特許7393574極紫外線用フォトマスク

発明の名称　極紫外線用フォトマスク

出願人　エスケーシー　ソルミックス　カンパニー，リミテッド　（識別番号 505232852）

　　　　特許公開件数ランキング 14468 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 12296 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7393574

公報発行日　2023年12月6

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7393574

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