特許 7366259 荷電粒子線装置において試料の位置を制御する方法、プログラム、記憶媒体、制御装置および荷電粒子線装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2023-10-12

(45)【発行日】2023-10-20

(54)【発明の名称】荷電粒子線装置において試料の位置を制御する方法、プログラム、記憶媒体、制御装置および荷電粒子線装置

(51)【国際特許分類】

   H01J 37/20 20060101AFI20231013BHJP

【ＦＩ】

H01J37/20 C

H01J37/20 D

【請求項の数】 11

(21)【出願番号】P 2022527458

(86)(22)【出願日】2020-05-29

(86)【国際出願番号】 JP2020021395

(87)【国際公開番号】W WO2021240801

(87)【国際公開日】2021-12-02

【審査請求日】2022-11-11

(73)【特許権者】

【識別番号】501387839

【氏名又は名称】株式会社日立ハイテク

(74)【代理人】

【識別番号】110002572

【氏名又は名称】弁理士法人平木国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】石澤 輝

【審査官】鳥居 祐樹

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１３－１１８１７０（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００３－１０８２２８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平０６－１４７８８３（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｊ ３７／２０

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

ピエゾ素子を用いて試料を移動させる荷電粒子線装置において、試料の位置を制御する方法であって、
前記試料を目標位置に向かって移動させる、第１移動ステップと、
前記第１移動ステップの後に、前記試料を前記目標位置から離れるように移動させる、第２移動ステップと、
前記第２移動ステップの後に、前記試料を前記目標位置に向かって移動させる、第３移動ステップと、
を備える、方法。

【請求項2】

ピエゾ素子を用いて試料を移動させる荷電粒子線装置において、試料の位置を制御する方法であって、
前記試料を目標位置に向かって移動させる、第１移動ステップと、
前記第１移動ステップの後に、前記試料を前記目標位置から離れるように移動させる、第２移動ステップと、
前記第２移動ステップの後に、前記試料を前記目標位置に向かって移動させる、第３移動ステップと、
１枚以上の荷電粒子線像に基づいて、視野のドリフト量を取得するステップと、
前記ドリフト量に基づいて、前記第２移動ステップおよび前記第３移動ステップのうち少なくとも一方における移動量を、補正値として決定するステップと、
を備える、方法。

【請求項7】

ピエゾ素子を用いて試料を移動させる荷電粒子線装置において、試料の位置を制御する方法であって、
前記方法は、
－前記試料を目標位置に向かって移動させる、第１移動ステップと、
－前記第１移動ステップの後に、前記試料を前記目標位置から離れるように移動させる、第２移動ステップと、
－前記第２移動ステップの後に、前記試料を前記目標位置に向かって移動させる、第３移動ステップと、
を備えるか、または、
－前記試料を前記目標位置を超えて移動させる、第４移動ステップと、
－前記第４移動ステップの後に、前記試料を前記目標位置に向かって移動させる、第５移動ステップと、
を備え、
前記方法は、さらに、
１枚以上の荷電粒子線像に基づいて、視野のドリフト量を取得するステップと、
前記ドリフト量に基づいて、前記第２移動ステップ、前記第３移動ステップおよび前記第５移動ステップのうち少なくとも１つにおける移動量を決定するステップと、
を備える、方法。

【請求項11】

試料を載置する試料ホルダと、
前記試料ホルダに接続され、前記試料を移動させるピエゾ素子と、
請求項１０に記載の制御装置と、
を備える、荷電粒子線装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、荷電粒子線装置において試料の位置を制御する方法、プログラム、記憶媒体、制御装置および荷電粒子線装置に関し、とくにピエゾ素子を用いるものに関する。

【背景技術】

【0002】

従来、荷電粒子線装置においては、ステージの位置制御機構としてモータ（ステッピングモータ、サーボモータ、超音波モータ、等）またはリニアアクチュエータが用いられる。

【0003】

特に高分解能の荷電粒子線顕微鏡においては、高分解能の位置制御機構が要求されることがある。その際は、ピエゾ素子を用いてステージの位置制御機構を構成し、高分解能の位置制御を実現している。

【0004】

一方、ピエゾ素子にはクリープ現象が発生する。クリープ現象は、指令された変位が達成された後に、なだらかに変位が変化し続ける現象である。この現象はステージ位置ドリフトの原因となることから、通常は位置検出素子を用いたフィードバック制御を行うことが一般的である。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【文献】特開昭５３－０３１９９０号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

しかしながら、特に高分解能タイプの荷電粒子線顕微鏡のステージにおいては、試料の位置変位を高精度に実現することが困難であるという課題があった。

【0007】

たとえば、位置検出素子を用いたフィードバック制御により精度を高めることができるが、試料近傍に位置検出素子を配置することは、構造上困難な場合がある。また、追加の機構などを用いて試料近傍に位置検出素子を配置した場合には、追加の機構の温度変化による伸縮が、ステージの位置ドリフト現象や位置の誤検出の原因となる場合がある。

【0008】

そこで、本発明はこのような課題を鑑みなされたものであって、試料の位置変位を高精度に実現する方法、プログラム、記憶媒体、制御装置および荷電粒子線装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0009】

本発明に係る方法の一例は、
ピエゾ素子を用いて試料を移動させる荷電粒子線装置において、試料の位置を制御する方法であって、
前記試料を目標位置に向かって移動させる、第１移動ステップと、
前記第１移動ステップの後に、前記試料を前記目標位置から離れるように移動させる、第２移動ステップと、
前記第２移動ステップの後に、前記試料を前記目標位置に向かって移動させる、第３移動ステップと、
を備える。

【0010】

本発明に係るプログラムの一例は、荷電粒子線装置に上述の方法を実行させる。

【0011】

本発明に係る記憶媒体の一例は、上述のプログラムを記憶する。

【0012】

本発明に係る制御装置の一例は、荷電粒子線装置の制御装置であって、上述の方法を実行する。

【0013】

本発明に係る荷電粒子線装置の一例は、試料を載置する試料ホルダと、前記試料ホルダに接続され、前記試料を移動させるピエゾ素子と、上述の制御装置と、を備える。

【発明の効果】

【0014】

本発明に係る方法、プログラム、記憶媒体、制御装置および荷電粒子線装置は、試料の位置変位を高精度に実現することができる。

【0015】

たとえば、ピエゾ素子を用いたステージ動作のクリープ変位を、センサを用いることなく低減することができる。また、センサを取り付けるための構造自体の変形による位置精度の低下を回避することができる。

【0016】

なお、特許文献１では、ピエゾ素子のクリープ現象を抑制するために、ピエゾ素子の目標変形量に対応する駆動電圧を超える過電圧を一定時間印加し、その後、電圧を切断することなく、引き続き目標変形量に対応する駆動電圧まで電圧を低減している。しかし、ピエゾ素子には最大／最小印加電圧が規定されているので、最大／最小電圧付近までピエゾ素子を変形させる場合に、駆動電圧を超える電圧を印加することができず、クリープ現象を抑制することができない。本発明によれば、最大／最小電圧付近までピエゾ素子を変形させる場合でも、試料の位置変位を高精度に実現することができる。

【図面の簡単な説明】

【0017】

【図1】本発明の第１の実施例に係る走査／透過型電子顕微鏡の概略構成例を示した構成図である。

【図2】図１のステージの周辺の詳細を示した図である。

【図3】図２に示される部分を水平方向から図示した図である。

【図4】第１の実施例に係る、ピエゾ素子の制御方法を示すグラフである。

【図5】クリープ現象の典型例を示す図である。

【図6】ピエゾ素子のクリープ変位を算出するアルゴリズムを示す図である。

【図7】補正動作に使用する補正値を算出するためのアルゴリズムを示す図である。

【図8】図７の処理によって求められた補正値を用いて補正を行うアルゴリズムを示す図である。

【図9】補正動作に使用する補正値を算出するためのアルゴリズムを示す図である。

【図10】図９の処理によって求められた補正値を用いて補正を行うアルゴリズムを示す図である。

【図11】ユーザインタフェースの例を示す図である。

【図12】ユーザインタフェースの例を示す図である。

【図13】ユーザインタフェースの例を示す図である。

【図14】ユーザインタフェースの例を示す図である。

【図15】ユーザインタフェースの例を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0018】

以下、本発明の実施形態の荷電粒子線装置について、図面に基づき説明する。本発明は、荷電粒子線装置において試料の位置を制御する方法、プログラム、記憶媒体、制御装置および荷電粒子線装置に関する。

【0019】

説明に当たっては、荷電粒子線装置としては走査／透過型電子顕微鏡のうちステージをサイドからエントリーするものを例に説明するが、本発明に係る荷電粒子線装置は、走査／透過型電子顕微鏡には限られず、また、ステージをサイドからエントリーするものにも限られない。

【0020】

本発明に係る荷電粒子線装置において、試料が試料ホルダ（または試料ホルダに類するその他の台座）に載置される。試料ホルダは、ピエゾ素子を用いたアクチュエータにて動かされる。これによって、試料（もしくは台座）に対する荷電粒子線の照射位置を変更することができる。荷電粒子線装置は、例えば、走査イオン顕微鏡および走査電子顕微鏡を含む。また、荷電粒子線装置は、これらの顕微鏡と試料加工装置との複合装置であってもよい。また、荷電粒子線装置は、これらの顕微鏡を応用した解析装置および検査装置を含む。

【0021】

＜第１の実施例＞
図１は、本発明の第１の実施例に係る荷電粒子線装置としての、走査／透過型電子顕微鏡１の概略構成例を示した構成図である。

【0022】

走査／透過型電子顕微鏡１は、電子銃４と、電子光学系５と、結像系６と、試料を移動するためのステージ３とを備え、これらが一体化されて構成される。走査／透過型電子顕微鏡１の鏡筒内において、図示されない真空排気手段を用いて真空が保持される。

【0023】

走査／透過型電子顕微鏡１は制御装置２を備える。制御装置２は、走査／透過型電子顕微鏡１の各構成要素を制御することにより、走査／透過型電子顕微鏡１を制御する。制御装置２は、本明細書に記載される方法を実行することができる。

【0024】

電子源７から１次電子２２が放出される。１次電子２２は、電子銃４内の抑制電極８と引出電極９と陽極１０を用いて集束され加速される。その後、１次電子２２は、電子光学系５内の集束レンズ１１、偏向レンズ１２、および対物レンズ１３によって、拡大または縮小され、偏向される。その後、１次電子２２は、ステージ棒１５の先端の試料ホルダ１６上に載置された試料に照射される。

【0025】

電子が照射された試料からは、反射および２次電子放出によって信号電子２３が発生する。信号電子２３は、検出器１９で検出される。検出器１９からの信号は、信号処理ユニット３６により処理され、コンピュータ３３内の画像処理ユニット３３Ｂにより処理され、ＣＰＵ３３Ａで処理され、表示装置３３Ｃによって表示される。

【0026】

また、試料に照射された電子のうち、試料を透過した電子（透過電子２４）は、結像系６によって縮小または拡大され、蛍光板１８に照射される。透過電子２４が照射されると、蛍光板１８からは蛍光２５が発生する。発生した蛍光２５はカメラ２０で検出される。カメラ２０からの信号は、信号処理ユニット３６により処理され、コンピュータ３３内の画像処理ユニット３３Ｂにより処理され、ＣＰＵ３３Ａで処理され、表示装置３３Ｃで表示される。

【0027】

走査／透過型電子顕微鏡１は、上記以外にも、図示されない荷電粒子線検出器、光学検出器、Ｘ線検出器、等の検出器を備えてもよく、これらの検出器に係る絞り機構等を備えてもよい。

【0028】

ステージ３は、ステージ駆動機構１４と、ステージ棒１５と、試料ホルダ１６とを備える。ステージ棒１５の先端に試料ホルダ１６が接続される。試料は試料ホルダ１６上に載置される。視野の位置は、ステージ３を駆動することによって変更される。視野の位置を調整する際には、ステージ制御ユニット３５からの指令によりステージ駆動機構１４が動作し、ステージ棒１５に対して押す、引く、回す、送る、等の運動を実現させる。これらの運動は、大気圧またはバネ力を介して実現されてもよく、あらかじめ付与された大気圧またはバネ力を相殺することにより実現されてもよい。

【0029】

制御装置２は、コンピュータ３３と、主制御ユニット３４と、ステージ制御ユニット３５と、信号処理ユニット３６とを含み、走査／透過型電子顕微鏡１の各構成要素を制御する。

【0030】

ステージ３の移動、回転、傾斜などに係る指示が、主制御ユニット３４からステージ制御ユニット３５に提供される。ステージ制御ユニット３５は、この指令に従ってステージ駆動機構１４の駆動制御を行う。また、コンピュータ３３内の画像処理ユニット３３Ｂから、画像の移動、回転、傾斜などに関する情報が、ステージ制御ユニット３５に提供される。ステージ制御ユニット３５は、これらの情報に基づいて必要な補正動作を演算し、ステージ駆動機構１４の駆動制御の補正を行う。

【0031】

コンピュータ３３は、公知の構成を備えるコンピュータによって構成することができる。たとえば、コンピュータ３３は、演算を行う演算手段と、情報を格納する記憶手段と、情報の入出力を行う入出力手段とを備える。記憶手段はたとえば過渡的でない記憶媒体を含む。記憶手段はプログラムを格納することができる。このプログラムを演算手段が実行することによって、コンピュータ３３は本明細書に記載される動作を実現する。これに伴って、走査／透過型電子顕微鏡１は、本明細書に記載される動作を実現する。すなわち、このプログラムは、走査／透過型電子顕微鏡１に、本明細書に記載される方法を実行させる。

【0032】

本実施例では、演算手段は、ＣＰＵ３３Ａおよび画像処理ユニット３３Ｂを含み、入出力手段は表示装置３３Ｃを含み、記憶手段は記憶媒体としてのメモリ３３Ｄを含む。コンピュータ３３は、信号に係る演算と、各装置に対する情報（コマンド等）の送受信とを行うことができる。また、コンピュータ３３は、人および他の電子機器とのインターフェイスとしての役割を担う。

【0033】

図２は、図１のステージ３の周辺の詳細を示した図である。図２を用いてステージ動作の詳細を説明する。

【0034】

電子顕微鏡本体５０には、Ｘアクチュエータ５２と、Ｙアクチュエータ５３と、ステージ棒挿入機構６０とが設置されている。ステージ棒挿入機構６０を通して、ステージ棒１５が電子顕微鏡本体５０に挿入される。Ｘアクチュエータ５２の先端にはＸピエゾ素子５４が取り付けられ、Ｙアクチュエータ５３の先端にはＹピエゾ素子５５が取り付けられる。

【0035】

ステージは、Ｘアクチュエータ５２およびＸピエゾ素子５４を用いて移動方向Ｘ_ｘ５７に移動させることができ、Ｙアクチュエータ５３およびＹピエゾ素子５５を用いて移動方向Ｘ_ｙ５８に移動させることができる。

【0036】

ステージ棒１５の先端には試料ホルダ１６が接続されている。試料ホルダ１６は試料５９を載置する。試料は観察対象である。各ピエゾ素子は、試料ホルダ１６に接続され、試料を移動させる。

【0037】

ステージの移動のうち、特に、比較的粗い移動（粗動）では、Ｘアクチュエータ５２およびＹアクチュエータ５３を用い、比較的微小な移動（微動）では、Ｘピエゾ素子５４およびＹピエゾ素子５５の圧電効果による伸縮を用いる。粗動および微動は、たとえばステージ棒１５に対して押す、引く、回す、送る、等の運動として実現される。これらの運動は、大気圧またはバネ力を介して実現されてもよく、あらかじめ付与された大気圧またはバネ力を相殺することにより実現されてもよく、図示しないレバーを介して実現されてもよい。

【0038】

ステージ制御ユニット３５は、各アクチュエータおよび各ピエゾ素子を制御する。ステージ制御ユニット３５は、ステージ動作演算ユニット３５Ａと、モータドライバ３５Ｂと、ピエゾドライバ３５Ｃとを備える。

【0039】

各アクチュエータは、モータドライバ３５Ｂによって制御される。各ピエゾ素子は、ピエゾドライバ３５Ｃによって制御される。モータドライバ３５Ｂおよびピエゾドライバ３５Ｃは、上位のユニット（本実施例では主制御ユニット３４および画像処理ユニット３３Ｂ）から、アクチュエータおよびピエゾ素子の指令変形量を表す信号を受信し、この信号を電圧に変換してアクチュエータおよびピエゾ素子に出力する機能を持つ。

【0040】

主制御ユニット３４は、変位命令を表す信号または指定座標を表す信号をコンピュータ３３から受信し、この信号に基づいてステージ制御ユニット３５に信号を送信する。ステージの移動のために各アクチュエータを動作させるか、または各ピエゾ素子を変形させるかの判断は、変位命令または指定座標に基づいて行われる。この判断は、コンピュータ３３、主制御ユニット３４、または、ステージ動作演算ユニット３５Ａが行う。

【0041】

アクチュエータおよびピエゾ素子の動作方法の一例として、変位命令または指定座標に応じた移動はアクチュエータのみを用いて行い、その後に、アクチュエータのバックラッシュなどを画像処理ユニット３３Ｂから判断し、その補正のみに各ピエゾ素子を用いるように構成することも可能である。

【0042】

アクチュエータおよびピエゾ素子の動作方法の別の例として、変位命令または指定座標に応じた移動はアクチュエータのみを用いて行い、その後に、広域視野取得を目的として各ピエゾ素子を用いて視野調整を行うように構成することも可能である。

【0043】

図３は、図２に示される部分を水平方向（たとえばＸ方向）から図示した図である。

【0044】

図３には、ステージを荷電粒子線の向きと平行な方向に動かすためのＺアクチュエータ６４と、Ｚピエゾ素子６５とが示されている。ステージは、Ｚアクチュエータ６４およびＺピエゾ素子６５を用いて移動方向Ｘ_ｚ６６に移動させることができる。

【0045】

走査／透過型電子顕微鏡１は、さらに、図示されないＴｉｌｔ軸およびＡｚｉｍｕｔｈ軸（荷電粒子線を試料に対して角度を持たせて照射させるための軸）を備えてもよく、試料自体を回転させるＲｏｔａｔｉｏｎ軸を備えてもよい。

【0046】

＜第１の実施例に係るピエゾ素子の駆動方法＞
図４は、第１の実施例に係る、ピエゾ素子の制御方法を示すグラフである。上の電圧－時間グラフ１５０は、制御電圧と時間との関係を示す。下の変位－時間グラフ１５１は、変位距離と時間との関係を示す。

【0047】

図４は、ピエゾ素子をフルストロークで使用することができ、かつクリープ現象を抑制することができる制御方法の例を模式的に表したものである。

【0048】

クリープ現象はピエゾ素子特有の現象である。クリープ現象の典型例を図５に示す。上の電圧－時間グラフ２００は、制御電圧と時間との関係を示す。グラフの縦軸（制御電圧軸２０２）は電圧を示す。グラフの横軸（時間軸２０４）は、任意の点からの経過時間を示す。Ｖ_ａｉｍ２０５は、ピエゾ素子の目標変形（すなわち、試料の目標位置）に対応すると想定されている電圧値である。

【0049】

下の変位－時間グラフ２０１は、時間と変位の関係を示す。グラフの縦軸（変位軸２０３）は変位量を示す。横軸（時間軸２０４）は経過時間を示す。Ｘｓ２０６はＶ_ａｉｍ２０５に対応する変位量である。

【0050】

電圧－時間グラフ２００と変位－時間グラフ２０１とを比較すると、Ｖ_ａｉｍ２０５を印加した後は電圧を変化させていないにも関わらず、ピエゾ素子による変位量がなだらかに変化していることがわかる。この現象がクリープ現象である。β１ ２０７がクリープ変位を表す。Ｔｓ２ ２０８は、Ｖ_ａｉｍ２０５が印加されてからβ１ ２０７だけクリープ変位するまでの時間を示す。クリープ現象の発生原理は、ピエゾ素子の分極方向変化にある程度の時間を要することに起因する。

【0051】

図４の電圧－時間グラフ１５０は、本実施例に係る制御方法を模式的に表した図であるが、特に制御電圧と時間との関係について表したものである。制御電圧軸１５４の単位は電圧［Ｖ］であり、ピエゾ素子に印加する電圧の値を示す。時間軸１５６の単位は時間［秒］であり、任意のタイミングを０秒としてカウントアップされる。ここではピエゾ素子に印加する制御電圧が０［Ｖ］から増加し始める瞬間を０［秒］としているが、それに限る必要はない。

【0052】

Ｖ_ａｉｍ１５７はピエゾ素子の目標変形量（すなわち、試料の目標位置）に対応する電圧を示している。Ｖ_ａｉｍ２１５２は、この例ではＶ_ａｉｍ１５７に等しいが、後述するようにＶ_ａｉｍ１５７より小さい場合もある。Ｖ_ａｉｍ２１５２はＶ_ａｉｍ１５７よりも先に印加される。

【0053】

Ｖ_ｃｏｒｒ１５９はピエゾ素子によるクリープ変位を抑制するための電圧変化分であり、単位は電圧［Ｖ］である。Ｖ_ｃｏｒｒ１５９の符号はＶ_ａｉｍ２１５２と逆であり、またＶ_ｃｏｒｒ１５９の絶対値はＶ_ａｉｍ２１５２およびＶ_ａｉｍ１５７よりも小さい。ｔ_ｃｏｒｒ１６１はＶ_ｃｏｒｒ１５９が印加される時間（より厳密には、電圧がＶ_ａｉｍ２１５２から減少し始めてから増加し始めるまでの時間、または、電圧がＶ_ａｉｍ２１５２から減少し始めてからＶ_ａｉｍ１５７に達するまでの時間）である。

【0054】

変位－時間グラフ１５１は、電圧－時間グラフ１５０に示す電圧を印加した場合の、ピエゾ素子による変位と経過時間との関係を模式的に示す。変位軸１５５の単位は変位［μｍ］であり、現実的なピエゾ素子による変位量の規模を表現しているが、［ｍｍ］でも［ｎｍ］でも構わない。Ｘ_ａｉｍ１５８はＶ_ａｉｍ１５７が印加された場合の変位であり、Ｘ_ａｉｍ２１５３はＶ_ａｉｍ２１５２が印加された場合の変位である。

【0055】

Ｘ_ａｉｍ１５８が、最終的に試料を移動させたい目標位置に対応する。Ｘ_ｃｏｒｒ１６０は印加電圧がＶ_ｃｏｒｒ１５９だけ減少した場合の変位量の変化分である。ｔ_ｃｏｒｒ１６１は、電圧－時間グラフ１５０および変位－時間グラフ１５１の双方に記載してあるが、これらは同じ長さの時間を表す。

【0056】

なお、図４のグラフは、電圧の変化が指令に追随するのに必要な時間を比較的長く示している。たとえば、図４の例では、制御電圧は０からＶ_ａｉｍ２１５２まで増加し、Ｖ_ａｉｍ２１５２に達した瞬間に減少し始める。しかしながら、電圧の変化はより速く指令に追随してもよく、たとえば制御電圧がほぼ瞬間的にＶ_ａｉｍ２１５２に達した後、電圧指令値が減少するまでＶ_ａｉｍ２１５２を維持し、その後ほぼ瞬間的にＶ_ｃｏｒｒ１５９だけ減少し、その後電圧指令値が増加するまでその値を維持してもよい。

【0057】

本実施例は、印加電圧に特徴を有する。各印加電圧の関係は、絶対値で
Ｖ_ａｉｍ１５７ ≧ Ｖ_ａｉｍ２１５２ ＞ Ｖ_ｃｏｒｒ１５９ …（式１）
となる。なお、Ｖ_ａｉｍ１５７が試料の目標位置に対応する電圧であるが、式１によれば、Ｖ_ａｉｍ２１５２は常にＶ_ａｉｍ１５７以下となるので、Ｖ_ａｉｍ２１５２の印加によって試料が目標位置を超えて移動することはない。このため、制御電圧がＶ_ａｉｍ２１５２からＶ_ｃｏｒｒ１５９だけ減少する際には、試料は常に目標位置から離れる方向に移動することになる。

【0058】

また、図４の例ではＶ_ａｉｍ１５７＝Ｖ_ａｉｍ２１５２であるが、Ｖ_ａｉｍ１５７＞Ｖ_ａｉｍ２１５２となる場合には、制御電圧はＶ_ａｉｍ２１５２からＶ_ｃｏｒｒ１５９だけ減少し、さらにＶ_ｃｏｒｒ１５９より大きい値だけ増加してＶ_ａｉｍ１５７に達することになる。後述する図８の例についても同様である。

【0059】

動作原理としては、絶対変位量が大きいほどクリープ変位量が大きく、絶対変位量が小さいほどクリープ変位量が小さいという事実を利用している。Ｖ_ａｉｍ２１５２の印加により、主要な指令変位（Ｘ_ａｉｍ２１５３）が達成される。その後、電圧をＶ_ｃｏｒｒ１５９だけ減少させることにより、一度ピエゾ素子内に発生した分極を打ち消す、もしくは逆方向に向ける。その後、目標変位に戻すためにＶ_ａｉｍ１５７を印加すると、ピエゾ素子は目標変形量まで再度変形することとともに、ピエゾ素子内に発生していた分極が打ち消され、もしくは逆方向の分極となる。

【0060】

この時、初期値０からＶ_ａｉｍ２１５２への電圧差よりも、Ｖ_ｃｏｒｒ１５９に対応する電圧差のほうが小さいので、クリープ変位も小さくなり、結果としてクリープ変位が抑制される。

【0061】

補正に関する値（Ｖ_ｃｏｒｒ１５９およびｔ_ｃｏｒｒ１６１等）の決定方法は、当業者が任意に設計可能である。たとえば、ユーザが予測して設定値を決定し、予めコンピュータに記憶させてもよい。電圧の設定値は、たとえば電圧指令値に対する割合（たとえば数％）とすることができる。時間の設定値は、たとえば数秒とすることができる。

【0062】

または、あらかじめピエゾ素子の特性を測定して、補正値を決定し、コンピュータに記録させておくこともできる。その場合には、ピエゾ素子の特性変化（気温、湿度、使用履歴、等によるもの）に対応させることができる。補正値は、たとえば走査／透過型電子顕微鏡１のイニシャライズ動作において自動的に決定してもよい。自動的に決定する方法の一例を以下に説明する。

【0063】

＜補正値を算出するためのアルゴリズム＞
以下、補正値を求める方法の一例を記載する。

【0064】

図６および図７は、補正値を求める動作（イニシャライズ動作）のアルゴリズムを示す。図６は、そのうち特に、ピエゾ素子をある指令量だけ変形させた場合のクリープ変位を算出するアルゴリズムを示す。以下、各ステップを説明する。

【0065】

ステップＡ－１；ユーザがイニシャライズ動作開始ボタンを押す。これに応じて、もしくは適切な時に自動的に、コンピュータがピエゾ素子補正イニシャライズ動作Ａを開始する。

【0066】

ステップＡ－２；倍率α_ｎが指定される。倍率α_ｎは、走査／透過型電子顕微鏡１における顕微鏡像の倍率に対応する。なおｎの初期値は１であり、以下に説明するループの実行に伴って最大値ｎＭＡＸまで増加する。たとえば走査／透過型電子顕微鏡１が１０００倍、２０００倍および４０００倍という３通りの倍率で顕微鏡像を取得することができる場合には、最大値ｎＭＡＸは３であり、α_１＝１０００，α_２＝２０００，α_３＝４０００となる。倍率α_ｎは、ユーザが入力してもよいし、コンピュータが自動的に決定してもよい。指定された倍率α_ｎは、記憶手段に記憶される。

【0067】

ステップＡ－３；変位していない状態を確認するために、まず任意の位置で連続撮像を開始する。この連続撮像は、後述のステップＡ－５が実行されるまで、Ｔｓ秒間だけ継続して行われる。この連続撮像の撮像間隔は、短くすると時間的分解能が向上するため好適である。

【0068】

なお、この連続撮像に代えて、ラスタースキャンによる１枚以上の画像の撮像を用いることもできる。

【0069】

ステップＡ－４；ステップＡ－３で開始された連続撮像を継続しながら、ピエゾ素子をＸｓ_ｎだけ変形させる（すなわち試料の位置をＸｓ_ｎだけ変位させる）。その後、ピエゾ素子によるクリープ変位の量を取得するためにＴｓ２秒待つ。Ｘｓ_ｎは予め指定することができる。Ｘｓ_ｎは、視野の寸法より小さい量とすると好適である。たとえばＸｓ_ｎは視野の寸法に所定の定数Ｋ（ただし０＜Ｋ≦０．９９）を乗算したものである。

【0070】

ステップＡ－５；ステップＡ－３で開始された連続撮像を終了する。

【0071】

ステップＡ－６；連続撮像した複数枚の画像に基づき、もしくはラスタースキャンにより得た１枚以上の画像に基づき、各時刻におけるピエゾ素子の変形による試料位置の変位量（たとえば各画像における試料位置）を算出する。

【0072】

ステップＡ－７；ステップＡ－６で得たピエゾ素子による変位量を、時間で微分する。たとえば、連続する２枚の画像における変位量の差を、微分値として取得することができる。

【0073】

ステップＡ－８；各時刻における変位が、指令変位によるものか、またはクリープ変位によるものかを判定する。たとえば、ある時刻における変位量の微分値が閾値より大きい場合には、その時刻における変位は指令変位によるものと判定され、そうでない場合には、その時刻における変位はクリープ変位によるものと判定される。閾値は、予め指定されてもよいし、各時刻における変位量の微分値等に基づいて算出されてもよい。

【0074】

ステップＡ－９；クリープ変位によるものと判定された変位の総量であるクリープ変位量β１_ｎ（意図しない変位量）と、クリープ変位が開始した時刻と、クリープ変位が終了した時刻と、クリープ変位が開始してから終了するまでの時間とを記憶する。このようにして、複数の荷電粒子線像に基づき（ラスタースキャンを用いる場合には、１枚以上の荷電粒子線像に基づき）、クリープ変位量β１_ｎが視野のドリフト量として取得される。

【0075】

ステップＡ－１０；補正値を決定すべき倍率α_ｎが、他に存在するか否かを判定する。判定は、ユーザが手動で行ってもよいし、予め指定されたｎの最大値に基づいてコンピュータが自動的に行ってもよい。

【0076】

ステップＡ－１２；ステップＡ－１０で、他の倍率が存在すると判定された場合には、ｎをインクリメントしてステップＡ－２に戻る。

【0077】

ステップＡ－１１；ステップＡ－１０で、他の倍率が存在しないと判定された場合には、ｎをｎＭＡＸに格納し、補正イニシャライズ動作Ａを終了する。

【0078】

ステップＡ－１１の実行後は、図７の処理を実行してもよいし、図９の処理を実行してもよい。

【0079】

図７は、補正値を求めるイニシャライズ動作のアルゴリズムのうち特に、補正動作に使用する補正値を算出するためのアルゴリズムを示す。以下各ステップを説明する。

【0080】

ステップＢ－１；ピエゾ補正のイニシャライズ動作Ｂを開始する。ｎ＝０とする。

【0081】

ステップＢ－２；ｎをインクリメントする。ｎ＞ｎＭＡＸを満たす場合には、処理はステップＢ－１８に移行する。ｎ＞ｎＭＡＸを満たさない場合には、処理はステップＢ－３に移行する。

【0082】

ステップＢ－３；倍率α_ｎが指定される。倍率α_ｎはステップＡ－２と共通である。

【0083】

ステップＢ－４；変位していない状態を確認するために、まず任意の位置で連続撮像を開始する。この連続撮像は、後述のステップＢ－１１が実行されるまで、Ｔｓ秒間だけ継続して行われる。この連続撮像の撮像間隔は、短くすると時間的分解能が向上するため好適である。なお、この連続撮像に代えて、ラスタースキャンによる１枚以上の画像の撮像を用いることもできる。

【0084】

ステップＢ－５；ステップＢ－４で開始された連続撮像を継続しながら、ピエゾ素子をＸｓ_ｎだけ変形させる（すなわち試料の位置をＸｓ_ｎだけ変位させる）。

【0085】

ステップＢ－６；ピエゾ素子のクリープ量を取得するためにｍ秒待機する。

【0086】

ステップＢ－７；ステップＢ－４で開始された連続撮像を継続しながら、ピエゾ素子をβ１_ｎ＊（－１）＊Ｋ１だけ変形させる。なお、後述のようにＫ１は変化するが、Ｋ１の初期値は１とする。

【0087】

ステップＢ－８；ｐ秒待機する。

【0088】

ステップＢ－９；ステップＢ－４で開始された連続撮像を継続しながら、ピエゾ素子をβ１_ｎ＊（＋１）＊Ｋ２だけ変形させる。なお、後述のようにＫ２は変化するが、Ｋ２の初期値は１とする。

【0089】

ステップＢ－１０；ｑ秒待機する。

【0090】

ステップＢ－１１；ステップＢ－４で開始された連続撮像を終了する。

【0091】

ステップＢ－１２；連続撮像した複数枚の画像に基づき、もしくはラスタースキャンにより得た１枚以上の画像に基づき、各時刻におけるピエゾ素子の変形による試料位置の変位量（たとえば各画像における試料位置）を算出する。

【0092】

ステップＢ－１３；ステップＢ－１２で得たピエゾ素子による変位量を、時間で微分する。また、ステップＡ－８と同様にして、各時刻における変位が、指令変位によるものか、またはクリープ変位によるものかを判定する。

【0093】

ステップＢ－１４；クリープ変位によるものと判定された変位の総量であるクリープ変位量β２_ｎ（意図しない変位量）と、クリープ変位が開始した時刻と、クリープ変位が終了した時刻と、クリープ変位が開始してから終了するまでの時間とを記憶する。このようにして、複数の荷電粒子線像に基づき（ラスタースキャンを用いる場合には、１枚以上の荷電粒子線像に基づき）、クリープ変位量β２_ｎが視野のドリフト量として取得される。

【0094】

ステップＢ－１５；クリープ変位が抑制できかた否かを判定する。たとえば、Ｄ＊β２_ｎ＜β１_ｎである場合には、クリープ変位が抑制できたと判定され、そうでない場合には、クリープ変位が抑制できていないと判定される。

【0095】

ここでＤは、クリープ変位がどの程度抑制できれば良いかを示す係数であり、予め指定される。例えばＤ＝５の場合には、図６の処理で求められたクリープ変位量β１_ｎに対して、図７の処理で求められたクリープ変位量β２_ｎが１／５以下である場合に、クリープ変位が抑制できたと判定される。

【0096】

クリープ変位が抑制できていないと判定された場合には、処理はステップＢ－１６に移行する。クリープ変位が抑制できたと判定された場合には、処理はステップＢ－１７に移行する。

【0097】

ステップＢ－１６；Ｋ１とＫ２をインクリメントした後に、処理はステップＢ－３に移行する。なお、変形例として、Ｋ１およびＫ２の初期値を１より大きい値とし、ステップＢ－１６でＫ１およびＫ２をディクリメントしてもよい。

【0098】

ステップＢ－１７；第１補正値をＣＣ_α１ｎ＝｛β１_ｎ＊（－１）＊Ｋ１｝／Ｘｓ_ｎとする。第２補正値をＣＣ_α２ｎ＝｛β１_ｎ＊（＋１）＊Ｋ２｝／Ｘｓ_ｎとする。このようにして、ドリフト量（β１_ｎおよびβ２_ｎ）に基づき、補正値が決定される。なお、この補正値は、後述のステップＣ－３およびＣ－４における移動量に対応する。本実施例では、第１補正値および第２補正値の双方をこのようにして決定するが、これらのうちいずれか一方のみをこのように決定し、他方は他の方法で決定してもよい。

【0099】

このように、実際の撮像に基づいて補正値を決定することにより、補正値が適切な値となる。

【0100】

また、各補正値は、複数の倍率α_ｎそれぞれについて決定される。このため、ステップＡ－４で用いられる定数Ｋの値を適切に設定することにより、様々な倍率での観察に適した補正値を取得することができる。

【0101】

また、各補正値は、複数の目標移動量それぞれについて決定される。このため、ステップＡ－４で用いられる定数Ｋの値を適切に設定することにより、様々な目標移動量に適した補正値を取得することができる。なお、目標移動量とは、たとえばＸｓ_ｎであり、すなわち試料を現在位置から目標位置まで移動させる際の移動量を表す。

【0102】

ステップＢ－１７の後、処理はステップＢ－２に移行する。

【0103】

ステップＢ－１８；補正値の算出処理を終了する。イニシャライズ動作の結果としては、ｎの値それぞれについて、｛α_ｎ，β１_ｎ，β２_ｎ，Ｘｓ_ｎ，ＣＣ_α１ｎ，ＣＣ_α２ｎ｝の組を含む配列が出力されることとなる。

【0104】

図８は、図７の処理によって求められた補正値を用いて補正を行う、補正付きピエゾ素子駆動方法のアルゴリズムを示す。この方法は、ピエゾ素子を用いて試料を移動させる荷電粒子線装置において、試料の位置を制御する方法の例である。

【0105】

ステップＣ－１；試料を目標位置に向かって移動させる（第１移動ステップ）。たとえばピエゾ素子をＸｎｉだけ変形させる。Ｘｎｉの値は、指令変位量に基づいて決定される。Ｘｎｉは指令変位量の値と等しくしてもよい。指令変位量は、ユーザがトラックボールなどのインターフェイスを用いて入力してもよし、ユーザがＧＵＩ（Ｇｒａｐｈｉｃａｌ Ｕｓｅｒ Ｉｎｔｅｒｆａｃｅ）を用いて入力してもよいし、指定された座標に対してコンピュータが自動で算出してもよいし、画像認識などによりコンピュータが自動で決定してもよい。

【0106】

ステップＣ－２；補正値を算出する。算出方法として、まずＸｓ_ｎのうちからＸｎｉに最も近いもの（Ｘｎｉとの差の絶対値が最も小さいもの）を選択する。そして、選択されたＸｓ_ｎに対応する補正値ＣＣ_α１ｎおよびＣＣ_α２ｎを取得し、ＣＣ_α１ｎｉおよびＣＣ_α２ｎｉに格納する。

【0107】

ステップＣ－３；ｍ秒待ったのち、試料を目標位置から離れるように移動させる（第２移動ステップ）。たとえば、ピエゾ素子をＸｎｉ ＊ ＣＣ_α１ｎｉだけ変形させる。

【0108】

ステップＣ－４；ｐ秒待ったのち、試料を目標位置に向かって移動させる（第３移動ステップ）。たとえば、ピエゾ素子をＸｎｉ ＊ ＣＣ_α２ｎｉだけ変形させる。

【0109】

次に、図６の処理の後、図７の処理に代えて図９の処理を実行する場合の例を示す。

【0110】

図９は、補正値を求めるイニシャライズ動作のアルゴリズムのうち特に、補正動作に使用する補正値を算出するためのアルゴリズムを示す。以下各ステップを説明する。

【0111】

ステップＤ－１；ピエゾ補正のイニシャライズ動作Ｄを開始する。ｎ＝０とする。

【0112】

ステップＤ－２；ｎをインクリメントする。ｎ＞ｎＭＡＸを満たす場合には、処理はステップＤ－１５に移行する。ｎ＞ｎＭＡＸを満たさない場合には、処理はステップＤ－３に移行する。

【0113】

ステップＤ－３；倍率α_ｎが指定される。倍率α_ｎはステップＡ－２と共通である。

【0114】

ステップＤ－４；変位していない状態を確認するために、まず任意の位置で連続撮像を開始する。この連続撮像は、後述のステップＤ－８が実行されるまで、Ｔｓ秒間だけ継続して行われる。この連続撮像の撮像間隔は、短くすると時間的分解能が向上するため好適である。なお、この連続撮像に代えて、ラスタースキャンによる１枚以上の画像の撮像を用いることもできる。

【0115】

ステップＤ－５；ステップＤ－４で開始された連続撮像を継続しながら、ピエゾ素子をＸｓ_ｎだけ変形させる（すなわち試料の位置をＸｓ_ｎだけ変位させる）。

【0116】

ステップＤ－６；ピエゾ素子のクリープ量を取得するためにｍ秒待機する。

【0117】

ステップＤ－７；ステップＤ－４で開始された連続撮像を継続しながら、ピエゾ素子をβ１_ｎ＊（－１）＊Ｋ１だけ変位させる。なお、後述のようにＫ１は変化するが、Ｋ１の初期値は１とする。

【0118】

ステップＤ－８；ｐ秒待機し、連続撮像を終了する。

【0119】

ステップＤ－９；連続撮像した複数枚の画像に基づき、もしくはラスタースキャンにより得た１枚以上の画像に基づき、ピエゾ素子の変形による試料位置の変位量を算出する。

【0120】

ステップＤ－１０；ステップＤ－９で得たピエゾ素子による変位量を、時間で微分する。また、ステップＡ－８と同様にして、各時刻における変位が、指令変位によるものか、またはクリープ変位によるものかを判定する。

【0121】

ステップＤ－１１；クリープ変位によるものと判定された変位の総量であるクリープ変位量β２_ｎ（意図しない変位量）と、クリープ変位が開始した時刻と、クリープ変位が終了した時刻と、クリープ変位が開始してから終了するまでの時間とを記憶する。このようにして、複数の荷電粒子線像に基づき（ラスタースキャンを用いる場合には、１枚以上の荷電粒子線像に基づき）、クリープ変位量β２_ｎが視野のドリフト量として取得される。

【0122】

ステップＤ－１２；クリープ変位が抑制できかた否かを判定する。たとえば、Ｄ＊β２_ｎ＜β１_ｎである場合には、クリープ変位が抑制できたと判定され、そうでない場合には、クリープ変位が抑制できていないと判定される。

【0123】

クリープ変位が抑制できていないと判定された場合には、処理はステップＤ－１４に移行する。クリープ変位が抑制できたと判定された場合には、処理はステップＤ－１３に移行する。

【0124】

ステップＤ－１４；Ｋ１をインクリメントした後に、処理はステップＤ－３に移行する。なお、変形例として、Ｋ１の初期値を１より大きい値とし、ステップＤ－１４でＫ１をディクリメントしてもよい。

【0125】

ステップＤ－１３；補正値をＣＣ_αｎ＝｛β１_ｎ＊（－１）＊Ｋ１｝／Ｘｓ_ｎとする。このようにして、β１_ｎすなわちドリフト量に基づき、補正値が決定される。その後、処理はステップＤ－２に移行する。

【0126】

ステップＤ－１５；補正値の算出処理を終了する。イニシャライズ動作の結果としては、ｎの値それぞれについて、｛α_ｎ，β１_ｎ，β２_ｎ，Ｘｓ_ｎ，ＣＣ_αｎ｝の組を含む配列が出力されることとなる。

【0127】

図１０は、図９の処理によって求められた補正値を用いて補正を行う、補正付きピエゾ素子駆動方法のアルゴリズムを示す。この方法は、ピエゾ素子を用いて試料を移動させる荷電粒子線装置において、試料の位置を制御する方法の例である。

【0128】

ステップＥ－１；試料を、目標位置を超えて移動させる（第４移動ステップ）。たとえば、ステップＣ－１と同様にして、ピエゾ素子をＸｎｉだけ変形させる。ただしＸｎｉは目標変位量より大きい変位量である。

【0129】

Ｘｎｉは、たとえば目標変位量に補正値を加算した値とすることができる。その場合には、ステップＥ－１より先にステップＥ－２を実行してもよい。

【0130】

ステップＥ－２；補正値を算出する。算出方法として、まずＸｓ_ｎのうちからＸｎｉに最も近いもの（Ｘｎｉとの差の絶対値が最も小さいもの）を選択する。そして、選択されたＸｓ_ｎに対応する補正値ＣＣ_αｎを取得し、ＣＣ_αｎｉに格納する。

【0131】

ステップＥ－３；ｍ秒待ったのち、試料を目標位置に向かって移動させる（第５移動ステップ）。たとえば、ピエゾ素子をＸｎｉ ＊ ＣＣ_αｎｉだけ変形させる。

【0132】

＜補正値を算出する際のＵＩに関する記述＞
図１１、図１２、図１３は、第１の実施例に係るＵＩ（ユーザインタフェース）の例を示す。このＵＩは、ピエゾ素子補正動作用の補正値を算出する際に使用される。このＵＩは、特に、Ｘ方向、Ｙ方向およびＺ方向それぞれについて、補正値を決定するのに荷電粒子線像が適しているか否かを表示する。

【0133】

ＵＩは、荷電粒子線像を表示する荷電粒子線像表示画面３０１と、荷電粒子線像の適否を示すウィンドウ３０４とを表示する。ウィンドウ３０４は、表示器３０２と、ボタン３０３とを備える。

【0134】

表示器３０２は、各ピエゾ素子について設けられ、そのピエゾ素子に対して荷電粒子線像に基づいて補正値算出動作を行うことができるか否かを表示する。ボタン３０３は、補正値算出動作を開始するときにユーザが押下するボタンである。走査／透過型電子顕微鏡１は、ボタン３０３が押下されることに応じて、補正値算出動作（たとえば図６および図７の処理）を開始する。

【0135】

表示器３０２およびボタン３０３の関係の一例として、表示器３０２が所定の表示動作（点灯、点滅、など）を行っている場合にのみ、ボタン３０３が押下できるようになっている。ただし、表示器３０２が押下できるようになっていてもよく、ボタン３０３に所定の表示動作を行うようになっていてもよい

【0136】

荷電粒子線像表示画面３０１、表示器３０２、およびボタン３０３の関係の一例として、Ｘ方向の補正値を決定するのに荷電粒子線像が適している場合には、Ｘ方向に対応する表示器３０２が所定の表示動作を行い、Ｘ方向に対応するボタン３０３が押下できるようになる。Ｙ方向についても同様である。Ｚ方向についても同様に構成することができるが、Ｚ方向について荷電粒子線像からだけでは補正値算出可否が決定できない場合には、Ｚ方向については他の方法で決定が行われてもよいし、Ｚ方向についての表示を省略しても良い。

【0137】

ここで、ある方向の補正値を決定するのに荷電粒子線像が適しているか否かは、たとえば荷電粒子線像における対応する方向の成分に基づいて決定可能である。

【0138】

図１１の例では、Ｘ方向の成分とＹ方向の成分の両方が荷電粒子線像内に存在する。すなわち、Ｘ方向の成分とＹ方向の成分の両方についてコントラストが十分に取得できるので、荷電粒子線像はＸ方向およびＹ方向いずれについても補正値算出に適している。

【0139】

図１２の例では、Ｘ方向の成分が荷電粒子線像内に不足し、コントラストが十分に取得できない。一方、Ｙ方向の成分は荷電粒子線像内に存在し、コントラストが十分に取得できる。このため、荷電粒子線像はＸ方向については補正値算出に適していないが、Ｙ方向については補正値算出に適している。

【0140】

図１３の例では、Ｘ方向の成分、Ｙ方向の成分の両方が荷電粒子線像内に不足している。Ｘ方向の成分とＹ方向の成分のいずれについてもコントラストが十分に取得できず、荷電粒子線像はＸ方向およびＹ方向いずれについても補正値算出に適していない。

【0141】

このように、補正値を決定するのに荷電粒子線像が適しているか否かを表示されるので、ユーザは適切な荷電粒子線像に基づいて補正値決定動作を開始させることができる。

【0142】

図１１、図１２、図１３の例では、Ｘ方向にバー状の強いコントラストがあるか否か、および、Ｙ方向にバー状の強いコントラストがあるか否かを、各方向についての補正値算出動作の適否判断の基準としている。判断に用いられる具体的な算出式および閾値等は、当業者が適宜設計可能である。また、判断基準は図１１～図１３を用いて説明したものに限らない。

【0143】

図１４および図１５は、第１の実施例に係るＵＩの別の例を示す。このＵＩは、ピエゾ素子補正動作用の補正値を算出する際に使用される。このＵＩは、ドリフト量の取得を実行中であるか否かを表示する。

【0144】

ＵＩは、荷電粒子線像表示部３５１と、現在どのような処理が行われているかを表示するインジケータ部３５２とを表示する。

【0145】

図１４の例では、イニシャライズ動作（ドリフト量の取得動作を含む）を実行中であることが、荷電粒子線像表示部３５１およびインジケータ部３５２の双方において表示されている。イニシャライズ動作を行っている間は、荷電粒子線像が非表示（すなわち荷電粒子線像表示部３５１の全体が黒色）になっている。また、インジケータ部３５２に、「イニシャライズ動作中」というメッセージが表示されている。

【0146】

図１４の例では、非表示の一態様として画面が黒くなっているが、非表示の態様はこれに限らない。たとえば荷電粒子線像表示部３５１の全体を白く表示してもよく、イニシャライズ動作開始直前の荷電粒子線像を表示してもよく、別の画像を表示してもよい。

【0147】

図１５の例では、荷電粒子線像表示部３５１は現在の荷電粒子線像を表示しており、イニシャライズ動作（ドリフト量の取得動作を含む）を実行中であることはインジケータ部３５２のみにおいて表示される。

【0148】

このように、イニシャライズ動作を実行中であるか否かが表示されることにより、ユーザは走査／透過型電子顕微鏡１の状態を容易に把握することができ、ユーザの利便性が向上する。

【符号の説明】

【0149】

１ 走査／透過型電子顕微鏡（荷電粒子線装置）、２ 制御装置、３ ステージ、４ 電子銃、５ 電子光学系、６ 結像系、７ 電子源、８ 抑制電極、９ 引出電極、１０ 陽極、１１ 集束レンズ、１２ 偏向レンズ、１３ 対物レンズ、１４ ステージ駆動機構、１５ ステージ棒、１６ 試料ホルダ、１８ 蛍光板、１９ 検出器、２０ カメラ、２２ １次電子、２３ 信号電子、２４ 透過電子、２５ 蛍光、３３ コンピュータ、３３Ａ ＣＰＵ、３３Ｂ 画像処理ユニット、３３Ｃ 表示装置、３３Ｄ メモリ、３４ 主制御ユニット、３５ ステージ制御ユニット、３５Ａ ステージ動作演算ユニット、３５Ｂ モータドライバ、３５Ｃ ピエゾドライバ、３６ 信号処理ユニット、５０ 電子顕微鏡本体、５２ Ｘアクチュエータ、５３ Ｙアクチュエータ、５４ Ｘピエゾ素子、５５ Ｙピエゾ素子、５７ 移動方向Ｘ_ｘ、５８ 移動方向Ｘ_ｙ、５９ 試料、６０ ステージ棒挿入機構、６４ Ｚアクチュエータ、６５ Ｚピエゾ素子、６６ 移動方向Ｘ_ｚ、１５０ 電圧－時間グラフ、１５１ 変位－時間グラフ、１５２ Ｖ_ａｉｍ２、１５３ Ｘ_ａｉｍ２、１５４ 制御電圧軸、１５５ 変位軸、１５６ 時間軸、１５７ Ｖ_ａｉｍ、１５８ Ｘ_ａｉｍ、１５９ Ｖ_ｃｏｒｒ、１６０ Ｘ_ｃｏｒｒ、１６１ ｔ_ｃｏｒｒ、２００ 電圧－時間グラフ、２０１ 変位－時間グラフ、２０２ 制御電圧軸、２０３ 変位軸、２０４ 時間軸、２０５ Ｖ_ａｉｍ、２０６ Ｘｓ、２０７ β１、２０８ Ｔｓ、３０１ 荷電粒子線像表示画面、３０２ 表示器、３０３ ボタン、３０４ ウィンドウ、３５１ 荷電粒子線像表示部、３５２ インジケータ部。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】