記被処理液中のカーボンナノチューブ濃度が５質量％以下である、請求項１または２に記載のカーボンナノチューブ分散液の製造方法。
【請求項4】
前記酸化処理工程において冷却装置を使用し、前記冷却装置の冷却条件を調整する、請求項１～３のいずれかに記載のカーボンナノチューブ分散液の製造方法。
【請求項5】
前記酸化処理工程において断熱材を使用し、前記断熱材を調整する、請求項１～４のいずれかに記載のカーボンナノチューブ分散液の製造方法。
【請求項6】
前記ヒーターの発熱量を調整する、請求項１～５のいずれかに記載のカーボンナノチューブ分散液の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、カーボンナノチューブ分散液の製造方法に関するものである。
【背景技術】
【0002】
カーボンナノチューブ（以下、「ＣＮＴ」と称することがある。）は、銅よりも高い電流密度耐性および電気伝導特性を持つため、半導体素子、ディスプレイ、ＬＥＤ、リチウムイオンバッテリー、太陽電池等の電子デバイスの材料として好適に用いられる。電子デバイスの材料としては、例えば、ＣＮＴを溶媒に分散させてなるＣＮＴ分散液を、スピンコートやインクジェット等の塗布方法によってシリコンウェハ上に均一に塗布した後、乾燥および高温アニールを実施することによって形成されたＣＮＴ薄膜が用いられる。
【0003】
均一で再現性に優れた高品質の電子デバイスを製造するためには、所望の特性のＣＮＴ分散液を用いてＣＮＴ薄膜を形成する必要がある。ＣＮＴ薄膜の形成に用いるＣＮＴ分散液の特性としては、ＣＮＴの結晶性、官能基、直径、長さ、凝集率、炭素不純物含有率等が挙げられる。特に均一性および再現性に優れた電子デバイスを製造するためには、ＣＮＴの長さを１００ｎｍ程度以下に精度良く制御することが重要となる。ＣＮＴの長さの均一性が悪いと、製造される電子デバイスの特性にばらつきが生じてしまう。また、長いＣＮＴが混入していると、それが核となり短いカーボンナノチューブが集まって、ＣＮＴ分散液中に凝集が生じるため、製造される電子デバイスの均一性が劣化する。逆にＣＮＴの長さが１０ｎｍ程度以下まで短くなるとアモルファスカーボンの特性が強く出現し、所望の電子デバイスの特性が得られなくなる。
【0004】
ＣＮＴ分散液の原材料として用いるＣＮＴ粉体の長さは、ＣＮＴの製造方法に依存し、通常１μｍから１ｍｍと大きく幅がある。したがって、製造されるＣＮＴ分散液中のＣＮＴを１００ｎｍ程度以下の長さにするには、ＣＮＴ粉体を百分の一から十万分の一程度に精度良く切断する必要がある。ＣＮＴ粉体を切断する手法として、例えば、ジェットミリングやボールミリング等の機械的切断手法が使用されているが、これらの手法では１μｍ以下に切断することは難しい。
【0005】
ＣＮＴ粉体を１００ｎｍ程度以下の長さにまで分解および／または切断することが可能な手法として、硫酸と硝酸との混酸や硝酸等の酸化剤による液相酸化処理が知られている。
例えば、特許文献１においては、所定濃度の硝酸を用いて、精製前ＣＮＴ含有組成物を加熱還流する液相酸化を行うことで、触媒が残っておらず、耐熱性が高く、且つ、炭素副生成物の少ないＣＮＴ含有組成物が高収率で得られることが報告されている。
また、特許文献２においては、ＣＮＴを硫酸と硝酸との混酸で処理することで、半導体性ＣＮＴを大量および高純度で選別する方法が開示されている。
例えば、特許文献１においては、所定濃度の硝酸を用いて、精製前ＣＮＴ含有組成物を加熱還流する液相酸化を行うことで、触媒が残っておらず、耐熱性が高く、且つ、炭素副生成物の少ないＣＮＴ含有組成物が高収率で得られることが報告されている。
また、特許文献２においては、ＣＮＴを硫酸と硝酸との混酸で処理することで、半導体性ＣＮＴを大量および高純度で選別する方法が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0006】
【文献】国際公開第２０１８／０４３４８７号
【文献】特開２００５－１９４１８０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0007】
しかしながら、上記従来技術の酸化処理手法においては、所望の特性を有するＣＮＴ分散液を精度良く製造することが困難であった。
そこで、本発明は、所望の特性を有するカーボンナノチューブ分散液を精度良く製造し得るカーボンナノチューブ分散液の製造方法を提供することを目的とする。
そこで、本発明は、所望の特性を有するカーボンナノチューブ分散液を精度良く製造し得るカーボンナノチューブ分散液の製造方法を提供することを目的とする。
【0008】
なお、上記従来技術の酸化処理手法において、所望の特性を有するＣＮＴ分散液を精度良く製造することが困難である理由は、酸化処理の終点を正確に制御することが難しいことにあると考えられる。例えば、１ｍｍ程度の長さのＣＮＴを１００ｎｍ程度の長さに切断するためには、使用する酸化剤の種類および濃度に依存して、通常１０時間程度の時間が必要となるが、終点を３０分でも早く設定した場合は、長いＣＮＴが多く残存するため、製造されるＣＮＴ分散液の分散特性が悪化する。逆に３０分でも遅く設定した場合、ＣＮＴが過剰に切断されてアモルファスカーボン等の炭素不純物が多く生じてしまう。また、酸化処理に用いる装置の形状や断熱効率、酸化処理の工程条件、あるいは原材料として使用するＣＮＴの種類等によって、終点は異なり得るため、終点予測は難しい。
【0009】
また、例えば、分光学的手法を用いたオンラインモニターによる終点検知を試みたとしても、酸化処理の被処理液が完全な黒色であるため、終点を検知する事は困難である。さらに、被処理液をサンプリング処理して所望の特性をチェックするオフライン測定では、サンプルの調製および測定に３０分以上必要であり、酸化処理の終点を即時に検知して制御することが困難である。なお、溶鋼精錬等の他産業分野では、溶液中温度をモニターすることで反応終点を検知する手法が用いられているが、上述した酸化処理では、被処理液の温度は共沸温度となっており、ほぼ一定に推移するため、モニター温度を終点管理に適用することは難しい。
【課題を解決するための手段】
【0010】
本発明者らは、上記目的を達成するために鋭意検討を行った。そして、本発明者らは、ヒーターを用いて、酸化剤およびカーボンナノチューブを含む被処理液を加熱する酸化処理工程を含むカーボンナノチューブ分散液の製造方法において、被処理液の質量または体積の値Ｍと、ヒーターをオンにした時点から被処理液の温度が処理温度に達した時点までの被処理液の昇温速度ΔＴと、被処理液の温度が処理温度に達した時点からヒーターをオフにする時点までの処理時間ｔｒとの積の値Ｍ・ΔＴ・ｔｒに基づいて、ヒーターをオフにする時点を決定すれば、所望の特性を有するカーボンナノチューブ分散液を精度良く製造できることを見出し、本発明を完成させた。
【0011】
即ち、この発明は、上記課題を有利に解決することを目的とするものであり、本発明のカーボンナノチューブ分散液の製造方法は、ヒーターを用いて、酸化剤およびカーボンナノチューブを含む被処理液を加熱する酸化処理工程を含むカーボンナノチューブ分散液の製造方法であって、前記被処理液の質量または体積の値をＭとし、前記ヒーターをオンにした時点から、前記被処理液の温度が処理温度に達した時点までの前記被処理液の昇温速度をΔＴとし、前記被処理液の温度が処理温度に達した時点から、前記ヒーターをオフにする時点までの処理時間をｔｒとしたときの積Ｍ・ΔＴ・ｔｒの値に基づいて、前記ヒーターをオフにする時点を決定することを特徴とする。本発明のカーボンナノチューブ分散液の製造方法によれば、所望の特性を有するＣＮＴ分散液を精度良く製造することができる。
【0012】
ここで、本発明のカーボンナノチューブ分散液の製造方法は、前記積Ｍ・ΔＴ・ｔｒの値が予め定められた範囲内に達した時点で前記ヒーターをオフにすることが好ましい。積Ｍ・ΔＴ・ｔｒの値が予め定められた範囲内に達した時点でヒーターをオフにすれば、所望の特性を有するＣＮＴ分散液を更に精度良く製造することができる。
【0013】
また、本発明のカーボンナノチューブ分散液の製造方法は、前記被処理液中のカーボンナノチューブ濃度が５質量％以下であることが好ましい。被処理液中のカーボンナノチューブ濃度が上記所定値以下であれば、所望の特性を有するＣＮＴ分散液を更に精度良く製造することができる。
【0014】
さらに、本発明のカーボンナノチューブ分散液の製造方法は、前記酸化処理工程において冷却装置を使用し、前記冷却装置の冷却条件を調整することが好ましい。酸化処理工程において冷却装置を使用し、当該冷却装置の冷却条件を調整すれば、所望の特性を有するＣＮＴ分散液を更に精度良く製造することができる。
【0015】
また、本発明のカーボンナノチューブ分散液の製造方法は、前記酸化処理工程において断熱材を使用し、前記断熱材を調整することが好ましい。酸化処理工程において断熱材を使用し、当該断熱材を調整すれば、所望の特性を有するＣＮＴ分散液を更に精度良く製造することができる。
【0016】
さらに、本発明のカーボンナノチューブ分散液の製造方法は、前記ヒーターの発熱量を調整することが好ましい。ヒーターの発熱量を調整すれば、所望の特性を有するＣＮＴ分散液を更に精度良く製造することができる。
【発明の効果】
【0017】
本発明によれば、所望の特性を有するカーボンナノチューブ分散液を精度良く製造し得るカーボンナノチューブ分散液の製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【0018】
【図1】本発明のカーボンナノチューブ分散液の製造方法の酸化処理工程で用いる酸化処理装置の一例を示す概略構成図である。
【図2】被処理液を加熱する場合における被処理液の温度およびヒーターの出力仕事量（相対量）の経時変化の一例を示すグラフである。
【図3】本発明に関わる酸化処理の制御方法の一例のフロー図である。
【図4】本発明に関わる酸化処理におけるエネルギーバランスを示す図である。
【図5】未処理液および参考例１～５について、処理時間とカーボンナノチューブの凝集率との関係を示すグラフである。
【図6】未処理液および参考例１～５について、処理時間とカーボンナノチューブの炭素不純物含有率との関係を示すグラフである。
【図7】未処理液および参考例１～５について、処理時間と有効カーボンナノチューブ歩留りとの関係を示すグラフである。
【図8】比較例２（ロット１０１～１０６）および実施例２（ロット２０１～２０８）について、有効カーボンナノチューブ歩留りを示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【0019】
以下、本発明の実施形態について詳細に説明する。
【0020】
（カーボンナノチューブ分散液の製造方法）
本発明のＣＮＴ分散液の製造方法は、ヒーターを用いて、酸化剤およびカーボンナノチューブを含む被処理液を加熱する酸化処理工程を含む。そして、本発明のＣＮＴ分散液の製造方法は、所定の積の値に基づいて、ヒーターをオフにする時点を決定することを特徴とする。なお、本発明のＣＮＴ分散液の製造方法は、任意で、上記酸化処理工程以外の工程を含んでいてもよい。
本発明のＣＮＴ分散液の製造方法によれば、所望の特性を有するＣＮＴ分散液を精度良く製造することができる。そして、製造されたＣＮＴ分散液を用いて形成されたＣＮＴ薄膜は、半導体素子、ディスプレイ、ＬＥＤ、リチウムイオンバッテリー、太陽電池等の電子デバイスの材料として好適に用いることができる。
本発明のＣＮＴ分散液の製造方法は、ヒーターを用いて、酸化剤およびカーボンナノチューブを含む被処理液を加熱する酸化処理工程を含む。そして、本発明のＣＮＴ分散液の製造方法は、所定の積の値に基づいて、ヒーターをオフにする時点を決定することを特徴とする。なお、本発明のＣＮＴ分散液の製造方法は、任意で、上記酸化処理工程以外の工程を含んでいてもよい。
本発明のＣＮＴ分散液の製造方法によれば、所望の特性を有するＣＮＴ分散液を精度良く製造することができる。そして、製造されたＣＮＴ分散液を用いて形成されたＣＮＴ薄膜は、半導体素子、ディスプレイ、ＬＥＤ、リチウムイオンバッテリー、太陽電池等の電子デバイスの材料として好適に用いることができる。
【0021】
ここで、製造されるＣＮＴ分散液において所望とされる「特性」としては、用途によって異なるが、例えば、ＣＮＴの結晶性、官能基、直径、長さ、凝集率、炭素不純物含有率、歩留り等が挙げられる。また、これらの特性に関する数値等の好ましい範囲などは、用途に応じて適宜設定することができる。
【0022】
さらに、「所望の特性を有するＣＮＴ分散液を精度良く製造することができる」とは、酸化処理に用いる装置、および酸化処理の条件などが変更された場合であっても、所望の特性を有するＣＮＴ分散液を製造することができることを意味する。
なお、酸化処理に用いる装置および処理条件などは、意図的に変更される場合もあるが、何らかの要因によって意図せずに変更される場合もある。
そして、本発明のＣＮＴ分散液の製造方法によれば、酸化処理に用いる装置および処理条件などが、意図的に変更された場合は勿論、意図せずに変更された場合であっても、所望の特性を有するＣＮＴ分散液を精度良く製造することができる。
なお、酸化処理に用いる装置および処理条件などは、意図的に変更される場合もあるが、何らかの要因によって意図せずに変更される場合もある。
そして、本発明のＣＮＴ分散液の製造方法によれば、酸化処理に用いる装置および処理条件などが、意図的に変更された場合は勿論、意図せずに変更された場合であっても、所望の特性を有するＣＮＴ分散液を精度良く製造することができる。
【0023】
＜酸化処理工程＞
酸化処理工程では、ヒーターを用いて、酸化剤およびカーボンナノチューブを含む被処理液を加熱する。そして、被処理液の質量または体積の値Ｍと、ヒーターをオンにした時点から被処理液の温度が処理温度に達した時点までの被処理液の昇温速度ΔＴと、被処理液の温度が処理温度に達した時点からヒーターをオフにする時点までの処理時間ｔｒとの積の値Ｍ・ΔＴ・ｔｒに基づいて、ヒーターをオフにする時点を決定する。
酸化処理工程では、ヒーターを用いて、酸化剤およびカーボンナノチューブを含む被処理液を加熱する。そして、被処理液の質量または体積の値Ｍと、ヒーターをオンにした時点から被処理液の温度が処理温度に達した時点までの被処理液の昇温速度ΔＴと、被処理液の温度が処理温度に達した時点からヒーターをオフにする時点までの処理時間ｔｒとの積の値Ｍ・ΔＴ・ｔｒに基づいて、ヒーターをオフにする時点を決定する。
【0024】
＜＜被処理液＞＞
ここで、酸化処理工程に用いる被処理液は、酸化剤およびＣＮＴを含む。また、被処理液は、本発明の所望の効果が得られる範囲内で、酸化剤およびＣＮＴ以外の成分を更に含んでいてもよい。そして、被処理液は、通常、水等の溶媒中に上記成分を混合してなる液体である。なお、溶媒としては、例えば、酸化剤としての硝酸に含まれる水等の溶媒をそのまま用いることができる。
ここで、酸化処理工程に用いる被処理液は、酸化剤およびＣＮＴを含む。また、被処理液は、本発明の所望の効果が得られる範囲内で、酸化剤およびＣＮＴ以外の成分を更に含んでいてもよい。そして、被処理液は、通常、水等の溶媒中に上記成分を混合してなる液体である。なお、溶媒としては、例えば、酸化剤としての硝酸に含まれる水等の溶媒をそのまま用いることができる。
【0025】
［酸化剤］
酸化剤としては、硝酸、硫酸、過酸化水素水などを用いることができる。なお、これらの酸化剤は、１種を単独で用いてもよいし、２種以上を任意の比率で混合して用いてもよい。
酸化剤としては、硝酸、硫酸、過酸化水素水などを用いることができる。なお、これらの酸化剤は、１種を単独で用いてもよいし、２種以上を任意の比率で混合して用いてもよい。
【0026】
そして、被処理液中の酸化剤の濃度は、５質量％以上であることが好ましく、１０質量％以上であることがより好ましく、２０質量％以上であることが更に好ましく、９０質量％以下であることが好ましく、７０質量％以下であることがより好ましく、５０質量％以下であることが更に好ましい。被処理液中の酸化剤の濃度が上記下限以上であれば、酸化反応を良好に促進することができる。一方、被処理液中の酸化剤の濃度が上記上限以下であれば、酸化反応が過度に進行して炭素不純物が生成することを抑制することができる。
【0027】
［カーボンナノチューブ］
被処理液中に含まれるＣＮＴは、ＣＮＴ分散液の原料となるＣＮＴであり、酸化処理工程において、酸化剤と共に加熱されることにより、酸化処理を施される。
被処理液中に含まれるＣＮＴは、ＣＮＴ分散液の原料となるＣＮＴであり、酸化処理工程において、酸化剤と共に加熱されることにより、酸化処理を施される。
【0028】
そして、被処理液中のＣＮＴとしては、特に限定されることはなく、単層カーボンナノチューブおよび／または多層カーボンナノチューブを用いることができるが、ＣＮＴは、単層から５層までのカーボンナノチューブであることが好ましく、単層カーボンナノチューブであることがより好ましい。
また、ＣＮＴの平均直径（Ａｖ）は、０．５ｎｍ以上であることが好ましく、１ｎｍ以上であることが更に好ましく、１５ｎｍ以下であることが好ましく、１０ｎｍ以下であることが更に好ましい。ＣＮＴの平均直径（Ａｖ）が０．５ｎｍ以上であれば、ＣＮＴの凝集を抑制して、ＣＮＴの分散性を高めることができる。
なお、ＣＮＴの平均直径（Ａｖ）および平均長さは、それぞれ、透過型電子顕微鏡を用いて無作為に選択したカーボンナノチューブ１００本の直径（外径）および長さを測定して求めることができる。
そして、ＣＮＴの平均直径（Ａｖ）や平均長さは、ＣＮＴの製造方法や製造条件を変更することにより調整してもよいし、異なる製法で得られたＣＮＴを複数種類組み合わせることにより調整してもよい。
更に、ＣＮＴのＢＥＴ比表面積は、６００ｍ2／ｇ以上であることが好ましく、７００ｍ2／ｇ以上であることがより好ましく、８００ｍ2／ｇ以上であることが更に好ましく、２０００ｍ2／ｇ以下であることが好ましく、１８００ｍ2／ｇ以下であることがより好ましく、１５００ｍ2／ｇ以下であることが更に好ましい。また、ＣＮＴが主として開口したものにあっては、ＢＥＴ比表面積が１３００ｍ2／ｇ以上であることが好ましい。ＣＮＴのＢＥＴ比表面積が６００ｍ2／ｇ以上であれば、得られる薄膜の表面均一性を十分に高めることができる。また、ＣＮＴのＢＥＴ比表面積が２０００ｍ2／ｇ以下であれば、ＣＮＴの凝集を抑制してＣＮＴの分散性を高めることができる。
また、ＣＮＴの平均直径（Ａｖ）は、０．５ｎｍ以上であることが好ましく、１ｎｍ以上であることが更に好ましく、１５ｎｍ以下であることが好ましく、１０ｎｍ以下であることが更に好ましい。ＣＮＴの平均直径（Ａｖ）が０．５ｎｍ以上であれば、ＣＮＴの凝集を抑制して、ＣＮＴの分散性を高めることができる。
なお、ＣＮＴの平均直径（Ａｖ）および平均長さは、それぞれ、透過型電子顕微鏡を用いて無作為に選択したカーボンナノチューブ１００本の直径（外径）および長さを測定して求めることができる。
そして、ＣＮＴの平均直径（Ａｖ）や平均長さは、ＣＮＴの製造方法や製造条件を変更することにより調整してもよいし、異なる製法で得られたＣＮＴを複数種類組み合わせることにより調整してもよい。
更に、ＣＮＴのＢＥＴ比表面積は、６００ｍ2／ｇ以上であることが好ましく、７００ｍ2／ｇ以上であることがより好ましく、８００ｍ2／ｇ以上であることが更に好ましく、２０００ｍ2／ｇ以下であることが好ましく、１８００ｍ2／ｇ以下であることがより好ましく、１５００ｍ2／ｇ以下であることが更に好ましい。また、ＣＮＴが主として開口したものにあっては、ＢＥＴ比表面積が１３００ｍ2／ｇ以上であることが好ましい。ＣＮＴのＢＥＴ比表面積が６００ｍ2／ｇ以上であれば、得られる薄膜の表面均一性を十分に高めることができる。また、ＣＮＴのＢＥＴ比表面積が２０００ｍ2／ｇ以下であれば、ＣＮＴの凝集を抑制してＣＮＴの分散性を高めることができる。
【0029】
また、被処理液中のＣＮＴの平均長さ、アスペクト比等も、本発明の所望の効果が得られる範囲内であれば、特に限定されることはない。
【0030】
そして、被処理液中のＣＮＴ濃度は、０．００１質量％以上であることが好ましく、０．０１質量％以上であることがより好ましく、０．１質量％以上であることが更に好ましく、５質量％以下であることが好ましく、１質量％以下であることがより好ましく、０．５質量％以下であることが更に好ましい。被処理液中のＣＮＴ濃度が５質量％以下であれば、所望の特性を有するＣＮＴ分散液を更に精度良く製造することができる。
【0031】
［被処理液の質量または体積の値Ｍ］
そして、被処理液の質量または体積の値Ｍは、使用する酸化処理装置のスケール等に応じて適宜設定することができる。
なお、被処理液の質量は、１００ｇ以上であることが好ましく、５００ｇ以上であることがより好ましく、１ｋｇ以上であることが更に好ましく、１００ｋｇ以下であることが好ましく、２０ｋｇ以下であることがより好ましく、１０ｋｇ以下であることが更に好ましい。
また、被処理液の体積は、１００ｍＬ以上であることが好ましく、５００ｍＬ以上であることがより好ましく、１Ｌ以上であることが更に好ましく、１００Ｌ以下であることが好ましく、２０Ｌ以下であることがより好ましく、１０Ｌ以下であることが更に好ましい。
そして、被処理液の質量または体積の値Ｍは、使用する酸化処理装置のスケール等に応じて適宜設定することができる。
なお、被処理液の質量は、１００ｇ以上であることが好ましく、５００ｇ以上であることがより好ましく、１ｋｇ以上であることが更に好ましく、１００ｋｇ以下であることが好ましく、２０ｋｇ以下であることがより好ましく、１０ｋｇ以下であることが更に好ましい。
また、被処理液の体積は、１００ｍＬ以上であることが好ましく、５００ｍＬ以上であることがより好ましく、１Ｌ以上であることが更に好ましく、１００Ｌ以下であることが好ましく、２０Ｌ以下であることがより好ましく、１０Ｌ以下であることが更に好ましい。
【0032】
＜＜酸化処理装置＞＞
上述した被処理液に対する加熱は、ヒーターを用いて行う。ここで、通常、酸化処理工程における被処理液に対する加熱は、ヒーターを備える酸化処理装置を用いて行う。
上述した被処理液に対する加熱は、ヒーターを用いて行う。ここで、通常、酸化処理工程における被処理液に対する加熱は、ヒーターを備える酸化処理装置を用いて行う。
【0033】
【0034】
酸化処理装置１００は、ヒーター３、被処理液４を入れた容器８、容器８の下面部および側面部を覆う断熱材１、容器８の上面部を覆う断熱材９、被処理液４の温度を測定する温度計６、および、容器８内の気相部を冷却する還流冷却装置２を備える。なお、被処理液４は、質量または体積の値Ｍが予め計測されてから、容器８内に充填される。さらに、被処理液４の温度を均一にし、かつ酸化反応を促進するため、容器８内には、攪拌装置５が取り付けられている。
【0035】
容器８の材質としては、金属を含有せず、且つ、耐硝酸性の高い石英を用いている。また、容器８の形状は、還流冷却装置２、攪拌装置５、温度計６等の機器の取り付けを容易にするため、円筒形状としている。さらに、容器８の上面部は、断熱材９で覆われている。なお、容器８としては、断熱性を向上させる観点から、球形フラスコを用いてもよい。
【0036】
ヒーター３としては、電熱線を有する電熱式ヒーターを用いている。そして、できるだけ被処理液４を均一に加熱するため、ヒーター３（電熱線）を容器８の下面部および側面部の両方に設置している。なお、ヒーター３には、オン／オフを切り替えるための電源７が設けられている。また、ヒーター３としては、例えば、誘導加熱等の別方式のものを用いることもできる。
【0037】
また、容器８の下面部および側面部を覆う断熱材１については、容器８およびヒーター３の形状に合ったものを予め作製して、設置している。また、容器８の上面部を覆う断熱材９についても、容器８の上部の形状に合うように予め作製して、設置している。なお、断熱材１および断熱材９の材質としては、例えば、グラスウール等の不燃綿を用いることができる。
【0038】
酸化処理装置１００における被処理液４の温度の制御方法としては、ＰＩＤ方式を用いている。なお、被処理液の温度の制御方法としては、バイメタル等のオンオフ制御を用いてもよい。
【0039】
還流冷却装置２は、容器８内の上部の気相空間に設置されている。これにより、例えば、酸化処理剤として硝酸を用いた場合に、高温で分解して発生した二酸化窒素および四酸化二窒素の濃度を制御すると共に、被処理液から熱エネルギーを逃すことができる。冷媒としては、例えば、硝酸と反応しない純水あるいはスリーエムジャパン社製「フロリナート（登録商標）」などを用いることができる。また、還流冷却装置２に設置された流量計１２で計測された冷媒の流量と、還流冷却装置２の入口に設置された温度計１１および出口に設置された温度計１０から、還流冷却装置２によって被処理液から逃された熱エネルギーを計算することができる。
【0040】
以上、酸化処理装置の一例について説明したが、本発明のＣＮＴ分散液の製造方法においては、これに限定されず、上述した酸化処理装置１００以外の装置を用いることもできる。
【0041】
＜＜加熱＞＞
本発明のＣＮＴ分散液の製造方法における酸化処理工程の一例として、上述の図１に示した酸化処理装置１００を用いて被処理液を加熱する場合について以下に説明する。
ここで、図２は、酸化処理装置１００を用いて被処理液４を加熱する場合における被処理液４の温度およびヒーター３の出力仕事量（相対量）の経時変化の一例を示すグラフである。
本発明のＣＮＴ分散液の製造方法における酸化処理工程の一例として、上述の図１に示した酸化処理装置１００を用いて被処理液を加熱する場合について以下に説明する。
ここで、図２は、酸化処理装置１００を用いて被処理液４を加熱する場合における被処理液４の温度およびヒーター３の出力仕事量（相対量）の経時変化の一例を示すグラフである。
【0042】
まず、ヒーター３をオンにして、被処理液４の加熱を開始し、被処理液４の温度が処理温度Ｔｒに達するまで、昇温を行う。なお、被処理液４が処理温度Ｔｒに達した時点をｔｓとする。次いで、被処理液４の温度が処理温度Ｔｒに達した時点ｔｓ以降は、ヒーター３のパワー（発熱量）等を調整することにより、被処理液４の温度が可能な限り処理温度Ｔｒから変動しないように制御する。その後、ヒーター３をオフにして、被処理液４の加熱を終了する。なお、ヒーター３をオフにする時点をｔｅとする。ヒーター３をオフにする時点ｔｅ以降は、被処理液４は常温（２５℃）付近まで降温する。そして、上記処理後の被処理液をＣＮＴ分散液として回収する。
【0043】
なお、ヒーター３をオンにする前（加熱開始前）、ヒーター３をオンにしている間（加熱中）、およびヒーター３をオフにした後（加熱終了後）のいずれにおいても、攪拌装置５を用いて、被処理液４を適宜攪拌することができる。被処理液４を攪拌することで、被処理液４の温度を均一にし、かつ、酸化反応を促進することができる。
また、同様に、ヒーター３をオンにする前（加熱開始前）、ヒーター３をオンにしている間（加熱中）、およびヒーター３をオフにした後（加熱終了後）のいずれにおいても、還流冷却装置２を用いて冷却を適宜行うことができる。例えば、ヒーター３をオフにした時点ｔｅ以降も還流冷却装置２を稼働させて冷却を行うことで、被処理液の温度を速やかに常温まで低下させることができる。
また、同様に、ヒーター３をオンにする前（加熱開始前）、ヒーター３をオンにしている間（加熱中）、およびヒーター３をオフにした後（加熱終了後）のいずれにおいても、還流冷却装置２を用いて冷却を適宜行うことができる。例えば、ヒーター３をオフにした時点ｔｅ以降も還流冷却装置２を稼働させて冷却を行うことで、被処理液の温度を速やかに常温まで低下させることができる。
【0044】
ここで、処理温度Ｔｒは、通常、被処理液４の沸点付近の温度であり、被処理液４の組成等によって異なるが、例えば、１００℃以上１５０℃以下の範囲内で設定することができる。
【0045】
そして、ヒーター３をオンにした時点から、被処理液４の温度が処理温度Ｔｒに達した時点ｔｓまでの被処理液４の昇温速度をΔＴとする。
ここで、昇温速度ΔＴは、ヒーター３をオンにした時点から、被処理液４の温度が処理温度Ｔｒに達した時点ｔｓまでの任意の時点における被処理液４の昇温速度とすることができる。そして、通常は、被処理液４の昇温速度が安定している時間帯の任意の時点における昇温速度をΔＴとして設定する。例えば、被処理液４の昇温速度ΔＴは、処理温度Ｔｒの１／２の温度である温度Ｔａの時点における被処理液４の昇温速度とすることができる。
ここで、昇温速度ΔＴは、ヒーター３をオンにした時点から、被処理液４の温度が処理温度Ｔｒに達した時点ｔｓまでの任意の時点における被処理液４の昇温速度とすることができる。そして、通常は、被処理液４の昇温速度が安定している時間帯の任意の時点における昇温速度をΔＴとして設定する。例えば、被処理液４の昇温速度ΔＴは、処理温度Ｔｒの１／２の温度である温度Ｔａの時点における被処理液４の昇温速度とすることができる。
【0046】
昇温速度ΔＴは、０．２℃/分以上であることが好ましく、０．５℃/分以上であることがより好ましく、１．０℃/分以上であることが更に好ましく、５０℃/分以下であることが好ましく、２０℃/分以下であることがより好ましく、１０℃/分以下であることが更に好ましい。
なお、昇温速度ΔＴは、冷却装置の冷却条件（例えば、冷媒の流量）、断熱材（例えば、断熱材の材質、充填条件、および設置条件）、並びにヒーターの稼働条件（例えば、ヒーターの発熱量）などを調整することによって、制御することができる。
なお、昇温速度ΔＴは、冷却装置の冷却条件（例えば、冷媒の流量）、断熱材（例えば、断熱材の材質、充填条件、および設置条件）、並びにヒーターの稼働条件（例えば、ヒーターの発熱量）などを調整することによって、制御することができる。
【0047】
酸化処理工程における酸化処理は、被処理液４の温度が処理温度Ｔｒに達した時点ｔｓを始点とし、ヒーター３をオフにする時点ｔｅを終点とする。
そして、被処理液４の温度が処理温度Ｔｒに達した時点ｔｓから、ヒーター３をオフにする時点ｔｅまでの時間を処理時間ｔｒとする。
ここで、処理時間ｔｒは、０．５時間以上であることが好ましく、２時間以上であることがより好ましく、５時間以上であることがより好ましく、１００時間以下であることが好ましく、５０時間以下であることがより好ましく、２０時間以下であることが更に好ましい。
そして、被処理液４の温度が処理温度Ｔｒに達した時点ｔｓから、ヒーター３をオフにする時点ｔｅまでの時間を処理時間ｔｒとする。
ここで、処理時間ｔｒは、０．５時間以上であることが好ましく、２時間以上であることがより好ましく、５時間以上であることがより好ましく、１００時間以下であることが好ましく、５０時間以下であることがより好ましく、２０時間以下であることが更に好ましい。
【0048】
そして、酸化処理工程においては、上述した被処理液４の質量または体積の値Ｍと、昇温速度ΔＴと、処理時間ｔｒとの積Ｍ・ΔＴ・ｔｒの値に基づいて、ヒーター３をオフにする時点ｔｅを決定する。
より具体的には、上述した積Ｍ・ΔＴ・ｔｒの値が予め定められた範囲内に達した時点でヒーター３をオフにすることが好ましい。
なお、積Ｍ・ΔＴ・ｔｒの値が「予め定められた範囲内に達した時点でヒーターをオフにする」とは、当該積の値が予め定められた範囲の下限値または上限値と一致した時点に限らず、当該積の値が予め定められた範囲内にある間にヒーターをオフにすればよいことを意味する。
より具体的には、上述した積Ｍ・ΔＴ・ｔｒの値が予め定められた範囲内に達した時点でヒーター３をオフにすることが好ましい。
なお、積Ｍ・ΔＴ・ｔｒの値が「予め定められた範囲内に達した時点でヒーターをオフにする」とは、当該積の値が予め定められた範囲の下限値または上限値と一致した時点に限らず、当該積の値が予め定められた範囲内にある間にヒーターをオフにすればよいことを意味する。
【0049】
［予め定められた範囲］
上述した「予め定められた範囲」は、例えば、本発明のＣＮＴ分散液の製造方法とは別途で、積Ｍ・ΔＴ・ｔｒの値の参照値Ｑ0を決定するための予備実験を行い、得られた参照値Ｑ0に基づいて設定することができる。
上述した「予め定められた範囲」は、例えば、本発明のＣＮＴ分散液の製造方法とは別途で、積Ｍ・ΔＴ・ｔｒの値の参照値Ｑ0を決定するための予備実験を行い、得られた参照値Ｑ0に基づいて設定することができる。
【0050】
ここで、予備実験では、ヒーターを用いて、酸化剤およびカーボンナノチューブを含む被処理液を加熱する酸化処理の参考例を複数回繰り返して実施し、その結果に基づいて、参照値Ｑ0を決定する。予備実験の一例の概要を下記に説明する。
（１）参考例１
参考例１を次の手順で行う。まず、ヒーターをオンにして、酸化剤およびカーボンナノチューブを含む被処理液（質量または体積の値をＭ´とする）の温度が処理温度Ｔｒ´に達するまで昇温を行う。ここで、ヒーターをオンにした時点から、被処理液の温度が処理温度Ｔｒ´に達した時点までの被処理液の昇温速度をΔＴ´とする。被処理液の温度が処理温度Ｔｒ´に達した時点以降は、被処理液の温度が可能な限り処理温度Ｔｒ´から変動しないように制御する。そして、被処理液の温度が処理温度Ｔｒ´に達した時点から処理時間ｔｒ´が経過した時点でヒーターをオフにする。その後、常温付近まで降温した被処理液をＣＮＴ分散液として取得する。
（２）参考例２以降
参考例２として、処理時間ｔｒ´を変更したこと以外は、上記参考例１と同様にして酸化処理を行い、ＣＮＴ分散液を得る。
上記と同様の操作を繰り返し、参考例Ｎ（Ｎは２以上の整数）まで実施することで、最終的に、処理時間ｔｒ´が相互に異なる参考例１～Ｎ（Ｎは２以上の整数）の酸化処理により製造されたＣＮＴ分散液を得る。
（３）参考例相互間の比較
参考例１～Ｎにて得られたＣＮＴ分散液の特性（例えば、ＣＮＴ凝集率、ＣＮＴの炭素不純物含有率、および有効ＣＮＴ歩留りなど）を比較して、参考例１～Ｎの中から、最も所望とする特性を有するＣＮＴ分散液が得られた参考例を１つ選択して、参考例Ｘとする。
（４）参照値Ｑ0の決定
最も所望とする特性を有するＣＮＴ分散液が得られた参考例Ｘにおける被処理液の質量または体積の値Ｍ´をＭ0とし、昇温速度ΔＴ´をΔＴ0とし、被処理液が処理温度Ｔｒ´に達した時点からヒーターをオフにする時点までの処理時間ｔｒ´をｔｒ0としたときの積Ｍ0・ΔＴ0・ｔｒ0の値を参照値Ｑ0とする。
（１）参考例１
参考例１を次の手順で行う。まず、ヒーターをオンにして、酸化剤およびカーボンナノチューブを含む被処理液（質量または体積の値をＭ´とする）の温度が処理温度Ｔｒ´に達するまで昇温を行う。ここで、ヒーターをオンにした時点から、被処理液の温度が処理温度Ｔｒ´に達した時点までの被処理液の昇温速度をΔＴ´とする。被処理液の温度が処理温度Ｔｒ´に達した時点以降は、被処理液の温度が可能な限り処理温度Ｔｒ´から変動しないように制御する。そして、被処理液の温度が処理温度Ｔｒ´に達した時点から処理時間ｔｒ´が経過した時点でヒーターをオフにする。その後、常温付近まで降温した被処理液をＣＮＴ分散液として取得する。
（２）参考例２以降
参考例２として、処理時間ｔｒ´を変更したこと以外は、上記参考例１と同様にして酸化処理を行い、ＣＮＴ分散液を得る。
上記と同様の操作を繰り返し、参考例Ｎ（Ｎは２以上の整数）まで実施することで、最終的に、処理時間ｔｒ´が相互に異なる参考例１～Ｎ（Ｎは２以上の整数）の酸化処理により製造されたＣＮＴ分散液を得る。
（３）参考例相互間の比較
参考例１～Ｎにて得られたＣＮＴ分散液の特性（例えば、ＣＮＴ凝集率、ＣＮＴの炭素不純物含有率、および有効ＣＮＴ歩留りなど）を比較して、参考例１～Ｎの中から、最も所望とする特性を有するＣＮＴ分散液が得られた参考例を１つ選択して、参考例Ｘとする。
（４）参照値Ｑ0の決定
最も所望とする特性を有するＣＮＴ分散液が得られた参考例Ｘにおける被処理液の質量または体積の値Ｍ´をＭ0とし、昇温速度ΔＴ´をΔＴ0とし、被処理液が処理温度Ｔｒ´に達した時点からヒーターをオフにする時点までの処理時間ｔｒ´をｔｒ0としたときの積Ｍ0・ΔＴ0・ｔｒ0の値を参照値Ｑ0とする。
【0051】
なお、上記の予備実験の一例では、処理時間ｔｒ´を意図的に変更した複数の参考例を実施しているが、参照値Ｑ0を決定するための予備実験は、これに限定されることはなく、例えば、処理時間は一定にして、被処理液の質量または体積の値Ｍ´、並びに／若しくは昇温速度ΔＴ´を意図的に変更した複数の参考例を実施してもよいものとする。
【0052】
なお、上述した予備実験で用いる被処理液と、本発明のＣＮＴ分散液の製造方法で用いる被処理液とでは、酸化剤の種類および濃度は同じである。
また、予備実験に用いる被処理液と、本発明のＣＮＴ分散液の製造方法で用いる被処理液とでは、層数、平均長さ、平均直径、アスペクト比等が同じＣＮＴを使用する。
なお、予備実験と、本発明のＣＮＴ分散液の製造方法とでは、被処理液中のＣＮＴ濃度は同じであってもよいし、異なっていてもよい。そして、本発明のＣＮＴ分散液の製造方法により所望の特性を有するＣＮＴ分散液を更に精度良く製造する観点から、予備実験と、本発明のＣＮＴ分散液の製造方法とで、被処理液中のＣＮＴ濃度が同じであることが好ましい。
また、予備実験で用いる被処理液の質量または体積の値Ｍ´と、本発明のＣＮＴ分散液の製造方法で用いる被処理液の質量または体積の値Ｍとは同じであってもよいし、異なっていてもよいものとする。
また、予備実験に用いる被処理液と、本発明のＣＮＴ分散液の製造方法で用いる被処理液とでは、層数、平均長さ、平均直径、アスペクト比等が同じＣＮＴを使用する。
なお、予備実験と、本発明のＣＮＴ分散液の製造方法とでは、被処理液中のＣＮＴ濃度は同じであってもよいし、異なっていてもよい。そして、本発明のＣＮＴ分散液の製造方法により所望の特性を有するＣＮＴ分散液を更に精度良く製造する観点から、予備実験と、本発明のＣＮＴ分散液の製造方法とで、被処理液中のＣＮＴ濃度が同じであることが好ましい。
また、予備実験で用いる被処理液の質量または体積の値Ｍ´と、本発明のＣＮＴ分散液の製造方法で用いる被処理液の質量または体積の値Ｍとは同じであってもよいし、異なっていてもよいものとする。
【0053】
さらに、予備実験と、本発明のＣＮＴ分散液の製造方法とでは、同じヒーターを用いてもよいし、異なるヒーターを用いてもよい。
なお、予備実験においてヒーターを備える酸化処理装置を用いる場合は、本発明のＣＮＴ分散液の製造方法で用いる酸化処理装置と同じ装置を用いてもよいし、異なる装置を用いてもよい。例えば、予備実験で用いる酸化処理装置と、本発明のＣＮＴ分散液の製造方法で用いる酸化処理装置とで、被処理液を入れる容器、ヒーター、冷却装置、断熱材等の規模、材質、性能、設置条件などが異なっていてもよい。
さらに、予備実験と、本発明のＣＮＴ分散液の製造方法とで、酸化処理中のヒーターの稼働条件（例えば、発熱量）、および冷却装置の冷却条件（例えば、冷媒の流量）などは、同じであってもよいし、異なっていてもよい。
なお、予備実験においてヒーターを備える酸化処理装置を用いる場合は、本発明のＣＮＴ分散液の製造方法で用いる酸化処理装置と同じ装置を用いてもよいし、異なる装置を用いてもよい。例えば、予備実験で用いる酸化処理装置と、本発明のＣＮＴ分散液の製造方法で用いる酸化処理装置とで、被処理液を入れる容器、ヒーター、冷却装置、断熱材等の規模、材質、性能、設置条件などが異なっていてもよい。
さらに、予備実験と、本発明のＣＮＴ分散液の製造方法とで、酸化処理中のヒーターの稼働条件（例えば、発熱量）、および冷却装置の冷却条件（例えば、冷媒の流量）などは、同じであってもよいし、異なっていてもよい。
【0054】
予備実験における処理温度Ｔｒ´と、本発明のＣＮＴ分散液の製造方法における処理温度Ｔｒとは同じ温度であるものとする。
また、予備実験における被処理液の昇温速度ΔＴ´と、本発明のＣＮＴ分散液の製造方法における昇温速度ΔＴとは、同じであってもよいし、異なっていてもよいものとする。
ただし、予備実験における被処理液の昇温速度ΔＴ´と、本発明のＣＮＴ分散液の製造方法における昇温速度ΔＴとは、いずれも同じ温度の時点における被処理液の昇温速度として設定する必要がある。例えば、本発明のＣＮＴの分散液の製造方法において、処理温度Ｔｒの１／２の温度Ｔａにおける被処理液の昇温速度をΔＴとして設定する場合、予備実験においても、処理温度Ｔｒ´（＝Ｔｒ）の１／２の温度Ｔａにおける被処理液の昇温速度をΔＴ´として設定する。
また、予備実験における被処理液の昇温速度ΔＴ´と、本発明のＣＮＴ分散液の製造方法における昇温速度ΔＴとは、同じであってもよいし、異なっていてもよいものとする。
ただし、予備実験における被処理液の昇温速度ΔＴ´と、本発明のＣＮＴ分散液の製造方法における昇温速度ΔＴとは、いずれも同じ温度の時点における被処理液の昇温速度として設定する必要がある。例えば、本発明のＣＮＴの分散液の製造方法において、処理温度Ｔｒの１／２の温度Ｔａにおける被処理液の昇温速度をΔＴとして設定する場合、予備実験においても、処理温度Ｔｒ´（＝Ｔｒ）の１／２の温度Ｔａにおける被処理液の昇温速度をΔＴ´として設定する。
【0055】
なお、予備実験の参考例１～Ｎにおける処理時間ｔｒ´の中には、本発明のＣＮＴ分散液の製造方法の酸化処理工程における処理時間ｔｒと同じ時間が含まれていてもよいし、含まれていなくてもよい。
【0056】
そして、予備実験により決定された参照値Ｑ0に基づいて、上述した予め定められた範囲を設定することができる。
例えば、予め定められた範囲は、参照値Ｑ0、並びに、関係式：０＜ｋ1≦１≦ｋ2を満たすｋ1およびｋ2の値を用いて、「ｋ1Ｑ0以上」で表される下限値のみを有する範囲であってもよいし、「ｋ2Ｑ0以下」で表される上限値のみを有する範囲であってもよいし、「ｋ1Ｑ0以上ｋ2Ｑ0以下」ので表される下限値および上限値の両方を有する範囲であってもよい。
例えば、予め定められた範囲は、参照値Ｑ0、並びに、関係式：０＜ｋ1≦１≦ｋ2を満たすｋ1およびｋ2の値を用いて、「ｋ1Ｑ0以上」で表される下限値のみを有する範囲であってもよいし、「ｋ2Ｑ0以下」で表される上限値のみを有する範囲であってもよいし、「ｋ1Ｑ0以上ｋ2Ｑ0以下」ので表される下限値および上限値の両方を有する範囲であってもよい。
【0057】
なお、ｋ1およびｋ2の値が１に近いほど（即ち、下限値および上限値が参照値Ｑ0に近いほど）、所望の特性を有するＣＮＴ分散液を更に精度良く製造することができる。例えば、ｋ1の値が１に近いほど（即ち、下限値が参照値Ｑ0に近いほど）、酸化反応が適度に進行することにより、ＣＮＴが程良く切断されて良好に分散するため、有効ＣＮＴ歩留りが高いＣＮＴ分散液を得ることができる。また、例えば、ｋ2の値が１に近いほど（即ち、上限値が参照値Ｑ0に近いほど）、酸化反応が過度に進行することを抑制し、炭素不純物の発生を低減できるため、有効ＣＮＴ歩留りが高いＣＮＴ分散液を得ることができる。
【0058】
そして、予め定めた範囲を参照値Ｑ0の１点のみに設定し、上述した積Ｍ・ΔＴ・ｔｒの値が参照値Ｑ0と一致した時点でヒーターをオフにすれば、特に精度良く所望の特性のＣＮＴ分散液を製造することができる。
【0059】
ここで、図３において、本発明に関わる酸化処理の制御方法の一例のフロー図を示す。図３に示す酸化処理の制御方法の一例では、酸化剤およびＣＮＴを含む被処理液を加熱する酸化処理において、被処理液の質量または体積の値をＭとし、ヒーターをオンにした時点から、被処理液の温度が処理温度に達した時点までの被処理液の昇温速度をΔＴとし、被処理液の温度が処理温度に達した時点から、ヒーターをオフにする時点までの処理時間をｔｒとしたときの積Ｍ・ΔＴ・ｔｒの値が参照値Ｑ0未満である間は、ヒーターをオンの状態にして酸化処理を継続し、積Ｍ・ΔＴ・ｔｒの値が参照値Ｑ0以上に達した時点でヒーターをオフにして酸化処理を終了する。このように酸化処理を制御することにより、所望の特性を有するＣＮＴ分散液を精度良く製造することができる。
なお、上記一例では、予め定められた範囲は「参照値Ｑ0以上」に設定されているが、本発明の所望の効果が得られる限り、特に限定されず、例えば、上述した参照値Ｑ0の値に基づいて任意に設定することができる。
なお、上記一例では、予め定められた範囲は「参照値Ｑ0以上」に設定されているが、本発明の所望の効果が得られる限り、特に限定されず、例えば、上述した参照値Ｑ0の値に基づいて任意に設定することができる。
【0060】
（考察）
本発明について以下に考察する。
図４に示すように、ヒーターによる熱エネルギーは、放熱および冷却によってその一部が失われ、残りのエネルギーが反応エネルギーとして、ＣＮＴの酸化反応に消費される。これらの放熱量および冷却熱量は断熱材や冷却条件によって変動するため、結果として実質的に利用できる反応エネルギー量が変動することになる。被処理液の昇温速度ΔＴは、放熱および冷却によって失われる熱量を差し引いて、単位時間当たりに被処理液に加えられる熱エネルギーを表す。したがって、昇温速度ΔＴと、被処理液の質量または体積の値Ｍと、処理時間ｔｒとの積Ｍ・ΔＴ・ｔｒは、実質的に酸化処理に利用される実効エネルギーを表す良いパラメーターとなる。厳密に言えば、昇温中（ヒーターをオンにした時点から被処理液が処理温度に達する時点まで）のヒーターによる熱エネルギーと、酸化処理中（被処理液が処理温度に達した時点からヒーターをオフにする時点まで）のヒーターによる熱エネルギーとは異なるが、放熱および冷却による損失エネルギーに対する実効エネルギーの相対値は、昇温中と酸化処理中とでそれほど変わらない。したがって、例えば、ＣＮＴ分散液の製造方法の酸化処理工程において、積Ｍ・ΔＴ・ｔｒの値が上述した予め定められた範囲内に達した時点でヒーターをオフにすれば、ＣＮＴの酸化反応に利用される実効エネルギーを、所望の特性のＣＮＴ分散液が得られることが実証された予備実験の参考例ＸのＣＮＴの酸化反応に利用された実効エネルギーと同程度にすることができるため、所望の特性を有するＣＮＴ分散液を精度良く製造することができる。
なお、積Ｍ・ΔＴ・ｔｒの値を制御する手法としては、処理時間ｔｒの調整、被処理液の質量または体積の値Ｍの調整、並びに、ヒーターのワット数（発熱量）、断熱材、および冷却装置の冷却条件（例えば冷媒の流量）などの変更による昇温速度ΔＴの調整などが挙げられるが、処理時間ｔｒの調整が最も容易である。
本発明について以下に考察する。
図４に示すように、ヒーターによる熱エネルギーは、放熱および冷却によってその一部が失われ、残りのエネルギーが反応エネルギーとして、ＣＮＴの酸化反応に消費される。これらの放熱量および冷却熱量は断熱材や冷却条件によって変動するため、結果として実質的に利用できる反応エネルギー量が変動することになる。被処理液の昇温速度ΔＴは、放熱および冷却によって失われる熱量を差し引いて、単位時間当たりに被処理液に加えられる熱エネルギーを表す。したがって、昇温速度ΔＴと、被処理液の質量または体積の値Ｍと、処理時間ｔｒとの積Ｍ・ΔＴ・ｔｒは、実質的に酸化処理に利用される実効エネルギーを表す良いパラメーターとなる。厳密に言えば、昇温中（ヒーターをオンにした時点から被処理液が処理温度に達する時点まで）のヒーターによる熱エネルギーと、酸化処理中（被処理液が処理温度に達した時点からヒーターをオフにする時点まで）のヒーターによる熱エネルギーとは異なるが、放熱および冷却による損失エネルギーに対する実効エネルギーの相対値は、昇温中と酸化処理中とでそれほど変わらない。したがって、例えば、ＣＮＴ分散液の製造方法の酸化処理工程において、積Ｍ・ΔＴ・ｔｒの値が上述した予め定められた範囲内に達した時点でヒーターをオフにすれば、ＣＮＴの酸化反応に利用される実効エネルギーを、所望の特性のＣＮＴ分散液が得られることが実証された予備実験の参考例ＸのＣＮＴの酸化反応に利用された実効エネルギーと同程度にすることができるため、所望の特性を有するＣＮＴ分散液を精度良く製造することができる。
なお、積Ｍ・ΔＴ・ｔｒの値を制御する手法としては、処理時間ｔｒの調整、被処理液の質量または体積の値Ｍの調整、並びに、ヒーターのワット数（発熱量）、断熱材、および冷却装置の冷却条件（例えば冷媒の流量）などの変更による昇温速度ΔＴの調整などが挙げられるが、処理時間ｔｒの調整が最も容易である。
【実施例】
【0061】
以下、本発明について実施例に基づき具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。なお、以下において、量を表す「％」は、特に断らない限り、質量基準である。
【0062】
なお、ＣＮＴの凝集率、ＣＮＴの炭素不純物含有率および有効ＣＮＴ歩留りは、下記の方法に従って測定した。
【0063】
＜ＣＮＴの凝集率＞
得られたＣＮＴ分散液または未処理液を水で１００倍に希釈した後、アンモニアを少量添加してｐＨ７．０に調整し、得られた液の光の透過度（Ａ）を測定した。さらに、この液を２００ｎｍの空孔径のシリンジフィルターを通して得られた液の光の透過度（Ｂ）を測定した。ここで、ＣＮＴの凝集率は、式：｛１－（Ｂ／Ａ）｝×１００［％］により算出した。なお、ＣＮＴ分散液中でＣＮＴが完全に分散していれば、ＢとＡとは同一の値となり、ＣＮＴの凝集率は０％となる。
得られたＣＮＴ分散液または未処理液を水で１００倍に希釈した後、アンモニアを少量添加してｐＨ７．０に調整し、得られた液の光の透過度（Ａ）を測定した。さらに、この液を２００ｎｍの空孔径のシリンジフィルターを通して得られた液の光の透過度（Ｂ）を測定した。ここで、ＣＮＴの凝集率は、式：｛１－（Ｂ／Ａ）｝×１００［％］により算出した。なお、ＣＮＴ分散液中でＣＮＴが完全に分散していれば、ＢとＡとは同一の値となり、ＣＮＴの凝集率は０％となる。
【0064】
＜ＣＮＴの炭素不純物含有率＞
得られたＣＮＴ分散液または未処理液を水で１００倍に希釈した後、アンモニアを少量添加してｐＨ７．０に調整し、得られた液の光の透過度（Ａ）を測定した。さらに、この溶に塩を加えて、炭素不純物であるアモルファスカーボンだけを塩析させて、上澄み液の光透過度（Ｃ）を測定した。ＣＮＴの炭素不純物含有率（相対値）は、式：｛１－（Ｃ／Ａ）｝×１００［％］により算出した。なお、ＣＮＴが炭素不純物を含有しない場合は、ＣとＡとは同一の値となり、炭素不純物含有率（相対値）は０％となる。
得られたＣＮＴ分散液または未処理液を水で１００倍に希釈した後、アンモニアを少量添加してｐＨ７．０に調整し、得られた液の光の透過度（Ａ）を測定した。さらに、この溶に塩を加えて、炭素不純物であるアモルファスカーボンだけを塩析させて、上澄み液の光透過度（Ｃ）を測定した。ＣＮＴの炭素不純物含有率（相対値）は、式：｛１－（Ｃ／Ａ）｝×１００［％］により算出した。なお、ＣＮＴが炭素不純物を含有しない場合は、ＣとＡとは同一の値となり、炭素不純物含有率（相対値）は０％となる。
【0065】
＜有効ＣＮＴ歩留り＞
上記で得られたＣＮＴの凝集率および炭素不純物含有率を用いて、有効ＣＮＴ歩留りを、下記の式により算出した。ＣＮＴ分散液における有効ＣＮＴ歩留りが高いほど、ＣＮＴは良好に分散し、且つ、炭素不純物の含有率も小さいため、均一性および再現性に優れた電子デバイスの製造に良好に使用し得ることを示す。
有効ＣＮＴ歩留り＝｛１－（ＣＮＴの凝集率／１００）｝×｛１－（ＣＮＴの炭素不純物含有率／１００）｝×１００［％］
上記で得られたＣＮＴの凝集率および炭素不純物含有率を用いて、有効ＣＮＴ歩留りを、下記の式により算出した。ＣＮＴ分散液における有効ＣＮＴ歩留りが高いほど、ＣＮＴは良好に分散し、且つ、炭素不純物の含有率も小さいため、均一性および再現性に優れた電子デバイスの製造に良好に使用し得ることを示す。
有効ＣＮＴ歩留り＝｛１－（ＣＮＴの凝集率／１００）｝×｛１－（ＣＮＴの炭素不純物含有率／１００）｝×１００［％］
【0066】
（予備実験）
予備実験として、以下の参考例１～５の酸化処理を行い、得られたＣＮＴ分散液を比較し、最も所望とする特性を有するＣＮＴ分散液が得られた参考例に基づいて、参照値Ｑ0の値を決定した。
予備実験として、以下の参考例１～５の酸化処理を行い、得られたＣＮＴ分散液を比較し、最も所望とする特性を有するＣＮＴ分散液が得られた参考例に基づいて、参照値Ｑ0の値を決定した。
【0067】
＜参考例１＞
カーボンナノチューブ１００ｇを５０％硝酸水溶液２０Ｌに添加して、被処理液を調製した。なお、被処理液の質量の値はＭ´（＝２０．１ｋｇ）であり、被処理液中のＣＮＴ濃度は０．５％であった。なお、酸化処理を行う前の被処理液（未処理液）を用いて、上述した方法により、ＣＮＴの凝集率、ＣＮＴの炭素不純物含有率および有効ＣＮＴ歩留りを測定した。結果を図５～７に示す。
次いで、上記で調製した被処理液を、図１に示した酸化処理装置１００の容器８に入れた。
ヒーター３をオンにして被処理液の加熱を開始し、処理温度１１５℃まで昇温させた。
被処理液が処理温度１１５℃に達した時点以降は、被処理液の温度が可能な限り１１５℃から変動しないようにヒーター３のパワーを制御した。具体的には、被処理液の温度が１１５℃以上１２０℃以下に維持されるようにした。
そして、被処理液が処理温度１１５℃に達した時点から１１時間が経過した時点（即ち、処理時間ｔｒ´が４８０分となった時点）でヒーター３をオフにして加熱を停止し、被処理液が常温（２５℃）になるまで静置し、酸化処理後の被処理液をＣＮＴ分散液として回収した。
なお、上述した操作は、還流冷却装置２を稼働させ、冷却を行いながら実施した。
得られたＣＮＴ分散液を用いて、ＣＮＴの凝集率、ＣＮＴの炭素不純物含有率および有効ＣＮＴ歩留りを測定した。結果を図５～７に示す。
カーボンナノチューブ１００ｇを５０％硝酸水溶液２０Ｌに添加して、被処理液を調製した。なお、被処理液の質量の値はＭ´（＝２０．１ｋｇ）であり、被処理液中のＣＮＴ濃度は０．５％であった。なお、酸化処理を行う前の被処理液（未処理液）を用いて、上述した方法により、ＣＮＴの凝集率、ＣＮＴの炭素不純物含有率および有効ＣＮＴ歩留りを測定した。結果を図５～７に示す。
次いで、上記で調製した被処理液を、図１に示した酸化処理装置１００の容器８に入れた。
ヒーター３をオンにして被処理液の加熱を開始し、処理温度１１５℃まで昇温させた。
被処理液が処理温度１１５℃に達した時点以降は、被処理液の温度が可能な限り１１５℃から変動しないようにヒーター３のパワーを制御した。具体的には、被処理液の温度が１１５℃以上１２０℃以下に維持されるようにした。
そして、被処理液が処理温度１１５℃に達した時点から１１時間が経過した時点（即ち、処理時間ｔｒ´が４８０分となった時点）でヒーター３をオフにして加熱を停止し、被処理液が常温（２５℃）になるまで静置し、酸化処理後の被処理液をＣＮＴ分散液として回収した。
なお、上述した操作は、還流冷却装置２を稼働させ、冷却を行いながら実施した。
得られたＣＮＴ分散液を用いて、ＣＮＴの凝集率、ＣＮＴの炭素不純物含有率および有効ＣＮＴ歩留りを測定した。結果を図５～７に示す。
【0068】
＜参考例２～５＞
処理時間ｔｒ´を４８０分から、５４０分、６００分、６６０分、７２０分にそれぞれ変更したこと以外は、上記と同様の操作にて酸化処理を行い、得られたＣＮＴ分散液を用いて各種の測定を行った。結果を図５～７に示す。
処理時間ｔｒ´を４８０分から、５４０分、６００分、６６０分、７２０分にそれぞれ変更したこと以外は、上記と同様の操作にて酸化処理を行い、得られたＣＮＴ分散液を用いて各種の測定を行った。結果を図５～７に示す。
【0069】
図７に示す通り、参考例４（処理時間ｔｒ´＝６６０［分］＝１１［時間］）において、得られるＣＮＴ分散液中の有効ＣＮＴ歩留りが最大となっていることがわかる。そこで、参考例４における酸化処理の条件を標準条件とした。
そして、最も所望とする特性を有するＣＮＴ分散液が得られた参考例４について、被処理液の質量の値Ｍ´（＝２０.１ｋｇ）をＭ0とし、処理温度１１５℃の１／２である温度５７．５℃の時点における被処理液の昇温速度ΔＴ´をΔＴ0とし、処理時間ｔｒ´（＝１１［時間］）をｔｒ0としたときの積の値Ｍ0・ΔＴ0・ｔｒ0を参照値Ｑ0として求めた。
そして、最も所望とする特性を有するＣＮＴ分散液が得られた参考例４について、被処理液の質量の値Ｍ´（＝２０.１ｋｇ）をＭ0とし、処理温度１１５℃の１／２である温度５７．５℃の時点における被処理液の昇温速度ΔＴ´をΔＴ0とし、処理時間ｔｒ´（＝１１［時間］）をｔｒ0としたときの積の値Ｍ0・ΔＴ0・ｔｒ0を参照値Ｑ0として求めた。
【0070】
（本実験１）
上述した予備実験の参考例４で得られたＣＮＴ分散液の有する特性が所望の特性であるものとして、以下の実施例１－１～１－２、および比較例１－１～１－２の酸化処理を行った。
上述した予備実験の参考例４で得られたＣＮＴ分散液の有する特性が所望の特性であるものとして、以下の実施例１－１～１－２、および比較例１－１～１－２の酸化処理を行った。
【0071】
＜比較例１－１＞
容器８の上面部を覆う断熱材９（上部断熱材）の量を１０％削減したこと以外は、上述した予備実験の参考例４で使用した酸化処理装置１００と同じ酸化処理装置を準備した。
次いで、参考例４と同様にして調製した被処理液（質量の値Ｍ＝Ｍ0、ＣＮＴ濃度０．５％）を容器８に入れた。
ヒーター３をオンにして被処理液の加熱を開始し、処理温度１１５℃まで昇温させた。なお、上部断熱材を１０％削減したことにより、処理温度１１５℃の１／２である温度５７．５℃の時点における被処理液の昇温速度ΔＴは、上述した参考例４における昇温速度ΔＴ0から４５％低下していた（即ち、比較例１－１における昇温速度ΔＴは０．５５ΔＴ0であった）。
被処理液が処理温度１１５℃に達した時点以降は、被処理液の温度が可能な限り１１５℃から変動しないようにヒーター３のパワーを制御した。具体的には、被処理液の温度が１１５℃以上１２０℃以下に維持されるようにした。
そして、被処理液が処理温度１１５℃に達した時点から１１時間が経過した時点（即ち、処理時間ｔｒが１１時間となった時点）でヒーター３をオフにして加熱を停止し、被処理液が常温（２５℃）になるまで静置し、酸化処理後の被処理液をＣＮＴ分散液として回収した。
得られたＣＮＴ分散液を用いて、ＣＮＴの凝集率、ＣＮＴの炭素不純物含有率を測定し、その結果に基づいて、有効ＣＮＴ歩留りを求めた。結果を表１に示す。
容器８の上面部を覆う断熱材９（上部断熱材）の量を１０％削減したこと以外は、上述した予備実験の参考例４で使用した酸化処理装置１００と同じ酸化処理装置を準備した。
次いで、参考例４と同様にして調製した被処理液（質量の値Ｍ＝Ｍ0、ＣＮＴ濃度０．５％）を容器８に入れた。
ヒーター３をオンにして被処理液の加熱を開始し、処理温度１１５℃まで昇温させた。なお、上部断熱材を１０％削減したことにより、処理温度１１５℃の１／２である温度５７．５℃の時点における被処理液の昇温速度ΔＴは、上述した参考例４における昇温速度ΔＴ0から４５％低下していた（即ち、比較例１－１における昇温速度ΔＴは０．５５ΔＴ0であった）。
被処理液が処理温度１１５℃に達した時点以降は、被処理液の温度が可能な限り１１５℃から変動しないようにヒーター３のパワーを制御した。具体的には、被処理液の温度が１１５℃以上１２０℃以下に維持されるようにした。
そして、被処理液が処理温度１１５℃に達した時点から１１時間が経過した時点（即ち、処理時間ｔｒが１１時間となった時点）でヒーター３をオフにして加熱を停止し、被処理液が常温（２５℃）になるまで静置し、酸化処理後の被処理液をＣＮＴ分散液として回収した。
得られたＣＮＴ分散液を用いて、ＣＮＴの凝集率、ＣＮＴの炭素不純物含有率を測定し、その結果に基づいて、有効ＣＮＴ歩留りを求めた。結果を表１に示す。
【0072】
＜実施例１－１＞
上部断熱材の量を１０％削減したこと以外は、上述した予備実験の参考例４で使用した酸化処理装置１００と同じ酸化処理装置を準備した。
次いで、参考例４と同様にして調製した被処理液（質量の値Ｍ＝Ｍ0、ＣＮＴ濃度０．５％）を容器８に入れた。
ヒーター３をオンにして被処理液の加熱を開始し、処理温度１１５℃まで昇温させた。なお、上部断熱材を１０％削減したことにより、処理温度１１５℃の１／２である温度５７．５℃の時点における被処理液の昇温速度ΔＴは、上述した参考例４における昇温速度ΔＴ0から４５％低下していた（即ち、実施例１－１における昇温速度ΔＴは０．５５ΔＴ0であった）。
被処理液が処理温度１１５℃に達した時点以降は、被処理液の温度が１１５℃からなるべく変動しないようにヒーター３のパワーを制御した。具体的には、被処理液の温度が１１５℃以上１２０℃以下に維持されるようにした。
そして、被処理液の質量の値Ｍ（＝Ｍ0）と、被処理液の昇温速度ΔＴ（＝０．５５ΔＴ0）と、処理時間ｔｒとの積の値Ｍ・ΔＴ・ｔｒが上述した参照値Ｑ0の値と一致するように、処理時間ｔｒが２０時間になった時点でヒーター３をオフにして加熱を停止し、被処理液が常温（２５℃）になるまで静置し、酸化処理後の被処理液をＣＮＴ分散液として回収した。
得られたＣＮＴ分散液を用いて、ＣＮＴの凝集率、ＣＮＴの炭素不純物含有率を測定し、その結果に基づいて、有効ＣＮＴ歩留りを求めた。結果を表１に示す。
上部断熱材の量を１０％削減したこと以外は、上述した予備実験の参考例４で使用した酸化処理装置１００と同じ酸化処理装置を準備した。
次いで、参考例４と同様にして調製した被処理液（質量の値Ｍ＝Ｍ0、ＣＮＴ濃度０．５％）を容器８に入れた。
ヒーター３をオンにして被処理液の加熱を開始し、処理温度１１５℃まで昇温させた。なお、上部断熱材を１０％削減したことにより、処理温度１１５℃の１／２である温度５７．５℃の時点における被処理液の昇温速度ΔＴは、上述した参考例４における昇温速度ΔＴ0から４５％低下していた（即ち、実施例１－１における昇温速度ΔＴは０．５５ΔＴ0であった）。
被処理液が処理温度１１５℃に達した時点以降は、被処理液の温度が１１５℃からなるべく変動しないようにヒーター３のパワーを制御した。具体的には、被処理液の温度が１１５℃以上１２０℃以下に維持されるようにした。
そして、被処理液の質量の値Ｍ（＝Ｍ0）と、被処理液の昇温速度ΔＴ（＝０．５５ΔＴ0）と、処理時間ｔｒとの積の値Ｍ・ΔＴ・ｔｒが上述した参照値Ｑ0の値と一致するように、処理時間ｔｒが２０時間になった時点でヒーター３をオフにして加熱を停止し、被処理液が常温（２５℃）になるまで静置し、酸化処理後の被処理液をＣＮＴ分散液として回収した。
得られたＣＮＴ分散液を用いて、ＣＮＴの凝集率、ＣＮＴの炭素不純物含有率を測定し、その結果に基づいて、有効ＣＮＴ歩留りを求めた。結果を表１に示す。
【0073】
＜比較例１－２＞
上述した予備実験の参考例４と同じ操作で、被処理液（質量の値Ｍ＝Ｍ0、ＣＮＴ濃度０．５％）を、酸化処理装置１００の容器８に入れた。
ヒーター３をオンにして被処理液の加熱を開始し、処理温度１１５℃まで昇温させた。このとき、還流冷却装置２の冷媒の流量を、参考例４のときの冷媒の流量から３０％増加させた。冷媒の流量の増加により、処理温度１１５℃の１／２である温度５７．５℃の時点における被処理液の昇温速度ΔＴは、上述した参考例４における昇温速度ΔＴ0から１８％低下していた（即ち、比較例１－２における昇温速度ΔＴは０．８２ΔＴ0であった）。
被処理液が処理温度１１５℃に達した時点以降は、被処理液の温度が可能な限り１１５℃から変動しないようにヒーター３のパワーを制御した。具体的には、被処理液の温度が１１５℃以上１２０℃以下に維持されるようにした。
そして、被処理液が処理温度１１５℃に達した時点から１１時間が経過した時点（即ち、処理時間ｔｒが１１時間となった時点）でヒーター３をオフにして加熱を停止し、被処理液が常温（２５℃）になるまで静置し、酸化処理後の被処理液をＣＮＴ分散液として回収した。
得られたＣＮＴ分散液を用いて、ＣＮＴの凝集率、ＣＮＴの炭素不純物含有率を測定し、その結果に基づいて、有効ＣＮＴ歩留りを求めた。結果を表１に示す。
上述した予備実験の参考例４と同じ操作で、被処理液（質量の値Ｍ＝Ｍ0、ＣＮＴ濃度０．５％）を、酸化処理装置１００の容器８に入れた。
ヒーター３をオンにして被処理液の加熱を開始し、処理温度１１５℃まで昇温させた。このとき、還流冷却装置２の冷媒の流量を、参考例４のときの冷媒の流量から３０％増加させた。冷媒の流量の増加により、処理温度１１５℃の１／２である温度５７．５℃の時点における被処理液の昇温速度ΔＴは、上述した参考例４における昇温速度ΔＴ0から１８％低下していた（即ち、比較例１－２における昇温速度ΔＴは０．８２ΔＴ0であった）。
被処理液が処理温度１１５℃に達した時点以降は、被処理液の温度が可能な限り１１５℃から変動しないようにヒーター３のパワーを制御した。具体的には、被処理液の温度が１１５℃以上１２０℃以下に維持されるようにした。
そして、被処理液が処理温度１１５℃に達した時点から１１時間が経過した時点（即ち、処理時間ｔｒが１１時間となった時点）でヒーター３をオフにして加熱を停止し、被処理液が常温（２５℃）になるまで静置し、酸化処理後の被処理液をＣＮＴ分散液として回収した。
得られたＣＮＴ分散液を用いて、ＣＮＴの凝集率、ＣＮＴの炭素不純物含有率を測定し、その結果に基づいて、有効ＣＮＴ歩留りを求めた。結果を表１に示す。
【0074】
＜実施例１－２＞
上述した予備実験の参考例４と同じ操作で、被処理液（質量の値Ｍ＝Ｍ0、ＣＮＴ濃度０．５％）を、酸化処理装置１００の容器８に入れた。
ヒーター３をオンにして被処理液の加熱を開始し、処理温度１１５℃まで昇温させた。このとき、還流冷却装置２の冷媒の流量を、参考例４のときの冷媒の流量から３０％増加させた。冷媒の流量の増加により、処理温度１１５℃の１／２である温度５７．５℃の時点における被処理液の昇温速度ΔＴは、上述した参考例４における昇温速度ΔＴ0から１８％低下していた（即ち、実施例１－２における昇温速度ΔＴは０．８２ΔＴ0であった）。
被処理液が処理温度１１５℃に達した時点以降は、被処理液の温度が可能な限り１１５℃から変動しないようにヒーター３のパワーを制御した。具体的には、被処理液の温度が１１５℃以上１２０℃以下に維持されるようにした。
そして、被処理液の質量の値Ｍ（＝Ｍ0）と、被処理液の昇温速度ΔＴ（＝０．８２ΔＴ0）と、処理時間ｔｒとの積の値Ｍ・ΔＴ・ｔｒが上述した参照値Ｑ0の値と一致するように、処理時間ｔｒが１３．４時間になった時点でヒーター３をオフにして加熱を停止し、被処理液が常温（２５℃）になるまで静置し、酸化処理後の被処理液をＣＮＴ分散液として回収した。
得られたＣＮＴ分散液を用いて、ＣＮＴの凝集率、ＣＮＴの炭素不純物含有率を測定し、その結果に基づいて、有効ＣＮＴ歩留りを求めた。結果を表１に示す。
上述した予備実験の参考例４と同じ操作で、被処理液（質量の値Ｍ＝Ｍ0、ＣＮＴ濃度０．５％）を、酸化処理装置１００の容器８に入れた。
ヒーター３をオンにして被処理液の加熱を開始し、処理温度１１５℃まで昇温させた。このとき、還流冷却装置２の冷媒の流量を、参考例４のときの冷媒の流量から３０％増加させた。冷媒の流量の増加により、処理温度１１５℃の１／２である温度５７．５℃の時点における被処理液の昇温速度ΔＴは、上述した参考例４における昇温速度ΔＴ0から１８％低下していた（即ち、実施例１－２における昇温速度ΔＴは０．８２ΔＴ0であった）。
被処理液が処理温度１１５℃に達した時点以降は、被処理液の温度が可能な限り１１５℃から変動しないようにヒーター３のパワーを制御した。具体的には、被処理液の温度が１１５℃以上１２０℃以下に維持されるようにした。
そして、被処理液の質量の値Ｍ（＝Ｍ0）と、被処理液の昇温速度ΔＴ（＝０．８２ΔＴ0）と、処理時間ｔｒとの積の値Ｍ・ΔＴ・ｔｒが上述した参照値Ｑ0の値と一致するように、処理時間ｔｒが１３．４時間になった時点でヒーター３をオフにして加熱を停止し、被処理液が常温（２５℃）になるまで静置し、酸化処理後の被処理液をＣＮＴ分散液として回収した。
得られたＣＮＴ分散液を用いて、ＣＮＴの凝集率、ＣＮＴの炭素不純物含有率を測定し、その結果に基づいて、有効ＣＮＴ歩留りを求めた。結果を表１に示す。
【0075】
【表1】
【0076】
表１より、実施例１－１および１－２により製造されたＣＮＴ分散液は、比較例１－１および１－２により製造されたＣＮＴ分散液よりも、有効ＣＮＴ歩留りの値が、予備実験の参考例４で製造されたＣＮＴ分散液の有効ＣＮＴ歩留りの値に近く、所望の特性を有していることがわかる。このことから、被処理液の質量または体積の値Ｍと、昇温速度ΔＴと、処理時間ｔｒとの積の値Ｍ・ΔＴ・ｔｒに基づいて、ヒーターをオフにする時点を決定した実施例１－１および１－２では、処理時間ｔｒのみに基づいてヒーターをオフにする時点を決定した比較例１－１および１－２と比較して、所望の特性を有するカーボンナノチューブ分散液を精度良く製造できることが分かる。
【0077】
（本実験２）
＜比較例２（ロット１０１～１０６）＞
上述した予備実験の参考例４と同じ操作（即ち、被処理液が処理温度１１５℃に達した時点からヒーター３をオフにする時点までの処理時間ｔｒ＝１１［時間］）での酸化処理を、ロット１０１～１０６の合計６回繰り返して行い、ＣＮＴ分散液を製造した。
なお、上述した予備実験の参考例４と同じ操作を行ったものの、各ロット１０１～１０６の処理温度１１５℃の１／２である温度５７．５℃の時点における被処理液の昇温速度ΔＴの値と、参考例４における昇温速度ΔＴ0の値とは一致していなかった。また、各ロット１０１～１０６における昇温速度ΔＴ同士の値も一致しておらず、相互に異なっていた。
各ロット１０１～１０６で得られたＣＮＴ分散液を用いて、ＣＮＴの凝集率、ＣＮＴの炭素不純物含有率を測定し、その結果に基づいて、有効ＣＮＴ歩留りを求めた。結果を図８に示す。
＜比較例２（ロット１０１～１０６）＞
上述した予備実験の参考例４と同じ操作（即ち、被処理液が処理温度１１５℃に達した時点からヒーター３をオフにする時点までの処理時間ｔｒ＝１１［時間］）での酸化処理を、ロット１０１～１０６の合計６回繰り返して行い、ＣＮＴ分散液を製造した。
なお、上述した予備実験の参考例４と同じ操作を行ったものの、各ロット１０１～１０６の処理温度１１５℃の１／２である温度５７．５℃の時点における被処理液の昇温速度ΔＴの値と、参考例４における昇温速度ΔＴ0の値とは一致していなかった。また、各ロット１０１～１０６における昇温速度ΔＴ同士の値も一致しておらず、相互に異なっていた。
各ロット１０１～１０６で得られたＣＮＴ分散液を用いて、ＣＮＴの凝集率、ＣＮＴの炭素不純物含有率を測定し、その結果に基づいて、有効ＣＮＴ歩留りを求めた。結果を図８に示す。
【0078】
＜実施例２（ロット２０１～２０８）＞
被処理液が処理温度１１５℃に達した時点からヒーター３をオフにする時点までの処理時間ｔｒが１１時間になるようにヒーター３をオフにするのではなく、被処理液の質量の値Ｍと、処理温度１１５℃の１／２である温度５７．５℃の時点における被処理液の昇温速度ΔＴと、処理時間ｔｒとの積の値Ｍ・ΔＴ・ｔｒが上述した参照値Ｑ0の値と一致するように、ヒーター３をオフにする時点を決定して、処理時間ｔｒを調整したこと以外は、上述した予備実験の参考例４と同じ操作での酸化処理を、ロット２０１～２０８の合計８回繰り返して行い、ＣＮＴ分散液を製造した。
なお、上述した予備実験の参考例４と同じ操作を行ったものの、各ロット２０１～２０８における昇温速度ΔＴの値と、参考例４における昇温速度ΔＴ0の値とは一致していなかった。また、各ロット２０１～２０８における昇温速度ΔＴの値同士も一致しておらず、相互に異なっていた。よって、積の値Ｍ・ΔＴ・ｔｒを参照値Ｑ0と一致させるため、各ロット２０１～２０８における処理時間ｔｒの値同士も一致しておらず、相互に異なっていた。
各ロット２０１～２０８で得られたＣＮＴ分散液を用いて、ＣＮＴの凝集率、ＣＮＴの炭素不純物含有率を測定し、その結果に基づいて、有効ＣＮＴ歩留りを求めた。結果を図８に示す。
被処理液が処理温度１１５℃に達した時点からヒーター３をオフにする時点までの処理時間ｔｒが１１時間になるようにヒーター３をオフにするのではなく、被処理液の質量の値Ｍと、処理温度１１５℃の１／２である温度５７．５℃の時点における被処理液の昇温速度ΔＴと、処理時間ｔｒとの積の値Ｍ・ΔＴ・ｔｒが上述した参照値Ｑ0の値と一致するように、ヒーター３をオフにする時点を決定して、処理時間ｔｒを調整したこと以外は、上述した予備実験の参考例４と同じ操作での酸化処理を、ロット２０１～２０８の合計８回繰り返して行い、ＣＮＴ分散液を製造した。
なお、上述した予備実験の参考例４と同じ操作を行ったものの、各ロット２０１～２０８における昇温速度ΔＴの値と、参考例４における昇温速度ΔＴ0の値とは一致していなかった。また、各ロット２０１～２０８における昇温速度ΔＴの値同士も一致しておらず、相互に異なっていた。よって、積の値Ｍ・ΔＴ・ｔｒを参照値Ｑ0と一致させるため、各ロット２０１～２０８における処理時間ｔｒの値同士も一致しておらず、相互に異なっていた。
各ロット２０１～２０８で得られたＣＮＴ分散液を用いて、ＣＮＴの凝集率、ＣＮＴの炭素不純物含有率を測定し、その結果に基づいて、有効ＣＮＴ歩留りを求めた。結果を図８に示す。
【0079】
図８より、実施例２（ロット２０１～２０８）により製造されたＣＮＴ分散液は、比較例２（ロット１０１～１０６）により製造されたＣＮＴ分散液よりも、有効ＣＮＴ歩留りの値が、予備実験の参考例４で製造されたＣＮＴ分散液の有効ＣＮＴ歩留りの値に近く、高いレベルで安定していて、所望の特性を有していることがわかる。このことから、被処理液の質量または体積の値Ｍと、昇温速度ΔＴと、処理時間ｔｒとの積の値Ｍ・ΔＴ・ｔｒに基づいて、ヒーターをオフにする時点を決定した実施例２（ロット２０１～２０８）では、処理時間ｔｒのみに基づいてヒーターをオフにする時点を決定した比較例２（ロット１０１～１０６）と比較して、所望の特性を有するカーボンナノチューブ分散液を精度良く製造できることが分かる。
【産業上の利用可能性】
【0080】
本発明によれば、所望の特性を有するカーボンナノチューブ分散液を精度良く製造し得るカーボンナノチューブ分散液の製造方法を提供することができる。
【符号の説明】
【0081】
１，９ 断熱材
２ 還流冷却装置
３ ヒーター
４ 被処理液
５ 攪拌装置
６，１０，１１ 温度計
７ 電源
８ 容器
１２ 流量計
１００ 酸化処理装置
２ 還流冷却装置
３ ヒーター
４ 被処理液
５ 攪拌装置
６，１０，１１ 温度計
７ 電源
８ 容器
１２ 流量計
１００ 酸化処理装置
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】