特許7369205長寿命レーザチャンバ電極

発明の名称　長寿命レーザチャンバ電極

出願人　サイマー　リミテッド　ライアビリティ　カンパニー　（識別番号 513192029）

　　　　特許公開件数ランキング 2052 位（3件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 1425 位（5件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7369205

公報発行日　2023年10月25

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7369205

知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、特許-7369205「長寿命レーザチャンバ電極」の公報全文を閲覧することができます。

ログインはこちら　ログイン・ユーザー登録