特許 7375109出願番号特願 2022-83708
干渉計における周期誤差の測定および校正の手順

出願人エーエスエムエル　ネザーランズ　ビー．ブイ．（識別番号 504151804）

2026年特許公開件数ランキング 192位 156件（※）

2026年特許取得件数ランキング 333位 69件（※）

公報発行日　2023年11月7

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7375109　ログイン済みの方はこのURLへ

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※ 共同出願を含む

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関連出願の相互参照本出願は、２０１６年７月１３日に出願された欧州出願第１６１７９１８９．２号の優先権を主張し、それらの全体が本明細書に援用される。

【図1】本発明に係るリソグラフィ装置を示す。

【図2】本発明に係る干渉計システムを示す。

【図3】本発明のある実施の形態に係る干渉計システムの処理システムを示す。

【図4】本発明の更なる実施の形態に係る干渉計システムの一部を示す。

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