特許 7376346 硬化性組成物、硬化物、（メタ）アクリル樹脂、及び化合物

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2023-10-30

(45)【発行日】2023-11-08

(54)【発明の名称】硬化性組成物、硬化物、（メタ）アクリル樹脂、及び化合物

(51)【国際特許分類】

   C08G 59/30 20060101AFI20231031BHJP

   C08G 59/68 20060101ALI20231031BHJP

   C08F 30/08 20060101ALI20231031BHJP

   G03F 7/075 20060101ALI20231031BHJP

   C07F 7/18 20060101ALI20231031BHJP

【ＦＩ】

C08G59/30

C08G59/68

C08F30/08

G03F7/075 501

C07F7/18 S

【請求項の数】 13

(21)【出願番号】P 2019234678

(22)【出願日】2019-12-25

(65)【公開番号】P2021102722

(43)【公開日】2021-07-15

【審査請求日】2022-09-08

(73)【特許権者】

【識別番号】000220239

【氏名又は名称】東京応化工業株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100106002

【弁理士】

【氏名又は名称】正林 真之

(74)【代理人】

【識別番号】100120891

【弁理士】

【氏名又は名称】林 一好

(72)【発明者】

【氏名】チョウ エンセイ

(72)【発明者】

【氏名】塩田 大

(72)【発明者】

【氏名】伊熊 直彦

【審査官】今井 督

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１４－２２０２２５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００７－０７９４８１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００９－２９４６１９（ＪＰ，Ａ）

【文献】韓国公開特許第１０－２００６－００２４２２３（ＫＲ，Ａ）

【文献】特開２００３－１７６２８１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０００－１４３５８８（ＪＰ，Ａ）

【文献】国際公開第２０１８／１２３９９４（ＷＯ，Ａ１）

【文献】特開２０２０－００２２１５（ＪＰ，Ａ）

【文献】国際公開第２０２０／００４４０８（ＷＯ，Ａ１）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｃ０８Ｇ ５９／００－ ５９／７２

Ｃ０８Ｆ

Ｇ０３Ｆ ７／００－ ７／４２

Ｃ０７Ｆ ７／００－ ７／３０

ＣＡｐｌｕｓ／ＲＥＧＩＳＴＲＹ（ＳＴＮ）

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

下記式（１）で表される化合物、及び／又は下記式（１）で表される化合物に由来する構成単位を含む（メタ）アクリル樹脂（Ａ１）、並びに硬化剤を含む硬化性組成物。

【化1】

（式（１）中、環Ａは、環Ｂと縮合する５又は６員脂環を含む環を表し、環Ｂは、環Ａ及びＣと縮合し、環Ｂ内を橋架けする架橋基を含む脂環を表し、環Ｃは、環Ｂと縮合する５又は６員脂環を含む環を表し、Ｒ^１は（メタ）アクリロイル基を表し、Ｒ^２は、トリヒドロカルビルシリル基を表し、環Ａ、環Ｂ及び環Ｃは置換基を有していてもいなくてもよい。）

【請求項2】

前記環Ｂが、下記式（２）で表される環である、請求項１に記載の硬化性組成物。

【化2】

（式（２）中、Ｌは前記架橋基を表し、前記架橋基が、アルキレン基、エーテル結合、チオエーテル結合、ケト基又はそれらの少なくとも２つを組み合わせた２価の基であり、Ｒ ^３ 及びＲ ^４ はそれぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子又は炭化水素基を表し、＊は環Ａとの結合手を表し、＊＊は環Ｃとの結合手を表す。）

【請求項3】

前記式（１）で表される化合物が、下記式（３）又は式（４）で表される化合物である、請求項１又は２に記載の硬化性組成物。

【化3】

（式（３）及び式（４）中、環Ｂは、前記架橋基を含む脂環を表し、Ｒ^１は（メタ）アクリロイル基を表し、Ｒ^２は、トリヒドロカルビルシリル基を表し、Ｒ^１１は、単結合又は－ＣＨＲ^１５－で表される２価の基を表し、Ｒ^１１が単結合である場合、Ｒ^１２及びＲ^１３、又はＲ^１３及びＲ^１４が、互いに結合してオキシラン環を形成し、Ｒ^１１が－ＣＨＲ^１５－で表される２価の基である場合、Ｒ^１２及びＲ^１３、Ｒ^１３及びＲ^１４、又はＲ^１４及びＲ^１５が、互いに結合してオキシラン環を形成し、Ｒ^１２～Ｒ^１５のうちオキシラン環を形成していない基は、水素原子を表す。）

【請求項4】

前記硬化剤が感光性硬化剤である、請求項１～３のいずれか１項に記載の硬化性組成物。

【請求項5】

請求項１～４のいずれか１項に記載の前記硬化性組成物を加熱、及び／又は露光により硬化させた硬化物。

【請求項6】

水銀プローブ法により、周波数０．１ＭＨｚにて測定される、比誘電率が３．５以下である、請求項５に記載の硬化物。

【請求項7】

請求項１～４のいずれか１項に記載の前記硬化性組成物を加熱、及び／又は露光する、硬化物の製造方法。

【請求項8】

請求項４に記載の前記硬化性組成物を基板上に塗布して塗布膜を形成することと、
前記塗布膜に対して、位置選択的に露光を行うことと、
露光された前記塗布膜を、現像液により現像して前記塗布膜をパターニングすることと、
パターニングされた前記塗布膜を、加熱することと、を含む、
パターニングされた硬化膜の製造方法。

【請求項9】

下記式（１）で表される化合物に由来する構成単位を含む（メタ）アクリル樹脂。

【化4】

（式（１）中、環Ａは、環Ｂと縮合する５又は６員脂環を含む環を表し、環Ｂは、環Ａ及びＣと縮合し、環Ｂ内を橋架けする架橋基を含む脂環を表し、環Ｃは、環Ｂと縮合する５又は６員脂環を含む環を表し、Ｒ^１は（メタ）アクリロイル基を表し、Ｒ^２は、トリヒドロカルビルシリル基を表し、環Ａ、環Ｂ及び環Ｃは置換基を有していてもいなくてもよい。）

【請求項10】

前記式（１）で表される化合物に由来する構成単位の含有量が５０質量％以上である、請求項９に記載の（メタ）アクリル樹脂。

【請求項11】

さらに、アルカリ可溶性基を有する構成単位を含む、請求項９又は１０に記載の（メタ）アクリル樹脂。

【請求項12】

下記式（１）で表される化合物。

【化5】

（式（１）中、環Ａは、環Ｂと縮合する５又は６員脂環を含む環を表し、環Ｂは、環Ａ及びＣと縮合し、環Ｂ内を橋架けする架橋基を含む脂環を表し、環Ｃは、環Ｂと縮合する５又は６員脂環を含む環を表し、Ｒ^１は（メタ）アクリロイル基を表し、Ｒ^２は、トリヒドロカルビルシリル基を表し、環Ａ、環Ｂ及び環Ｃは置換基を有していてもいなくてもよい。）

【請求項13】

下記式（Ｍ１）で表される化合物と、（メタ）アクリル酸とを反応させて、下記式（Ｍ２）で表される化合物を生成させることと、
下記式（Ｍ２）で表される化合物が有する水酸基を、トリヒドロカルビルシリル化することと、
を含む、請求項１２に記載の化合物の製造方法。

【化6】

（式（Ｍ１）中、環Ａは、環Ｂと縮合する５又は６員脂環を含む環を表し、環Ｂは、環Ａ及びＣと縮合し、環Ｂ内を橋架けする架橋基を含む脂環を表し、環Ｃは、環Ｂと縮合する５又は６員脂環を含む環を表し、環Ａ、環Ｂ及び環Ｃは置換基を有していてもいなくてもよい。）

【化7】

（式（Ｍ２）中、環Ａ、環Ｂ、及び環Ｃは、式（Ｍ１）中のこれらと同様であり、Ｒ^１は（メタ）アクリロイル基を表す。）

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、硬化性組成物と、当該組成物の硬化物と、前述の硬化性組成物として特定の感光性組成物を用いるパターン化された硬化膜の製造方法と、前述の硬化性組成物の成分として好適に使用される（メタ）アクリル樹脂と、前述の硬化性組成物の成分又は前述の（メタ）アクリル樹脂の原料として好適に使用される特定の構造を有する化合物と、前述の化合物の製造方法とに関する。

【背景技術】

【0002】

脂環式エポキシ基を有する（メタ）アタリレート（脂環式エポキシ基を有する不飽和カルボン酸エステル化合物）は、一般にコーティング、インキ、接着剤、シーラント等の分野において有用な化合物であり、特に脂環式構造とともにエポキシ基を含有する（メタ）アタリレートから得られる重合体や硬化物は、耐候性に優れ、屋外での使用に適した特性を有する。これは、一般に、脂環式構造中に存在するエポキシ基の開環反応性や、（メタ）アタリレート構造中のラジカル重合性二重結合の反応性等によって、該重合体や硬化物が所定の性能を発揮するためである。

【0003】

現在、分子中にエポキシ基を有する不飽和カルボン酸エステルとしては、例えば、グリシジルメタタリレート、１－メチル－１，２－エポキシエチルメタタリレート等の末端エポキシ基含有（メタ）アタリレート；３，４－エポキシシクロへキシルメチルアタリレート、３，４－エポキシシクロへキシルメチルメタクリレート等の脂環式エポキシ基を有する（メタ）アタリレート等が知られている。また、特許文献１には、分子中にエポキシ基を有するβ－ヒドロキシアクリレート化合物が開示されている。

【0004】

また、特許文献２には、感放射線性樹脂として用いた場合に、溶剤溶解性に優れるとともに、透明性、耐熱性、耐エッチング性、平坦性及び現像性を有する高性能の皮膜を形成でき、且つ保存安定性が高い樹脂組成物の提供を目的として３，４－エポキシトリシクロ［５．２．１．０^２，６］デカン骨格含有不飽和カルボン酸エステルが開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【文献】特開昭６１－２６３９６８号公報

【文献】国際公開第２００６－０５９５６４号

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

種々の画像表示装置用のディスプレイパネルにおけるインシュレータ等の膜について、比誘電率が低いことが望まれる。しかし、特許文献１や特許文献２に記載されるような硬化性組成物の硬化物の比誘電率が高い。このため、特許文献１や特許文献２に記載されるような硬化性組成物を、ディスプレイパネルを構成する膜を製膜するための材料として適用しにくかった。

【0007】

本発明は、上記従来技術の問題点に鑑み、比誘電率の低い硬化物を与える硬化性組成物と、当該組成物の硬化物と、前述の硬化性組成物として特定の感光性組成物を用いるパターン化された硬化膜の製造方法と、前述の硬化性組成物の成分として好適に使用される（メタ）アクリル樹脂と、前述の硬化性組成物の成分又は前述の（メタ）アクリル樹脂の原料として好適に使用される特定の構造を有する化合物と、前述の化合物の製造方法とを提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0008】

本発明者らは、特定の構造の、（メタ）アクリロイル基を有する脂環式エポキシ化合物、及び／又は当該脂環式エポキシ化合物に由来する構成単位を有する（メタ）アクリル樹脂を硬化性組成物の硬化性成分として使用することにより上記の課題を解決できることを見出し、本発明を完成するに至った。より具体的には、本発明は以下のモノを提供する。

【0009】

本発明の第１の態様は、下記式（１）で表される化合物、及び／又は下記式（１）で表される化合物に由来する構成単位を含む（メタ）アクリル樹脂（Ａ１）を含む硬化性組成物である。

【化1】

（式（１）中、環Ａは、環Ｂと縮合する５又は６員脂環を含む環を表し、環Ｂは、環Ａ及びＣと縮合し、環Ｂ内を橋架けする架橋基を含む脂環を表し、環Ｃは、環Ｂと縮合する５又は６員脂環を含む環を表し、Ｒ^１は（メタ）アクリロイル基を表し、Ｒ^２は、トリヒドロカルビルシリル基を表し、環Ａ、環Ｂ及び環Ｃは置換基を有していてもいなくてもよい。）

【0010】

本発明の第２の態様は、第１の態様にかかる硬化性組成物を加熱、及び／又は露光により硬化させた硬化物である。

【0011】

本発明の第３の態様は、第１の態様にかかる硬化性組成物を加熱、及び／又は露光する、硬化物の製造方法である。

【0012】

本発明の第４の態様は、
第１の態様にかかる硬化性組成物であって、感光性硬化剤を含む硬化性組成物を基板上に塗布して塗布膜を形成することと、
塗布膜に対して、位置選択的に露光を行うことと、
露光された塗布膜を、現像液により現像して塗布膜をパターニングすることと、
パターニングされた塗布膜を、加熱することと、を含む、
パターニングされた硬化膜の製造方法である。

【0013】

本発明の第５の態様は、下記式（１）で表される化合物に由来する構成単位を含む（メタ）アクリル樹脂である。

【化2】

（式（１）中、環Ａは、環Ｂと縮合する５又は６員脂環を含む環を表し、環Ｂは、環Ａ及びＣと縮合し、環Ｂ内を橋架けする架橋基を含む脂環を表し、環Ｃは、環Ｂと縮合する５又は６員脂環を含む環を表し、Ｒ^１は（メタ）アクリロイル基を表し、Ｒ^２は、トリヒドロカルビルシリル基を表し、環Ａ、環Ｂ及び環Ｃは置換基を有していてもいなくてもよい。）

【0014】

本発明の第５の態様は、下記式（１）で表される化合物である。

【化3】

（式（１）中、環Ａは、環Ｂと縮合する５又は６員脂環を含む環を表し、環Ｂは、環Ａ及びＣと縮合し、環Ｂ内を橋架けする架橋基を含む脂環を表し、環Ｃは、環Ｂと縮合する５又は６員脂環を含む環を表し、Ｒ^１は（メタ）アクリロイル基を表し、Ｒ^２は、トリヒドロカルビルシリル基を表し、環Ａ、環Ｂ及び環Ｃは置換基を有していてもいなくてもよい。）

【0015】

本発明の第６の態様は
下記式（Ｍ１）で表される化合物と、（メタ）アクリル酸とを反応させて、下記式（Ｍ２）で表される化合物を生成させることと、
下記式（Ｍ２）で表される化合物が有する水酸基を、トリヒドロカルビルシリル化することと、
を含む、第５の態様にかかる化合物の製造方法である。

【化4】

（式（Ｍ１）中、環Ａは、環Ｂと縮合する５又は６員脂環を含む環を表し、環Ｂは、環Ａ及びＣと縮合し、環Ｂ内を橋架けする架橋基を含む脂環を表し、環Ｃは、環Ｂと縮合する５又は６員脂環を含む環を表し、環Ａ、環Ｂ及び環Ｃは置換基を有していてもいなくてもよい。）

【化5】

（式（Ｍ２）中、環Ａ、環Ｂ、及び環Ｃは、式（Ｍ１）中のこれらと同様であり、Ｒ^１は（メタ）アクリロイル基を表す。）

【発明の効果】

【0016】

本発明によれば、誘電率の低い硬化物を形成し得る硬化性組成物と、当該組成物の硬化物と、前述の硬化性組成物として特定の感光性組成物を用いるパターン化された硬化膜の製造方法と、前述の硬化性組成物の成分として好適に使用される（メタ）アクリル樹脂と、前述の硬化性組成物の成分又は前述の（メタ）アクリル樹脂の原料として好適に使用される特定の構造を有する化合物と、前述の化合物の製造方法とを提供することができる。

【発明を実施するための形態】

【0017】

≪硬化性組成物≫
硬化性組成物は、下記式（１）で表される化合物、及び／又は下記式（１）で表される化合物に由来する構成単位を含む（メタ）アクリル樹脂（Ａ１）を含む。

【化6】

（式（１）中、環Ａは、環Ｂと縮合する５又は６員脂環を含む環を表し、環Ｂは、環Ａ及びＣと縮合し、環Ｂ内を橋架けする架橋基を含む脂環を表し、環Ｃは、環Ｂと縮合する５又は６員脂環を含む環を表し、Ｒ^１は（メタ）アクリロイル基を表し、Ｒ^２は、トリヒドロカルビルシリル基を表し、環Ａ、環Ｂ及び環Ｃは置換基を有していてもいなくてもよい。）

【0018】

本出願の明細書及び特許請求の範囲において、「（メタ）アクリル」は、アクリル及びメタクリルの双方を意味する。本出願の明細書及び特許請求の範囲において、「（メタ）アクリレート」は、アクリレート及びメタクリレートの双方を意味する。本出願の明細書及び特許請求の範囲において、「（メタ）アクリロイル」は、アクリロイル及びメタクリロイルの双方を意味する。

【0019】

上記の硬化性組成物は、エポキシ化合物である式（１）で表される化合物、及び／又は式（１）で表される化合物に由来するエポキシ基を有する構成単位を含む（メタ）アクリル樹脂を含むため、エポキシ基の関わる反応により硬化し得る。
硬化性組成物を硬化させる方法は特に限定されない。必要に応じて感熱性硬化剤が加えられた硬化性組成物は、加熱により硬化し得る。また、感光性硬化剤が加えられた硬化性組成物は、露光により硬化し得る。

【0020】

さらに、硬化性組成物は、光重合性化合物と光重合開始剤とを含んでいてもよい。エポキシ化合物である式（１）で表される化合物、及び／又は式（１）で表される化合物に由来するエポキシ基を有する構成単位を含む（メタ）アクリル樹脂と、光重合性化合物及び光重合開始剤とを含む硬化性組成物は、露光のみ又は露光と加熱との組み合わせにより硬化し得る。

【0021】

以下、式（１）で表される化合物と、式（１）で表される化合物に由来する構成単位を含む（メタ）アクリル樹脂と、硬化性組成物の好ましい態様とについて説明する。なお、硬化性組成物は、式（１）で表される化合物、及び／又は式（１）で表される化合物に由来する構成単位を含む（メタ）アクリル樹脂を含む組成物であれば、後述する組成物になんら限定されない。

【0022】

〔式（１）で表される化合物〕
式（１）中、環Ａは、環Ｂと縮合する５又は６員脂環を含む環である。環Ｂは、環Ａ及びＣと縮合し、環Ｂ内を橋架けする架橋基を含む脂環である。環Ｃは、環Ｂと縮合する５又は６員脂環を含む環である。環Ａ、Ｂ及びＣは置換基を有していてもいなくてもよい。

【0023】

環Ａは、環Ｂと同様の環Ａ内を橋架けする架橋基を含んでいてもいなくてもよい。式（１）で表される化合物の合成が容易である点から、環Ａとしては６員脂環が好ましい。
環Ｃは、環Ｂと同様の環Ｃ内を橋架けする架橋基を含んでいてもいなくてもよい。式（１）で表される化合物の合成が容易である点から、環Ｃとしては５員脂環が好ましい。製造時のエポキシ基開環反応の選択性の観点から５員脂環が好ましい。

【0024】

環Ｂは、環Ｂ内を橋架けする架橋基を有することにより耐熱性に寄与し得る。
環Ｂとしては、上記架橋基を含む５員以上８員以下の脂環が挙げられる。環Ｂとしては、上記架橋基を含む６又は７員環の脂環が好ましく、上記架橋基を含む６員環の脂環がより好ましい。

【0025】

環Ｂ内を橋架けする上記架橋基としては、炭素原子数１以上５以下の２価の基が挙げられる。架橋基の炭素原子数は、１以上３以下がより好ましく、１又は２がさらに好ましい。上記架橋基としては、アルキレン基、エーテル結合（－Ｏ－）、チオエーテル結合（－Ｓ－）、カルボニル基（－ＣＯ－）又はそれらの少なくとも２つを組み合わせた２価の基が好ましく、アルキレン基、エーテル結合、チオエーテル結合又はそれらの少なくとも２つを組み合わせた２価の基がより好ましく、アルキレン基、エーテル結合又はチオエーテル結合が特に好ましく、アルキレン基が最も好ましい。

【0026】

上記アルキレン基としては、置換基を有していてもよい炭素原子数１以上５以下のアルキレン基が挙げられる。アルキレン基の炭素原子数は、１以上３以下がより好ましく、１又は２がさらに好ましい。アルキレン基の具体例としては、メチレン基、エチレン基、プロピレン基、ブチレン基、ペンチレン基等が挙げられ、メチレン基、エチレン基又はプロピレン基が好ましく、メチレン基又はエチレン基がより好ましい。

【0027】

上記アルキレン基が有していてもよい置換基、環Ａ、Ｂ及びＣが有していてもよい置換基としては、ハロゲン原子又は炭化水素基が挙げられる。
ハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子又はヨウ素原子が挙げられる。
炭化水素基としては、炭素原子数１以上１０以下の炭化水素基が挙げられる。炭化水素基の好適な例としては、アルキル基等が挙げられる。
上記アルキル基としては、炭素原子数１以上１０以下のアルキル基が挙げられる。アルキル基の具体例としては、メチル基、エチル基、ｎ－プロピル基、イソプロピル基、ｎ－ブチル基、イソブチル基、ｓｅｃ－ブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基、ｎ－ペンチル基、ｎ－ヘキシル基、ｎ－ヘプチル基、ｎ－オクチル基、ｎ－ノニル基、及びｎ－デシル基等が挙げられる。これらのアルキル基の中では、炭素原子数１以上４以下のアルキル基である、メチル基、エチル基、ｎ－プロピル基、イソプロピル基、ｎ－ブチル基、イソブチル基、ｓｅｃ－ブチル基、及びｔｅｒｔ－ブチル基が好ましい。
アルキル基は、置換基を有していてもよい。アルキル基が置換基を有するとき、当該置換基としては、ハロゲン原子等が挙げられる。

【0028】

上記環Ｂとしては、下記式（２）で表される環が好ましい。

【化7】

（式（２）中、Ｌは前記架橋基を表し、前記架橋基が、アルキレン基、エーテル結合、チオエーテル結合、ケト基又はそれらの少なくとも２つを組み合わせた２価の基であり、Ｒ^３びＲ^４、それぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子又は炭化水素基を表し、＊は環Ａとの結合手を表し、＊＊は環Ｃとの結合手を表す。）

【0029】

Ｌに係る上記架橋基の具体例及び好ましい例としては上述の通りである。
Ｒ^３及びＲ^４としてのハロゲン原子及び炭化水素基の具体例及び好ましい例としては、「上記アルキレン基が有していてもよい置換基、環Ａ、Ｂ及びＣが有していてもよい置換基」として上述したハロゲン原子又は炭化水素基の具体例及び好ましい例が挙げられる。Ｒ^３及びＲ^４としては、水素原子、ハロゲン原子又はアルキル基が好ましく、水素原子がより好ましい。

【0030】

式（１）中、Ｒ^２は、ケイ素原子に３つの炭化水素基が結合した基であるトリヒドロカルビルシリル基である。
トリヒドロカルビルシリル基中の３つの炭化水素基は、同一であっても、異なっていてもよい。式（１）で表される化合物を製造する際に、トリヒドロカルビルシリル基を導入するためのシラン化合物の合成や入手が容易であることから、トリヒドロカルビルシリル基中の３つの炭化水素基は、同一であるのが好ましい。

【0031】

トリヒドロカルビルシリル基において、ケイ素原子に結合する炭化水素基は、脂肪族炭化水素基であっても、芳香族炭化水素基であっても、脂肪族炭化水素基と芳香族炭化水素基とを組み合わせた基であってもよい。
トリヒドロカルビルシリル基において、ケイ素原子に結合する炭化水素基が脂肪族炭化水素基である場合、当該脂肪族炭化水素基は、１以上の不飽和結合を含んでいてもよい。
トリヒドロカルビルシリル基において、ケイ素原子に結合する炭化水素基が脂肪族炭化水素基である場合、当該脂肪族炭化水素基の構造は、直鎖状であっても、分岐鎖状であっても、環状であっても、これらの構造の組み合わせであってもよい。

【0032】

トリヒドロカルビルシリル基において、ケイ素原子に結合する炭化水素基の炭素原子数は、式（１）で表される化合物の分子量及びエポキシ当量が過度に大きくならないことから、１以上１０以下が好ましく、１以上６以下がより好ましく、１以上４以下がさらに好ましい。

【0033】

トリヒドロカルビルシリル基中の炭化水素基としては、例えば、アルキル基、シクロアルキル基、アリール基、及びアラルキル基が好ましい。

【0034】

アルキル基の具体例としては、メチル基、エチル基、ｎ－プロピル基、イソプロピル基、ｎ－ブチル基、イソブチル基、ｓｅｃ－ブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基、ｎ－ペンチル基、ｎ－ヘキシル基、ｎ－ヘプチル基、ｎ－オクチル基、ｎ－ノニル基、及びｎ－デシル基等が挙げられる。これらのアルキル基の中では、炭素原子数１以上４以下のアルキル基である、メチル基、エチル基、ｎ－プロピル基、イソプロピル基、ｎ－ブチル基、イソブチル基、ｓｅｃ－ブチル基、及びｔｅｒｔ－ブチル基が好ましい。

【0035】

シクロアルキル基の具体例としては、シクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、及びシクロヘプチル基等が挙げられる。

【0036】

アリール基の具体例としては、フェニル基、ナフタレン－１－イル基、及びナフタレン－２－イル基が挙げられる。

【0037】

アラルキル基の具体例としては、ベンジル基、及びフェネチル基が挙げられる。

【0038】

以上説明したトリヒドロカルビルシリル基の好ましい具体例としては、トリメチルシリル基、トリエチルシリル基、トリ－ｎ－プロピルシリル基、トリイソプロピルシリル基、トリ－ｎ－ブチルシリル基、トリ－イソブチルシリル基、トリ－ｓｅｃ－ブチルシリル基、トリ－ｔｅｒｔ－ブチルシリル基、エチルジメチルシリル基、ｎ－プロピルジメチルシリル基、イソプロピルジメチルシリル基、ｎ－ブチルジメチルシリル基、イソブチルジメチルシリル基、ｓｅｃ－ブチルジメチルシリル基、及びｔｅｒｔ－ブチルジメチルシリル基が挙げられる。

【0039】

上記式（１）で表される化合物が、下記式（３）又は（４）で表される化合物であることが好ましい。

【化8】

（式（３）及び式（４）中、環Ｂは、環Ｂ内を橋架けする上記架橋基を含む脂環を表し、Ｒ^１は（メタ）アクリロイル基を表し、Ｒ^２は、トリヒドロカルビルシリル基を表し、Ｒ^１１は、単結合又は－ＣＨＲ^１５－で表される２価の基を表し、Ｒ^１１が単結合である場合、Ｒ^１２及びＲ^１３、又はＲ^１３及びＲ^１４が、互いに結合してオキシラン環（エポキシ基）を形成し、Ｒ^１１が－ＣＨＲ^１５－で表される２価の基である場合、Ｒ^１２及びＲ^１３、Ｒ^１３及びＲ^１４、又はＲ^１４及びＲ^１５が、互いに結合してオキシラン環を形成し、Ｒ^１２～Ｒ^１５のうちオキシラン環を形成していない基は、水素原子を表す。）

【0040】

式（３）及び式（４）中、環Ｂの具体例及び好ましい例としては、式（１）における環Ｂの具体例及び好ましい例と同様の脂環が挙げられる。環Ｂが式（２）で表される環であるのが好ましい。

【0041】

Ｒ^１１としては、－ＣＨＲ^１５－で表される２価の基が好ましく、Ｒ^１１が－ＣＨＲ^１５－で表される２価の基であり、Ｒ^１２及びＲ^１３、Ｒ^１３及びＲ^１４、又はＲ^１４及びＲ^１５が、互いに結合してオキシラン環を形成し、Ｒ^１２～Ｒ^１５のうちオキシラン環を形成していない基は、水素原子を表すことがより好ましい。

【0042】

式（１）で表される化合物の製造方法は、特に限定されない。好ましい製造方法としては、
下記式（Ｍ１）で表される化合物と、（メタ）アクリル酸とを反応させて、下記式（Ｍ２）で表される化合物を生成させることと、
下記式（Ｍ２）で表される化合物が有する水酸基を、トリヒドロカルビルシリル化することと、
を含む方法が挙げられる。

【化9】

（式（Ｍ１）中、環Ａは、環Ｂと縮合する５又は６員脂環を含む環を表し、環Ｂは、環Ａ及びＣと縮合し、環Ｂ内を橋架けする架橋基を含む脂環を表し、環Ｃは、環Ｂと縮合する５又は６員脂環を含む環を表し、環Ａ、環Ｂ及び環Ｃは置換基を有していてもいなくてもよい。）

【化10】

（式（Ｍ２）中、環Ａ、環Ｂ、及び環Ｃは、式（Ｍ１）中のこれらと同様であり、Ｒ^１は（メタ）アクリロイル基を表す。）

【0043】

式（Ｍ１）で表される化合物と、（メタ）アクリル酸との反応は、酸性条件下及び塩基性条件下のいずれの条件下で行われてもよく、塩基性条件下で行われるのが好ましい。塩基性条件下は、不活性溶剤中で塩基性条件下にしてもよいし、塩基性溶媒（例えば、ピリジン等）により塩基性条件下にしてもよい。具体的には、例えば、トリエチルアミン等のアルキルアミン等を用いた塩基性条件下において反応を行うことができる。
また、ベンジルトリエチルアンモニウムクロライドのような第四級アンモニウムハライド等の相間移動触媒の存在下、式（Ｍ１）で表される化合物と、（メタ）アクリル酸との上記反応を行ってもよい。

【0044】

反応温度としては－５０℃以上溶媒の沸点以下程度が好ましく、室温以上１００℃以下がさらに好ましい。

【0045】

また、式（Ｍ１）で表される化合物と（メタ）アクリル酸との割合（モル比）としては特に制限はないが８０／２０～２０／８０であることが好ましく、７０／３０～３０／７０であることがより好ましい。
反応液中の式（Ｍ１）で表される化合物及び（メタ）アクリル酸の濃度の合計としては、通常、０．００１モル／Ｌ以上６モル／Ｌ以下であり、好ましくは０．００５モル／Ｌ以上４モル／Ｌ以下、さらに好ましくは０．０１モル／Ｌ以上３モル／Ｌ以下であってもよい。

【0046】

第四級アンモニウム塩の使用量は、式（Ｍ１）で表される化合物に対して、０．００１モル倍以上５モル倍以下の範囲が好ましく、より好ましくは０．００５モル倍以上１モル倍以下の範囲、さらに好ましくは０．０１モル倍以上０．１モル倍以下の範囲である。

【0047】

上記反応に、溶剤を用いてもよい。用い得る溶剤としては種々用いることができるが、例えば、アセトニトリル等のニトリル系溶剤、ベンゼン、トルエン、キシレン等の炭化水素系溶剤、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル等のグリコール系溶剤、ジエチルエーテル、ジイソプロピルエーテル、ジブチルエーテル、テトラヒドロフラン、１，４－ジオキサン等のエーテル系溶剤、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、メチルアミルケトン、シクロペンタノン、シクロヘキサノン等のケトン系溶剤、エタノール、イソプロピルアルコール、ブタノール等のアルコール系溶剤から選ばれる１種以上を用いることができる。

【0048】

式（Ｍ２）で表される化合物が有する水酸基を、トリヒドロカルビルシリル化する方法は特に限定されない。

【0049】

トリヒドロカルビルシリル化方法としては、式（Ｍ２）で表される化合物と、トリヒドロカルビルシリル基の種類に応じたシリル化剤とを反応させる方法が挙げられる。シリル化剤としては、例えば、トリヒドロカルビルモノクロロシランやトリヒドロカルビルモノブロモシラン等のトリヒドロカルビルモノハロシランや、トリヒドロカルビルモノメトキシシラン、トリヒドロカルビルモノエトキシシラン等のトリヒドロカルビルモノアルコキシシランが挙げられる。

【0050】

トリヒドロカルビルモノハロシランの好ましい例としては、トリメチルモノクロロシラン、トリエチルモノクロロシラン、トリ－ｎ－プロピルモノクロロシラン、トリイソプロピルモノクロロシラン、トリ－ｎ－ブチルモノクロロシラン、トリ－イソブチルモノクロロシラン、トリ－ｓｅｃ－ブチルモノクロロシラン、トリ－ｔｅｒｔ－ブチルモノクロロシラン、エチルジメチルモノクロロシラン、ｎ－プロピルジメチルモノクロロシラン、イソプロピルジメチルモノクロロシラン、ｎ－ブチルジメチルモノクロロシラン、イソブチルジメチルモノクロロシラン、ｓｅｃ－ブチルジメチルモノクロロシラン、及びｔｅｒｔ－ブチルジメチルモノクロロシラン等のトリアルキルモノクロロシラン；
トリメチルモノブロモシラン、トリエチルモノブロモシラン、トリ－ｎ－プロピルモノブロモシラン、トリイソプロピルモノブロモシラン、トリ－ｎ－ブチルモノブロモシラン、トリ－イソブチルモノブロモシラン、トリ－ｓｅｃ－ブチルモノブロモシラン、トリ－ｔｅｒｔ－ブチルモノブロモシラン、エチルジメチルモノブロモシラン、ｎ－プロピルジメチルモノブロモシラン、イソプロピルジメチルモノブロモシラン、ｎ－ブチルジメチルモノブロモシラン、イソブチルジメチルモノブロモシラン、ｓｅｃ－ブチルジメチルモノブロモシラン、及びｔｅｒｔ－ブチルジメチルモノブロモシラン等のトリアルキルモノブロモシラン；
トリメチルモノメトキシシラン、トリエチルモノメトキシシラン、トリ－ｎ－プロピルモノメトキシシラン、トリイソプロピルモノメトキシシラン、トリ－ｎ－ブチルモノメトキシシラン、トリ－イソブチルモノメトキシシラン、トリ－ｓｅｃ－ブチルモノメトキシシラン、トリ－ｔｅｒｔ－ブチルモノメトキシシラン、エチルジメチルモノメトキシシラン、ｎ－プロピルジメチルモノメトキシシラン、イソプロピルジメチルモノメトキシシラン、ｎ－ブチルジメチルモノメトキシシラン、イソブチルジメチルモノメトキシシラン、ｓｅｃ－ブチルジメチルモノメトキシシラン、及びｔｅｒｔ－ブチルジメチルモノメトキシシラン等のトリアルキルモノメトキシシラン；
トリメチルモノエトキシシラン、トリエチルモノエトキシシラン、トリ－ｎ－プロピルモノエトキシシラン、トリイソプロピルモノエトキシシラン、トリ－ｎ－ブチルモノエトキシシラン、トリ－イソブチルモノエトキシシラン、トリ－ｓｅｃ－ブチルモノエトキシシラン、トリ－ｔｅｒｔ－ブチルモノエトキシシラン、エチルジメチルモノエトキシシラン、ｎ－プロピルジメチルモノエトキシシラン、イソプロピルジメチルモノエトキシシラン、ｎ－ブチルジメチルモノエトキシシラン、イソブチルジメチルモノエトキシシラン、ｓｅｃ－ブチルジメチルモノエトキシシラン、及びｔｅｒｔ－ブチルジメチルモノエトキシシラン等のトリアルキルモノエトキシシランが挙げられる。

【0051】

式（Ｍ２）で表される化合物と、シリル化剤との反応におけるシリル化剤の使用量は、式（Ｍ２）で表される化合物のモル数に対して、等モル以上が好ましく、１．２倍モル以上がより好ましく、１．５倍モル以上がさらに好ましく、２．０倍モル以上が特に好ましい。シリル化剤の使用量の上限は特にないが、コストの点から、式（Ｍ２）で表される化合物のモル数に対して、５．０倍モル以下が好ましく、３．０倍モル以下がより好ましい。

【0052】

式（Ｍ２）で表される化合物と、シリル化剤との反応は、通常、有機溶媒中で行われる。有機溶媒としては、水酸基、カルボキシ基、アミノ基等のシリル化剤と反応し得る官能基を持たない有機溶媒が使用される。
有機溶媒の具体例としては、四塩化炭素、クロロホルム、ジクロロメタン、ブロモプロパン、ブロモブタン、ブロモペンタン、ブロモヘキサン、ヨウ化メチル、ヨウ化エチル、及びヨウ化プロピル等のハロゲン化アルキル類；アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、及びシクロヘキサノン等のケトン類；ペンタン、ヘキサン、ヘプタン、オクタン、ノナン、デカン、ウンデカン、ドデカン、シクロヘキサン、石油エーテル、ベンジン、ケロシン、トルエン、キシレン、メシチレン、及びベンゼン等の炭化水素類が挙げられる。

【0053】

式（Ｍ２）で表される化合物と、シリル化剤との反応時の温度は、シリル化反応が良好に進行する限り特に限定されない。反応温度は、例えば、－２０℃以上１００℃以下が好ましく、－１０℃以上８０℃以下がより好ましく、０℃以上５０℃以下がさらに好ましい。

【0054】

反応時間は、シリル化反応が良好に進行する限り特に限定されない。反応時間は、例えば、５分以上１２時間以下であり、１０分以上６時間以下が好ましい。

【0055】

シリル化剤が、トリヒドロカルビルモノハロシランである場合、シリル化反応時にハロゲン化水素が副生する。副生するハロゲン化水素を捕捉するために、反応液には、トリエチルアミン、ピリジン、及びＮ，Ｎ－ジメチル－４－アミノピリジン等の塩基を加えてもよい。塩基を加える場合、シリル化剤の等モルよりも多い添加量とすることが好ましく、塩基性条件下でシリル化反応が進行するように反応液のｐＨを調整することが好ましい。

【0056】

以上のようにして製造された、式（１）で表される化合物は、好ましくは、常法に従って反応液から回収され、必要に応じて精製された後、硬化性組成物の成分、又は、下記の（メタ）アクリル樹脂（Ａ１）の原料として使用される。

【0057】

〔式（１）で表される化合物に由来する構成単位を含む（メタ）アクリル樹脂（Ａ１）〕
前述の式（１）で表される化合物に由来する構成単位を含む（メタ）アクリル樹脂（Ａ１）は、エポキシ基を有するため、硬化性組成物における硬化性の成分として有用である。

【0058】

上記の（メタ）アクリル樹脂（Ａ１）は、式（１）で表される化合物の単独重合体であってもよく、式（１）で表される化合物と、式（１）で表される化合物以外の他の単量体との共重合体であってもよい。
（メタ）アクリル樹脂（Ａ１）を含む硬化性組成物の硬化性の観点から、（メタ）アクリル樹脂（Ａ１）における、式（１）で表される化合物に由来する構成単位の含有量は５０質量％以上が好ましく、６０質量％以上がより好ましく、７０質量％以上がさらに好ましい。（メタ）アクリル樹脂（Ａ１）における、式（１）で表される化合物に由来する構成単位の含有量の上限は特に限定されないが、９５質量％以下であってよく、９０質量％以下であってよく、８０質量％以下であってよい。

【0059】

他の単量体としては、不飽和カルボン酸、エポキシ基を持たない（メタ）アクリル酸エステル、（メタ）アクリルアミド類、アリル化合物、ビニルエーテル類、ビニルエステル類、スチレン類、及びマレイミド類等が挙げられる。これらの化合物は、単独又は２種以上組み合わせて用いることができる。硬化性組成物の保存安定性や、組成物を用いて形成される硬化物のアルカリ等に対する耐薬品性の点からは、（メタ）アクリル樹脂（Ａ１）は、不飽和カルボン酸に由来する単位を含まないのが好ましい。
他方で、硬化性組成物を、アルカリ現像液により現像し得るネガ型の感光性組成物とする場合、（メタ）アクリル樹脂（Ａ１）がアルカリ可溶性基を有する構成単位を有するのが好ましい。アルカリ可溶性基としては特に限定されず、カルボキシ基、スルホン酸基、リン酸基、及びフェノール性水酸基等が挙げられる。
硬化性組成物の経時安定性の点から、アルカリ可溶性基としてはカルボキシ基が好ましい。つまり、（メタ）アクリル樹脂（Ａ１）が不飽和カルボン酸に由来する単位を含むのが好ましい。

【0060】

不飽和カルボン酸の例としては、（メタ）アクリル酸；（メタ）アクリル酸アミド；クロトン酸；マレイン酸、フマル酸、シトラコン酸、メサコン酸、イタコン酸、これらジカルボン酸の無水物が挙げられる。これらの中では、（メタ）アクリル酸が好ましい。

【0061】

（メタ）アクリル樹脂（Ａ１）が、不飽和カルボン酸に由来する構成単位を含む場合、（メタ）アクリル樹脂（Ａ１）における不飽和カルボン酸に由来する構成単位の含有量は、３質量％以上５０質量％以下が好ましく、５質量％以上４０質量％以下がより好ましく、１０質量％以上３０質量％以下がさらに好ましい。

【0062】

エポキシ基を持たない（メタ）アクリル酸エステルの例としては、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、プロピル（メタ）アクリレート、アミル（メタ）アクリレート、ｔｅｒｔ－オクチル（メタ）アクリレート等の直鎖状又は分岐鎖状のアルキル（メタ）アクリレート；クロロエチル（メタ）アクリレート、２，２－ジメチルヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、２－ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンモノ（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレート、フルフリル（メタ）アクリレート；脂環式骨格を有する基を有する（メタ）アクリル酸エステルが挙げられる。エポキシ基を持たない（メタ）アクリル酸エステルの中では、脂環式骨格を有する基を有する（メタ）アクリル酸エステルが好ましい。

【0063】

脂環式骨格を有する基を有する（メタ）アクリル酸エステルにおいて、脂環式骨格を構成する脂環式基は、単環であっても多環であってもよい。単環の脂環式基としては、シクロペンチル基、シクロヘキシル基等が挙げられる。また、多環の脂環式基としては、ノルボルニル基、イソボルニル基、トリシクロノニル基、トリシクロデシル基、テトラシクロドデシル基等が挙げられる。

【0064】

脂環式骨格を有する基を有する（メタ）アクリル酸エステルとしては、例えば下記式（ａ１－１）～（ａ１－８）で表される化合物が挙げられる。これらの中では、下記式（ａ１－３）～（ａ１－８）で表される化合物が好ましく、下記式（ａ１－３）又は（ａ１－４）で表される化合物がより好ましい。

【0065】

【化11】

【0066】

【化12】

【0067】

上記式中、Ｒ^Ａ１は水素原子又はメチル基を示し、Ｒ^Ａ２は単結合又は炭素原子数１以上６以下の２価の脂肪族飽和炭化水素基を示し、Ｒ^Ａ３は水素原子又は炭素原子数１以上５以下のアルキル基を示す。Ｒ^Ａ２としては、単結合、直鎖状又は分枝鎖状のアルキレン基、例えばメチレン基、エチレン基、プロピレン基、テトラメチレン基、エチルエチレン基、ペンタメチレン基、ヘキサメチレン基が好ましい。Ｒ^Ａ３としては、メチル基、エチル基が好ましい。

【0068】

（メタ）アクリル樹脂（Ａ１）が、脂環式骨格を有する基を有する（メタ）アクリル酸エステルに由来する構成単位を含む場合、（メタ）アクリル樹脂（Ａ１）における脂環式骨格を有する基を有する（メタ）アクリル酸エステルに由来する構成単位の含有量は、３質量％以上５０質量％以下が好ましく、５質量％以上３０質量％以下がより好ましく、７質量％以上２０質量％以下がさらに好ましい。

【0069】

（メタ）アクリルアミド類の例としては、（メタ）アクリルアミド、Ｎ－アルキル（メタ）アクリルアミド、Ｎ－アリール（メタ）アクリルアミド、Ｎ，Ｎ－ジアルキル（メタ）アクリルアミド、Ｎ，Ｎ－アリール（メタ）アクリルアミド、Ｎ－メチル－Ｎ－フェニル（メタ）アクリルアミド、Ｎ－ヒドロキシエチル－Ｎ－メチル（メタ）アクリルアミド等が挙げられる。

【0070】

アリル化合物の例としては、酢酸アリル、カプロン酸アリル、カプリル酸アリル、ラウリン酸アリル、パルミチン酸アリル、ステアリン酸アリル、安息香酸アリル、アセト酢酸アリル、乳酸アリル等のアリルエステル類；アリルオキシエタノール；等が挙げられる。

【0071】

ビニルエーテル類の例としては、ヘキシルビニルエーテル、オクチルビニルエーテル、デシルビニルエーテル、エチルヘキシルビニルエーテル、メトキシエチルビニルエーテル、エトキシエチルビニルエーテル、クロロエチルビニルエーテル、１－メチル－２，２－ジメチルプロピルビニルエーテル、２－エチルブチルビニルエーテル、ヒドロキシエチルビニルエーテル、ジエチレングリコールビニルエーテル、ジメチルアミノエチルビニルエーテル、ジエチルアミノエチルビニルエーテル、ブチルアミノエチルビニルエーテル、ベンジルビニルエーテル、テトラヒドロフルフリルビニルエーテル等の脂肪族ビニルエーテル；ビニルフェニルエーテル、ビニルトリルエーテル、ビニルクロロフェニルエーテル、ビニル－２，４－ジクロロフェニルエーテル、ビニルナフチルエーテル、ビニルアントラニルエーテル等のビニルアリールエーテル；等が挙げられる。

【0072】

ビニルエステル類の例としては、ビニルブチレート、ビニルイソブチレート、ビニルトリメチルアセテート、ビニルジエチルアセテート、ビニルバレレート、ビニルカプロエート、ビニルクロロアセテート、ビニルジクロロアセテート、ビニルメトキシアセテート、ビニルブトキシアセテート、ビニルフェニルアセテート、ビニルアセトアセテート、ビニルラクテート、ビニル－β－フェニルブチレート、安息香酸ビニル、サリチル酸ビニル、クロロ安息香酸ビニル、テトラクロロ安息香酸ビニル、ナフトエ酸ビニル等が挙げられる。

【0073】

スチレン類の例としては、スチレン；メチルスチレン、ジメチルスチレン、トリメチルスチレン、エチルスチレン、ジエチルスチレン、イソプロピルスチレン、ブチルスチレン、ヘキシルスチレン、シクロヘキシルスチレン、デシルスチレン、ベンジルスチレン、クロロメチルスチレン、トリフルオロメチルスチレン、エトキシメチルスチレン、アセトキシメチルスチレン等のアルキルスチレン；メトキシスチレン、４－メトキシ－３－メチルスチレン、ジメトキシスチレン等のアルコキシスチレン；クロロスチレン、ジクロロスチレン、トリクロロスチレン、テトラクロロスチレン、ペンタクロロスチレン、ブロモスチレン、ジブロモスチレン、ヨードスチレン、フルオロスチレン、トリフルオロスチレン、２－ブロモ－４－トリフルオロメチルスチレン、４－フルオロ－３－トリフルオロメチルスチレン等のハロスチレン；等が挙げられる。
硬化性組成物の硬化物の比誘電率の低さの点からは、（メタ）アクリル樹脂（Ａ１）におけるスチレン類に由来する構成単位の量は少ないほど好ましく、（メタ）アクリル樹脂（Ａ１）がスチレン類に由来する構成単位を含まないのがより好ましい。

【0074】

マレイミド類としては、Ｎ－メチルマレイミド、Ｎ－エチルマレイミド、Ｎ－ｎ－プロピルマレイミド、Ｎ－イソプロピルマレイミド、Ｎ－ｎ－ブチルマレイミド、Ｎ－ｎ－ペンチルマレイミド、Ｎ－ｎ－ヘキシルマレイミド等の炭素原子数１～１０のアルキル基でＮ置換されたマレイミド；Ｎ－シクロペンチルマレイミド、Ｎ－シクロヘキシルマレイミド、Ｎ－シクロヘプチルマレイミド等の炭素原子数３以上２０以下の脂環式基でＮ置換されたマレイミド：Ｎ－フェニルマレイミド、Ｎ－α－ナフチルマレイミド、Ｎ－β－ナフチルマレイミド等の炭素原子数６以上２０以下のアリール基でＮ置換されたＮ－アリールマレイミド；Ｎ－ベンジルマレイミド、Ｎ－フェネチルマレイミド等の炭素原子数７以上２０以下のアラルキル基でＮ置換されたＮ－アラルキルマレイミドが挙げられる。

【0075】

（メタ）アクリル樹脂（Ａ１）の重量平均分子量は、本発明の目的を阻害しない範囲で特に限定されないが、ポリスチレン換算の重量平均分子量として、３，０００以上３０，０００以下が好ましく、５，０００以上１５，０００以下がより好ましい。

【0076】

〔硬化性組成物の好ましい態様〕
以下硬化性組成物の好ましい態様について、第１の硬化性組成物、及び第２の硬化性組成物について説明する。なお、式（１）で表される化合物、及び／又は式（１）で表される化合物に由来する構成単位を含む（メタ）アクリル樹脂（Ａ１）を含む硬化性組成物は、以下説明する、第１の硬化性組成物、及び第２の硬化性組成物には限定されない。

【0077】

（第１の硬化性組成物）
第１の硬化性組成物は、式（１）で表される化合物、及び／又は式（１）で表される化合物に由来する構成単位を含む（メタ）アクリル樹脂（Ａ１）と、硬化剤とを含む硬化性組成物である。

【0078】

第１の硬化性組成物は、エポキシ化合物として、式（１）で表される化合物、及び／又は（メタ）アクリル樹脂（Ａ１）を含む。第１の硬化性組成物は、エポキシ化合物である、式（１）で表される化合物、及び／又は式（１）で表される化合物を硬化させる硬化剤を含む。硬化剤としては、感光性硬化剤であっても、感熱性硬化剤であっても、両者の組み合わせであってもよい。

【0079】

第１の硬化性組成物が感光性硬化剤を含む場合、フォトリソグラフィー法を適用することにより、第１の硬化性組成物の硬化物からなる硬化膜のパターニングが可能である。例えば、第１の硬化性組成物の塗布膜に対して位置選択的に露光する場合、露光された箇所のみが硬化し、露光されていない箇所は有機溶媒等に可溶なままであるためである。つまり、位置選択的な露光の後に、有機溶媒等を現像液として用いて現像を行うことにより、硬化膜のパターニングが可能である。

【0080】

第１の硬化性組成物は、式（１）で表される化合物、及び（メタ）アクリル樹脂（Ａ１）に該当しないエポキシ化合物、及び／又はオキセタン化合物を含んでいてもよい。
式（１）で表される化合物、及び／又は（メタ）アクリル樹脂（Ａ１）とともに使用され得るエポキシ化合物及び／又はオキセタン化合物の種類は本発明の目的を阻害しない範囲で特に限定されない。

【0081】

硬化物の比誘電率が低い点から、第１の硬化性組成物における、エポキシ化合物の質量とオキセタン化合物の質量との合計に対する、式（１）で表される化合物の質量と、（メタ）アクリル樹脂（Ａ１）の質量との合計の割合は、５０質量％以上が好ましく、７０質量％以上がより好ましく、８０質量％以上がさらに好ましく、９０質量％以上がさらにより好ましく、１００質量％が特に好ましい。

【0082】

硬化剤は、従来からエポキシ化合物、又はオキセタン化合物用の硬化剤として使用されている化合物であれば特に限定されない。以下、好ましい硬化剤について説明する。

【0083】

・オニウム塩（Ｄ１）
オニウム塩（Ｄ１）は、エポキシ化合物、又はオキセタン化合物等とともに使用することができ、光又は熱の作用により、エポキシ化合物、又はオキセタン化合物等の硬化を促進させる。
オニウム塩としては、例えば、ジアゾニウム塩、アンモニウム塩、ヨードニウム塩、スルホニウム塩、ホスホニウム塩、オキソニウム塩等が挙げられる。これらの中では、入手の容易性や、良好な硬化の点から、スルホニウム塩、及びヨードニウム塩が好ましい。

【0084】

以下、オニウム塩（Ｄ１）の好ましい例について説明する。
オニウム塩（Ｄ１）の好ましい一例としては、下記式（Ｄ－Ｉ）で表されるスルホニウム塩（以下、「スルホニウム塩（Ｑ）」とも記す。）が挙げられる。

【0085】

【化13】

（式（Ｄ－Ｉ）中、Ｒ^Ｄ１及びＲ^Ｄ２は独立に、ハロゲン原子で置換されていてもよいアルキル基又は下記式（Ｄ－ＩＩ）で表される基を示し、Ｒ^Ｄ１及びＲ^Ｄ２は相互に結合して式中の硫黄原子とともに環を形成してもよく、Ｒ^Ｄ３は下記式（Ｄ－ＩＩＩ）で表される基又は下記式（Ｄ－ＩＶ）で表される基を示し、Ａ^Ｄ１はＳ、Ｏ、又はＳｅを示し、Ｘ^－は１価のアニオンを示し、但し、Ｒ^Ｄ１及びＲ^Ｄ２は、同時に、ハロゲン原子で置換されていてもよいアルキル基ではない。）

【0086】

【化14】

（式（Ｄ－ＩＩ）中、環Ｚ^Ｄ１は芳香族炭化水素環を示し、Ｒ^Ｄ４はハロゲン原子で置換されていてもよいアルキル基、ヒドロキシ基、アルコキシ基、アルキルカルボニル基、アルコキシカルボニル基、アシロキシ基、アルキルチオ基、チエニル基、チエニルカルボニル基、フラニル基、フラニルカルボニル基、セレノフェニル基、セレノフェニルカルボニル基、複素環式脂肪族炭化水素基、アルキルスルフィニル基、アルキルスルホニル基、ヒドロキシ（ポリ）アルキレンオキシ基、置換されていてよいアミノ基、シアノ基、ニトロ基、又はハロゲン原子を示し、ｍ１は０以上の整数を示す。）

【0087】

【化15】

（式（Ｄ－ＩＩＩ）中、Ｒ^Ｄ５はヒドロキシ基、アルコキシ基、アルキルカルボニル基、アリールカルボニル基、アルコキシカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、アリールチオカルボニル基、アシロキシ基、アリールチオ基、アルキルチオ基、アリール基、複素環式炭化水素基、アリールオキシ基、アルキルスルフィニル基、アリールスルフィニル基、アルキルスルホニル基、アリールスルホニル基、ヒドロキシ（ポリ）アルキレンオキシ基、置換されていてよいアミノ基、シアノ基、ニトロ基、若しくはハロゲン原子で置換されていてもよいアルキレン基又は下記式（Ｄ－Ｖ）で表される基を示し、Ｒ^Ｄ６はヒドロキシ基、アルコキシ基、アルキルカルボニル基、アリールカルボニル基、アルコキシカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、アリールチオカルボニル基、アシロキシ基、アリールチオ基、アルキルチオ基、アリール基、複素環式炭化水素基、アリールオキシ基、アルキルスルフィニル基、アリールスルフィニル基、アルキルスルホニル基、アリールスルホニル基、ヒドロキシ（ポリ）アルキレンオキシ基、置換されていてよいアミノ基、シアノ基、ニトロ基、若しくはハロゲン原子で置換されていてもよいアルキル基又は下記式（Ｄ－ＶＩ）で表される基を示し、Ａ^Ｄ２は単結合、Ｓ、Ｏ、スルフィニル基、又はカルボニル基を示し、ｎ１は０又は１を示す。）

【0088】

【化16】

（式（Ｄ－ＩＶ）中、Ｒ^Ｄ７及びＲ^Ｄ８は独立に、ヒドロキシ基、アルコキシ基、アルキルカルボニル基、アリールカルボニル基、アルコキシカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、アリールチオカルボニル基、アシロキシ基、アリールチオ基、アルキルチオ基、アリール基、複素環式炭化水素基、アリールオキシ基、アルキルスルフィニル基、アリールスルフィニル基、アルキルスルホニル基、アリールスルホニル基、ヒドロキシ（ポリ）アルキレンオキシ基、置換されていてよいアミノ基、シアノ基、ニトロ基、若しくはハロゲン原子で置換されていてもよいアルキレン基又は下記式（Ｄ－Ｖ）で表される基を示し、Ｒ^Ｄ９及びＲ^Ｄ１０は独立に、ハロゲン原子で置換されていてもよいアルキル基又は上記式（Ｄ－ＩＩ）で表される基を示し、Ｒ^Ｄ９及びＲ^Ｄ１０は相互に結合して式中の硫黄原子とともに環を形成してもよく、Ａ^Ｄ３は単結合、Ｓ、Ｏ、スルフィニル基、又はカルボニル基を示し、Ｘ^－は前記の通りであり、ｎ２は０又は１を示し、但し、Ｒ^Ｄ９及びＲ^Ｄ１０は、同時に、ハロゲン原子で置換されていてもよいアルキル基ではない。）

【0089】

【化17】

（式（Ｄ－Ｖ）中、環Ｚ^Ｄ２は芳香族炭化水素環を示し、Ｒ^Ｄ１１はハロゲン原子で置換されていてもよいアルキル基、ヒドロキシ基、アルコキシ基、アルキルカルボニル基、アリールカルボニル基、アルコキシカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、アリールチオカルボニル基、アシロキシ基、アリールチオ基、アルキルチオ基、アリール基、複素環式炭化水素基、アリールオキシ基、アルキルスルフィニル基、アリールスルフィニル基、アルキルスルホニル基、アリールスルホニル基、ヒドロキシ（ポリ）アルキレンオキシ基、置換されていてよいアミノ基、シアノ基、ニトロ基、又はハロゲン原子を示し、ｍ２は０以上の整数を示す。）

【化18】

（式（Ｄ－ＶＩ）中、環Ｚ^Ｄ３は芳香族炭化水素環を示し、Ｒ^Ｄ１２はハロゲン原子で置換されていてもよいアルキル基、ヒドロキシ基、アルコキシ基、アルキルカルボニル基、アリールカルボニル基、アルコキシカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、アリールチオカルボニル基、アシロキシ基、アリールチオ基、アルキルチオ基、チエニルカルボニル基、フラニルカルボニル基、セレノフェニルカルボニル基、アリール基、複素環式炭化水素基、アリールオキシ基、アルキルスルフィニル基、アリールスルフィニル基、アルキルスルホニル基、アリールスルホニル基、ヒドロキシ（ポリ）アルキレンオキシ基、置換されていてよいアミノ基、シアノ基、ニトロ基、又はハロゲン原子を示し、ｍ３は０以上の整数を示す。）

【0090】

（スルホニウム塩（Ｑ））
以下、スルホニウム塩（Ｑ）について説明する。スルホニウム塩（Ｑ）は、上記式（Ｄ－Ｉ）中のベンゼン環において、Ａ^Ｄ１が結合する炭素原子に対してオルト位の炭素原子にメチル基が結合していることを特徴とする。スルホニウム塩（Ｑ）は、上記の位置にメチル基を有するため、従来のスルホニウム塩と比較して、紫外線等の活性エネルギー線に対する感度が高い。

【0091】

上記式（Ｄ－Ｉ）において、Ｒ^Ｄ１及びＲ^Ｄ２のいずれもが上記式（Ｄ－ＩＩ）で表される基であることが好ましい。Ｒ^Ｄ１及びＲ^Ｄ２は互いに同一でも異なっていてもよい。
上記式（Ｄ－Ｉ）において、Ｒ^Ｄ１及びＲ^Ｄ２が相互に結合して式中の硫黄原子とともに環を形成する場合、形成される環を構成する原子数は、硫黄原子を含めて３以上１０以下が好ましく、５以上７以下がより好ましい。形成される環は多環でもよく、環構成原子数が５以上７以下である単環が縮合した多環が好ましい。
上記式（Ｄ－Ｉ）において、Ｒ^Ｄ１及びＲ^Ｄ２が、ともにフェニル基であるのが好ましい。
上記式（Ｄ－Ｉ）において、Ｒ^Ｄ３は上記式（Ｄ－ＩＩＩ）で表される基であることが好ましい。
上記式（Ｄ－Ｉ）において、Ａ^Ｄ１は、Ｓ又はＯであることが好ましく、Ｓであることがより好ましい。

【0092】

上記式（Ｄ－ＩＩ）において、Ｒ^Ｄ４は、ハロゲン原子で置換されていてもよいアルキル基、ヒドロキシ基、アルキルカルボニル基、チエニルカルボニル基、フラニルカルボニル基、セレノフェニルカルボニル基、置換されていてよいアミノ基、又はニトロ基であることが好ましく、ハロゲン原子で置換されていてもよいアルキル基、アルキルカルボニル基、又はチエニルカルボニル基であることがより好ましい。
上記式（Ｄ－ＩＩ）において、ｍ１は、環Ｚ^Ｄ１の種類に応じて選択でき、例えば、０以上４以下の整数、好ましくは０以上３以下の整数、より好ましくは０以上２以下の整数であってもよい。

【0093】

上記式（Ｄ－ＩＩＩ）において、Ｒ^Ｄ５は、アルキレン基；ヒドロキシ基、置換されていてよいアミノ基、若しくはニトロ基で置換されたアルキレン基；又は上記式（Ｄ－Ｖ）で表される基であることが好ましく、上記式（Ｄ－Ｖ）で表される基であることがより好ましい。
上記式（Ｄ－ＩＩＩ）において、Ｒ^Ｄ６は、アルキル基；ヒドロキシ基、置換されていてよいアミノ基、若しくはニトロ基で置換されたアルキル基；又は上記式（Ｄ－ＶＩ）で表される基であることが好ましく、上記式（Ｄ－ＶＩ）で表される基であることがより好ましい。
上記式（Ｄ－ＩＩＩ）において、Ａ^Ｄ２はＳ又はＯであることが好ましく、Ｓであることがより好ましい。
上記式（Ｄ－ＩＩＩ）において、ｎ１は０であることが好ましい。

【0094】

上記式（Ｄ－ＩＶ）において、Ｒ^Ｄ７及びＲ^Ｄ８は独立に、アルキレン基；ヒドロキシ基、置換されていてよいアミノ基、若しくはニトロ基で置換されたアルキレン基；又は上記式（Ｄ－Ｖ）で表される基であることが好ましく、上記式（Ｄ－Ｖ）で表される基であることより好ましい。Ｒ^Ｄ７及びＲ^Ｄ８は互いに同一でも異なっていてもよい。
上記式（Ｄ－ＩＶ）において、Ｒ^Ｄ９及びＲ^Ｄ１０のいずれもが上記式（Ｄ－ＩＩ）で表される基であることが好ましい。Ｒ^Ｄ９及びＲ^Ｄ１０は互いに同一でも異なっていてもよい。
上記式（Ｄ－ＩＶ）において、Ｒ^Ｄ９及びＲ^Ｄ１０が相互に結合して式中の硫黄原子とともに環を形成する場合、形成される環を構成する原子数は、硫黄原子を含めて３以上１０以下が好ましく、５以上７以下がより好ましい。形成される環は多環でもよく、環構成原子数が５以上７以下である単環が縮合した多環が好ましい。
上記式（Ｄ－ＩＶ）において、Ａ^Ｄ３は、Ｓ又はＯであることが好ましく、Ｓであることがより好ましい。
上記式（Ｄ－ＩＶ）において、ｎ２は０であることが好ましい。

【0095】

上記式（Ｄ－Ｖ）において、Ｒ^Ｄ１１は、ハロゲン原子で置換されていてもよいアルキル基、ヒドロキシ基、置換されていてよいアミノ基、又はニトロ基であることが好ましく、ハロゲン原子で置換されていてもよいアルキル基であることがより好ましい。
上記式（Ｄ－Ｖ）において、ｍ２は、環Ｚ^Ｄ２の種類に応じて選択でき、例えば、０以上４以下の整数、好ましくは０以上３以下の整数、より好ましくは０以上２以下の整数であってもよい。

【0096】

上記式（Ｄ－ＶＩ）において、Ｒ^Ｄ１２は、ハロゲン原子で置換されていてもよいアルキル基、ヒドロキシ基、アルキルカルボニル基、チエニルカルボニル基、フラニルカルボニル基、セレノフェニルカルボニル基、置換されていてよいアミノ基、又はニトロ基であることが好ましく、ハロゲン原子で置換されていてもよいアルキル基、アルキルカルボニル基、又はチエニルカルボニル基であることがより好ましい。
上記式（Ｄ－ＶＩ）において、ｍ３は、環Ｚ^Ｄ３の種類に応じて選択でき、例えば、０以上４以下の整数、好ましくは０以上３以下の整数、より好ましくは０以上２以下の整数であってもよい。

【0097】

上記式（Ｄ－Ｉ）において、Ｘ^－は１価のアニオンである。Ｘ^－としては、１価の多原子アニオンが好適に挙げられ、ＭＹ_ａ ^－、（Ｒｆ）_ｂＰＦ_６－ｂ ^－、Ｒ^ｘ１ _ｃＢＹ_４－ｃ ^－、Ｒ^ｘ１ _ｃＧａＹ_４－ｃ ^－、Ｒ^ｘ２ＳＯ_３ ^－、（Ｒ^ｘ２ＳＯ_２）_３Ｃ^－、又は（Ｒ^ｘ２ＳＯ_２）_２Ｎ^－で表されるアニオンがより好ましい。また、Ｘ^－は、ハロゲンアニオンでもよく、例えば、フッ化物イオン、塩化物イオン、臭化物イオン、ヨウ化物イオン等が挙げられる。

【0098】

Ｍは、リン原子、ホウ素原子、又はアンチモン原子を表す。
Ｙはハロゲン原子（フッ素原子が好ましい。）を表す。

【0099】

Ｒｆは、水素原子の８０モル％以上がフッ素原子で置換されたアルキル基（炭素原子数１以上８以下のアルキル基が好ましい。）を表す。フッ素置換によりＲｆとするアルキル基としては、直鎖アルキル基（メチル、エチル、プロピル、ブチル、ペンチル及びオクチル等）、分岐鎖アルキル基（イソプロピル、イソブチル、ｓｅｃ－ブチル及びｔｅｒｔ－ブチル等）及びシクロアルキル基（シクロプロピル、シクロブチル、シクロペンチル及びシクロヘキシル等）等が挙げられる。Ｒｆにおいてこれらのアルキル基の水素原子がフッ素原子に置換されている割合は、もとのアルキル基が有していた水素原子のモル数に基づいて、８０モル％以上が好ましく、さらに好ましくは９０％以上、特に好ましくは１００％である。フッ素原子による置換割合がこれら好ましい範囲にあると、スルホニウム塩（Ｑ）の光感応性がさらに良好となる。特に好ましいＲｆとしては、ＣＦ_３－、ＣＦ_３ＣＦ_２ ^－、（ＣＦ_３）_２ＣＦ^－、ＣＦ_３ＣＦ_２ＣＦ_２ ^－、ＣＦ_３ＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ_２ ^－、（ＣＦ_３）_２ＣＦＣＦ_２ ^－、ＣＦ_３ＣＦ_２（ＣＦ_３）ＣＦ^－及び（ＣＦ_３）_３Ｃ^－が挙げられる。ｂ個のＲｆは、相互に独立であり、従って、互いに同一でも異なっていてもよい。

【0100】

Ｐはリン原子、Ｆはフッ素原子を表す。

【0101】

Ｒ^ｘ１は、水素原子の一部が少なくとも１個の元素又は電子求引基で置換されたフェニル基を表す。そのような１個の元素の例としては、ハロゲン原子が含まれ、フッ素原子、塩素原子及び臭素原子等が挙げられる。電子求引基としては、トリフルオロメチル基、ニトロ基及びシアノ基等が挙げられる。これらのうち、少なくとも１個の水素原子がフッ素原子又はトリフルオロメチル基で置換されたフェニル基が好ましい。ｃ個のＲ^ｘ１は相互に独立であり、従って、互いに同一でも異なっていてもよい。

【0102】

Ｂはホウ素原子、Ｇａはガリウム原子を表す。

【0103】

Ｒ^ｘ２は、炭素原子数１以上２０以下のアルキル基、炭素原子数１以上２０以下のフルオロアルキル基又は炭素原子数６以上２０以下のアリール基を表し、アルキル基及びフルオロアルキル基は直鎖状、分岐鎖状又は環状のいずれでもよく、アルキル基、フルオロアルキル基、又はアリール基は無置換であっても、置換基を有していてもよい。上記置換基としては、例えば、ヒドロキシ基、置換されていてよいアミノ基（例えば、上記式（Ｄ－ＩＩ）～（Ｄ－ＶＩ）に関する後述の説明中で例示するものが挙げられる。）、ニトロ基等が挙げられる。
また、Ｒ^ｘ２で表されるアルキル基、フルオロアルキル基又はアリール基における炭素鎖は、酸素原子、窒素原子、硫黄原子等のヘテロ原子を有していてもよい。特に、Ｒ^ｘ２で表されるアルキル基又はフルオロアルキル基における炭素鎖は、２価の官能基（例えば、エーテル結合、カルボニル結合、エステル結合、アミノ結合、アミド結合、イミド結合、スルホニル結合、スルホニルアミド結合、スルホニルイミド結合、ウレタン結合等）を有していてもよい。
Ｒ^ｘ２で表されるアルキル基、フルオロアルキル基又はアリール基が上記置換基、ヘテロ原子、又は官能基を有する場合、上記置換基、ヘテロ原子、又は官能基の個数は、１個であっても２個以上であってもよい。

【0104】

Ｓは硫黄原子、Ｏは酸素原子、Ｃは炭素原子、Ｎは窒素原子を表す。
ａは４以上６以下の整数を表す。
ｂは、１以上５以下の整数が好ましく、さらに好ましくは２以上４以下の整数、特に好ましくは２又は３である。
ｃは、１以上４以下の整数が好ましく、さらに好ましくは４である。

【0105】

ＭＹ_ａ ^－で表されるアニオンとしては、ＳｂＦ_６ ^－、ＰＦ_６ ^－又はＢＦ_４ ^－で表されるアニオン等が挙げられる。

【0106】

（Ｒｆ）_ｂＰＦ_６－ｂ ^－で表されるアニオンとしては、（ＣＦ_３ＣＦ_２）_２ＰＦ_４ ^－、（ＣＦ_３ＣＦ_２）_３ＰＦ_３ ^－、（（ＣＦ_３）_２ＣＦ）_２ＰＦ_４ ^－、（（ＣＦ_３）_２ＣＦ）_３ＰＦ_３ ^－、（ＣＦ_３ＣＦ_２ＣＦ_２）_２ＰＦ_４ ^－、（ＣＦ_３ＣＦ_２ＣＦ_２）_３ＰＦ_３ ^－、（（ＣＦ_３）_２ＣＦＣＦ_２）_２ＰＦ_４ ^－、（（ＣＦ_３）_２ＣＦＣＦ_２）_３ＰＦ_３ ^－、（ＣＦ_３ＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ_２）_２ＰＦ_４ ^－又は（ＣＦ_３ＣＦ_２ＣＦ_２ＣＦ_２）_３ＰＦ_３ ^－で表されるアニオン等が挙げられる。これらのうち、（ＣＦ_３ＣＦ_２）_３ＰＦ_３ ^－、（ＣＦ_３ＣＦ_２ＣＦ_２）_３ＰＦ_３ ^－、（（ＣＦ_３）_２ＣＦ）_３ＰＦ_３ ^－、（（ＣＦ_３）_２ＣＦ）_２ＰＦ_４ ^－、（（ＣＦ_３）_２ＣＦＣＦ_２）_３ＰＦ_３ ^－又は（（ＣＦ_３）_２ＣＦＣＦ_２）_２ＰＦ_４ ^－で表されるアニオンが好ましい。

【0107】

Ｒ^ｘ１ _ｃＢＹ_４－ｃ ^－で表されるアニオンとしては、好ましくは、
Ｒ^ｘ１ _ｃＢＹ_４－ｃ ^－
（式中、Ｒ^ｘ１は水素原子の少なくとも一部がハロゲン原子又は電子求引基で置換されたフェニル基を示し、Ｙはハロゲン原子を示し、ｃは１以上４以下の整数を示す。）
であり、例えば、（Ｃ_６Ｆ_５）_４Ｂ^－、（（ＣＦ_３）_２Ｃ_６Ｈ_３）_４Ｂ^－、（ＣＦ_３Ｃ_６Ｈ_４）_４Ｂ^－、（Ｃ_６Ｆ_５）_２ＢＦ_２ ^－、Ｃ_６Ｆ_５ＢＦ_３ ^－又は（Ｃ_６Ｈ_３Ｆ_２）_４Ｂ^－で表されるアニオン等が挙げられる。これらのうち、（Ｃ_６Ｆ_５）_４Ｂ^－又は（（ＣＦ_３）_２Ｃ_６Ｈ_３）_４Ｂ^－で表されるアニオンが好ましい。

【0108】

Ｒ^ｘ１ _ｃＧａＹ_４－ｃ ^－で表されるアニオンとしては、（Ｃ_６Ｆ_５）_４Ｇａ^－、（（ＣＦ_３）_２Ｃ_６Ｈ_３）_４Ｇａ^－、（ＣＦ_３Ｃ_６Ｈ_４）_４Ｇａ^－、（Ｃ_６Ｆ_５）_２ＧａＦ_２ ^－、Ｃ_６Ｆ_５ＧａＦ_３ ^－又は（Ｃ_６Ｈ_３Ｆ_２）_４Ｇａ^－で表されるアニオン等が挙げられる。これらのうち、（Ｃ_６Ｆ_５）_４Ｇａ^－又は（（ＣＦ_３）_２Ｃ_６Ｈ_３）_４Ｇａ^－で表されるアニオンが好ましい。

【0109】

Ｒ^ｘ２ＳＯ_３ ^－で表されるアニオンとしては、トリフルオロメタンスルホン酸アニオン、ペンタフルオロエタンスルホン酸アニオン、ヘプタフルオロプロパンスルホン酸アニオン、ノナフルオロブタンスルホン酸アニオン、ペンタフルオロフェニルスルホン酸アニオン、ｐ－トルエンスルホン酸アニオン、ベンゼンスルホン酸アニオン、カンファースルホン酸アニオン、メタンスルホン酸アニオン、エタンスルホン酸アニオン、プロパンスルホン酸アニオン及びブタンスルホン酸アニオン等が挙げられる。これらのうち、トリフルオロメタンスルホン酸アニオン、ノナフルオロブタンスルホン酸アニオン、メタンスルホン酸アニオン、ブタンスルホン酸アニオン、カンファースルホン酸アニオン、ベンゼンスルホン酸アニオン又はｐ－トルエンスルホン酸アニオンが好ましい。

【0110】

（Ｒ^ｘ２ＳＯ_２）_３Ｃ^－で表されるアニオンとしては、（ＣＦ_３ＳＯ_２）_３Ｃ^－、（Ｃ_２Ｆ_５ＳＯ_２）_３Ｃ^－、（Ｃ_３Ｆ_７ＳＯ_２）_３Ｃ^－又は（Ｃ_４Ｆ_９ＳＯ_２）_３Ｃ^－で表されるアニオン等が挙げられる。

【0111】

（Ｒ^ｘ２ＳＯ_２）_２Ｎ^－で表されるアニオンとしては、（ＣＦ_３ＳＯ_２）_２Ｎ^－、（Ｃ_２Ｆ_５ＳＯ_２）_２Ｎ^－、（Ｃ_３Ｆ_７ＳＯ_２）_２Ｎ^－又は（Ｃ_４Ｆ_９ＳＯ_２）_２Ｎ^－で表されるアニオン等が挙げられる。

【0112】

一価の多原子アニオンとしては、ＭＹ_ａ ^－、（Ｒｆ）_ｂＰＦ_６－ｂ ^－、Ｒ^ｘ１ _ｃＢＹ_４－ｃ ^－、Ｒ^ｘ１ _ｃＧａＹ_４－ｃ ^－、Ｒ^ｘ２ＳＯ_３ ^－、（Ｒ^ｘ２ＳＯ_２）_３Ｃ^－又は（Ｒ^ｘ２ＳＯ_２）_２Ｎ^－で表されるアニオン以外に、過ハロゲン酸イオン（ＣｌＯ_４ ^－、ＢｒＯ_４ ^－等）、ハロゲン化スルホン酸イオン（ＦＳＯ_３ ^－、ＣｌＳＯ_３ ^－等）、硫酸イオン（ＣＨ_３ＳＯ_４ ^－、ＣＦ_３ＳＯ_４ ^－、ＨＳＯ_４ ^－等）、炭酸イオン（ＨＣＯ_３ ^－、ＣＨ_３ＣＯ_３ ^－等）、アルミン酸イオン（ＡｌＣｌ_４ ^－、ＡｌＦ_４ ^－等）、ヘキサフルオロビスマス酸イオン（ＢｉＦ_６ ^－）、カルボン酸イオン（ＣＨ_３ＣＯＯ^－、ＣＦ_３ＣＯＯ^－、Ｃ_６Ｈ_５ＣＯＯ^－、ＣＨ_３Ｃ_６Ｈ_４ＣＯＯ^－、Ｃ_６Ｆ_５ＣＯＯ^－、ＣＦ_３Ｃ_６Ｈ_４ＣＯＯ^－等）、アリールホウ酸イオン（Ｂ（Ｃ_６Ｈ_５）_４ ^－、ＣＨ_３ＣＨ_２ＣＨ_２ＣＨ_２Ｂ（Ｃ_６Ｈ_５）_３ ^－等）、チオシアン酸イオン（ＳＣＮ^－）及び硝酸イオン（ＮＯ_３ ^－）等が使用できる。

【0113】

これらのＸ^－のうち、カチオン重合性能の点では、ＭＹ_ａ ^－、（Ｒｆ）_ｂＰＦ_６－ｂ ^－、Ｒ^ｘ１ _ｃＢＹ_４－ｃ ^－、Ｒ^ｘ１ _ｃＧａＹ_４－ｃ ^－及び（Ｒ^ｘ２ＳＯ_２）_３Ｃ^－で表されるアニオンが好ましく、ＳｂＦ_６ ^－、ＰＦ_６ ^－、（ＣＦ_３ＣＦ_２）_３ＰＦ_３ ^－、（Ｃ_６Ｆ_５）_４Ｂ^－、（（ＣＦ_３）_２Ｃ_６Ｈ_３）_４Ｂ^－、（Ｃ_６Ｆ_５）_４Ｇａ^－、（（ＣＦ_３）_２Ｃ_６Ｈ_３）_４Ｇａ^－及び（ＣＦ_３ＳＯ_２）_３Ｃ^－がより好ましく、Ｒ^ｘ１ _ｃＢＹ_４－ｃ ^－がさらに好ましい。

【0114】

上記式（Ｄ－ＩＩ）、（Ｄ－Ｖ）、及び（Ｄ－ＶＩ）において、芳香族炭化水素環としては、ベンゼン環、縮合多環式芳香族炭化水素環［例えば、縮合二環式炭化水素環（例えば、ナフタレン環等のＣ_８－２０縮合二環式炭化水素環、好ましくはＣ_{１０－１６}縮合二環式炭化水素環）、縮合三環式芳香族炭化水素環（例えば、アントラセン環、フェナントレン環等）等の縮合２乃至４環式芳香族炭化水素環］等が挙げられる。芳香族炭化水素環は、ベンゼン環又はナフタレン環であることが好ましく、ベンゼン環であることがより好ましい。

【0115】

上記式（Ｄ－Ｉ）～（Ｄ－ＶＩ）において、ハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、及びヨウ素原子等が挙げられる。

【0116】

上記式（Ｄ－Ｉ）～（Ｄ－ＶＩ）において、アルキル基としては、炭素原子数１以上１８以下の直鎖アルキル基（メチル、エチル、ｎ－プロピル、ｎ－ブチル、ｎ－ペンチル、ｎ－オクチル、ｎ－デシル、ｎ－ドデシル、ｎ－テトラデシル、ｎ－ヘキサデシル、及びｎ－オクタデシル等）、炭素原子数３以上１８以下の分岐鎖アルキル基（イソプロピル、イソブチル、ｓｅｃ－ブチル、ｔｅｒｔ－ブチル、イソペンチル、ネオペンチル、ｔｅｒｔ－ペンチル、イソヘキシル、及びイソオクタデシル等）、並びに炭素原子数３以上１８以下のシクロアルキル基（シクロプロピル、シクロブチル、シクロペンチル、シクロヘキシル、及び４－デシルシクロヘキシル等）等が挙げられる。特に、上記式（Ｄ－Ｉ）、（Ｄ－ＩＩ）、及び（Ｄ－ＩＶ）～（Ｄ－ＶＩ）において、ハロゲン原子で置換されていてもよいアルキル基とは、アルキル基及びハロゲン原子で置換されたアルキル基を意味する。ハロゲン原子で置換されたアルキル基としては、上記の直鎖アルキル基、分岐鎖アルキル基、又はシクロアルキル基における少なくとも１個の水素原子をハロゲン原子で置換した基（モノフルオロメチル、ジフルオロメチル、トリフルオロメチル等）等が挙げられる。ハロゲン原子で置換されていてもよいアルキル基のうち、Ｒ^Ｄ１、Ｒ^Ｄ２、Ｒ^Ｄ９、又はＲ^Ｄ１０については、トリフルオロメチル基が特に好ましく、Ｒ^Ｄ４、Ｒ^Ｄ６、Ｒ^Ｄ１１、又はＲ^Ｄ１２については、メチル基が特に好ましい。

【0117】

上記式（Ｄ－ＩＩ）～（Ｄ－ＶＩ）において、アルコキシ基としては、炭素原子数１以上１８以下の直鎖又は分岐鎖アルコキシ基（メトキシ、エトキシ、プロポキシ、イソプロポキシ、ブトキシ、イソブトキシ、ｓｅｃ－ブトキシ、ｔｅｒｔ－ブトキシ、ヘキシルオキシ、デシルオキシ、ドデシルオキシ、及びオクタデシルオキシ等）等が挙げられる。

【0118】

上記式（Ｄ－ＩＩ）～（Ｄ－ＶＩ）において、アルキルカルボニル基におけるアルキル基としては、上述の炭素原子数１以上１８以下の直鎖アルキル基、炭素原子数３以上１８以下の分岐鎖アルキル基又は炭素原子数３以上１８以下のシクロアルキル基が挙げられ、アルキルカルボニル基としては、炭素原子数２以上１８以下の直鎖状、分岐鎖状又は環状のアルキルカルボニル基（アセチル、プロピオニル、ブタノイル、２－メチルプロピオニル、ヘプタノイル、２－メチルブタノイル、３－メチルブタノイル、オクタノイル、デカノイル、ドデカノイル、オクタデカノイル、シクロペンタノイル基、及びシクロヘキサノイル基等）等が挙げられる。

【0119】

上記式（Ｄ－ＩＩＩ）～（Ｄ－ＶＩ）において、アリールカルボニル基としては、炭素原子数７以上１１以下のアリールカルボニル基（ベンゾイル及びナフトイル等）等が挙げられる。

【0120】

上記式（Ｄ－ＩＩ）～（Ｄ－ＶＩ）において、アルコキシカルボニル基としては、炭素原子数２以上１９以下の直鎖又は分岐鎖アルコキシカルボニル基（メトキシカルボニル、エトキシカルボニル、プロポキシカルボニル、イソプロポキシカルボニル、ブトキシカルボニル、イソブトキシカルボニル、ｓｅｃ－ブトキシカルボニル、ｔｅｒｔ－ブトキシカルボニル、オクチルオキシカルボニル、テトラデシルオキシカルボニル、及びオクタデシルオキシカルボニル等）等が挙げられる。

【0121】

上記式（Ｄ－ＩＩＩ）～（Ｄ－ＶＩ）において、アリールオキシカルボニル基としては、炭素原子数７以上１１以下のアリールオキシカルボニル基（フェノキシカルボニル及びナフトキシカルボニル等）等が挙げられる。

【0122】

上記式（Ｄ－ＩＩＩ）～（Ｄ－ＶＩ）において、アリールチオカルボニル基としては、炭素原子数７以上１１以下のアリールチオカルボニル基（フェニルチオカルボニル及びナフトキシチオカルボニル等）等が挙げられる。

【0123】

上記式（Ｄ－ＩＩ）～（Ｄ－ＶＩ）において、アシロキシ基としては、炭素原子数２以上１９以下の直鎖又は分岐鎖アシロキシ基（アセトキシ、エチルカルボニルオキシ、プロピルカルボニルオキシ、イソプロピルカルボニルオキシ、ブチルカルボニルオキシ、イソブチルカルボニルオキシ、ｓｅｃ－ブチルカルボニルオキシ、ｔｅｒｔ－ブチルカルボニルオキシ、オクチルカルボニルオキシ、テトラデシルカルボニルオキシ、及びオクタデシルカルボニルオキシ等）等が挙げられる。

【0124】

上記式（Ｄ－ＩＩＩ）～（Ｄ－ＶＩ）において、アリールチオ基としては、炭素原子数６以上２０以下のアリールチオ基（フェニルチオ、２－メチルフェニルチオ、３－メチルフェニルチオ、４－メチルフェニルチオ、２－クロロフェニルチオ、３－クロロフェニルチオ、４－クロロフェニルチオ、２－ブロモフェニルチオ、３－ブロモフェニルチオ、４－ブロモフェニルチオ、２－フルオロフェニルチオ、３－フルオロフェニルチオ、４－フルオロフェニルチオ、２－ヒドロキシフェニルチオ、４－ヒドロキシフェニルチオ、２－メトキシフェニルチオ、４－メトキシフェニルチオ、１－ナフチルチオ、２－ナフチルチオ、４－［４－（フェニルチオ）ベンゾイル］フェニルチオ、４－［４－（フェニルチオ）フェノキシ］フェニルチオ、４－［４－（フェニルチオ）フェニル］フェニルチオ、４－（フェニルチオ）フェニルチオ、４－ベンゾイルフェニルチオ、４－ベンゾイル－２－クロロフェニルチオ、４－ベンゾイル－３－クロロフェニルチオ、４－ベンゾイル－３－メチルチオフェニルチオ、４－ベンゾイル－２－メチルチオフェニルチオ、４－（４－メチルチオベンゾイル）フェニルチオ、４－（２－メチルチオベンゾイル）フェニルチオ、４－（ｐ－メチルベンゾイル）フェニルチオ、４－（ｐ－エチルベンゾイル）フェニルチオ４－（ｐ－イソプロピルベンゾイル）フェニルチオ、及び４－（ｐ－ｔｅｒｔ－ブチルベンゾイル）フェニルチオ等）等が挙げられる。

【0125】

上記式（Ｄ－ＩＩ）～（Ｄ－ＶＩ）において、アルキルチオ基としては、炭素原子数１以上１８以下の直鎖又は分岐鎖アルキルチオ基（メチルチオ、エチルチオ、プロピルチオ、イソプロピルチオ、ブチルチオ、イソブチルチオ、ｓｅｃ－ブチルチオ、ｔｅｒｔ－ブチルチオ、ペンチルチオ、イソペンチルチオ、ネオペンチルチオ、ｔｅｒｔ－ペンチルチオ、オクチルチオ、デシルチオ、ドデシルチオ、及びイソオクタデシルチオ等）等が挙げられる。

【0126】

上記式（Ｄ－ＩＩＩ）～（Ｄ－ＶＩ）において、アリール基としては、炭素原子数６以上１０以下のアリール基（フェニル、トリル、ジメチルフェニル、及びナフチル等）等が挙げられる。

【0127】

上記式（Ｄ－ＩＩ）において、複素環式脂肪族炭化水素基としては、炭素原子数２以上２０以下（好ましくは４以上２０以下）の複素環式炭化水素基（ピロリジニル、テトラヒドロフラニル、テトラヒドロチエニル、ピペリジニル、テトラヒドロピラニル、テトラヒドロチオピラニル、モルホリニル、等）等が挙げられる。

【0128】

上記式（Ｄ－ＩＩＩ）～（Ｄ－ＶＩ）において、複素環式炭化水素基としては、炭素原子数４以上２０以下の複素環式炭化水素基（チエニル、フラニル、セレノフェニル、ピラニル、ピロリル、オキサゾリル、チアゾリル、ピリジル、ピリミジル、ピラジニル、インドリル、ベンゾフラニル、ベンゾチエニル、キノリル、イソキノリル、キノキサリニル、キナゾリニル、カルバゾリル、アクリジニル、フェノチアジニル、フェナジニル、キサンテニル、チアントレニル、フェノキサジニル、フェノキサチイニル、クロマニル、イソクロマニル、ジベンゾチエニル、キサントニル、チオキサントニル、及びジベンゾフラニル等）等が挙げられる。

【0129】

上記式（Ｄ－ＩＩＩ）～（Ｄ－ＶＩ）において、アリールオキシ基としては、炭素原子数６以上１０以下のアリールオキシ基（フェノキシ及びナフチルオキシ等）等が挙げられる。

【0130】

上記式（Ｄ－ＩＩ）～（Ｄ－ＶＩ）において、アルキルスルフィニル基としては、炭素原子数１以上１８以下の直鎖又は分岐鎖スルフィニル基（メチルスルフィニル、エチルスルフィニル、プロピルスルフィニル、イソプロピルスルフィニル、ブチルスルフィニル、イソブチルスルフィニル、ｓｅｃ－ブチルスルフィニル、ｔｅｒｔ－ブチルスルフィニル、ペンチルスルフィニル、イソペンチルスルフィニル、ネオペンチルスルフィニル、ｔｅｒｔ－ペンチルスルフィニル、オクチルスルフィニル、及びイソオクタデシルスルフィニル等）等が挙げられる。

【0131】

上記式（Ｄ－ＩＩＩ）～（Ｄ－ＶＩ）において、アリールスルフィニル基としては、炭素原子数６以上１０以下のアリールスルフィニル基（フェニルスルフィニル、トリルスルフィニル、及びナフチルスルフィニル等）等が挙げられる。

【0132】

上記式（Ｄ－ＩＩ）～（Ｄ－ＶＩ）において、アルキルスルホニル基としては、炭素原子数１以上１８以下の直鎖又は分岐鎖アルキルスルホニル基（メチルスルホニル、エチルスルホニル、プロピルスルホニル、イソプロピルスルホニル、ブチルスルホニル、イソブチルスルホニル、ｓｅｃ－ブチルスルホニル、ｔｅｒｔ－ブチルスルホニル、ペンチルスルホニル、イソペンチルスルホニル、ネオペンチルスルホニル、ｔｅｒｔ－ペンチルスルホニル、オクチルスルホニル、及びオクタデシルスルホニル等）等が挙げられる。

【0133】

上記式（Ｄ－ＩＩＩ）～（Ｄ－ＶＩ）において、アリールスルホニル基としては、炭素原子数６以上１０以下のアリールスルホニル基（フェニルスルホニル、トリルスルホニル（トシル基）、及びナフチルスルホニル等）等が挙げられる。

【0134】

上記式（Ｄ－ＩＩ）～（Ｄ－ＶＩ）において、ヒドロキシ（ポリ）アルキレンオキシ基としては、ＨＯ（ＡＯ）_ｑ－（式中、ＡＯは独立にエチレンオキシ基及び／又はプロピレンオキシ基を表し、ｑは１以上５以下の整数を表す。）で表されるヒドロキシ（ポリ）アルキレンオキシ基等が挙げられる。

【0135】

上記式（Ｄ－ＩＩ）～（Ｄ－ＶＩ）において、置換されていてよいアミノ基としては、アミノ基（－ＮＨ_２）及び炭素原子数１以上１５以下の置換アミノ基（メチルアミノ、ジメチルアミノ、エチルアミノ、メチルエチルアミノ、ジエチルアミノ、ｎ－プロピルアミノ、メチル－ｎ－プロピルアミノ、エチル－ｎ－プロピルアミノ、ｎ－プロピルアミノ、イソプロピルアミノ、イソプロピルメチルアミノ、イソプロピルエチルアミノ、ジイソプロピルアミノ、フェニルアミノ、ジフェニルアミノ、メチルフェニルアミノ、エチルフェニルアミノ、ｎ－プロピルフェニルアミノ、及びイソプロピルフェニルアミノ等）等が挙げられる。

【0136】

上記式（Ｄ－ＩＩＩ）及び（Ｄ－ＩＶ）において、アルキレン基としては、炭素原子数１以上１８以下の直鎖又は分岐鎖アルキレン基（メチレン基、１，２－エチレン基、１，１－エチレン基、プロパン－１，３－ジイル基、プロパン－１，２－ジイル基、プロパン－１，１－ジイル基、プロパン－２，２－ジイル基、ブタン－１，４－ジイル基、ブタン－１，３－ジイル基、ブタン－１，２－ジイル基、ブタン－１，１－ジイル基、ブタン－２，２－ジイル基、ブタン－２，３－ジイル基、ペンタン－１，５－ジイル基、ペンタン－１，４－ジイル基、ヘキサン－１，６－ジイル基、ヘプタン－１，７－ジイル基、オクタン－１，８－ジイル基、２－エチルヘキサン－１，６－ジイル基、ノナン－１，９－ジイル基、デカン－１，１０－ジイル基、ウンデカン－１，１１－ジイル基、ドデカン－１，１２－ジイル基、トリデカン－１，１３－ジイル基、テトラデカン－１，１４－ジイル基、ペンタデカン－１，１５－ジイル基、及びヘキサデカン－１，１６－ジイル基等）等が挙げられる。

【0137】

上記式（Ｄ－Ｉ）で表されるスルホニウム塩（Ｑ）のカチオン部の具体例としては、以下のものが挙げられる。上記式（Ｄ－Ｉ）で表されるスルホニウム塩（Ｑ）のアニオン部の具体例としては、上記Ｘ^－の説明で挙げたもの等、従来公知のものを挙げることができる。上記式（Ｄ－Ｉ）で表されるスルホニウム塩（Ｑ）は上記スキームに従って合成することができ、必要に応じさらに塩交換することにより、カチオン部を所望のアニオン部と組み合わせることができ、特に、Ｒ^ｘ１ _ｃＢＹ_４－ｃ ^－（式中、Ｒ^ｘ１は水素原子の少なくとも一部がハロゲン原子又は電子求引基で置換されたフェニル基を示し、Ｙはハロゲン原子を示し、ｃは１以上４以下の整数を示す。）で表されるアニオンとの組み合わせが好ましい。

【0138】

【化19】

【0139】

上記の好ましいカチオン部の群の中では、下記式で表されるカチオン部がより好ましい。

【化20】

【0140】

硬化性組成物におけるオニウム塩（Ｄ１）の含有量は、硬化性組成物の硬化が良好に進行する限り特に限定されない。硬化性組成物を良好に硬化させやすい点から、硬化性組成物におけるオニウム塩（Ｄ１）の含有量は、典型的には、エポキシ化合物、及び／又はオキセタン化合物等のオニウム塩（Ｄ１）により硬化する材料１００質量部に対して、０．０１質量部以上５０質量部以上であり、０．０１質量部以上３０質量部以下が好ましく、０．０１質量部以上２０質量部以下がより好ましく、０．０５質量部以上１５質量部以下がさらに好ましく、１質量部以上１０質量部以下が特に好ましい。

【0141】

・エポキシ化合物又はオキセタン化合物用硬化剤（Ｄ２）
エポキシ化合物又はオキセタン化合物用硬化剤（Ｄ２）（以下、硬化剤（Ｄ２）とも記す。）は、上記のオニウム塩（Ｄ１）以外の硬化剤であって、従来公知の硬化剤から適宜選択することができる。硬化剤（Ｄ２）は、エポキシ化合物又はオキセタン化合物とともに使用されることで、加熱による硬化に寄与する。

【0142】

硬化剤（Ｄ２）としては、例えば、フェノール系硬化剤、酸無水物系硬化剤、多価アミン系硬化剤、触媒型硬化剤が挙げられる。
フェノール系硬化剤、及び酸無水物系硬化剤の使用量は、硬化性組成物中のエポキシ化合物及びオキセタン化合物の合計量１００質量部に対して、１質量部以上２００質量部以下が好ましく、５０質量部以上１５０質量部以下がより好ましく、８０質量部以上１２０質量部以下が特に好ましい。フェノール系硬化剤、及び酸無水物系硬化剤は、それぞれ単独で用いられてもよく、２種以上を組み合わせて用いられてもよい。
多価アミン系硬化剤の使用量は、硬化性組成物のエポキシ化合物及びオキセタン化合物の合計量１００質量部に対して、０．１質量部以上５０質量部以下が好ましく、０．５質量部以上３０質量部以下がより好ましく、１質量部１５質量部が特に好ましい。これらの多価アミン系硬化剤は、単独で用いられてもよく、２種以上を組み合わせて用いられてもよい。
触媒型硬化剤の使用量は、硬化性組成物のエポキシ化合物及びオキセタン化合物の合計量１００質量部に対して、１質量部以上１００質量部以下が好ましく、１質量部以上８０質量部以下がより好ましく、１質量部以上５０質量部以下が特に好ましい。これらの触媒型硬化剤は、単独で用いられてもよく、２種以上を組み合わせて用いられてもよい。

【0143】

・熱により塩基成分を発生する硬化剤（Ｄ３）
熱により塩基成分を発生する硬化剤（Ｄ３）としては、従来から熱塩基発生剤として使用されている化合物を特に限定なく用いることができる。
例えば、２－ベンジル－２－ジメチルアミノ－１－（４－モルフォリノフェニル）－ブタン－１－オンを、熱により塩基成分を発生する効果剤として用いることができる。なお、２－ベンジル－２－ジメチルアミノ－１－（４－モルフォリノフェニル）－ブタン－１－オンは光の作用によっても塩基を発生させる。

【0144】

また、加熱により下式（ｄ１）で表されるイミダゾール化合物を発生させる化合物（以下、熱イミダゾール発生剤とも記す）も、硬化剤として好ましく使用される。

【化21】

（式（ｄ１）中、Ｒ^ｄ１、Ｒ^ｄ２、及びＲ^ｄ３は、それぞれ独立に水素原子、ハロゲン原子、水酸基、メルカプト基、スルフィド基、シリル基、シラノール基、ニトロ基、ニトロソ基、ホスフィノ基、スルホナト基、ホスフィニル基、ホスホナト基、又は有機基を示す。）

【0145】

Ｒ^ｄ１、Ｒ^ｄ２、及びＲ^ｄ３における有機基としては、アルキル基、アルケニル基、シクロアルキル基、シクロアルケニル基、アリール基、アラルキル基等が挙げられる。この有機基は、該有機基中にヘテロ原子等の炭化水素基以外の結合や置換基を含んでいてもよい。また、この有機基は、直鎖状、分岐鎖状、環状のいずれでもよい。この有機基は、通常は１価であるが、環状構造を形成する場合等には、２価以上の有機基となり得る。

【0146】

Ｒ^ｄ１及びＲ^ｄ２は、それらが結合して環状構造を形成していてもよく、ヘテロ原子の結合をさらに含んでいてもよい。環状構造としては、ヘテロシクロアルキル基、ヘテロアリール基等が挙げられ、縮合環であってもよい。

【0147】

Ｒ^ｄ１、Ｒ^ｄ２、及びＲ^ｄ３の有機基に含まれる結合は、本発明の効果が損なわれない限り特に限定されず、有機基は、酸素原子、窒素原子、珪素原子等のヘテロ原子を含む結合を含んでいてもよい。ヘテロ原子を含む結合の具体例としては、エーテル結合、チオエーテル結合、カルボニル結合、チオカルボニル結合、エステル結合、アミド結合、ウレタン結合、イミノ結合（－Ｎ＝Ｃ（－Ｒ^ｄ０）－、－Ｃ（＝ＮＲ^ｄ０）－：Ｒ^ｄ０は水素原子又は有機基を示す）、カーボネート結合、スルホニル結合、スルフィニル結合、アゾ結合等が挙げられる。

【0148】

Ｒ^ｄ１、Ｒ^ｄ２、及びＲ^ｄ３の有機基が有してもよいヘテロ原子を含む結合としては、イミダゾール化合物の耐熱性の観点から、エーテル結合、チオエーテル結合、カルボニル結合、チオカルボニル結合、エステル結合、アミド結合、ウレタン結合、イミノ結合（－Ｎ＝Ｃ（－Ｒ^ｄ０）－、－Ｃ（＝ＮＲ^ｄ０）－：Ｒ^ｄ０は水素原子又は有機基を示す）、カーボネート結合、スルホニル結合、スルフィニル結合が好ましい。

【0149】

Ｒ^ｄ１、Ｒ^ｄ２、及びＲ^ｄ３の有機基が炭化水素基以外の置換基である場合、Ｒ^ｄ１、Ｒ^ｄ２、及びＲ^ｄ３は本発明の効果が損なわれない限り特に限定されない。Ｒ^ｄ１、Ｒ^ｄ２、及びＲ^ｄ３の具体例としては、ハロゲン原子、水酸基、メルカプト基、スルフィド基、シアノ基、イソシアノ基、シアナト基、イソシアナト基、チオシアナト基、イソチオシアナト基、シリル基、シラノール基、アルコキシ基、アルコキシカルボニル基、カルバモイル基、チオカルバモイル基、ニトロ基、ニトロソ基、カルボキシラート基、アシル基、アシルオキシ基、スルフィノ基、スルホナト基、ホスフィノ基、ホスフィニル基、ホスホナト基、アルキルエーテル基、アルケニルエーテル基、アルキルチオエーテル基、アルケニルチオエーテル基、アリールエーテル基、アリールチオエーテル基等が挙げられる。上記置換基に含まれる水素原子は、炭化水素基によって置換されていてもよい。また、上記置換基に含まれる炭化水素基は、直鎖状、分岐鎖状、及び環状のいずれでもよい。

【0150】

Ｒ^ｄ１、Ｒ^ｄ２、及びＲ^ｄ３としては、水素原子、炭素原子数１以上１２以下のアルキル基、炭素原子数６以上１２以下のアリール基、炭素原子数１以上１２以下のアルコキシ基、及びハロゲン原子が好ましく、水素原子がより好ましい。

【0151】

熱イミダゾール発生剤は、加熱により上記式（ｄ１）で表されるイミダゾール化合物を発生させることができる化合物であれば特に限定されない。従来から種々の組成物に配合されている、熱の作用によりアミンを発生する化合物（熱塩基発生剤）について、加熱時に発生するアミンに由来する骨格を、上記式（ｄ１）で表されるイミダゾール化合物に由来する骨格に置換することにより、熱イミダゾール発生剤として使用される化合物が得られる。

【0152】

好適な熱イミダゾール発生剤としては、下記式（ｄ２）：

【化22】

（式（ｄ２）中、Ｒ^ｄ１、Ｒ^ｄ２、及びＲ^ｄ３は、それぞれ独立に水素原子、ハロゲン原子、水酸基、メルカプト基、スルフィド基、シリル基、シラノール基、ニトロ基、ニトロソ基、スルホナト基、ホスフィノ基、ホスフィニル基、ホスホナト基、又は有機基を示す。Ｒ^ｄ４及びＲ^ｄ５は、それぞれ独立に水素原子、ハロゲン原子、水酸基、メルカプト基、スルフィド基、シリル基、シラノール基、ニトロ基、ニトロソ基、スルフィノ基、スルホ基、スルホナト基、ホスフィノ基、ホスフィニル基、ホスホノ基、ホスホナト基、又は有機基を示す。Ｒ^ｄ６、Ｒ^ｄ７、Ｒ^ｄ８、Ｒ^ｄ９、及びＲ^ｄ１０は、それぞれ独立に水素原子、ハロゲン原子、水酸基、メルカプト基、スルフィド基、シリル基、シラノール基、ニトロ基、ニトロソ基、スルフィノ基、スルホ基、スルホナト基、ホスフィノ基、ホスフィニル基、ホスホノ基、ホスホナト基、アミノ基、アンモニオ基、又は有機基を示す。Ｒ^ｄ６、Ｒ^ｄ７、Ｒ^ｄ８、Ｒ^ｄ９、及びＲ^ｄ１０は、それらの２つ以上が結合して環状構造を形成していてもよく、ヘテロ原子の結合を含んでいてもよい。）
で表される化合物が挙げられる。

【0153】

式（ｄ２）において、Ｒ^ｄ１、Ｒ^ｄ２、及びＲ^ｄ３は、式（ｄ１）について説明したものと同様である。

【0154】

式（ｄ２）において、Ｒ^ｄ４及びＲ^ｄ５は、それぞれ独立に水素原子、ハロゲン原子、水酸基、メルカプト基、スルフィド基、シリル基、シラノール基、ニトロ基、ニトロソ基、スルフィノ基、スルホ基、スルホナト基、ホスフィノ基、ホスフィニル基、ホスホノ基、ホスホナト基、又は有機基を示す。

【0155】

Ｒ^ｄ４及びＲ^ｄ５における有機基としては、Ｒ^ｄ１、Ｒ^ｄ２、及びＲ^ｄ３について例示したものが挙げられる。この有機基は、Ｒ^ｄ１、Ｒ^ｄ２、及びＲ^ｄ３の場合と同様に、該有機基中にヘテロ原子を含んでいてもよい。また、この有機基は、直鎖状、分岐鎖状、環状のいずれでもよい。

【0156】

以上の中でも、Ｒ^ｄ４及びＲ^ｄ５としては、それぞれ独立に水素原子、炭素原子数１以上１０以下のアルキル基、炭素原子数４以上１３以下のシクロアルキル基、炭素原子数４以上１３以下のシクロアルケニル基、炭素原子数７以上１６以下のアリールオキシアルキル基、炭素原子数７以上２０以下のアラルキル基、シアノ基を有する炭素原子数２以上１１以下のアルキル基、水酸基を有する炭素原子数１以上１０以下のアルキル基、炭素原子数１以上１０以下のアルコキシ基、炭素原子数２以上１１以下のアミド基、炭素原子数１以上１０以下のアルキルチオ基、炭素原子数１以上１０以下のアシル基、炭素原子数２以上１１以下のエステル基（－ＣＯＯＲ^ｄ、－ＯＣＯＲ^ｄ：Ｒ^ｄは炭化水素基を示す）、炭素原子数６以上２０以下のアリール基、電子供与性基及び／又は電子吸引性基が置換した炭素原子数６以上２０以下のアリール基、電子供与性基及び／又は電子吸引性基が置換したベンジル基、シアノ基、メチルチオ基であることが好ましい。より好ましくは、Ｒ^ｄ４及びＲ^ｄ５の両方が水素原子であるか、又はＲ^ｄ４がメチル基であり、Ｒ^ｄ５が水素原子である。

【0157】

式（ｄ２）において、Ｒ^ｄ６、Ｒ^ｄ７、Ｒ^ｄ８、Ｒ^ｄ９、及びＲ^ｄ１０は、それぞれ独立に水素原子、ハロゲン原子、水酸基、メルカプト基、スルフィド基、シリル基、シラノール基、ニトロ基、ニトロソ基、スルフィノ基、スルホ基、スルホナト基、ホスフィノ基、ホスフィニル基、ホスホノ基、ホスホナト基、アミノ基、アンモニオ基、又は有機基を示す。

【0158】

Ｒ^ｄ６、Ｒ^ｄ７、Ｒ^ｄ８、Ｒ^ｄ９、及びＲ^ｄ１０における有機基としては、Ｒ^ｄ１、Ｒ^ｄ２、及びＲ^ｄ３において例示したものが挙げられる。この有機基は、Ｒ^ｄ１及びＲ^ｄ２の場合と同様に、該有機基中にヘテロ原子等の炭化水素基以外の結合や置換基を含んでいてもよい。また、この有機基は、直鎖状、分岐鎖状、環状のいずれでもよい。

【0159】

Ｒ^ｄ６、Ｒ^ｄ７、Ｒ^ｄ８、Ｒ^ｄ９、及びＲ^ｄ１０は、それらの２つ以上が結合して環状構造を形成していてもよく、ヘテロ原子の結合を含んでいてもよい。環状構造としては、ヘテロシクロアルキル基、ヘテロアリール基等が挙げられ、縮合環であってもよい。例えば、Ｒ^ｄ６、Ｒ^ｄ７、Ｒ^ｄ８、Ｒ^ｄ９、及びＲ^ｄ１０は、それらの２つ以上が結合して、Ｒ^ｄ６、Ｒ^ｄ７、Ｒ^ｄ８、Ｒ^ｄ９、及びＲ^ｄ１０が結合しているベンゼン環の原子を共有してナフタレン、アントラセン、フェナントレン、インデン等の縮合環を形成してもよい。

【0160】

以上の中でも、Ｒ^ｄ６、Ｒ^ｄ７、Ｒ^ｄ８、Ｒ^ｄ９、及びＲ^ｄ１０としては、それぞれ独立に水素原子、炭素原子数１以上１０以下のアルキル基、炭素原子数４以上１３以下のシクロアルキル基、炭素原子数４以上１３以下のシクロアルケニル基、炭素原子数７以上１６以下のアリールオキシアルキル基、炭素原子数７以上２０以下のアラルキル基、シアノ基を有する炭素原子数２以上１１以下のアルキル基、水酸基を有する炭素原子数１以上１０以下のアルキル基、炭素原子数１以上１０以下のアルコキシ基、炭素原子数２以上１１以下のアミド基、炭素原子数１以上１０以下のアルキルチオ基、炭素原子数１以上１０以下のアシル基、炭素原子数２以上１１以下のエステル基、炭素原子数６以上２０以下のアリール基、電子供与性基及び／又は電子吸引性基が置換した炭素原子数６以上２０以下のアリール基、電子供与性基及び／又は電子吸引性基が置換したベンジル基、シアノ基、メチルチオ基、ニトロ基であることが好ましい。

【0161】

また、Ｒ^ｄ６、Ｒ^ｄ７、Ｒ^ｄ８、Ｒ^ｄ９、及びＲ^ｄ１０としては、それらの２つ以上が結合して、Ｒ^ｄ６、Ｒ^ｄ７、Ｒ^ｄ８、Ｒ^ｄ９、及びＲ^ｄ１０が結合しているベンゼン環の原子を共有してナフタレン、アントラセン、フェナントレン、インデン等の縮合環を形成している場合も好ましい。

【0162】

上記式（ｄ２）で表される化合物の中では、下記式（ｄ３）：

【化23】

（式（ｄ３）中、Ｒ^ｄ１、Ｒ^ｄ２、及びＲ^ｄ３は、式（ｄ１）及び（ｄ２）と同義である。Ｒ^ｄ４～Ｒ^ｄ９は式（ｄ２）と同義である。Ｒ^ｄ１１は、水素原子又は有機基を示す。Ｒ^ｄ６及びＲ^ｄ７が水酸基となることはない。Ｒ^ｄ６、Ｒ^ｄ７、Ｒ^ｄ８、及びＲ^ｄ９は、それらの２つ以上が結合して環状構造を形成していてもよく、ヘテロ原子の結合を含んでいてもよい。）
で表される化合物が好ましい。

【0163】

式（ｄ３）で表される化合物は、置換基－Ｏ－Ｒ^ｄ１１を有するため、有機溶媒に対する溶解性に優れる。

【0164】

式（ｄ３）において、Ｒ^ｄ１１は、水素原子又は有機基である。Ｒ^ｄ１１が有機基である場合、有機基としては、Ｒ^ｄ１、Ｒ^ｄ２、及びＲ^ｄ３において例示したものが挙げられる。この有機基は、該有機基中にヘテロ原子を含んでいてもよい。また、この有機基は、直鎖状、分岐鎖状、環状のいずれでもよい。Ｒ^ｄ１１としては、水素原子、炭素原子数１以上１２以下のアルキル基若しくはアルコキシアルキル基が好ましく、メチル基、エチル基、ｎ－プロピル基、イソプロピル基、ｎ－ブチル基、イソブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基、メトキシメチル基、エトキシメチル基、メトキシエチル基、エトキシエチル基、プロポキシメチル基、ブトキシメチル基がより好ましい。

【0165】

熱イミダゾール発生剤として特に好適な化合物の具体例を以下に示す。

【化24】

【0166】

・有機溶剤（Ｓ）
硬化性組成物は、典型的には、塗布性の調整の目的等で有機溶剤（Ｓ）を含んでいてもよい。有機溶剤（Ｓ）としては、例えば、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコール－ｎ－プロピルエーテル、エチレングリコールモノ－ｎ－ブチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノ－ｎ－プロピルエーテル、ジエチレングリコールモノ－ｎ－ブチルエーテル、トリエチレングリコールモノメチルエーテル、トリエチレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノ－ｎ－プロピルエーテル、プロピレングリコールモノ－ｎ－ブチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノ－ｎ－プロピルエーテル、ジプロピレングリコールモノ－ｎ－ブチルエーテル、トリプロピレングリコールモノメチルエーテル、トリプロピレングリコールモノエチルエーテル等の（ポリ）アルキレングリコールモノアルキルエーテル類；エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート等の（ポリ）アルキレングリコールモノアルキルエーテルアセテート類；ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、テトラヒドロフラン等の他のエーテル類；メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、２－ヘプタノン、３－ヘプタノン等のケトン類；２－ヒドロキシプロピオン酸メチル、２－ヒドロキシプロピオン酸エチル等の乳酸アルキルエステル類；２－ヒドロキシ－２－メチルプロピオン酸エチル、３－メトキシプロピオン酸メチル、３－メトキシプロピオン酸エチル、３－エトキシプロピオン酸メチル、３－エトキシプロピオン酸エチル、エトキシ酢酸エチル、ヒドロキシ酢酸エチル、２－ヒドロキシ－３－メチルブタン酸メチル、３－メトキシブチルアセテート、３－メチル－３－メトキシブチルアセテート、３－メチル－３－メトキシブチルプロピオネート、酢酸エチル、酢酸ｎ－プロピル、酢酸イソプロピル、酢酸ｎ－ブチル、酢酸イソブチル、蟻酸ｎ－ペンチル、酢酸イソペンチル、プロピオン酸ｎ－ブチル、酪酸エチル、酪酸ｎ－プロピル、酪酸イソプロピル、酪酸ｎ－ブチル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸ｎ－プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、２－オキソブタン酸エチル等の他のエステル類；トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素類；Ｎ－メチルピロリドン、Ｎ，Ｎ－ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ－ジメチルアセトアミド等のアミド類等が挙げられる。これらの溶剤は、単独で用いてもよく、２種以上を組み合わせて用いてもよい。

【0167】

有機溶剤（Ｓ）の使用量は、硬化性組成物の用途に応じて適宜決定し得る。有機溶剤（Ｓ）の使用量としては、一例として、硬化性組成物の固形分濃度が１質量％以上５０質量％以下の範囲である量が挙げられる。

【0168】

・その他の成分
硬化性組成物には、必要に応じて、上記の成分以外のその他の各種の添加剤を含んでいてもよい。具体的には、分散助剤、充填剤、フィラー、密着促進剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、凝集防止剤、熱重合禁止剤、消泡剤、界面活性剤等が例示される。

【0169】

（第２の硬化性組成物）
第２の硬化性組成物は、前述の（メタ）アクリル樹脂（Ａ１）と、光重合性モノマー（Ｂ）と、光重合開始剤（Ｃ）とを含む。第２の硬化性組成物は、（メタ）アクリル樹脂（Ａ１）として、アルカリ可溶性基を有する構成単位を含む樹脂を含有する。
第２の硬化性組成物は、光重合性モノマー（Ｂ）と光重合開始剤（Ｃ）とを含むことにより露光により硬化する。他方で、露光されていない状態の第２の硬化性組成物は、アルカリ可溶性基を有する構成単位を含む（メタ）アクリル樹脂（Ａ１）を含有するため、アルカリ現像液に対して可溶である。このため、第２の硬化性組成物を用いる場合、ネガ型のフォトマスクを用いるフォトリソグラフィー法にようる硬化膜のパターニングが可能である。
第２の硬化性組成物は、エポキシ基を有する（メタ）アクリル樹脂（Ａ１）を含むため、加熱によっても硬化し得る。第２の硬化性組成物は、エポキシ化合物用の硬化剤を含んでいなくてもよい。（メタ）アクリル樹脂が有する、フェノール性水酸基やカルボキシ基等のアルカリ可溶性基の作用により、エポキシ基の硬化反応が進行するためである。

【0170】

以下、第２の硬化性組成物が含んでいてもよい、必須又は任意の成分について説明する。

【0171】

・（メタ）アクリル樹脂（Ａ１）
アルカリ可溶性基を有する構成単位を含む（メタ）アクリル樹脂（Ａ１）については、前述の通りである。

【0172】

・その他の樹脂
第２の硬化性組成物は、（メタ）アクリル樹脂（Ａ１）以外のその他の樹脂として、種々のアルカリ可溶性樹脂を含んでいてもよい。
硬化物の比誘電率の低さから、第２の硬化性組成物において、（メタ）アクリル樹脂（Ａ１）の質量と、その他の樹脂の質量との合計に対する、（メタ）アクリル樹脂（Ａ１）の質量の比率は、５０質量％以上が好ましく、７０質量％以上がより好ましく、８０質量％以上がさらに好ましく、９０質量％以上がさらにより好ましく、１００質量％が特に好ましい。

【0173】

以下、その他の樹脂として好適なアルカリ可溶性樹脂について説明する。

【0174】

好適なアルカリ可溶性樹脂としては、カルド構造を有する樹脂（ａ－１）（以下、「カルド樹脂（ａ－１）」とも記す。）が挙げられる。

【0175】

カルド構造を有する樹脂（ａ－１）としては、その構造中にカルド構造を有し、所定のアルカリ可溶性を有する樹脂を用いることができる。カルド構造とは、第１の環状構造を構成している１つの環炭素原子に、第２の環状構造と第３の環状構造とが結合した構造をいう。なお、第２の環状構造と、第３の環状構造とは、同一の構造であっても異なった構造であってもよい。
カルド構造の代表的な例としては、フルオレン環の９位の炭素原子に２つの芳香環（例えばベンゼン環）が結合した構造が挙げられる。

【0176】

カルド樹脂（ａ－１）としては、特に限定されず、従来公知の樹脂を用いることができる。その中でも、下記式（ａ－１）で表される樹脂が好ましい。

【0177】

【化25】

【0178】

式（ａ－１）中、Ｘ^ａは、下記式（ａ－２）で表される基を示す。ｔ１は０以上２０以下の整数を示す。

【0179】

【化26】

【0180】

上記式（ａ－２）中、Ｒ^ａ１は、それぞれ独立に水素原子、炭素原子数１以上６以下の炭化水素基、又はハロゲン原子を示し、Ｒ^ａ２は、それぞれ独立に水素原子又はメチル基を示し、Ｒ^ａ３は、それぞれ独立に直鎖又は分岐鎖のアルキレン基を示し、ｔ２は、０又は１を示し、Ｗ^ａは、下記式（ａ－３）で表される基を示す。

【0181】

【化27】

【0182】

式（ａ－２）中、Ｒ^ａ３としては、炭素原子数１以上２０以下のアルキレン基が好ましく、炭素原子数１以上１０以下のアルキレン基がより好ましく、炭素原子数１以上６以下のアルキレン基が特に好ましく、エタン－１，２－ジイル基、プロパン－１，２－ジイル基、及びプロパン１，３－ジイル基が最も好ましい。

【0183】

式（ａ－３）中の環Ａ^１は、芳香族環と縮合していてもよく置換基を有していてもよい脂肪族環を示す。脂肪族環は、脂肪族炭化水素環であっても、脂肪族複素環であってもよい。
脂肪族環としては、モノシクロアルカン、ビシクロアルカン、トリシクロアルカン、テトラシクロアルカン等が挙げられる。
具体的には、シクロペンタン、シクロヘキサン、シクロヘプタン、シクロオクタン等のモノシクロアルカンや、アダマンタン、ノルボルナン、イソボルナン、トリシクロデカン、テトラシクロドデカンが挙げられる。
脂肪族環に縮合してもよい芳香族環は、芳香族炭化水素環でも芳香族複素環でもよく、芳香族炭化水素環が好ましい。具体的にはベンゼン環、及びナフタレン環が好ましい。

【0184】

式（ａ－３）で表される２価基の好適な例としては、下記の基が挙げられる。

【化28】

【0185】

式（ａ－１）中の２価基Ｘ^ａは、残基Ｚ^ａを与えるテトラカルボン酸二無水物と、下式（ａ－２ａ）で表されるジオール化合物とを反応させることにより、カルド樹脂（ａ－１）中に導入される。

【化29】

【0186】

式（ａ－２ａ）中、Ｒ^ａ１、Ｒ^ａ２、Ｒ^ａ３、及びｔ２は、式（ａ－２）について説明した通りである。式（ａ－２ａ）中の環Ａ^１については、式（ａ－３）について説明した通りである。

【0187】

式（ａ－２ａ）で表されるジオール化合物は、例えば、以下の方法により製造し得る。
まず、下記式（ａ－２ｂ）で表されるジオール化合物が有するフェノール性水酸基中の水素原子を、必要に応じて、常法に従って、－Ｒ^ａ３－ＯＨで表される基に置換した後、エピクロルヒドリン等を用いてグリシジル化して、下記式（ａ－２ｃ）で表されるエポキシ化合物を得る。
次いで、式（ａ－２ｃ）で表されるエポキシ化合物を、アクリル酸又はメタクリル酸と反応させることにより、式（ａ－２ａ）で表されるジオール化合物が得られる。
式（ａ－２ｂ）及び式（ａ－２ｃ）中、Ｒ^ａ１、Ｒ^ａ３、及びｔ２は、式（ａ－２）について説明した通りである。式（ａ－２ｂ）及び式（ａ－２ｃ）中の環Ａ^１については、式（ａ－３）について説明した通りである。
なお、式（ａ－２ａ）で表されるジオール化合物の製造方法は、上記の方法に限定されない。

【化30】

【0188】

式（ａ－２ｂ）で表されるジオール化合物の好適な例としては、以下のジオール化合物が挙げられる。

【化31】

【0189】

上記式（ａ－１）中、Ｒ^ａ０は水素原子又は－ＣＯ－Ｙ^ａ－ＣＯＯＨで表される基である。ここで、Ｙ^ａは、ジカルボン酸無水物から酸無水物基（－ＣＯ－Ｏ－ＣＯ－）を除いた残基を示す。ジカルボン酸無水物の例としては、無水マレイン酸、無水コハク酸、無水イタコン酸、無水フタル酸、無水テトラヒドロフタル酸、無水ヘキサヒドロフタル酸、無水メチルエンドメチレンテトラヒドロフタル酸、無水クロレンド酸、メチルテトラヒドロ無水フタル酸、無水グルタル酸等が挙げられる。

【0190】

上記式（ａ－１）中、Ｚ^ａは、テトラカルボン酸二無水物から２個の酸無水物基を除いた残基を示す。テトラカルボン酸二無水物の例としては、下記式（ａ－４）で表されるテトラカルボン酸二無水物、ピロメリット酸二無水物、ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、ビフェニルエーテルテトラカルボン酸二無水物等が挙げられる。中でも、ピロメリット酸二無水物又はビフェニルテトラカルボン酸二無水物が好ましく、現像プロセスマージンが広い点で、ピロメリット酸二無水物が好ましい。
上記式（ａ－１）中、ｔ１は、０以上２０の整数を示す。

【0191】

【化32】

（式（ａ－４）中、Ｒ^ａ４、Ｒ^ａ５、及びＲ^ａ６は、それぞれ独立に、水素原子、炭素原子数１以上１０以下のアルキル基及びフッ素原子からなる群より選択される１種を示し、ｔ３は、０以上１２以下の整数を示す。）

【0192】

式（ａ－４）中のＲ^ａ４として選択され得るアルキル基は、炭素原子数が１以上１０以下のアルキル基である。アルキル基の備える炭素原子数をこの範囲に設定することで、得られるカルボン酸エステルの耐熱性を一段と向上させることができる。Ｒ^ａ４がアルキル基である場合、その炭素原子数は、耐熱性に優れるカルド樹脂を得やすい点から、１以上６以下が好ましく、１以上５以下がより好ましく、１以上４以下がさらに好ましく、１以上３以下が特に好ましい。
Ｒ^ａ４がアルキル基である場合、当該アルキル基は直鎖状でも分岐鎖状でもよい。

【0193】

式（ａ－４）中のＲ^ａ４としては、耐熱性に優れるカルド樹脂を得やすい点から、それぞれ独立に、水素原子又は炭素原子数１以上１０以下のアルキル基がより好ましい。式（ａ－４）中のＲ^ａ４は、水素原子、メチル基、エチル基、ｎ－プロピル基又はイソプロピル基がより好ましく、水素原子又はメチル基が特に好ましい。
式（ａ－４）中の複数のＲ^ａ４は、高純度のテトラカルボン酸二無水物の調製が容易であることから、同一の基であるのが好ましい。

【0194】

式（ａ－４）中のｔ３は０以上１２以下の整数を示す。ｔ３の値を１２以下とすることによって、テトラカルボン酸二無水物の精製を容易にすることができる。
テトラカルボン酸二無水物の精製が容易である点から、ｔ３の上限は５が好ましく、３がより好ましい。
テトラカルボン酸二無水物の化学的安定性の点から、ｔ３の下限は１が好ましく、２がより好ましい。
式（ａ－４）中のｔ３は、２又は３が特に好ましい。

【0195】

式（ａ－４）中のＲ^ａ５、及びＲ^ａ６として選択され得る炭素原子数１以上１０以下のアルキル基は、Ｒ^ａ４として選択され得る炭素原子数１以上１０以下のアルキル基と同様である。
Ｒ^ａ５、及びＲ^ａ６は、テトラカルボン酸二無水物の精製が容易である点から、水素原子、又は炭素原子数１以上１０以下（好ましくは１以上６以下、より好ましくは１以上５以下、さらに好ましくは１以上４以下、特に好ましくは１以上３以下）のアルキル基であるのが好ましく、水素原子又はメチル基であるのが特に好ましい。

【0196】

式（ａ－４）で表されるテトラカルボン酸二無水物としては、例えば、ノルボルナン－２－スピロ－α－シクロペンタノン－α’－スピロ－２’’－ノルボルナン－５，５’’，６，６’’－テトラカルボン酸二無水物（別名「ノルボルナン－２－スピロ－２’－シクロペンタノン－５’－スピロ－２’’－ノルボルナン－５，５’’，６，６’’－テトラカルボン酸二無水物」）、メチルノルボルナン－２－スピロ－α－シクロペンタノン－α’－スピロ－２’’－（メチルノルボルナン）－５，５’’，６，６’’－テトラカルボン酸二無水物、ノルボルナン－２－スピロ－α－シクロヘキサノン－α’－スピロ－２’’－ノルボルナン－５，５’’，６，６’’－テトラカルボン酸二無水物（別名「ノルボルナン－２－スピロ－２’－シクロヘキサノン－６’－スピロ－２’’－ノルボルナン－５，５’’，６，６’’－テトラカルボン酸二無水物」）、メチルノルボルナン－２－スピロ－α－シクロヘキサノン－α’－スピロ－２’’－（メチルノルボルナン）－５，５’’，６，６’’－テトラカルボン酸二無水物、ノルボルナン－２－スピロ－α－シクロプロパノン－α’－スピロ－２’’－ノルボルナン－５，５’’，６，６’’－テトラカルボン酸二無水物、ノルボルナン－２－スピロ－α－シクロブタノン－α’－スピロ－２’’－ノルボルナン－５，５’’，６，６’’－テトラカルボン酸二無水物、ノルボルナン－２－スピロ－α－シクロヘプタノン－α’－スピロ－２’’－ノルボルナン－５，５’’，６，６’’－テトラカルボン酸二無水物、ノルボルナン－２－スピロ－α－シクロオクタノン－α’－スピロ－２’’－ノルボルナン－５，５’’，６，６’’－テトラカルボン酸二無水物、ノルボルナン－２－スピロ－α－シクロノナノン－α’－スピロ－２’’－ノルボルナン－５，５’’，６，６’’－テトラカルボン酸二無水物、ノルボルナン－２－スピロ－α－シクロデカノン－α’－スピロ－２’’－ノルボルナン－５，５’’，６，６’’－テトラカルボン酸二無水物、ノルボルナン－２－スピロ－α－シクロウンデカノン－α’－スピロ－２’’－ノルボルナン－５，５’’，６，６’’－テトラカルボン酸二無水物、ノルボルナン－２－スピロ－α－シクロドデカノン－α’－スピロ－２’’－ノルボルナン－５，５’’，６，６’’－テトラカルボン酸二無水物、ノルボルナン－２－スピロ－α－シクロトリデカノン－α’－スピロ－２’’－ノルボルナン－５，５’’，６，６’’－テトラカルボン酸二無水物、ノルボルナン－２－スピロ－α－シクロテトラデカノン－α’－スピロ－２’’－ノルボルナン－５，５’’，６，６’’－テトラカルボン酸二無水物、ノルボルナン－２－スピロ－α－シクロペンタデカノン－α’－スピロ－２’’－ノルボルナン－５，５’’，６，６’’－テトラカルボン酸二無水物、ノルボルナン－２－スピロ－α－（メチルシクロペンタノン）－α’－スピロ－２’’－ノルボルナン－５，５’’，６，６’’－テトラカルボン酸二無水物、ノルボルナン－２－スピロ－α－（メチルシクロヘキサノン）－α’－スピロ－２’’－ノルボルナン－５，５’’，６，６’’－テトラカルボン酸二無水物等が挙げられる。

【0197】

カルド樹脂（ａ－１）の重量平均分子量は、１０００以上４００００以下であることが好ましく、１５００以上３００００以下であることがより好ましく、２０００以上１００００以下であることがさらに好ましい。上記の範囲とすることにより、良好な現像性を得ながら、硬化物についての十分な耐熱性と、機械的強度とを得ることができる。

【0198】

ノボラック樹脂（ａ－２）も、（メタ）アクリル樹脂（Ａ１）とともに使用されるアルカリ可溶性樹脂として好ましい。

【0199】

ノボラック樹脂（ａ－２）としては、従来から感光性組成物に配合されている種々のノボラック樹脂を用いることができる。ノボラック樹脂（ａ－２）としては、フェノール性水酸基を有する芳香族化合物（以下、単に「フェノール類」という。）とアルデヒド類とを酸触媒下で付加縮合させることにより得られる樹脂が好ましい。

【0200】

ノボラック樹脂（ａ－２）を作製する際に用いられるフェノール類としては、例えば、フェノール；ｏ－クレゾール、ｍ－クレゾール、ｐ－クレゾール等のクレゾール類；２，３－キシレノール、２，４－キシレノール、２，５－キシレノール、２，６－キシレノール、３，４－キシレノール、３，５－キシレノール等のキシレノール類；ｏ－エチルフェノール、ｍ－エチルフェノール、ｐ－エチルフェノール等のエチルフェノール類；２－イソプロピルフェノール、３－イソプロピルフェノール、４－イソプロピルフェノール、ｏ－ブチルフェノール、ｍ－ブチルフェノール、ｐ－ブチルフェノール、並びにｐ－ｔｅｒｔ－ブチルフェノール等のアルキルフェノール類；２，３，５－トリメチルフェノール、及び３，４，５－トリメチルフェノール等のトリアルキルフェノール類；レゾルシノール、カテコール、ハイドロキノン、ハイドロキノンモノメチルエーテル、ピロガロール、及びフロログリシノール等の多価フェノール類；アルキルレゾルシン、アルキルカテコール、及びアルキルハイドロキノン等のアルキル多価フェノール類（いずれのアルキル基も炭素原子数１以上４以下である。）；α－ナフトール；β－ナフトール；ヒドロキシジフェニル；並びにビスフェノールＡ等が挙げられる。これらのフェノール類は、単独で用いてもよく、２種以上を組み合わせて用いてもよい。

【0201】

これらのフェノール類の中でも、ｍ－クレゾール及びｐ－クレゾールが好ましく、ｍ－クレゾールとｐ－クレゾールとを併用することがより好ましい。この場合、両者の配合割合を調整することにより、硬化性組成物を用いて形成される硬化物の耐熱性等の諸特性を調節することができる。
ｍ－クレゾールとｐ－クレゾールの配合割合は特に限定されないが、ｍ－クレゾール／ｐ－クレゾールのモル比で、３／７以上８／２以下が好ましい。ｍ－クレゾール及びｐ－クレゾールをかかる範囲の比率で用いることにより、耐熱性に優れる硬化物を形成可能な硬化性組成物を得やすい。

【0202】

また、ｍ－クレゾールと、２，３，５－トリメチルフェノールとを併用して製造されるノボラック樹脂も好ましい。かかるノボラック樹脂を用いる場合、ポストベーク時の加熱により過度にフローし難い硬化物を形成できる硬化性組成物を、特に得やすい。
ｍ－クレゾールと２，３，５－トリメチルフェノールの配合割合は特に限定されないが、ｍ－クレゾール／２，３，５－トリメチルフェノールのモル比で、７０／３０以上９５／５以下が好ましい。

【0203】

ノボラック樹脂（ａ－２）を作製する際に用いられるアルデヒド類としては、例えば、ホルムアルデヒド、パラホルムアルデヒド、フルフラール、ベンズアルデヒド、ニトロベンズアルデヒド、及びアセトアルデヒド等が挙げられる。これらのアルデヒド類は、単独で用いてもよく、２種以上を組み合わせて用いてもよい。

【0204】

ノボラック樹脂（ａ－２）を作製する際に用いられる酸触媒としては、例えば、塩酸、硫酸、硝酸、リン酸、及び亜リン酸等の無機酸類；蟻酸、シュウ酸、酢酸、ジエチル硫酸、及びパラトルエンスルホン酸等の有機酸類；並びに酢酸亜鉛等の金属塩類等が挙げられる。これらの酸触媒は、単独で用いてもよく、２種以上を組み合わせて用いてもよい。

【0205】

ノボラック樹脂（ａ－２）のポリスチレン換算の重量平均分子量（Ｍｗ；以下、単に「重量平均分子量」ともいう。）は、感光性組成物を用いて形成される硬化物の加熱によるフローに対する耐性の観点から、下限値として２０００が好ましく、５０００がより好ましく、１００００が特に好ましく、１５０００がさらに好ましく、２００００が最も好ましく、上限値として５００００が好ましく、４５０００がより好ましく、４００００がさらに好ましく、３５０００が最も好ましい。

【0206】

ノボラック樹脂（ａ－２）としては、ポリスチレン換算の重量平均分子量が異なる樹脂を少なくとも２種組み合わせて用いることができる。重量平均分子量が異なる樹脂を組み合わせて用いることにより、感光性組成物の現像性と、感光性組成物を用いて形成される硬化物の耐熱性とのバランスをとることができる。

【0207】

変性エポキシ樹脂（ａ－３）も、（メタ）アクリル樹脂（Ａ１）とともに使用されるアルカリ可溶性樹脂として好ましい。

【0208】

加熱により変形しにくく、高い耐水性を有する硬化物を形成しやすい点から、エポキシ化合物（ａ－３ａ）と不飽和基含有カルボン酸（ａ－３ｂ）との反応物に、多塩基酸無水物（ａ－３ｃ）が付加した付加体を含んでいてもよい。かかる付加体について、「変性エポキシ樹脂（ａ－３）」とも記す。
なお、本出願の明細書及び特許請求の範囲において、上記の定義に該当する化合物であって、前述のカルド構造を有する樹脂（ａ－１）に該当しない化合物を、変性エポキシ樹脂（ａ－３）とする。

【0209】

以下、エポキシ化合物（ａ－３ａ）、不飽和基含有カルボン酸（ａ－３ｂ）、及び多塩基酸無水物（ａ－３ｃ）について説明する。

【0210】

エポキシ化合物（ａ－３ａ）は、エポキシ基を有する化合物であれば特に限定されず、芳香族基を有する芳香族エポキシ化合物であっても、芳香族基を含まない脂肪族エポキシ化合物であってもよく、芳香族基を有する芳香族エポキシ化合物が好ましい。
エポキシ化合物（ａ－３ａ）は、単官能エポキシ化合物であっても、２官能以上の多官能エポキシ化合物であってもよく、多官能エポキシ化合物が好ましい。

【0211】

エポキシ化合物（ａ－３ａ）の具体例としては、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＳ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＡＤ型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、及びビフェニル型エポキシ樹脂等の２官能エポキシ樹脂；ダイマー酸グリシジルエステル、及びトリグリシジルエステル等のグリシジルエステル型エポキシ樹脂；テトラグリシジルアミノジフェニルメタン、トリグリシジル－ｐ－アミノフェノール、テトラグリシジルメタキシリレンジアミン、及びテトラグリシジルビスアミノメチルシクロヘキサン等のグリシジルアミン型エポキシ樹脂；トリグリシジルイソシアヌレート等の複素環式エポキシ樹脂；フロログリシノールトリグリシジルエーテル、トリヒドロキシビフェニルトリグリシジルエーテル、トリヒドロキシフェニルメタントリグリシジルエーテル、グリセリントリグリシジルエーテル、２－［４－（２，３－エポキシプロポキシ）フェニル］－２－［４－［１，１－ビス［４－（２，３－エポキシプロポキシ）フェニル］エチル］フェニル］プロパン、及び１，３－ビス［４－［１－［４－（２，３－エポキシプロポキシ）フェニル］－１－［４－［１－［４－（２，３－エポキシプロポキシ）フェニル］－１－メチルエチル］フェニル］エチル］フェノキシ］－２－プロパノール等の３官能型エポキシ樹脂；テトラヒドロキシフェニルエタンテトラグリシジルエーテル、テトラグリシジルベンゾフェノン、ビスレゾルシノールテトラグリシジルエーテル、及びテトラグリシドキシビフェニル等の４官能型エポキシ樹脂が挙げられる。

【0212】

また、エポキシ化合物（ａ－３ａ）としては、ビフェニル骨格を有するエポキシ化合物が好ましい。
ビフェニル骨格を有するエポキシ化合物は、主鎖に下記式（ａ－３ａ－１）で表されるビフェニル骨格を少なくとも１つ以上有するのが好ましい。
ビフェニル骨格を有するエポキシ化合物は、２以上のエポキシ基を有する多官能エポキシ化合物であるのが好ましい。
ビフェニル骨格を有するエポキシ化合物を用いることにより、感度と現像性とのバランスに優れ、基板への密着性に優れた硬化物を形成できる硬化性組成物を得やすい。

【0213】

【化33】

（式（ａ－３ａ－１）中、Ｒ^ａ７は、それぞれ独立に、水素原子、炭素原子数１以上１２以下のアルキル基、ハロゲン原子、又は置換基を有してもよいフェニル基であり、ｊは１以上４以下の整数である。）

【0214】

Ｒ^ａ７が炭素原子数１以上１２以下のアルキル基である場合、アルキル基の具体例としては、メチル基、エチル基、ｎ－プロピル基、イソプロピル基、ｎ－ブチル基、イソブチル基、ｓｅｃ－ブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基、ｎ－ペンチル基、イソペンチル基、ｓｅｃ－ペンチル基、ｔｅｒｔ－ペンチル基、ｎ－ヘキシル基、ｎ－ヘプチル基、ｎ－オクチル基、イソオクチル基、ｓｅｃ－オクチル基、ｔｅｒｔ－オクチル基、ｎ－ノニル基、イソノニル基、ｎ－デシル基、イソデシル基、ｎ－ウンデシル基、及びｎ－ドデシル基が挙げられる。

【0215】

Ｒ^ａ７がハロゲン原子である場合、ハロゲン原子の具体例としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、及びヨウ素原子が挙げられる。

【0216】

Ｒ^ａ７が置換基を有してもよいフェニル基である場合、フェニル基上の置換基の数は特に限定されない。フェニル基上の置換基の数は、０以上５以下であり、０又は１が好ましい。
置換基の例としては、炭素原子数１以上４以下のアルキル基、炭素原子数１以上４以下のアルコキシ基、炭素原子数２以上４以下の脂肪族アシル基、ハロゲン原子、シアノ基、及びニトロ基が挙げられる。

【0217】

上記式（ａ－３ａ－１）で表されるビフェニル骨格を有するエポキシ化合物（ａ－３ａ）としては特に限定されないが、例えば、下記式（ａ－３ａ－２）で表されるエポキシ化合物を挙げることができる。

【化34】

（式（ａ－３ａ－２）中、Ｒ^ａ７及びｊは、式（ａ－３ａ－１）と同様であり、ｋは括弧内の構成単位の平均繰り返し数であって０以上１０以下である。）

【0218】

式（ａ－３ａ－２）で表されるエポキシ化合物の中では、感度と現像性とのバランスに優れる硬化性組成物を特に得やすいことから、下記式（ａ－３ａ－３）で表される化合物が好ましい。

【化35】

（式（ａ－３ａ－３）中、ｋは、式（ａ－３ａ－２）と同様である。）

【0219】

変性エポキシ化合物（ａ－３）と調製するにあたって、エポキシ化合物（ａ－３ａ）と、不飽和基含有カルボン酸（ａ－３ｂ）とを反応させる。
不飽和基含有カルボン酸（ａ－３ｂ）としては、分子中にアクリル基やメタクリル基等の反応性の不飽和二重結合を含有するモノカルボン酸が好ましい。このような不飽和基含有カルボン酸としては、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、β－スチリルアクリル酸、β－フルフリルアクリル酸、α－シアノ桂皮酸、桂皮酸等を挙げることができる。また、不飽和基含有カルボン酸（ａ－３ｂ）は、単独又は２種類以上を組み合わせて用いてもよい。

【0220】

エポキシ化合物（ａ－３ａ）と、不飽和基含有カルボン酸（ａ－３ｂ）とは、公知の方法により反応させることができる。好ましい反応方法としては、例えば、エポキシ化合物（ａ－３ａ）と不飽和基含有カルボン酸（ａ－３ｂ）とを、トリエチルアミン、ベンジルエチルアミン等の３級アミン、ドデシルトリメチルアンモニウムクロライド、テトラメチルアンモニウムクロライド、テトラエチルアンモニウムクロライド、ベンジルトリエチルアンモニウムクロライド等の４級アンモニウム塩、ピリジン、又はトリフェニルホスフィン等を触媒として、有機溶媒中、反応温度５０℃以上１５０℃以下で数時間から数十時間反応させる方法が挙げられる。

【0221】

エポキシ化合物（ａ－３ａ）と不飽和基含有カルボン酸（ａ－３ｂ）との反応における両者の使用量の比率は、エポキシ化合物（ａ－３ａ）のエポキシ当量と、不飽和基含有カルボン酸（ａ－３ｂ）のカルボン酸当量との比として、通常１：０．５～１：２が好ましく、１：０．８～１：１．２５がより好ましく、１：０．９～１：１．１が特に好ましい。
エポキシ化合物（ａ－３ａ）の使用量と不飽和基含有カルボン酸（ａ－３ｂ）の使用量との比率が、前記の当量比で１：０．５～１：２であると、架橋効率が向上する傾向があり好ましい。

【0222】

多塩基酸無水物（ａ－３ｃ）は、２個以上のカルボキシ基を有するカルボン酸の無水物である。
多塩基酸無水物（ａ－３ｃ）としては、特に限定されないが、例えば、無水マレイン酸、無水コハク酸、無水イタコン酸、無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、メチルヘキサヒドロ無水フタル酸、メチルテトラヒドロ無水フタル酸、無水トリメリット酸、無水ピロメリット酸、ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、３－メチルヘキサヒドロフタル酸無水物、４－メチルヘキサヒドロ無水フタル酸、３－エチルヘキサヒドロ無水フタル酸、４－エチルヘキサヒドロ無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、３－メチルテトラヒドロ無水フタル酸、４－メチルテトラヒドロ無水フタル酸、３－エチルテトラヒドロ無水フタル酸、４－エチルテトラヒドロ無水フタル酸、下記式（ａ－３ｃ－１）で表される化合物、及び下記式（ａ－３ｃ－２）で表される化合物を挙げることができる。また、多塩基酸無水物（ａ－３ｃ）は、単独又は２種類以上を組み合わせて用いてもよい。

【0223】

【化36】

（式（ａ－３ｃ－２）中、Ｒ^ａ８は、炭素原子数１以上１０以下の置換基を有してもよいアルキレン基を示す。）

【0224】

多塩基酸無水物（ａ－３ｃ）としては、感度と現像性とのバランスに優れる硬化性組成物を得やすいことから、ベンゼン環を２個以上有する化合物であることが好ましい。また、多塩基酸無水物（ａ－３ｃ）は、上記式（ａ－３ｃ－１）で表される化合物、及び上記式（ａ－３ｃ－２）で表される化合物の少なくとも一方を含むのがより好ましい。

【0225】

エポキシ化合物（ａ－３ａ）と不飽和基含有カルボン酸（ａ－３ｂ）とを反応させた後、多塩基酸無水物（ａ－３ｃ）を反応させる方法は、公知の方法から適宜選択できる。
また、使用量比は、エポキシ化合物（ａ－３ａ）と不飽和基含有カルボン酸（ａ－３ｂ）との反応後の成分中のＯＨ基のモル数と、多塩基酸無水物（ａ－３ｃ）の酸無水物基の当量比で、通常１：１～１：０．１であり、好ましくは１：０．８～１：０．２である。上記範囲とすることにより、現像性が良好である硬化性組成物を得やすい。

【0226】

変性エポキシ樹脂（ａ－３）の酸価は、樹脂固形分で、１０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上１５０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下であることが好ましく、より好ましくは、７０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上１１０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下である。樹脂の酸価を１０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上にすることにより現像液に対する充分な溶解性が得られ、また、酸価を１５０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下にすることにより充分な硬化性を得ることができ、硬化物の表面性を良好にすることができる。

【0227】

変性エポキシ樹脂（ａ－３）の重量平均分子量は、１０００以上４００００以下であることが好ましく、より好ましくは、２０００以上３００００以下である。重量平均分子量が１０００以上であることにより耐熱性、及び強度に優れる硬化物を形成しやすい。また、重量平均分子量が４００００以下であることにより現像液に対する十分な溶解性を示す硬化性組成物を得やすい。

【0228】

（メタ）アクリル樹脂（Ａ１）以外の樹脂である（メタ）アクリル樹脂（ａ－４）もまたアルカリ可溶性樹脂を構成する成分として使用し得る。
（メタ）アクリル樹脂（ａ－４）としては、（メタ）アクリル酸に由来する構成単位、及び／又は（メタ）アクリル酸エステル等の他のモノマーに由来する構成単位を含む樹脂を用いることができる。（メタ）アクリル酸は、アクリル酸、又はメタクリル酸である。（メタ）アクリル酸エステルは、下記式（ａ－４－１）で表される化合物であって、本発明の目的を阻害しない限り特に限定されない。

【0229】

【化37】

【0230】

上記式（ａ－４－１）中、Ｒ^ａ９は、水素原子又はメチル基であり、Ｒ^ａ１０は、１価の有機基である。この有機基は、該有機基中にヘテロ原子等の炭化水素基以外の結合や置換基を含んでいてもよい。また、この有機基は、直鎖状、分岐鎖状、環状のいずれでもよい。

【0231】

Ｒ^ａ１０の有機基中の炭化水素基以外の置換基としては、本発明の効果が損なわれない限り特に限定されず、ハロゲン原子、水酸基、メルカプト基、スルフィド基、シアノ基、イソシアノ基、シアナト基、イソシアナト基、チオシアナト基、イソチオシアナト基、シリル基、シラノール基、アルコキシ基、アルコキシカルボニル基、カルバモイル基、チオカルバモイル基、ニトロ基、ニトロソ基、カルボキシ基、カルボキシラート基、アシル基、アシルオキシ基、スルフィノ基、スルホ基、スルホナト基、ホスフィノ基、ホスフィニル基、ホスホノ基、ホスホナト基、ヒドロキシイミノ基、アルキルエーテル基、アルキルチオエーテル基、アリールエーテル基、アリールチオエーテル基、アミノ基（－ＮＨ_２、－ＮＨＲ、－ＮＲＲ’：Ｒ及びＲ’はそれぞれ独立に炭化水素基を示す）等が挙げられる。上記置換基に含まれる水素原子は、炭化水素基によって置換されていてもよい。また、上記置換基に含まれる炭化水素基は、直鎖状、分岐鎖状、及び環状のいずれでもよい。

【0232】

また、Ｒ^ａ１０としての有機基は、アクリロイルオキシ基、メタアクリロイルオキシ基、エポキシ基、オキセタニル基等の反応性の官能基を有していてもよい。
アクリロイルオキシ基やメタアクリロイルオキシ基等の、不飽和二重結合を有するアシル基は、例えば、エポキシ基を有する構成単位を含む（メタ）アクリル樹脂（ａ－４）における、エポキシ基の少なくとも一部に、アクリル酸やメタクリル酸等の不飽和カルボン酸を反応させることにより製造することができる。
エポキシ基の少なくとも一部に、不飽和カルボン酸を反応させた後に、反応により生成した基に多塩基酸無水物を反応させてもよい。

【0233】

多塩基酸無水物の具体例としては、無水マレイン酸、無水コハク酸、無水イタコン酸、無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、メチルヘキサヒドロ無水フタル酸、メチルテトラヒドロ無水フタル酸、無水トリメリット酸、無水ピロメリット酸、ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、３－メチルヘキサヒドロフタル酸無水物、４－メチルヘキサヒドロ無水フタル酸、３－エチルヘキサヒドロ無水フタル酸、４－エチルヘキサヒドロ無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、３－メチルテトラヒドロ無水フタル酸、４－メチルテトラヒドロ無水フタル酸、３－エチルテトラヒドロ無水フタル酸、及び４－エチルテトラヒドロ無水フタル酸等が挙げられる。

【0234】

具体例としては、グリシジルメタクリレートに由来する構成単位に、アクリル酸を反応させると、下記反応式中に示される、水酸基を有する構成単位が生成する。かかる水酸基を有する構成単位に、テトラヒドロフタル酸等の多塩基酸無水物を反応させることにより、カルボキシ基と不飽和二重結合とを有する、樹脂にアルカリ可溶性を付与する構成単位が生成する。

【化38】

【0235】

Ｒ^ａ１０としては、アルキル基、アリール基、アラルキル基、又は複素環基が好ましく、これらの基は、ハロゲン原子、水酸基、アルキル基、又は複素環基で置換されていてもよい。また、これらの基がアルキレン部分を含む場合、アルキレン部分は、エーテル結合、チオエーテル結合、エステル結合により中断されていてもよい。

【0236】

アルキル基が、直鎖状又は分岐鎖状である場合、アルキル基の炭素原子数は、１以上２０以下が好ましく、１以上１５以下がより好ましく、１以上１０以下が特に好ましい。好適なアルキル基の例としては、メチル基、エチル基、ｎ－プロピル基、イソプロピル基、ｎ－ブチル基、イソブチル基、ｓｅｃ－ブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基、ｎ－ペンチル基、イソペンチル基、ｓｅｃ－ペンチル基、ｔｅｒｔ－ペンチル基、ｎ－ヘキシル基、ｎ－ヘプチル基、ｎ－オクチル基、イソオクチル基、ｓｅｃ－オクチル基、ｔｅｒｔ－オクチル基、ｎ－ノニル基、イソノニル基、ｎ－デシル基、イソデシル基等が挙げられる。

【0237】

アルキル基が、脂環式基、又は脂環式基を含む基である場合、アルキル基に含まれる好適な脂環式基としては、シクロペンチル基、及びシクロヘキシル基等単環の脂環式基や、アダマンチル基、ノルボルニル基、イソボルニル基、トリシクロノニル基、トリシクロデシル基、及びテトラシクロドデシル基等の多環の脂環式基が挙げられる。

【0238】

式（ａ－４－１）で表される化合物が、エポキシ基を有する鎖状の基をＲ^ａ１０として有する場合の、式（ａ－４－１）で表される化合物の具体例としては、グリシジル（メタ）アクリレート、２－メチルグリシジル（メタ）アクリレート、３，４－エポキシブチル（メタ）アクリレート、６，７－エポキシヘプチル（メタ）アクリレート等の（メタ）アクリル酸エポキシアルキルエステル類が挙げられる。

【0239】

また、式（ａ－４－１）で表される化合物は、脂環式エポキシ基含有（メタ）アクリル酸エステルであってもよい。脂環式エポキシ基を構成する脂環式基は、単環であっても多環であってもよい。単環の脂環式基としては、シクロペンチル基、シクロヘキシル基等が挙げられる。また、多環の脂環式基としては、ノルボルニル基、イソボルニル基、トリシクロノニル基、トリシクロデシル基、テトラシクロドデシル基等が挙げられる。

【0240】

式（ａ－４－１）で表される化合物が脂環式エポキシ基含有（メタ）アクリル酸エステルである場合の具体例としては、例えば下記式（ａ－４－１ａ）～（ａ－４－１ｏ）で表される化合物が挙げられる。これらの中でも、現像性を適度な範囲内にするためには、下記式（ａ－４－１ａ）～（ａ－４－１ｅ）で表される化合物が好ましく、下記式（ａ－４－１ａ）～（ａ－４－１ｃ）で表される化合物がより好ましい。

【0241】

【化39】

【0242】

【化40】

【0243】

【化41】

【0244】

上記式中、Ｒ^ａ２０は水素原子又はメチル基を示し、Ｒ^ａ２１は炭素原子数１以上６以下の２価の脂肪族飽和炭化水素基を示し、Ｒ^ａ２２は炭素原子数１以上１０以下の２価の炭化水素基を示し、ｔは０以上１０以下の整数を示す。Ｒ^ａ２１としては、直鎖状又は分枝鎖状のアルキレン基、例えばメチレン基、エチレン基、プロピレン基、テトラメチレン基、エチルエチレン基、ペンタメチレン基、ヘキサメチレン基が好ましい。Ｒ^ａ２２としては、例えばメチレン基、エチレン基、プロピレン基、テトラメチレン基、エチルエチレン基、ペンタメチレン基、ヘキサメチレン基、フェニレン基、シクロヘキシレン基、－ＣＨ_２－Ｐｈ－ＣＨ_２－（Ｐｈはフェニレン基を示す）が好ましい。

【0245】

また、（メタ）アクリル樹脂（ａ－４）は、（メタ）アクリル酸エステル以外のモノマーをさらに重合させた共重合体であってもよい。（メタ）アクリル酸エステル以外のモノマーとしては、（メタ）アクリルアミド類、不飽和カルボン酸類、アリル化合物、ビニルエーテル類、ビニルエステル類、スチレン類等が挙げられる。これらのモノマーは、単独又は２種以上組み合わせて用いることができる。これらのモノマーの好適な例については、（メタ）アクリル樹脂（Ａ１）に関して説明した通りである。

【0246】

（メタ）アクリル樹脂（ａ－４）における、（メタ）アクリル酸に由来する構成単位の量と、他のモノマーに由来する構成単位の量とは、本発明の目的を阻害しない範囲で特に限定されない。（メタ）アクリル樹脂（ａ－４）における、（メタ）アクリル酸に由来する構成単位の量は、（メタ）アクリル樹脂（ａ－４）の質量に対して、５質量％以上５０質量％以下が好ましく、１０質量％以上３０質量％以下がより好ましい。

【0247】

（メタ）アクリル樹脂（ａ－４）が、不飽和二重結合を有する構成単位を有する場合、（メタ）アクリル樹脂（ａ－４）における、不飽和二重結合を有する構成単位の量は、１質量％以上５０質量％以下が好ましく、１質量％以上３０質量％以下がより好ましく、１質量％以上２０質量％以下が特に好ましい。
（メタ）アクリル樹脂（ａ－４）が、上記の範囲内の量の不飽和二重結合を有する構成単位を含むことにより、アクリル系樹脂をレジスト膜内の架橋反応に取り込んで均一化できるため硬化膜の耐熱性、機械特性の向上に有効である。

【0248】

（メタ）アクリル樹脂（ａ－４）の重量平均分子量は、２０００以上５００００以下であることが好ましく、３０００以上３００００以下であることがより好ましい。上記の範囲とすることにより、硬化性組成物の膜形成能、露光後の現像性のバランスがとりやすい傾向がある。

【0249】

第２の硬化性組成物における、（メタ）アクリル樹脂（Ａ１）の質量とその他の樹脂の質量との合計は、後述する有機溶剤（Ｓ）の質量を除いた硬化性組成物の質量（固形分全体）に対して２０質量％以上８５質量％以下であることが好ましく、２５質量％以上７５質量％以下であることがより好ましい。上記の範囲とすることにより、現像性に優れる硬化性組成物を得やすい。

【0250】

・光重合性モノマー（Ｂ）
第２の硬化性組成物は、光重合性モノマー（Ｂ）を含む。光重合性モノマー（Ｂ）としては、従来より感光性組成物に配合されている化合物を特に制限なく用いることができる。

【0251】

単官能光重合性モノマーとしては、例えば、（メタ）アクリルアミド、メチロール（メタ）アクリルアミド、メトキシメチル（メタ）アクリルアミド、エトキシメチル（メタ）アクリルアミド、プロポキシメチル（メタ）アクリルアミド、ブトキシメトキシメチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ－メチロール（メタ）アクリルアミド、Ｎ－ヒドロキシメチル（メタ）アクリルアミド、（メタ）アクリル酸、フマル酸、マレイン酸、無水マレイン酸、イタコン酸、無水イタコン酸、シトラコン酸、無水シトラコン酸、クロトン酸、２－アクリルアミド－２－メチルプロパンスルホン酸、ｔｅｒｔ－ブチルアクリルアミドスルホン酸、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、ブチル（メタ）アクリレート、２－エチルヘキシル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、２－ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２－ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、２－ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、２－フェノキシ－２－ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、２－（メタ）アクリロイルオキシ－２－ヒドロキシプロピルフタレート、グリセリンモノ（メタ）アクリレート、テトラヒドロフルフリル（メタ）アクリレート、ジメチルアミノ（メタ）アクリレート、グリシジル（メタ）アクリレート、２，２，２－トリフルオロエチル（メタ）アクリレート、２，２，３，３－テトラフルオロプロピル（メタ）アクリレート、フタル酸誘導体のハーフ（メタ）アクリレート等が挙げられる。これらの単官能光重合性モノマーは、単独又は２種以上組み合わせて用いることができる。

【0252】

多官能光重合性モノマーとしては、エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ジエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、テトラエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、プロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、ブチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、１，６－ヘキサングリコールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、グリセリンジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ペンタエリスリトールジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、２，２－ビス（４－（メタ）アクリロキシジエトキシフェニル）プロパン、２，２－ビス（４－（メタ）アクリロキシポリエトキシフェニル）プロパン、２－ヒドロキシ－３－（メタ）アクリロイルオキシプロピル（メタ）アクリレート、エチレングリコールジグリシジルエーテルジ（メタ）アクリレート、ジエチレングリコールジグリシジルエーテルジ（メタ）アクリレート、フタル酸ジグリシジルエステルジ（メタ）アクリレート、グリセリントリアクリレート、グリセリンポリグリシジルエーテルポリ（メタ）アクリレート、ウレタン（メタ）アクリレート（すなわち、トリレンジイソシアネート）、トリメチルヘキサメチレンジイソシアネートとヘキサメチレンジイソシアネートと２－ヒドロキシエチル（メタ）アクリレートとの反応物、メチレンビス（メタ）アクリルアミド、（メタ）アクリルアミドメチレンエーテル、多価アルコールとＮ－メチロール（メタ）アクリルアミドとの縮合物等の多官能モノマーや、トリアクリルホルマール等が挙げられる。これらの多官能光重合性モノマーは、単独又は２種以上組み合わせて用いることができる。

【0253】

これらの光重合性モノマー（Ｂ）の中でも、硬化性組成物の基板への密着性、硬化性組成物の硬化後の強度を高める傾向にある点から、３官能以上の多官能光重合性モノマーが好ましく、４官能以上の多官能モノマーがより好ましく、５官能以上の多官能光重合性モノマーがさらに好ましい。

【0254】

光重合性モノマー（Ｂ）の硬化性組成物中の含有量は、後述する有機溶剤（Ｓ）の質量を除いた硬化性組成物の質量（固形分全体）に対して１質量％以上５０質量％以下が好ましく、５質量％以上４０質量％以下がより好ましい。上記の範囲とすることにより、感度、現像性、解像性のバランスがとりやすい傾向がある。

【0255】

・光重合開始剤（Ｃ）
光重合開始剤としては、従来知られる感光性組成物において、不飽和結合を有する光重合性モノマーを硬化させる目的で使用されている化合物を特に限定なく使用することができる。

【0256】

光重合開始剤（Ｃ）として具体的には、１－ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、２－ヒドロキシ－２－メチル－１－フェニルプロパン－１－オン、１－〔４－（２－ヒドロキシエトキシ）フェニル〕－２－ヒドロキシ－２－メチル－１－プロパン－１－オン、１－（４－イソプロピルフェニル）－２－ヒドロキシ－２－メチルプロパン－１－オン、１－（４－ドデシルフェニル）－２－ヒドロキシ－２－メチルプロパン－１－オン、２，２－ジメトキシ－１，２－ジフェニルエタン－１－オン、ビス（４－ジメチルアミノフェニル）ケトン、２－メチル－１－〔４－（メチルチオ）フェニル〕－２－モルフォリノプロパン－１－オン、２－ベンジル－２－ジメチルアミノ－１－（４－モルフォリノフェニル）－ブタン－１－オン、４－ベンゾイル－４’－メチルジメチルスルフィド、４－ジメチルアミノ安息香酸、４－ジメチルアミノ安息香酸メチル、４－ジメチルアミノ安息香酸エチル、４－ジメチルアミノ安息香酸ブチル、４－ジメチルアミノ－２－エチルヘキシル安息香酸、４－ジメチルアミノ－２－イソアミル安息香酸、ベンジル－β－メトキシエチルアセタール、ベンジルジメチルケタール、１－フェニル－１，２－プロパンジオン－２－（Ｏ－エトキシカルボニル）オキシム、ｏ－ベンゾイル安息香酸メチル、２，４－ジエチルチオキサントン、２－クロロチオキサントン、２，４－ジメチルチオキサントン、１－クロロ－４－プロポキシチオキサントン、チオキサンテン、２－クロロチオキサンテン、２，４－ジエチルチオキサンテン、２－メチルチオキサンテン、２－イソプロピルチオキサンテン、２－エチルアントラキノン、オクタメチルアントラキノン、１，２－ベンズアントラキノン、２，３－ジフェニルアントラキノン、アゾビスイソブチロニトリル、ベンゾイルパーオキシド、クメンヒドロペルオキシド、２－メルカプトベンゾイミダゾール、２－メルカプトベンゾオキサゾール、２－メルカプトベンゾチアゾール、２－（ｏ－クロロフェニル）－４，５－ジ（ｍ－メトキシフェニル）－イミダゾリル二量体、ベンゾフェノン、２－クロロベンゾフェノン、ｐ，ｐ’－ビスジメチルアミノベンゾフェノン、４，４’－ビスジエチルアミノベンゾフェノン、４，４’－ジクロロベンゾフェノン、３，３－ジメチル－４－メトキシベンゾフェノン、ベンジル、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾイン－ｎ－ブチルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、ベンゾインブチルエーテル、アセトフェノン、２，２－ジエトキシアセトフェノン、ｐ－ジメチルアセトフェノン、ｐ－ジメチルアミノプロピオフェノン、ジクロロアセトフェノン、トリクロロアセトフェノン、ｐ－ｔｅｒｔ－ブチルアセトフェノン、ｐ－ジメチルアミノアセトフェノン、ｐ－ｔｅｒｔ－ブチルトリクロロアセトフェノン、ｐ－ｔｅｒｔ－ブチルジクロロアセトフェノン、α，α－ジクロロ－４－フェノキシアセトフェノン、チオキサントン、２－メチルチオキサントン、２－イソプロピルチオキサントン、ジベンゾスベロン、ペンチル－４－ジメチルアミノベンゾエート、９－フェニルアクリジン、１，７－ビス－（９－アクリジニル）ヘプタン、１，５－ビス－（９－アクリジニル）ペンタン、１，３－ビス－（９－アクリジニル）プロパン、ｐ－メトキシトリアジン、２，４，６－トリス（トリクロロメチル）－ｓ－トリアジン、２－メチル－４，６－ビス（トリクロロメチル）－ｓ－トリアジン、２－［２－（５－メチルフラン－２－イル）エテニル］－４，６－ビス（トリクロロメチル）－ｓ－トリアジン、２－［２－（フラン－２－イル）エテニル］－４，６－ビス（トリクロロメチル）－ｓ－トリアジン、２－［２－（４－ジエチルアミノ－２－メチルフェニル）エテニル］－４，６－ビス（トリクロロメチル）－ｓ－トリアジン、２－［２－（３，４－ジメトキシフェニル）エテニル］－４，６－ビス（トリクロロメチル）－ｓ－トリアジン、２－（４－メトキシフェニル）－４，６－ビス（トリクロロメチル）－ｓ－トリアジン、２－（４－エトキシスチリル）－４，６－ビス（トリクロロメチル）－ｓ－トリアジン、２－（４－ｎ－ブトキシフェニル）－４，６－ビス（トリクロロメチル）－ｓ－トリアジン、２，４－ビス－トリクロロメチル－６－（３－ブロモ－４－メトキシ）フェニル－ｓ－トリアジン、２，４－ビス－トリクロロメチル－６－（２－ブロモ－４－メトキシ）フェニル－ｓ－トリアジン、２，４－ビス－トリクロロメチル－６－（３－ブロモ－４－メトキシ）スチリルフェニル－ｓ－トリアジン、２，４－ビス－トリクロロメチル－６－（２－ブロモ－４－メトキシ）スチリルフェニル－ｓ－トリアジン等が挙げられる。

【0257】

これらの光重合開始剤（Ｃ）は、単独又は２種以上組み合わせて用いることができる。

【0258】

また、硬化性組成物の感度の点では、光重合開始剤（Ｃ）として、オキシムエステル化合物が好ましい。
オキシムエステル化合物としては、例えば、下記式（ｃ１）で表されるオキシムエステル化合物が好ましい。

【化42】

【0259】

上記式（ｃ１）中、Ｒ^ｃ１１は、置換基を有してもよい炭素原子数１以上１０以下のアルキル基、置換基を有してもよいフェニル基、又は置換基を有してもよいカルバゾリル基を示す。ａは、０又は１である。Ｒ^ｃ１２は、置換基を有してもよい炭素原子数１以上１０以下のアルキル基、置換基を有してもよいフェニル基、又は置換基を有してもよいカルバゾリル基を示す。Ｒ^ｃ１３は、水素原子、炭素原子数１以上６以下のアルキル基、又は置換基を有していてもよいフェニル基を示す。

【0260】

Ｒ^ｃ１１が置換基を有してもよい炭素原子数１以上１０以下のアルキル基である場合、アルキル基が有する置換基の種類は本発明の目的を阻害しない範囲で特に限定されない。

【0261】

炭素原子数１以上１０以下のアルキル基が有してもよい好適な置換基の例としては、炭素原子数１以上２０以下のアルコキシ基、炭素原子数３以上１０以下のシクロアルキル基、炭素原子数３以上１０以下のシクロアルコキシ基、炭素原子数２以上２０以下の飽和脂肪族アシル基、炭素原子数２以上２０以下のアルコキシカルボニル基、炭素原子数２以上２０以下の飽和脂肪族アシルオキシ基、置換基を有してもよいフェニル基、置換基を有してもよいフェノキシ基、置換基を有してもよいフェニルチオ基、置換基を有してもよいベンゾイル基、置換基を有してもよいフェノキシカルボニル基、置換基を有してもよいベンゾイルオキシ基、置換基を有してもよい炭素原子数７以上２０以下のフェニルアルキル基、置換基を有してもよいナフチル基、置換基を有してもよいナフトキシ基、置換基を有してもよいナフトイル基、置換基を有してもよいナフトキシカルボニル基、置換基を有してもよいナフトイルオキシ基、置換基を有してもよい炭素原子数１１以上２０以下のナフチルアルキル基、置換基を有してもよいヘテロシクリル基、置換基を有してもよいヘテロシクリルカルボニル基、アミノ基、１又は２の有機基で置換されたアミノ基、モルホリン－１－イル基、及びピペラジン－１－イル基、ハロゲン、ニトロ基、及びシアノ基等が挙げられる。

【0262】

炭素原子数１以上１０以下のアルキル基は直鎖であっても分岐鎖であってもよい。この場合、アルキル基の炭素原子数は、１以上８以下が好ましく、１以上５以下がより好ましい。

【0263】

Ｒ^ｃ１１が、置換基を有してもよいフェニル基である場合、置換基の種類は本発明の目的を阻害しない範囲で特に限定されない。フェニル基が有していてもよい置換基の好適な例としては、アルキル基、アルコキシ基、シクロアルキル基、シクロアルコキシ基、飽和脂肪族アシル基、アルコキシカルボニル基、飽和脂肪族アシルオキシ基、置換基を有してもよいフェニル基、置換基を有してもよいフェノキシ基、置換基を有してもよいベンゾイル基、置換基を有してもよいフェノキシカルボニル基、置換基を有してもよいベンゾイルオキシ基、置換基を有してもよいフェニルアルキル基、置換基を有してもよいナフチル基、置換基を有してもよいナフトキシ基、置換基を有してもよいナフトイル基、置換基を有してもよいナフトキシカルボニル基、置換基を有してもよいナフトイルオキシ基、置換基を有してもよいナフチルアルキル基、置換基を有してもよいヘテロシクリル基、アミノ基、１、又は２の有機基で置換されたアミノ基、モルホリン－１－イル基、及びピペラジン－１－イル基、ハロゲン、ニトロ基、及びシアノ基等が挙げられる。Ｒ^ｃ１１が、置換基を有してもよいフェニル基であり、フェニル基が複数の置換基を有する場合、複数の置換基は同一であっても異なっていてもよい。

【0264】

フェニル基が有する置換基がアルキル基である場合、その炭素原子数は、１以上２０以下が好ましく、１以上１０以下がより好ましく、１以上６以下がさらに好ましく、１以上３以下が特に好ましく、１が最も好ましい。また、アルキル基は、直鎖であっても、分岐鎖であってもよい。フェニル基が有する置換基がアルキル基である場合の具体例としては、メチル基、エチル基、ｎ－プロピル基、イソプロピル基、ｎ－ブチル基、イソブチル基、ｓｅｃ－ブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基、ｎ－ペンチル基、イソペンチル基、ｓｅｃ－ペンチル基、ｔｅｒｔ－ペンチル基、ｎ－ヘキシル基、ｎ－ヘプチル基、ｎ－オクチル基、イソオクチル基、ｓｅｃ－オクチル基、ｔｅｒｔ－オクチル基、ｎ－ノニル基、イソノニル基、ｎ－デシル基、及びイソデシル基等が挙げられる。また、アルキル基は炭素鎖中にエーテル結合（－Ｏ－）を含んでいてもよい。この場合、フェニル基が有する置換基としては、例えば、アルコキシアルキル基、アルコキシアルコキシアルキル基が挙げられる。フェニル基が有する置換基がアルコキシアルキル基である場合、－Ｒ^ｃ１４－Ｏ－Ｒ^ｃ１５で表される基が好ましい。Ｒ^ｃ１４は、炭素原子数１以上１０以下の直鎖でも分岐鎖であってもよいアルキレン基である。Ｒ^ｃ１５は、炭素原子数１以上１０以下の直鎖でも分岐鎖であってもよいアルキル基である。Ｒ^ｃ１４の炭素原子数は、１以上８以下が好ましく、１以上５以下がより好ましく、１以上３以下が特に好ましい。Ｒ^ｃ１５の炭素原子数は、１以上８以下が好ましく、１以上５以下がより好ましく、１以上３以下が特に好ましく、１が最も好ましい。炭素鎖中にエーテル結合を有するアルキル基の例としては、メトキシエチル基、エトキシエチル基、メトキシエトキシエチル基、エトキシエトキシエチル基、プロピルオキシエトキシエチル基、及びメトキシプロピル基等が挙げられる。

【0265】

フェニル基が有する置換基がアルコキシ基である場合、その炭素原子数は、１以上２０以下が好ましく、１以上６以下がより好ましい。また、アルコキシ基は、直鎖であっても、分岐鎖であってもよい。フェニル基が有する置換基がアルコキシ基である場合の具体例としては、メトキシ基、エトキシ基、ｎ－プロピルオキシ基、イソプロピルオキシ基、ｎ－ブチルオキシ基、イソブチルオキシ基、ｓｅｃ－ブチルオキシ基、ｔｅｒｔ－ブチルオキシ基、ｎ－ペンチルオキシ基、イソペンチルオキシ基、ｓｅｃ－ペンチルオキシ基、ｔｅｒｔ－ペンチルオキシ基、ｎ－ヘキシルオキシ基、ｎ－ヘプチルオキシ基、ｎ－オクチルオキシ基、イソオクチルオキシ基、ｓｅｃ－オクチルオキシ基、ｔｅｒｔ－オクチルオキシ基、ｎ－ノニルオキシ基、イソノニルオキシ基、ｎ－デシルオキシ基、及びイソデシルオキシ基等が挙げられる。また、アルコキシ基は炭素鎖中にエーテル結合（－Ｏ－）を含んでいてもよい。炭素鎖中にエーテル結合を有するアルコキシ基の例としては、メトキシエトキシ基、エトキシエトキシ基、２－メトキシ－１－メチルエトキシ基、メトキシエトキシエトキシ基、エトキシエトキシエトキシ基、プロピルオキシエトキシエトキシ基、及びメトキシプロピルオキシ基等が挙げられる。

【0266】

フェニル基が有する置換基がシクロアルキル基、又はシクロアルコキシ基である場合、その炭素原子数は、３以上１０以下が好ましく、３以上６以下がより好ましい。フェニル基が有する置換基がシクロアルキル基である場合の具体例としては、シクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、シクロヘプチル基、及びシクロオクチル基等が挙げられる。フェニル基が有する置換基がシクロアルコキシ基である場合の具体例としては、シクロプロピルオキシ基、シクロブチルオキシ基、シクロペンチルオキシ基、シクロヘキシルオキシ基、シクロヘプチルオキシ基、及びシクロオクチルオキシ基等が挙げられる。

【0267】

フェニル基が有する置換基が飽和脂肪族アシル基、又は飽和脂肪族アシルオキシ基である場合、その炭素原子数は、２以上２０以下が好ましく、２以上７以下がより好ましい。フェニル基が有する置換基が飽和脂肪族アシル基である場合の具体例としては、アセチル基、プロパノイル基、ｎ－ブタノイル基、２－メチルプロパノイル基、ｎ－ペンタノイル基、２，２－ジメチルプロパノイル基、ｎ－ヘキサノイル基、ｎ－ヘプタノイル基、ｎ－オクタノイル基、ｎ－ノナノイル基、ｎ－デカノイル基、ｎ－ウンデカノイル基、ｎ－ドデカノイル基、ｎ－トリデカノイル基、ｎ－テトラデカノイル基、ｎ－ペンタデカノイル基、及びｎ－ヘキサデカノイル基等が挙げられる。フェニル基が有する置換基が飽和脂肪族アシルオキシ基である場合の具体例としては、アセチルオキシ基、プロパノイルオキシ基、ｎ－ブタノイルオキシ基、２－メチルプロパノイルオキシ基、ｎ－ペンタノイルオキシ基、２，２－ジメチルプロパノイルオキシ基、ｎ－ヘキサノイルオキシ基、ｎ－ヘプタノイルオキシ基、ｎ－オクタノイルオキシ基、ｎ－ノナノイルオキシ基、ｎ－デカノイルオキシ基、ｎ－ウンデカノイルオキシ基、ｎ－ドデカノイルオキシ基、ｎ－トリデカノイルオキシ基、ｎ－テトラデカノイルオキシ基、ｎ－ペンタデカノイルオキシ基、及びｎ－ヘキサデカノイルオキシ基等が挙げられる。

【0268】

フェニル基が有する置換基がアルコキシカルボニル基である場合、その炭素原子数は、２以上２０以下が好ましく、２以上７以下がより好ましい。フェニル基が有する置換基がアルコキシカルボニル基である場合の具体例としては、メトキシカルボニル基、エトキシカルボニル基、ｎ－プロピルオキシカルボニル基、イソプロピルオキシカルボニル基、ｎ－ブチルオキシカルボニル基、イソブチルオキシカルボニル基、ｓｅｃ－ブチルオキシカルボニル基、ｔｅｒｔ－ブチルオキシカルボニル基、ｎ－ペンチルオキシカルボニル基、イソペンチルオキシカルボニル基、ｓｅｃ－ペンチルオキシカルボニル基、ｔｅｒｔ－ペンチルオキシカルボニル基、ｎ－ヘキシルオキシカルボニル基、ｎ－ヘプチルオキシカルボニル基、ｎ－オクチルオキシカルボニル基、イソオクチルオキシカルボニル基、ｓｅｃ－オクチルオキシカルボニル基、ｔｅｒｔ－オクチルオキシカルボニル基、ｎ－ノニルオキシカルボニル基、イソノニルオキシカルボニル基、ｎ－デシルオキシカルボニル基、及びイソデシルオキシカルボニル基等が挙げられる。

【0269】

フェニル基が有する置換基がフェニルアルキル基である場合、その炭素原子数は、７以上２０以下が好ましく、７以上１０以下がより好ましい。またフェニル基が有する置換基がナフチルアルキル基である場合、その炭素原子数は、１１以上２０以下が好ましく、１１以上１４以下がより好ましい。フェニル基が有する置換基がフェニルアルキル基である場合の具体例としては、ベンジル基、２－フェニルエチル基、３－フェニルプロピル基、及び４－フェニルブチル基が挙げられる。フェニル基が有する置換基がナフチルアルキル基である場合の具体例としては、α－ナフチルメチル基、β－ナフチルメチル基、２－（α－ナフチル）エチル基、及び２－（β－ナフチル）エチル基が挙げられる。フェニル基が有する置換基がフェニルアルキル基、又はナフチルアルキル基である場合、置換基は、フェニル基又はナフチル基上にさらに置換基を有していてもよい。

【0270】

フェニル基が有する置換基がヘテロシクリル基である場合、ヘテロシクリル基は、１以上のＮ、Ｓ、Ｏを含む５員又は６員の単環であるか、かかる単環同士、又はかかる単環とベンゼン環とが縮合したヘテロシクリル基である。ヘテロシクリル基が縮合環である場合は、環数３までのものとする。かかるヘテロシクリル基を構成する複素環としては、フラン、チオフェン、ピロール、オキサゾール、イソオキサゾール、チアゾール、チアジアゾール、イソチアゾール、イミダゾール、ピラゾール、トリアゾール、ピリジン、ピラジン、ピリミジン、ピリダジン、ベンゾフラン、ベンゾチオフェン、インドール、イソインドール、インドリジン、ベンゾイミダゾール、ベンゾトリアゾール、ベンゾオキサゾール、ベンゾチアゾール、カルバゾール、プリン、キノリン、イソキノリン、キナゾリン、フタラジン、シンノリン、及びキノキサリン等が挙げられる。フェニル基が有する置換基がヘテロシクリル基である場合、ヘテロシクリル基はさらに置換基を有していてもよい。

【0271】

フェニル基が有する置換基が１又は２の有機基で置換されたアミノ基である場合、有機基の好適な例は、炭素原子数１以上２０以下のアルキル基、炭素原子数３以上１０以下のシクロアルキル基、炭素原子数２以上２０以下の飽和脂肪族アシル基、炭素原子数２以上２０以下の飽和脂肪族アシルオキシ基、置換基を有してもよいフェニル基、置換基を有してもよいベンゾイル基、置換基を有してもよい炭素原子数７以上２０以下のフェニルアルキル基、置換基を有してもよいナフチル基、置換基を有してもよいナフトイル基、置換基を有してもよい炭素原子数１１以上２０以下のナフチルアルキル基、及びヘテロシクリル基等が挙げられる。これらの好適な有機基の具体例としては、フェニル基が有する置換基について上記したものと同様のものが挙げられる。１、又は２の有機基で置換されたアミノ基の具体例としては、メチルアミノ基、エチルアミノ基、ジエチルアミノ基、ｎ－プロピルアミノ基、ジ－ｎ－プロピルアミノ基、イソプロピルアミノ基、ｎ－ブチルアミノ基、ジ－ｎ－ブチルアミノ基、ｎ－ペンチルアミノ基、ｎ－ヘキシルアミノ基、ｎ－ヘプチルアミノ基、ｎ－オクチルアミノ基、ｎ－ノニルアミノ基、ｎ－デシルアミノ基、フェニルアミノ基、ナフチルアミノ基、アセチルアミノ基、プロパノイルアミノ基、ｎ－ブタノイルアミノ基、ｎ－ペンタノイルアミノ基、ｎ－ヘキサノイルアミノ基、ｎ－ヘプタノイルアミノ基、ｎ－オクタノイルアミノ基、ｎ－デカノイルアミノ基、ベンゾイルアミノ基、α－ナフトイルアミノ基、β－ナフトイルアミノ基、及びＮ－アセチル－Ｎ－アセチルオキシアミノ基等が挙げられる。

【0272】

フェニル基が有する置換基に含まれる、フェニル基、ナフチル基、及びヘテロシクリル基がさらに置換基を有する場合の置換基としては、炭素原子数１以上６以下のアルキル基、炭素原子数１以上６以下のアルコキシ基、炭素原子数２以上７以下の飽和脂肪族アシル基、炭素原子数２以上７以下のアルコキシカルボニル基、炭素原子数２以上７以下の飽和脂肪族アシルオキシ基、炭素原子数１以上６以下のアルキル基を有するモノアルキルアミノ基、炭素原子数１以上６以下のアルキル基を有するジアルキルアミノ基、モルホリン－１－イル基、ピペラジン－１－イル基、ハロゲン、ニトロ基、及びシアノ基等が挙げられる。フェニル基が有する置換基に含まれる、フェニル基、ナフチル基、及びヘテロシクリル基がさらに置換基を有する場合、その置換基の数は、本発明の目的を阻害しない範囲で限定されないが、１以上４以下が好ましい。フェニル基が有する置換基に含まれる、フェニル基、ナフチル基、及びヘテロシクリル基が、複数の置換基を有する場合、複数の置換基は、同一であっても異なっていてもよい。

【0273】

以上、Ｒ^ｃ１１が置換基を有してもよいフェニル基である場合の置換基について説明したが、これらの置換基の中では、アルキル基又はアルコキシアルキル基が好ましい。

【0274】

Ｒ^ｃ１１が置換基を有してもよいフェニル基である場合、置換基の数と、置換基の結合位置とは、本発明の目的を阻害しない範囲で特に限定されない。Ｒ^ｃ１１が、置換基を有してもよいフェニル基である場合、塩基の発生効率に優れる点で、置換基を有してもよいフェニル基は、置換基を有していてもよいｏ－トリル基であるのが好ましい。

【0275】

Ｒ^ｃ１１が置換基を有してもよいカルバゾリル基である場合、置換基の種類は本発明の目的を阻害しない範囲で特に限定されない。カルバゾリル基が炭素原子上に有してもよい好適な置換基の例としては、炭素原子数１以上２０以下のアルキル基、炭素原子数１以上２０以下のアルコキシ基、炭素原子数３以上１０以下のシクロアルキル基、炭素原子数３以上１０以下のシクロアルコキシ基、炭素原子数２以上２０以下の飽和脂肪族アシル基、炭素原子数２以上２０以下のアルコキシカルボニル基、炭素原子数２以上２０以下の飽和脂肪族アシルオキシ基、置換基を有してもよいフェニル基、置換基を有してもよいフェノキシ基、置換基を有してもよいフェニルチオ基、置換基を有してもよいフェニルカルボニル基、置換基を有してもよいベンゾイル基、置換基を有してもよいフェノキシカルボニル基、置換基を有してもよいベンゾイルオキシ基、置換基を有してもよい炭素原子数７以上２０以下のフェニルアルキル基、置換基を有してもよいナフチル基、置換基を有してもよいナフトキシ基、置換基を有してもよいナフチルカルボニル基、置換基を有してもよいナフトイル基、置換基を有してもよいナフトキシカルボニル基、置換基を有してもよいナフトイルオキシ基、置換基を有してもよい炭素原子数１１以上２０以下のナフチルアルキル基、置換基を有してもよいヘテロシクリル基、置換基を有してもよいヘテロシクリルカルボニル基、アミノ基、１又は２の有機基で置換されたアミノ基、モルホリン－１－イル基、及びピペラジン－１－イル基、ハロゲン、ニトロ基、及びシアノ基等が挙げられる。

【0276】

Ｒ^ｃ１１が置換基を有してもよいカルバゾリル基である場合、カルバゾリル基が窒素原子上に有してもよい好適な置換基の例としては、炭素原子数１以上２０以下のアルキル基、炭素原子数３以上１０以下のシクロアルキル基、炭素原子数２以上２０以下の飽和脂肪族アシル基、炭素原子数２以上２０以下のアルコキシカルボニル基、置換基を有してもよいフェニル基、置換基を有してもよいベンゾイル基、置換基を有してもよいフェノキシカルボニル基、置換基を有してもよい炭素原子数７以上２０以下のフェニルアルキル基、置換基を有してもよいナフチル基、置換基を有してもよいナフトイル基、置換基を有してもよいナフトキシカルボニル基、置換基を有してもよい炭素原子数１１以上２０以下のナフチルアルキル基、置換基を有してもよいヘテロシクリル基、及び置換基を有してもよいヘテロシクリルカルボニル基等が挙げられる。これらの置換基の中では、炭素原子数１以上２０以下のアルキル基が好ましく、炭素原子数１以上６以下のアルキル基がより好ましく、エチル基が特に好ましい。

【0277】

カルバゾリル基が有してもよい置換基の具体例について、アルキル基、アルコキシ基、シクロアルキル基、シクロアルコキシ基、飽和脂肪族アシル基、アルコキシカルボニル基、飽和脂肪族アシルオキシ基、置換基を有してもよいフェニルアルキル基、置換基を有してもよいナフチルアルキル基、置換基を有してもよいヘテロシクリル基、及び１又は２の有機基で置換されたアミノ基に関しては、Ｒ^ｃ１１が置換基を有してもよいフェニル基である場合の、フェニル基が有する置換基の例と同様である。

【0278】

Ｒ^ｃ１１において、カルバゾリル基が有する置換基に含まれるフェニル基、ナフチル基、及びヘテロシクリル基がさらに置換基を有する場合の置換基の例としては、炭素原子数１以上６以下のアルキル基；炭素原子数１以上６以下のアルコキシ基；炭素原子数２以上７以下の飽和脂肪族アシル基；炭素原子数２以上７以下のアルコキシカルボニル基；炭素原子数２以上７以下の飽和脂肪族アシルオキシ基；フェニル基；ナフチル基；ベンゾイル基；ナフトイル基；炭素原子数１以上６以下のアルキル基、モルホリン－１－イル基、ピペラジン－１－イル基、及びフェニル基からなる群より選択される基により置換されたベンゾイル基；炭素原子数１以上６以下のアルキル基を有するモノアルキルアミノ基；炭素原子数１以上６以下のアルキル基を有するジアルキルアミノ基；モルホリン－１－イル基；ピペラジン－１－イル基；ハロゲン；ニトロ基；シアノ基が挙げられる。カルバゾリル基が有する置換基に含まれるフェニル基、ナフチル基、及びヘテロシクリル基がさらに置換基を有する場合、その置換基の数は、本発明の目的を阻害しない範囲で限定されないが、１以上４以下が好ましい。フェニル基、ナフチル基、及びヘテロシクリル基が、複数の置換基を有する場合、複数の置換基は、同一であっても異なっていてもよい。

【0279】

Ｒ^ｃ１２は、置換基を有してもよい炭素原子数１以上１０以下のアルキル基、又は置換基を有してもよいフェニル基、又は置換基を有してもよいカルバゾリル基である。

【0280】

Ｒ^ｃ１２が置換基を有してもよい炭素原子数１以上１０以下のアルキル基である場合、アルキル基は直鎖であっても分岐鎖であってもよい。この場合、アルキル基の炭素原子数は、１以上８以下が好ましく、１以上５以下がより好ましい。

【0281】

Ｒ^ｃ１２において、アルキル基又はフェニル基が有する置換基は、本発明の目的を阻害しない範囲で特に限定されない。
アルキル基が炭素原子上に有してもよい好適な置換基の例としては、炭素原子数１以上２０以下のアルコキシ基、炭素原子数３以上１０以下のシクロアルキル基、炭素原子数３以上１０以下のシクロアルコキシ基、炭素原子数２以上２０以下の飽和脂肪族アシル基、炭素原子数２以上２０以下のアルコキシカルボニル基、炭素原子数２以上２０以下の飽和脂肪族アシルオキシ基、置換基を有してもよいフェニル基、置換基を有してもよいフェノキシ基、置換基を有してもよいフェニルチオ基、置換基を有してもよいベンゾイル基、置換基を有してもよいフェノキシカルボニル基、置換基を有してもよいベンゾイルオキシ基、置換基を有してもよい炭素原子数７以上２０以下のフェニルアルキル基、置換基を有してもよいナフチル基、置換基を有してもよいナフトキシ基、置換基を有してもよいナフトイル基、置換基を有してもよいナフトキシカルボニル基、置換基を有してもよいナフトイルオキシ基、置換基を有してもよい炭素原子数１１以上２０以下のナフチルアルキル基、置換基を有してもよいヘテロシクリル基、置換基を有してもよいヘテロシクリルカルボニル基、アミノ基、１又は２の有機基で置換されたアミノ基、モルホリン－１－イル基、及びピペラジン－１－イル基、ハロゲン、ニトロ基、及びシアノ基等が挙げられる。
フェニル基が炭素原子上に有してもよい好適な置換基の例としては、アルキル基が炭素原子上に有してもよい好適な置換基として上記で例示した基に加えて、炭素原子数１以上２０以下のアルキル基が挙げられる。

【0282】

アルキル基又はフェニル基が有してもよい置換基の具体例について、アルキル基、アルコキシ基、シクロアルキル基、シクロアルコキシ基、飽和脂肪族アシル基、アルコキシカルボニル基、飽和脂肪族アシルオキシ基、置換基を有してもよいフェニルアルキル基、置換基を有してもよいナフチルアルキル基、置換基を有してもよいヘテロシクリル基、及び１又は２の有機基で置換されたアミノ基に関しては、Ｒ^ｃ１１が置換基を有してもよいフェニル基である場合の、フェニル基が有する置換基の例と同様である。

【0283】

Ｒ^ｃ１２において、アルキル基又はフェニル基が有する置換基に含まれるフェニル基、ナフチル基、及びヘテロシクリル基がさらに置換基を有する場合の置換基の例としては、炭素原子数１以上６以下のアルキル基；炭素原子数１以上６以下のアルコキシ基；炭素原子数２以上７以下の飽和脂肪族アシル基；炭素原子数２以上７以下のアルコキシカルボニル基；炭素原子数２以上７以下の飽和脂肪族アシルオキシ基；フェニル基；ナフチル基；ベンゾイル基；ナフトイル基；炭素原子数１以上６以下のアルキル基、モルホリン－１－イル基、ピペラジン－１－イル基、及びフェニル基からなる群より選択される基により置換されたベンゾイル基；炭素原子数１以上６以下のアルキル基を有するモノアルキルアミノ基；炭素原子数１以上６以下のアルキル基を有するジアルキルアミノ基；モルホリン－１－イル基；ピペラジン－１－イル基；ハロゲン；ニトロ基；シアノ基が挙げられる。アルキル基又はフェニル基が有する置換基に含まれるフェニル基、ナフチル基、及びヘテロシクリル基がさらに置換基を有する場合、その置換基の数は、本発明の目的を阻害しない範囲で限定されないが、１以上４以下が好ましい。フェニル基、ナフチル基、及びヘテロシクリル基が、複数の置換基を有する場合、複数の置換基は、同一であっても異なっていてもよい。

【0284】

Ｒ^ｃ１２が置換基を有してもよいカルバゾリル基である場合、カルバゾリル基が有する置換基の種類は本発明の目的を阻害しない範囲で特に限定されない。カルバゾリル基が有してもよい置換基の好適な例としては、Ｒ^ｃ１１が置換基を有してもよいカルバゾリル基である場合の置換基の例と同様である。

【0285】

式（ｃ１）で表される化合物の反応性の点から、Ｒ^ｃ１２としては、下記式（ｃ２）：

【化43】

又は、下記式（ｃ３）：

【化44】

で表される基が好ましい。

【0286】

式（ｃ２）中、Ｒ^ｃ１６及びＲ^ｃ１７は、それぞれ１価の有機基であり、ｂは０又は１である。式（ｃ３）中、Ｒ^ｃ１８は、１価の有機基、アミノ基、ハロゲン、ニトロ基、及びシアノ基からなる群より選択される基であり、Ａ^ｃ１はＳ又はＯであり、ｃは０以上４以下の整数である。

【0287】

式（ｃ２）におけるＲ^ｃ１６は、本発明の目的を阻害しない範囲で、種々の有機基から選択できる。Ｒ^ｃ１６の好適な例としては、水素原子、炭素原子数１以上２０以下のアルキル基、炭素原子数３以上１０以下のシクロアルキル基、炭素原子数２以上２０以下の飽和脂肪族アシル基、炭素原子数２以上２０以下のアルコキシカルボニル基、置換基を有してもよいフェニル基、置換基を有してもよいベンゾイル基、置換基を有してもよいフェノキシカルボニル基、置換基を有してもよい炭素原子数７以上２０以下のフェニルアルキル基、置換基を有してもよいナフチル基、置換基を有してもよいナフトイル基、置換基を有してもよいナフトキシカルボニル基、置換基を有してもよい炭素原子数１１以上２０以下のナフチルアルキル基、置換基を有してもよいヘテロシクリル基、及び置換基を有してもよいヘテロシクリルカルボニル基等が挙げられる。

【0288】

Ｒ^ｃ１６の中では、炭素原子数１以上２０以下のアルキル基が好ましく、炭素原子数１以上６以下のアルキル基がより好ましく、エチル基が特に好ましい。

【0289】

式（ｃ２）におけるＲ^ｃ１７は、本発明の目的を阻害しない範囲で特に限定されず、種々の有機基から選択できる。Ｒ^ｃ１７として好適な基の具体例としては、水素原子、炭素原子数１以上２０以下のアルキル基、置換基を有してもよいフェニル基、置換基を有してもよいナフチル基、及び置換基を有してもよいヘテロシクリル基が挙げられる。Ｒ^ｃ１７として、これらの基の中では置換基を有してもよいフェニル基、及び置換基を有してもよいナフチル基がより好ましく、２－メチルフェニル基及びナフチル基が特に好ましい。

【0290】

Ｒ^ｃ１６又はＲ^ｃ１７に含まれる、フェニル基、ナフチル基、及びヘテロシクリル基がさらに置換基を有する場合の置換基としては、炭素原子数１以上６以下のアルキル基、炭素原子数１以上６以下のアルコキシ基、炭素原子数２以上７以下の飽和脂肪族アシル基、炭素原子数２以上７以下のアルコキシカルボニル基、炭素原子数２以上７以下の飽和脂肪族アシルオキシ基、炭素原子数１以上６以下のアルキル基を有するモノアルキルアミノ基、炭素原子数１以上６以下のアルキル基を有するジアルキルアミノ基、モルホリン－１－イル基、ピペラジン－１－イル基、ハロゲン、ニトロ基、及びシアノ基等が挙げられる。Ｒ^ｃ１６又はＲ^ｃ１７に含まれる、フェニル基、ナフチル基、及びヘテロシクリル基がさらに置換基を有する場合、その置換基の数は、本発明の目的を阻害しない範囲で限定されないが、１以上４以下が好ましい。Ｒ^ｃ１６又はＲ^ｃ１７に含まれる、フェニル基、ナフチル基、及びヘテロシクリル基が、複数の置換基を有する場合、複数の置換基は、同一であっても異なっていてもよい。

【0291】

式（ｃ３）におけるＲ^ｃ１８が有機基である場合、Ｒ^ｃ１８は、本発明の目的を阻害しない範囲で、種々の有機基から選択できる。式（ｃ３）においてＲ^ｃ１８が有機基である場合の好適な例としては、炭素原子数１以上６以下のアルキル基；炭素原子数１以上６以下のアルコキシ基；炭素原子数２以上７以下の飽和脂肪族アシル基；炭素原子数２以上７以下のアルコキシカルボニル基；炭素原子数２以上７以下の飽和脂肪族アシルオキシ基；フェニル基；ナフチル基；ベンゾイル基；ナフトイル基；炭素原子数１以上６以下のアルキル基、モルホリン－１－イル基、ピペラジン－１－イル基、及びフェニル基からなる群より選択される基により置換されたベンゾイル基；炭素原子数１以上６以下のアルキル基を有するモノアルキルアミノ基；炭素原子数１以上６以下のアルキル基を有するジアルキルアミノ基；モルホリン－１－イル基；ピペラジン－１－イル基；ハロゲン；ニトロ基；シアノ基；２－メチルフェニルカルボニル基；４－（ピペラジン－１－イル）フェニルカルボニル基；４－（フェニル）フェニルカルボニル基が挙げられる。

【0292】

Ｒ^ｃ１８の中では、ベンゾイル基；ナフトイル基；炭素原子数１以上６以下のアルキル基、モルホリン－１－イル基、ピペラジン－１－イル基、及びフェニル基からなる群より選択される基により置換されたベンゾイル基；ニトロ基が好ましく、ベンゾイル基；ナフトイル基；２－メチルフェニルカルボニル基；４－（ピペラジン－１－イル）フェニルカルボニル基；４－（フェニル）フェニルカルボニル基がより好ましい。

【0293】

また、式（ｃ３）において、ｃは、０以上３以下の整数が好ましく、０以上２以下の整数がより好ましく、０又は１であるのが特に好ましい。ｃが１である場合、Ｒ^ｃ１８の結合する位置は、Ｒ^ｃ１８が結合するフェニル基が硫黄原子と結合する結合手に対して、パラ位であるのが好ましい。

【0294】

Ｒ^ｃ１３は、水素原子、炭素原子数１以上６以下のアルキル基、又は置換基を有していてもよいフェニル基である。置換基を有していてもよいフェニル基である場合、フェニル基が有していてもよい置換基は、Ｒ^ｃ１１が置換基を有していてもよいフェニル基である場合と同様である。Ｒ^ｃ１３としては、メチル基、エチル基、又はフェニル基が好ましく、メチル基又はフェニル基がより好ましい。

【0295】

上記式（ｃ１）で表される化合物の中でも好適な化合物としては、下記式（ｃ４）で表される化合物が挙げられる。

【化45】

【0296】

上記式（ｃ４）中、ａ、Ｒ^ｃ１２、及びＲ^ｃ１３は上記の通りである。Ｒ^ｃ１９は、１価の有機基、アミノ基、ハロゲン、ニトロ基、及びシアノ基からなる群より選択される基であり、ｄは０以上４以下の整数である。

【0297】

上記式（ｃ４）中、Ｒ^ｃ１９は、本発明の目的を阻害しない範囲で特に限定されず、有機基である場合、種々の有機基から適宜選択される。Ｒ^ｃ１９の好適な例としては、アルキル基、アルコキシ基、シクロアルキル基、シクロアルコキシ基、飽和脂肪族アシル基、アルコキシカルボニル基、飽和脂肪族アシルオキシ基、置換基を有してもよいフェニル基、置換基を有してもよいフェノキシ基、置換基を有してもよいベンゾイル基、置換基を有してもよいフェノキシカルボニル基、置換基を有してもよいベンゾイルオキシ基、置換基を有してもよいフェニルアルキル基、置換基を有してもよいナフチル基、置換基を有してもよいナフトキシ基、置換基を有してもよいナフトイル基、置換基を有してもよいナフトキシカルボニル基、置換基を有してもよいナフトイルオキシ基、置換基を有してもよいナフチルアルキル基、置換基を有してもよいヘテロシクリル基、アミノ基、１又は２の有機基で置換されたアミノ基、モルホリン－１－イル基、ピペラジン－１－イル基、ハロゲン、ニトロ基、及びシアノ基等が挙げられる。ｓが２以上４以下の整数である場合、Ｒ^ｃ１９は同一であっても異なっていてもよい。また、置換基の炭素原子数には、置換基がさらに有する置換基の炭素原子数を含まない。

【0298】

Ｒ^ｃ１９がアルキル基である場合、炭素原子数１以上２０以下が好ましく、炭素原子数１以上６以下がより好ましい。また、Ｒ^ｃ１９がアルキル基である場合、直鎖であっても、分岐鎖であってもよい。Ｒ^ｃ１９がアルキル基である場合の具体例としては、メチル基、エチル基、ｎ－プロピル基、イソプロピル基、ｎ－ブチル基、イソブチル基、ｓｅｃ－ブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基、ｎ－ペンチル基、イソペンチル基、ｓｅｃ－ペンチル基、ｔｅｒｔ－ペンチル基、ｎ－ヘキシル基、ｎ－ヘプチル基、ｎ－オクチル基、イソオクチル基、ｓｅｃ－オクチル基、ｔｅｒｔ－オクチル基、ｎ－ノニル基、イソノニル基、ｎ－デシル基、及びイソデシル基等が挙げられる。また、Ｒ^ｃ１９がアルキル基である場合、アルキル基は炭素鎖中にエーテル結合（－Ｏ－）を含んでいてもよい。炭素鎖中にエーテル結合を有するアルキル基の例としては、メトキシエチル基、エトキシエチル基、メトキシエトキシエチル基、エトキシエトキシエチル基、プロピルオキシエトキシエチル基、及びメトキシプロピル基等が挙げられる。

【0299】

Ｒ^ｃ１９がアルコキシ基である場合、炭素原子数１以上２０以下が好ましく、炭素原子数１以上６以下がより好ましい。また、Ｒ^ｃ１９がアルコキシ基である場合、直鎖であっても、分岐鎖であってもよい。Ｒ^ｃ１９がアルコキシ基である場合の具体例としては、メトキシ基、エトキシ基、ｎ－プロピルオキシ基、イソプロピルオキシ基、ｎ－ブチルオキシ基、イソブチルオキシ基、ｓｅｃ－ブチルオキシ基、ｔｅｒｔ－ブチルオキシ基、ｎ－ペンチルオキシ基、イソペンチルオキシ基、ｓｅｃ－ペンチルオキシ基、ｔｅｒｔ－ペンチルオキシ基、ｎ－ヘキシルオキシ基、ｎ－ヘプチルオキシ基、ｎ－オクチルオキシ基、イソオクチルオキシ基、ｓｅｃ－オクチルオキシ基、ｔｅｒｔ－オクチルオキシ基、ｎ－ノニルオキシ基、イソノニルオキシ基、ｎ－デシルオキシ基、及びイソデシルオキシ基等が挙げられる。また、Ｒ^ｃ１９がアルコキシ基である場合、アルコキシ基は炭素鎖中にエーテル結合（－Ｏ－）を含んでいてもよい。炭素鎖中にエーテル結合を有するアルコキシ基の例としては、メトキシエトキシ基、エトキシエトキシ基、メトキシエトキシエトキシ基、エトキシエトキシエトキシ基、プロピルオキシエトキシエトキシ基、及びメトキシプロピルオキシ基等が挙げられる。

【0300】

Ｒ^ｃ１９がシクロアルキル基又はシクロアルコキシ基である場合、炭素原子数３以上１０以下が好ましく、炭素原子数３以上６以下がより好ましい。Ｒ^ｃ１９がシクロアルキル基である場合の具体例としては、シクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、シクロヘプチル基、及びシクロオクチル基等が挙げられる。Ｒ^ｃ１９がシクロアルコキシ基である場合の具体例としては、シクロプロピルオキシ基、シクロブチルオキシ基、シクロペンチルオキシ基、シクロヘキシルオキシ基、シクロヘプチルオキシ基、及びシクロオクチルオキシ基等が挙げられる。

【0301】

Ｒ^ｃ１９が飽和脂肪族アシル基又は飽和脂肪族アシルオキシ基である場合、炭素原子数２以上２０以下が好ましく、炭素原子数２以上７以下がより好ましい。Ｒ^ｃ１９が飽和脂肪族アシル基である場合の具体例としては、アセチル基、プロパノイル基、ｎ－ブタノイル基、２－メチルプロパノイル基、ｎ－ペンタノイル基、２，２－ジメチルプロパノイル基、ｎ－ヘキサノイル基、ｎ－ヘプタノイル基、ｎ－オクタノイル基、ｎ－ノナノイル基、ｎ－デカノイル基、ｎ－ウンデカノイル基、ｎ－ドデカノイル基、ｎ－トリデカノイル基、ｎ－テトラデカノイル基、ｎ－ペンタデカノイル基、及びｎ－ヘキサデカノイル基等が挙げられる。Ｒ^ｃ１９が飽和脂肪族アシルオキシ基である場合の具体例としては、アセチルオキシ基、プロパノイルオキシ基、ｎ－ブタノイルオキシ基、２－メチルプロパノイルオキシ基、ｎ－ペンタノイルオキシ基、２，２－ジメチルプロパノイルオキシ基、ｎ－ヘキサノイルオキシ基、ｎ－ヘプタノイルオキシ基、ｎ－オクタノイルオキシ基、ｎ－ノナノイルオキシ基、ｎ－デカノイルオキシ基、ｎ－ウンデカノイルオキシ基、ｎ－ドデカノイルオキシ基、ｎ－トリデカノイルオキシ基、ｎ－テトラデカノイルオキシ基、ｎ－ペンタデカノイルオキシ基、及びｎ－ヘキサデカノイルオキシ基等が挙げられる。

【0302】

Ｒ^ｃ１９がアルコキシカルボニル基である場合、炭素原子数２以上２０以下が好ましく、炭素原子数２以上７以下がより好ましい。Ｒ^ｃ１９がアルコキシカルボニル基である場合の具体例としては、メトキシカルボニル基、エトキシカルボニル基、ｎ－プロピルオキシカルボニル基、イソプロピルオキシカルボニル基、ｎ－ブチルオキシカルボニル基、イソブチルオキシカルボニル基、ｓｅｃ－ブチルオキシカルボニル基、ｔｅｒｔ－ブチルオキシカルボニル基、ｎ－ペンチルオキシカルボニル基、イソペンチルオキシカルボニル基、ｓｅｃ－ペンチルオキシカルボニル基、ｔｅｒｔ－ペンチルオキシカルボニル基、ｎ－ヘキシルオキシカルボニル基、ｎ－ヘプチルオキシカルボニル基、ｎ－オクチルオキシカルボニル基、イソオクチルオキシカルボニル基、ｓｅｃ－オクチルオキシカルボニル基、ｔｅｒｔ－オクチルオキシカルボニル基、ｎ－ノニルオキシカルボニル基、イソノニルオキシカルボニル基、ｎ－デシルオキシカルボニル基、及びイソデシルオキシカルボニル基等が挙げられる。

【0303】

Ｒ^ｃ１９がフェニルアルキル基である場合、炭素原子数７以上２０以下が好ましく、炭素原子数７以上１０以下がより好ましい。またＲ^ｃ１９がナフチルアルキル基である場合、炭素原子数１１以上２０以下が好ましく、炭素原子数１１以上１４以下がより好ましい。Ｒ^ｃ１９がフェニルアルキル基である場合の具体例としては、ベンジル基、２－フェニルエチル基、３－フェニルプロピル基、及び４－フェニルブチル基が挙げられる。Ｒ^ｃ１９がナフチルアルキル基である場合の具体例としては、α－ナフチルメチル基、β－ナフチルメチル基、２－（α－ナフチル）エチル基、及び２－（β－ナフチル）エチル基が挙げられる。Ｒ^ｃ１９が、フェニルアルキル基、又はナフチルアルキル基である場合、Ｒ^ｃ１９は、フェニル基、又はナフチル基上にさらに置換基を有していてもよい。

【0304】

Ｒ^ｃ１９がヘテロシクリル基である場合、ヘテロシクリル基は、１以上のＮ、Ｓ、Ｏを含む５員又は６員の単環であるか、かかる単環同士、又はかかる単環とベンゼン環とが縮合したヘテロシクリル基である。ヘテロシクリル基が縮合環である場合は、環数３までのものとする。かかるヘテロシクリル基を構成する複素環としては、フラン、チオフェン、ピロール、オキサゾール、イソオキサゾール、チアゾール、チアジアゾール、イソチアゾール、イミダゾール、ピラゾール、トリアゾール、ピリジン、ピラジン、ピリミジン、ピリダジン、ベンゾフラン、ベンゾチオフェン、インドール、イソインドール、インドリジン、ベンゾイミダゾール、ベンゾトリアゾール、ベンゾオキサゾール、ベンゾチアゾール、カルバゾール、プリン、キノリン、イソキノリン、キナゾリン、フタラジン、シンノリン、及びキノキサリン等が挙げられる。Ｒ^ｃ１９がヘテロシクリル基である場合、ヘテロシクリル基はさらに置換基を有していてもよい。

【0305】

Ｒ^ｃ１９が１又は２の有機基で置換されたアミノ基である場合、有機基の好適な例は、炭素原子数１以上２０以下のアルキル基、炭素原子数３以上１０以下のシクロアルキル基、炭素原子数２以上２０以下の飽和脂肪族アシル基、置換基を有してもよいフェニル基、置換基を有してもよいベンゾイル基、置換基を有してもよい炭素原子数７以上２０のフェニルアルキル基、置換基を有してもよいナフチル基、置換基を有してもよいナフトイル基、置換基を有してもよい炭素原子数１１以上２０以下のナフチルアルキル基、及びヘテロシクリル基等が挙げられる。これらの好適な有機基の具体例は、Ｒ^ｃ１９と同様である。１又は２の有機基で置換されたアミノ基の具体例としては、メチルアミノ基、エチルアミノ基、ジエチルアミノ基、ｎ－プロピルアミノ基、ジ－ｎ－プロピルアミノ基、イソプロピルアミノ基、ｎ－ブチルアミノ基、ジ－ｎ－ブチルアミノ基、ｎ－ペンチルアミノ基、ｎ－ヘキシルアミノ基、ｎ－ヘプチルアミノ基、ｎ－オクチルアミノ基、ｎ－ノニルアミノ基、ｎ－デシルアミノ基、フェニルアミノ基、ナフチルアミノ基、アセチルアミノ基、プロパノイルアミノ基、ｎ－ブタノイルアミノ基、ｎ－ペンタノイルアミノ基、ｎ－ヘキサノイルアミノ基、ｎ－ヘプタノイルアミノ基、ｎ－オクタノイルアミノ基、ｎ－デカノイルアミノ基、ベンゾイルアミノ基、α－ナフトイルアミノ基、及びβ－ナフトイルアミノ基等が挙げられる。

【0306】

Ｒ^ｃ１９に含まれる、フェニル基、ナフチル基、及びヘテロシクリル基がさらに置換基を有する場合の置換基としては、炭素原子数１以上６以下のアルキル基、炭素原子数１以上６以下のアルコキシ基、炭素原子数２以上７以下の飽和脂肪族アシル基、炭素原子数２以上７以下のアルコキシカルボニル基、炭素原子数２以上７以下の飽和脂肪族アシルオキシ基、炭素原子数１以上６以下のアルキル基を有するモノアルキルアミノ基、炭素原子数１以上６以下のアルキル基を有するジアルキルアミノ基、モルホリン－１－イル基、ピペラジン－１－イル基、ハロゲン、ニトロ基、及びシアノ基等が挙げられる。Ｒ^ｃ１９に含まれる、フェニル基、ナフチル基、及びヘテロシクリル基がさらに置換基を有する場合、その置換基の数は、本発明の目的を阻害しない範囲で限定されないが、１以上４以下が好ましい。Ｒ^ｃ１９に含まれる、フェニル基、ナフチル基、及びヘテロシクリル基が、複数の置換基を有する場合、複数の置換基は、同一であっても異なっていてもよい。

【0307】

Ｒ^ｃ１９の中では、化学的に安定であることや、立体的な障害が少なく、オキシムエステル化合物の合成が容易であること等から、炭素原子数１以上６以下のアルキル基、炭素原子数１以上６以下のアルコキシ基、及び炭素原子数２以上７以下の飽和脂肪族アシル基からなる群より選択される基が好ましく、炭素原子数１以上６以下のアルキルがより好ましく、メチル基が特に好ましい。

【0308】

Ｒ^ｃ１９がフェニル基に結合する位置は、Ｒ^ｃ１９が結合するフェニル基について、フェニル基とオキシムエステル化合物の主骨格との結合手の位置を１位とし、メチル基の位置を２位とする場合に、４位、又は５位が好ましく、５位がより好ましい。また、ｄは、０以上３以下の整数が好ましく、０以上２以下の整数がより好ましく、０又は１が特に好ましい。

【0309】

上記式（ｃ４）におけるＲ^ｃ１３は、水素原子、炭素原子数１以上６以下のアルキル基、又は置換基を有していてもよいフェニル基である。Ｒ^ｃ１３の具体例は、式（ｃ１）について前述した通りである。式（ｃ４）中のＲ^ｃ１３としては、メチル基、エチル基、及びフェニル基が好ましく、メチル基、及びフェニル基がより好ましい。

【0310】

オキシムエステル化合物のうち、式（ｃ１）に含まれるが式（ｃ４）に含まれない化合物の、好適な例としては以下の化合物が挙げられる。

【化46】

【0311】

また、オキシムエステル化合物として特に好適である式（ｃ４）で表されるオキシムエステル化合物の中でも特に好適な化合物としては、下記式の化合物が挙げられる。

【化47】

【0312】

【化48】

【0313】

【化49】

【0314】

【化50】

【0315】

【化51】

【0316】

【化52】

【0317】

【化53】

【0318】

また、硬化性組成物の感度、及び硬化物の透明性の点から、オキシムエステル化合物として下記式（１）で表されるオキシムエステル化合物が特に好ましい。

【0319】

【化54】

（式（１）中、Ｒ^ｃ１は水素原子、ニトロ基又は１価の有機基であり、Ｒ^ｃ２及びＲ^ｃ３は、それぞれ、置換基を有してもよい鎖状アルキル基、置換基を有してもよい環状有機基、又は水素原子であり、Ｒ^ｃ２とＲ^ｃ３とは相互に結合して環を形成してもよく、Ｒ^ｃ４は１価の有機基であり、Ｒ^ｃ５は、水素原子、置換基を有してもよい炭素原子数１以上１１以下のアルキル基、又は置換基を有してもよいアリール基であり、ｎ１は０以上４以下の整数であり、ｎ２は０又は１である。）

【0320】

式（１）中、Ｒ^ｃ１は、水素原子、ニトロ基又は１価の有機基である。Ｒ^ｃ１は、式（１）中のフルオレン環上で、－（ＣＯ）_ｎ２－で表される基に結合する６員芳香環とは、異なる６員芳香環に結合する。式（１）中、Ｒ^ｃ１のフルオレン環に対する結合位置は特に限定されない。式（１）で表される化合物が１以上のＲ^ｃ１を有する場合、式（１）で表される化合物の合成が容易であること等から、１以上のＲ^ｃ１のうちの１つがフルオレン環中の２位に結合するのが好ましい。Ｒ^ｃ１が複数である場合、複数のＲ^ｃ１は同一であっても異なっていてもよい。

【0321】

Ｒ^ｃ１が有機基である場合、Ｒ^ｃ１は、本発明の目的を阻害しない範囲で特に限定されず、種々の有機基から適宜選択される。Ｒ^ｃ１が有機基である場合の好適な例としては、アルキル基、アルコキシ基、シクロアルキル基、シクロアルコキシ基、飽和脂肪族アシル基、飽和脂肪族アシルオキシ基、アルコキシカルボニル基、置換基を有してもよいフェニル基、置換基を有してもよいフェノキシ基、置換基を有してもよいベンゾイル基、置換基を有してもよいフェノキシカルボニル基、置換基を有してもよいベンゾイルオキシ基、置換基を有してもよいフェニルアルキル基、置換基を有してもよいナフチル基、置換基を有してもよいナフトキシ基、置換基を有してもよいナフトイル基、置換基を有してもよいナフトキシカルボニル基、置換基を有してもよいナフトイルオキシ基、置換基を有してもよいナフチルアルキル基、置換基を有してもよいヘテロシクリル基、置換基を有してもよいヘテロシクリルカルボニル基、１、又は２の有機基で置換されたアミノ基、モルホリン－１－イル基、及びピペラジン－１－イル基等が挙げられる。

【0322】

Ｒ^ｃ１がアルキル基である場合、アルキル基の炭素原子数は、１以上２０以下が好ましく、１以上６以下がより好ましい。また、Ｒ^ｃ１がアルキル基である場合、直鎖であっても、分岐鎖であってもよい。Ｒ^ｃ１がアルキル基である場合の具体例としては、メチル基、エチル基、ｎ－プロピル基、イソプロピル基、ｎ－ブチル基、イソブチル基、ｓｅｃ－ブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基、ｎ－ペンチル基、イソペンチル基、ｓｅｃ－ペンチル基、ｔｅｒｔ－ペンチル基、ｎ－ヘキシル基、ｎ－ヘプチル基、ｎ－オクチル基、イソオクチル基、ｓｅｃ－オクチル基、ｔｅｒｔ－オクチル基、ｎ－ノニル基、イソノニル基、ｎ－デシル基、及びイソデシル基等が挙げられる。また、Ｒ^ｃ１がアルキル基である場合、アルキル基は炭素鎖中にエーテル結合（－Ｏ－）を含んでいてもよい。炭素鎖中にエーテル結合を有するアルキル基の例としては、メトキシエチル基、エトキシエチル基、メトキシエトキシエチル基、エトキシエトキシエチル基、プロピルオキシエトキシエチル基、及びメトキシプロピル基等が挙げられる。

【0323】

Ｒ^ｃ１がアルコキシ基である場合、アルコキシ基の炭素原子数は、１以上２０以下が好ましく、１以上６以下がより好ましい。また、Ｒ^ｃ１がアルコキシ基である場合、直鎖であっても、分岐鎖であってもよい。Ｒ^ｃ１がアルコキシ基である場合の具体例としては、メトキシ基、エトキシ基、ｎ－プロピルオキシ基、イソプロピルオキシ基、ｎ－ブチルオキシ基、イソブチルオキシ基、ｓｅｃ－ブチルオキシ基、ｔｅｒｔ－ブチルオキシ基、ｎ－ペンチルオキシ基、イソペンチルオキシ基、ｓｅｃ－ペンチルオキシ基、ｔｅｒｔ－ペンチルオキシ基、ｎ－ヘキシルオキシ基、ｎ－ヘプチルオキシ基、ｎ－オクチルオキシ基、イソオクチルオキシ基、ｓｅｃ－オクチルオキシ基、ｔｅｒｔ－オクチルオキシ基、ｎ－ノニルオキシ基、イソノニルオキシ基、ｎ－デシルオキシ基、及びイソデシルオキシ基等が挙げられる。また、Ｒ^ｃ１がアルコキシ基である場合、アルコキシ基は炭素鎖中にエーテル結合（－Ｏ－）を含んでいてもよい。炭素鎖中にエーテル結合を有するアルコキシ基の例としては、メトキシエトキシ基、エトキシエトキシ基、メトキシエトキシエトキシ基、エトキシエトキシエトキシ基、プロピルオキシエトキシエトキシ基、及びメトキシプロピルオキシ基等が挙げられる。

【0324】

Ｒ^ｃ１がシクロアルキル基又はシクロアルコキシ基である場合、シクロアルキル基又はシクロアルコキシ基の炭素原子数は、３以上１０以下が好ましく、３以上６以下がより好ましい。Ｒ^ｃ１がシクロアルキル基である場合の具体例としては、シクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、シクロヘプチル基、及びシクロオクチル基等が挙げられる。Ｒ^ｃ１がシクロアルコキシ基である場合の具体例としては、シクロプロピルオキシ基、シクロブチルオキシ基、シクロペンチルオキシ基、シクロヘキシルオキシ基、シクロヘプチルオキシ基、及びシクロオクチルオキシ基等が挙げられる。

【0325】

Ｒ^ｃ１が飽和脂肪族アシル基又は飽和脂肪族アシルオキシ基である場合、飽和脂肪族アシル基又は飽和脂肪族アシルオキシ基の炭素原子数は、２以上２１以下が好ましく、２以上７以下がより好ましい。Ｒ^ｃ１が飽和脂肪族アシル基である場合の具体例としては、アセチル基、プロパノイル基、ｎ－ブタノイル基、２－メチルプロパノイル基、ｎ－ペンタノイル基、２，２－ジメチルプロパノイル基、ｎ－ヘキサノイル基、ｎ－ヘプタノイル基、ｎ－オクタノイル基、ｎ－ノナノイル基、ｎ－デカノイル基、ｎ－ウンデカノイル基、ｎ－ドデカノイル基、ｎ－トリデカノイル基、ｎ－テトラデカノイル基、ｎ－ペンタデカノイル基、及びｎ－ヘキサデカノイル基等が挙げられる。Ｒ^ｃ１が飽和脂肪族アシルオキシ基である場合の具体例としては、アセチルオキシ基、プロパノイルオキシ基、ｎ－ブタノイルオキシ基、２－メチルプロパノイルオキシ基、ｎ－ペンタノイルオキシ基、２，２－ジメチルプロパノイルオキシ基、ｎ－ヘキサノイルオキシ基、ｎ－ヘプタノイルオキシ基、ｎ－オクタノイルオキシ基、ｎ－ノナノイルオキシ基、ｎ－デカノイルオキシ基、ｎ－ウンデカノイルオキシ基、ｎ－ドデカノイルオキシ基、ｎ－トリデカノイルオキシ基、ｎ－テトラデカノイルオキシ基、ｎ－ペンタデカノイルオキシ基、及びｎ－ヘキサデカノイルオキシ基等が挙げられる。

【0326】

Ｒ^ｃ１がアルコキシカルボニル基である場合、アルコキシカルボニル基の炭素原子数は、２以上２０以下が好ましく、２以上７以下がより好ましい。Ｒ^ｃ１がアルコキシカルボニル基である場合の具体例としては、メトキシカルボニル基、エトキシカルボニル基、ｎ－プロピルオキシカルボニル基、イソプロピルオキシカルボニル基、ｎ－ブチルオキシカルボニル基、イソブチルオキシカルボニル基、ｓｅｃ－ブチルオキシカルボニル基、ｔｅｒｔ－ブチルオキシカルボニル基、ｎ－ペンチルオキシカルボニル基、イソペンチルオキシカルボニル基、ｓｅｃ－ペンチルオキシカルボニル基、ｔｅｒｔ－ペンチルオキシカルボニル基、ｎ－ヘキシルオキシカルボニル基、ｎ－ヘプチルオキシカルボニル基、ｎ－オクチルオキシカルボニル基、イソオクチルオキシカルボニル基、ｓｅｃ－オクチルオキシカルボニル基、ｔｅｒｔ－オクチルオキシカルボニル基、ｎ－ノニルオキシカルボニル基、イソノニルオキシカルボニル基、ｎ－デシルオキシカルボニル基、及びイソデシルオキシカルボニル基等が挙げられる。

【0327】

Ｒ^ｃ１がフェニルアルキル基である場合、フェニルアルキル基の炭素原子数は、７以上２０以下が好ましく、７以上１０以下がより好ましい。また、Ｒ^ｃ１がナフチルアルキル基である場合、ナフチルアルキル基の炭素原子数は、１１以上２０以下が好ましく、１１以上１４以下がより好ましい。Ｒ^ｃ１がフェニルアルキル基である場合の具体例としては、ベンジル基、２－フェニルエチル基、３－フェニルプロピル基、及び４－フェニルブチル基が挙げられる。Ｒ^ｃ１がナフチルアルキル基である場合の具体例としては、α－ナフチルメチル基、β－ナフチルメチル基、２－（α－ナフチル）エチル基、及び２－（β－ナフチル）エチル基が挙げられる。Ｒ^ｃ１が、フェニルアルキル基、又はナフチルアルキル基である場合、Ｒ^ｃ１は、フェニル基、又はナフチル基上にさらに置換基を有していてもよい。

【0328】

Ｒ^ｃ１がヘテロシクリル基である場合、ヘテロシクリル基は、１以上のＮ、Ｓ、Ｏを含む５員又は６員の単環であるか、かかる単環同士、又はかかる単環とベンゼン環とが縮合したヘテロシクリル基である。ヘテロシクリル基が縮合環である場合は、縮合環を構成する単環の環数は３以下とする。ヘテロシクリル基は、芳香族基（ヘテロアリール基）であっても、非芳香族基であってもよい。かかるヘテロシクリル基を構成する複素環としては、フラン、チオフェン、ピロール、オキサゾール、イソオキサゾール、チアゾール、チアジアゾール、イソチアゾール、イミダゾール、ピラゾール、トリアゾール、ピリジン、ピラジン、ピリミジン、ピリダジン、ベンゾフラン、ベンゾチオフェン、インドール、イソインドール、インドリジン、ベンゾイミダゾール、ベンゾトリアゾール、ベンゾオキサゾール、ベンゾチアゾール、カルバゾール、プリン、キノリン、イソキノリン、キナゾリン、フタラジン、シンノリン、キノキサリン、ピペリジン、ピペラジン、モルホリン、ピペリジン、テトラヒドロピラン、及びテトラヒドロフラン等が挙げられる。Ｒ^ｃ１がヘテロシクリル基である場合、ヘテロシクリル基はさらに置換基を有していてもよい。

【0329】

Ｒ^ｃ１がヘテロシクリルカルボニル基である場合、ヘテロシクリルカルボニル基に含まれるヘテロシクリル基は、Ｒ^ｃ１がヘテロシクリル基である場合と同様である。

【0330】

Ｒ^ｃ１が１又は２の有機基で置換されたアミノ基である場合、有機基の好適な例は、炭素原子数１以上２０以下のアルキル基、炭素原子数３以上１０以下のシクロアルキル基、炭素原子数２以上２１以下の飽和脂肪族アシル基、置換基を有してもよいフェニル基、置換基を有してもよいベンゾイル基、置換基を有してもよい炭素原子数７以上２０以下のフェニルアルキル基、置換基を有してもよいナフチル基、置換基を有してもよいナフトイル基、置換基を有してもよい炭素原子数１１以上２０以下のナフチルアルキル基、及びヘテロシクリル基等が挙げられる。これらの好適な有機基の具体例は、Ｒ^ｃ１と同様である。１、又は２の有機基で置換されたアミノ基の具体例としては、メチルアミノ基、エチルアミノ基、ジエチルアミノ基、ｎ－プロピルアミノ基、ジ－ｎ－プロピルアミノ基、イソプロピルアミノ基、ｎ－ブチルアミノ基、ジ－ｎ－ブチルアミノ基、ｎ－ペンチルアミノ基、ｎ－ヘキシルアミノ基、ｎ－ヘプチルアミノ基、ｎ－オクチルアミノ基、ｎ－ノニルアミノ基、ｎ－デシルアミノ基、フェニルアミノ基、ナフチルアミノ基、アセチルアミノ基、プロパノイルアミノ基、ｎ－ブタノイルアミノ基、ｎ－ペンタノイルアミノ基、ｎ－ヘキサノイルアミノ基、ｎ－ヘプタノイルアミノ基、ｎ－オクタノイルアミノ基、ｎ－デカノイルアミノ基、ベンゾイルアミノ基、α－ナフトイルアミノ基、及びβ－ナフトイルアミノ基等が挙げられる。

【0331】

Ｒ^ｃ１に含まれる、フェニル基、ナフチル基、及びヘテロシクリル基がさらに置換基を有する場合の置換基としては、炭素原子数１以上６以下のアルキル基、炭素原子数１以上６以下のアルコキシ基、炭素原子数２以上７以下の飽和脂肪族アシル基、炭素原子数２以上７以下のアルコキシカルボニル基、炭素原子数２以上７以下の飽和脂肪族アシルオキシ基、炭素原子数１以上６以下のアルキル基を有するモノアルキルアミノ基、炭素原子数１以上６以下のアルキル基を有するジアルキルアミノ基、モルホリン－１－イル基、ピペラジン－１－イル基、ハロゲン、ニトロ基、及びシアノ基等が挙げられる。Ｒ^ｃ１に含まれる、フェニル基、ナフチル基、及びヘテロシクリル基がさらに置換基を有する場合、その置換基の数は、本発明の目的を阻害しない範囲で限定されないが、１以上４以下が好ましい。Ｒ^ｃ１に含まれる、フェニル基、ナフチル基、及びヘテロシクリル基が、複数の置換基を有する場合、複数の置換基は、同一であっても異なっていてもよい。

【0332】

以上説明した基の中でも、Ｒ^ｃ１としては、ニトロ基、又はＲ^ｃ１０－ＣＯ－で表される基であると、感度が向上する傾向があり好ましい。Ｒ^ｃ１０は、本発明の目的を阻害しない範囲で特に限定されず、種々の有機基から選択できる。Ｒ^ｃ１０として好適な基の例としては、炭素原子数１以上２０以下のアルキル基、置換基を有してもよいフェニル基、置換基を有してもよいナフチル基、及び置換基を有してもよいヘテロシクリル基が挙げられる。Ｒ^ｃ１０として、これらの基の中では、２－メチルフェニル基、チオフェン－２－イル基、及びα－ナフチル基が特に好ましい。
また、Ｒ^ｃ１が水素原子であると、透明性が良好となる傾向があり好ましい。なお、Ｒ^ｃ１が水素原子であり且つＲ^ｃ４が後述の式（１ａ）又は（１ｂ）で表される基であると透明性はより良好となる傾向がある。

【0333】

式（１）中、Ｒ^ｃ２及びＲ^ｃ３は、それぞれ、置換基を有してもよい鎖状アルキル基、置換基を有してもよい環状有機基、又は水素原子である。Ｒ^ｃ２とＲ^ｃ３とは相互に結合して環を形成してもよい。これらの基の中では、Ｒ^ｃ２及びＲ^ｃ３として、置換基を有してもよい鎖状アルキル基が好ましい。Ｒ^ｃ２及びＲ^ｃ３が置換基を有してもよい鎖状アルキル基である場合、鎖状アルキル基は直鎖アルキル基でも分岐鎖アルキル基でもよい。

【0334】

Ｒ^ｃ２及びＲ^ｃ３が置換基を持たない鎖状アルキル基である場合、鎖状アルキル基の炭素原子数は、１以上２０以下が好ましく、１以上１０以下がより好ましく、１以上６以下が特に好ましい。Ｒ^ｃ２及びＲ^ｃ３が鎖状アルキル基である場合の具体例としては、メチル基、エチル基、ｎ－プロピル基、イソプロピル基、ｎ－ブチル基、イソブチル基、ｓｅｃ－ブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基、ｎ－ペンチル基、イソペンチル基、ｓｅｃ－ペンチル基、ｔｅｒｔ－ペンチル基、ｎ－ヘキシル基、ｎ－ヘプチル基、ｎ－オクチル基、イソオクチル基、ｓｅｃ－オクチル基、ｔｅｒｔ－オクチル基、ｎ－ノニル基、イソノニル基、ｎ－デシル基、及びイソデシル基等が挙げられる。また、Ｒ^ｃ２及びＲ^ｃ３がアルキル基である場合、アルキル基は炭素鎖中にエーテル結合（－Ｏ－）を含んでいてもよい。炭素鎖中にエーテル結合を有するアルキル基の例としては、メトキシエチル基、エトキシエチル基、メトキシエトキシエチル基、エトキシエトキシエチル基、プロピルオキシエトキシエチル基、及びメトキシプロピル基等が挙げられる。

【0335】

Ｒ^ｃ２及びＲ^ｃ３が置換基を有する鎖状アルキル基である場合、鎖状アルキル基の炭素原子数は、１以上２０以下が好ましく、１以上１０以下がより好ましく、１以上６以下が特に好ましい。この場合、置換基の炭素原子数は、鎖状アルキル基の炭素原子数に含まれない。置換基を有する鎖状アルキル基は、直鎖状であるのが好ましい。
アルキル基が有してもよい置換基は、本発明の目的を阻害しない範囲で特に限定されない。置換基の好適な例としては、シアノ基、ハロゲン原子、環状有機基、及びアルコキシカルボニル基が挙げられる。ハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子が挙げられる。これらの中では、フッ素原子、塩素原子、臭素原子が好ましい。環状有機基としては、シクロアルキル基、芳香族炭化水素基、ヘテロシクリル基が挙げられる。シクロアルキル基の具体例としては、Ｒ^ｃ１がシクロアルキル基である場合の好適な例と同様である。芳香族炭化水素基の具体例としては、フェニル基、ナフチル基、ビフェニリル基、アントリル基、及びフェナントリル基等が挙げられる。ヘテロシクリル基の具体例としては、Ｒ^ｃ１がヘテロシクリル基である場合の好適な例と同様である。Ｒ^ｃ１がアルコキシカルボニル基である場合、アルコキシカルボニル基に含まれるアルコキシ基は、直鎖状でも分岐鎖状でもよく、直鎖状が好ましい。アルコキシカルボニル基に含まれるアルコキシ基の炭素原子数は、１以上１０以下が好ましく、１以上６以下がより好ましい。

【0336】

鎖状アルキル基が置換基を有する場合、置換基の数は特に限定されない。好ましい置換基の数は鎖状アルキル基の炭素原子数に応じて変わる。置換基の数は、典型的には、１以上２０以下であり、１以上１０以下が好ましく、１以上６以下がより好ましい。

【0337】

Ｒ^ｃ２及びＲ^ｃ３が環状有機基である場合、環状有機基は、脂環式基であっても、芳香族基であってもよい。環状有機基としては、脂肪族環状炭化水素基、芳香族炭化水素基、ヘテロシクリル基が挙げられる。Ｒ^ｃ２及びＲ^ｃ３が環状有機基である場合に、環状有機基が有してもよい置換基は、Ｒ^ｃ２及びＲ^ｃ３が鎖状アルキル基である場合と同様である。

【0338】

Ｒ^ｃ２及びＲ^ｃ３が芳香族炭化水素基である場合、芳香族炭化水素基は、フェニル基であるか、複数のベンゼン環が炭素－炭素結合を介して結合して形成される基であるか、複数のベンゼン環が縮合して形成される基であるのが好ましい。芳香族炭化水素基が、フェニル基であるか、複数のベンゼン環が結合又は縮合して形成される基である場合、芳香族炭化水素基に含まれるベンゼン環の環数は特に限定されず、３以下が好ましく、２以下がより好ましく、１が特に好ましい。芳香族炭化水素基の好ましい具体例としては、フェニル基、ナフチル基、ビフェニリル基、アントリル基、及びフェナントリル基等が挙げられる。

【0339】

Ｒ^ｃ２及びＲ^ｃ３が脂肪族環状炭化水素基である場合、脂肪族環状炭化水素基は、単環式であっても多環式であってもよい。脂肪族環状炭化水素基の炭素原子数は特に限定されないが、３以上２０以下が好ましく、３以上１０以下がより好ましい。単環式の環状炭化水素基の例としては、シクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基、ノルボルニル基、イソボルニル基、トリシクロノニル基、トリシクロデシル基、テトラシクロドデシル基、及びアダマンチル基等が挙げられる。

【0340】

Ｒ^ｃ２及びＲ^ｃ３がヘテロシクリル基である場合、ヘテロシクリル基は、１以上のＮ、Ｓ、Ｏを含む５員又は６員の単環であるか、かかる単環同士、又はかかる単環とベンゼン環とが縮合したヘテロシクリル基である。ヘテロシクリル基が縮合環である場合は、縮合環を構成する単環の環数は３以下とする。ヘテロシクリル基は、芳香族基（ヘテロアリール基）であっても、非芳香族基であってもよい。かかるヘテロシクリル基を構成する複素環としては、フラン、チオフェン、ピロール、オキサゾール、イソオキサゾール、チアゾール、チアジアゾール、イソチアゾール、イミダゾール、ピラゾール、トリアゾール、ピリジン、ピラジン、ピリミジン、ピリダジン、ベンゾフラン、ベンゾチオフェン、インドール、イソインドール、インドリジン、ベンゾイミダゾール、ベンゾトリアゾール、ベンゾオキサゾール、ベンゾチアゾール、カルバゾール、プリン、キノリン、イソキノリン、キナゾリン、フタラジン、シンノリン、キノキサリン、ピペリジン、ピペラジン、モルホリン、ピペリジン、テトラヒドロピラン、及びテトラヒドロフラン等が挙げられる。

【0341】

Ｒ^ｃ２とＲ^ｃ３とは相互に結合して環を形成してもよい。Ｒ^ｃ２とＲ^ｃ３とが形成する環からなる基は、シクロアルキリデン基であるのが好ましい。Ｒ^ｃ２とＲ^ｃ３とが結合してシクロアルキリデン基を形成する場合、シクロアルキリデン基を構成する環は、５員環又は６員環であるのが好ましく、５員環であるのがより好ましい。

【0342】

Ｒ^ｃ２とＲ^ｃ３とが結合して形成する基がシクロアルキリデン基である場合、シクロアルキリデン基は、１以上の他の環と縮合していてもよい。シクロアルキリデン基と縮合していてもよい環の例としては、ベンゼン環、ナフタレン環、シクロブタン環、シクロペンタン環、シクロヘキサン環、シクロヘプタン環、シクロオクタン環、フラン環、チオフェン環、ピロール環、ピリジン環、ピラジン環、及びピリミジン環等が挙げられる。

【0343】

以上説明したＲ^ｃ２及びＲ^ｃ３の中でも好適な基の例としては、式－Ａ^０１－Ａ^０２で表される基が挙げられる。式中、Ａ^０１は直鎖アルキレン基であり、Ａ^０２は、アルコキシ基、シアノ基、ハロゲン原子、ハロゲン化アルキル基、環状有機基、又はアルコキシカルボニル基である挙げられる。

【0344】

Ａ^０１の直鎖アルキレン基の炭素原子数は、１以上１０以下が好ましく、１以上６以下がより好ましい。Ａ^０２がアルコキシ基である場合、アルコキシ基は、直鎖状でも分岐鎖状でもよく、直鎖状が好ましい。アルコキシ基の炭素原子数は、１以上１０以下が好ましく、１以上６以下がより好ましい。Ａ^０２がハロゲン原子である場合、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子が好ましく、フッ素原子、塩素原子、臭素原子がより好ましい。Ａ^０２がハロゲン化アルキル基である場合、ハロゲン化アルキル基に含まれるハロゲン原子は、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子が好ましく、フッ素原子、塩素原子、臭素原子がより好ましい。ハロゲン化アルキル基は、直鎖状でも分岐鎖状でもよく、直鎖状が好ましい。Ａ^０２が環状有機基である場合、環状有機基の例は、Ｒ^ｃ２及びＲ^ｃ３が置換基として有する環状有機基と同様である。Ａ^０２がアルコキシカルボニル基である場合、アルコキシカルボニル基の例は、Ｒ^ｃ２及びＲ^ｃ３が置換基として有するアルコキシカルボニル基と同様である。

【0345】

Ｒ^ｃ２及びＲ^ｃ３の好適な具体例としては、エチル基、ｎ－プロピル基、ｎ－ブチル基、ｎ－ヘキシル基、ｎ－ヘプチル基、及びｎ－オクチル基等のアルキル基；２－メトキシエチル基、３－メトキシ－ｎ－プロピル基、４－メトキシ－ｎ－ブチル基、５－メトキシ－ｎ－ペンチル基、６－メトキシ－ｎ－ヘキシル基、７－メトキシ－ｎ－ヘプチル基、８－メトキシ－ｎ－オクチル基、２－エトキシエチル基、３－エトキシ－ｎ－プロピル基、４－エトキシ－ｎ－ブチル基、５－エトキシ－ｎ－ペンチル基、６－エトキシ－ｎ－ヘキシル基、７－エトキシ－ｎ－ヘプチル基、及び８－エトキシ－ｎ－オクチル基等のアルコキシアルキル基；２－シアノエチル基、３－シアノ－ｎ－プロピル基、４－シアノ－ｎ－ブチル基、５－シアノ－ｎ－ペンチル基、６－シアノ－ｎ－ヘキシル基、７－シアノ－ｎ－ヘプチル基、及び８－シアノ－ｎ－オクチル基等のシアノアルキル基；２－フェニルエチル基、３－フェニル－ｎ－プロピル基、４－フェニル－ｎ－ブチル基、５－フェニル－ｎ－ペンチル基、６－フェニル－ｎ－ヘキシル基、７－フェニル－ｎ－ヘプチル基、及び８－フェニル－ｎ－オクチル基等のフェニルアルキル基；２－シクロヘキシルエチル基、３－シクロヘキシル－ｎ－プロピル基、４－シクロヘキシル－ｎ－ブチル基、５－シクロヘキシル－ｎ－ペンチル基、６－シクロヘキシル－ｎ－ヘキシル基、７－シクロヘキシル－ｎ－ヘプチル基、８－シクロヘキシル－ｎ－オクチル基、２－シクロペンチルエチル基、３－シクロペンチル－ｎ－プロピル基、４－シクロペンチル－ｎ－ブチル基、５－シクロペンチル－ｎ－ペンチル基、６－シクロペンチル－ｎ－ヘキシル基、７－シクロペンチル－ｎ－ヘプチル基、及び８－シクロペンチル－ｎ－オクチル基等のシクロアルキルアルキル基；２－メトキシカルボニルエチル基、３－メトキシカルボニル－ｎ－プロピル基、４－メトキシカルボニル－ｎ－ブチル基、５－メトキシカルボニル－ｎ－ペンチル基、６－メトキシカルボニル－ｎ－ヘキシル基、７－メトキシカルボニル－ｎ－ヘプチル基、８－メトキシカルボニル－ｎ－オクチル基、２－エトキシカルボニルエチル基、３－エトキシカルボニル－ｎ－プロピル基、４－エトキシカルボニル－ｎ－ブチル基、５－エトキシカルボニル－ｎ－ペンチル基、６－エトキシカルボニル－ｎ－ヘキシル基、７－エトキシカルボニル－ｎ－ヘプチル基、及び８－エトキシカルボニル－ｎ－オクチル基等のアルコキシカルボニルアルキル基；２－クロロエチル基、３－クロロ－ｎ－プロピル基、４－クロロ－ｎ－ブチル基、５－クロロ－ｎ－ペンチル基、６－クロロ－ｎ－ヘキシル基、７－クロロ－ｎ－ヘプチル基、８－クロロ－ｎ－オクチル基、２－ブロモエチル基、３－ブロモ－ｎ－プロピル基、４－ブロモ－ｎ－ブチル基、５－ブロモ－ｎ－ペンチル基、６－ブロモ－ｎ－ヘキシル基、７－ブロモ－ｎ－ヘプチル基、８－ブロモ－ｎ－オクチル基、３，３，３－トリフルオロプロピル基、及び３，３，４，４，５，５，５－ヘプタフルオロ－ｎ－ペンチル基等のハロゲン化アルキル基が挙げられる。

【0346】

Ｒ^ｃ２及びＲ^ｃ３として、上記の中でも好適な基は、エチル基、ｎ－プロピル基、ｎ－ブチル基、ｎ－ペンチル基、２－メトキシエチル基、２－シアノエチル基、２－フェニルエチル基、２－シクロヘキシルエチル基、２－メトキシカルボニルエチル基、２－クロロエチル基、２－ブロモエチル基、３，３，３－トリフルオロプロピル基、及び３，３，４，４，５，５，５－ヘプタフルオロ－ｎ－ペンチル基である。

【0347】

Ｒ^ｃ４の好適な有機基の例としては、Ｒ^ｃ１と同様に、アルキル基、アルコキシ基、シクロアルキル基、シクロアルコキシ基、飽和脂肪族アシル基、アルコキシカルボニル基、飽和脂肪族アシルオキシ基、置換基を有してもよいフェニル基、置換基を有してもよいフェノキシ基、置換基を有してもよいベンゾイル基、置換基を有してもよいフェノキシカルボニル基、置換基を有してもよいベンゾイルオキシ基、置換基を有してもよいフェニルアルキル基、置換基を有してもよいナフチル基、置換基を有してもよいナフトキシ基、置換基を有してもよいナフトイル基、置換基を有してもよいナフトキシカルボニル基、置換基を有してもよいナフトイルオキシ基、置換基を有してもよいナフチルアルキル基、置換基を有してもよいヘテロシクリル基、置換基を有してもよいヘテロシクリルカルボニル基、１、又は２の有機基で置換されたアミノ基、モルホリン－１－イル基、及びピペラジン－１－イル基等が挙げられる。これらの基の具体例は、Ｒ^ｃ１について説明したものと同様である。また、Ｒ^ｃ４としてはシクロアルキルアルキル基、芳香環上に置換基を有していてもよいフェノキシアルキル基、芳香環上に置換基を有していてもよいフェニルチオアルキル基、も好ましい。フェノキシアルキル基、及びフェニルチオアルキル基が有していてもよい置換基は、Ｒ^ｃ１に含まれるフェニル基が有していてもよい置換基と同様である。

【0348】

有機基の中でも、Ｒ^ｃ４としては、アルキル基、シクロアルキル基、置換基を有していてもよいフェニル基、又はシクロアルキルアルキル基、芳香環上に置換基を有していてもよいフェニルチオアルキル基が好ましい。アルキル基としては、炭素原子数１以上２０以下のアルキル基が好ましく、炭素原子数１以上８以下のアルキル基がより好ましく、炭素原子数１以上４以下のアルキル基が特に好ましく、メチル基が最も好ましい。置換基を有していてもよいフェニル基の中では、メチルフェニル基が好ましく、２－メチルフェニル基がより好ましい。シクロアルキルアルキル基に含まれるシクロアルキル基の炭素原子数は、５以上１０以下が好ましく、５以上８以下がより好ましく、５又は６が特に好ましい。シクロアルキルアルキル基に含まれるアルキレン基の炭素原子数は、１以上８以下が好ましく、１以上４以下がより好ましく、２が特に好ましい。シクロアルキルアルキル基の中では、シクロペンチルエチル基が好ましい。芳香環上に置換基を有していてもよいフェニルチオアルキル基に含まれるアルキレン基の炭素原子数は、１以上８以下が好ましく、１以上４以下がより好ましく、２が特に好ましい。芳香環上に置換基を有していてもよいフェニルチオアルキル基の中では、２－（４－クロロフェニルチオ）エチル基が好ましい。

【0349】

また、Ｒ^ｃ４としては、－Ａ^０３－ＣＯ－Ｏ－Ａ^０４で表される基も好ましい。Ａ^０３は、２価の有機基であり、２価の炭化水素基であるのが好ましく、アルキレン基であるのが好ましい。Ａ^０４は、１価の有機基であり、１価の炭化水素基であるのが好ましい。

【0350】

Ａ^０３がアルキレン基である場合、アルキレン基は直鎖状でも分岐鎖状でもよく、直鎖状が好ましい。Ａ^０３がアルキレン基である場合、アルキレン基の炭素原子数は１以上１０以下が好ましく、１以上６以下がより好ましく、１以上４以下が特に好ましい。

【0351】

Ａ^０４の好適な例としては、炭素原子数１以上１０以下のアルキル基、炭素原子数７以上２０以下のアラルキル基、及び炭素原子数６以上２０以下の芳香族炭化水素基が挙げられる。Ａ^０４の好適な具体例としては、メチル基、エチル基、ｎ－プロピル基、イソプロピル基、ｎ－ブチル基、イソブチル基、ｓｅｃ－ブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基、ｎ－ペンチル基、ｎ－ヘキシル基、フェニル基、ナフチル基、ベンジル基、フェネチル基、α－ナフチルメチル基、及びβ－ナフチルメチル基等が挙げられる。

【0352】

－Ａ^０３－ＣＯ－Ｏ－Ａ^０４で表される基の好適な具体例としては、２－メトキシカルボニルエチル基、２－エトキシカルボニルエチル基、２－ｎ－プロピルオキシカルボニルエチル基、２－ｎ－ブチルオキシカルボニルエチル基、２－ｎ－ペンチルオキシカルボニルエチル基、２－ｎ－ヘキシルオキシカルボニルエチル基、２－ベンジルオキシカルボニルエチル基、２－フェノキシカルボニルエチル基、３－メトキシカルボニル－ｎ－プロピル基、３－エトキシカルボニル－ｎ－プロピル基、３－ｎ－プロピルオキシカルボニル－ｎ－プロピル基、３－ｎ－ブチルオキシカルボニル－ｎ－プロピル基、３－ｎ－ペンチルオキシカルボニル－ｎ－プロピル基、３－ｎ－ヘキシルオキシカルボニル－ｎ－プロピル基、３－ベンジルオキシカルボニル－ｎ－プロピル基、及び３－フェノキシカルボニル－ｎ－プロピル基等が挙げられる。

【0353】

以上、Ｒ^ｃ４について説明したが、Ｒ^ｃ４としては、下記式（１ａ）又は下記式（１ｂ）で表される基が好ましい。

【化55】

（式（１ａ）及び式（１ｂ）中、Ｒ^ｃ７及びＲ^ｃ８はそれぞれ有機基であり、ｎ３は０以上４以下の整数であり、Ｒ^ｃ７及びＲ^ｃ８がベンゼン環上の隣接する位置に存在する場合、Ｒ^ｃ７とＲ^ｃ８とが互いに結合して環を形成してもよく、ｎ４は１以上８以下の整数であり、ｎ５は１以上５以下の整数であり、ｎ６は０以上（ｎ５＋３）以下の整数であり、Ｒ^ｃ９は有機基である。）

【0354】

式（１ａ）中のＲ^ｃ７及びＲ^ｃ８についての有機基の例は、Ｒ^ｃ１と同様である。Ｒ^ｃ７としては、アルキル基又はフェニル基が好ましい。Ｒ^ｃ７がアルキル基である場合、その炭素原子数は、１以上１０以下が好ましく、１以上５以下がより好ましく、１以上３以下が特に好ましく、１が最も好ましい。つまり、Ｒ^ｃ７はメチル基であるのが最も好ましい。Ｒ^ｃ７とＲ^ｃ８とが結合して環を形成する場合、当該環は、芳香族環でもよく、脂肪族環でもよい。式（１ａ）で表される基であって、Ｒ^ｃ７とＲ^ｃ８とが環を形成している基の好適な例としては、ナフタレン－１－イル基や、１，２，３，４－テトラヒドロナフタレン－５－イル基等が挙げられる。上記式（１ａ）中、ｎ３は０以上４以下の整数であり、０又は１であるのが好ましく、０であるのがより好ましい。

【0355】

上記式（１ｂ）中、Ｒ^ｃ９は有機基である。有機基としては、Ｒ^ｃ１について説明した有機基と同様の基が挙げられる。有機基の中では、アルキル基が好ましい。アルキル基は直鎖状でも分岐鎖状でもよい。アルキル基の炭素原子数は１以上１０以下が好ましく、１以上５以下がより好ましく、１以上３以下が特に好ましい。Ｒ^ｃ９としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基等が好ましく例示され、これらの中でも、メチル基であることがより好ましい。

【0356】

上記式（１ｂ）中、ｎ５は１以上５以下の整数であり、１以上３以下の整数が好ましく、１又は２がより好ましい。上記式（１ｂ）中、ｎ６は０以上（ｎ５＋３）以下であり、０以上３以下の整数が好ましく、０以上２以下の整数がより好ましく、０が特に好ましい。上記式（１ｂ）中、ｎ４は１以上８以下の整数であり、１以上５以下の整数が好ましく、１以上３以下の整数がより好ましく、１又は２が特に好ましい。

【0357】

式（１）中、Ｒ^ｃ５は、水素原子、置換基を有してもよい炭素原子数１以上１１以下のアルキル基、又は置換基を有してもよいアリール基である。Ｒ^ｃ５がアルキル基である場合に有してもよい置換基としては、フェニル基、ナフチル基等が好ましく例示される。また、Ｒ^ｃ１がアリール基である場合に有してもよい置換基としては、炭素原子数１以上５以下のアルキル基、アルコキシ基、ハロゲン原子等が好ましく例示される。

【0358】

式（１）中、Ｒ^ｃ５としては、水素原子、メチル基、エチル基、ｎ－プロピル基、イソプロピル基、ｎ－ブチル基、フェニル基、ベンジル基、メチルフェニル基、ナフチル基等が好ましく例示され、これらの中でも、メチル基又はフェニル基がより好ましい。

【0359】

式（１）で表される化合物の好適な具体例としては、以下のＰＩ－４３～ＰＩ－８３が挙げられる。

【化56】

【0360】

【化57】

【0361】

光重合開始剤（Ｃ）の含有量は、後述する溶媒（Ｓ）の質量を除いた硬化性組成物の質量（固形分全体）に対して０．５質量％以上３０質量％以下が好ましく、１質量％以上２０質量％以下がより好ましい。光重合開始剤（Ｃ）の含有量を上記の範囲とすることにより、硬化性が良好である硬化性組成物を得ることができる。

【0362】

光重合開始剤（Ｃ）に、光開始助剤を組み合わせてもよい。光開始助剤としては、トリエタノールアミン、メチルジエタノールアミン、トリイソプロパノールアミン、４－ジメチルアミノ安息香酸メチル、４－ジメチルアミノ安息香酸エチル、４－ジメチルアミノ安息香酸イソアミル、４－ジメチルアミノ安息香酸２－エチルヘキシル、安息香酸２－ジメチルアミノエチル、Ｎ，Ｎ－ジメチルパラトルイジン、４，４’－ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン、９，１０－ジメトキシアントラセン、２－エチル－９，１０－ジメトキシアントラセン、９，１０－ジエトキシアントラセン、２－エチル－９，１０－ジエトキシアントラセン、２－メルカプトベンゾチアゾール、２－メルカプトベンゾオキサゾール、２－メルカプトベンゾイミダゾール、２－メルカプト－５－メトキシベンゾチアゾール、３－メルカプトプロピオン酸、３－メルカプトプロピオン酸メチル、ペンタエリストールテトラメルカプトアセテート、３－メルカプトプロピオネート等のチオール化合物等が挙げられる。これらの光開始助剤は、単独又は２種以上組み合わせて用いることができる。

【0363】

・有機溶剤（Ｓ）
第２の硬化性組成物は、典型的には、塗布性の調整の目的等で有機溶剤（Ｓ）を含んでいてもよい。有機溶剤（Ｓ）としては、第１の硬化性組成物について説明した有機溶剤と同様の有機溶剤を用いることができる。

【0364】

有機溶剤（Ｓ）の使用量は、硬化性組成物の用途に応じて適宜決定し得る。有機溶剤（Ｓ）の使用量としては、一例として、硬化性組成物の固形分濃度が１質量％以上５０質量％以下の範囲である量が挙げられる。

【0365】

・その他の成分
硬化性組成物には、必要に応じて、上記の成分以外のその他の各種の添加剤を含んでいてもよい。具体的には、分散助剤、充填剤、フィラー、密着促進剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、凝集防止剤、熱重合禁止剤、消泡剤、界面活性剤等が例示される。

【0366】

≪硬化物、及び硬化物の製造方法≫
前述の硬化性組成物を加熱、及び／又は露光することにより硬化物を製造し得る。硬化物を製造する際に、加熱、露光、及び加熱と露光との双方のいずれを行うかは、硬化物組成物の組成を考慮して適宜決定される。前述の硬化性組成物の硬化物は、低い比誘電率を示すため、種々の画像表示装置用のディスプレイパネルにおけるインシュレータ等の膜の材料として好適に使用される。

【0367】

硬化物の比誘電率は、周波数０．１ＭＨｚにて測定された値として、３．５以下が好ましく、３．４以下がより好ましく、３．３以下がさらに好ましい。
比誘電率の測定方法としては、水銀プローブ法が好ましく適用される。水銀プローブ法による比誘電率測定を行うことができる装置としては、一例として、ＳＳＭ－４９５（日本セミラボ社製）が挙げられる。
比誘電率の測定方法の好ましい一例としては、以下の１）～４）の工程により膜状の硬化物を形成した後、形成された硬化物に対して、水銀プローブ法による比誘電率測定を行う方法が挙げられる。
１）シリコンウエハ上に硬化組成物を塗布して塗布膜を形成する。
２）形成された塗布膜を、１００℃で１２０秒間加熱する。
３）硬化性組成物が光重合開始剤、又は感光性硬化剤を含む場合、塗布膜を任意に１ｋＪ／ｃｍ^２の露光量で露光する。
４）必要に応じて露光された塗布膜を、２３０℃で２０分間加熱する。

【0368】

硬化物の形状は特に限定されないが、膜形状であるのが好ましい。硬化物が膜である場合、その厚さは、１０ｎｍ以上３００００ｎｍ以下が好ましく、５０ｎｍ以上１５００ｎｍ以下がより好ましく、１００ｎｍ以上１０００ｎｍ以下がさらに好ましい。

【0369】

硬化物の形状が膜形状である場合、基板上に塗布された硬化性組成物の塗布膜に対して、加熱、及び／又は露光を行うのが好ましい。塗布方法は特に限定されず、例えば、ロールコータ、リバースコータ、バーコータ等の接触転写型塗布装置やスピンナー（回転式塗布装置）、カーテンフローコータ等の非接触型塗布装置を用いて塗布する方法が挙げられる。

【0370】

上記塗布後の塗布膜は乾燥（プリベーク）されるのが好ましい。乾燥方法は、特に限定されず、例えば、（１）ホットプレートにて８０℃以上１２０℃以下、好ましくは９０℃以上１００℃以下の温度にて６０秒間以上１２０秒間以下乾燥させる方法、（２）室温にて数時間～数日間放置する方法、（３）温風ヒータや赤外線ヒータ中に数十分間～数時間入れて溶剤を除去する方法等が挙げられる。
なお、乾燥と同時に、硬化性組成物の硬化が進行してもよい。

【0371】

硬化性組成物を加熱して硬化物を形成する場合、加熱温度、及び加熱時間は、硬化が良好に進行し、硬化物に熱劣化や熱分解が生じない限り特に限定されない。加熱温度は、例えば、８０℃以上３００℃以下が好ましく、１００℃以上２８０℃以下がより好ましく、１２０℃以上２５０℃以下がさらに好ましい。加熱時間は、例えば、１０秒以上１２時間以下が好ましく、１分以上６時間以下がより好ましく、２分以上３時間以下がより好ましい。

【0372】

硬化性組成物を露光して硬化物を形成する場合、露光条件は、硬化が良好に進行する限り特に限定されない。露光は、例えば、紫外線、エキシマレーザー光等の活性エネルギー線を照射することにより行われる。照射するエネルギー線量は特に制限はないが、例えば１０ｍＪ／ｃｍ^２以上２０００ｍＪ／ｃｍ^２以下が挙げられる。

【0373】

≪パターニングされた硬化膜の製造方法≫
硬化性組成物として、感光性硬化剤を含む前述の第１の硬化性組成物や、前述の第２の硬化性組成物を用いる場合、フォトリソグラフィー法を適用することによりパターニングされた硬化膜を形成することができる。
具体的には、
感光性硬化剤を含む前述の第１の硬化性組成物、又は前述の第２の硬化性組成物を基板上に塗布して塗布膜を形成することと、
塗布膜に対して、位置選択的に露光を行うことと、
露光された塗布膜を、現像液により現像して前記塗布膜をパターニングすることと、
パターニングされた塗布膜を、加熱することと、を含む、方法によりパターニングされた硬化膜が製造される。

【0374】

パターニングされた硬化膜について、その膜厚は、硬化膜について前述した通りである。
上記のパターニングされた硬化膜の製造方法において、塗布方法は、硬化膜の製造方法について前述した通りである。露光条件は、硬化膜の製造方法について前述した通りである。位置選択的な露光は、例えば、ネガ型のフォトマスクを介して行われる。露光後の加熱条件については、硬化膜の製造方法について前述した熱硬化の条件を適用できる。

【0375】

現像方法は特に限定されず、例えば浸漬法、スプレー法等を用いることができる。現像液の具体例としては、硬化性組成物が含んでいてもよい有機溶剤（Ｓ）や、モノエタノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン等の有機系の現像液や、例えば、濃度０．０２質量％以上１０質量％以下で、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、アンモニア、４級アンモニウム塩等を含む塩基性の水溶液が挙げられる。
硬化性組成物が、感光性硬化剤を含む第１の硬化性組成物である場合、硬化性組成物が含んでいてもよい有機溶剤（Ｓ）が好ましい。
硬化性組成物が第２の硬化性組成物である場合、現像液としてはアルカリ現像液が好ましい。アルカリ現像液としては、例えば、濃度０．０５質量％以上１０質量％以下、好ましくは濃度０．０５質量％以上３質量％以下のテトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液が好ましい。

【実施例】

【0376】

以下に、実施例に基づいて本発明をより詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例によって限定されない。

【0377】

〔実施例１〕
冷却管、温度計、空気吹き込み管を取り付けた３００ｍＬのガラス製三口フラスコに、下記式で表されるジエポキシ化合物１４．５１ｇ（５０ｍｍｏｌ）、アクリル酸３．６０ｇ（５０ｍｍｏｌ）、ベンジルトリエチルアンモニウムクロリド０．２３ｇ（１ｍｍｏｌ）、ジブチルヒドロキシトルエン０．０５５ｇ（０．２５ｍｍｏｌ）、トリエチルアミンを２０．２３ｍＬ（２００ｍｍｏｌ）、及びトルエン１００ｍＬを入れ、空気を挿入しながら、７０℃で加熱撹拌し、２４時間反応させた。

【化58】

【0378】

反応後、室温まで冷却し、蒸留水１００ｍＬで３回洗浄した。トルエン層を分離し、トルエン留去後、酢酸エチル及びヘキサン（体積比４：６）を展開液としたシリカゲルカラムにより精製した。
無色透明で粘稠液体の下記式で表される中間体１を１４．１３ｇ得た（収率７８％）。

【化59】

【0379】

次いで、上記の処方に従って得られた中間体１を２ｇ（７ｍｍｍｏｌ）と、ジクロロメタン２１０ｇと、トリエチルアミン２．３ｇとを、内部を窒素雰囲気に置換された容量３００ｍＬの三口フラスコに仕込んで溶解させた。
その後、トリメチルモノクロロシラン１．８ｇ（１５．６ｍｍｏｌ）を、室温で、フラスコ内に少量ずつ滴下した。滴下終了後、フラスコ内の反応液を、室温で２時間撹拌した。
反応終了後、反応液を水で洗浄した後、有機層と水層とに分離させ、有機層を回収した。回収された有機層から、ロータリーエバポレーターを用いてジクロロメタンを留去させた後、残渣を凍結乾燥させて、下記構造の化合物１を得た。なお、取得された構造の化合物が下記構造であることは、ＧＣ－ＭＳ測定の結果から確認された。

【化60】

【0380】

〔実施例２〕
容量１００ｍＬのガラス製三口フラスコの内部を、窒素雰囲気に置換した後、フラスコの内温を８０℃にした。次いで、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル（ＭＥＤＧ）５．１８ｇをフラスコ内に加えた。
別途、容量１００ｍＬのガラス製サンプル瓶に、メタクリル酸１．５ｇ（１７．４２ｍｍｏｌ）と、トリシクロ［５．２．１．０２，６］デカニルメタクリレート０．９３ｇ（４．２３ｍｍｏｌ）と、実施例１で得た化合物１を９．２２ｇ（２５．４３ｍｍｏｌ）と、重合開始剤としてのジメチル－２，２’－アゾビス（２－メチルプロピオネート）２．０５ｇと、ＭＥＤＧ２０．２２ｇを加えて、重合溶液を調製した。
得られた重合溶液を、８０℃で２時間かけて三口フラスコに滴下した後、８０℃で２時間撹拌を継続して、重合反応を継続させた。
その結果、構成単位比率（メタクリル酸／トリシクロ［５．２．１．０２，６］デカニルメタクリレート／化合物１）が質量比で１３／９／７８の（メタ）アクリル樹脂（樹脂Ｐ１）のＭＥＤＧ溶液（濃度３０質量％）を得た。
得られた（メタ）アクリル樹脂について、ゲルパーミエーションクロマトグラフィーによりポリスチレン換算の分子量を測定したところ、重量平均分子量（Ｍｗ）が９０００であった。

【0381】

〔実施例３、比較例１、及び比較例２〕
実施例３において、前述の化合物１をエポキシ化合物として用いた。比較例１では、下記構造の化合物２をエポキシ化合物として用いた。比較例２では、前述の中間体１をエポキシ化合物として用いた。

【化61】

【0382】

実施例３、比較例１、及び比較例２において、下記構造のスルホニウムカチオンと、（Ｃ_６Ｆ_５）_４Ｂ^－とからなるスルホニウム塩を感光性硬化剤として用いた。

【化62】

【0383】

エポキシ化合物９９質量部と、感光性硬化剤１質量部とを、有機溶剤に固形分濃度２０質量％となるように溶解させて、実施例３、比較例１、及び比較例２の硬化性組成物を得た。実施例３では、有機溶剤としてプロピレングリコールモノメチルエーテルを用いた。比較例１、及び比較例２では、有機溶剤としてＮ，Ｎ，Ｎ’，Ｎ’－テトラメチルウレアを用いた。得られた硬化性組成物を用いて形成された硬化膜について、以下の処方に従って比誘電率を測定した。

【0384】

＜比誘電率測定＞
シリコンウエハ上に、硬化性組成物をスピンナーにより塗布して塗布膜を形成した。形成された塗布膜を１００℃で１２０秒間加熱した後、露光装置（ＯＲＣ １Ｊ、オーク製作所製）を用いて、露光量１０００ｍＪ／ｃｍ^２にて塗布膜に対して全面露光を行った。さらに２３０℃で２０分間塗布膜を加熱して、膜厚１μｍの硬化膜を形成した。
形成された硬化膜に対して、測定周波数０．１ＭＨｚにてＳＳＭ－４９５（日本セミラボ社製）を用いて、硬化膜の比誘電率を測定した。
その結果、実施例３の硬化性組成物を用いて得た硬化膜の比誘電率は３．５であり、比較例１の硬化性組成物を用いて得た硬化膜の比誘電率は４．２９であり、比較例２の硬化性組成物を用いて得た硬化膜の比誘電率は３．９１であった。
上記の測定結果から、式（１）で表される化合物に該当する化合物１を含む硬化性組成物が、比誘電率の低い硬化物を与えることが分かる。