特許7389619マスクホルダ、固定装置、イオン照射方法

発明の名称　マスクホルダ、固定装置、イオン照射方法

出願人　住重試験検査株式会社　（識別番号 500216466）

　　　　特許公開件数ランキング 5047 位（3件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 2764 位（5件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7389619

公報発行日　2023年11月30

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7389619

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