(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2023-10-27
(45)【発行日】2023-11-07
(54)【発明の名称】チャックテーブルケース
(51)【国際特許分類】
H01L 21/673 20060101AFI20231030BHJP
H01L 21/301 20060101ALI20231030BHJP
H01L 21/304 20060101ALI20231030BHJP
B65D 85/30 20060101ALI20231030BHJP
【ＦＩ】
H01L21/68 T
H01L21/78 N
H01L21/304 622H
B65D85/30
【請求項の数】
2
(21)【出願番号】P 2020002123
(22)【出願日】2020-01-09
(65)【公開番号】P2021111680
(43)【公開日】2021-08-02
【審査請求日】2022-11-25
(73)【特許権者】
【識別番号】000134051
【氏名又は名称】株式会社ディスコ
(74)【代理人】
【識別番号】110003524
【氏名又は名称】弁理士法人愛宕綜合特許事務所
(74)【代理人】
【識別番号】100113217
【弁理士】
【氏名又は名称】奥貫 佐知子
(74)【代理人】
【識別番号】100202496
【弁理士】
【氏名又は名称】鹿角 剛二
(74)【代理人】
【識別番号】100202692
【弁理士】
【氏名又は名称】金子 吉文
(72)【発明者】
【氏名】沖本 裕二
(72)【発明者】
【氏名】森川 千恵
【審査官】渡井 高広
(56)【参考文献】
【文献】特開２００２－８６３７０（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００６－８２８１７（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１９－１２３０２０（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００９－１７０７８０（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開平９－２５５０７７（ＪＰ，Ａ）
【文献】特表２０２２－５３４７３８（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００８－６２９８６（ＪＰ，Ａ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｈ０１Ｌ ２１／６７３
Ｈ０１Ｌ ２１／３０１
Ｈ０１Ｌ ２１／３０４
Ｂ６５Ｄ ８５／３０
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
ウエーハを保持するチャックテーブルを収容するチャックテーブルケースであって、チャックテーブルを収容する収容体と、該収容体の開口を閉塞する蓋体とを備え、該収容体は、底部から立設されたチャックテーブルを支持する少なくとも３個の支持壁と、該支持壁の頂部より高く、チャックテーブルの外周を囲繞する囲繞壁と、該囲繞壁に形成され、手を挿入してチャックテーブルを把持する把持用凹部と、を含み、少なくとも該蓋体は、透明な樹脂で構成されているチャックテーブルケース。
【請求項2】
該蓋体の上面、又は該収容体の底面のいずれか一方に凸部が形成され、他方には、該凸部に係合される係合凹部が形成され、該凸部と該係合凹部とを係合して重ねることができる請求項１に記載のチャックテーブルケース。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、ウエーハを保持するチャックテーブルを収容するチャックテーブルケースに関する。
【背景技術】
【0002】
ＩＣ、ＬＳＩ等の複数のデバイスが分割予定ラインによって区画され表面に形成されたウエーハは、研削装置によって裏面が研削され所望の厚みに加工された後、ダイシング装置、レーザー加工装置によって個々のデバイスチップに分割され携帯電話、パソコン等の電気機器に利用される。
【0003】
研削装置は、ウエーハを吸引保持する保持手段と、該保持手段に保持されたウエーハを研削する研削砥石が環状に配設された研削ホイールを回転可能に備えた研削手段と、を含み構成されている。
【0004】
該保持手段は、ウエーハを吸引保持する保持面を備えたチャックテーブルと、該チャックテーブルを着脱自在に支持するテーブルベースとを備えていて、損傷したチャックテーブル、又は汚れたチャックテーブルを新品のチャックテーブルと交換したり、サイズの異なるチャックテーブルと交換したりできる構成となっている（例えば特許文献１を参照）。当該構成は、上記した研削装置に限定されず、ダイシング装置、レーザー加工装置を構成するチャックテーブルも同様である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0005】
【文献】特開２００１－１３８２２８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0006】
上記した従来のチャックテーブルは、搬送する際に損傷しないように、厳重に梱包されており、中身の状態を外部から確認することができず、また、交換時に一々該梱包を解かねばならず煩に堪えないと共に、梱包を解いた後は、重ねて保管することができないという問題もあった。
【0007】
本発明は、上記事実に鑑みなされたものであり、その主たる技術課題は、搬送する際にチャックテーブルを損傷することがなく、開梱しなくても中身のチャックテーブルを確認することができるチャックテーブルケースを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0008】
上記主たる技術課題を解決するため、本発明によれば、ウエーハを保持するチャックテーブルを収容するチャックテーブルケースであって、チャックテーブルを収容する収容体と、該収容体の開口を閉塞する蓋体とを備え、該収容体は、底部から立設し、チャックテーブルを支持する少なくとも３個の支持壁と、該支持壁の頂部より高く、チャックテーブルの外周を囲繞する囲繞壁と、該囲繞壁に形成され、手を挿入してチャックテーブルを把持する把持用凹部と、を含み、少なくとも該蓋体は、透明な樹脂で構成されているチャックテーブルケースが提供される。
【0009】
該蓋体の上面、又は該収容体の底面のいずれか一方に凸部が形成され、他方には、該凸部に係合される係合凹部が形成され、該凸部と該係合凹部とを係合して重ねることができるように構成することが好ましい。
【発明の効果】
【0010】
本発明のチャックテーブルケースは、ウエーハを保持するチャックテーブルを収容するチャックテーブルケースであって、チャックテーブルを収容する収容体と、該収容体の開口を閉塞する蓋体とを備え、該収容体は、底部から立設し、チャックテーブルを支持する少なくとも３個の支持壁と、該支持壁の頂部より高く、チャックテーブルの外周を囲繞する囲繞壁と、該囲繞壁に形成され、手を挿入してチャックテーブルを把持する把持用凹部と、を含み、少なくとも該蓋体は、透明な樹脂で構成されていることにより、チャックテーブルを搬送する際に、チャックテーブルを損傷させることなく、また、開梱しなくても、チャックテーブルケースに収容されたチャックテーブルを確認することができる。
【図面の簡単な説明】
【0011】
【図1】本実施形態のチャックテーブルケースに収容されるチャックテーブルが採用される研削装置を示す全体斜視図である。
【図3】チャックテーブルケースを構成する収容体にチャックテーブルを収容する態様を示す斜視図である。
【図5】第一のチャックテーブルケース上に第二のチャックテーブルケースを重ねる態様を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【0012】
以下、本発明に基づいて構成されるチャックテーブルケースに係る実施形態について添付図面を参照しながら、詳細に説明する。
【0013】
図１には、本実施形態のチャックテーブルケースに収容され搬送されるチャックテーブルが採用される研削装置１の全体斜視図が示されている。研削装置１は、装置ハウジング２と、装置ハウジング２に立設される壁部３と、被加工物に研削加工を施す研削手段４と、壁部３の前面に配設され研削手段４を昇降させる昇降手段５と、被加工物を保持するチャックテーブル機構６とを備えている。
【0014】
研削手段４は、電動モータによって駆動される研削ホイール４２と、研削ホイール４２の下面に環状に配設された複数の研削砥石４４とを備えている。
【0015】
チャックテーブル機構６は、図示しないテーブルベースに着脱自在に保持され、被加工物を吸引保持するチャックテーブル６２と、チャックテーブル６２を矢印Ｘで示す方向に移動させて、被加工物を搬入、搬出する搬出入領域（図１においてチャックテーブル６２が位置付けられている領域）と、研削手段４の下方の研削加工領域に位置付ける移動手段（図示は省略）とを備えている。
【0016】
研削手段４、昇降手段５、チャックテーブル機構６は、図示しない制御手段により制御されて、被加工物を所望の厚みに研削することができる。
【0017】
研削装置１によって被加工物、例えば表面にデバイスが形成された半導体のウエーハ（図示は省略）を研削加工する手順の概要について説明する。まず、チャックテーブル機構６を作動して、チャックテーブル６２を搬出入領域に位置付け、ウエーハの裏面を上方に向け、ウエーハの表面側（必要に応じて保護テープ等を貼着することが好ましい）を載置して吸引保持する。次いで、チャックテーブル６２を移動して研削手段４の下方の研削加工領域に位置付ける、次いで、研削手段４を作動して研削ホイール４２を所定の回転速度（例えば６０００ｒｐｍ）で回転させると共に、チャックテーブル６２を図示しない回転駆動手段を作動して所定の回転速度（例えば３００ｒｐｍ）で回転させる。次いで、昇降手段５を作動して研削手段４を下降させて、ウエーハの裏面に研削水を供給しながら、研削砥石４４をウエーハの裏面に当接させ、図示しない厚み検出手段を作動させてウエーハの厚みを検出しながら、所定の下降速度（例えば１μｍ／秒）で下降させて、ウエーハの裏面に研削加工を施す。
【0018】
チャックテーブル６２は、上記した研削加工を繰り返すことにより、研削水に含まれる研削屑等によって汚染され、また、破損したりして交換が必要になる。さらに、サイズの異なるウエーハを加工する際には、ウエーハのサイズに適したサイズのチャックテーブルに交換する必要がある。上記したように、研削加工に使用されるチャックテーブル６２は、着脱自在であり、必要に応じて取り外され、新品又は所望のサイズのチャックテーブル６２に交換される。
【0019】
図２に、チャックテーブル機構６から取り外されたチャックテーブル６２を示す。図２の上方には、保持面６６を上方に向けた状態のチャックテーブル６２が示されている。チャックテーブル６２は、枠部６４と、枠部６４に囲繞されて支持される保持面６６とにより構成される。保持面６６は、通気性を有する素材、例えばポーラスセラミックスで形成される。図２の下方には、枠部６４の底面６４ａ側を上方に向けた状態のチャックテーブル６２が示されている。枠部６４の底面６４ａの中央には、底面６４ａ側と保持面６６とを連通する通気孔６８が形成され、チャックテーブル機構６に設置されることで図示しない吸引源に接続される。チャックテーブル６２をチャックテーブル機構６の該テーブルベースに載置した状態で該吸引源を作動することで、チャックテーブル６２が該テーブルベースに吸着固定されると共に、通気孔６８を介して保持面６６上に負圧が作用し、保持面６６に載置されるウエーハを吸引保持する。
【0020】
【0021】
図３には、上記したチャックテーブル６２を収容する収容体１２が示されている。収容体１２は、収容する種々のサイズのチャックテーブルに対応できる寸法で形成される。図に示す収容体１２は、平面視で略円形状であり、円筒状に形成された側壁部１２１と、側壁部１２１に囲まれた領域に形成されたチャックテーブル６２を支持する支持領域Ｓ１、及び支持領域Ｓ１の外側を囲む余剰領域Ｓ２とで構成される。側壁部１２１の一部には、平坦部１２１ａが形成されている。該支持領域Ｓ１は、底部１２２と、底部１２２から立設されて直線状に形成されチャックテーブル６２の底面６４ａを支持する４個の支持壁１２３と、チャックテーブル６２を支持壁１２３上に載置した際にチャックテーブル６２の外周を囲繞する略環状の囲繞壁１２４と、囲繞壁１２４において対向する少なくとも２ヶ所の位置に、作業者の手、より具体的には、作業者の指が挿入される寸法で形成された把持用凹部１２５と、を備えている。囲繞壁１２４は、支持壁１２３の頂部１２３ａよりも高く設定される。把持用凹部１２５が形成された位置に隣接する外側の領域には、作業者の指が把持用凹部１２５に挿入し易いように機能する余剰凹部１２６が形成されている。囲繞壁１２４の内径は、収容されるチャックテーブル６２に合わせた寸法で設定される。すなわち、収容されるチャックテーブル６２のサイズに合わせて、上記した支持領域Ｓ１、余剰領域Ｓ２の領域面積が調整される。なお、図示の実施形態では、把持用凹部１２５を囲繞壁１２４において対向する２ヶ所に形成したが、把持用凹部１２５を形成する位置、その数は任意である。例えば、図３に示す収容体１２の囲繞壁１２４に形成されている２ヶ所の把持用凹部１２５から均等の距離となる囲繞壁１２４上の中間位置にさらに２ヶ所の把持用凹部を追加して、合計４ヶ所に形成してもよい。
【0022】
上記した４個の支持壁１２３は、該支持領域Ｓ１の中央の連結部１２７によって連結され、該連結部１２７の中央には、円柱状の支持凸部１２９が形成されている。なお、上記の実施形態では、支持壁１２３を４個で形成したが、本発明はこれに限定されず、少なくとも３個であればよい。また、上記した実施形態の支持壁１２３は、直線状で形成されていたが、特に形状についても限定されない。要するに、支持壁１２３は、チャックテーブル６２を１つの直線上に位置しない３点で支持するような形態であればよい。
【0023】
上記した収容体１２にチャックテーブル６２を収容する場合は、収容体１２に形成した４個の支持壁１２３上にチャックテーブル６２を載置する。その際、チャックテーブル６２の底面６４ａの通気孔６８に収容体１２の連結部１２７に形成した支持凸部１２９を挿入すると共に、図３に示すように、囲繞壁１２４によって囲まれた領域にチャックテーブル６２を位置付けて、チャックテーブル６２の外周が囲繞壁１２４によって囲繞された状態とする。該囲繞壁１２４の作用により、収容体１２内におけるチャックテーブル６２の水平方向への移動が規制される。
【0024】
チャックテーブル６２が収容体１２に収容される際には、上記した支持壁１２３の作用により、収容体１２の支持領域Ｓ１の底部１２２とチャックテーブル６２の底面６４ａとの間に支持壁１２３の高さに相当する隙間が形成される。作業者が収容体１２からチャックテーブル６２を取り出す際には、この把持用凹部１２５から、該隙間に指を挿入することができ、チャックテーブル６２を容易に取り出すことができる。
【0025】
上記したように、収容体１２にチャックテーブル６２を収容したならば、図４に示すように、上記した収容体１２と共に本実施形態のチャックテーブルケース１０を構成する蓋体１４を用いて、収容体１２の上方の開口を閉塞し、チャックテーブルケース１０内にチャックテーブル６２が収容された状態とする。
【0026】
蓋体１４は、透明な樹脂で形成され、平面視で円形状に形成された上面１４ａと円筒状に形成された側壁部１４ｂとを備えている。側壁部１４ｂには、上記した収容体１２の側壁部１２１に形成された平坦部１２１ａに対応する平坦部１４ｃが形成されている。側壁部１４ｂの内径は、収容体１２の側壁部１２１の外径よりも僅かに大きく形成され、収容体１２の平坦部１２１ａと蓋体１４の平坦部１４ｃとで収容体１２と蓋体１４とが周方向に回転することが規制される。蓋体１４の上面１４ａの中央には、円形の凸部１４２が形成されている。本実施形態においては、さらに、凸部１４２の周囲に所定の形状をなす凹部１４４が形成されており、凸部１４２の高さと、凹部１４４の周囲を構成する上面１４ａの高さとが同一になるように形成されている。
【0027】
本実施形態のように、少なくとも蓋体１４が透明な樹脂で形成されていることにより、チャックテーブルケース１０を開梱することなく、チャックテーブルケース１０に収容されたチャックテーブル１２を外部から視認することができる。なお、蓋体１４のみならず、収容体１２も透明な樹脂で形成すれば、収容されたチャックテーブル６２の形態を上方、下方、側方からも確認することができ、より好ましい。なお、本実施形態では、チャックテーブルケース１０を図３、図４に示すように平面視で略円形状に形成したが、本発明はこれに限定されず、チャックテーブル６２を収容できる形状であればどのような形態であってもよく、例えば、四角形、八角形を含む多角形等としてもよい。
【0028】
上記した本実施形態のチャックテーブルケース１０は、積み重ねて保管したり、搬送したりするのに適した構成となっている。図５を参照しながら、上記したチャックテーブルケース１０と同一の構成とされた第一のチャックテーブルケース１０Ａ及び第二のチャックテーブルケース１０Ｂが、積み重ねて保管したり、搬送したりするのに適した構成となっている点について、以下に説明する。
【0029】
上記したように、第一のチャックテーブルケース１０Ａの蓋体１４Ａの中央には、円柱状の凸部１４２Ａが形成され、凸部１４２Ａの周囲には円形状ではない所定の形状とされた凹部１４４Ａが形成されている。ここで、第二のチャックテーブルケース１０Ｂの収容体１２Ｂの下面の中央には、第一のチャックテーブルケース１０Ａの蓋体１４Ａの凸部１４２Ａに対応する位置に凸部１４２Ａの寸法よりも僅かに大きい形状で設定された係合凹部１２７Ｂが形成されている。これにより、第二のチャックテーブルケース１０Ｂを第一のチャックテーブルケース１０Ａに積み重ねる際には、第一のチャックテーブルケース１０Ａの凸部１４２Ａを第二のチャックテーブルケース１０Ｂの係合凹部１２７Ｂに係合させることができ、第二のチャックテーブルケース１０Ｂが、第一のチャックテーブルケース１０Ａに対して水平方向に移動することが規制される。
【0030】
さらに、本実施形態においては、第二のチャックテーブルケース１０Ｂの収容体１２Ｂの下面１２Ｂａには、第一のチャックテーブル１０Ａの蓋体１４Ａに形成された凹部１４４Ａの該所定の形状に対応した形状の盛上り部１２２Ｂが形成されている。第一のチャックテーブルケース１０Ａに第二のチャックテーブルケース１０Ｂを積み重ねる際には、第二のチャックテーブルケース１０Ｂの係合凹部１２７Ｂに第一のチャックテーブルケース１０Ａの凸部１４２Ａを係合させると共に、第一のチャックテーブルケース１０Ａの凹部１４４Ａに、第二のチャックテーブルケース１０Ｂの盛上り部１２２Ｂを係合させる。上記したように、収容体１２と蓋体１４とは、収容体１２の平坦部１２１ａと蓋体１４の平坦部１４ｃとにより回転することが規制されていることから、第二のチャックテーブルケース１０Ｂが、第一のチャックテーブルケース１０Ａに対して水平方向に移動することが規制されるだけでなく、回転方向に動くことも規制される。これは、チャックテーブルケース１０が、平面視で略円形以外の形状に形成された場合に特に有効である。
【0031】
上記した実施形態では、第一のチャックテーブルケース１０Ａの蓋体１４Ａに凸部１４２Ａを形成し、第二のチャックテーブルケース１０Ｂに係合凹部１２７Ｂを形成して、第一のチャックテーブルケース１０Ａに第二のチャックテーブルケース１０Ｂを積み重ねる際に、凸部１４２Ａと、係合凹部１２７Ｂとを係合させるようにしたが、本発明はこれに限定されない。例えば、第一のチャックテーブルケース１０Ａの蓋体１４Ａに対して凸部１４２Ａを備えない凹部１４４Ａを形成し、第二のチャックテーブルケース１０Ｂの収容体１２Ｂの下面１２Ｂａに係合凹部１２７Ｂを備えない盛上り部１２２Ｂを形成し、第一のチャックテーブルケース１０Ａに第二のチャックテーブルケース１０Ｂを積み重ねる際に、第一のチャックテーブルケース１０Ａの凹部１４４Ａと、第二のチャックテーブルケース１０Ｂの盛上り部１２２Ｂとを係合させるようにしてもよい。その場合は、第二のチャックテーブルケース１０Ｂの盛上り部１２２Ｂが本発明の凸部として機能し、第一のチャックテーブルケース１０Ａの凹部１４４Ａが本発明の係合凹部として機能する。
【0032】
図５の下段に示すように、第一のチャックテーブルケース１０Ａに積み重ねた第二のチャックテーブルケース１０Ｂの蓋体１４Ｂにも、第一のチャックテーブルケース１０Ａの蓋体１４Ａと同様の凸部１４２Ｂ、及び凹部１４４Ｂが形成されている。よって、第二のチャックテーブルケース１０Ｂと同一形状のチャックテーブルケースを複数用意することで、２つのみならず、３つ以上のチャックテーブルケースを良好に積み重ねて保管したり、搬送したりすることができる。
【符号の説明】
【0033】
１：研削装置
２：装置ハウジング
３：壁部
４：研削手段
４２：研削ホイール
４４；研削砥石
５：昇降手段
６：チャックテーブル機構
６２：チャックテーブル
６４：枠部
６４ａ：底面
６６：保持面
６８：通気孔
１０：チャックテーブルケース
１０Ａ：第一のチャックテーブルケース
１０Ｂ：第二のチャックテーブルケース
１２、１２Ａ、１２Ｂ：収容体
１２１：側壁部
１２２：底部
１２２Ｂ：盛上り部
１２３：支持壁
１２４：囲繞壁
１２５：把持用凹部
１２６：余剰凹部
１２７：連結部
１２７Ｂ：係合凹部
１２８：支持凸部
Ｓ１：支持領域
Ｓ２：余剰領域
１４、１４Ａ、１４Ｂ：蓋体
１４ａ：上面
１４ｂ：側壁部
１４２、１４２Ａ、１４２Ｂ：凸部
１４４、１４４Ａ、１４４Ｂ：凹部
２：装置ハウジング
３：壁部
４：研削手段
４２：研削ホイール
４４；研削砥石
５：昇降手段
６：チャックテーブル機構
６２：チャックテーブル
６４：枠部
６４ａ：底面
６６：保持面
６８：通気孔
１０：チャックテーブルケース
１０Ａ：第一のチャックテーブルケース
１０Ｂ：第二のチャックテーブルケース
１２、１２Ａ、１２Ｂ：収容体
１２１：側壁部
１２２：底部
１２２Ｂ：盛上り部
１２３：支持壁
１２４：囲繞壁
１２５：把持用凹部
１２６：余剰凹部
１２７：連結部
１２７Ｂ：係合凹部
１２８：支持凸部
Ｓ１：支持領域
Ｓ２：余剰領域
１４、１４Ａ、１４Ｂ：蓋体
１４ａ：上面
１４ｂ：側壁部
１４２、１４２Ａ、１４２Ｂ：凸部
１４４、１４４Ａ、１４４Ｂ：凹部
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
