特許 7372471 超音波振動子ホルダ、容器、並びにこれらを用いた分析システム

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2023-10-23

(45)【発行日】2023-10-31

(54)【発明の名称】超音波振動子ホルダ、容器、並びにこれらを用いた分析システム

(51)【国際特許分類】

   G01N 21/03 20060101AFI20231024BHJP

   G01N 21/59 20060101ALI20231024BHJP

【ＦＩ】

G01N21/03 Z

G01N21/59 Z

【請求項の数】 13

(21)【出願番号】P 2022539811

(86)(22)【出願日】2020-07-27

(86)【国際出願番号】 JP2020028731

(87)【国際公開番号】W WO2022024190

(87)【国際公開日】2022-02-03

【審査請求日】2022-12-13

(73)【特許権者】

【識別番号】501387839

【氏名又は名称】株式会社日立ハイテク

(74)【代理人】

【識別番号】110002066

【氏名又は名称】弁理士法人筒井国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】野口 利光

(72)【発明者】

【氏名】神林 琢也

(72)【発明者】

【氏名】野島 彰絋

(72)【発明者】

【氏名】河野 駿介

【審査官】横尾 雅一

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１９－２１１２３５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開昭６０－０７０３５１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００８－１５１５９９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００５－０３７２４４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開昭６０－２２０８５６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平０９－０８９８５１（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許出願公開第２０１２／００８６９３８（ＵＳ，Ａ１）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｇ０１Ｎ ２１／００ － Ｇ０１Ｎ ２１／６１

Ｂ０１Ｌ ３／００ － Ｂ０１Ｌ ９９／００

Ｇ０１Ｎ １／００ － Ｇ０１Ｎ １／４４

Ｇ０１Ｎ ２９／００ － Ｇ０１Ｎ ２９／５２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

液体試料を入れる容器が着脱可能であり、超音波を伝達する超音波振動子ホルダであって、
超音波を発信する超音波振動子と、
前記超音波振動子に固定されて、前記容器に前記超音波を伝達する保護層と、
を有し、
前記保護層は、前記超音波振動子と固定された面である第１面と、前記第１面の裏面であって、かつ接触媒質を介して前記容器が固定されるよう設計された第２面と、
を有し、
前記接触媒質は、液体又はゾルの物質であり、
前記第２面は、前記接触媒質の塗布領域を示す目印である塗布領域目印を備える、
超音波振動子ホルダ。

【請求項2】

請求項１に記載の超音波振動子ホルダであって、
前記塗布領域は、前記超音波振動子を法線方向に延長した空間と、前記第２面が交わる領域を包含する領域である、
超音波振動子ホルダ。

【請求項3】

請求項１に記載の超音波振動子ホルダであって、
前記塗布領域は、前記超音波の進行方向に、前記超音波振動子を延長した空間と、前記第２面と、が交わる領域を包含する領域である、
超音波振動子ホルダ。

【請求項4】

請求項１に記載の超音波振動子ホルダであって、
前記容器を、前記塗布領域に固定させることをガイドする、ガイド部材を有する、
超音波振動子ホルダ。

【請求項5】

請求項１に記載の超音波振動子ホルダであって、
前記超音波振動子ホルダは、前記接触媒質を充填するための、第１細孔と、
前記第２面と前記第１細孔に接し、塗布領域として、前記接触媒質が満たされるように設計された窪みと、を有する、
超音波振動子ホルダ。

【請求項6】

請求項５に記載の超音波振動子ホルダであって、
前記超音波振動子ホルダは、前記窪みに残る空気又は前記接触媒質を排出するための、第２細孔を有する、
超音波振動子ホルダ。

【請求項7】

請求項１に記載の超音波振動子ホルダであって、
前記保護層の厚みは、前記保護層の内部における前記超音波の半波長の０．５倍以上かつ１０倍以下である、
超音波振動子ホルダ。

【請求項8】

請求項１に記載の超音波振動子ホルダであって、
前記超音波振動子ホルダは、前記容器を固定する固定構造を有する、
超音波振動子ホルダ。

【請求項9】

請求項８に記載の超音波振動子ホルダであって、
前記固定構造は、
前記第２面の方向に前記容器を押し当てる押圧構造を有する、
超音波振動子ホルダ。

【請求項10】

請求項１に記載の超音波振動子ホルダと、
前記超音波振動子に電圧を印加する発振器と、
前記容器に光を照射する光源と、
前記容器を透過した光を受光する受光部と、
受光部によって受光した光に基づいて、前記液体試料の分析処理を行う、コンピュータと、
を有する、分析システム。

【請求項11】

請求項１０に記載の分析システムであって、
前記コンピュータは、
前記接触媒質の塗布又は充填状態を特定し、
特定した状態が異常を示す場合は、異常を示すメッセージを出力し、
前記メッセージは、接触媒質が十分に充填又は塗布されていないことを示す、
分析システム。

【請求項12】

請求項１に記載の超音波振動子ホルダに着脱可能な容器であって、前記容器は、
前記塗布領域に対応する形状を有する側面と、
前記液体試料を入れるためのインレットと、
前記液体試料を排出するためのアウトレットと、
を有する、容器。

【請求項13】

請求項１２に記載の容器であって、
前記超音波振動子は、前記容器を、前記塗布領域に固定させることをガイドする、ガイド部材を有し、
前記ガイド部材の形状に対応する形状を有する、容器。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、超音波振動子ホルダ、容器、並びにこれらを用いた分析システムに関する。

【背景技術】

【0002】

特開２０１９－２１１２３５号公報（特許文献１）には、分析ユニットに対して着脱交換可能な、液体試料を収容するための分析セルが記載される。また、特許文献１には、超音波振動子と分析セルの壁面とをゲル状物質を介して密着させることが記載されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開２０１９－２１１２３５号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

懸濁した液体試料中の成分について、超音波を利用して光分析する装置において、液体試料を収容する容器を、超音波振動子ホルダから着脱可能にすることで、超音波振動子を繰り返し利用することが可能となる。ところが容器を超音波振動子ホルダから着脱可能とすることに起因する分析精度の低下を抑制する必要がある。

【0005】

本発明の目的は、液体試料を収容する容器が、超音波振動子ホルダから着脱可能である分析システムにおいて、分析精度の低下を抑制する技術を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本願において開示される発明のうち、代表的な形態の概要を簡単に説明すれば、次のとおりである。

【0007】

すなわち、一実施の形態である超音波振動子ホルダは、液体試料を入れる容器が着脱可能であり、超音波を伝達する。前記超音波振動子ホルダは、超音波を発信する超音波振動子と、前記超音波振動子に固定されて、前記容器に前記超音波を伝達する保護層と、を有する。前記保護層は、前記超音波振動子と固定された面である第１面と、前記第１面の裏面であって、かつ接触媒質を介して前記容器が固定されるよう設計された第２面と、を有する。

【0008】

他の実施の形態である分析システムは、超音波振動子ホルダと、前記超音波振動子に電圧を印加する発振器と、前記容器に光を照射する光源と、前記容器を透過した光を受光する受光部と、受光部によって受光した光に基づいて、前記液体試料の分析処理を行う、コンピュータと、を有する。前記超音波振動子ホルダは、液体試料を入れる容器が着脱可能であり、超音波を伝達する。前記超音波振動子ホルダは、超音波を発信する超音波振動子と、前記超音波振動子に固定されて、前記容器に前記超音波を伝達する保護層と、を有する。前記保護層は、前記超音波振動子と固定された面である第１面と、前記第１面の裏面であって、かつ接触媒質を介して前記容器が固定されるよう設計された第２面と、を有する。

【0009】

他の実施の形態である容器は、超音波振動子ホルダに着脱可能な容器である。前記超音波振動子ホルダは、液体試料を入れる容器が着脱可能であり、超音波を伝達する。前記超音波振動子ホルダは、超音波を発信する超音波振動子と、前記超音波振動子に固定されて、前記容器に前記超音波を伝達する保護層と、を有する。前記保護層は、前記超音波振動子と固定された面である第１面と、前記第１面の裏面であって、かつ接触媒質を介して前記容器が固定されるよう設計された第２面と、を有する。前記第２面は、前記接触媒質の塗布領域を示す目印である塗布領域目印を備える。前記容器は、前記塗布領域に対応する形状を有する側面と、前記液体試料を入れるためのインレットと、前記液体試料を排出するためのアウトレットと、を有する。

【発明の効果】

【0010】

本願において開示される発明のうち、代表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば以下の通りである。すなわち、液体試料を収容する容器が、超音波振動子ホルダから着脱可能である分析システムにおいて、分析精度の低下を抑制することができる。

【0011】

上記した以外の課題、構成および効果は、以下の実施形態の説明により明らかにされる。

【図面の簡単な説明】

【0012】

【図1】本発明の一実施の形態である超音波振動子ホルダに容器を取り付けた状態を示す正面図である。

【図2】図１に示す超音波振動子ホルダを超音波振動子側から視た側面図である。

【図3】図１に示す保護層の第１面を示す平面図である。

【図4】図１に示す保護層の変形例を備えた超音波振動子ホルダおよび容器を示す正面図である。

【図5】図４に示すＡ－Ａ線に沿って、Ｘ－Ｙ平面と平行に切断した断面を示す断面図である。

【図6】図３に示す保護層の第２面を示す平面図である。

【図7】図６に対する変形例である超音波振動子ホルダの保護層の第２面を示す平面図である。

【図8】図７に示す保護層を備える超音波振動子ホルダに容器を固定するステップを示す説明図である。

【図9】図８に対する変形例であるステップを示す説明図である。

【図10】図８および図９に対する変形例である超音波振動子ホルダの構成例を示す正面図である。

【図11】図１０のＡ－Ａ線に沿って、Ｘ－Ｙ平面と平行に切断した断面を示す断面図である。

【図12】図１に示す超音波振動子ホルダの変形例が備える保護層、および保護層の近傍に固定された容器を示す正面図である。

【図13】図１２に示す保護層の窪みに接触媒質を供給する様子を模式的に示す上面図である。

【図14】図１２に対する変形例を示す正面図である。

【図15】図１４に示す保護層の窪みに接触媒質を供給する様子を模式的に示す上面図である。

【図16】図９に示す容器の固定方法に対する変形例を示す説明図である。

【図17】図９に示す容器の固定方法に対する他の変形例を示す説明図である。

【図18】図１に示す超音波振動子ホルダを用いた分析システムの構成例を示す説明図（正面図）である。

【図19】図１８に示す超音波振動子ホルダを超音波振動子側から視た側面図である。

【図20】図１８および図１９に示す分析システムを利用した分析方法の工程フローを示す説明図である。

【図21】図１８および図１９に示す分析システムを用いた分析方法において、コンピュータによる処理フローの例を示す説明図である。

【図22】図２１に続く処理フローの例を示す説明図である。

【発明を実施するための形態】

【0013】

以下の実施の形態を説明するための各図において、同一の部材には原則として同一の符号を付し、その繰り返しの説明は省略する。なお、図面をわかりやすくするために平面図であってもハッチングを付す場合がある。

【0014】

＜超音波振動子ホルダ＞
図１は、一例である超音波振動子ホルダに容器を取り付けた状態を示す正面図である。図２は、図１に示す超音波振動子ホルダを超音波振動子側から視た側面図（図１のＸ方向に見た側面図）である。なお、以下の説明において、正面図とは、超音波振動子ホルダの上面および下面の間にある四つの面のうち、超音波振動子１０、超音波振動子ホルダ１０１、保護層１１、および容器１３のそれぞれが、横方向に並ぶように視認される方向の面を表す図を指す。上記のように視認される方向の面が２面ある場合には、図１に示すように、紙面に向かって左側から順に超音波振動子１０、超音波振動子ホルダ１０１、および保護層１１が配列される面を表した図を正面図とする。正面図の反対面側の図は背面図である。また、上記四つの面のうち、正面および背面以外の側面を表す図を側面図と呼ぶ（例えば図２参照）。また、各図には、どの方向から視た図かを示すため、互いに直交するＸ方向、Ｙ方向、およびＺ方向を矢印で示す。Ｘ方向およびＹ方向を含むＸ－Ｙ平面は、水平面を構成し、Ｚ方向は鉛直方向を構成する。

【0015】

図１に示すように、本実施の形態の超音波振動子ホルダ１０１は、分析対象である液体試料２０１が入った容器１３に対して超音波を印加する機能を備える。容器１３は、超音波振動子ホルダ１０１に対して着脱可能である。容器１３の着脱方法の例は、後述する。容器１３を着脱可能にした場合、超音波振動子１０と容器１３とを分離できる。この場合、例えば容器１３をシングルユース（使い捨て）で利用する場合、容器１３を分離して交換できるので、超音波振動子１０は繰り返しの利用が可能である。また、容器１３を洗浄する場合でも、超音波振動子１０と分離した状態で洗浄することにより、容器１３の洗浄性が向上する。

【0016】

超音波振動子ホルダ１０１は、超音波振動子１０と、超音波振動子１０を保護する保護層１１と、保護層１１と容器１３との間に介在する接触媒質１２と、を少なくとも有する。なお、上記は、超音波振動子ホルダ１０１が有する主要な部品であり、上記以外の部品を含んでいることを排除するものではない。例えば、超音波振動子１０に電力を供給するリード（図示せず）などがこれに相当し、図１では図示を省略している。

【0017】

保護層１１は、超音波振動子１０に固定される。保護層１１は、容器１３に超音波を伝達する機能を備え、かつ、超音波振動子１０の損傷を抑制する保護機能を備える。保護層１１は、超音波振動子１０と固定された面である第１面１１Ａと、第１面１１Ａの裏面であって、かつ、接触媒質１２を介して容器１３が固定されるように設計された第２面１１Ｂと、を有する。

【0018】

容器１３と超音波振動子ホルダ１０１とを着脱可能にした場合、容器１３を取り付ける際、あるいは、超音波振動子１０の繰り返しの使用により、超音波振動子１０が損傷する可能性がある。上記した繰り返しの使用により超音波振動子１０が損傷する原因の一つとして、超音波振動子の使用時間が長くなることが上げられる。超音波振動子１０の損傷には、超音波振動子１０が動作しなくなる場合の他、超音波振動子１０が設定通りの超音波を出力しなくなる場合も含まれる。超音波振動子１０が動作しない状態を含め、超音波振動子１０が設定通りの超音波を出力しない場合、容器１３に正しい超音波を印加することができないので、分析精度の低下の原因になる。

【0019】

図１に示す超音波振動子ホルダ１０１の場合、容器１３と超音波振動子１０との間には保護層１１が介在する。保護層１１は超音波振動子１０に固定されている。言い換えれば、保護層１１は、超音波振動子１０から着脱されない。したがって、着脱作業の際に、容器１３と超音波振動子１０とが接触したり、衝突したりすることを回避できる。このため、超音波振動子１０の摩耗や破損などのリスクを回避できる。また、図１に示すように、接触媒質１２は、超音波振動子１０には塗布されず、保護層１１に塗布される。したがって、接触媒質１２を超音波振動子１０に繰り返し塗布することによる摩耗や破損のリスクを回避できる。すなわち、容器１３を超音波振動子ホルダ１０１に対して着脱可能に構成した場合でも、超音波振動子１０の損傷を抑制できる。また、保護層１１は、超音波振動子１０が出力した超音波を容器１３に伝達する機能を備える。これにより、超音波振動子１０と容器１３とを直接的に接触させなくても、容器１３に超音波を印加することができる。

【0020】

超音波振動子１０は、電気機械変換効率が高く、電気信号で制御し易いという観点から圧電セラミックス製の振動子を用いることが好ましい。圧電セラミックスは、サイズのバリエーションが多く、超音波振動子１０として適切なサイズを選択する観点から、圧電セラミックスを用いることは有利である。また保護層１１には、超音波振動子１０を保護する機能および超音波振動子１０を固定して保持する機能が要求される。このため、高い剛性が得られる材料から成ることが好ましい。また、保護層１１には、超音波を効率的に伝達する特性が要求される。これらの観点から、保護層１１は、金属材料から成ることが好ましい。また、耐久性や重量などを考慮すると、保護層１１は、ステンレス鋼、アルミニウム、あるいはその合金から成ることが特に好ましい。なお、保護層１１を介して超音波を容器１３に伝達する場合、超音波が保護層１１において減衰する場合も考えらえる。ただし、減衰の程度が小さければ、この減衰の程度を考慮して、超音波振動子１０の出力を保護層１１がない場合と比較して高く設定すれば、正しく分析することができる。

【0021】

保護層１１と超音波振動子１０とは、接着剤１５を介して接着固定されている。超音波振動子１０から保護層１１への超音波の伝達を考慮すると、超音波振動子１０が備える複数の面のうち保護層１１と対向する取り付け面１０Ａ、および保護層１１の第１面１１Ａのそれぞれは、出来る限り平滑な面であることが好ましい。ただし、超音波振動子１０と保護層１１との間に、接着剤１５が介在している場合、第１面１１Ａおよび取り付け面１０Ａのそれぞれに僅かな凹凸が存在する場合でもこの凹凸に接着剤１５が埋め込まれる。このため、超音波振動子１０から保護層１１への超音波の伝達特性を向上させることができる。なお、図１に示す実施態様に対する変形例として、接触媒質１２と同様に、非接着性の接触媒質を接着剤１５に変えて用いることもできる。この場合、超音波振動子１０と保護層１１とを固定する他の手段（例えば、後述する押圧構造１４と同様の固定方式等）が必要になるが、超音波振動子１０から保護層１１への超音波の伝達特性を向上させることはできる。超音波振動子１０から保護層１１への超音波の伝達、および保護層１１から容器１３への超音波の伝達を考慮すると、保護層１１の第１面１１Ａおよび第２面１１Ｂは、それぞれ平面（曲面ではない面；plane）であることが好ましい。また、保護層１１の第１面１１Ａおよび第２面１１Ｂは、互いに平行であることが好ましい。ただし、変形例として、保護層１１の第１面１１Ａおよび第２面１１Ｂのいずれか一方、あるいは両方が平面でない場合もある。また、別の変形例として、保護層１１の第１面１１Ａおよび第２面１１Ｂが平行に配置されない場合もある。

【0022】

超音波振動子１０に固定した保護層１１から容器１３へ超音波を伝達するための接触媒質１２は、超音波カプラントとも呼ばれる。接触媒質１２は、液体又はゾルの物質であることが好ましい。接触媒質１２として、ゲルを利用してもよいが、接触媒質１２の厚さを薄くすることができる観点、あるいは、気泡の混入を抑制しやすいという観点からは、液体またはゾルが好ましい。また、後述する接触媒質１２の塗布方法として、接触媒質１２を細孔に通して供給する場合には、接触媒質１２は液体またはゾルであることが特に好ましい。接触媒質１２の例として、水、油、グリセロールなどを例示できる。

【0023】

液体試料２０１を入れる容器１３の構成材料は、分光分析で用いる光を透過させやすいものが望ましい。また、容器１３の構成材料は、化学的に安定で、機械的強度と耐熱性があるものがより望ましい。一般的には、容器１３としては、分光分析用のセルやキュベットと呼ばれるものを用いる。セルやキュベットの構成材料は、例えば、石英、ガラス、アクリル樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリカーボネート樹脂などがあり、これらの材料の中から、液体試料２０１の種類に応じて、上記した光の透過性、化学的な安定性、機械的強度、あるいは耐熱性などの観点から好適なものを選択することができる。図１に示す例では、液体試料２０１を流すことができるように、容器１３は、液体試料２０１を入れる（供給する）ための供給部であるインレット１３１と、液体試料２０１を排出するための排出部であるアウトレット１３２と、を有する。図１に示すように液体試料２０１を流すことができる容器１３は、フローセルと呼ばれる。図１に示す例では、容器１３の下方にインレット１３１が配置され、情報にアウトレット１３２が配置される。なお、図示は省略するが、図１に対する変形例として、容器１３で液体試料２０１を流さず、貯液する場合には、供給口と排出口とが兼用化されている形式もある。容器１３内での気泡の残留を抑制する観点からは、図１に示すように容器１３の下方にインレット１３１が配置されることが好ましい。

【0024】

また、容器１３は、保護層１１の第２面１１Ｂと対向する側面１３Ａを有する。側面１３Ａは、接触媒質１２を介して保護層１１に押し付けられる面であり、典型的には平面（曲面ではない面）である。保護層１１の第２面１１Ｂと、容器１３の側面１３Ａとがそれぞれ平面であり、かつ、互いに対向している場合、保護層１１から容器１３への超音波の伝達特性を向上させることができる。

【0025】

図２に示すように、本実施の形態の超音波振動子ホルダ１０１の場合、側面視（平面視）において、保護層１１の平面サイズは、超音波振動子１０の平面サイズよりも大きい。図３に示すように、保護層１１は、接着剤１５（図１参照）を介して超音波振動子１０（図１参照）が固定される固定領域１１Ｒ１を備える。固定領域１１Ｒ１は、図１に示す超音波振動子１０の平面（取り付け面１０Ａ）を法線方向（図１に示すＹ方向）に延ばした領域として定義できる。なお、以下では、固定領域１１Ｒ１および周辺領域１１Ｒ２について説明するが、固定領域１１Ｒ１および周辺領域１１Ｒ２のそれぞれは、面ではなく、図１に示すＹ方向に延ばした立体的な部分として説明する。保護層１１のうち、固定領域１１Ｒ１は、接着剤１５が密着する領域と、超音波振動子１０の取り付け面１０Ａが接着剤１５を介さずに対向する領域と、を含む。なお、接着剤１５を固定領域１１Ｒ１の外縁まで塗布した場合には、固定領域１１Ｒ１の全体に接着剤１５が密着する。また、保護層１１は、固定領域１１Ａの周囲に、周辺領域１１Ｒ２を備える。周辺領域１１Ｒ２は、超音波振動子１０の固定に直接的に寄与する領域ではないが、超音波振動子１０を支持する支持構造体としての機能、あるいは、超音波振動子ホルダ１０１（図１参照）自体を図示しない装置や光学台などに固定するための構造体としての機能を備える。固定領域１１Ｒ１には、超音波の伝達特性が要求される。一方、周辺領域１１Ｒ２には、外力や自重により変形し難い剛性が要求される。

【0026】

図１に示す保護層１１の厚さ（Ｙ方向における長さ）、特に、保護層１１の固定領域１１Ｒ１（図３参照）の厚さは、保護層１１が超音波振動子１０と共振するために、保護層１１の中における超音波の半波長の整数倍であることが望ましい。超音波の波長は、分析対象物や分析の目的に応じて設定変更されるが、例えば、ステンレス鋼中の超音波の伝搬速度を約５７００ｍ／ｓｅｃ、超音波の振動数を２ＭＨｚ（メガヘルツ）とすると、１波長の長さは、約２．８ｍｍ、半波長の長さは、約１．４ｍｍとなる。保護層１１の厚さが極端に薄い場合には、加工が難しい、あるいは剛性が低くなって変形し易いなどの課題が生じる。このため、保護層１１の固定領域１１Ｒ１の厚さは、保護層１１の中における超音波の半波長に対して０．５倍以上であることが好ましい。一方、保護層１１の固定領域１１Ｒ１の厚さが厚くなるほど、超音波の保護層１１中での減衰の程度が大きくなる可能性が増大する。したがって、保護層１１の固定領域１１Ｒ１の厚さは、保護層１１の中における超音波の半波長に対して１０倍以下であることが好ましい。すなわち、保護層１１の厚み（詳しくは、保護層１１のうち、超音波振動子の取り付け面１０Ａをその法線方向に延ばした方向の固定領域１１Ｒ１の厚み）は、保護層１１内部における超音波の半波長の０．５倍以上かつ１０倍以下であることが好ましい。

【0027】

なお、詳細は変形例として後述するが、保護層１１における超音波の伝達特性は、固定領域１１Ｒ１の厚さの影響が周辺領域１１Ｒ２の厚さの影響よりも大きい。したがって、保護層１１のうち、超音波の伝達特性に対する影響が大きい固定領域１１Ｒ１を選択的に薄く形成し、支持構造体として、高い剛性が要求される周辺領域１１Ｒ２（図３参照）が固定領域１１Ｒ１よりも厚くなっている構造が好ましい。

【0028】

また、図１に示すように、超音波振動子ホルダ１０１は、容器１３を固定する固定構造を有する。図１に示す例では、容器１３の側面１３Ａの反対側の面から容器１３を保護層１１の第２面１１Ｂの方向に向かって押し当てる押圧構造（押圧部材）１４を固定構造として採用している。図１に示す押圧構造１４は、図１に示すＹ方向の反対方向（以下、－Ｙ方向と記載する）に容器１３を押圧する機構を備える。容器１３は、側面１３Ａの反対側の被押圧面１３Ｂを有する。押圧構造１４は、容器１３の被押圧面１３ＢをＹ方向の反対方向（以下、－Ｙ方向と記載する）に向かって押圧する機構を備える。押圧構造１４に押圧された容器１３は、接触媒質１２を介して保護層１１の第２面１１Ｂに押し付けられる。保護層１１に押し付けられる容器１３の側面１３Ａは、典型的には平面である。

【0029】

容器１３を保護層１１に接触媒質１２を介して固定する固定構造は、容器を着脱可能とする必要がある。このため、この固定構造は、接着剤１５により保護層１１と容器１３とを接着固定するのではなく、使用中に容器１３が位置ずれしないように固定する。固定構造の一例としての押圧構造１４としては、金属板、金属ブロック、金属棒、ばね、ボルト、ゴム板、樹脂板、樹脂ブロック、樹脂棒、などを例示することができる。あるいは、上記した部材を組み合わせた構造物を押圧構造１４として用いることもできる。押圧構造１４により容器１３を押圧する機構としては、以下の方法を例示できる。例えば、図示しない支持板に螺合されたボルトを、容器１３に当接させ、この状態で、ボルトを回し、－Ｙ方向に突出させることにより、容器１３を保護層１１に押し付ける方法がある。この場合、ボルトを逆方向に回転させることにより、容器１３に対する押圧力を取り除き、容器１３を超音波振動子ホルダ１０１から分離することができる。また例えば、金属板、金属ブロック、金属棒、ばね、ボルト、ゴム板、樹脂板、樹脂ブロック、樹脂棒などから成る押圧構造１４を容器１３に当接させて、押圧構造１４を構成する材料の弾力性、あるいは力の反作用を利用して、容器１３を保護層１１に押し付けて固定する方法がある。容器１３に当てた押圧構造１４を押圧するための駆動力としては、例えば、空気圧、水圧、油圧、電磁力などを例示できる。

【0030】

なお、容器１３を固定する固定構造には、図１に示す押圧構造１４の他、種々の変形例がある。固定構造は、容器１３および超音波振動子ホルダ１０１を密着させることができ、かつ、分離させることができればよい。例えば、図示は省略するが、図１に対する変形例として、超音波振動子ホルダ１０１の保護層１１および超音波振動子１０の部分と、容器１３とをそれぞれ独立して保持し、かつ、独立して搬送可能な搬送機構部を備えている場合もある。この変形例の場合、搬送機構部を動作させることにより、容器１３および超音波振動子ホルダ１０１を密着させることができ、かつ、分離させることができるので、固定構造として利用可能である。

【0031】

＜保護層の構造の変形例＞
図４は、図１に示す保護層の変形例を備えた超音波振動子ホルダおよび容器を示す正面図である。図５は、図４に示すＡ－Ａ線に沿って、Ｘ－Ｙ平面と平行に切断した断面を示す断面図である。図４および図５に示す変形例の場合、保護層１１の固定領域１１Ｒ１の厚さ１１Ｔ１（図４参照）が、周辺領域１１Ｒ２の厚さ１１Ｔ２より薄くなっている点で図１に示す実施形態と相違する。

【0032】

詳しくは、図５に示すように、保護層１１は、固定領域１１Ｒ１と重なる位置に形成された、凹部（溝、穴）１１Ｈを有する。凹部１１Ｈは、保護層１１の第１面１１Ａ側から第２面１１Ｂ側に向かって掘られた穴である。凹部１１Ｈは、保護層１１を厚さ方向（第１面１１Ａおよび第２面１１Ｂの一方から他方に向かう方向）に貫通しない。凹部１１Ｈの底面１１Ｇは、典型的には平面である。超音波振動子１０の少なくとも一部分は、凹部１１Ｈの内部に挿入され、凹部１１Ｈの底面１１Ｇに接着剤１５（図４参照）を介して接着固定される。なお、本変形例のように第１面１１Ａが平坦面（flat surface）ではない場合、底面１１Ｇは、保護層１１の第１面１１Ａの一部分であると見做すことができる。この場合、底面１１Ｇと第２面１１Ｂとの間に挟まれた部分の厚さ１１Ｔ１（図４参照）は、周辺領域１１Ｒ２に属する部分の厚さ１１Ｔ２よりも薄くなる。この底面１１Ｇと第２面１１Ｂとの間に挟まれた部分は、固定領域１１Ｒ１の全体を含む。固定領域１１Ｒ１は、超音波振動子１０の取り付け面１０Ａを法線方向に延長した領域として定義される。このため、超音波振動子１０を凹部１１Ｈに挿入するためのクリアランスを考慮すると、厳密には、底面１１Ｇは、固定領域１１Ｒ１の全部と、周辺領域１１Ｒ２の一部分と、を含む。ただし、底面１１Ｇのうち、周辺領域１１Ｒ２に属する部分の面積は、固定領域１１Ｒ１に属する部分の面積と比較して、無視できるほど小さい。したがって、実質的には、凹部１１Ｈの底面１１Ｇは、固定領域１１Ｒ１に属していると見做すことができる。

【0033】

本変形例の場合、保護層１１のうち、超音波の伝達に寄与する固定領域１１Ｒ１の厚さ１１Ｔ１（図４参照）が周辺領域１１Ｒ２の厚さより薄いので、保護層１１による超音波の減衰の程度を低減できる。また、保護層１１の周辺領域１１Ｒ２の厚さ１１Ｔ２は、厚くすることができる。例えば、本変形例の場合、保護層１１の周辺領域１１Ｒ２は、超音波振動子１０の周囲に額縁状に配置される。この結果、超音波振動子１０および保護層１１を含む超音波振動子ホルダ１０１全体の剛性を高めることができる。超音波振動子１０が取り付けられる底面１１Ｇの表面状態は、平坦化された面であることが好ましい。ただし、上記したように、超音波振動子１０の取り付け面１０Ａと底面１１Ｇとの間に接着剤１５（図４参照）が介在する場合、多少の表面粗さがあっても、接着剤１５が埋め込まれるので、表面状態が粗いことに起因する超音波の伝達特性の低下を抑制できる。

【0034】

＜接触媒質の供給および容器の配置＞
次に、図１または図４に示す接触媒質１２の供給方法、容器１３の固定方法、およびこれらの処理に適した超音波振動子ホルダの各構成部品の構造について説明する。図６は、図３に示す保護層の第２面を示す平面図である。図６は、保護層１１の第２面１１Ｂを示す平面図であるが、図３に示す固定領域１１Ｒ１と、図６に示す塗布領域１２Ｒとの平面的な位置関係を示すため、超音波振動子１０を法線方向に延長した空間と、第２面１１Ｂとが交わる領域（図３の固定領域１１Ｒ１に対応する領域）を固定領域１１Ｒ３として二点鎖線で示している。上記したように、固定領域１１Ｒ１および周辺領域１１Ｒ２のそれぞれは、面ではなく、図１に示すＹ方向に延ばした立体的な部分として定義したが、領域１１Ｒ３は、領域１１Ｒ１のうち、第２面１１Ｂと交差する面として定義する。

【0035】

図１や図４に示す接触媒質１２は、図６に示す塗布領域１２Ｒに接触媒質１２を供給（塗布）する必要がある。塗布領域１２Ｒは、接触媒質１２が供給される予定領域であって、実際に接触媒質１２が配置される領域との間に若干の誤差は許容される。図６に示す例の場合、保護層１１の第２面１１Ｂは、接触媒質１２（図１参照）の塗布領域１２Ｒを示す目印である塗布領域目印２０を備える。保護層１１が塗布領域目印２０を備えていることにより、接触媒質１２の供給位置がずれた場合に、そのずれの発生およびずれの程度を、視覚的（イメージセンサなどを用いた場合には光学的）に検出することが可能となる。

【0036】

塗布領域目印２０は、接触媒質１２の供給位置がずれた場合に視覚的（光学的）に認識することができればよいので、種々の方法が考えられる。例えば、保護層１１の第２面１１Ｂを塗布領域１２Ｒの外縁に沿って薄く削り、ケガキ線を形成する方法が例示できる。あるいは、第２面１１Ｂに印刷により塗布領域目印２０を形成する方法を適用する場合もある。印刷による方法の場合、ケガキ線を形成する方法と比較して、保護層１１の第２面１１Ｂの凹凸を小さく抑えることができるので、超音波の伝達特性の低下を抑制する観点からは好ましい。

【0037】

また、塗布領域目印２０の形状にも種々の例がある。例えば図６では、塗布領域１２Ｒの外縁に沿って、枠形状の塗布領域目印２０を形成する例を示している。他に、塗布領域１２Ｒの外縁に沿って、部分的に塗布領域目印２０を形成する場合がある。この方法の例としては、例えば、塗布領域１２Ｒの外縁が四角形を成す場合、四角形の四つの角部の少なくとも対角の２か所以上に塗布領域目印２０を形成する方法、四つの辺のそれぞれに塗布領域目印２０を形成する方法、あるいは四つの角部に加え、隣り合う角部の間の各辺にも塗布領域目印２０を形成する方法、などを例示できる。

【0038】

図１および図４に示す接触媒質１２は、図６に示す塗布領域目印２０の範囲内に塗布される。塗布方法としては、例えば、刷毛や綿棒、布、あるいはローラなどの塗布治具を利用して、接触媒質１２（図１参照）を保護層１１の第２面１１Ｂ上に引き延ばして塗布する方法がある。別の塗布方法として、図示しないノズルから接触媒質１２を流出または噴射させて塗布する場合もある。また、別の塗布方法として、予め接触媒質１２が塗布された転写面を備える平板状の転写用治具を、塗布領域１２Ｒに張り付けることにより接触媒質１２を転写する方法がある。あるいは、上記した転写用治具として、接触媒質１２を染み込ませたスポンジを用いる場合もある。

【0039】

図６に示すように、塗布領域１２Ｒは、超音波振動子１０（図１参照；詳しくは超音波振動子１０の取り付け面１０Ａ）を法線方向に延長した空間と、第２面１１Ｂとが交わる領域１１Ｒ３を包含する領域である。超音波は、固定領域１１Ｒ１（図３参照）から伝達され、かつ、塗布領域１２Ｒを経由して保護層１１から容器１３（図１参照）に伝達される。このため、図６に示すように、塗布領域１２Ｒが固定領域１１Ｒ１の反対面である固定領域１１Ｒ３を包含する位置に配置されていることにより、超音波の伝達経路を直線的に配置することができる。なお、図６に対する変形例として、固定領域１１Ｒ３の一部が塗布領域１２Ｒに含まれない場合もある。ただし、超音波の伝達の効率化の観点からは、図６に示すように固定領域１１Ｒ３の全体が塗布領域１２Ｒに含まれていることが特に好ましい。

【0040】

また、図１および図４に示す超音波振動子１０が出力する超音波の進行方向（図６に示す例ではＹ方向）に着目すれば、図６に示す構成は以下のように表現することができる。すなわち、塗布領域１２Ｒは、超音波の進行方向に、超音波振動子１０（図１参照）を延長した空間と、第２面１１Ｂと、が交わる領域（固定領域１１Ｒ３）を包含する領域である。この場合、上記した表現と同様に、超音波の伝達経路を直線的に配置することができるので、超音波の伝達を効率化することができる。

【0041】

図７は、図６に対する変形例である超音波振動子ホルダの保護層の第２面を示す平面図である。図８は、図７に示す保護層を備える超音波振動子ホルダに容器を固定するステップを示す説明図である。図９は、図８に対する変形例であるステップを示す説明図である。

【0042】

図７～図９に示す例では、超音波振動子ホルダ１０１Ａ（図８および図９参照）が、容器１３（図８および図９参照）、塗布領域１２Ｒ（図７参照）に固定させることをガイドする、ガイド部材２１を有する点で、図１や図４に示す超音波振動子ホルダ１０１と相違する。なお、図８および図９では、図１に示すインレット１３１およびアウトレット１３２の図示を省略している。また、図８および図９に示す例では、図１に示す液体試料２０１を容器１３内に供給する前に容器１３を固定する態様を示しているので、液体試料２０１が図示されていない。

【0043】

超音波振動子ホルダ１０１Ａの場合、例えば図８に示すように、保護層１１の第２面１１Ｂ上にあらかじめ接触媒質１２を塗布しておく。その後、容器１３をガイド部材２１に沿って保護層１１に向かって押し付ける。あるいは、図９に示すように、容器１３の側面１３Ａ上にあらかじめ接触媒質１２を塗布しておく。その後、容器１３をガイド部材２１に沿って保護層１１に向かって押し付ける。なお、図９に示す例の場合には、容器１３に塗布領域の目印が形成されていることが好ましい。容器１３への接触媒質１２の塗布方法は、図６を用いて説明した保護層１１の塗布領域１２Ｒへの接触媒質１２の塗布方法と同様である。

【0044】

本変形例では、ガイド部材２１は、保護層１１に固定されている。超音波振動子ホルダ１０１がガイド部材２１を備えることにより、容器１３を押し付ける位置の精度を向上させることができるので、繰り返しの取り付け作業による容器１３の位置ずれを防止できる。また、ガイド部材２１を用いれば、容器１３を押し付ける作業において、目視により試行錯誤する必要がない。このため、容器１３を押し付ける作業を効率化することができる。

【0045】

図７に示す例では、ガイド部材２１は、Ｌ字形状の金具である。ただし、ガイド部材２１は、容器１３を保護層１１に向かって押し付ける際に、容器１３の位置を誘導できる材料であれば、その形状や、固定位置には種々の変形例がある。例えば、ガイド部材２１の形状の変形例として、Ｕ字形状、円柱状、あるいは角柱状などの形状のピンを例示できる。また、ガイド部材２１の固定位置に関しては、図７に示す塗布領域１２Ｒの周囲に少なくとも１個以上のガイド部材２１が固定されていることが好ましい。また、位置合わせ精度を向上させる観点からは、塗布領域１２Ｒの周囲に複数個のガイド部材２１が形成されていることが好ましい。ただし、例えば、固定可能な容器１３の種類の汎用性を向上させる観点からは、ガイド部材２１により位置が規制される部分は少ない方が好ましい。したがって、例えば、図７に示すように平面視において、塗布領域１２Ｒが四角形を成す場合、例えば、四角形の一片の両端にある角部に、それぞれガイド部材２１が固定され、反対側の辺にはガイド部材２１が固定されない構造も考えられる。この場合、容器１３の選択の自由度が向上する。

【0046】

また、ガイド部材２１の変形例として、図１０および図１１に示す態様もある。図１０は、図８および図９に対する変形例である超音波振動子ホルダの構成例を示す正面図である。図１１は、図１０のＡ－Ａ線に沿って、Ｘ－Ｙ平面と平行に切断した断面を示す断面図である。図１０に示す超音波振動子ホルダ１０１Ｂはガイド部材２１が、保護層１１の第２面１１Ｂから第１面１１Ａに向かって形成された凹部２１Ａと、容器１３の側面１３Ａに形成された凸部２１Ｂと、から成る点で、図８に示す超音波振動子ホルダ１０１Ａと相違する。凹部２１Ａおよび凸部２１Ｂのそれずれは互いに対応した形状（凸部２１Ｂを凹部２１Ａに挿入可能な程度のクリアランスで係合可能な形状）を有する。図１１に矢印を付して模式的に示すように、容器１３の側面１３Ａを保護層１１の第２面１１Ｂに向かって押し込むと、凸部２１Ｂは凹部２１Ａに挿入される。これにより、図８および図９を用いて説明したガイド部材２１の場合と同様に、高精度で容器１３と保護層１１との位置合わせ行うことができる。また、本変形例の場合、位置合わせ作業を効率的に実行できる。

【0047】

図１０および図１１に示す変形例は、容器１３の形状に着目すれば、以下のように表現することができる。すなわち、容器１３は、ガイド部材（凹部２１Ａ）の形状に対応する形状（凸部２１Ｂ）を有する。図１０および図１１では、容器１３に直方体形状の凸部２１Ｂを形成し、保護層１１に直方体形状の凹部２１Ａを形成する例を取り上げて説明したが、容器１３と保護層１１との形状により容器１３の位置決めを行う方法には種々の変形例がある。例えば、凸部２１Ｂおよび凹部２１Ａの形状は、直方体形状の他、角柱、円柱、角錐、半球など、種々の形状が適用できる。また、保護層１１の第２面１１Ｂ側に凸部２１Ｂが形成され、かつ、容器１３の側面１３Ａ側に凸部２１Ｂに対応する凹部２１Ａが形成されている場合もある。また、図８や図９に示すように、保護層１１の第２面１１Ｂおよび容器１３の側面１３Ａのそれぞれが平坦面である場合も、容器１３の側面１３Ａの形状が保護層１１の塗布領域１２Ｒの形状に対応した形状であることを示す一態様として考えることができる。また、他の変形例として、押圧構造１４側に凹部２１Ａが形成されている場合がある。

【0048】

図６に示す塗布領域目印２０や、図７～図１１に示すガイド部材２１を活用することにより、保護層１１の塗布領域１２Ｒ（図６および図７参照）と容器１３との間に、接触媒質１２（図８～図１１参照）を確実に介在させることができる。なお、容器１３の側面１３Ａの全体が塗布領域１２Ｒに固定されていることが好ましいが、少なくとも側面１３Ａの一部分が塗布領域１２Ｒに固定されていれば、その塗布領域１２Ｒに固定された部分を介して容器１３内に超音波が伝達される。

【0049】

＜接触媒質供給の変形例＞
次に接触媒質１２を供給する方法の変形例について説明する。図１２は、図１に示す超音波振動子ホルダの変形例が備える保護層、および保護層の近傍に固定された容器を示す正面図である。図１３は、図１２に示す保護層の窪みに接触媒質を供給する様子を模式的に示す上面図である。また、図１４は、図１２に対する変形例を示す正面図である。図１５は、図１４に示す保護層の窪みに接触媒質を供給する様子を模式的に示す上面図である。図１２～図１５では、保護層１１の第２面１１Ｂに形成された窪み３１の輪郭、および保護層１１の表面から窪み３１までを連通する複数の細孔３２のそれぞれを、点線で示している。

【0050】

図１２および図１３に示す超音波振動子ホルダ１０１Ｃおよび図１４および図１５に示す超音波振動子ホルダ１０１Ｄのそれぞれは、接触媒質１２を供給するための窪み３１および細孔３２を備えている点で、図１に示す超音波振動子ホルダ１０１と相違する。超音波振動子ホルダ１０１Ｃおよび超音波振動子ホルダ１０１Ｄのそれぞれは、接触媒質１２（図１３および図１４参照）を充填するための第１細孔３２Ａ（図１３～図１５参照）と、保護層１１の第２面１１Ｂに接し、塗布領域１２Ｒとして、接触媒質１２が満たされるように設計された窪み３１と、を有する。第１細孔３２Ａを介して窪み３１に接触媒質１２を供給することにより、上記した塗布領域目印２０（図６参照）がない場合でも、正しい位置に精度よく接触媒質１２を供給することができる。

【0051】

また、超音波振動子ホルダ１０１Ｃおよび超音波振動子ホルダ１０１Ｄのそれぞれは、窪みに残る空気（気体）または接触媒質１２を排出するための第２細孔３２Ｂを有する。供給口である第１細孔３２Ａとは別に、排出口である第２細孔３２Ｂを有することにより、窪み３１と容器１３とに囲まれた空間内での気泡の発生を抑制できる。図１２～図１５に示す例では、容器１３を押し付けた後で、接触媒質１２を供給する例を示している。ただし、変形例として、接触媒質１２が窪み１３に充填された後で、容器１３を押し付ける場合もある。

【0052】

超音波振動子ホルダ１０１Ｃおよび超音波振動子ホルダ１０１Ｄのそれぞれが備える保護層１１は、第２面１１Ｂに連なる第３面（側面）１１Ｃ、第３面の反対側にある第４面（側面）１１Ｄ、第２面１１Ｂ、第３面１１Ｃおよび第４面１１Ｄに連なる第５面（上面）１１Ｅ、および第５面１１Ｅの反対側にある第６面（下面）１１Ｆを有する。

【0053】

窪み３１は、保護層１１の第２面１１Ｂに設けられた凹部である。窪み３１の開口面積（第２面１１Ｂにおける開口した部分の面積）は、容器１３内に超音波による凝集層を形成したい領域の面積以上であることが好ましい。例えば、容器１３が分光分析用のセルであり、容器１３の外側の厚さ（Ｘ方向における容器１３の長さ、言い換えれば、光源からの光ビームが容器１３に入射される位置から容器１３から出射される位置までの距離）が３ｍｍ、全高が４５ｍｍ、光路長（光源からの光ビームが容器１３内の液体試料２０１を通過する距離）が１ｍｍ、容器１３内の凝集層のＺ方向（高さ方向）の長さが１０ｍｍとする。この場合、窪み３１の開口部分は、幅（Ｘ方向の長さ）が１～３ｍｍ、高さ方向（Ｚ方向）の長さが１０～４５ｍｍとなっていることが好ましい。また、窪み３１の深さ（Ｙ方向の長さ）は、接触媒質１２を流すことができる範囲で、極力浅いことが好ましい。例えば、窪み３１の深さは、０．０１～０．５ｍｍの範囲内であることが好ましい。

【0054】

また、第１細孔３２Ａ、第２細孔３２Ｂを含む、複数の細孔３２のそれぞれの孔径は、孔を形成する加工性、および接触媒質１２の流動性を考慮して決定することができる。例えば、複数の細孔３２のそれぞれの孔径は、０．１～１ｍｍの範囲内である。

【0055】

図１２および図１３に示す超音波振動子ホルダ１０１Ｃの場合、保護層１１の第３面１１Ｃにおいて、複数の第１細孔３２Ａの端部が露出し、第４面１１Ｄにおいて、複数の第２細孔３２Ｂの端部が露出する。複数の第１細孔３２Ａおよび第２細孔３２Ｂのそれぞれは、Ｘ－Ｙ平面に沿って伸びる。複数の第１細孔３２Ａのそれぞれには、注入器３３および圧力センサ３４が配管３５を介して接続される。また、複数の第２細孔３２Ｂのそれぞれには排出用の配管３５が接続される。超音波振動子ホルダ１０１Ｃの場合、窪み３１の長手方向に沿って、複数の第１細孔３２Ａおよび複数の第２細孔３２Ｂが配置されているので、窪み３１内の充填ムラを低減できる。

【0056】

一方、図１４および図１５に示す超音波振動子ホルダ１０１Ｄの場合、保護層１１の第５面１１Ｅにおいて、第１細孔３２Ａの端部が露出し、第６面１１Ｆにおいて第２細孔３２Ｂの端部が露出する。第１細孔３２Ａには、注入器３３および圧力センサ３４が配管３５を介して接続される。また、第２細孔３２Ｂには排出用の配管３５が接続される。超音波振動子ホルダ１０１Ｄの場合、細孔３２の数を少なくすることができるので、加工効率を向上させることができる。

【0057】

なお、図１２～１５に対する変形例として、第１面１１Ａ（図１参照）や第２面１１Ｂに細孔３２を設ける場合もある。ただし、超音波振動子１０（図１参照）や容器１３の配置に制約を設けないという観点からは、図１２～図１５に示すように、第３面１１Ｃ～第６面１１Ｆのいずれかの面に細孔３２が設けられることが好ましい。

【0058】

＜容器押し付け方法の変形例＞
次に、容器１３を押し付ける方法の変形例について説明する。図１６は、図９に示す容器の固定方法に対する変形例を示す説明図である。図１７は、図９に示す容器の固定方法に対する他の変形例を示す説明図である。

【0059】

図１６に示す方法は、接触媒質１２が付着したローラ４１に容器１３を接触させながら容器１３を斜め下方に移動させる工程を有する。言い換えれば、図１６に示す方法は、接触媒質１２が付着したローラ４１に容器１３を接触させながら容器１３をＸ－Ｚ平面に対して傾斜した状態で、Ｚ方向の反対方向（－Ｚ方向）に向かって移動させる。この工程により、容器１３に接触媒質１２が塗布される。

【0060】

また、図１６に示す方法は、容器１３に接触媒質１２を塗布した後、容器１３のうち、接触媒質１２が塗布された面を保護層１１の第２面１１Ｂに押し付ける工程を有する。本工程では、例えば押圧構造１４により容器１３の被押圧面１３Ｂを押圧する。容器１３がＸ－Ｚ平面に対して傾斜している状態の場合、容器１３は、容器１３と保護層１１とが接触している位置を回転中心として、回転しながら保護層１１に押し付けられる。なお、本工程は、例えば手動で容器１３を保護層１１に向かって押し付けて、最終的に容器１３を固定する際に押圧構造１４を用いる方法でもよい。

【0061】

図１７に示す方法は、接触媒質１２を吐出する（噴射する場合もある）ノズル４２から、接触媒質１２を容器１３に塗布しながらノズル４２を斜め下方（Ｘ－Ｚ平面に対して傾斜した状態で、－Ｚ方向）に移動させる工程を有する。この工程により、容器１３に接触媒質１２が塗布される。

【0062】

また、図１７に示す方法は、図１６に示す方法と同様に、容器１３に接触媒質１２を塗布した後、容器１３のうち、接触媒質１２が塗布された面を保護層１１の第２面１１Ｂに押し付ける工程を有する。本工程は、図１６を用いて説明した工程と同様なので、重複する説明は省略する。なお、図１７に示す方法の場合、ノズル４２から接触媒質１２を吐出している途中で、容器１３が容器１３と保護層１１とが接触している位置を回転中心として、回転しながら保護層１１に押し付けられてもよい。この場合、接触媒質１２の塗布が完了した直後に、接触媒質１２の全体が、保護層１１に接触する。

【0063】

図１６および図１７に示す容器１３の固定方法の場合、容器１３が保護層１１の第２面１１Ｂに対して傾斜した状態から回転しながら押し付けられる点で、図９に示す実施態様と相違する。この方法は、接触媒質１２内に気泡が残留しにくくなる点で好ましい。また、図１６および図１７に示す容器１３の固定方法の場合、ローラ４１（図１６参照）やノズル４２（図１７参照）などの接触媒質供給装置を用いて接触媒質１２を塗布することにより、手作業で塗布する場合と比較して、塗布ムラが発生しにくい。このため、接触媒質１２の面内均一性を確保できるので、超音波の伝達特性を向上させることができる。なお、図１６および図１７では、図示を省略したが、図９等を用いて説明したガイド部材２１を利用する技術を組み合わせて適用する場合がある。

【0064】

＜分析システム＞
次に、上記した超音波振動子ホルダを用いた分析システムについて、説明する。以下では、分析システムの代表例として、図１に示す超音波振動子ホルダ１０１を用いた分析システムについて説明するが、上記した各種の変形例を適用可能である。図１８は、図１に示す超音波振動子ホルダを用いた分析システムの構成例を示す説明図（正面図）である。図１９は、図１８に示す超音波振動子ホルダを超音波振動子側から視た側面図である。

【0065】

図１８および図１９に示すように、本実施の形態の分析システム３００は、超音波振動子ホルダ１０１と、超音波振動子１０に電圧を印加する発振器５０（図１８参照）と、容器１３に光を照射する光源５１（図１９参照）と、容器１３を透過した光を受光する受光部５２と、受光部５２によって受光した光に基づいて、液体試料２０１の分析処理を行うコンピュータ５３と、を有する。

【0066】

図１９に示す例では、分析システム３００は、発振器５０、光源５１、受光部５２、コンピュータ５３、および分光分析部（分光分析装置）５４を有している。図１９では、コンピュータ５３と分光分析部５４とを分離して示している。ただし、図１９に括弧書きで示すように分光分析部５４の機能は、コンピュータ５３の一部として考えることもできる。

【0067】

容器１３は、液体試料２０１を入れるためのインレット１３１と、液体試料２０１を排出するためのアウトレット１３２とを備えている。光源５１および受光部５２は、容器１３を挟むように配置されている。光源５１から出力された光ビーム５５は容器１３を通り、受光部５２に到達する。光源５１および受光部５２は、分光分析部５４と電気的に接続されている。また、分光分析部５４は、コンピュータ５３と電気的に接続されている。あるいは、分光分析部５４は、コンピュータの一部である。コンピュータ５３の一部としての分光分析部５４は、光源５１から出力される光の波長の制御や、受光部５２が受けた光に基づいて光の強度、吸光度、あるいはスペクトルなどの計測を行う。

【0068】

変形例として、光源５１および受光部５２のそれぞれが分光分析部５４内に収容され、それぞれが光ファイバに接続されている場合もある。この変形例の場合、光源５１に接続される光ファイバと受光部５２に接続される光ファイバとが容器１３を介して互いに対向するように配置される。容器１３に出力される光は、光源５１に接続される光ファイバから出射され、容器１３を透過した光は、受光部５２に接続される光ファイバに受光される。また、別の変形例として、一つの筐体内に、超音波振動子ホルダ１０１、容器１３、押圧構造１４、光源５１、受光部５２、分光分析部５４、およびコンピュータ５３が収容される構造の場合もある。

【0069】

発振器５０は、超音波振動子１０を設定された周波数および振幅で駆動し、超音波振動子１０から超音波を発信させる駆動部品である。図１８および図１９０では図示を省略したが、発振器５０は高周波アンプなどの増幅機器や、オシロスコープなどの計測機器に接続され、超音波振動子１０に印加される電気信号の増幅、あるいは測定ができるようになっていることが好ましい。

【0070】

次に、超音波の照射による懸濁した液体試料２０１中の濁質の凝集とそれによる透明領域の形成について説明する。超音波振動子１０から容器１３内へ放射された超音波は、容器１３の平面で反射される。超音波の周波数を特定の周波数に調整すると、容器１３内に定在波が形成される。容器１３の内部では、超音波の音響放射力によって、定在波の節または腹に、液体試料２０１中の濁質が寄せ集められて凝集層５６が周期的に形成される。定在波の節または腹に互いに隣り合って形成される複数の凝集層５６の間には、濁質がないあるいは濁質の濃度が低い透明な領域ができる。この透明領域ができることによって、光源５１からの透過光強度が増加し、懸濁した液体試料２０１の光分析の精度を向上させることができる。

【0071】

本セクションでは、光分析のための分析システムを例示的に取り上げて説明した。ただし、上記した超音波振動子ホルダ１０は、光分析システムの他、種々の分析し捨て宇に利用できる。例えば、光分析はせずに、液体クロマトグラフや質量分析に入れる分析試料の分析前処理として固液分離をするため、液体試料２０１の固液分離あるいは気液分離、液液分離に用いることができる。また、液体試料２０１中の濁質は、固体微粒子の場合に限定はされず、例えば、気泡の場合、水溶液中の油滴の場合、それらの混合物などの場合がある。本セクションで説明した分析システムによれば、上記した超音波振動子ホルダ１０１、あるいはその変形例である超音波振動子ホルダを用いることにより、各実施態様で説明した効果が得られる。

【0072】

＜分析方法＞
次に、図１８および図１９を用いて説明した分析システムを利用した分析方法について説明する。図２０は、図１８および図１９に示す分析システムを利用した分析方法の工程フローを示す説明図である。図２０に示す分析方法は、ステップＳ１０１～ステップＳ１１０までを含む。以下では図２０に示す各ステップについて順に説明する。本セクション以降の説明において、「コンピュータ５３に制御された機構」という説明は、例えばロボットを意味する。

【0073】

（ステップＳ１０１：接触媒質塗布工程）作業者、または図１９に示すコンピュータ５３に制御された機構が、図６に示す保護層１１の塗布領域１２Ｒ、または、図９に示す容器１３の側面１３Ａのいずれかに、接触媒質１２を塗布する。接触媒質１２の塗布方法は、図６～図９を用いて説明した方法、図１２～図１５を用いて説明した方法、あるいは図１６および図１７を用いて説明した方法を例示することができる。なお、図１２～図１５を用いて説明した方法において、容器１３を保護層１１に押し付けた状態で接触媒質１２を窪み３１内に供給する場合、ステップＳ１０１は、ステップＳ１０２およびステップＳ１０３の後で実施する。

【0074】

（ステップＳ１０２：容器位置合わせ工程）作業者、または図１９に示すコンピュータ５３に制御された機構が、図１に示す容器１３を超音波振動子ホルダ１０１に取り付ける。容器１３の固定は次のステップＳ１０３で行うので、本工程では、容器１３と超音波振動子ホルダ１０１との位置合わせを行う。位置合わせの方法としては、手動で試行錯誤する方法もあるが、図７～図１１を用いて説明したようにガイド部材２１を用いて位置合わせを行うことが好ましい。

【0075】

（ステップＳ１０３：容器固定工程）作業者、または図１９に示すコンピュータ５３に制御された機構が、図１に示す押圧構造１４を容器１３に向かって押し付け、容器１３と超音波振動子ホルダ１０１とが接触媒質１２を介して互いに対向した状態で固定する。固定方法としては、図８や図９に示すように押圧構造１４を利用してＸ－Ｙ平面に沿った方向に押し付ける方法の他、図１６や図１７を用いて説明したように、容器１３が保護層１１の第２面１１Ｂに対して傾斜した状態から回転するように押し付ける方法が例示できる。

【0076】

（ステップＳ１０４：液体試料供給工程）作業者、または図１９に示すコンピュータ５３に制御された機構が図１に示す液体試料２０１を容器１３に供給する。液体試料２０１は、例えば容器１３のインレット１３１から供給され、容器１３に充填される。本工程では、例えば、液体試料２０１を継続的に供給し続け、容器１３内で流動的な状態を保つ。あるいは変形例として、本工程では、あるいは、容器１３に必要量（あらかじめ設定された充填量）の液体試料２０１が充填された状態で供給を一旦停止する。本工程の変形例としては、例えば、作業者が、ピペットなどを用いて手動で容器１３に供給する場合もある。あるいは、コンピュータ５３が制御する機構がポンプなどの送液装置を介して液体試料２０１を供給する場合もある。

【0077】

（ステップＳ１０５：超音波発振工程）図１９に示すコンピュータ５３が図１８に示す発振器５０を駆動して、超音波振動子１０から超音波を発振させる。超音波は、例えば図１に示す接着剤１５、保護層１１、接触媒質１２、および容器１３を介して容器１３内の液体試料２０１に伝達される。

【0078】

（ステップＳ１０６：光分析工程）図１９に示すコンピュータ５３が光源５１から光ビーム５５を出力し、受光部５２が受光した光を計測する。計測方法の一例として、例えば、コンピュータ５３は、分光分析部５４に制御信号を送り、受光部５２を介してスペクトルを取得し、スペクトルから、成分の種類や成分濃度を定性定量分析する。分光分析部５４の操作を作業者が実施する場合もある。光分析の際、あるいはその前後に、容器１３の中の液体試料２０１の流速を変える、あるいは流れを止める処理をおこなってもよい。コンピュータ５３の分光分析部５４は、この計測結果に基づいて、光分析（例えば図１８および図１９を用いて説明した分光分析）を実施する。なお、ステップＳ１０５において超音波を発振させた後、図１８に示す凝集層５６が形成されるまでには、濁質の移動などの時間を要する。したがって、ステップＳ１０５を開始した後、ただちにステップＳ１０６を実施するよりは、ステップＳ１０６を開始する前に凝集層５６の形成を待つ待機時間が設けられていることが好ましい。ステップＳ１０６を開始するタイミングは、例えば、図１９に示す光源５１から容器１３の中を通り、受光部５２に達した透過光強度が最大になったときに開始する方法、あるいは、透過光強度の時間変化率があらかじめ定めた閾値以下になり、ほぼ一定とみなせる状態になったときに開始する方法が例示できる。

【0079】

（ステップＳ１０７：超音波停止工程）図１９に示すコンピュータ５３が図１８に示す発振器５０を停止させ、超音波の出力を停止する。

【0080】

（ステップＳ１０８：液体試料交換工程）作業者、または図１９に示すコンピュータ５３に制御された機構が、分析が完了した液体試料２０１を、例えば図１に示す容器１３のアウトレット１３２から外部に排出し、必要に応じてまた新たな液体試料２０１を容器１３内に供給する。容器１３を繰り返し利用する場合には、ステップＳ１０４～ステップＳ１０８までを繰り返すことにより、複数サイクルの光分析が実施できる。一方、容器１３を使い捨て（シングルユース）とする場合には、次のステップＳ１０９に進む。

【0081】

（ステップＳ１０９：容器取り外し工程）作業者、または図１９に示すコンピュータ５３に制御された機構が、分析が完了した液体試料２０１を充填していた容器１３を超音波振動子ホルダ１０１から取り外す。図１に示す接触媒質１２は、接着剤１５とは異なり、容器１３と保護層１１とを接着固定していない。このため、本工程において、押圧構造１４による押圧力を緩めれば、容器１３を容易に取り外すことが可能である。

【0082】

（ステップＳ１０９：接触媒質除去工程）作業者、または図１９に示すコンピュータ５３に制御された機構が、超音波振動子ホルダ１０１から接触媒質１２（図１参照）を除去する。除去方法は、例えば、接触媒質１２を図示しない吸引ノズルで吸い取る方法、綿棒や布でこすり取る方法、あるいはスポンジで吸い取る方法などが例示できる。より確実に除去する観点から、洗浄液やリンス液を吹き付ける、あるいはこれらをしみ込ませた布などを利用する方法を採用することもできる。洗浄液やリンス液を利用した場合には特に、洗浄後に塗布領域周辺にガスを吹き付けて塗布領域周辺を乾燥させることが好ましい。

【0083】

なお、容器１３を再利用する場合には容器１３に付着した接触媒質１２も除去する必要がある。容器１３をシングルユースとする場合には、この後、ステップＳ１０１に戻り、新たな容器１３を用いてステップＳ１０１からステップＳ１０１を繰り返す。なお、繰り返し分析を行う場合に、接触媒質１２を残した状態で再利用する場合には本工程は省略できる。ただし、接触媒質１２への気泡の巻き込み、あるいは、接触媒質の塗布領域１２Ｒ（図６参照）からのはみ出しを抑制する観点からは、本工程を実施して、使用済の接触媒質１２を除去することが好ましい。繰り返しの分析の最後のサイクルでは、本工程の完了により分析作業が終了する。

【0084】

＜コンピュータを利用した分析システム＞
次に、図２０に示す分析のフローを図１９に示すコンピュータを用いて実施する場合に、コンピュータが実行する処理の好ましい態様について説明する。図２１は、図１８および図１９に示す分析システムを用いた分析方法において、コンピュータによる処理フローの例を示す説明図である。図２２は、図２１に続く処理フローの例を示す説明図である。なお、図２１では、図２０に示すステップＳ１０１をステップＳ１０２およびステップＳ１０４の後で実施する例として示している。なお、図２１および図２２に示すフローでは、図２０を用いて説明したフローと共通する工程がある。これらの工程については、図２０を用いた説明と異なる処理について説明し、共通する部分の説明は省略する。図２１および図２２に示す分析処理では、図９に示すコンピュータ５３が以下の処理を行う。

【0085】

（ステップＳ１０３：容器固定工程）図２１に示すステップＳ１０３は、図１９に示す容器１３が押圧構造１４に押圧される工程（ステップＳ１０３Ａ）、およびステップＳ１０３Ａの後、容器１３が押圧される力を検出する工程（ステップＳ１０３Ｂ）を含む。ステップＳ１０３Ａでは、コンピュータ５３に制御された機構が押圧構造１４を駆動し、容器１３を押圧する。ステップＳ１０３Ｂでは、コンピュータ５３が、押圧構造１４による押圧力を検出する。コンピュータ５３は、例えば押圧構造１４、容器１３、あるいは超音波振動子ホルダ１０１に接続された圧力センサ（図示は省略）と電気的に接続されている。コンピュータ５３は、図示しない圧力センサから押圧力のデータを取得する。コンピュータ５３は、検出した押圧力が、設定された押圧力の範囲より低い場合、あるいは範囲より高い場合には警告表示処理として、コンピュータ５３に接続される表示装置５７にメッセージを表示する。圧力値が設定範囲外である場合、コンピュータ５３は、例えば、「容器の押し付けをチェック」というメッセージを出力する。

【0086】

（ステップＳ１０１：接触媒質塗布工程）図２１に示すステップＳ１０１は、保護層１１の塗布領域１２Ｒ（図１２～図１５参照）に接触媒質１２（図１３および図１４参照）を供給する工程（ステップＳ１０１Ａ）と、接触媒質の供給時の送液圧力を検出する工程（ステップＳ１０１Ｂ）と、第２細孔３２Ｂ（図１２～図１４参照）から排出される接触媒質の有無を検出する工程（ステップＳ１０１Ｃ）と、を含む。

【0087】

ステップＳ１０１Ａでは、例えば図１３および図１４に示すように、注入器（シリンジ）３３から配管３５を介して第１細孔３２Ａに接触媒質１２を注入する。

【0088】

ステップＳ１０１Ｂでは、注入器３３と第１細孔３２Ａとの間に接続される圧力センサ３４により接触媒質１２の注入圧力（言い換えれば液圧）が計測される。なお、圧力センサ３４は、注入器３３の注入圧力を直接的に計測する方式でもよい。コンピュータ５３（図１９参照）は、圧力センサ３４と電気的に接続されており、圧力センサ３４から圧力値のデータを取得する。圧力値があらかじめ定めた設定範囲（下限閾値）よりも低い場合は、コンピュータ５３は、異常と判定し、例えば、「容器と振動子ホルダの間に隙間がないか、接触媒質が漏れていないかチェック」という意味のメッセージを表示装置５７（図１９参照）に表示する。一方、圧力値が設定範囲（上限閾値）よりも高い場合は、コンピュータ５３は、異常と判定し、例えば、「細孔の目詰まりをチェック」という意味のメッセージを表示装置５７に表示する。また、圧力値が設定範囲内であった場合、コンピュータ５３は、正常と判定し、メッセージを出力しない、あるいは「接触媒質の供給圧力に異常なし」という意味のメッセージを表示装置５７（図１９参照）に表示する。このステップＳ１０１Ｂにおける処理は以下のように表現できる。すなわち、コンピュータ５３は、接触媒質１２（図１参照）の塗布又は充填状態を特定し、特定した状態が異常を示す場合は、異常を示すメッセージを出力する。また、このメッセージは、接触媒質１２が十分に充填又は塗布されていないことを示す。この処理により、オペレータは、容易に異常発生を認識することができるので、異常状態で作業を行うロスを低減することができる。

【0089】

ステップＳ１０１Ｃでは、コンピュータ５３は、第２細孔３２Ｂ（図１２～図１４参照）から吐出される接触媒質の有無を検出する。検出方法は、例えば、第２細孔３２Ｂの出口（保護層１１の表面に露出する端部）の変化を検出可能なセンサ（図示は省略）を設置する。このセンサは、例えば光、超音波、あるいは電気的な変化を検出する電極を利用するセンサである。接触媒質１２が検出されない状態では、接触媒質がまだ十分に充填されていないため、コンピュータ５３は、ステップＳ１０１Ａを継続するように制御信号を出力する。一方、接触媒質１２が検出された場合は、コンピュータ５３は、接触媒質１２が十分に充填されたと判定し、次のステップＳ１０４に進む。

【0090】

図２１および図２２に示すフローでは、ステップＳ１０４とステップＳ１０５の間にステップＳ２０１工程が含まれる点、および、ステップＳ１０５と、ステップＳ１０６との間にステップＳ２０２が含まる点で、図２０を用いて説明したフローと相違する。以下、ステップＳ２０１およびＳ２０２について順に説明する。

【0091】

（ステップＳ２０１：第１データ取得工程）コンピュータ５３は、図２１に示すステップＳ１０４の後、かつ、図２２に示すステップＳ１０５の前に、容器１３内の液体試料２０１に関する第１データを取得する。第１データは、超音波を発振させない状態における容器１３内の液体試料２０１の透過光強度またはスペクトルのデータである。

【0092】

（ステップＳ２０２：接触媒質の塗布状態の判定工程）コンピュータ５３は、図２１に示すステップＳ２０１および図２２に示すステップＳ１０５の後に、接触媒質１２（図１３および図１４参照）の塗布状態を判定する。ステップＳ２０２は、以下の工程を含む。

【0093】

（ステップＳ２０２Ａ：第２データ取得工程）コンピュータ５３は、図２１に示すステップＳ２０１および図２２に示すステップＳ１０５の後に、容器１３内の液体試料２０１に関する第２データを取得する。第２データは、超音波を発振させた後における容器１３内の液体試料２０１の透過光強度またはスペクトルのデータである。

【0094】

（ステップＳ２０２Ｂ：データ比較工程）コンピュータ５３は、上記した第１データおよび第２データを比較し、第１データおよび第２データに基づいて、接触媒質１２の塗布状態の良否を判定する。コンピュータ５３は、以下の条件のいずれかに該当する場合、異常と判定し、警告表示処理として、コンピュータ５３に接続される表示装置５７にメッセージを表示する。上記条件は、第２データの透過光強度が設定範囲より低い場合、第２データのスペクトルベースラインが設定範囲より高い場合、透過光強度について、第２データと第１データとの差が下限閾値より小さい場合、およびスペクトルベースライン高さについて、第２データと第１データとの差が下限閾値より小さい場合である。これらの条件のいずれかに該当する場合、接触媒質１２の塗布または充填が不十分で超音波が容器１３内に十分に伝達されず、容器１３内の液体試料２０１に、超音波の音響放射力による凝集層５６（図１８参照）ができず、透明部分ができていない可能性がある。したがって、この場合は、コンピュータ５３は警告処理として例えば、「接触媒質をチェック」という意味のメッセージを表示装置５７に表示する。一方、上記した条件のいずれにも該当しない場合、コンピュータは、接触媒質１２の塗布状態が正常と判定し、次のステップＳ１０６に進む。

【0095】

上記したステップＳ２０１およびＳ２０２は、上記した「コンピュータ５３は、接触媒質１２（図１参照）の塗布又は充填状態を特定し、特定した状態が異常を示す場合は、異常を示すメッセージを出力する。」という表現の一態様に該当する。

【0096】

以降、ステップＳ１０６以降の各工程は、図２０を用いて説明したフローと同様なので、重複する説明は省略する。ただし、図２２に示すステップＳ１０６～ステップＳ１０８の間で繰り返し分析を実施する場合、第２回目以降のサイクルでは、ステップＳ２０２を省略することができる。上記した容器１３の押し付け状態、接触媒質１２の塗布状態など、種々の状態の特定方法は上記に例示した方法以外であってもよい。例えば、ステップＳ１０３Ｂで説明した押構造１４の押圧力を計測する代わりに、容器１３の位置や変位を計測してもよい。また、ステップＳ１０１Ｂにおいて、接触媒質１２を注入する時の送液圧力を検出する代わりに、注入開始から第２細孔３２Ｂから接触媒質１２が出るまでの時間を計測してもよい。

【0097】

以上、いくつかの実施態様について、変形例を含めて説明したが、本発明は、上記した実施例や代表的な変形例に限定されず、発明の趣旨を逸脱しない範囲において、種々の変形例が適用できる。例えば、容器１３に入れる物質には、液体状態の化学品や医薬品、食品（飲料を含む）、環境試料など種々のものがありうる。また、固体微粒子を含む懸濁液のほかに、油滴が分散した乳濁液、気泡が分散した液体などにも適用可能である。さらに、容器１３、超音波振動子１０、保護層１１、超音波振動子ホルダ１０１の形状やサイズも変更可能である。また、上記では、種々の変形例を説明したが、各変形例を適宜組み合わせて適用することができる。また、各実施態様の構成の一部について、他の構成の一部を追加・削除・置換をすることが可能である。

【産業上の利用可能性】

【0098】

本発明は、分析システムに利用可能である。

【符号の説明】

【0099】

１０ 超音波振動子
１０Ａ 取り付け面
１１ 保護層
１１Ａ 第１面
１１Ｂ 第２面
１１Ｃ 第３面（側面）
１１Ｄ 第４面（側面）
１１Ｅ 第５面（上面）
１１Ｆ 第６面（下面）
１１Ｇ 底面
１１Ｈ 凹部（溝、穴）
１１Ｒ１，１１Ｒ３ 固定領域
１１Ｒ２ 周辺領域
１１Ｔ１，１１Ｔ２ 厚さ
１２ 接触媒質
１２Ｒ 塗布領域
１３ 容器
１３Ａ 側面
１３Ｂ 被押圧面
１４ 押圧構造（押圧部材）
１５ 接着剤
２０ 塗布領域目印
２０ 塗布領域
２１ ガイド部材
２１Ａ 凹部
２１Ｂ 凸部
３１ 窪み
３２ 細孔
３２Ａ 第１細孔
３２Ｂ 第２細孔
３３ 注入器（シリンジ）
３４ 圧力センサ
３５ 配管
４１ ローラ
４２ ノズル
５０ 発振器
５１ 光源
５２ 受光部
５３ コンピュータ
５４ 分光分析部
５５ 光ビーム
５６ 凝集層
５７ 表示装置
１０１，１０１Ａ，１０１Ｂ，１０１Ｃ，１０１Ｄ 超音波振動子ホルダ
１３１ インレット
１３２ アウトレット
２０１ 液体試料
３００ 分析システム
Ｓ１０１～Ｓ１１０，Ｓ１０１Ａ，Ｓ１０１Ｂ，Ｓ１０１Ｃ，Ｓ１０３Ａ，Ｓ１０３Ｂ，Ｓ２０１，Ｓ２０２，Ｓ２０２Ａ，Ｓ２０２Ｂ ステップ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】

【図19】

【図20】

【図21】

【図22】