特許 7364430 ドレッサボードの上面高さ測定方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2023-10-10

(45)【発行日】2023-10-18

(54)【発明の名称】ドレッサボードの上面高さ測定方法

(51)【国際特許分類】

   B24B 53/00 20060101AFI20231011BHJP

   B24B 53/12 20060101ALI20231011BHJP

   B24B 53/02 20120101ALI20231011BHJP

【ＦＩ】

B24B53/00 A

B24B53/12 Z

B24B53/02

【請求項の数】 3

(21)【出願番号】P 2019199778

(22)【出願日】2019-11-01

(65)【公開番号】P2021070127

(43)【公開日】2021-05-06

【審査請求日】2022-09-30

(73)【特許権者】

【識別番号】000134051

【氏名又は名称】株式会社ディスコ

(74)【代理人】

【識別番号】110001014

【氏名又は名称】弁理士法人東京アルパ特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】川越 大輔

(72)【発明者】

【氏名】万波 秀年

(72)【発明者】

【氏名】中野 恵助

【審査官】須中 栄治

(56)【参考文献】

【文献】特開２００９－０２３０５７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１９－１２３０４６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１９－１４１９４９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１８－０５８１６０（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｂ２４Ｂ５３／００－５３／０５３

Ｂ２４Ｂ５３／０９５－５３／１０

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

保持面に被加工物を保持させ該保持面の中心を軸に該保持面を回転させる保持手段と、該保持面に保持された被加工物を研削砥石の研削面により研削する研削手段と、該研削砥石により該保持手段に保持された被加工物を研削する研削位置に該保持手段を位置づける位置づけ手段と、該保持面に保持された被加工物の上面高さを測定するハイトゲージと、を備える研削装置を用いて、該保持面を覆う面積の基板と該基板の上面中央に形成されるドレス砥石とからなるドレッサボードの該基板を該保持面に保持させ該ドレス砥石の上面高さを測定するドレッサボードの上面高さ測定方法であって、
該保持面の中心と該ドレス砥石の中心とをずらして該保持面に該ドレッサボードを保持させる保持工程と、
該保持工程で該保持面に該ドレッサボードを保持した該保持手段を回転させることにより該保持面の中心を中心として該ドレス砥石を回転させて、該ドレス砥石を該ハイトゲージの下方に位置させ、該ドレッサボードの該ドレス砥石の上面高さを該ハイトゲージで測定可能に位置づける位置づけ工程と、
該位置づけ工程で位置付けられた該保持面に保持された該ドレス砥石の上面高さを、該ハイトゲージで測定する上面高さ測定工程と、
を備えるドレッサボードの上面高さ測定方法。

【請求項2】

該研削装置は、該ドレッサボードを保持する保持部を有し該保持部に保持された該ドレッサボードを該保持面に搬入する搬入手段と、該ドレッサボードを仮置きする仮置きテーブルとを備え、
該保持工程の前に該仮置きテーブルに該ドレッサボードを仮置きさせる仮置き工程を備え、
該保持工程は、該仮置きテーブルに仮置きされた該ドレッサボードを該搬入手段で、該保持面の中心と該ドレス砥石の中心とをずらして該保持面に該ドレッサボードを保持させる、
請求項１記載のドレッサボードの上面高さ測定方法。

【請求項3】

該研削装置は、該保持面に水を供給する水供給ノズルを備え、
該保持工程において、該水供給ノズルから該保持面に水を供給し、該保持面のうち該基板に接触しておらず露出している部分に水シールを形成する、
請求項１または２記載のドレッサボードの上面高さ測定方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ドレッサボードの上面高さ測定方法に関する。

【背景技術】

【0002】

被加工物を研削する研削装置においては、チャックテーブルの保持面に保持された被加工物を研削砥石を用いて研削している。研削加工を継続的に行うと研削砥石の研削力が低下することがある。研削力が低下する原因には、例えば研削砥石の研削面に研削屑が付着することによって生じる目詰まりや、研削面に表出している砥粒が平坦化される目つぶれ等が有る。

【0003】

そのため、研削面をドレス砥石を用いて研削して新たな研削面を表出させるドレスを行う事により研削砥石の研削力を回復させている。
ドレスは、特許文献１に開示のように、保持面に板状のドレッサボードを保持して、ドレッサボードに配置されるドレス砥石に研削砥石の研削面を接触させて行われる。保持面にドレッサボードを保持する際に研削加工を中断してしまうため、ドレス時間は短いほうがよい。
ドレス時間を短くするために、ドレッサボードのドレス砥石の上面の高さを測定し、ドレス砥石の上面に研削砥石の研削面が接触する高さに研削砥石を素早く位置づけることが必要となる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【文献】特開２００９－１４２９０６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

しかし、ドレス砥石は基台の中央にのみ配置されているため、被加工物の上面の高さを測定するハイトゲージでは測定できないという問題がある。
従って、ドレッサボードのドレス砥石の上面の高さを測定してドレス時間を短くするという解決すべき課題がある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明は、保持面に被加工物を保持させ該保持面の中心を軸に該保持面を回転させる保持手段と、該保持面に保持された被加工物を研削砥石の研削面で研削する研削手段と、該研削砥石により該保持手段に保持された被加工物を研削する研削位置に該保持手段を位置づける位置づけ手段と、該保持面に保持された被加工物の上面高さを測定するハイトゲージと、を備える研削装置を用いて、該保持面を覆う面積の基盤と該基板の上面中央に形成されるドレス砥石とからなるドレッサボードの該基板を該保持面に保持させ該ドレス砥石の上面高さを測定するドレッサボードの上面高さ測定方法であって、該保持面の中心と該ドレス砥石の中心とをずらして該保持面に該ドレッサボードを保持させる保持工程と、該保持工程で該保持面に該ドレッサボードを保持した該保持手段を回転させることにより該保持面の中心を中心として該ドレス砥石を回転させて、該ドレス砥石を該ハイトゲージの下方に位置させ、該ドレッサボードの該ドレス砥石の上面高さを該ハイトゲージで測定可能に位置づける位置づけ工程と、該位置づけ工程で位置付けられた該保持面に保持された該ドレス砥石の上面高さを、該ハイトゲージで測定する上面高さ測定工程と、を備えるドレッサボードの上面高さ測定方法である。
上記の該研削装置は、該ドレッサボードを保持する保持部を有し該保持部に保持された該ドレッサボードを該保持面に搬入する搬入手段と、該ドレッサボードを仮置きする仮置きテーブルとを備え、該保持工程の前に該仮置きテーブルに該ドレッサボードを仮置きさせる仮置き工程を備えるものであり、上面高さ測定方法に備える該保持工程は、該仮置きテーブルに仮置きされた該ドレッサボードを該搬入手段で該保持面の中心と該ドレス砥石の中心とをずらして該保持面に該ドレッサボードを保持させることが望ましい。
該保持工程において、該水供給ノズルから該保持面に水を供給し、該保持面のうち該基板に接触しておらず露出している部分に水シールを形成することが望ましい。

【発明の効果】

【0007】

本測定方法の上面高さ測定方法を用いることにより、面積の比較的小さなドレス砥石についても、ドレス砥石の上面の高さを測定することができる。そして、ドレス砥石の上面の高さを測定した後、回転軸を軸にして研削砥石を回転させるとともに、測定されたドレス砥石の上面の高さを基にして研削送り手段を用いて研削砥石を降下させて、ドレス砥石の上面に研削砥石の下面を接触させることにより、研削砥石のドレスを行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】研削装置全体を表す斜視図である。

【図2】保持面の上にドレッサボードを保持する様子を表す斜視図である。

【図3】ドレッサボードの上における上面ハイトゲージの接触子の位置について示した斜視図である。

【図4】ドレス砥石の高さを測定する様子を表す斜視図である。

【発明を実施するための形態】

【0009】

１ 加工装置
図１に示す研削装置１は、研削砥石３４０を用いて被加工物Ｗを研削する研削装置である。以下、研削装置１について説明する。

【0010】

図１に示すように、研削装置１は、Ｙ軸方向に延設されたベース１０と、ベース１０の＋Ｙ方向側に立設されたコラム１１とを備えている。

【0011】

ベース１０の上には、保持手段２が配設されている。保持手段２は円板状の吸引部２０と吸引部２０を支持する環状の枠体２１とを備えている。吸引部２０には多数の細孔が形成されており、吸引部２０の上面は被加工物Ｗが保持される保持面２０ａとなっている。保持面２０ａと枠体２１の上面２１ａとは面一となっている。

【0012】

保持面２０ａには吸引源２６が接続されている。保持面２０ａに被加工物Ｗが載置されている状態で、吸引源２６を用いて吸引力を発揮させると、生み出された吸引力が上記の多数の細孔を通じて保持面２０ａに伝達されて、保持面２０ａに被加工物Ｗが吸引保持されることとなる。

【0013】

研削装置１は、位置づけ手段８を備えている。位置づけ手段８は、保持面２０ａに保持された状態の被加工物Ｗを、研削砥石３４０により研削する研削位置に保持手段２を位置づける機能を有している。位置づけ手段８は、水平移動手段８０と回転手段８１とを備えている。

【0014】

ベース１０の内部には、保持手段２をＹ軸方向に水平移動させる水平移動手段８０が配設されている。例えば、被加工物Ｗが保持手段２に保持されている状態で、水平移動手段８０を用いて保持手段２をＹ軸方向に水平移動させることによって、保持手段２を研削手段３の下方に位置づけることができる。

【0015】

保持手段２には、回転手段８１が接続されている。回転手段８１は、モータ８１０とモータ８１０の回転量を制御するエンコーダ８１１とを備えている。エンコーダ８１１から出力される電気信号に基づいてモータ８１０を用いて保持手段２を適宜の角度回転させることができる。
上記の水平移動手段８０及び回転手段８１を用いて、保持手段２を水平移動及び回転移動することによって、保持手段２を研削位置に位置づけることが可能となっている。

【0016】

また、保持手段２の周囲にはカバー２７及びカバー２７に伸縮自在に連結された蛇腹２８が配設されている。例えば、水平移動手段８０に駆動されて保持手段２がＹ軸方向に移動すると、カバー２７が保持手段２とともにＹ軸方向に移動して蛇腹２８が伸縮することとなる。

【0017】

コラム１１の－Ｙ方向側の側面には、研削手段３を昇降可能に支持する研削送り手段４が配設されている。研削手段３は、Ｚ軸方向の回転軸３５を有するスピンドル３０と、スピンドル３０を回転可能に支持するハウジング３１と、回転軸３５を軸にしてスピンドル３０を回転駆動するスピンドルモータ３２と、スピンドル３０の下端に接続された円環状のマウント３３と、マウント３３の下面に着脱可能に装着された研削ホイール３４とを備えている。
研削ホイール３４は、ホイール基台３４１と、ホイール基台３４１の下面に環状に配列された略直方体形状の複数の研削砥石３４０とを備えており、研削砥石３４０の下面は被加工物Ｗを研削する研削面３４０ａとなっている。

【0018】

研削送り手段４は、Ｚ軸方向の回転軸４５を有するボールネジ４０と、ボールネジ４０に対して平行に配設された一対のガイドレール４１と、回転軸４５を軸にしてボールネジ４０を回転させるＺ軸モータ４２と、内部のナットがボールネジ４０に螺合して側部がガイドレール４１に摺接する昇降板４３と、昇降板４３に連結され研削手段３を支持するホルダ４４とを備えている。

【0019】

Ｚ軸モータ４２によってボールネジ４０が駆動されて、ボールネジ４０が回転軸４５を軸にして回転すると、これに伴って、昇降板４３がガイドレール４１に案内されながらＺ軸方向に昇降移動するとともに、ホルダ４４に保持されている研削手段３がＺ軸方向に移動することとなる。

【0020】

ベース１０の上には、例えば厚み測定手段１００が配設されている。厚み測定手段１００は、例えば研削装置１のベース１０の上の－Ｘ方向側に配設された筐体１０３を備えている。筐体１０３の側面には、保持面ハイトゲージ１０１及び上面ハイトゲージ１０２が配設されている。
保持面ハイトゲージ１０１は第１接触子１０１ａを備えている。保持面ハイトゲージ１０１の第１接触子１０１ａを枠体２１の上面２１ａの上に接触させることにより、枠体２１の上面２１ａに面一な吸引部２０の保持面２０ａの高さを測定することができる。
上面ハイトゲージ１０２は第２接触子１０２ａを備えている。例えば保持面２０ａに被加工物Ｗが保持されている状態で、上面ハイトゲージ１０２の第２接触子１０２ａを被加工物Ｗの上面Ｗａに接触させることにより、被加工物Ｗの上面Ｗａの高さを測定することができる。

【0021】

厚み測定手段１００の近傍には水供給ノズル９０が配設されている。水供給ノズル９０は水源９に接続されている。水供給ノズル９０は、水源９から供給される水を保持手段２の保持面２０ａに向けて噴射することができる。

【0022】

ベース１０の－Ｙ方向側には、カセット載置部１２が設けられている。
カセット載置部１２には、カセット７０が載置されている。カセット７０には、研削加工前の被加工物Ｗが収容されている。また、カセット７０には、研削加工後の被加工物Ｗ等を収容することができる。

【0023】

カセット７０の＋Ｙ方向側には、ロボット７１が配設されている。ロボット７１は、ロボットハンド７１０とロボットハンド７１０を旋回可能に支持する軸部７１１とを備えている。ロボットハンド７１０を用いてカセット７０に収容されている被加工物Ｗをカセット７０から取り出して、軸部７１１を軸にしてロボットハンド７１０を旋回させることにより被加工物Ｗを搬送することができる。

【0024】

ロボットハンド７１０の可動域における＋Ｘ方向側には、研削加工前の被加工物Ｗが仮置きされる仮置きテーブル１３が配設されており、ロボットハンド７１０の可動域における－Ｘ方向側には、研削加工後の被加工物Ｗを洗浄する洗浄領域１４が設けられている。

【0025】

仮置きテーブル１３には、位置合わせ手段７２が配設されている。カセット７０から搬出されて仮置きテーブル１３に載置された被加工物Ｗは、位置合わせ手段７２によって所定の位置に位置合わせされることとなる。

【0026】

洗浄領域１４には、スピンナ洗浄手段７３が配設されている。スピンナ洗浄手段７３は、被加工物Ｗを保持して回転するスピンナテーブル７３０と、スピンナテーブル７３０に保持された被加工物Ｗに向けて洗浄水を噴出する洗浄水供給ノズル７３１とを備えている。
例えば、スピンナテーブル７３０に研削加工後の被加工物Ｗが載置されている状態で、洗浄水供給ノズル７３１から洗浄水を供給することにより被加工物Ｗを洗浄することができる。

【0027】

仮置きテーブル１３に隣接する位置には搬入手段５Ａが配設されている。搬入手段５Ａは、仮置きテーブル１３において位置合わせされた被加工物Ｗ等を保持して保持手段２の保持面２０ａに搬入する機能を有している。
搬入手段５Ａは、リング状の第１保持部５０及び第１保持部５０を上下自在に吊持するアーム５１を備えている。
第１保持部５０の中央には円形の開口５００が形成されている。第１保持部５０の下面５０ｂは、被加工物Ｗの上面Ｗａを吸引保持する吸引面となっている。

【0028】

アーム５１の端部には、Ｚ軸方向の回転軸５５を有する軸部５１０が連結されている。例えば、軸部５１０には、回転軸５５を軸にして軸部５１０を回転させる図示しない回転手段等が接続されている。

【0029】

アーム５１の軸部５１０に連結されていない側の端部には、環状部材５２が連結されている。環状部材５２には、例えば３つの貫通孔５２０が円周上に等間隔に貫通形成されている。

【0030】

搬入手段５Ａは、環状部材５２の貫通孔５２０の数に対応する数（例えば３つ）のボルト５３を備えている。ボルト５３は、貫通孔５２０に貫通して遊嵌しており、ボルト５３の下部は第１保持部５０の上面５０ａに連結されている。ボルト５３は、例えばストリッパボルト等であり、第１保持部５０の上面５０ａに形成されている図示しないネジ穴に、ボルト５３の下部に形成されている図示しないネジ切りが螺合して、第１保持部５０に締結されているものとする。
また、第１保持部５０の上部に備えるツバ部は、貫通孔５２０よりも大径に形成されており、ボルト５３の下降範囲を制限している。例えば、第１保持部５０に被加工物Ｗ等を保持する際に第１保持部５０の下面５０ｂが被加工物Ｗ等から＋Ｚ方向の押力を受けると、第１保持部５０及びボルト５３が環状部材５２に対して一定の距離だけ上昇することができる。

【0031】

搬入手段５Ａの－Ｘ方向側には搬出手段５Ｂが配設されている。搬出手段５Ｂは、研削加工後の被加工物Ｗを保持手段２から搬出する機能を有している。
搬出手段５Ｂは、搬入手段５Ａに備えるリング状の第１保持部５０に代えて、円板状の第２保持部５７を備えている。第２保持部５７の上面５７ａに形成されている図示しないネジ穴にボルト５３のネジ切りが螺合して、第２保持部５７がボルト５３に連結されている。第２保持部５７の下面５７ｂは被加工物Ｗの上面Ｗａを吸引保持する吸引面となっている。
搬出手段５Ｂについてのその他の構成は、搬入手段５Ａと同様であるため、同様の符号を付してその説明を省略する。

【0032】

カセット７０の内部には、例えばドレッサボード６が収容されている。ドレッサボード６は、保持面２０ａを覆う面積を有する上下面を備える円板状の基板６０と、基板６０の上面６０ａの中央に形成された円形状のドレス砥石６１とを備えている。ドレス砥石６１は基板６０よりも小径に形成されている。
回転する研削砥石３４０をドレッサボード６のドレス砥石６１の上面６１ａに接触させることによって研削砥石３４０のドレスをすることができる。

【0033】

被加工物Ｗを研削する際には、まずロボット７１を用いて一枚の被加工物Ｗをカセット７０から取り出して、仮置きテーブル１３に仮置きする。

【0034】

そして、位置合わせ手段７２を用いて位置合わせを行った後、仮置きテーブル１３に仮置きされている被加工物Ｗに第１保持部５０の下面５０ｂを接触させて図示しない吸引手段等による吸引力を第１保持部５０の下面５０ｂに伝達する。これにより、第１保持部５０に被加工物Ｗが保持される。

【0035】

第１保持部５０に被加工物Ｗが保持されている状態で回転軸５５を軸にして軸部５１０を回転させてアーム５１を旋回させることにより、アーム５１の可動範囲に予め位置付けられている保持手段２の保持面２０ａに被加工物Ｗを載置する。その後、吸引源２６を作動させて、生み出された吸引力を保持面２０ａに伝達することにより、被加工物Ｗを保持面２０ａに吸引保持する。

【0036】

次いで、水平移動手段８０を用いて保持手段２を＋Ｙ方向に移動させて、研削手段３の下方に位置づける。被加工物Ｗが保持されている保持手段２を研削手段３の下方に位置付けた後、スピンドルモータ３２を用いて回転軸３５を軸にして研削砥石３４０を回転させるとともに、図示しないモータ等を用いて回転軸８５を軸にして保持手段２及び保持手段２の保持面２０ａに保持されている被加工物Ｗを高速回転させる。研削砥石３４０及び被加工物Ｗが回転している状態で研削送り手段４を用いて研削手段３を下降させて、研削砥石３４０の研削面３４０ａを被加工物Ｗの上面Ｗａに当接させることにより、被加工物Ｗを研削することができる。

【0037】

２ 上面高さ測定方法
（仮置き工程）
上記の研削装置１を用いて、ドレッサボード６のドレス砥石６１の上面６１ａの高さを測定する方法について説明する。まず、図１に示したロボット７１を用いてカセット７０からドレッサボード６を引き出して、仮置きテーブル１３に仮置きする。

【0038】

（保持工程）
次いで、位置合わせ手段７２を用いて、仮置きテーブル１３に仮置きされているドレッサボード６の位置合わせをする。
その後、搬入手段５Ａの第１保持部５０の下面５０ｂにドレッサボード６を接触させる。このとき、第１保持部５０の円環の中心とドレス砥石６１の上面６１ａの中心とを一致させて第１保持部５０の下面５０ｂに基板６０を接触させることにより、第１保持部５０の開口５００からドレス砥石６１が突出する。

【0039】

第１保持部５０の下面５０ｂに基板６０の上面６０ａが接触している状態で、図示しない吸引手段等を用いて第１保持部５０の下面５０ｂに吸引力を伝達することによって、第１保持部５０にドレッサボード６を吸引保持する。
ここで、予め水平移動手段８０を用いて保持手段２を－Ｙ方向に移動させて、搬入手段５Ａのアーム５１の可動域に保持手段２を位置付けておく。
そして、軸部５１０を軸にしてアーム５１を旋回させて、ドレッサボード６を、保持手段２の保持面２０ａの中心Ｔｏとドレス砥石６１の上面６１ａの中心Ｇｏとがずれるように保持手段２の保持面２０ａに載置する。

【0040】

そして、ドレッサボード６が保持面２０ａに載置されている状態で、吸引源２６を作動して生み出された吸引力を保持面２０ａに伝達する。これにより、ドレッサボード６を保持面２０ａに保持する。

【0041】

（位置づけ工程）
次に、水平移動手段８０を用いて保持面２０ａにドレッサボード６が保持されている保持手段２を＋Ｙ方向に移動させて、図２に示すようにハイトゲージ１０２の下方に基板６０の上面を位置づける。
このとき、図２及び図３に示すように、上面ハイトゲージ１０２の第２接触子１０２ａの水平位置が、ドレス砥石６１の上面６１ａの中心Ｇｏから距離Ｒだけ離れた点Ｐに位置づけられる。ただし、ドレス砥石６１の上面６１ａの中心Ｇｏから点Ｐまでの距離Ｒは、ドレス砥石６１の上面６１ａの直径Ｄよりも大きいものとする。

【0042】

その後、水供給ノズル９０等を制御して、水源９より供給される水Ｌを水供給ノズル９０から保持手段２の保持面２０ａに向けて噴射する。すると保持面２０ａのうち基板６０の下面６０ｂに接触しておらず露出している部分に水Ｌが接触して、保持面２０ａの多数の細孔の内部に進入していく。これにより保持面２０ａに水膜（水シール）が形成されて、保持面２０ａのバキュームリークが防止される。

【0043】

次いで、回転手段８１のエンコーダ８１１から出力される信号等に基づいてモータ８１０を用いてドレッサボード６を回転制御して、回転軸８５を軸にしてドレッサボード６を所定の回転角度だけ回転させる。これにより、図４に示すように、上面ハイトゲージ１０２の第２接触子１０２ａがドレス砥石６１の上面６１ａに接触する位置に、保持手段２が位置付けられる。
このようにして、水平移動手段８０を用いた＋Ｙ方向への水平移動及び回転手段８１を用いた回転移動によって、ドレッサボード６のドレス砥石６１の上面６１ａの高さが上面ハイトゲージ１０２によって測定可能となるような位置に保持手段２が位置付けられる。

【0044】

（上面高さ測定工程）
上記のようにドレッサボード６を保持手段２に保持して、上面ハイトゲージ１０２を用いてドレス砥石６１の上面６１ａの高さを測定できる位置に保持手段２を位置付けた後、上面ハイトゲージ１０２をドレス砥石６１の上面６１ａに接触させて、ドレス砥石６１の上面６１ａの高さを測定する。

【0045】

本測定方法の上面高さ測定方法を用いることによって、面積の比較的小さなドレス砥石６１についても、ドレス砥石６１の上面６１ａの高さを測定することができる。
そして、ドレス砥石６１の上面６１ａの高さを測定した後、回転軸３５を軸にして研削砥石３４０を回転させるとともに、測定されたドレス砥石６１の上面６１ａの高さを基にして研削送り手段４を用いて研削砥石３４０を降下させて、ドレス砥石６１の上面６１ａに研削砥石３４０の下面を接触させることにより、研削砥石３４０のドレスを行うことができる。

【0046】

また、例えば予めドレス砥石６１を使用できる限界の高さとしての上面６１ａの高さを定めておいて、例えば研削砥石３４０のドレスを行う度に（または所定回数のドレスを行う度に）本測定方法を用いてドレス砥石６１の上面６１ａの高さを測定することによって、研削砥石３４０のドレスによって摩耗して、ドレス砥石６１の上面６１ａの高さが該限界の高さになったときにドレス砥石６１の使用限界に達したことを知ることができる。

【0047】

なお、搬入手段５Ａに備える第１保持部５０は小径円板状の吸引パッドであってもよい。かかる第１保持部５０を用いてドレッサボード６を保持する際には、基板６０の中心から離れた位置を第１保持部５０に吸着する。これにより、第１保持部５０に保持されたドレッサボード６のドレス砥石６１の上面６１ａの中心と第１保持部５０の中心とがずれるため、保持面２０ａにドレッサボード６を載置するときに保持手段２の保持面２０ａの中心Ｔｏと第１保持部５０の中心との位置関係を調整することを要さず、素早く載置することが可能となる。これにより、研削砥石３４０のドレスにかかる時間をより短くすることができる。

【符号の説明】

【0048】

１：研削装置 １０：ベース １１：コラム １２：カセット載置部
１３：仮置きテーブル １４：洗浄領域
２：保持手段 ２０：吸引部 ２０ａ：保持面 ２１：枠体 ２１ａ：枠体の上面
２６：吸引源 ２７：カバー ２８：蛇腹
３：研削手段 ３０：スピンドル ３１：ハウジング ３２：スピンドルモータ
３３：マウント ３４：研削ホイール ３４０：研削砥石 ３４０ａ：研削砥石の下面
３４１：ホイール基台 ３５：回転軸
４：研削送り手段 ４０：ボールネジ ４１：ガイドレール ４２：Ｚ軸モータ
４３：昇降板 ４４：ホルダ ４５：回転軸
５Ａ：搬入手段 ５０：第１保持部 ５０ａ：上面 ５０ｂ：下面 ５００：開口
５１：アーム ５１０：軸部 ５２：環状部材 ５２０：貫通孔
５３：ボルト ５５：回転軸 ５７：第２保持部５７ａ：上面 ５７ｂ：下面
６：ドレッサボード ６０：基板 ６０ａ：基板の上面 ６１：ドレス砥石
６１ａ：ドレス砥石の上面 ７０：カセット ７１：ロボット
７１０：ロボットハンド ７１１：軸部 ７２：位置合わせ手段
７３：スピンナ洗浄手段 ７３０：スピンナテーブル ７３１：洗浄水供給ノズル
８：位置づけ手段 ８０：水平移動手段
８１：回転手段 ８１０：モータ ８１１：エンコーダ ８５：回転軸
９：水源 ９０：：水供給ノズル
１００：厚み測定手段 １０１：保持面ハイトゲージ １０１ａ：第１接触子
１０２：上面ハイトゲージ １０２ａ：第２接触子 １０３：筐体
Ｗ：被加工物 Ｗａ：被加工物の上面
Ｄ：直径 Ｒ：距離 Ｇｏ：ドレス砥石の上面の中心 Ｔｏ：保持面の中心
Ｐ：上面ハイトゲージの第１接触子の位置

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】