特許7364430IP Force 特許公報全文掲載

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ドレッサボードの上面高さ測定方法

発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

しかし、ドレス砥石は基台の中央にのみ配置されているため、被加工物の上面の高さを測定するハイトゲージでは測定できないという問題がある。 従って、ドレッサボードのドレス砥石の上面の高さを測定してドレス時間を短くするという解決すべき課題がある。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明は、保持面に被加工物を保持させ該保持面の中心を軸に該保持面を回転させる保持手段と、該保持面に保持された被加工物を研削砥石の研削面で研削する研削手段と、該研削砥石により該保持手段に保持された被加工物を研削する研削位置に該保持手段を位置づける位置づけ手段と、該保持面に保持された被加工物の上面高さを測定するハイトゲージと、を備える研削装置を用いて、該保持面を覆う面積の基盤と該基板の上面中央に・・・　続きを知財ポータルサイト IP Force にログインして見る

発明の効果[発明の詳細な説明]から抜粋

本測定方法の上面高さ測定方法を用いることにより、面積の比較的小さなドレス砥石についても、ドレス砥石の上面の高さを測定することができる。そして、ドレス砥石の上面の高さを測定した後、回転軸を軸にして研削砥石を回転させるとともに、測定されたドレス砥石の上面の高さを基にして研削送り手段を用いて研削砥石を降下させて、ドレス砥石の上面に研削砥石の下面を接触させることにより、研削砥石のドレスを行うことができる。

この特許の権利範囲[特許請求の範囲]

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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋

【図1】 研削装置全体を表す斜視図である。
【図2】 保持面の上にドレッサボードを保持する様子を表す斜視図である。
【図3】 ドレッサボードの上における上面ハイトゲージの接触子の位置について示した斜視図である。
【図4】 ドレス砥石の高さを測定する様子を表す斜視図である。

代表図 図1本件の代表的な図

１：研削装置 １０：ベース １１：コラム １２：カセット載置部 １３：仮置きテーブル １４：洗浄領域 ２：保持手段 ２０：吸引部 ２０ａ：保持面 ２１：枠体 ２１ａ：枠体の上面 ２６：吸引源 ２７：カバー ２８：蛇腹 ３：研削手段 ３０：スピンドル ３１：ハウジング ３２：スピンドルモータ ３３：マウント ３４：研削ホイール ３４０：研削砥石 ３４０ａ：研削砥石の下面 ３４１：ホイール基台 ３５：回転軸 ４：研削送り手段 ４０：ボールネジ ４１：ガイドレール ４２：Ｚ軸モータ ４３：昇降板 ４４：ホルダ ４５：回転軸 ５Ａ：搬入手段 ５０：第１保持部 ５０ａ：上面 ５０ｂ：下面 ５００：開口 ５１：アーム ５１０：軸部 ５２：環状部材 ５２０：貫通孔 ５３：ボルト ５５：回転軸 ５７：第２保持部５７ａ：上面 ５７ｂ：下面 ６：ドレッサボード ６０：基板 ６０ａ：基板の上面 ６１：ドレス砥石 ６１ａ：ドレス砥石の上面 ７０：カセット ７１：ロボット ７１０：ロボットハンド ７１１：軸部 ７２：位置合わせ手段 ７３：スピンナ洗浄手段 ７３０：スピンナテーブル ７３１：洗浄水供給ノズル ８：位置づけ手段 ８０：水平移動手段 ８１：回転手段 ８１０：モータ ８１１：エンコーダ ８５：回転軸 ９：水源 ９０：：水供給ノズル １００：厚み測定手段 １０１：保持面ハイトゲージ １０１ａ：第１接触子 １０２：上面ハイトゲージ １０２ａ：第２接触子 １０３：筐体 Ｗ：被加工物 Ｗａ：被加工物の上面 Ｄ：直径 Ｒ：距離 Ｇｏ：ドレス砥石の上面の中心 Ｔｏ：保持面の中心 Ｐ：上面ハイトゲージの第１接触子の位置

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