特許7378293表面処理剤、表面処理方法及び基板表面の領域選択的製膜方法

発明の名称　表面処理剤、表面処理方法及び基板表面の領域選択的製膜方法

出願人　東京応化工業株式会社　（識別番号 220239）

　　　　特許公開件数ランキング 268 位（41件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 352 位（27件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7378293

公報発行日　2023年11月13

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7378293

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