特許 7386636 ドレス方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2023-11-16

(45)【発行日】2023-11-27

(54)【発明の名称】ドレス方法

(51)【国際特許分類】

   B24B 53/00 20060101AFI20231117BHJP

   H01L 21/301 20060101ALI20231117BHJP

【ＦＩ】

B24B53/00 K

H01L21/78 F

【請求項の数】 2

(21)【出願番号】P 2019129382

(22)【出願日】2019-07-11

(65)【公開番号】P2021013984

(43)【公開日】2021-02-12

【審査請求日】2022-05-20

(73)【特許権者】

【識別番号】000134051

【氏名又は名称】株式会社ディスコ

(74)【代理人】

【識別番号】110002147

【氏名又は名称】弁理士法人酒井国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】チュア ホック シュー

【審査官】山村 和人

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１８－１４４２０６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００６－２１８５７１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００２－０３６２３３（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｂ２４Ｂ ５３／００ － ５３／１４

Ｈ０１Ｌ ２１／３０１

Ｈ０１Ｌ ２１／７８

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

スピンドルの先端に固定された切削ブレードのフラットドレス方法であって、
保持テーブル上に粘着テープを介して保持されたドレスボードを撮像手段で撮像し、該ドレスボードの外周縁の位置を検出する位置検出ステップと、
該ドレスボードの一端から他端に向かう方向を該スピンドルの軸心と平行に位置付けるとともに、該位置検出ステップで検出された該ドレスボードの外周縁の位置をもとに該ドレスボードの一端の外側で、該ドレスボードに切り込む所定の高さであるとともに、該ドレスボードからの距離が加工条件に含まれる余裕幅となる位置に該切削ブレードの下端を位置付ける位置付けステップと、
該位置付けステップを実施した後、該切削ブレードを該ドレスボードに対して相対移動させて該ドレスボードの該一端から他端へと該ドレスボードからの距離が加工条件に含まれる該余裕幅となる位置まで移動させて切削することで該切削ブレードの先端を平坦化するドレスステップと、を備えたドレス方法。

【請求項2】

該ドレスステップで切削した該ドレスボードの切削済み領域に関する情報を記憶する切削済み領域記憶ステップと、
該ドレスステップを実施した後、該保持テーブル上から該ドレスボードを搬出して該保持テーブルで被加工物を保持し、該切削ブレードで該保持テーブル上の被加工物を切削する加工ステップと、
該加工ステップを実施した後、該保持テーブル上から被加工物を搬出し、該保持テーブルで該ドレスボードを保持し、該位置検出ステップで検出された該ドレスボードの外周縁の位置と該切削済み領域記憶ステップで記憶された該ドレスボードの切削済み領域に関する情報に基づいて該ドレスボードの一端の外側で、該ドレスボードに切り込む所定の高さであるとともに、該ドレスボードからの距離が加工条件に含まれる該余裕幅となる位置に該切削ブレードの下端を位置付ける第２位置付けステップと、
該第２位置付けステップを実施した後、該切削ブレードを該ドレスボードに対して相対移動させて該ドレスボードの該一端から他端へと該ドレスボードからの距離が加工条件に含まれる該余裕幅となる位置まで移動させて切削する第２ドレスステップと、を備えた請求項１に記載のドレス方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、切削ブレードのフラットドレス方法に関する。

【背景技術】

【0002】

シリコン、ガリウムヒ素、ＳｉＣ（炭化ケイ素）、サファイアなどからなる半導体基板や樹脂パッケージ基板、セラミックス基板など各種板状の被加工物を切削ブレードで切削する切削装置は、被加工物を切削すると、切削ブレードの切り刃の先端が断面円弧状に変形してしまうことがある。

【0003】

切削装置は、定期的に切削ブレードの切り刃の先端をスピンドルの軸心に沿って平坦化するフラットドレスが行われるものがある（例えば、特許文献１参照）。特許文献１に示されたドレス方法は、テープに貼着してフレームに装着されたドレスボードの一端から他端まで切削ブレードをスピンドルの軸心方向に移動させて、切削ブレードでドレスボードを切削することでフラットドレスしている。このため、切削装置は、予めドレスボードの大きさを記憶しておき、ドレスボードの大きさに基づいて、切削ブレードの移動距離を設定する。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【文献】特開２０１０－５８８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

特許文献１に示されたドレス方法は、搬送ユニットがフレームを保持して、フレーム中心と保持テーブル中心が重なるように搬送する。このために、ドレス方法は、フレームに対するドレスボードの貼着位置の誤差や搬送誤差によりチャック中心とドレスボード中心がかならずしも合致しないため、ドレスボードの外周縁よりも余裕幅分外側の位置間で切削ブレードを移動していた。しかしながら、特許文献１に示されたドレス方法は、余裕幅の分、切削ブレードの移動距離が長くなるため、ドレスに要する時間が長時間し、ドレスに要する時間を短縮したいと切望されていた。

【0006】

特にフラットドレスは、通常のダイシングのようにＸ軸方向に切削ブレードを相対移動させて被加工物を切削する場合に比べて、切削ブレードに負荷がかかるので、相対移動速度を低速に設定する。このために、フラットドレスは、できるだけ余裕幅を短く設定したいと切望されていた。

【0007】

本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、フラットドレスに要する時間を抑制することができるドレス方法を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0008】

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明のドレス方法は、スピンドルの先端に固定された切削ブレードのフラットドレス方法であって、保持テーブル上に粘着テープを介して保持されたドレスボードを撮像手段で撮像し、該ドレスボードの外周縁の位置を検出する位置検出ステップと、該ドレスボードの一端から他端に向かう方向を該スピンドルの軸心と平行に位置付けるとともに、該位置検出ステップで検出された該ドレスボードの外周縁の位置をもとに該ドレスボードの一端の外側で、該ドレスボードに切り込む所定の高さであるとともに、該ドレスボードからの距離が加工条件に含まれる余裕幅となる位置に該切削ブレードの下端を位置付ける位置付けステップと、該位置付けステップを実施した後、該切削ブレードを該ドレスボードに対して相対移動させて該ドレスボードの該一端から他端へと該ドレスボードからの距離が加工条件に含まれる該余裕幅となる位置まで移動させて切削することで該切削ブレードの先端を平坦化するドレスステップと、を備えたことを特徴とする。

【0009】

前記ドレス方法において、該ドレスステップで切削した該ドレスボードの切削済み領域に関する情報を記憶する切削済み領域記憶ステップと、該ドレスステップを実施した後、該保持テーブル上から該ドレスボードを搬出して該保持テーブルで被加工物を保持し、該切削ブレードで該保持テーブル上の被加工物を切削する加工ステップと、該加工ステップを実施した後、該保持テーブル上から被加工物を搬出し、該保持テーブルで該ドレスボードを保持し、該位置検出ステップで検出された該ドレスボードの外周縁の位置と該切削済み領域記憶ステップで記憶された該ドレスボードの切削済み領域に関する情報に基づいて該ドレスボードの一端の外側で、該ドレスボードに切り込む所定の高さであるとともに、該ドレスボードからの距離が加工条件に含まれる該余裕幅となる位置に該切削ブレードの下端を位置付ける第２位置付けステップと、該第２位置付けステップを実施した後、該切削ブレードを該ドレスボードに対して相対移動させて該ドレスボードの該一端から他端へと該ドレスボードからの距離が加工条件に含まれる該余裕幅となる位置まで移動させて切削する第２ドレスステップと、を備えても良い。

【発明の効果】

【0010】

本願発明のドレス方法は、フラットドレスに要する時間を抑制することができるという効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【0011】

【図1】図１は、実施形態１に係るドレス方法を実施する切削装置の構成例を示す斜視図である。

【図2】図２は、図１に示された切削装置の切削ブレードをフラットドレスするドレスボードの一例を示す斜視図である。

【図3】図３は、実施形態１に係るドレス方法のフラットドレス前の切削ブレードの切り刃の先端の断面図の一例である。

【図4】図４は、図３に示された切削ブレードのフラットドレス後の切削ブレードの切り刃の先端の断面図の一例である。

【図5】図５は、実施形態１に係るドレス方法のドレス開始位置及びドレス収容位置等を示すドレスボードの平面図である。

【図6】図６は、実施形態１に係るドレス方法の切り込み深さ等を示すドレスボードの側断面図である。

【図7】図７は、実施形態１に係るドレス方法の流れを示すフローチャートである。

【図8】図８は、図７に示されたドレス方法の加工ステップを一部断面で示す側面図である。

【図9】図９は、図７に示されたドレス方法の位置検出ステップの被加工物の平面図である。

【図10】図１０は、図７に示されたドレス方法の位置付けステップの切削ユニット及びドレスボードを一部断面で示す側面図である。

【図11】図１１は、図１０に示された切削ユニット及びドレスボードの平面図である。

【図12】図１２は、図７に示されたドレス方法のドレスステップの切削ユニット及びドレスボードを一部断面で示す側面図である。

【図13】図１３は、図１２に示された切削ユニット及びドレスボードの平面図である。

【図14】図１４は、図７に示されたドレス方法のドレスステップ後のドレスボードの平面図である。

【図15】図１５は、図７に示されたドレス方法の第２位置付けステップの切削ユニット及びドレスボードの平面図である。

【図16】図１６は、図７に示されたドレス方法の第２ドレスステップの切削ユニット及びドレスボードの平面図である。

【発明を実施するための形態】

【0012】

本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。

【0013】

〔実施形態１〕
本発明の実施形態１に係るドレス方法を図面に基いて説明する。図１は、実施形態１に係るドレス方法を実施する切削装置の構成例を示す斜視図である。図２は、図１に示された切削装置の切削ブレードをフラットドレスするドレスボードの一例を示す斜視図である。図３は、実施形態１に係るドレス方法のフラットドレス前の切削ブレードの切り刃の先端の断面図の一例である。図４は、図３に示された切削ブレードのフラットドレス後の切削ブレードの切り刃の先端の断面図の一例である。図５は、実施形態１に係るドレス方法のドレス開始位置及びドレス収容位置等を示すドレスボードの平面図である。図６は、実施形態１に係るドレス方法の切り込み深さ等を示すドレスボードの側断面図である。

【0014】

実施形態１に係るドレス方法は、図１に示す切削装置１により実施される。図１に示す切削装置１は、板状物である被加工物２００を切削（加工）する装置である。実施形態１では、被加工物２００は、シリコン、サファイア、ガリウムなどを母材とする円板状の半導体ウエーハや光デバイスウエーハ等のウエーハである。被加工物２００は、表面２０１に格子状に形成された複数の分割予定ライン２０２によって格子状に区画された領域にデバイス２０３が形成されている。本発明の被加工物２００は、中央部が薄化され、外周部に厚肉部が形成された所謂ＴＡＩＫＯ（登録商標）ウエーハでもよく、ウエーハの他に、樹脂により封止されたデバイスを複数有した矩形状のパッケージ基板、セラミックス板、ガラス板等でも良い。被加工物２００は、裏面２０４に円板状の粘着テープ２０６に貼着され、粘着テープ２０６の外周縁に内径が被加工物２００の外径よりも大きな環状の環状フレーム２０５が貼着されて、環状フレーム２０５の内側の開口に支持されている。

【0015】

図１に示された切削装置１は、分割予定ライン２０２を備える被加工物２００を保持テーブル１０で保持し分割予定ライン２０２に沿って切削ブレード２１で切削する装置である。切削装置１は、図１に示すように、被加工物２００を保持面１１で吸引保持する保持テーブル１０と、保持テーブル１０に保持された被加工物２００をスピンドル２２に装着した切削ブレード２１で切削する切削ユニット２０と、保持テーブル１０に保持された被加工物２００を撮影する撮像手段である撮像ユニット３０と、制御手段である制御ユニット１００とを備える。

【0016】

また、切削装置１は、図１に示すように、保持テーブル１０を水平方向及び装置本体２の短手方向と平行なＸ軸方向に加工送りするＸ軸移動ユニット４１と、切削ユニット２０を水平方向及び装置本体２の長手方向と平行でかつＸ軸方向に直交するＹ軸方向に割り出し送りするＹ軸移動ユニット４２と、切削ユニット２０をＸ軸方向とＹ軸方向との双方と直交する鉛直方向に平行なＺ軸方向に切り込み送りするＺ軸移動ユニット４３と、保持テーブル１０をＺ軸方向と平行な軸心回りに回転するとともにＸ軸移動ユニット４１により保持テーブル１０とともにＸ軸方向に加工送りされる回転移動ユニット４４とを少なくとも備える。

【0017】

保持テーブル１０は、円盤形状であり、被加工物２００を保持する保持面１１がポーラスセラミック等から形成されている。また、保持テーブル１０は、Ｘ軸移動ユニットにより移動自在で回転駆動源により回転自在に設けられている。保持テーブル１０は、図示しない真空吸引源と接続され、真空吸引源により吸引されることで、被加工物２００を吸引、保持する。また、保持テーブル１０の周囲には、環状フレーム２１１をクランプするクランプ部１２が複数設けられている。

【0018】

切削ユニット２０は、保持テーブル１０に保持された被加工物２００を切削する切削ブレード２１を装着するスピンドル２２を備えるものである。切削ユニット２０は、保持テーブル１０に保持された被加工物２００に対して、Ｙ軸移動ユニット４２によりＹ軸方向に移動自在に設けられ、かつ、Ｚ軸移動ユニット４３によりＺ軸方向に移動自在に設けられている。

【0019】

切削ユニット２０は、図１に示すように、Ｙ軸移動ユニット４２、Ｚ軸移動ユニット４３などを介して、装置本体２から立設した支持フレーム３に設けられている。切削ユニット２０は、Ｙ軸移動ユニット４２及びＺ軸移動ユニット４３により、保持テーブル１０の保持面１１の任意の位置に切削ブレード２１を位置付け可能となっている。

【0020】

切削ユニット２０は、切削ブレード２１と、切削ブレード２１を先端に装着したスピンドル２２とに加え、Ｙ軸移動ユニット４２及びＺ軸移動ユニット４３によりＹ軸方向及びＺ軸方向に移動されかつスピンドル２２を軸心回りに回転自在に収容したスピンドルハウジング２３と、スピンドルハウジング２３内に収容されかつスピンドル２２を軸心回りに回転する図示しないスピンドルモータとを備える。

【0021】

切削ブレード２１は、略リング形状を有する極薄の切削砥石である。スピンドル２２は、切削ブレード２１を回転させることで被加工物２００を切削する。スピンドル２２は、スピンドルハウジング２３内に収容され、スピンドルハウジング２３は、Ｚ軸移動ユニット４３に支持されている。切削ユニット２０のスピンドル２２及び切削ブレード２１の軸心は、Ｙ軸方向と平行に設定されている。

【0022】

Ｘ軸移動ユニット４１は、保持テーブル１０を加工送り方向であるＸ軸方向に移動させることで、保持テーブル１０と切削ユニット２０とを相対的にＸ軸方向に沿って加工送りするものである。Ｙ軸移動ユニット４２は、切削ユニット２０を割り出し送り方向であるＹ軸方向に移動させることで、保持テーブル１０と切削ユニット２０とを相対的にＹ軸方向に沿って割り出し送りするものである。Ｚ軸移動ユニット４３は、切削ユニット２０を切り込み送り方向であるＺ軸方向に移動させることで、保持テーブル１０と切削ユニット２０とを相対的にＺ軸方向に沿って切り込み送りするものである。

【0023】

Ｘ軸移動ユニット４１、Ｙ軸移動ユニット４２及びＺ軸移動ユニット４３は、軸心回りに回転自在に設けられた周知のボールねじ、ボールねじを軸心回りに回転させる周知のパルスモータ及び保持テーブル１０又は切削ユニット２０をＸ軸方向、Ｙ軸方向又はＺ軸方向に移動自在に支持する周知のガイドレールを備える。

【0024】

また、切削装置１は、保持テーブル１０のＸ軸方向の位置を検出するため図示しないＸ軸方向位置検出ユニットと、切削ユニット２０のＹ軸方向の位置を検出するための図示しないＹ軸方向位置検出ユニットと、切削ユニット２０のＺ軸方向の位置を検出するためのＺ軸方向位置検出ユニットとを備える。Ｘ軸方向位置検出ユニット及びＹ軸方向位置検出ユニットは、Ｘ軸方向、又はＹ軸方向と平行なリニアスケールと、読み取りヘッドとにより構成することができる。Ｚ軸方向位置検出ユニットは、パルスモータのパルスで切削ユニット２０のＺ軸方向の位置を検出する。Ｘ軸方向位置検出ユニット、Ｙ軸方向位置検出ユニット及びＺ軸方向位置検出ユニットは、保持テーブル１０のＸ軸方向、切削ユニット２０のＹ軸方向又はＺ軸方向の位置を制御ユニット１００に出力する。なお、実施形態１では、各位置は、予められた基準位置からのＸ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向の距離で定められる。

【0025】

また、切削装置１は、切削前後の被加工物２００を収容するカセット５１が載置されかつカセット５１をＺ軸方向に移動させるカセットエレベータ５０と、切削後の被加工物２００を洗浄する洗浄ユニット６０と、カセット５１に被加工物２００を出し入れするとともに被加工物２００を搬送する図示しない搬送ユニットとを備える。

【0026】

カセット５１は、環状フレーム２０５に支持された被加工物２００をＺ軸方向に間隔をあけて複数収容する。また、カセット５１は、図２に示すドレスボード９０を１枚収容する。図２に示すドレスボード９０は、被加工物２００の切削を繰り返して切り刃２４の先端が例えば図３に示すように断面円弧状となった切削ブレード２１をフラットドレスするためのものである。フラットドレスとは、図３に示す切削ブレード２１をスピンドルの軸心と平行なＹ軸方向に移動させながらドレスボード９０に切り込ませて、図４に示すように、切り刃２４の先端をＹ軸方向に沿って平坦に形成することをいう。

【0027】

実施形態１において、ドレスボード９０は、平面形が矩形の平板状に形成されている。ドレスボード９０は、樹脂やセラミックスのボンド材に、ＷＡ（ホワイトアランダム、アルミナ系）、ＧＣ（グリーンカーボナイト、炭化ケイ素系）などの砥粒が混ぜ込まれて構成されている。ドレスボード９０は、被加工物２００と同様に、一方の表面に円板状の粘着テープ２０６が貼着され、粘着テープ２０６の外周縁に環状フレーム２０５が貼着されて、環状フレーム２０５の内側の開口に支持されている。なお、ドレスボード９０は、環状フレーム２０５の中央に配置されるが、環状フレーム２０５に対する相対的な位置が予め定められた位置に設定されているが予め定められた位置からずれていることがある。

【0028】

ドレスボード９０は、環状フレーム２０５に支持されて、カセット５１のＺ軸方向の予め定められた所定の位置に収容され、フラットドレスを実施する際に、カセット５１外に搬出された後、保持テーブル１０に吸引保持され、環状フレーム２０５がクランプ部１２によりクランプされる。フラットドレスの際、ドレスボード９０は、保持テーブル１０に保持された状態で、Ｙ軸方向に移動する切削ユニット２０の切削ブレード２１の切り刃２４が切り込んで、上面から凹の切削溝９５（図５に点線で示す）が形成されて、切削ブレード２１をフラットドレスする。

【0029】

フラットドレスにおいて、切削ブレード２１は、保持テーブル１０に保持されたドレスボード９０のＸ軸方向の一端９１から他端９２、または、他端９２から一端９１に向かってドレスボード９０に対してＹ軸方向に相対的に移動されて、切削溝９５を形成する。フラットドレスにおいて、切削ブレード２１は、切削溝９５を形成後、Ｘ軸方向に移動されて、保持テーブル１０に保持されたドレスボード９０のＸ軸方向の他端９２から一端９１、または、一端９１から他端９２に向かってドレスボード９０に対してＹ軸方向に相対的に移動されて、切削溝９５を形成する。

【0030】

実施形態１において、フラットドレスでは、切削ブレード２１は、Ｘ軸方向の一端９３から他端９４に向かって順にＹ軸方向と平行な切削溝９５を順に形成する。また、フラットドレスは、ドレスボード９０に対して切削ブレード２１を相対的にＸ軸方向に移動させる通常のドレスよりも、切削ブレード２１をＹ軸方向に移動させるために切削ブレード２１のドレスボード９０に対する相対的な移動速度が遅い。

【0031】

撮像ユニット３０は、切削ユニット２０と一体的に移動するように固定されている。撮像ユニット３０は、保持テーブル１０に保持された切削前の被加工物２００の分割すべき領域を撮影する撮像素子を備えている。撮像素子は、例えば、ＣＣＤ（Charge-Coupled Device）撮像素子又はＣＭＯＳ（Complementary MOS）撮像素子である。撮像ユニット３０は、保持テーブル１０に保持された被加工物２００を撮影して、被加工物２００と切削ブレード２１との位置合わせを行なうアライメントを遂行するため等の画像を得、得た画像を制御ユニット１００に出力する。

【0032】

また、撮像ユニット３０は、フラットドレスを実施する際に、保持テーブル１０に保持されたドレスボード９０の外周縁を撮像し、撮像して得た画像を制御ユニット１００に出力する。なお、実施形態１では、撮像ユニット３０は、ドレスボード９０の全ての外周縁の長手方向の中央を撮像する。撮像ユニット３０がドレスボード９０の外周縁を撮像する時の保持テーブル１０に対する相対的な位置は、予め定められ、撮像ユニット３０の視野範囲は、環状フレーム２０５に対して位置ずれしたドレスボード９０であっても外周縁を撮像することが可能な範囲に設定されている。

【0033】

制御ユニット１００は、切削装置１の上述した構成要素をそれぞれ制御して、被加工物２００に対する加工動作及びフラットドレスを切削装置１に実施させるものである。なお、制御ユニット１００は、ＣＰＵ（central processing unit）のようなマイクロプロセッサを有する演算処理装置と、ＲＯＭ（read only memory）又はＲＡＭ（random access memory）のようなメモリを有する記憶装置と、入出力インターフェース装置とを有するコンピュータである。

【0034】

制御ユニット１００は、加工動作の状態や画像などを表示する液晶表示装置などにより構成される図示しない表示ユニットと、オペレータが加工内容情報などを登録する際に用いる入力ユニットと、報知ユニット１１０とに接続されている。入力ユニットは、表示ユニットに設けられたタッチパネルと、キーボード等の外部入力装置とのうち少なくとも一つにより構成される。報知ユニット１１０は、制御ユニット１００により制御されて、光と音との少なくとも一方を発することで、オペレータに報知する。

【0035】

制御ユニット１００の記憶装置は、加工条件が入力ユニットから登録される。制御ユニット１００の演算処理装置は、記憶装置に記憶されている加工条件、コンピュータプログラムに従って演算処理を実施して、切削装置１を制御するための制御信号を、入出力インターフェース装置を介して切削装置１の上述した構成要素に出力する。なお、実施形態１において、加工条件は、図５に示すＸ軸方向余裕幅３０１、Ｙ軸方向余裕幅３０２、Ｘ軸方向送り幅３０３、切削ブレード２１のドレスボード９０に対する移動回数、及び図６に示す切り込み深さ３０４を含む。これらのＸ軸方向余裕幅３０１、Ｙ軸方向余裕幅３０２、Ｘ軸方向送り幅３０３、切削ブレード２１のドレスボード９０に対する移動回数、及び切り込み深さ３０４は、切削装置１がフラットドレスを実施する際の加工条件である。

【0036】

Ｘ軸方向余裕幅３０１は、フラットドレスが実施されていないドレスボード９０のＸ軸方向の一端９３から最初にフラットドレスを実施する際のドレス開始位置４０１又はドレス終了位置４０２までのＸ軸方向の距離である。なお、ドレス開始位置４０１は、フラットドレスを実施する際に、保持テーブル１０に保持されたドレスボード９０の外側でかつ切削ユニット２０がドレスボード９０に対してＹ軸方向に移動を開始する時の切削ブレード２１の切り刃２４の下端の位置である。ドレス終了位置４０２は、フラットドレスを実施する際に、保持テーブル１０に保持されたドレスボード９０の外側でかつ切削ユニット２０がドレスボード９０に対してＹ軸方向の移動を終了する時の切削ブレード２１の切り刃２４の下端の位置である。

【0037】

Ｙ軸方向余裕幅３０２は、ドレスボード９０のＹ軸方向の端からドレス開始位置４０１又はドレス終了位置４０２までのＹ軸方向の距離である。なお、Ｙ軸方向余裕幅３０２は、フラットドレスの切削ブレード２１のドレスボード９０に対する相対的な移動速度が、通常のドレスの切削ブレード２１のドレスボード９０に対する相対的な移動速度よりも遅いために、極力短い距離であるのが望ましい。

【0038】

Ｘ軸方向送り幅３０３は、ドレス開始位置４０１とドレス終了位置４０２とのＸ軸方向の距離、即ち、フラットドレスの際にドレスボード９０に対してＹ軸方向に移動させた後に切削ブレード２１をドレスボード９０に対してＸ軸方向に移動させる時の距離である。

【0039】

切削ブレード２１のドレスボード９０に対する移動回数は、一回のフラットドレスにおいて、切削ブレード２１をドレスボード９０に対してＹ軸方向に移動させる回数、向きを示すものである。実施形態１において、切削ブレード２１のドレスボード９０に対する移動回数は、切削ブレード２１を保持テーブル１０に保持されたドレスボード９０のＸ軸方向の一端９１から他端９２に向かって移動し、その後、他端９２から一端９１に向かってドレスボード９０に対してＹ軸方向に相対的に移動する回数、向きを示すが、本発明では、これに限定されない。

【0040】

切り込み深さ３０４は、切削ブレード２１のドレスボード９０に切り込む所定の高さ位置であり、フラットドレス時にドレスボード９０に切り込む切削ブレード２１の切り刃２４の下端のドレスボード９０の上面からの距離を示している。また、制御ユニット１００は、切削ブレード２１の切り刃２４の外径に関する情報を記憶している。切削ブレード２１の切り刃２４の外径に関する情報は、入力ユニットから登録される、又は切削装置１の図示しない基準位置設定機構により記憶装置に登録される。

【0041】

また、制御ユニット１００は、図１に示すように、切削済み領域記憶部１０１と、ドレス範囲設定部１０２と、制御部１０３とを備える。切削済み領域記憶部１０１は、フラットドレスにおいて、切削ブレード２１の切り刃２４が切り込まれて形成されたドレスボード９０の切削済み領域６０１（図１４に示す）に関する情報を記憶するものである。実施形態１では、切削済み領域６０１に関する情報として、フラットドレス時のドレスボード９０に対して切削ブレード２１がＹ軸方向に移動された移動回数の累積回数を記憶する。

【0042】

ドレス範囲設定部１０２は、切削済み領域記憶部１０１に切削済み領域６０１に関する情報としての移動回数が零回であると記憶されている場合、撮像ユニット３０がフラットドレスが実施されていないドレスボード９０の外周縁を撮像して得た画像からドレスボード９０の外周縁の位置を算出し、余裕幅３０１，３０２、Ｘ軸方向送り幅３０３、フラットドレス時の切削ブレード２１のドレスボード９０に対する移動回数及び切り込み深さ３０４に基づいて、フラットドレス時のドレス開始位置４０１及びドレス終了位置４０２を設定するものである。

【0043】

ドレス範囲設定部１０２は、切削済み領域記憶部１０１に切削済み領域６０１に関する情報として移動回数が１回以上であると記憶されている場合、切削済み領域６０１に記憶されたフラットドレス時のドレスボード９０に対して切削ブレード２１がＹ軸方向に移動された移動回数の累積回数、余裕幅３０１，３０２、Ｘ軸方向送り幅３０３、フラットドレス時の切削ブレード２１のドレスボード９０に対する移動回数及び切り込み深さ３０４に基づいて、フラットドレス時のドレス開始位置４０１及びドレス終了位置４０２を設定するものである。

【0044】

制御部１０３は、切削装置１の構成要素を制御して、被加工物２００に対する加工動作及びフラットドレスを切削装置１に実施させるものである。

【0045】

切削済み領域記憶部１０１は、記憶装置により機能が実現される。ドレス範囲設定部１０２及び制御部１０３の機能は、演算処理装置が記憶装置に記憶されているコンピュータプログラムを実行することにより実現される。

【0046】

次に、本明細書は、前述した切削装置１の加工動作即ち実施形態１に係るドレス方法を説明する。図７は、実施形態１に係るドレス方法の流れを示すフローチャートである。実施形態１に係る切削装置１の加工動作即ちドレス方法は、被加工物２００を個々のデバイス２０３に分割するとともに、スピンドル２２の先端に固定された切削ブレード２１のフラットドレス方法である。

【0047】

前述した構成の切削装置１は、オペレータが加工条件を制御ユニット１００に登録し、切削加工前の被加工物２００及びドレスボード９０を収容したカセット５１がカセットエレベータ５０に設置される。その後、切削装置１は、入力ユニットを介してオペレータから加工動作の開始指示を受け付けると、加工動作即ち実施形態１に係るドレス方法を開始する。切削装置１は、加工動作を開始すると、制御ユニット１００の制御部１０３が、スピンドルモータを駆動して、スピンドル２２を加工条件で設定された回転数で軸心回りに回転するとともに、フラットドレスタイミングであるか否かを判定する（ステップＳＴ１）。

【0048】

フラットドレスタイミングは、切削ユニット２０の切削ブレード２１をフラットドレスするタイミングであることをいう。実施形態１において、フラットドレスタイミングは、例えば、予め設定された数の被加工物２００を切削する毎であり、加工条件の一部として制御ユニット１００に登録される。また、本発明のフラットドレスタイミングは、予め設定された数の被加工物２００を切削する毎に限定されない。切削装置１は、制御ユニット１００の制御部１０３がフラットドレスタイミングではないと判定する（ステップＳＴ１：Ｎｏ）と、加工ステップＳＴ２に進む。

【0049】

（加工ステップ）
図８は、図７に示されたドレス方法の加工ステップを一部断面で示す側面図である。加工ステップＳＴ２は、保持テーブル１０で被加工物２００を保持し、切削ブレード２１で保持テーブル１０上の被加工物２００を切削するステップである。

【0050】

加工ステップＳＴ２では、制御ユニット１００の制御部１０３は、搬送ユニットを制御して切削加工前の被加工物２００をカセット５１から取り出させて粘着テープ２０６を介して裏面２０４側を保持テーブル１０の保持面１１に載置する。制御ユニット１００の制御部１０３は、真空吸引源等を制御して、粘着テープ２０６を介して被加工物２００の裏面２０４側を保持テーブル１０の保持面１１に吸引保持するとともに、クランプ部１２で環状フレーム２０５をクランプする。制御ユニット１００の制御部１０３は、Ｘ軸移動ユニット４１を制御して保持テーブル１０を切削ユニット２０の下方に向かって移動させて、撮像ユニット３０を制御して被加工物２００を撮影させて、撮像ユニット３０が撮影して得た画像に基づいて、アライメントを遂行する。

【0051】

加工ステップＳＴ２では、制御ユニット１００の制御部１０３は、切削ユニット２０及び各移動ユニット４１，４２，４３，４４を制御して、分割予定ライン２０２に沿って被加工物２００と切削ユニット２０とを相対的に移動させて、図８に示すように、切削ブレード２１を各分割予定ライン２０２に切り込ませて被加工物２００を個々のデバイス２０３に分割する。加工ステップＳＴ２では、制御ユニット１００の制御部１０３は、搬送ユニットを制御して、個々のデバイス２０３に分割された被加工物２００を洗浄ユニット６０に搬送し、洗浄ユニット６０を制御して被加工物２００を洗浄した後、搬送ユニットを制御して被加工物２００をカセット５１に収容して、ステップＳＴ１３に進む。

【0052】

また、制御ユニット１００の制御部１０３がフラットドレスタイミングであると判定する（ステップＳＴ１：Ｙｅｓ）と、切削済み領域記憶部１０１に切削済み領域６０１に関する情報が記憶されているか否か、即ち切削済み領域記憶部１０１に記憶された切削済み領域６０１に関する情報としての移動回数が零回であると記憶されているか否か（ステップＳＴ３）を判定する。

【0053】

制御ユニット１００の制御部１０３が、切削済み領域記憶部１０１に切削済み領域６０１に関する情報が記憶されていない、即ち切削済み領域記憶部１０１に記憶された切削済み領域６０１に関する情報としての移動回数が零回であると記憶されている（ステップＳＴ３：Ｎｏ）と判定すると、位置検出ステップＳＴ４に進む。

【0054】

（位置検出ステップ）
図９は、図７に示されたドレス方法の位置検出ステップの被加工物の平面図である。位置検出ステップＳＴ４は、保持テーブル１０上に保持されたドレスボード９０を撮像ユニット３０で撮像し、ドレスボード９０の外周縁の位置を検出するステップである。

【0055】

位置検出ステップＳＴ４では、制御ユニット１００の制御部１０３は、搬送ユニットを制御してドレスボード９０をカセット５１から取り出させて粘着テープ２０６を介してドレスボード９０を保持テーブル１０の保持面１１に載置する。制御ユニット１００の制御部１０３は、真空吸引源等を制御して、粘着テープ２０６を介してドレスボード９０を保持テーブル１０の保持面１１に吸引保持するとともに、クランプ部１２で環状フレーム２０５をクランプする。制御ユニット１００の制御部１０３は、Ｘ軸移動ユニット４１を制御して保持テーブル１０を切削ユニット２０の下方に向かって移動させて、撮像ユニット３０を制御してドレスボード９０の外周縁を撮像する。

【0056】

実施形態１において、位置検出ステップＳＴ４では、撮像ユニット３０は、図９に点線で示す撮像範囲５０１内の各外周縁の中央部を撮像し、撮像範囲５０１内の各外周縁の中央部の画像を得、得た画像を制御ユニット１００に出力する。位置検出ステップＳＴ４では、制御ユニット１００の制御部１０３は、撮像範囲５０１内の画像、各位置検出ユニットの検出結果等に基づいて、保持テーブル１０に保持されたドレスボード９０の外周縁の位置を算出し、記憶装置に記憶し、ドレス範囲設定ステップＳＴ５に進む。

【0057】

（ドレス範囲設定ステップ）
ドレス範囲設定ステップＳＴ５は、フラットドレスのドレス開始位置４０１、ドレス終了位置４０２を設定するステップである。ドレス範囲設定ステップＳＴ５では、制御ユニット１００のドレス範囲設定部１０２が、記憶装置に記憶したドレスボード９０の外周縁の位置、加工条件の余裕幅３０１，３０２、Ｘ軸方向送り幅３０３、フラットドレス時の切削ブレード２１のドレスボード９０に対する移動回数及び切り込み深さ３０４を参照して、ドレス開始位置４０１及びドレス終了位置４０２を算出する。

【0058】

実施形態１では、ドレス範囲設定ステップＳＴ５では、ドレス範囲設定部１０２が、ドレスボード９０のＸ軸方向の一端９３からＸ軸方向余裕幅３０１分他端９４寄りの位置で、ドレスボード９０のＹ軸方向の一端９１からＹ軸方向余裕幅３０２分ドレスボード９０の外側の位置を最初のドレス開始位置４０１と算出する。実施形態１では、ドレス範囲設定ステップＳＴ５では、ドレス範囲設定部１０２が、ドレスボード９０のＸ軸方向の一端９３からＸ軸方向余裕幅３０１分他端９４寄りの位置で、ドレスボード９０のＹ軸方向の他端９２からＹ軸方向余裕幅３０２分ドレスボード９０の外側の位置を最初のドレス終了位置４０２と算出する。ドレス範囲設定ステップＳＴ５は、ドレス開始位置４０１及びドレス終了位置４０２を算出すると、位置付けステップＳＴ６に進む。

【0059】

（位置付けステップ）
図１０は、図７に示されたドレス方法の位置付けステップの切削ユニット及びドレスボードを一部断面で示す側面図である。図１１は、図１０に示された切削ユニット及びドレスボードの平面図である。

【0060】

位置付けステップＳＴ６は、記憶装置に記憶したドレスボード９０の外周縁の位置に基づいて、ドレスボード９０の一端９１から他端９２に向かう方向をスピンドル２２の軸心即ちＹ軸方向と平行に位置付けるとともに、位置検出ステップＳＴ４で検出されたドレスボード９０の外周縁の位置をもとにドレスボード９０の一端９１の外側で、ドレスボード９０に切り込む切り込み深さ３０４に切削ブレード２１の切り刃２４の下端を位置付けるステップである。

【0061】

位置付けステップＳＴ６では、制御ユニット１００の制御部１０３は、回転移動ユニット４４を制御してドレスボード９０の一端９１から他端９２に向かう方向がＹ軸方向と平行となるように保持テーブル１０の軸心回りの向きを調整する。位置付けステップＳＴ６では、制御ユニット１００の制御部１０３は、各移動ユニット４１，４２，４３を制御して、ドレス範囲設定ステップＳＴ５で算出した最初のドレス開始位置４０１に切削ユニット２０の切削ブレード２１の切り刃２４の下端を位置付けて、ドレスステップＳＴ７に進む。

【0062】

（ドレスステップ）
図１２は、図７に示されたドレス方法のドレスステップの切削ユニット及びドレスボードを一部断面で示す側面図である。図１３は、図１２に示された切削ユニット及びドレスボードの平面図である。図１４は、図７に示されたドレス方法のドレスステップ後のドレスボードの平面図である。

【0063】

ドレスステップＳＴ７は、位置付けステップＳＴ６を実施した後、切削ブレード２１をドレスボード９０に対して相対移動させてドレスボード９０の一端９１から他端９２へと切削することで切削ブレード２１の切り刃２４の先端を平坦化するステップである。ドレスステップＳＴ７では、制御ユニット１００の制御部１０３は、Ｙ軸移動ユニット４２を制御してドレスボード９０の一端９１から他端９２に向かって切削ユニット２０をＹ軸方向に移動して、図１２及び図１３に示すように、ドレスボード９０に切削ブレード２１の切り刃２４を切り込ませて、切削溝９５を形成する。ドレスステップＳＴ７では、制御ユニット１００の制御部１０３は、Ｘ軸移動ユニット４１及びＹ軸移動ユニット４２を制御して、ドレス終了位置４０２で切削ブレード２１のＹ軸方向の移動を停止した後、Ｘ軸方向送り幅３０３分、切削ブレード２１をＸ軸方向の他端９４側に移動させて、次のドレス開始位置４０１に位置付ける。

【0064】

ドレスステップＳＴ７では、制御ユニット１００の制御部１０３は、Ｙ軸移動ユニット４２を制御してドレスボード９０の他端９２から一端９１に向かって切削ユニット２０をＹ軸方向に移動して、ドレスボード９０に切削ブレード２１の切り刃２４を切り込ませて、切削溝９５を形成する。実施形態１において、ドレスステップＳＴ７では、制御ユニット１００の制御部１０３は、加工条件のフラットドレス時の切削ブレード２１のドレスボード９０に対する移動回数、切削ブレード２１をＹ軸方向に移動して、切削ブレード２１の切り刃２４の先端を平坦化する。実施形態１において、ドレスステップＳＴ７では、図１４に示すように、切削溝９５を２本形成すると、切削済み領域記憶ステップＳＴ８に進む。

【0065】

（切削済み領域記憶ステップ）
切削済み領域記憶ステップＳＴ８は、切削済み領域記憶部１０１が、ドレスステップＳＴ７において、フラットドレスで切削したドレスボード９０の切削済み領域６０１に関する情報を記憶するステップである。実施形態１において、切削済み領域記憶ステップＳＴ８では、切削済み領域記憶部１０１が、切削済み領域６０１に関する情報として、ドレスステップＳＴ７においてドレスボード９０に対して切削ブレード２１がＹ軸方向に移動された移動回数を既に記憶済みの回数に加えた累積回数を記憶する。切削済み領域記憶ステップＳＴ８では、切削済み領域記憶部１０１が、切削済み領域６０１に関する情報として、フラットドレス時のドレスボード９０に対して切削ブレード２１がＹ軸方向に移動された移動回数の累積回数を記憶すると、ステップＳＴ１３に進む。

【0066】

また、制御ユニット１００の制御部１０３が、切削済み領域記憶部１０１に切削済み領域６０１に関する情報が記憶されている、即ち切削済み領域記憶部１０１に記憶された切削済み領域６０１に関する情報としての移動回数が１回以上であると記憶されている（ステップＳＴ３：Ｙｅｓ）と判定すると、第２ドレス範囲設定ステップＳＴ９に進む。

【0067】

（第２ドレス範囲設定ステップ）
第２ドレス範囲設定ステップＳＴ９は、ドレスボード９０に切削済み領域６０１即ち切削溝９５が形成されている場合に、フラットドレスのドレス開始位置４０１、ドレス終了位置４０２を設定するステップである。

【0068】

第２ドレス範囲設定ステップＳＴ９では、制御ユニット１００のドレス範囲設定部１０２が、切削済み領域記憶部１０１が記憶したフラットドレス時のドレスボード９０に対して切削ブレード２１がＹ軸方向に移動された移動回数の累積回数、記憶装置に記憶したドレスボード９０の外周縁の位置、加工条件の余裕幅３０１，３０２、Ｘ軸方向送り幅３０３、フラットドレス時の切削ブレード２１のドレスボード９０に対する移動回数及び切り込み深さ３０４を参照して、ドレス開始位置４０１及びドレス終了位置４０２を算出する。

【0069】

実施形態１では、第２ドレス範囲設定ステップＳＴ９では、ドレス範囲設定部１０２が、ドレスステップＳＴ７または第２ドレスステップＳＴ１１において最近に形成した切削溝９５の幅方向の中央の位置を算出し、算出した最近に形成した切削溝９５の幅方向の中央の位置からＸ軸方向送り幅３０３分他端９４寄りの位置で、ドレスボード９０のＹ軸方向の一端９１からＹ軸方向余裕幅３０２分ドレスボード９０の外側の位置を最初のドレス開始位置４０１と算出する。実施形態１では、第２ドレス範囲設定ステップＳＴ９では、ドレス範囲設定部１０２が、算出した最近に形成した切削溝９５の幅方向の中央の位置からＸ軸方向送り幅３０３分他端９４寄りの位置で、ドレスボード９０のＹ軸方向の他端９２からＹ軸方向余裕幅３０２分ドレスボード９０の外側の位置を最初のドレス終了位置４０２と算出する。第２ドレス範囲設定ステップＳＴ９は、ドレス開始位置４０１及びドレス終了位置４０２を算出すると、第２位置付けステップＳＴ１０に進む。

【0070】

（第２位置付けステップ）
図１５は、図７に示されたドレス方法の第２位置付けステップの切削ユニット及びドレスボードの平面図である。第２位置付けステップＳＴ１０は、保持テーブル１０でドレスボード９０を保持し、位置検出ステップＳＴ４で検出されたドレスボード９０の外周縁の位置と切削済み領域記憶ステップＳＴ８で記憶されたドレスボード９０の切削済み領域に関する情報に基づいてドレスボード９０の一端９１の外側で、ドレスボード９０に切り込む所定の高さ位置である切り込み深さ３０４に切削ブレード２１の切り刃２４の下端を位置付けるステップである。

【0071】

実施形態１において、第２位置付けステップＳＴ１０では、制御ユニット１００の制御部１０３は、搬送ユニットを制御してドレスボード９０をカセット５１から取り出させて粘着テープ２０６を介してドレスボード９０を保持テーブル１０の保持面１１に載置する。制御ユニット１００の制御部１０３は、真空吸引源等を制御して、粘着テープ２０６を介してドレスボード９０を保持テーブル１０の保持面１１に吸引保持するとともに、クランプ部１２で環状フレーム２０５をクランプする。

【0072】

第２位置付けステップＳＴ１０では、制御ユニット１００の制御部１０３は、記憶装置に記憶したドレスボード９０の外周縁の位置に基づいて、回転移動ユニット４４を制御してドレスボード９０の一端９１から他端９２に向かう方向がＹ軸方向と平行となるように保持テーブル１０の軸心回りの向きを調整する。第２位置付けステップＳＴ１０では、制御ユニット１００の制御部１０３は、各移動ユニット４１，４２，４３を制御して、第２ドレス範囲設定ステップＳＴ９で算出した最初のドレス開始位置４０１に切削ユニット２０の切削ブレード２１の切り刃２４の下端を位置付けて、第２ドレスステップＳＴ１１に進む。

【0073】

（第２ドレスステップ）
図１６は、図７に示されたドレス方法の第２ドレスステップの切削ユニット及びドレスボードの平面図である。第２ドレスステップＳＴ１１は、第２位置付けステップＳＴ１０を実施した後、切削ブレード２１をドレスボード９０に対して相対移動させてドレスボード９０の一端９１から他端９２へと切削することで切削ブレード２１の切り刃２４の先端を平坦化するステップである。

【0074】

第２ドレスステップＳＴ１１では、制御ユニット１００の制御部１０３は、Ｙ軸移動ユニット４２を制御してドレスボード９０の一端９１から他端９２に向かって切削ユニット２０をＹ軸方向に移動して、図１６に示すように、ドレスボード９０に切削溝９５を形成する。第２ドレスステップＳＴ１１では、制御ユニット１００の制御部１０３は、Ｘ軸移動ユニット４１及びＹ軸移動ユニット４２を制御して、ドレス終了位置４０２で切削ブレード２１のＹ軸方向の移動を停止した後、Ｘ軸方向送り幅３０３分、切削ブレード２１をＸ軸方向の他端９４側に移動させて、次のドレス開始位置４０１に位置付ける。

【0075】

第２ドレスステップＳＴ１１では、制御ユニット１００の制御部１０３は、Ｙ軸移動ユニット４２を制御してドレスボード９０の他端９２から一端９１に向かって切削ユニット２０をＹ軸方向に移動して、ドレスボード９０に切削ブレード２１を切り込ませて切削溝９５を形成する。実施形態１において、第２ドレスステップＳＴ１１では、制御ユニット１００の制御部１０３は、加工条件のフラットドレス時の切削ブレード２１のドレスボード９０に対する移動回数、切削ブレード２１をＹ軸方向に移動して、切削ブレード２１の切り刃２４の先端を平坦化する。実施形態１において、第２ドレスステップＳＴ１１では、切削溝９５を２本形成すると、第２切削済み領域記憶ステップＳＴ１２に進む。

【0076】

（第２切削済み領域記憶ステップ）
第２切削済み領域記憶ステップＳＴ１２は、切削済み領域記憶部１０１が、第２ドレスステップＳＴ１１において、フラットドレスで切削したドレスボード９０の切削済み領域６０１に関する情報を記憶するステップである。実施形態１において、切削済み領域記憶ステップＳＴ８では、切削済み領域記憶部１０１が、切削済み領域６０１に関する情報として、第２ドレスステップＳＴ１１においてドレスボード９０に対して切削ブレード２１がＹ軸方向に移動された移動回数を既に記憶済みの回数に加えた累積回数を記憶する。切削済み領域記憶ステップＳＴ８では、切削済み領域記憶部１０１が、切削済み領域６０１に関する情報を記憶すると、ステップＳＴ１３に進む。

【0077】

制御ユニット１００の制御部１０３は、ステップＳＴ１３において、保持テーブル１０に保持されたドレスボード９０を用いて切削ブレード２１のフラットドレスが可能か否かを判定する。実施形態１において、制御ユニット１００の制御部１０３は、第２ドレスステップＳＴ１１において最近に形成した切削溝９５の幅方向の中央の位置を算出し、算出した最近に形成した切削溝９５の幅方向の中央の位置からＸ軸方向送り幅３０３分他端９４寄りの位置を算出する。制御ユニット１００の制御部１０３は、Ｘ軸方向送り幅３０３分他端９４寄りの位置と他端９４までの距離がＸ軸方向余裕幅３０１未満であると、保持テーブル１０に保持されたドレスボード９０を用いて切削ブレード２１のフラットドレスが不可能であると判定（ステップＳＴ１３：Ｎｏ）し、報知ユニット１１０を動作させてオペレータに報知する（ステップＳＴ１４）。

【0078】

制御ユニット１００の制御部１０３は、Ｘ軸方向送り幅３０３分他端９４寄りの位置と他端９４までの距離がＸ軸方向余裕幅３０１以上であると、ステップＳＴ１に戻る。このために、実施形態１に係るドレス方法において、２回目以降の加工ステップＳＴ２では、ドレスステップＳＴ７と第２ドレスステップＳＴ１１の少なくとも一方を実施した後、保持テーブル１０上からドレスボード９０を搬出して、ドレスボード９０をカセット５１内に収容する。また、実施形態１に係るドレス方法において、第２位置付けステップＳＴ１０では、加工ステップＳＴ２を実施した後、保持テーブル１０上から被加工物２００を搬出してカセット５１内に収容し、保持テーブル１０でドレスボード９０を保持する。

【0079】

前述したように、実施形態１に係るドレス方法は、位置検出ステップＳＴ４と、位置付けステップＳＴ６と、ドレスステップＳＴ７と、切削済み領域記憶ステップＳＴ８と、加工ステップＳＴ２と、第２位置付けステップＳＴ１０と、第２ドレスステップＳＴ１１とを備える。

【0080】

以上のように、実施形態１に係るドレス方法及び切削装置１は、ドレスボード９０の外周縁の位置を検出する位置検出ステップＳＴ４を実施するため、過度にＹ軸方向余裕幅３０２を設定する必要がなく、Ｙ軸方向余裕幅３０２自体を抑制できる。その結果、ドレス方法及び切削装置１は、フラットドレスに要する時間を抑制することができるという効果を奏する。

【0081】

また、実施形態１に係るドレス方法及び切削装置１は、ドレスステップＳＴ７，ＳＴ１１後、ドレスボード９０の切削済み領域６０１に関する情報として切削済み領域記憶部１０１に記憶する。その結果、ドレス方法及び切削装置１は、切削済み領域６０１を避けてフラットドレスを行うことができる。

【0082】

また、実施形態１に係るドレス方法及び切削装置１は、ドレスボード９０の切削済み領域６０１に関する情報として、フラットドレス時のドレスボード９０に対して切削ブレード２１がＹ軸方向に移動された移動回数の累積回数を切削済み領域記憶部１０１に記憶する。その結果、ドレス方法及び切削装置１は、切削済み領域６０１を確実に避けてフラットドレスを行うことができる。

【0083】

なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。即ち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。

【符号の説明】

【0084】

１ 切削装置
１０ 保持テーブル
２１ 切削ブレード
２２ スピンドル
３０ 撮像ユニット（撮像手段）
９０ ドレスボード
９１ 一端
９２ 他端
２００ 被加工物
３０４ 切り込み深さ（所定の高さ位置）
６０１ 切削済み領域
ＳＴ２ 加工ステップ
ＳＴ４ 位置検出ステップ
ＳＴ６ 位置付けステップ
ＳＴ７ ドレスステップ
ＳＴ８ 切削済み領域記憶ステップ
ＳＴ１０ 第２位置付けステップ
ＳＴ１１ 第２ドレスステップ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】