特許 7387466 観察用治具

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2023-11-17

(45)【発行日】2023-11-28

(54)【発明の名称】観察用治具

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/301 20060101AFI20231120BHJP

   H01L 21/66 20060101ALI20231120BHJP

【ＦＩ】

H01L21/78 F

H01L21/66 D

【請求項の数】 2

(21)【出願番号】P 2020012700

(22)【出願日】2020-01-29

(65)【公開番号】P2021118332

(43)【公開日】2021-08-10

【審査請求日】2022-11-25

(73)【特許権者】

【識別番号】000134051

【氏名又は名称】株式会社ディスコ

(74)【代理人】

【識別番号】110003524

【氏名又は名称】弁理士法人愛宕綜合特許事務所

(74)【代理人】

【識別番号】100113217

【弁理士】

【氏名又は名称】奥貫 佐知子

(74)【代理人】

【識別番号】100202496

【弁理士】

【氏名又は名称】鹿角 剛二

(74)【代理人】

【識別番号】100202692

【弁理士】

【氏名又は名称】金子 吉文

(72)【発明者】

【氏名】楠 欣浩

【審査官】三浦 みちる

(56)【参考文献】

【文献】中国実用新案第２０７７５２９６８（ＣＮ，Ｕ）

【文献】特開平０７－１４６２２４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平０５－１５２３９４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１６－１６２９１４（ＪＰ，Ａ）

【文献】実開平０１－０８４４３６（ＪＰ，Ｕ）

【文献】特開２０１１－００９３０４（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ２１／３０１

Ｈ０１Ｌ ２１／６６

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

チップの側面を観察する際に用いる観察用治具であって、
チップを保持する粘着層を表面に備えたテーブルと、
該テーブルを伏せた状態から起立した状態に変化するように回転可能に支持すると共に該テーブルの裏面に対応して形成された貫通開口を備えた枠体と、
該貫通開口に挿入され該テーブルを伏せた状態から起立した状態にする突起を備えた基台と、を有する観察用治具。

【請求項2】

該枠体は該テーブルを複数支持し、該基台は該複数のテーブルに対応して該突起を複数備える請求項１記載の観察用治具。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、チップの側面を観察する際に用いる観察用治具に関する。

【背景技術】

【0002】

ＩＣ、ＬＳＩ等の複数のデバイスが分割予定ラインによって区画され表面に形成されたウエーハは、切削ブレードを回転可能に備えたダイシング装置によって個々のデバイスチップに分割され、分割された各デバイスチップは携帯電話、パソコン等の電気機器に利用される。

【0003】

また、デバイスチップを配線基板に複数整列させてモールド樹脂によってパッケージングしたＱＦＮ（Quad Flat Non-leaded package）と称されるチップサイズパッケージ基板もダイシング装置によって個々のパッケージデバイスチップに分割される（たとえば特許文献１参照）。

【0004】

そして、ＱＦＮは、隣接するデバイスに跨って電極が形成され分割予定ラインを横切って配設されていることから切削ブレードで分割予定ラインを切断すると、金属の延性によって電極が伸びて電極同士が短絡するおそれがある。このため、パッケージデバイスチップは、側面が上を向くように粘着テープに貼り付けられ、顕微鏡により側面が観察され電極が短絡しているか否かが検出される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【文献】特開２０１９－１４５５５８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

しかし、パッケージデバイスは数ｍｍ角程度と小さく、かつパッケージデバイスの厚みも薄いため、パッケージデバイスチップの側面を粘着テープに貼り付けるには相当の注意力が必要であると共に、パッケージデバイスチップの側面が上を向いた状態を保つことが困難であり、顕微鏡によりパッケージデバイスチップの側面を観察することには手間がかかるという問題がある。

【0007】

上記事実に鑑みてなされた本発明の課題は、パッケージデバイスチップ等のチップの側面を容易に観察するための観察用治具を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0008】

本発明は上記課題を解決するために以下の観察用治具を提供する。すなわち、チップの側面を観察する際に用いる観察用治具であって、チップを保持する粘着層を表面に備えたテーブルと、該テーブルを伏せた状態から起立した状態に変化するように回転可能に支持すると共に該テーブルの裏面に対応して形成された貫通開口を備えた枠体と、該貫通開口に挿入され該テーブルを伏せた状態から起立した状態にする突起を備えた基台と、を有する観察用治具を本発明は提供する。

【0009】

好ましくは、該枠体は該テーブルを複数支持し、該基台は該複数のテーブルに対応して該突起を複数備える。

【発明の効果】

【0010】

本発明の観察用治具は、チップを保持する粘着層を表面に備えたテーブルと、該テーブルを伏せた状態から起立した状態に変化するように回転可能に支持すると共に該テーブルの裏面に対応して形成された貫通開口を備えた枠体と、該貫通開口に挿入され該テーブルを伏せた状態から起立した状態にする突起を備えた基台と、を有するので、パッケージデバイスチップ等のチップの側面を容易に上に向けて顕微鏡で観察することが可能となり、顕微鏡での観察に手間がかかるという問題が解消する。

【図面の簡単な説明】

【0011】

【図1】本発明に従って構成された観察用治具の分解斜視図。

【図2】図１に示すテーブルにチップを保持させている状態を示す斜視図。

【図3】（ａ）チップを保持したテーブルと共に枠体を基台に載せる状態を示す斜視図、（ｂ）テーブルが伏せた状態から起立した状態に変化した状態を示す斜視図。

【発明を実施するための形態】

【0012】

以下、本発明に従って構成された観察用治具の好適実施形態について図面を参照しつつ説明する。

【0013】

図１に全体を符号２で示す観察用治具は、チップを保持する粘着層を表面に備えたテーブル４と、テーブル４を伏せた状態から起立した状態に変化するように回転可能に支持すると共にテーブル４の裏面に対応して形成された貫通開口を備えた枠体６と、貫通開口に挿入されテーブル４を伏せた状態から起立した状態にする突起を備えた基台８とを有する。

【0014】

テーブル４は矩形板状に形成されており、テーブル４の表面にはチップを保持する矩形状の粘着層１０が設けられている。テーブル４の表面のサイズと同一でよい粘着層１０のサイズは、様々なサイズのチップを保持できるサイズが好ましく、たとえば１ｃｍ×１ｃｍ程度でよい。図１を参照することによって理解されるとおり、テーブル４の表面は平坦に形成されている一方、テーブル４の裏面には段差が形成されており、テーブル４は、厚みが比較的大きい第一の部分１２と、第一の部分１２よりも厚みが小さい第二の部分１４とを有する。図示の実施形態の各テーブル４には、第一の部分１２の側面１６から突出する円柱状の一対の軸１８が付設されており、一対の軸１８は互いに対向する位置に配置されている。

【0015】

枠体６は、全体として長方形状に形成されており、テーブル４を収容可能な矩形状の一対の貫通開口２０が枠体６の長手方向に間隔をおいて形成されている。枠体６の内周面２２には、テーブル４の軸１８が挿入される円形の複数の支持孔２４が形成されており、各支持孔２４は互いに対向する位置に配置されている。そして、枠体６においては、各支持孔２４にテーブル４の各軸１８が挿入されると、テーブル４を伏せた状態から起立した状態に変化するように回転可能に支持するようになっている。

【0016】

図１に示すとおり、各貫通開口２０には、内周面２２の下側部分から突出する一対の突出片２６が枠体６の長手方向に間隔Ｌ１をおいて配置されている。そして、枠体６にテーブル４が支持された際は、テーブル４の第二の部分１４が各突出片２６に支持されるようになっている。このように、各貫通開口２０の形状はテーブル４の裏面の形状に対応して形成されている。

【0017】

基台８は、全体として直方体状の主部２８と、主部２８の長手方向に間隔をおいて主部２８の上面から上方に突出する一対の突起３０とを備える。各突起３０は、主部２８の短手方向片側に配置されていると共に、主部２８の上面に枠体６が載せられた際に、各貫通開口２０に形成された一対の突出片２６間に位置するように配置されている。主部２８の長手方向における突起３０の寸法Ｌ２は、各貫通開口２０に形成された一対の突出片２６の間隔Ｌ１よりも若干小さい。また、主部２８の短手方向他側には、主部２８の長手方向に間隔をおいて矩形状の一対の収容開口３２が形成されている。

【0018】

そして、テーブル４を支持した枠体６が基台８の主部２８の上面に載せられると共に、枠体６の各貫通開口２０に基台８の各突起３０が挿入され、各貫通開口２０に形成された一対の突出片２６間を各突起３０が通過すると、各テーブル４の第二の部分１４の裏面を各突起３０が上方に押し、各テーブル４を回転させて伏せた状態から起立した状態に変化させるようになっている。また、各テーブル４が起立した状態に変化した際には、各テーブル４の第一の部分１２が基台８の各収容開口３２に収容される。

【0019】

次に、上述したとおりの観察用治具２を用いてチップの側面を観察する方法について説明する。図示の実施形態では図２に示すとおり、まず、枠体６に回転自在に支持されたテーブル４の粘着層１０にチップ３４を保持させる。

【0020】

図示の実施形態におけるチップ３４は、ＱＦＮと称されるチップサイズパッケージ基板が個々のパッケージデバイスチップに分割された矩形板状のチップであり、チップ３４の表面３４ａおよび側面３４ｂに電極３６が露出している。

【0021】

次いで、図３に示すとおり、枠体６を基台８の主部２８の上面に載せ、枠体６の各貫通開口２０に基台８の各突起３０を挿入して、各貫通開口２０に形成された一対の突出片２６間に各突起３０を通過させる。そうすると、各テーブル４の第二の部分１４の裏面が各突起３０によって上方に押され、各テーブル４が回転して伏せた状態から起立した状態に変化すると共に、各テーブル４の第一の部分１２が基台８の各収容開口３２に収容される。これによって、図３（ｂ）に示すとおり、各テーブル４に保持されたチップ３４の側面３４ｂを上に向けることができ、顕微鏡によってチップ３４の側面３４ｂを観察することが可能となる。各テーブル４が回転する際や、各テーブル４が回転して起立した状態に変化した後においても、チップ３４はテーブル４の粘着層１０に保持されているので、チップ３４の側面３４ｂが上を向いた状態が安定して保たれる。

【0022】

以上のとおりであり、図示の実施形態の観察用治具２は、チップ３４を保持する粘着層１０を表面に備えたテーブル４と、テーブル４を伏せた状態から起立した状態に変化するように回転可能に支持すると共にテーブル４の裏面に対応して形成された貫通開口２０を備えた枠体６と、貫通開口２０に挿入されテーブル４を伏せた状態から起立した状態にする突起３０を備えた基台８と、を有するので、チップ３４の側面３４ｂを容易に上に向けて顕微鏡で観察することが可能となり、顕微鏡での観察に手間がかかるという問題が解消する。

【0023】

なお、図示の実施形態の枠体６は一対のテーブル４を支持するようになっているが、枠体６は１個のテーブル４を支持するようになっていてもよく、あるいは３個以上のテーブル４を支持するようになっていてもよい。図示の実施形態の基台８は一対の突起３０を備えているが、基台８はテーブル４の数量に対応して１個または３個以上の突起３０を備えていてもよい。また、図示の実施形態の観察用治具２を複数個連結してもよい。

【符号の説明】

【0024】

２：観察用治具
４：テーブル
６：枠体
８：基台
１０：粘着層
２０：貫通開口
３０：突起
３４：チップ
３４ａ：チップの表面
３４ｂ：チップの側面

【図1】

【図2】

【図3】