特許7369323トリクロロシランの製造方法及び多結晶シリコンロッドの製造方法

発明の名称　トリクロロシランの製造方法及び多結晶シリコンロッドの製造方法

出願人　株式会社トクヤマ　（識別番号 3182）

　　　　特許公開件数ランキング 346 位（30件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 233 位（39件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7369323

公報発行日　2023年10月25

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7369323

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