特許 7368131 テープマウンタ

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2023-10-16

(45)【発行日】2023-10-24

(54)【発明の名称】テープマウンタ

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/683 20060101AFI20231017BHJP

   G01N 21/892 20060101ALI20231017BHJP

   G01N 21/88 20060101ALI20231017BHJP

   G01N 21/956 20060101ALI20231017BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 N

G01N21/892 A

G01N21/88 Z

G01N21/956 A

【請求項の数】 5

(21)【出願番号】P 2019134431

(22)【出願日】2019-07-22

(65)【公開番号】P2021019114

(43)【公開日】2021-02-15

【審査請求日】2022-05-20

(73)【特許権者】

【識別番号】000134051

【氏名又は名称】株式会社ディスコ

(74)【代理人】

【識別番号】110001014

【氏名又は名称】弁理士法人東京アルパ特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】和田 昌大

(72)【発明者】

【氏名】渡辺 奈王久

【審査官】湯川 洋介

(56)【参考文献】

【文献】登録実用新案第３２２００６９（ＪＰ，Ｕ）

【文献】特開平１０－２２１９０５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１７－２０４６１５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１５－２２０３６５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１６－００８１０４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１１－０５４７１５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１８－０４９９１３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平０７－３１１３１２（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ２１／６８３

Ｇ０１Ｎ ２１／８９２

Ｇ０１Ｎ ２１／８８

Ｇ０１Ｎ ２１／９５６

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

リングフレームを保持するリングフレーム保持テーブルと、該リングフレームの開口内でウェーハを保持するウェーハ保持テーブルと、該リングフレーム保持テーブルに保持された該リングフレームの上面と該ウェーハ保持テーブルに保持されたウェーハの上面とに円形のテープを貼着する貼着手段と、を備えるテープマウンタであって、
該リングフレームの上面で該テープが貼着されているべき領域の測定点に測定光を投光する投光部と、該測定点で反射した反射光を受光する受光部と、からなるセンサと、
該受光部が受光する受光量についての基準値を設定する設定部と、
該受光部が受光した受光量が該基準値より小さい場合は、該測定点に該テープが貼着されていると判断し、該受光部が受光した受光量が該基準値以上の場合は、該測定点にテープが貼着されていないと判断する判断部と、を備え、
該テープが貼着されているべき領域は、該テープの中心がリングフレームの中心と一致して貼着されている場合における、該テープのリングフレームに貼着されている環状の領域であって、
該測定点は、少なくとも２箇所設定されており、該テープの送り方向において該リングフレームの開口の中心を中心として対称に設定されるテープマウンタ。

【請求項2】

該測定点を、該テープの送り方向に直交する方向において、該リングフレームの中心を中心として対称に２箇所を追加設定する、請求項１記載のテープマウンタ。

【請求項3】

前記測定光を前記リングフレームの上面で反射させた反射光を前記受光部が受光した際の受光量を記憶する記憶部を備え、
前記設定部は、該記憶部に記憶された値を前記基準値として設定する請求項１又は２記載のテープマウンタ。

【請求項4】

前記センサは、
前記リングフレームの上面に対し斜め上方向から前記測定点に向かって前記測定光を投光する前記投光部と、
該測定点に対し該投光部と対称位置に配置され該測定点で反射した該測定光を回帰反射させる回帰反射板と、
該回帰反射板で反射した反射光が該測定点でさらに反射した反射光を該投光部の近傍で受光する前記受光部と、からなる請求項１、２又は３記載のテープマウンタ。

【請求項5】

前記センサは、
前記リングフレームの上面に対し斜め上方向から前記測定点に向かって前記測定光を投光する前記投光部と、
該測定点に対し該投光部と対称位置に配置され該測定点で反射した反射光を受光する前記受光部と、からなる請求項１、２又は３記載のテープマウンタ。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、テープマウンタに関する。

【背景技術】

【0002】

テープマウンタは、ウェーハの直径よりも大きい直径の開口を備えるリングフレームとリングフレームの開口に位置づけたウェーハとに円形のダイシングテープを貼着して一体化し、ウェーハをリングフレームを介してハンドリング可能な状態にする。

【0003】

テープマウンタのリングフレーム保持手段は、リングフレームの下面を吸引保持する。そして、テープマウンタのウェーハ保持手段は、リングフレームの開口内で、ウェーハの下面を吸引保持する。そして、転動するローラ等の貼着手段が、リングフレームの上面とウェーハの上面とに円形のダイシングテープを貼着する。

【0004】

また、リングフレームには、平行に向かい合った２つの第１平坦面と、第１平坦面に対して直交する方向で平行に向かい合った２つの第２平坦面とが外周側面に形成されている。そして、特許文献１又は特許文献２に開示されているように、ウェーハの中心とリングフレームの開口の中心とを一致させるために、リングフレーム保持手段は、リングフレームの一対の第１平坦面、及び一対の第２平坦面をリングフレームの外周側から挟むことで、リングフレームを目標位置に位置決め（センタリング）している。

【0005】

上記の様に位置決めされたウェーハとリングフレームとに貼着されるダイシングテープの直径は、リングフレームの内径（開口の直径）より大きくリングフレームの外径以下である。そして、ダイシングテープは、ダイシングテープの中心とリングフレームの開口の中心とが合致するようにリングフレームに貼着され、さらに、ダイシングテープの中心は、リングフレームの開口内のウェーハの中心とも合致される（例えば、特許文献３参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【文献】特開２０１３－０８２０４５号公報

【文献】特開２０１１－０３６９６８号公報

【文献】特開２０１６－００８１０４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

ウェーハを切削ブレードでダイシングするダイシング装置は、ウェーハを保持するチャックテーブルの保持面よりリングフレームの上面が低くなるようにリングフレームを引き下げて保持し、切削ブレードがリングフレームに接触しないようにしている。ここで、ダイシングテープがリングフレームに互いの中心がずれて貼着されていると、リングフレームを引き下げて保持した際に、ダイシングテープがリングフレームから剥がれるという問題がある。
したがって、テープマウンタにおいては、リングフレームにダイシングテープを貼着した後、ダイシングテープの中心がリングフレームの中心と一致して貼着されているか否かを確認できるようにするという課題がある。

【課題を解決するための手段】

【0008】

上記課題を解決するための本発明は、リングフレームを保持するリングフレーム保持テーブルと、該リングフレームの開口内でウェーハを保持するウェーハ保持テーブルと、該リングフレーム保持テーブルに保持された該リングフレームの上面と該ウェーハ保持テーブルに保持されたウェーハの上面とに円形のテープを貼着する貼着手段と、を備えるテープマウンタであって、該リングフレームの上面で該テープが貼着されているべき領域の測定点に測定光を投光する投光部と、該測定点で反射した反射光を受光する受光部と、からなるセンサと、該受光部が受光する受光量についての基準値を設定する設定部と、該受光部が受光した受光量が該基準値より小さい場合は、該測定点に該テープが貼着されていると判断し、該受光部が受光した受光量が該基準値以上の場合は、該測定点にテープが貼着されていないと判断する判断部と、を備え、該テープが貼着されているべき領域は、該テープの中心がリングフレームの中心と一致して貼着されている場合における、該テープのリングフレームに貼着されている環状の領域であって、該測定点は、少なくとも２箇所設定されており、該テープの送り方向において該リングフレームの開口の中心を中心として対称に設定されるテープマウンタである。
該測定点は、少なくとも２箇所設定されており、該テープの送り方向において該リングフレームの開口の中心を中心として対称に設定してもよい。

【0009】

前記測定光を前記リングフレームの上面で反射させた反射光を前記受光部が受光した際の受光量を記憶する記憶部を備え、前記設定部は、該記憶部に記憶された値を前記基準値として設定すると好ましい。

【0010】

前記センサは、前記リングフレームの上面に対し斜め上方向から前記測定点に向かって前記測定光を投光する前記投光部と、該測定点に対し該投光部と対称位置に配置され該測定点で反射した該測定光を回帰反射させる回帰反射板と、該回帰反射板で反射した反射光が該測定点でさらに反射した反射光を該投光部の近傍で受光する前記受光部と、からなると好ましい。

【0011】

前記センサは、前記リングフレームの上面に対し斜め上方向から前記測定点に向かって前記測定光を投光する前記投光部と、該測定点に対し該投光部と対称位置に配置され該測定点で反射した反射光を受光する前記受光部と、からなると好ましい。

【発明の効果】

【0012】

本発明に係るテープマウンタは、リングフレームの上面でテープが貼着されているべき領域の測定点に測定光を投光する投光部と、測定点で反射した反射光を受光する受光部と、からなるセンサと、受光部が受光する受光量についての基準値を設定する設定部と、判断部と、を備え、判断部が、受光部が受光した受光量が基準値より小さい場合は、測定点にテープ（例えば、ダイシングテープ）が貼着されていると判断し、受光部が受光した受光量が基準値以上の場合は、測定点にテープが貼着されていないと判断することができ、テープの中心がリングフレームの中心と一致して貼着されているか否かを確認できる。即ち、従来は、透過型センサで、リングフレームのテープが貼られていない箇所を確認することができていたが、テープの中心がリングフレームの中心と一致して貼着されているか否か、換言すれば、リングフレームの開口の周囲においてテープの貼り付け面積が部分的に狭くなっているところが有るか否かは確認することができなかった。しかし、本発明に係るテープマウンタは、例えば、センサが測定する測定点を、リングフレームの開口より少し外側の領域（テープが貼り付けられているべき領域）内に設定し、リングフレームに対するテープの貼り付け面積が狭くなっている箇所（測定点にテープが貼り付られていない箇所）があれば、受光部が受光するリングフレームからの反射光の受光量が基準値以上となり、判断部が、テープの貼り付け面積が部分的に狭くなっているところが有り、テープがリングフレームから剥がれやすくなっている箇所があると判断できる。

【0013】

本発明に係るテープマウンタは、測定光をリングフレームの上面で反射させた反射光を受光部が受光した際の受光量を記憶する記憶部を備え、設定部は、記憶部に記憶された値を基準値として設定することで、判断部がダイシングテープの中心がリングフレームの中心と一致して貼着されているか否かを判断するための基準値を、適切にテープマウンタに設定できる。

【0014】

本発明に係るテープマウンタにおいて、センサは、リングフレームの上面に対し斜め上方向から測定点に向かって測定光を投光する投光部と、測定点に対し投光部と対称位置に配置され測定点で反射した測定光を回帰反射させる回帰反射板と、回帰反射板で反射した反射光が測定点でさらに反射した反射光を投光部の近傍で受光する受光部と、からなることで、ダイシングテープが透明なテープであっても、又は不透明なテープであっても、判断部が、受光部が受光した受光量が基準値より小さい場合は、測定点にテープが貼着されていると判断し、受光部が受光した受光量が基準値以上の場合は、測定点にテープが貼着されていないと判断することができ、ダイシングテープの中心がリングフレームの中心と一致して貼着されているか否かを判断できる。

【0015】

本発明に係るテープにおいて、センサは、リングフレームの上面に対し斜め上方向から測定点に向かって測定光を投光する投光部と、測定点に対し投光部と対称位置に配置され測定点で反射した反射光を受光する受光部と、からなることで、ダイシングテープが不透明なテープであっても、判断部が、受光部が受光した受光量が基準値より小さい場合は、測定点にテープが貼着されていると判断し、受光部が受光した受光量が基準値以上の場合は、測定点にテープが貼着されていないと判断することができ、ダイシングテープの中心がリングフレームの中心と一致して貼着されているか否かを判断できる。

【図面の簡単な説明】

【0016】

【図1】テープマウンタの一例を示す斜視図である。

【図2】リングフレーム保持テーブル及びウェーハ保持テーブルの一例を示す斜視図である。

【図3】テープマウンタにおいて、リングフレームとウェーハとにテープが貼着し始められる状態を説明する側面図である。

【図4】テープマウンタにおいて、リングフレームとウェーハとにテープが貼着し始められた状態を説明する側面図である。

【図5】テープマウンタにおいて、リングフレームとウェーハとにテープが貼着されウェーハセットが作製された状態を説明する側面図である。

【図6】実施形態１のセンサの下方に位置するリングフレーム保持テーブルにおいて、テープの中心がリングフレームの中心と合致してテープがリングフレームに貼着されている場合を説明する平面図である。

【図7】実施形態１のセンサの下方に位置するリングフレーム保持テーブルにおいて、テープの中心がリングフレームの中心とずれてテープがリングフレームに貼着されている場合を説明する平面図である。

【図8】テープの中心がリングフレームの中心と合致している場合において、実施形態１のセンサで投光部が第１測定点に測定光を照射して受光部が反射光を受光する状態を説明する説明図である。

【図9】実施形態１のセンサの受光部の受光量を示すグラフである。

【図10】テープの中心がリングフレームの中心とずれている場合において、実施形態１のセンサで投光部が第１測定点に測定光を照射して受光部が反射光を受光する状態を説明する説明図である。

【図11】テープの中心がリングフレームの中心とずれている場合において、実施形態１のセンサで投光部が第２測定点に測定光を照射して受光部が反射光を受光する状態を説明する説明図である。

【図12】実施形態２のセンサの下方に位置するリングフレーム保持テーブルにおいて、テープの中心がリングフレームの中心と合致してテープがリングフレームに貼着されている場合を説明する平面図である。

【図13】テープの中心がリングフレームの中心と合致している場合において、実施形態２のセンサで投光部が第１測定点に測定光を照射して受光部が反射光を殆ど受光していない状態を説明する説明図である。

【図14】実施形態２のセンサの受光部の受光量を示すグラフである。

【図15】実施形態２のセンサの下方に位置するリングフレーム保持テーブルにおいて、テープの中心がリングフレームの中心とずれてテープがリングフレームに貼着されている場合を説明する平面図である。

【図16】テープの中心がリングフレームの中心とずれている場合において、実施形態２のセンサで投光部が第１測定点に測定光を照射して受光部が反射光を受光している状態を説明する説明図である。

【図17】テープの中心がリングフレームの中心とずれている場合において、実施形態２のセンサで投光部が第２測定点に測定光を照射して受光部が反射光を殆ど受光していない状態を説明する説明図である。

【発明を実施するための形態】

【0017】

図１に示す本発明に係るテープマウンタ１は、後述する各発明構成要素が配設され長手方向がＸ軸方向である基台１０を備えており、基台１０の上面は水平面となっている。基台１０の後方側（＋Ｘ方向側）の上方には、テープロールＴＲが配設されている。

【0018】

テープロールＴＲは、帯状の粘着テープと、帯状のシートＴ１とが貼り合わせられた構造となっている。粘着テープは、例えばポリオレフィン系樹脂等からなる基材と基材の粘着剤層とからなり、粘着剤層側にシートＴ１が貼着されている。粘着テープは、予め貼着対象となるリングフレームＦの径に応じて円形状に複数プリカットされており、シートＴ１に粘着テープがプリカットされて形成されたテープＴ２（ダイシングテープＴ２）が複数、シートＴ１の長手方向に等間隔を空けて貼着された状態になっている。なお、テープＴ２及びシートＴ１は、特に材質などが限定されない。例えば、本実施形態において、テープＴ２は、可視光に対して透明なテープであるが、着色がされており可視光に対して不透明なテープであってもよい。
テープロールＴＲは、図１に示すように巻筒１９にテープＴ２を内側にしてロール状に巻回された状態となっている。テープＴ２は、リングフレームＦの円形の開口Ｆｃ（図２参照）の内径よりも大径で、かつリングフレームＦの外径よりも小径となっている。

【0019】

図２に示すように、リングフレームＦは、所定の金属（例えば、ＳＵＳ等）で構成されており環状平板状となっており、ウェーハＷの外径よりも大きい内径の円形の開口Ｆｃを備えている。また、リングフレームＦは、例えば、その外周の一部をフラットに切欠くことで、平行に向かい合った２つの第１平坦面Ｆｄと、第１平坦面Ｆｄに対して直交する方向で平行に向かい合った２つの第２平坦面Ｆｅとが形成されている。第１平坦面Ｆｄ及び第２平坦面Ｆｅは、リングフレームＦの位置決めに使用される。

【0020】

ウェーハＷは、例えば、シリコン母材等からなる円形の半導体ウェーハであり、図１において下方を向いているウェーハＷの表面Ｗａ（下面Ｗａ）は、格子状に区画された領域に複数のデバイスが形成されており、図示しない保護テープが貼着されて保護されている。ウェーハＷの裏面Ｗｂ（上面Ｗｂ）は、テープＴ２が貼着される面となる。なお、ウェーハＷはシリコン以外にガリウムヒ素、サファイア、窒化ガリウム、セラミックス、樹脂、又はシリコンカーバイド等で構成されていてもよいし、矩形のパッケージ基板等であってもよい。

【0021】

図１に示すテープロールＴＲの斜め下方となる位置には、引き出されたシートＴ１を屈曲させシートＴ１からテープＴ２を剥離させるピールプレート１５が配設されている。ピールプレート１５は、例えば、Ｙ軸方向から見た場合に側面視三角形状となる斜板であり、シートＴ１の幅（Ｙ軸方向長さ）以上の長さでＹ軸方向に延在している。図３～図４に示すように、ピールプレート１５が、その先端側でシートＴ１を押圧して鋭角に屈曲させることにより、シートＴ１からテープＴ２を剥離することができる。

【0022】

図１、３に示すように、ピールプレート１５によってテープＴ２が剥離されたシートＴ１は、ピールプレート１５の後方（＋Ｘ方向）に送られる。そして、モータ等の回転駆動源によりＹ軸方向の回転軸を軸に回転するシート巻き取りローラ１６によって、シートＴ１はロール状に巻き取られる。シート巻き取りローラ１６の該回転駆動源は、例えば、トルク制御でテープロールＴＲからのシートＴ１の引き出し速度を制御する。

【0023】

シート巻き取りローラ１６とピールプレート１５との間には、シート支持ローラ１６０が配設されており、シート支持ローラ１６０によって、テープＴ２が剥離されたシートＴ１が弛まないようにされている。

【0024】

テープマウンタ１は、リングフレームＦを保持するリングフレーム保持テーブル２０と、リングフレームＦの開口Ｆｃ内でウェーハＷを保持するウェーハ保持テーブル２１と、リングフレーム保持テーブル２０に保持されたリングフレームＦの上面Ｆａとウェーハ保持テーブル２１に保持されたウェーハＷの上面Ｗｂとに円形のテープＴ２を貼着する貼着手段２２と、を備える。

【0025】

図２に示すリングフレーム保持テーブル２０は、例えば、平面視正方形状に形成されており、その中央に形成された凹部２００内にウェーハ保持テーブル２１を収容している。リングフレーム保持テーブル２０の上面２０ａは、平坦面であるリングフレーム保持面となる。リングフレーム保持テーブル２０の上面２０ａには、開口を有し凹状の例えば４つの吸盤収容部２０１が設けられている。これら４つの吸盤収容部２０１には、それぞれリングフレームＦを吸着可能な吸盤２５が配設されている。吸盤２５は、例えば、変形可能なゴム等の弾性材を平面視円形状に形成したものである。各吸盤２５は、真空発生装置等の図示しない吸引源に連通している。
なお、リングフレーム保持テーブル２０の外形や構造等は、本実施形態に限定されるものではない。

【0026】

リングフレーム保持テーブル２０の上面２０ａには、リングフレームＦを上面２０ａ上で位置決め（センタリング）するための、第１の固定位置決め部２３、および、第１の固定位置決め部２３に向かい合う第１の可動位置決め部２４が配置されている。さらに、上面２０ａには、第２の固定位置決め部２６、および、第２の固定位置決め部２６に向かい合う第２の可動位置決め部２７が配置されている。
例えば、第１の固定位置決め部２３と第１の可動位置決め部２４とが向かい合う方向と、第２の固定位置決め部２６と第２の可動位置決め部２７とが向かい合う方向とは、互いに略直交している。

【0027】

第１の固定位置決め部２３は、例えば、２本の円柱状の第１固定ピン２３ａ、２３ｂとからなり、第１固定ピン２３ａ、第１固定ピン２３ｂは、平面視で、リングフレーム保持テーブル２０のＸ軸方向に平行な中心線を対称軸として互いに対称に配置されている。

【0028】

第１の可動位置決め部２４は、例えば、円柱状の第１可動ピン２４ａと、第１可動ピン２４ａを支持する第１可動ブロック２４ｂと、第１可動ブロック２４ｂをＸ軸方向に移動させる図示しないシリンダーとを備えている。

【0029】

第２の固定位置決め部２６は、例えば、２本の円柱状の第２固定ピン２６ａ、２６ｂとからなり、第２固定ピン２６ａ、第２固定ピン２６ｂは、平面視で、リングフレーム保持テーブル２０のＹ軸方向に平行な中心線を対称軸として互いに対称に配置されている。
第２の可動位置決め部２７は、例えば、円柱状の第２可動ピン２７ａと、第２可動ピン２７ａを支持する第２可動ブロック２７ｂと、第２可動ブロック２７ｂをＹ軸方向に移動させる図示しないシリンダーとを備えている。

【0030】

本実施形態においては、第１の固定位置決め部２３および第１の可動位置決め部２４と、第２の固定位置決め部２６および第２の可動位置決め部２７との少なくともいずれか一方が、リングフレームＦにおける２つの第１平坦面Ｆｄおよび２つの第２平坦面Ｆｅの少なくともいずれか一方を挟んで、リングフレームＦを、リングフレーム保持テーブル２０の上面２０ａ上で目標位置に位置決め（センタリング）する。リングフレーム保持テーブル２０上でセンタリングされたリングフレームＦの開口Ｆｃの中心とウェーハ保持テーブル２１の保持面２１０ａの中心とは略合致する。その後、各吸盤２５でリングフレームＦが吸引保持される。

【0031】

ウェーハ保持テーブル２１は、例えば、その外形が円形状であり、ポーラス部材等からなりウェーハＷを吸着する吸着部２１０と、縦断面が凹形状となっており吸着部２１０を支持する枠体２１１とを備える。枠体２１１の凹部にはめ込まれた状態の吸着部２１０は、図示しない吸引源に連通している。吸着部２１０の上面であり平坦面である保持面２１０ａに吸引源が生み出す吸引力が伝達されることで、ウェーハ保持テーブル２１は保持面２１０ａ上でウェーハＷを吸引保持する。

【0032】

例えば、リングフレーム保持テーブル２０の上面２０ａの高さは、ウェーハＷをウェーハ保持テーブル２１の保持面２１０ａで保持し、リングフレーム保持テーブル２０の上面２０ａでリングフレームＦを保持した場合に、リングフレームＦの上面ＦａとウェーハＷの上面Ｗｂとが略同一の高さになるように設定されている。

【0033】

図１に示すように、基台１０上には、ウェーハ保持テーブル２１及びリングフレーム保持テーブル２０をＸ軸方向に往復移動させるテーブル移動手段１３が配設されている。テーブル移動手段１３は、Ｘ軸方向の軸心を有するボールネジ１３０と、ボールネジ１３０と平行に配設されたガイドレール１３１と、ボールネジ１３０に連結しボールネジ１３０を回動させるモータ１３２と、を備え、リングフレーム保持テーブル２０は、その下面側に備える図示しないナットがボールネジ１３０に螺合している。そして、モータ１３２がボールネジ１３０を回動させると、これに伴いウェーハ保持テーブル２１及びリングフレーム保持テーブル２０がガイドレール１３１にガイドされてＸ軸方向に往復移動する。

【0034】

リングフレーム保持テーブル２０移動経路の上方の位置で、かつ、ピールプレート１５の先端近傍となる位置には、貼着手段２２が配設されている。貼着手段２２は、例えば、リングフレーム保持テーブル２０のＹ軸方向の幅以上の長さを備えた回転可能な貼着ローラである。貼着手段２２は、例えば、リングフレーム保持テーブル２０をＹ軸方向に横断するように配設されており、図示しない移動手段によって、上下方向に移動可能となっている。なお、貼着手段２２は、上下方向に移動可能となっていなくてもよい。

【0035】

リングフレーム保持テーブル２０上にリングフレームＦがセンタリングされた状態で吸引保持され、かつ、ウェーハ保持テーブル２１上でウェーハＷがその中心が保持面２１０ａの中心に略合致した状態で吸引保持される。そして、図４、５に示すように、テーブル移動手段１３によってリングフレーム保持テーブル２０を－Ｘ方向に移動させて貼着手段２２の下方を通過させる。その結果、ピールプレート１５によってシートＴ１から剥離されたテープＴ２が、貼着手段２２によって、基材面側である上側からリングフレーム保持テーブル２０に保持されているリングフレームＦの上面Ｆａ、及びウェーハ保持テーブル２１に保持されているウェーハＷの上面Ｗｂに押圧されていくことで、テープＴ２は、リングフレームＦ及びリングフレームＦの開口Ｆｃ内に位置づけられたウェーハＷに貼着される。そして、ウェーハＷをリングフレームＦを介してハンドリング可能な、ウェーハＷ、テープＴ２、及びリングフレームＦからなる図５に示すウェーハセットが作製される。

【0036】

上記のようにウェーハセットが形成された後に、テープＴ２の中心がリングフレームＦの中心（開口Ｆｃの中心）と一致して貼着されているか否かを確認するために、図１、図５、及び図６に示すように、テープマウンタ１は、リングフレームＦの上面ＦａでテープＴ２が貼着されているべき領域の測定点に測定光を投光する投光部６０（図６のみ図示）と、測定点で反射した反射光を受光する受光部６１（図６のみ図示）と、からなるセンサ６と、受光部６１が受光する受光量についての基準値を設定する設定部９０と、テープＴ２の中心がリングフレームＦの中心（開口Ｆｃの中心）と一致して貼着されているか否かを判断する判断部９２とを備えている。
センサ６を以下に、実施形態１のセンサ６とする。

【0037】

図６は、テープＴ２の中心がリングフレームＦの中心（開口Ｆｃの中心）と一致して貼着されている場合を示している。そして、図７は、テープＴ２の中心がリングフレームＦの中心と一致して貼着されていない場合、即ち、図示の例においては、テープＴ２の中心がリングフレームＦの中心に対して＋Ｘ方向側にずれてしまっている場合を示している。

【0038】

図６に示すように、リングフレームＦの上面Ｆａに設定され、センサ６が測定光を投光する測定点は、例えば、開口Ｆｃの周囲のテープＴ２が貼着されているべき領域内に設定される第１測定点Ｐ１及び第２測定点Ｐ２である。テープＴ２が貼着されているべき領域は、実験的、経験的、又は理論的に定められており、テープＴ２の中心がリングフレームＦの中心（開口Ｆｃの中心）と一致して貼着されている場合における、テープＴ２のリングフレームＦに貼着されている環状の領域となる。例えば、第１測定点Ｐ１及び第２測定点Ｐ２は、テープＴ２のリングフレームＦに貼着されている環状の領域の幅の中点となる位置に設定されていると好ましい。

【0039】

測定点は、少なくとも、図１に示すシートＴ１の送り方向であるＸ軸方向においてリングフレームＦの開口Ｆｃの中心を中心として対称に設定された第１測定点Ｐ１及び第２測定点Ｐ２の２つである。
なお、測定点は、上記第１測定点Ｐ１及び第２測定点Ｐ２に加えて、図６に示すシートＴ１の送り方向であるＸ軸方向に水平面内で直交するＹ軸方向において開口Ｆｃの中心を中心として対称に、図６に示す第３測定点Ｐ３及び第４測定点Ｐ４がさらに設定されていてもよい。なお、シートＴ１の送り方向に直交するＹ軸方向においては、テープＴ２のリングフレームＦに対する貼着ずれはあまり生じないため、第３測定点Ｐ３及び第４測定点Ｐ４が設定されなくてもよい。

【0040】

図１、５、６に示すセンサ６は、例えば、貼着手段２２を通過した位置まで－Ｘ方向に移動した状態のリングフレーム保持テーブル２０の上方において、リングフレーム保持テーブル２０の上面２０ａとＺ軸方向において対向するように配設されている。
実施形態１のセンサ６は、例えば、回帰反射形の光電センサであり、リングフレームＦの上面Ｆａに対し斜め上方向から測定点に向かって測定光を投光する投光部６０と、測定点に対し投光部６０と例えば対称位置に配置され測定点で反射した測定光を回帰反射させる回帰反射板６２と、回帰反射板６２で反射した反射光が測定点でさらに反射した反射光を投光部６０の近傍で受光する受光部６１と、からなる。
なお、測定光は、スポットタイプのレーザー光線を用いると細線状の測定光を測定点に照射することとなり、測定点にテープＴ２が貼着されているか否かの判断が容易になる。

【0041】

図６、８に示すように、センサ６は、例えば、外部光を遮光可能であると共に下部側に測定光を通過可能とする開口６３０が設けられた筐体６３を備えており、筐体６３は、例えば、テーブル移動手段１３によるリングフレーム保持テーブル２０の移動方向であるＸ軸方向に直交するＹ軸方向に延在している。

【0042】

投光部６０及び受光部６１は、例えば、図６、８において筐体６３の＋Ｙ方向側の部位に、並べて配設されている。投光部６０は、例えば、低出力の細線状のレーザー光を斜め下方に向かって一直線に照射できる。投光部６０が照射したレーザ光は所定の入射角でセンサ６の下方に位置したリングフレームＦに入射する。なお、例えば、レーザ光の入射角度及びレーザ光の集光点の高さ位置は、図示しない調整手段によって調整可能となっていてもよい。受光部６１は、例えば、ＣＣＤ等の受光素子で構成されている。

【0043】

例えば、リングフレーム保持テーブル２０の上面２０ａ上でセンタリングされた状態のリングフレームＦに設定されている第１測定点Ｐ１及び第２測定点Ｐ２は、リングフレーム保持テーブル２０のＸ軸方向に平行な中心線上に位置付けられている。そして、鏡面ミラー等の回帰反射板６２は、例えば、リングフレーム保持テーブル２０のＸ軸方向に平行な中心線を対称軸として、筐体６３の－Ｙ方向側の部位に配設されており、図１に示すテーブル移動手段１３によってリングフレーム保持テーブル２０が－Ｘ方向に移動されて、第１測定点Ｐ１が投光部６０の光軸上に位置すると、第１測定点Ｐ１に対し投光部６０とＹ軸方向において対称位置に配置された状態になる。

【0044】

例えば、図１に示すように、テープマウンタ１は、装置全体の制御、即ち、上記に説明したテーブル移動手段１３、第１の可動位置決め部２４、及び第２の可動位置決め部２７、シート巻き取りローラ１６、及びセンサ６等の各構成要素の動作を制御するＣＰＵ等からなる制御手段９を備えている。そして、本実施形態においては、受光部６１が受光する受光量についての基準値を設定する設定部９０、及び測定点にテープが貼着されているか否かを判断する判断部９２が、制御手段９に含まれている。

【0045】

本実施形態におけるテープマウンタ１は、測定光をリングフレームＦの上面Ｆａで反射させた反射光、即ち、例えばテープＴ２が貼着されていない状態のリングフレームＦの上面Ｆａで反射させた反射光を受光部６１が受光した際の受光量を記憶する記憶部９５を備えている。記憶部９５は、例えば、制御手段９に含まれ、制御プログラムや予め設定される加工情報等を格納するＲＯＭ、及びセンサ６の測定結果等を格納するＲＡＭ等から構成されている。

【0046】

以下に、テープマウンタ１において、ウェーハＷ、リングフレームＦ、及びテープＴ２からなるウェーハセットのテープＴ２の中心がリングフレームＦの中心（開口Ｆｃの中心）と一致して貼着されているか否かの判断が行われる場合について説明する。

【0047】

図１に示す制御手段９は、テーブル移動手段１３を制御することで、テープマウンタ１上におけるリングフレーム保持テーブル２０のＸ軸座標位置を常に把握している。そして、図１に示すテーブル移動手段１３によって－Ｘ方向に送られるリングフレーム保持テーブル２０が貼着手段２２を通過し、図５に示すように、テープＴ２がリングフレームＦに貼着されてから、さらにリングフレーム保持テーブル２０がＸ軸方向における所定の座標位置まで－Ｘ方向に移動する。

【0048】

リングフレームＦは、リングフレーム保持テーブル２０上でセンタリングされているため、リングフレーム保持テーブル２０がＸ軸方向における所定の座標位置まで移動することで、制御手段９は、第１測定点Ｐ１が、Ｘ軸方向における予め把握された座標位置、即ち、図６、８に示すように、センサ６の投光部６０の光軸上に位置づけられたと判断する。そして、制御手段９に電気的に接続されているセンサ６に対して、制御手段９から動作信号が送られ、センサ６の投光部６０がリングフレームＦの上面Ｆａに対し斜め上方向から第１測定点Ｐ１に向かって細線状の測定光を投光する。

【0049】

図６に示すように、テープＴ２の中心がリングフレームＦの中心と一致して貼着されている場合には、図８に示すように、測定光がテープＴ２を透過して、リングフレームＦの上面Ｆａの第１測定点Ｐ１で反射する。リングフレームＦの上面Ｆａの第１測定点Ｐ１で反射した測定光は、第１測定点Ｐ１に対しＹ軸方向において投光部６０と対称位置に配置された回帰反射板６２で回帰反射され、第１測定点Ｐ１で再び反射して、投光部６０の近傍で受光部６１に受光される。第１測定点Ｐ１に対する投光によって受光部６１が受光した図９に示す受光量Ｖ２は、図８に示す制御手段９の記憶部９５の例えばＲＡＭに記憶される。

【0050】

図６、８に示すリングフレーム保持テーブル２０がさらに－Ｘ方向に移動されることで、制御手段９は、第２測定点Ｐ２がＸ軸方向における予め把握された座標位置、即ち、センサ６の投光部６０の光軸上に位置づけられたと判断する。そして、センサ６の投光部６０がリングフレームＦの上面Ｆａに対し斜め上方向から第２測定点Ｐ２に向かって細線状の測定光を投光する。

【0051】

図６に示すように、テープＴ２の中心がリングフレームＦの中心と一致して貼着されている場合には、測定光がテープＴ２を透過して、リングフレームＦの上面Ｆａの第２測定点Ｐ２で反射する。リングフレームＦの上面Ｆａで反射した測定光は、第２測定点Ｐ２に対しＹ軸方向において投光部６０と対称位置に配置された回帰反射板６２で回帰反射され、第２測定点Ｐ２で再び反射して、投光部６０の近傍で受光部６１に受光される。第２測定点Ｐ２に対する投光によって受光部６１が受光した受光量は、図９に示す受光量Ｖ２である。

【0052】

過去の実験等によって得られ記憶部９５のＲＯＭに記憶されているリングフレームＦの上面Ｆａで反射させた反射光を受光部６１が受光した際の受光量、即ち、本実施形態においては、投光部６０からリングフレームＦの上面Ｆａに投光され、リングフレームＦの上面Ｆａで反射した測定光が回帰反射板６２で反射し、回帰反射板６２で回帰反射した反射光を受光部６１が受光した際の受光量は、例えば、図９に示す受光量Ｖ１となっている。
そして、本実施形態における図８に示す設定部９０は、記憶部９５に記憶されている受光量Ｖ１を、判断部９２がテープＴ２の中心がリングフレームＦの中心と一致して貼着されているか否かの判断を行うために用いる、受光部６１が受光する受光量についての基準値Ｖ１として判断部９２に設定する。

【0053】

判断部９２は、先ほど得られ記憶部９５のＲＡＭに記憶された第１測定点Ｐ１に対する投光によって受光部６１が受光した受光量Ｖ２、及び第２測定点Ｐ２に対する投光によって受光部６１が受光した受光量Ｖ２を、それぞれ、記憶部９５に記憶されている受光量Ｖ１（基準値Ｖ１）と比較する。ここで、受光量Ｖ２は、投光部６０が照射した測定光のテープＴ２の透過による減衰を経て受光部６１で受光された反射光の量であるため、受光量Ｖ１よりも小さい値である。
したがって、判断部９２は、図６に示す第１測定点Ｐ１に対する投光によって受光部６１が受光した受光量Ｖ２、及び第２測定点Ｐ２に対する投光によって受光部６１が受光した受光量Ｖ２が、基準値である受光量Ｖ１よりそれぞれ小さいと判断して、リングフレームＦの上面Ｆａの第１測定点Ｐ１及び第２測定点Ｐ２にテープＴ２が貼着されていると判断し、テープＴ２の中心がリングフレームＦの中心と一致して貼着されていると判断する。
なお、本実施形態においては、第１測定点Ｐ１及び第２測定点Ｐ２に対する測定光の照射によって上記判断が行われているが、さらに、センサ６による第３測定点Ｐ３及び第４測定点Ｐ４に対する測定光の照射により得られたデータも加味して、判断部９２は上記判断を行ってもよい。

【0054】

本実施形態においては、テープＴ２は、透明なテープであるが、テープＴ２が不透明なテープ（着色されたテープ）である場合には、図６に示す第１測定点Ｐ１に対する投光によって受光部６１が受光した受光量は、図９に示す受光量Ｖ３となる。また、第２測定点Ｐ２に対する投光によって受光部６１が受光した受光量は、図９に示す受光量Ｖ３となる。受光量Ｖ３は、投光部６０が照射した測定光が不透明なテープによる吸収や散乱を経て受光部６１で受光された反射光の量であるため、受光量Ｖ１や受光量Ｖ２よりも小さい値である。したがって、判断部９２は、第１測定点Ｐ１に対する投光によって受光部６１が受光した受光量Ｖ３、及び第２測定点Ｐ２に対する投光によって受光部６１が受光した受光量Ｖ３が基準値である受光量Ｖ１よりそれぞれ小さいと判断して、第１測定点Ｐ１及び第２測定点Ｐ２にテープＴ２が貼着されていると判断し、テープＴ２の中心がリングフレームＦの中心と一致して貼着されていると判断することができる。

【0055】

例えば、図８に示す判断部９２による上記判断が実施された後に、ウェーハセットは、図示しない搬送手段によってウェーハカセットに収容される。ウェーハカセットは、複数の棚を備えており、該棚に一枚ずつウェーハセットが収容される。

【0056】

例えば、図７に示すように、ウェーハセットのテープＴ２の中心がリングフレームＦの中心（開口Ｆｃの中心）と一致して貼着されていない場合における、判断部９２の判断について説明する。
図７に示すように、リングフレーム保持テーブル２０がＸ軸方向における所定の座標位置まで移動することで、制御手段９は、第１測定点Ｐ１が、Ｘ軸方向における予め把握された座標位置に位置づけられた、即ち、図７、図１０に示すように、センサ６の投光部６０の光軸上に位置づけられたと判断する。そして、センサ６に対して、動作信号が制御手段９から送られ、投光部６０がリングフレームＦの上面Ｆａに対し斜め上方向から第１測定点Ｐ１に向かって細線状の測定光を投光する。

【0057】

図１０に示すように、投光部６０がリングフレームＦの上面Ｆａに対し斜め上方向から第１測定点Ｐ１に向かって細線状の測定光を投光すると、第１測定点Ｐ１上にテープＴ２が存在しないため、測定光は直にリングフレームＦの上面Ｆａの第１測定点Ｐ１で反射する。リングフレームＦの上面Ｆａで反射した測定光は、回帰反射板６２で回帰反射され、第１測定点Ｐ１で再び反射して、投光部６０の近傍で受光部６１に受光される。受光部６１が受光した受光量は、例えば、図９に示す受光量Ｖ１となる。これは、測定光のテープＴ２の透過に伴う減衰が起きないためである。受光量Ｖ１は、制御手段９の記憶部９５のＲＡＭに記憶される。

【0058】

図７に示すリングフレーム保持テーブル２０がさらに－Ｘ方向に移動され、Ｘ軸方向における所定の座標位置まで移動することで、制御手段９は、図１１に示すように、センサ６の投光部６０の光軸上に第２測定点Ｐ２が位置づけられたと判断する。そして、センサ６の投光部６０がリングフレームＦの上面Ｆａに対し斜め上方向から第２測定点Ｐ２に向かって細線状の測定光を投光する。

【0059】

図７に示すように、テープＴ２の中心がリングフレームＦの中心に対して＋Ｘ方向側にずれてしまっているため、図１１に示すように、測定光がテープＴ２を透過して、リングフレームＦの上面Ｆａの第２測定点Ｐ２で反射する。リングフレームＦの上面Ｆａで反射した測定光は、回帰反射板６２で回帰反射され、第２測定点Ｐ２で再び反射して、投光部６０の近傍で受光部６１に受光される。第２測定点Ｐ２に対する投光によって受光部６１が受光した受光量は、投光部６０が照射した測定光のテープＴ２の透過による減衰を経て受光部６１で受光された反射光の量であるため、図９に示す受光量Ｖ２である。

【0060】

判断部９２は、記憶部９５のＲＡＭに記憶された第１測定点Ｐ１に対する投光によって受光部６１が受光した受光量Ｖ１、及び第２測定点Ｐ２に対する投光によって受光部６１が受光した受光量Ｖ２を、それぞれ、記憶部９５のＲＯＭに記憶されている基準値である受光量Ｖ１と比較する。そして、判断部９２は、第１測定点Ｐ１に対する投光によって受光部６１が受光した受光量Ｖ１が基準値である受光量Ｖ１以上（即ち、同じ）であると判断して、第１測定点Ｐ１にテープＴ２が貼られていないと判断し、テープＴ２の中心がリングフレームＦの中心と一致して貼着されていないと判断する。
なお、本実施形態においては、第１測定点Ｐ１及び第２測定点Ｐ２に対する測定光の照射によって上記判断が行われているが、さらに、第３測定点Ｐ３及び第４測定点Ｐ４に対する測定光の照射により得られたデータも加味して、判断部９２は上記判断を行ってもよい。

【0061】

判断部９２は、テープＴ２の中心がリングフレームＦの中心と一致して貼着されていないと判断した場合には、警報音を鳴らす又はエラーを表示する等して、作業者に該判断を通知する。判断部９２による上記判断が実施された後に、該判断された不良なウェーハセットは、図示しない搬送手段によってウェーハカセットに収容されるが、作業者は該不良なウェーハセットが収容されているウェーハカセットの棚の位置を把握できるため、その後、該不良なウェーハセットをウェーハカセットから取り除くことができる。
例えば、制御手段９によって、不良なウェーハセットが収容されたウェーハカセットの棚の段数が記憶されてもよい。
また、不良なウェーハセットを載置する抜き取りテーブルを備え、図示しない搬送手段によって、該抜き取りテーブルに不良なウェーハセットを搬送させてもよい。

【0062】

上記のように本発明に係るテープマウンタ１は、リングフレームＦの上面ＦａでテープＴ２が貼着されているべき領域の測定点に測定光を投光する投光部６０と、測定点で反射した反射光を受光する受光部６１と、からなるセンサ６と、受光部６１が受光する受光量についての基準値を設定する設定部９０と、判断部９２と、を備え、判断部９２が、受光部６１が受光した受光量が基準値より小さい場合は、測定点にテープＴ２が貼着されていると判断し、受光部６１が受光した受光量が基準値以上の場合は、測定点にテープＴ２が貼着されていないと判断することができ、テープＴ２の中心がリングフレームＦの中心と一致して貼着されているか否かを確認できる。即ち、従来は、透過型センサで、リングフレームＦのテープＴ２が貼られていない箇所を確認することができていたが、テープＴ２の中心がリングフレームＦの中心と一致して貼着されているか否か、換言すれば、リングフレームＦの開口Ｆｃの周囲においてテープＴ２の貼り付け面積が部分的に狭くなっているところが有るか否かは確認することができなかった。しかし、本発明に係るテープマウンタ１は、例えば、センサ６が測定する測定点を、リングフレームＦの開口Ｆｃより少し外側の領域（テープＴ２が貼り付けられているべき領域）内に設定し、リングフレームＦに対するテープＴ２の貼り付け面積が狭くなっている箇所（測定点上にテープＴ２が貼着されていない箇所）があれば、受光部６１が受光するリングフレームＦからの反射光の受光量が基準値以上となり、判断部９２が、テープＴ２の貼り付け面積が部分的に狭くなっているところが有り、テープＴ２がリングフレームＦから剥がれやすくなっている箇所があると判断できる。

【0063】

本発明に係るテープマウンタ１は、測定光をリングフレームＦの上面Ｆａで反射させた反射光を受光部６１が受光した際の受光量を記憶する記憶部９５を備え、設定部９０は、記憶部９５に記憶された値を基準値として設定することで、判断部９２がテープＴ２の中心がリングフレームＦの中心と一致して貼着されているか否かを判断するための基準値を、適切に設定できる。

【0064】

本発明に係るテープマウンタ１において、実施形態１のセンサ６のように、センサ６は、リングフレームＦの上面Ｆａに対し斜め上方向から測定点に向かって測定光を投光する投光部６０と、測定点に対し投光部６０と対称位置に配置され測定点で反射した測定光を回帰反射させる回帰反射板６２と、回帰反射板６２で反射した反射光が測定点でさらに反射した反射光を投光部６０の近傍で受光する受光部６１と、からなることで、テープＴ２が透明なテープであっても、又は不透明なテープであっても、判断部９２が、受光部６１が受光した受光量が基準値より小さい場合は、測定点にテープＴ２が貼着されていると判断し、受光部６１が受光した受光量が基準値以上の場合は、測定点にテープＴ２が貼着されていないと判断することができ、テープＴ２の中心がリングフレームＦの中心と一致して貼着されているか否かを判断できる。

【0065】

図１に示すテープマウンタ１は、例えば、リングフレームＦに貼着したテープが、透明なテープＴ２ではなく、可視光に対して透明でない着色されたテープＴ３（図１２参照）である場合には、実施形態１のセンサ６の代わりに、以下に説明する図１２、１３に示す実施形態２のセンサ６Ａを備えていてもよい。

【0066】

実施形態２のセンサ６Ａは、例えば、限定反射形の光電センサであり、リングフレームＦの上面Ｆａに対し斜め上方向から測定点に向かって測定光を投光する投光部６６と、測定点に対し投光部６６と対称位置に配置され測定点で反射した反射光を受光する受光部６７と、からなる。

【0067】

センサ６Ａは、例えば、図１に示す貼着手段２２を通過した位置まで－Ｘ方向に移動した状態のリングフレーム保持テーブル２０の上方において、リングフレーム保持テーブル２０の上面２０ａとＺ軸方向において対向するように配設されている。投光部６６は、例えば、図１２に示すように筐体６３の＋Ｙ方向側の部位に配設されている。例えば、投光部６６は、内蔵する光源から出射された光を矩形のスリットを通し、このスリットの透過光をコリメータレンズを通して平行光（測定光）に変換し、測定光を所定の幅を保ちつつ、斜め下方に向かって照射できる。なお、例えば、所定幅の測定光の入射角度等は、図示しない調整手段によって調整可能となっていてもよい。また、測定光が所定の幅を直径とする円柱状を形成していてもよい。

【0068】

例えば、リングフレーム保持テーブル２０の上面２０ａ上でセンタリングされた状態のリングフレームＦに設定されている第１測定点Ｐ１及び第２測定点Ｐ２は、リングフレーム保持テーブル２０のＸ軸方向に平行な中心線上に位置付けられている。そして、受光部６７は、例えば、リングフレーム保持テーブル２０のＸ軸方向に平行な中心線を対称軸として、筐体６３の－Ｙ方向側の部位に配設されており、図１に示すテーブル移動手段１３によってリングフレーム保持テーブル２０が－Ｘ方向に移動されて、第１測定点Ｐ１が投光部６６の光軸上に位置すると、第１測定点Ｐ１に対し投光部６６とＹ軸方向において対称位置に配置された状態になる。

【0069】

以下に、実施形態２のセンサ６Ａを備えるテープマウンタ１において、図１２に示すテープＴ３の中心がリングフレームＦの中心（開口Ｆｃの中心）と一致して貼着されているか否かの判断が、判断部９２によって行われる場合について説明する。

【0070】

図１に示す制御手段９による制御の下で、テーブル移動手段１３によって－Ｘ方向に送られるリングフレーム保持テーブル２０が貼着手段２２を通過し、図１２に示すテープＴ３がリングフレームＦに貼着されてから、さらにリングフレーム保持テーブル２０がＸ軸方向における所定の座標位置まで－Ｘ方向に移動する。

【0071】

リングフレームＦは、リングフレーム保持テーブル２０上でセンタリングされているため、リングフレーム保持テーブル２０がＸ軸方向における所定の座標位置まで移動することで、制御手段９は、第１測定点Ｐ１が、Ｘ軸方向における予め把握された座標位置、即ち、図１２、図１３に示すように、センサ６Ａの投光部６６の光軸上に位置づけられたと判断する。そして、制御手段９に電気的に接続されているセンサ６Ａに対して、制御手段９から動作信号が送られ、投光部６６がリングフレームＦの上面Ｆａに対し斜め上方向から第１測定点Ｐ１に向かって所定幅の測定光を投光する。

【0072】

限定反射形のセンサ６Ａは、投光部６６と受光部６７とが同じ傾き角をもって交差しており、それぞれの光軸が交差する限られた領域、即ち、ある限定された距離の正反射光のみを受光部６７は受光する。そして、投光部６６と受光部６７とは、例えば、予め、リングフレームＦの上面Ｆａで直に反射した反射光を受光部６７が受光するように、その高さ位置等が設定されている。
したがって、図１２に示すように、テープＴ３の中心がリングフレームＦの中心（開口Ｆｃの中心）と一致して貼着されている場合には、図１３に示すように、測定光が第１測定点Ｐ１におけるリングフレームＦの上面Ｆａに貼着されたテープＴ３の上面で反射するため、受光部６７は測定光の反射光を殆ど受光しない。よって、第１測定点Ｐ１に対する投光によって受光部６７が受光した受光量は、例えば、図１４に示す少ない受光量Ｖ４となる。測定された受光量Ｖ４は、制御手段９の記憶部９５のＲＡＭに記憶される。

【0073】

図１２に示すリングフレーム保持テーブル２０がさらに－Ｘ方向に移動され、Ｘ軸方向における所定の座標位置まで移動することで、制御手段９は、第２測定点Ｐ２がセンサ６Ａの投光部６６の光軸上に位置づけられたと判断する。そして、センサ６Ａの投光部６６がリングフレームＦの上面Ｆａに対し斜め上方向から第２測定点Ｐ２に向かって所定幅の測定光を投光する。

【0074】

図１２に示すように、テープＴ３の中心がリングフレームＦの中心と一致して貼着されている場合には、測定光が第２測定点Ｐ２におけるリングフレームＦの上面Ｆａに貼着されたテープＴ３の上面で反射するため、受光部６７は測定光の反射光を殆ど受光しない。よって、第２測定点Ｐ２に対する投光によって受光部６７が受光した受光量は、例えば、図１４に示す受光量Ｖ４となる。

【0075】

過去の実験等によって得られ記憶部９５のＲＯＭに記憶されている、投光部６６が投光しリングフレームＦの上面Ｆａで反射させた反射光を受光部６７が受光した際の受光量は、例えば、図１４に示す受光量Ｖ５となっている。
そして、本実施形態における図１３に示す設定部９０は、記憶部９５に記憶されている受光量Ｖ５を、判断部９２がテープＴ３の中心がリングフレームＦの中心と一致して貼着されているか否かの判断を行うために用いる、受光部６７が受光する受光量についての基準値Ｖ５として判断部９２に設定する。

【0076】

判断部９２は、先ほど得られ記憶部９５のＲＡＭに記憶された第１測定点Ｐ１に対する投光によって受光部６７が受光した受光量Ｖ４、及び第２測定点Ｐ２に対する投光によって受光部６７が受光した受光量Ｖ４を、それぞれ、記憶部９５に記憶されている受光量Ｖ５（基準値Ｖ５）と比較する。そして、判断部９２は、図１２、１３に示す第１測定点Ｐ１に対する投光によって受光部６７が受光した受光量Ｖ４、及び第２測定点Ｐ２に対する投光によって受光部６７が受光した受光量Ｖ４が、基準値である受光量Ｖ５よりそれぞれ小さいと判断して、リングフレームＦの上面Ｆａの第１測定点Ｐ１及び第２測定点Ｐ２にテープＴ３が貼着されていると判断し、テープＴ３の中心がリングフレームＦの中心と一致して貼着されていると判断する。
なお、本実施形態においては、第１測定点Ｐ１及び第２測定点Ｐ２に対する測定光の照射によって上記判断が行われているが、さらに、センサ６Ａによる第３測定点Ｐ３及び第４測定点Ｐ４に対する測定光の照射により得られたデータも加味して、判断部９２は上記判断を行ってもよい。

【0077】

例えば、図１３に示す判断部９２による上記判断が実施された後に、ウェーハセットは、図示しない搬送手段によってウェーハカセットに収容される。ウェーハカセットは、複数の棚を備えており、該棚に一枚ずつウェーハセットが収容される。

【0078】

例えば、図１５に示すように、ウェーハセットのテープＴ３の中心がリングフレームＦの中心と一致して貼着されていない場合について説明する。
図１５、１６に示すように、リングフレーム保持テーブル２０がＸ軸方向における所定の座標位置まで移動することで、制御手段９は、第１測定点Ｐ１が、センサ６Ａの投光部６６の光軸上に位置づけられたと判断する。そして、図１６に示すように、センサ６Ａに対して、動作信号が制御手段９から送られ、センサ６Ａの投光部６６がリングフレームＦの上面Ｆａに対し斜め上方向から第１測定点Ｐ１に向かって所定幅の測定光を投光する。

【0079】

図１６に示すように、投光部６６がリングフレームＦの上面Ｆａに対し斜め上方向から第１測定点Ｐ１に向かって所定幅の測定光を投光すると、第１測定点Ｐ１上にテープＴ３が存在しないため、測定光はリングフレームＦの上面Ｆａの第１測定点Ｐ１で反射する。リングフレームＦの上面Ｆａで反射した測定光は、受光部６７に受光される。受光部６１が受光した受光量は、例えば、図１４に示す受光量Ｖ５となる。受光量Ｖ５は、制御手段９の記憶部９５のＲＡＭに記憶される。

【0080】

図１５に示すリングフレーム保持テーブル２０がさらに－Ｘ方向に移動され、Ｘ軸方向における所定の座標位置まで移動することで、制御手段９は、図１７に示すように、センサ６Ａの投光部６６の光軸上に第２測定点Ｐ２が位置づけられたと判断する。そして、センサ６Ａの投光部６６がリングフレームＦの上面Ｆａに対し斜め上方向から第２測定点Ｐ２に向かって所定幅の測定光を投光する。

【0081】

図１７に示すように、測定光が第２測定点Ｐ２におけるリングフレームＦの上面Ｆａに貼着されたテープＴ３の上面で反射するため、受光部６７は測定光の反射光を殆ど受光しない。よって、第２測定点Ｐ２に対する投光によって受光部６７が受光した受光量は、例えば、図１４に示す少ない受光量Ｖ４となる。

【0082】

図１５に示す判断部９２は、記憶部９５のＲＡＭに記憶された第１測定点Ｐ１に対する投光によって受光部６７が受光した受光量Ｖ５、及び第２測定点Ｐ２に対する投光によって受光部６７が受光した受光量Ｖ４を、それぞれ、記憶部９５のＲＯＭに記憶されている基準値である受光量Ｖ５と比較する。そして、判断部９２は、第１測定点Ｐ１に対する投光によって受光部６７が受光した受光量Ｖ５が基準値である受光量Ｖ５以上（即ち、同じ）であると判断して、第１測定点Ｐ１にテープＴ３が貼られていないと判断し、テープＴ３の中心がリングフレームＦの中心と一致して貼着されていないと判断する。
なお、本実施形態においては、第１測定点Ｐ１及び第２測定点Ｐ２に対する測定光の照射によって上記判断が行われているが、さらに、第３測定点Ｐ３及び第４測定点Ｐ４に対する測定光の照射により得られたデータも加味して、判断部９２は上記判断を行ってもよい。

【0083】

判断部９２は、テープＴ３の中心がリングフレームＦの中心と一致して貼着されていないと判断した場合には、警報音を鳴らす又はエラーを表示する等して、作業者に該判断を通知する。判断部９２による上記判断が実施された後に、該判断された不良なウェーハセットは、図示しない搬送手段によってウェーハカセットに収容されるが、作業者は該不良なウェーハセットが収容されているウェーハカセットの棚の位置を把握できるため、その後、該不良なウェーハセットをウェーハカセットから取り除くことができる。
例えば、制御手段９によって、不良なウェーハセットが収容されたウェーハカセットの棚の段数が記憶されてもよい。
また、不良なウェーハセットを載置する抜き取りテーブルを備え、図示しない搬送手段によって、該抜き取りテーブルに不良なウェーハセットを搬送させてもよい。

【0084】

なお、本発明に係るテープマウンタ１は上記実施形態に限定されるものではなく、また、添付図面に図示されている各構成等についても、これに限定されず、本発明の効果を発揮できる範囲内で適宜変更可能である。

【符号の説明】

【0085】

１：テープマウンタ １０：基台
ＴＲ：テープロール Ｔ１：シート Ｔ２：テープ １９：巻筒
Ｆ：リングフレーム Ｆｃ：リングフレームの開口 Ｆｄ：第１平坦面 Ｆｅ：第２平坦面
Ｗ：ウェーハ Ｗａ：ウェーハの下面 Ｗｂ：ウェーハの上面
１５：ピールプレート １６：巻き取りローラ １６０：シート支持ローラ
２０：リングフレーム保持テーブル ２０ａ：上面
２００：凹部 ２０１：吸盤収容部 ２５：吸盤
２１：ウェーハ保持テーブル ２１０：吸着部 ２１０ａ：保持面 ２１１：枠体
２２：貼着手段
２３：第１の固定位置決め部 ２４：第１の可動位置決め部
２６：第２の固定位置決め部 ２７：第２の可動位置決め部
１３：テーブル移動手段 １３０：ボールネジ １３１：ガイドレール １３２：モータ
６：実施形態１のセンサ ６０：投光部 ６１：受光部 ６２：回帰反射板
９：制御手段 ９０：設定部 ９２：判断部 ９５：記憶部
６Ａ：実施形態２のセンサ ６６：投光部 ６７：受光部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】