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特許 7390934出願番号 特願 2020-36109
検査装置
出願人 東京エレクトロン株式会社（識別番号 219967）
2026年 特許公開件数ランキング 37位 520件（※）
2026年 特許取得件数ランキング 25位 562件（※）
公報発行日 2023年12月4
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7390934 ログイン済みの方はこのURLへ
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※ 共同出願を含む
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技術分野
検査装置
発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋
効率的に検査を行うことができる技術を提供する。
課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋
本開示の一の態様によれば、被検査体を収納するキャリアを収容するキャリア収容室が配置されるロードポート領域と、複数の検査部の下に複数のプローブカードがそれぞれ配置され、チャックトップ上の被検査体の電子デバイスに前記プローブカードを押圧して前記電子デバイスの検査が行われる検査領域と、平面視で前記ロードポート領域と前記検査領域との間に配置され、搬送機構が前記被検査体を前記チャックトップ上に搬送する・・・ 続きを知財ポータルサイト IP Force にログインして見る
発明の効果[発明の詳細な説明]から抜粋
一の側面によれば、効率的に検査を行うことができる。
この特許の権利範囲[特許請求の範囲]
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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋
【図1】
検査装置１０の一例を示す断面図である。
【図2】
図１におけるＡ－Ａ矢視断面に相当する切断面における検査装置１０の全体の断面の一例を示す図である。
【図3】
検査装置１０をロードポート領域１４側から示す図である。
【図4】
プローブカード１５Ｃとミドルプレート１５Ｄを示す図である。
【図5】
カードバッファ６０を示す図である。
代表図 図1本件の代表的な図
１０ 検査装置
１２ 検査領域
１３ 搬送領域
１４ ロードポート領域
１５ テスタ
１５Ａ ポゴフレーム
１５Ｂ チャックトップ
１８ 搬送ステージ
１９ アライナ
２０ カードスロット
６０ カードバッファ
６４ ヒータ
６５ ブロワ
６６ 流路
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