特許7390386IP Force 特許公報全文掲載

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技術分野

開示の処理液ノズルおよび洗浄装置

発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

処理液ノズル内で洗浄液に超音波を付与する振動体が破損することを抑制することができる技術を提供する。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

本開示の一態様による処理液ノズルは、超音波付与部と、第１供給流路と、吐出流路と、第２供給流路とを備える。超音波付与部は、超音波を発生させる振動子と、前記振動子に接合される振動体とを有する。第１供給流路は、前記超音波付与部の前記振動体に接する位置に第１の液体を供給する。吐出流路は、前記超音波付与部によって超音波が付与された前記第１の液体を吐出口に供給する。第２供給流路は、前記吐出流路の前記超音・・・　続きを知財ポータルサイト IP Force にログインして見る

発明の効果[発明の詳細な説明]から抜粋

本開示によれば、処理液ノズル内で洗浄液に超音波を付与する振動体が破損することを抑制することができる。

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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋

【図1】 図１は、基板処理システムの概略構成を示す模式図である。
【図2】 図２は、処理ユニットの具体的な構成例を示す模式図である。
【図3】 図３は、処理液ノズルの構成を示す図である。
【図4】 図４は、処理液ノズルの液だれ抑制処理を説明するための図である。
【図5】 図５は、処理液ノズルの液だれ抑制処理を説明するための図である。
【図6】 図６は、処理液ノズルの構成を示す図である。
【図7】 図７は、実施形態の変形例に係る処理液ノズルの構成を示す図である。
【図8】 図８は、ダミーディスペンスバスの構成を示す図である。
【図9】 図９は、実施形態の他の変形例に係る処理液ノズルの構成を示す図である。
【図10】 図１０は、実施形態の変形例に係るダミーディスペンスバスの構成を示す図である。

代表図 図1本件の代表的な図

Ｗ ウェハ １ 基板処理システム（洗浄装置の一例） １６ 処理ユニット １８ 制御部 ３０ 基板処理部 ４１ａ ノズル（処理液ノズルの一例） ６０ 超音波付与部 ６１ 振動子 ６２ 振動体 ７１ 第１供給流路 ７２ 吐出流路 ７３ 第２供給流路 ７４ 吐出口 ８２ ダミーディスペンスバス ８３ 吸引ノズル ８４ エアブロー部 Ｄａ、Ｄｂ、Ｄｃ 内径 Ｄｄ 口径 Ｌ１ 第１の液体 Ｌ２ 第２の液体 Ｌａ、Ｌｂ 長さ

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