(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2023-12-04
(45)【発行日】2023-12-12
(54)【発明の名称】加工システム
(51)【国際特許分類】
B23K 26/342 20140101AFI20231205BHJP
B23K 26/34 20140101ALI20231205BHJP
B23K 26/21 20140101ALI20231205BHJP
B23K 26/144 20140101ALI20231205BHJP
B33Y 10/00 20150101ALI20231205BHJP
B33Y 30/00 20150101ALI20231205BHJP
【ＦＩ】
B23K26/342
B23K26/34
B23K26/21 Z
B23K26/144
B33Y10/00
B33Y30/00
【請求項の数】
35
(21)【出願番号】P 2021508420
(86)(22)【出願日】2019-03-25
(86)【国際出願番号】 JP2019012486
(87)【国際公開番号】W WO2020194445
(87)【国際公開日】2020-10-01
【審査請求日】2022-01-26
(73)【特許権者】
【識別番号】000004112
【氏名又は名称】株式会社ニコン
(74)【代理人】
【識別番号】100104765
【弁理士】
【氏名又は名称】江上 達夫
(72)【発明者】
【氏名】松田 壮史
【審査官】岩見 勤
(56)【参考文献】
【文献】特開２０１８－００８４９３（ＪＰ，Ａ）
【文献】国際公開第２０１８／１８６２９４（ＷＯ，Ａ１）
【文献】特開２０１５－１９６１６４（ＪＰ，Ａ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｂ２３Ｋ ２６／３４２
Ｂ２３Ｋ ２６／３４
Ｂ２３Ｋ ２６／２１
Ｂ２３Ｋ ２６／１４４
Ｂ３３Ｙ １０／００
Ｂ３３Ｙ ３０／００
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
物体を支持する支持装置と、前記物体に対して粉体を供給して、前記物体に付加加工を行う加工装置と、
動力を発生させる動力源と、
前記支持装置および前記加工装置との少なくとも一方に前記動力を伝達する動力伝達部材と、
前記動力源と前記加工装置の少なくとも一部との間に設けられ、前記動力伝達部材が貫通する貫通孔が形成された仕切り部材と、
前記動力伝達部材と前記仕切り部材との間をシールするシール部材と
を備え、
前記仕切り部材および前記シール部材は、前記動力源が位置する空間から前記支持装置が位置する空間へ火花が入ることを防止する加工システム。
【請求項2】
前記仕切り部材および前記シール部材は、前記支持装置が位置する空間から前記動力源が位置する空間へ前記粉体が入ることを防止する請求項１に記載の加工システム。
【請求項3】
物体を支持する支持装置と、前記物体に対して粉体を供給して、前記物体に付加加工を行う加工装置と、
動力を発生させる動力源と、
前記支持装置および前記加工装置との少なくとも一方に前記動力を伝達する動力伝達部材と、
前記動力源と前記加工装置の少なくとも一部との間に設けられ、前記動力伝達部材が貫通する貫通孔が形成された仕切り部材と、
前記動力伝達部材と前記仕切り部材との間をシールするシール部材と
を備え、
前記仕切り部材および前記シール部材は、前記支持装置が位置する空間から前記動力源が位置する空間へ前記粉体が入ることを防止する加工システム。
【請求項4】
前記仕切り部材および前記シール部材は、前記粉体が供給される空間から前記動力源が位置する空間へ前記粉体が入ることを防止する請求項１から３のいずれか一項に記載の加工システム。
【請求項5】
物体を支持する支持装置と、前記物体に対して粉体を供給して、前記物体に付加加工を行う加工装置と、
動力を発生させる動力源と、
前記支持装置および前記加工装置との少なくとも一方に前記動力を伝達する動力伝達部材と、
前記動力源と前記加工装置の少なくとも一部との間に設けられ、前記動力伝達部材が貫通する貫通孔が形成された仕切り部材と、
前記動力伝達部材と前記仕切り部材との間をシールするシール部材と
を備え、
前記仕切り部材および前記シール部材は、前記粉体が供給される空間から前記動力源が位置する空間へ前記粉体が入ることを防止する加工システム。
【請求項6】
前記仕切り部材、前記動力伝達部材および前記シール部材は、前記物体の周囲の空間を密閉する請求項１から５のいずれか一項に記載の加工システム。
【請求項7】
前記仕切り部材、前記動力伝達部材および前記シール部材は、前記支持装置が位置する空間を密閉する請求項１から６のいずれか一項に記載の加工システム。
【請求項8】
前記仕切り部材、前記動力伝達部材および前記シール部材は、前記動力源の周囲の空間を密閉する請求項１から７のいずれか一項に記載の加工システム。
【請求項9】
前記動力伝達部材は、前記貫通孔が形成される面と交差する方向に前記動力を伝達する請求項１から８のいずれか一項に記載の加工システム。
【請求項10】
前記動力伝達部材は、前記貫通孔が形成される面と交差する方向に伸びた軸部材を備える請求項１から９のいずれか一項に記載の加工システム。
【請求項11】
前記軸部材は、前記交差する方向を中心として回転可能である請求項１０に記載の加工システム。
【請求項12】
物体を支持する支持装置と、前記物体に対して粉体を供給して、前記物体に付加加工を行う加工装置と、
動力を発生させる動力源と、
前記支持装置および前記加工装置との少なくとも一方に前記動力を伝達する動力伝達部材と、
前記動力源と前記加工装置の少なくとも一部との間に設けられ、前記動力伝達部材が貫通する貫通孔が形成された仕切り部材と、
前記動力伝達部材と前記仕切り部材との間をシールするシール部材と
を備え、
前記動力伝達部材は、前記貫通孔が形成される面と交差する方向に伸びた軸部材を備え、
前記軸部材は、前記交差する方向を中心として回転可能である加工システム。
【請求項13】
前記軸部材は、前記交差する方向に沿って移動可能である請求項１０から１２のいずれか一項に記載の加工システム。
【請求項14】
前記動力伝達部材は、前記貫通孔が延びる方向に前記動力を伝達する請求項１から１３のいずれか一項に記載の加工システム。
【請求項15】
前記動力伝達部材は、前記貫通孔が延びる方向に伸びた軸部材を備える請求項１から１３のいずれか一項に記載の加工システム。
【請求項16】
前記軸部材は、前記延びる方向を中心として回転可能である請求項１５に記載の加工システム。
【請求項17】
物体を支持する支持装置と、前記物体に対して粉体を供給して、前記物体に付加加工を行う加工装置と、
動力を発生させる動力源と、
前記支持装置および前記加工装置との少なくとも一方に前記動力を伝達する動力伝達部材と、
前記動力源と前記加工装置の少なくとも一部との間に設けられ、前記動力伝達部材が貫通する貫通孔が形成された仕切り部材と、
前記動力伝達部材と前記仕切り部材との間をシールするシール部材と
を備え、
前記動力伝達部材は、前記貫通孔が延びる方向に伸びた軸部材を備え、
前記軸部材は、前記延びる方向を中心として回転可能である加工システム。
【請求項18】
前記軸部材は、前記伸びる方向に沿って移動可能である請求項１５から１７のいずれか一項に記載の加工システム。
【請求項19】
前記支持装置および前記加工装置との少なくとも一方に伝達された前記動力により、前記物体と前記加工装置との相対的な位置および相対的な姿勢のうち少なくとも一方が変更される、請求項１から１８のいずれか一項に記載の加工システム。
【請求項20】
前記動力源は、電気的に前記動力を発生させる請求項１から１９のいずれか一項に記載の加工システム。
【請求項21】
前記隔離部材は、前記動力源における導通部分を前記物体に前記付加加工が行われる空間から隔てる請求項２０に記載の加工システム。
【請求項22】
前記物体に前記付加加工が行われる空間は不活性ガスで満たされている請求項１から２１のいずれか一項に記載の加工システム。
【請求項23】
前記物体に前記付加加工が行われる空間における酸素濃度は０．５％以下である請求項１から２２のいずれか一項に記載の加工システム。
【請求項24】
前記動力源が位置する空間における酸素濃度は前記物体に前記付加加工が行われる空間における酸素濃度よりも高い請求項１から２３のいずれか一項に記載の加工システム。
【請求項25】
物体を支持する支持装置と、前記物体に対して粉体を供給して、前記物体に付加加工を行う加工装置と、
動力を発生させる動力源と、
前記支持装置および前記加工装置との少なくとも一方に前記動力を伝達する動力伝達部材と、
前記動力源と前記加工装置の少なくとも一部との間に設けられ、前記動力伝達部材が貫通する貫通孔が形成された仕切り部材と、
前記動力伝達部材と前記仕切り部材との間をシールするシール部材と
を備え、
前記動力源が位置する空間における酸素濃度は前記物体に前記付加加工が行われる空間における酸素濃度よりも高い加工システム。
【請求項26】
前記物体に前記付加加工が行われる空間の圧力は、前記空間と異なる空間の圧力よりも高い請求項１から２５のいずれか一項に記載の加工システム。
【請求項27】
物体を支持する支持装置と、前記物体に対して粉体を供給して、前記物体に付加加工を行う加工装置と、
動力を発生させる動力源と、
前記支持装置および前記加工装置との少なくとも一方に前記動力を伝達する動力伝達部材と、
前記動力源と前記加工装置の少なくとも一部との間に設けられ、前記動力伝達部材が貫通する貫通孔が形成された仕切り部材と、
前記動力伝達部材と前記仕切り部材との間をシールするシール部材と
を備え、
前記仕切り部材および前記シール部材は、前記粉体の粉塵爆発を防止する
加工システム。
【請求項28】
前記支持装置は支持面で前記物体を支持し、
前記加工装置は、前記支持面から第１方向に離れて設けられ、
前記動力伝達部材は、前記支持面と前記加工装置との位置関係を、前記第１方向と交差する方向において変更するために前記支持装置および前記加工装置との少なくとも一方に前記動力を伝達する
請求項１から２７のいずれか一項に記載の加工システム。
【請求項29】
支持装置によって物体を支持することと、前記物体に対して粉体を供給して、前記物体に付加加工を行うことと、
前記支持装置および前記加工装置との少なくとも一方に動力源からの動力を動力伝達部材を用いて伝達することと、
前記動力源と前記加工装置の少なくとも一部との間を、前記動力伝達部材が貫通する貫通孔が形成された仕切り部材で仕切ることと、
シール部材で前記動力伝達部材と前記仕切り部材との間をシールすることと、
前記仕切り部材および前記シール部材を用いて、前記動力源が位置する空間から前記支持装置が位置する空間へ火花が入ることを防止することと
を含む加工方法。
【請求項30】
支持装置によって物体を支持することと、前記物体に対して粉体を供給して、前記物体に付加加工を行うことと、
前記支持装置および前記加工装置との少なくとも一方に動力源からの動力を動力伝達部材を用いて伝達することと、
前記動力源と前記加工装置の少なくとも一部との間を、前記動力伝達部材が貫通する貫通孔が形成された仕切り部材で仕切ることと、
シール部材で前記動力伝達部材と前記仕切り部材との間をシールすることと、
前記仕切り部材および前記シール部材を用いて、前記支持装置が位置する空間から前記動力源が位置する空間へ前記粉体が入ることを防止することと
を含む加工方法。
【請求項31】
支持装置によって物体を支持することと、前記物体に対して粉体を供給して、前記物体に付加加工を行うことと、
前記支持装置および前記加工装置との少なくとも一方に動力源からの動力を動力伝達部材を用いて伝達することと、
前記動力源と前記加工装置の少なくとも一部との間を、前記動力伝達部材が貫通する貫通孔が形成された仕切り部材で仕切ることと、
シール部材で前記動力伝達部材と前記仕切り部材との間をシールすることと、
前記仕切り部材および前記シール部材を用いて、前記粉体が供給される空間から前記動力源が位置する空間へ前記粉体が入ることを防止することと
を含む加工方法。
【請求項32】
支持装置によって物体を支持することと、前記物体に対して粉体を供給して、前記物体に付加加工を行うことと、
前記支持装置および前記加工装置との少なくとも一方に動力源からの動力を動力伝達部材を用いて伝達することと、
前記動力源と前記加工装置の少なくとも一部との間を、前記動力伝達部材が貫通する貫通孔が形成された仕切り部材で仕切ることと、
シール部材で前記動力伝達部材と前記仕切り部材との間をシールすることと
を含み、
前記動力伝達部材は、前記貫通孔が形成される面と交差する方向に伸びており、
前記伝達することは、前記軸部材を前記交差する方向を中心として回転させることを含む
加工方法。
【請求項33】
支持装置によって物体を支持することと、前記物体に対して粉体を供給して、前記物体に付加加工を行うことと、
前記支持装置および前記加工装置との少なくとも一方に動力源からの動力を動力伝達部材を用いて伝達することと、
前記動力源と前記加工装置の少なくとも一部との間を、前記動力伝達部材が貫通する貫通孔が形成された仕切り部材で仕切ることと、
シール部材で前記動力伝達部材と前記仕切り部材との間をシールすることと
を含み、
前記動力伝達部材は、前記貫通孔が延びる方向に伸びており、
前記伝達することは、前記軸部材を前記延びる方向を中心として回転させることを含む
加工方法。
【請求項34】
支持装置によって物体を支持することと、前記物体に対して粉体を供給して、前記物体に付加加工を行うことと、
前記支持装置および前記加工装置との少なくとも一方に動力源からの動力を動力伝達部材を用いて伝達することと、
前記動力源と前記加工装置の少なくとも一部との間を、前記動力伝達部材が貫通する貫通孔が形成された仕切り部材で仕切ることと、
シール部材で前記動力伝達部材と前記仕切り部材との間をシールすることと、
前記動力源が位置する空間における酸素濃度を前記物体に前記付加加工が行われる空間における酸素濃度よりも高くすることと
を含む加工方法。
【請求項35】
支持装置によって物体を支持することと、前記物体に対して粉体を供給して、前記物体に付加加工を行うことと、
前記支持装置および前記加工装置との少なくとも一方に動力源からの動力を動力伝達部材を用いて伝達することと、
前記動力源と前記加工装置の少なくとも一部との間を、前記動力伝達部材が貫通する貫通孔が形成された仕切り部材で仕切ることと、
シール部材で前記動力伝達部材と前記仕切り部材との間をシールすることと、
前記仕切り部材および前記シール部材によって、前記粉体の粉塵爆発を防止することと
を含む加工方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、例えば、加工動作を行う加工システムの技術分野に関する。
【背景技術】
【0002】
特許文献１には、粉状の材料をエネルギビームで溶融した後に、溶融した材料を固化させることで造形物を形成する加工動作を行う加工システムが記載されている。このような加工システムでは、加工システムの安全性を確保することが技術的課題となる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【文献】米国特許出願公開第２０１７／０１４９０９号明細書
【発明の概要】
【0004】
第１の態様によれば、物体を支持する支持装置と、前記物体に対して粉体を供給して、前記物体に付加加工を行う加工装置と、動力を発生させる動力源と、前記支持装置および前記加工装置との少なくとも一方に前記動力を伝達する動力伝達部材と、前記動力源と前記加工装置の少なくとも一部との間に設けられ、前記動力伝達部材が貫通する貫通孔が形成された仕切り部材と、前記動力伝達部材と前記仕切り部材との間をシールするシール部材とを備える加工システムが提供される。
【0005】
本発明の作用及び他の利得は次に説明する実施するための形態から明らかにされる。
【図面の簡単な説明】
【0006】
【発明を実施するための形態】
【0007】
以下、図面を参照しながら、加工システムの実施形態について説明する。以下では、物体の一例であるワークＷに付加加工を行う加工システムＳＹＳを用いて、加工システムの実施形態を説明する。特に、以下では、レーザ肉盛溶接法（ＬＭＤ：Ｌａｓｅｒ Ｍｅｔａｌ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）に基づく付加加工を行う加工システムＳＹＳを用いて、加工システムの実施形態を説明する。レーザ肉盛溶接法に基づく付加加工は、ワークＷに供給した造形材料Ｍを加工光ＥＬで溶融することで、ワークＷと一体化された又はワークＷから分離可能な３次元構造物ＳＴを形成する付加加工である。尚、レーザ肉盛溶接法（ＬＭＤ）は、ダイレクト・メタル・デポジション、ディレクテッド・エナジー・デポジション、レーザクラッディング、レーザ・エンジニアード・ネット・シェイピング、ダイレクト・ライト・ファブリケーション、レーザ・コンソリデーション、シェイプ・デポジション・マニュファクチャリング、ワイヤ－フィード・レーザ・デポジション、ガス・スルー・ワイヤ、レーザ・パウダー・フージョン、レーザ・メタル・フォーミング、セレクティブ・レーザ・パウダー・リメルティング、レーザ・ダイレクト・キャスティング、レーザ・パウダー・デポジション、レーザ・アディティブ・マニュファクチャリング、レーザ・ラピッド・フォーミングと称してもよい。
【0008】
また、以下の説明では、互いに直交するＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸から定義されるＸＹＺ直交座標系を用いて、加工システムＳＹＳを構成する各種構成要素の位置関係について説明する。尚、以下の説明では、説明の便宜上、Ｘ軸方向及びＹ軸方向のそれぞれが水平方向（つまり、水平面内の所定方向）であり、Ｚ軸方向が鉛直方向（つまり、水平面に直交する方向であり、実質的には上下方向）であるものとする。また、Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸周りの回転方向（言い換えれば、傾斜方向）を、それぞれ、θＸ方向、θＹ方向及びθＺ方向と称する。ここで、Ｚ軸方向を重力方向としてもよい。また、ＸＹ平面を水平方向としてもよい。
【0009】
（１）第１実施形態の加工システムＳＹＳ
初めに、第１実施形態の加工システムＳＹＳ（以降、第１実施形態の加工システムＳＹＳを、“加工システムＳＹＳ１”と称する）について説明する。
初めに、第１実施形態の加工システムＳＹＳ（以降、第１実施形態の加工システムＳＹＳを、“加工システムＳＹＳ１”と称する）について説明する。
【0010】
（１－１）第１実施形態の加工システムＳＹＳ１の構造
初めに、図１及び図２を参照しながら、第１実施形態の加工システムＳＹＳ１の構造について説明する。図１は、第１実施形態の加工システムＳＹＳ１の構造の一例を示す断面図である。図２は、第１実施形態の加工システムＳＹＳ１のシステム構成の一例を示すシステム構成図である。
初めに、図１及び図２を参照しながら、第１実施形態の加工システムＳＹＳ１の構造について説明する。図１は、第１実施形態の加工システムＳＹＳ１の構造の一例を示す断面図である。図２は、第１実施形態の加工システムＳＹＳ１のシステム構成の一例を示すシステム構成図である。
【0011】
加工システムＳＹＳ１は、３次元構造物ＳＴ（つまり、３次元方向のいずれの方向においても大きさを持つ３次元の物体であり、立体物）を形成可能である。加工システムＳＹＳ１は、３次元構造物ＳＴを形成するための基礎となるワークＷ上に、３次元構造物ＳＴを形成可能である。このワークＷを基材又は台座と称してもよい。加工システムＳＹＳ１は、ワークＷに付加加工を行うことで、３次元構造物ＳＴを形成可能である。ワークＷが後述するステージ３１である場合には、加工システムＳＹＳ１は、ステージ３１上に、３次元構造物ＳＴを形成可能である。ワークＷがステージ３１によって保持されている（或いは、ステージ３１に支持又は載置されている）既存構造物である場合には、加工システムＳＹＳ１は、既存構造物上に、３次元構造物ＳＴを形成可能である。この場合、加工システムＳＹＳ１は、既存構造物と一体化された３次元構造物ＳＴを形成してもよい。既存構造物と一体化された３次元構造物ＳＴを形成する動作は、既存構造物に新たな構造物を付加する動作と等価とみなせる。尚、既存構造物は例えば欠損箇所がある要修理品であってもよい。加工システムＳＹＳ１は、要修理品の欠損箇所を埋めるように、要修理品に３次元構造物を形成してもよい。或いは、加工システムＳＹＳ１は、既存構造物と分離可能な３次元構造物ＳＴを形成してもよい。尚、図１は、ワークＷが、ステージ３１によって保持されている既存構造物である例を示している。また、以下でも、ワークＷがステージ３１によって保持されている既存構造物である例を用いて説明を進める。
【0012】
上述したように、加工システムＳＹＳ１は、レーザ肉盛溶接法により３次元構造物ＳＴを形成可能である。つまり、加工システムＳＹＳ１は、積層造形技術を用いて物体を形成する３Ｄプリンタであるとも言える。尚、積層造形技術は、ラピッドプロトタイピング（Ｒａｐｉｄ Ｐｒｏｔｏｔｙｐｉｎｇ）、ラピッドマニュファクチャリング（Ｒａｐｉｄ Ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇ）、又は、アディティブマニュファクチャリング（Ａｄｄｉｔｉｖｅ Ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇ）とも称される。
【0013】
３次元構造物ＳＴを形成するために、加工システムＳＹＳ１は、図１及び図２に示すように、材料供給装置１と、加工装置２と、ステージ装置３と、光源４と、ガス供給装置５と、筐体６と、制御装置７とを備える。加工装置２とステージ装置３とのそれぞれの少なくとも一部は、筐体６の内部のチャンバ空間６３ＩＮ内に収容されている。
【0014】
材料供給装置１は、加工装置２に造形材料Ｍを供給する。材料供給装置１は、加工装置２が３次元構造物ＳＴを形成するために単位時間あたりに必要とする分量の造形材料Ｍが加工装置２に供給されるように、当該必要な分量に応じた所望量の造形材料Ｍを供給する。
【0015】
造形材料Ｍは、所定強度以上の加工光ＥＬの照射によって溶融可能な材料である。このような造形材料Ｍとして、例えば、金属材料及び樹脂材料の少なくとも一方が使用可能である。但し、造形材料Ｍとして、金属材料及び樹脂材料とは異なるその他の材料が用いられてもよい。造形材料Ｍは、粉状の材料である。つまり、造形材料Ｍは、粉体である。粉体は、粉状の材料に加えて、粒状の材料を含んでいてもよい。造形材料Ｍは、例えば、９０マイクロメートル±４０マイクロメートルの範囲に収まる粒径の粉体を含んでいてもよい。造形材料Ｍを構成する粉体の平均粒径は、例えば、７５マイクロメートルであってもよいし、その他のサイズであってもよい。但し、造形材料Ｍは、粉体でなくてもよく、例えばワイヤ状の造形材料やガス状の造形材料が用いられてもよい。尚、加工システムＳＹＳ１は、造形材料Ｍを荷電粒子線等のエネルギビームで加工して造形物を形成してもよい。
【0016】
加工装置２は、材料供給装置１から供給される造形材料Ｍを用いて３次元構造物ＳＴを形成する。造形材料Ｍを用いて３次元構造物ＳＴを形成するために、加工装置２は、加工ヘッド２１を備える。加工ヘッド２１は、照射光学系２１１と、材料ノズル（つまり造形材料Ｍを供給する供給系）２１２とを備えている。加工ヘッド２１は、チャンバ空間６３ＩＮ内に収容されている。但し、加工ヘッド２１の少なくとも一部が、筐体６の外部の空間である外部空間６４ＯＵＴに配置されていてもよい。尚、外部空間６４ＯＵＴは、加工システムＳＹＳ１のオペレータが立ち入り可能な空間であってもよい。
【0017】
照射光学系２１１は、射出部２１３から加工光ＥＬを射出するための光学系（例えば、集光光学系）である。具体的には、照射光学系２１１は、加工光ＥＬを発する光源４と、光ファイバやライトパイプ等の不図示の光伝送部材を介して光学的に接続されている。照射光学系２１１は、光伝送部材を介して光源４から伝搬してくる加工光ＥＬを射出する。照射光学系２１１は、加工光ＥＬがチャンバ空間６３ＩＮを進むように加工光ＥＬを射出する。照射光学系２１１は、照射光学系２１１から下方（つまり、－Ｚ側）に向けて加工光ＥＬを照射する。照射光学系２１１の下方には、ステージ３１が配置されている。ステージ３１にワークＷが支持又は載置されている場合には、照射光学系２１１は、ワークＷに向けて加工光ＥＬを照射する。具体的には、照射光学系２１１は、加工光ＥＬが照射される（典型的には、集光される）領域としてワークＷ上に設定される照射領域ＥＡに加工光ＥＬを照射可能である。更に、照射光学系２１１の状態は、制御装置７の制御下で、照射領域ＥＡに加工光ＥＬを照射する状態と、照射領域ＥＡに加工光ＥＬを照射しない状態との間で切替可能である。尚、照射光学系２１１から射出される加工光ＥＬの方向は真下（つまり、－Ｚ軸方向と一致）には限定されず、例えば、Ｚ軸に対して所定の角度だけ傾いた方向であってもよい。
【0018】
材料ノズル２１２は、造形材料Ｍを供給する供給アウトレット２１４を有する。材料ノズル２１２は、供給アウトレット２１４から造形材料Ｍを供給する（例えば、噴射する、噴出する、又は、吹き付ける）。材料ノズル２１２は、造形材料Ｍの供給源である材料供給装置１と、不図示のパイプ等を介して物理的に接続されている。材料ノズル２１２は、パイプを介して材料供給装置１から供給される造形材料Ｍを供給する。材料ノズル２１２は、パイプを介して材料供給装置１から供給される造形材料Ｍを圧送してもよい。即ち、材料供給装置１からの造形材料Ｍと搬送用の気体（例えば、窒素やアルゴン等の不活性ガス）とを混合してパイプを介して材料ノズル２１２に圧送してもよい。この場合、搬送用の気体として、例えば、ガス供給装置５から供給されるパージガスが用いられてもよい。尚、図１において材料ノズル２１２は、チューブ状に描かれているが、材料ノズル２１２の形状は、この形状に限定されない。材料ノズル２１２は、チャンバ空間６３ＩＮに向けて造形材料Ｍを供給する。材料ノズル２１２は、材料ノズル２１２から下方（つまり、－Ｚ側）に向けて造形材料Ｍを供給する。材料ノズル２１２の下方には、ステージ３１が配置されている。ステージ３１にワークＷが搭載されている場合には、材料ノズル２１２は、ワークＷに向けて造形材料Ｍを供給する。尚、材料ノズル２１２から供給される造形材料Ｍの進行方向はＺ軸方向に対して所定の角度（一例として鋭角）だけ傾いた方向であるが、－Ｚ側（つまり、真下）であってもよい。
【0019】
第１実施形態では、材料ノズル２１２は、照射光学系２１１が加工光ＥＬを照射する照射領域ＥＡに向けて造形材料Ｍを供給するように、照射光学系２１１に対して位置合わせされている。つまり、材料ノズル２１２が造形材料Ｍを供給する領域としてワークＷ上に設定される供給領域ＭＡと照射領域ＥＡとが一致する（或いは、少なくとも部分的に重複する）ように、材料ノズル２１２と照射光学系２１１とが位置合わせされている。尚、照射光学系２１１から射出された加工光ＥＬによって形成される溶融池ＭＰに、材料ノズル２１２が造形材料Ｍを供給するように位置合わせされていてもよい。
【0020】
ステージ装置３は、ステージ３１を備えている。ステージ３１は、チャンバ空間６３ＩＮに収容される。ステージ３１は、ワークＷを支持可能である。尚、ここで言う「ステージ３１がワークＷを支持する」状態は、ワークＷがステージ３１によって直接的に又は間接的に支えられている状態を意味していてもよい。ステージ３１は、ワークＷを保持可能であってもよい。つまり、ステージ３１は、ワークＷを保持することでワークＷを支持してもよい。或いは、ステージ３１は、ワークＷを保持可能でなくてもよい。この場合、ワークＷは、ステージ３１に載置されていてもよい。つまり、ステージ３１は、ステージ３１に載置されたワークＷを支持してもよい。このとき、ワークＷは、クランプレスでステージ３１に載置されていてもよい。従って、本実施形態における「ステージ３１がワークＷを支持する」状態は、ステージ３１がワークＷを保持する状態及びワークＷがステージ３１に載置される状態をも含んでいてもよい。ステージ３１を、ワークＷを支持する支持装置、ワークＷが載置される載置装置又はワークＷを保持する保持装置と称してもよい。ステージ３１がチャンバ空間６３ＩＮに収容されるため、ステージ３１が支持するワークＷもまた、チャンバ空間６３ＩＮに収容される。更に、ステージ３１は、ワークＷが保持されている場合には、保持したワークＷをリリース可能である。上述した照射光学系２１１は、ステージ３１がワークＷを支持している期間の少なくとも一部において加工ビームＰＬを照射する。更に、上述した材料ノズル２１２は、ステージ３１がワークＷを支持している期間の少なくとも一部において造形材料Ｍを供給する。尚、材料ノズル２１２が供給した造形材料Ｍの一部は、ワークＷの表面からワークＷの外部へと（例えば、ステージ３１の周囲へと）散乱する又はこぼれ落ちる可能性がある。このため、加工システムＳＹＳａは、ステージ３１の周囲に、散乱した又はこぼれ落ちた造形材料Ｍを回収する回収装置を備えていてもよい。尚、ステージ３１は、ワークＷを保持するために、機械的なチャックや真空吸着チャック等を備えていてもよい。
【0021】
ステージ装置３は更に、動力源３２と、動力伝達部材３３とを備えている。動力源３２及び動力伝達部材３３は、チャンバ空間６３ＩＮ内でステージ３１を移動させるためのステージ駆動系を構成する。
【0022】
動力源３２は、ステージ３１を移動させるための動力を発生させる装置（つまり、動力発生装置）である。具体的には、動力源３２は、電気的に動力を発生させる。つまり、動力源３２は、不図示の電源から供給される電流を用いて動力を発生させる。言い換えれば、動力源３２は、不図示の電源から供給される電流を動力に変換することで動力を発生させる。電気的に動力を発生させる。動力源３２の一例として、モータ等のアクチュエータがあげられる。この場合、動力源３２は、着火源となり得る部分（以降、説明の簡略化のために、着火源となる得る部分を単に“着火源”と称する）を含むことになる。着火源の一例として、電流が供給される導通部分（例えば、コイル）があげられる。なぜならば、コイルに導通部分が供給されることで導通部分に電気火花が生ずる及び／又は導通部分が発熱するからである。
【0023】
動力伝達部材３３は、動力源３２が発生させた動力をステージ３１に伝達する装置である。その結果、ステージ３１は、動力源３２から動力伝達部材３３を介して伝達される動力によって移動する。第１実施形態では特に、動力伝達部材３３は、動力源３２が発生させた動力を、非電気的にステージ３１に伝達する。例えば、動力伝達部材３３は、動力源３２が発生させた動力を、機械的にステージ３１に伝達してもよい。例えば、動力伝達部材３３は、動力源３２とステージ３１とを機械的に連結することで、動力源３２が発生させた動力をステージ３１に伝達してもよい。この場合、動力伝達部材３３は、動力源３２とは異なり、着火源を備えることはない。動力を機械的に伝達するために、動力伝達部材３３は、動力を機械的に伝達可能な部材を備えていてもよい。動力を機械的に伝達可能な部材の一例として、ねじ（例えば、台形ねじ、ボールねじ、すべりねじ及び三角ねじの少なくとも一つ）、歯車（例えば、平歯車、外歯歯車と組み合わせられる内歯歯車、ウォームと組み合わせられるウォーム歯車、かさ歯車、ラック・アンド・ピニオン、ねじ歯車及びハスバ歯車の少なくとも一つ）、ベルト（例えば、平ベルト、丸ベルト、歯付きベルト）、プーリー、ワイヤロープ、チェーン、シャフト及び滑車の少なくとも一つがあげられる。動力伝達部材３３は、これらの部材の少なくとも一つを用いて、動力源３２からステージ３１へと延びる動力伝達経路を形成する。具体的には、動力伝達部材３３そのものが動力伝達経路となるがゆえに、動力伝達部材３３は、動力源３２からステージ３１へと延びる。
【0024】
尚、図１は、加工システムＳＹＳ１が複数の（図１に示す例では、２つの）動力源３２を備える例を示しているが、加工システムＳＹＳ１は、単一の動力源３２を備えていてもよい。同様に、図１は、加工システムＳＹＳ１が複数の（図１に示す例では、２つの）動力伝達部材３３を備える例を示しているが、加工システムＳＹＳ１は、単一の動力伝達部材３３を備えていてもよい。
【0025】
ステージ３１が移動すると、ステージ３１と加工装置２（特に、加工ヘッド２１）との相対位置が変化する。このため、動力源３２及び動力伝達部材３３が構成するステージ駆動系は、ステージ３１と加工装置２（特に、加工ヘッド２１）との相対位置を変更するための装置として機能可能である。
【0026】
ステージ駆動系は、Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸の少なくとも一つに沿ってステージ３１を移動させてもよい。ステージ３１がＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸の少なくとも一つに沿って移動すると、ステージ３１と加工装置２（特に、加工ヘッド２１）との相対位置が変化する。このため、動力源３２及び動力伝達部材３３が構成するステージ駆動系は、ステージ３１と加工装置２（特に、加工ヘッド２１）との相対位置を変更するための装置として機能可能である。尚、ステージ３１がＸ軸及びＹ軸の少なくとも一方に沿って移動すると、照射領域ＥＡ及び供給領域ＭＡのそれぞれは、ワークＷ上をＸ軸及びＹ軸の少なくとも一方に沿って移動する。
【0027】
ステージ駆動系は、Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸の少なくとも一つに加えて、θＸ方向、θＹ方向及びθＺ方向の少なくとも一つの回転方向に沿ってステージ３１を移動させてもよい。言い換えると、ステージ駆動系は、Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸の少なくとも一つの軸回りにステージ３１を回転させてもよい。ステージ駆動系は、Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸の少なくとも一つの軸回りにステージ３１の姿勢を変えてもよい。ステージ３１がθＸ方向、θＹ方向及びθＺ方向の少なくとも一つの回転方向に沿って移動すると、ステージ３１と加工装置２（特に、加工ヘッド２１）との相対的な姿勢が変化する。このため、動力源３２及び動力伝達部材３３が構成するステージ駆動系は、ステージ３１と加工装置２（特に、加工ヘッド２１）との相対的な姿勢を変更するための装置として機能可能である。
【0028】
光源４は、例えば、赤外光及び紫外光のうちの少なくとも一つを、加工光ＥＬとして射出する。但し、加工光ＥＬとして、その他の波長の光、例えば可視域の波長の光が用いられてもよい。加工光ＥＬは、レーザ光である。この場合、光源４は、半導体レーザ等のレーザ光源を含んでいてもよい。レーザ光源の一例としては、レーザダイオード（ＬＤ：Ｌａｓｅｒ Ｄｉｏｄｅ）、ファイバ・レーザ、ＣＯ２レーザ、ＹＡＧレーザ及びエキシマレーザ等の少なくとも一つがあげられる。但し、加工光ＥＬはレーザ光でなくてもよいし、光源４は任意の光源（例えば、ＬＥＤ（Ｌｉｇｈｔ Ｅｍｉｔｔｉｎｇ Ｄｉｏｄｅ）及び放電ランプ等の少なくとも一つ）を含んでいてもよい。
【0029】
ガス供給装置５は、チャンバ空間６３１ＩＮをパージするためのパージガスの供給源である。パージガスは、酸素ガスを含まない（或いは、含んでいたとしてもごく微量の酸素ガスしか含んでいない）ガスである。パージガスは、不活性ガスを含む。不活性ガスの一例として、窒素ガス又はアルゴンガスがあげられる。ガス供給装置５は、チャンバ空間６３ＩＮにパージガスを供給する。その結果、チャンバ空間６３ＩＮは、パージガスによってパージされた空間となる。尚、ガス供給装置５は、窒素ガスやアルゴンガス等の不活性ガスが格納されたボンベであってもよい。不活性ガスが窒素ガスである場合には、ガス供給装置５は、大気を原料として窒素ガスを発生する窒素ガス発生装置であってもよい。
【0030】
ガス供給装置５は、チャンバ空間６３ＩＮにおける酸素濃度が所定濃度以下になるように、チャンバ空間６３ＩＮにパージガスを供給してもよい。所定濃度は、加工システムＳＹＳ１に対して設定された固定値（或いは、可変値）であってもよい。この場合、所定濃度は、チャンバ空間６３ＩＮ内における造形材料Ｍと動力源３２が備える着火源との接触に起因した爆発（典型的には、粉塵爆発）を防止可能な酸素濃度に設定されてもよい。例えば、所定濃度は、０．５％に設定されてもよい。
【0031】
ガス供給装置５は、チャンバ空間６３ＩＮにおける酸素濃度が、外部空間６４ＯＵＴにおける酸素濃度よりも低くなるように、チャンバ空間６３ＩＮにパージガスを供給してもよい。つまり、ガス供給装置５は、外部空間６４ＯＵＴにおける酸素濃度が、チャンバ空間６３ＩＮにおける酸素濃度よりも高くなるように、チャンバ空間６３ＩＮにパージガスを供給してもよい。
【0032】
ガス供給装置５は、チャンバ空間６３ＩＮにおける圧力が、チャンバ空間６３ＩＮ以外の空間（例えば、外部空間６４ＯＵＴ）における圧力よりも高くなるように、チャンバ空間６３ＩＮにパージガスを供給してもよい。つまり、ガス供給装置５は、チャンバ空間６３ＩＮ以外の空間（例えば、外部空間６４ＯＵＴ）における圧力が、チャンバ空間６３ＩＮにおける圧力よりも低くなるように、チャンバ空間６３ＩＮにパージガスを供給してもよい。
【0033】
筐体６は、筐体６の内部空間であるチャンバ空間６３ＩＮに少なくとも加工装置２及びステージ装置３のそれぞれの少なくとも一部を収容する収容装置である。筐体６は、チャンバ空間６３ＩＮを規定する仕切り部材６１を含む。仕切り部材６１は、チャンバ空間６３ＩＮと、筐体６の外部空間６４ＯＵＴとを隔てる（つまり、隔離する）部材である。仕切り部材６１を隔壁部材と称してもよい。仕切り部材６１は、チャンバ空間６３ＩＮと外部空間６４ＯＵＴとの間に設けられる部材である。仕切り部材６１は、その内壁６１ＩＳを介してチャンバ空間６３ＩＮに面し、その外壁６１ＯＳを介して外部空間６４ＯＵＴに面する。この場合、仕切り部材６１によって囲まれた空間（より具体的には、仕切り部材６１の内壁６１ＩＳによって囲まれた空間）が、チャンバ空間６３ＩＮとなる。尚、仕切り部材６１には、開閉可能な扉が設けられていてもよい。この扉は、ワークＷをステージ３１に支持する際、およびステージ３１からワークＷおよび／または造形物を取り出す際に開かれ、且つ造形中には閉じられていてもよい。
【0034】
外部空間６４ＯＵＴには、動力源３２が配置される。つまり、動力源３２は、チャンバ空間６３ＩＮには配置されない。動力源３２は、仕切り部材６１によってチャンバ空間６３ＩＮから隔離されている。動力源３２は、仕切り部材６１によってチャンバ空間６３ＩＮから隔離された位置に配置されている。この場合、仕切り部材６１は、チャンバ空間６３ＩＮを取り囲むことで動力源３２をチャンバ空間６３ＩＮから隔離する部材となる。
【0035】
動力源３２が外部空間６４ＯＵＴに配置されると、動力源３２が備える着火源（例えば、上述した導通部分）もまた、外部空間６４ＯＵＴに配置される。つまり、動力源３２が備える着火源は、チャンバ空間６３ＩＮには配置されない。動力源３２が備える着火源は、仕切り部材６１によってチャンバ空間６３ＩＮから隔離されている。動力源３２が備える着火源は、仕切り部材６１によってチャンバ空間６３ＩＮから隔離された位置に配置されている。この場合、仕切り部材６１は、チャンバ空間６３ＩＮを取り囲むことで動力源３２が備える着火源をチャンバ空間６３ＩＮから隔離する（つまり、動力源３２が備える着火源からチャンバ空間６３ＩＮを隔離する）部材として機能可能である。また、仕切り部材６１は、チャンバ空間６３ＩＮを取り囲むことで、チャンバ空間６３ＩＮに供給されている造形材料Ｍが外部空間６４ＯＵＴに漏れ出ることを防止している。
【0036】
その結果、当該チャンバ空間６３ＩＮに供給される造形材料Ｍ（特に、粉粒体である造形材料Ｍ）と、外部空間６４ＯＵＴに配置されている動力源３２が備える着火源との接触が防止される。尚、「造形材料Ｍと着火源との接触」は、「造形材料Ｍと着火源とそのものとの接触」のみならず、「造形材料Ｍと着火源において発生した電気火花等との接触」をも含む。このため、チャンバ空間６３ＩＮ内における造形材料Ｍと動力源３２が備える着火源との接触に起因した爆発（典型的には、粉塵爆発）が防止される。
【0037】
この場合、筐体６は、チャンバ空間６３ＩＮ内における造形材料Ｍと動力源３２が備える着火源との接触に起因した爆発を防止可能な防爆構造を有していてもよい。例えば、筐体６は、動力源３２が備える着火源に発生する電気火花又は高温部による造形材料Ｍの爆発を防止可能な本質安全防爆構造を有していてもよい。例えば、筐体６は、電気火花又は高温部が発生するべきではないチャンバ空間６３ＩＮに電気火花又は高温部を発生させないように構造上の安全度を増加させた安全増防爆構造を有していてもよい。
【0038】
但し、外部空間６４ＯＵＴにおいて動力源３２が発生させた動力は、チャンバ空間６３ＩＮ内に配置されるステージ３１に伝達される必要がある。このため、動力伝達部材３３は、外部空間６４ＯＵＴにおいて動力源３２が発生させた動力を、チャンバ空間６３ＩＮ内に配置されるステージ３１に伝達する。つまり、動力伝達部材３３は、外部空間６４ＯＵＴからチャンバ空間６３ＩＮに動力を伝達する。この場合、動力伝達部材３３の少なくとも一部はチャンバ空間６３ＩＮに配置される。動力伝達部材３３の少なくとも一部がチャンバ空間６３ＩＮに配置されたとしても、上述したように動力伝達部材３３が着火源を備えていないがゆえに、チャンバ空間６３ＩＮ内における爆発が防止可能であることに変わりはない。
【0039】
外部空間６４ＯＵＴからチャンバ空間６３ＩＮに動力を伝達するために、仕切り部材６１には、開口６５が形成されている。開口６５は、外部空間６４ＯＵＴからチャンバ空間６３ＩＮに向けて仕切り部材６１を貫通する貫通孔である。開口６５には、動力伝達部材３３の一部が配置される。つまり、動力伝達部材３３は、開口６５を介して外部空間６４ＯＵＴからチャンバ空間６３ＩＮへと延びる。その結果、動力伝達部材３３は、開口６５を介して、外部空間６４ＯＵＴからチャンバ空間６３ＩＮに動力を伝達することができる。つまり、外部空間６４ＯＵＴにおいて動力源３２が発生させた動力は、開口６５を介して、チャンバ空間６３ＩＮ内に配置されるステージ３１に伝達される。
【0040】
仕切り部材６１に開口６５が形成されると、開口６５を介してチャンバ空間６３ＩＮと外部空間６４ＯＵＴとがつながる。このため、開口６５を規定する仕切り部材６１の壁面と開口６５に配置される動力伝達部材３３との間に隙間（特に、相対的に大きな隙間）が存在する場合には、チャンバ空間６３ＩＮ内の造形材料Ｍと、動力源３２が備える着火源とが、開口６５を介して接触してしまう可能性がある。このため、開口６５は、シール部材６６によってシールされていてもよい。シール部材６６は、開口６５を規定する仕切り部材６１の壁面と開口６５に配置される動力伝達部材３３との間をシールする部材である。具体的には、シール部材６６は、開口６５を規定する仕切り部材６１の壁面と開口６５に配置される動力伝達部材３３との間の隙間を埋めるための部材である。尚、ここで言う「仕切り部材６１の壁面と動力伝達部材３３との間の隙間を埋める」ことは、仕切り部材６１の壁面と動力伝達部材３３との間の隙間を完全になくす（つまり、ふさぐ）ことを意味していてもよいし、仕切り部材６１の壁面と動力伝達部材３３との間の隙間を、チャンバ空間６３ＩＮを密閉することができる程度に小さくすることを意味していてもよい。つまり、シール部材６６は、チャンバ空間６３ＩＮを密閉する（つまり、チャンバ空間６３ＩＮの気密性を維持する）部材として機能可能である。より具体的には、シール部材６６は、仕切り部材６１及び動力伝達部材３３と共に、チャンバ空間６３ＩＮを密閉する。尚、シール部材６６の一例として、ゴムシール、オイルシール及びラビリンスシールの少なくとも一つがあげられる。
【0041】
シール部材６６によって開口６５がシールされると、チャンバ空間６３ＩＮ内の造形材料Ｍと動力源３２が備える着火源との開口６５を介して接することが防止される。つまり、シール部材６６は、チャンバ空間６３ＩＮ内の造形材料Ｍと動力源３２が備える着火源との開口６５を介して接することを防止するための部材として機能可能である。具体的には、例えば、シール部材６６は、仕切り部材６１及び動力伝達部材３３と共に、外部空間６４ＯＵＴにおいて動力源３２が発生させた電気火花が、開口６５を介して、造形材料Ｍが供給されるチャンバ空間６３ＩＮに入ることを防止する部材として機能可能である。例えば、シール部材６６は、仕切り部材６１及び動力伝達部材３３と共に、チャンバ空間６３ＩＮに供給された造形材料Ｍが、開口６５を介して、着火源を含む動力源３２が配置される外部空間６４ＯＵＴに入ることを防止する部材として機能可能である。
【0042】
制御装置７は、加工システムＳＹＳ１の動作を制御する。制御装置７は、例えば、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）（或いは、ＣＰＵに加えて又は代えてＧＰＵ（Ｇｒａｐｈｉｃｓ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ））と、メモリとを含んでいてもよい。制御装置７は、ＣＰＵがコンピュータプログラムを実行することで、加工システムＳＹＳ１の動作を制御する装置として機能する。このコンピュータプログラムは、制御装置７が行うべき後述する動作を制御装置７（例えば、ＣＰＵ）に行わせる（つまり、実行させる）ためのコンピュータプログラムである。つまり、このコンピュータプログラムは、加工システムＳＹＳ１に後述する動作を行わせるように制御装置７を機能させるためのコンピュータプログラムである。ＣＰＵが実行するコンピュータプログラムは、制御装置７が備えるメモリ（つまり、記録媒体）に記録されていてもよいし、制御装置７に内蔵された又は制御装置７に外付け可能な任意の記憶媒体（例えば、ハードディスクや半導体メモリ）に記録されていてもよい。或いは、ＣＰＵは、実行するべきコンピュータプログラムを、ネットワークインタフェースを介して、制御装置７の外部の装置からダウンロードしてもよい。
【0043】
例えば、制御装置７は、照射光学系２１１による加工光ＥＬの射出態様を制御してもよい。射出態様は、例えば、加工光ＥＬの強度及び加工光ＥＬの射出タイミングの少なくとも一方を含んでいてもよい。加工光ＥＬがパルス光である場合には、射出態様は、例えば、パルス光の発光時間の長さとパルス光の発光周期との比（いわゆる、デューティ比）を含んでいてもよい。また、射出態様は、例えば、パルス光の発光時間の長さそのものや、発光周期そのものを含んでいてもよい。更に、制御装置７は、動力源３２によるステージ３１の移動態様を制御してもよい。移動態様は、例えば、移動量、移動速度、移動方向及び移動タイミングの少なくとも一つを含んでいてもよい。更に、制御装置７は、材料供給装置１による造形材料Ｍの供給態様を制御してもよい。材料ノズル２１２による造形材料Ｍの供給態様は、主として、材料供給装置１による造形材料Ｍの供給態様によって定まる。このため、材料供給装置１による造形材料Ｍの供給態様を制御することは、材料ノズル２１２による造形材料Ｍの供給態様を制御することと等価とみなせる。供給態様は、例えば、供給量（特に、単位時間当たりの供給量）及び供給タイミングの少なくとも一方を含んでいてもよい。
【0044】
制御装置７は、加工システムＳＹＳ１の内部に設けられていなくてもよく、例えば、加工システムＳＹＳ１外にサーバ等として設けられていてもよい。この場合、制御装置７と加工システムＳＹＳ１とは、有線及び／又は無線のネットワーク（或いは、データバス及び／又は通信回線）で接続されていてもよい。有線のネットワークとして、例えばＩＥＥＥ１３９４、ＲＳ－２３２ｘ、ＲＳ－４２２、ＲＳ－４２３、ＲＳ－４８５及びＵＳＢの少なくとも一つに代表されるシリアルバス方式のインタフェースを用いるネットワークが用いられてもよい。有線のネットワークとして、パラレルバス方式のインタフェースを用いるネットワークが用いられてもよい。有線のネットワークとして、１０ＢＡＳＥ－Ｔ、１００ＢＡＳＥ－ＴＸ及び１０００ＢＡＳＥ－Ｔの少なくとも一つに代表されるイーサネット（登録商標）に準拠したインタフェースを用いるネットワークが用いられてもよい。無線のネットワークとして、電波を用いたネットワークが用いられてもよい。電波を用いたネットワークの一例として、ＩＥＥＥ８０２．１ｘに準拠したネットワーク（例えば、無線ＬＡＮ及びＢｌｕｅｔｏｏｔｈ（登録商標）の少なくとも一方）があげられる。無線のネットワークとして、赤外線を用いたネットワークが用いられてもよい。無線のネットワークとして、光通信を用いたネットワークが用いられてもよい。この場合、制御装置７と加工システムＳＹＳ１とはネットワークを介して各種の情報の送受信が可能となるように構成されていてもよい。また、制御装置７は、ネットワークを介して加工システムＳＹＳ１にコマンドや制御パラメータ等の情報を送信可能であってもよい。加工システムＳＹＳ１は、制御装置７からのコマンドや制御パラメータ等の情報を、上記ネットワークを介して受信する受信装置を備えていてもよい。
【0045】
尚、制御装置７は、一部が加工システムＳＹＳ１の内部に設けられ、他の一部が加工システムＳＹＳ１の外部に設けられていてもよい。
【0046】
尚、ＣＰＵが実行するコンピュータプログラムを記録する記録媒体としては、ＣＤ－ＲＯＭ、ＣＤ－Ｒ、ＣＤ－ＲＷやフレキシブルディスク、ＭＯ、ＤＶＤ－ＲＯＭ、ＤＶＤ－ＲＡＭ、ＤＶＤ－Ｒ、ＤＶＤ＋Ｒ、ＤＶＤ－ＲＷ、ＤＶＤ＋ＲＷ及びＢｌｕ－ｒａｙ（登録商標）等の光ディスク、磁気テープ等の磁気媒体、光磁気ディスク、ＵＳＢメモリ等の半導体メモリ、及び、その他プログラムを格納可能な任意の媒体の少なくとも一つが用いられてもよい。記録媒体には、コンピュータプログラムを記録可能な機器（例えば、コンピュータプログラムがソフトウェア及びファームウェア等の少なくとも一方の形態で実行可能な状態に実装された汎用機器又は専用機器）が含まれていてもよい。更に、コンピュータプログラムに含まれる各処理や機能は、制御装置７（つまり、コンピュータ）がコンピュータプログラムを実行することで制御装置７内に実現される論理的な処理ブロックによって実現されてもよいし、制御装置７が備える所定のゲートアレイ（ＦＰＧＡ、ＡＳＩＣ）等のハードウェアによって実現されてもよいし、論理的な処理ブロックとハードウェアの一部の要素を実現する部分的ハードウェアモジュールとが混在する形式で実現してもよい。
【0047】
（１－２）ステージ装置３の具体例
続いて、動力源３２が外部空間６４ＯＵＴに配置されるステージ装置３の具体例について説明する。第１実施形態では、加工システムＳＹＳ１は、ステージ装置３として、第１のステージ装置３ａ、第２のステージ装置３ｂ、第３のステージ装置３ｃ及び第４のステージ装置３ｄの少なくとも一つを用いてもよい。このため、以下では、第１のステージ装置３ａから第４のステージ装置３ｄのそれぞれの構造について順に説明する。尚、以下に説明する第１のステージ装置３ａから第４のステージ装置３ｄはあくまで一例に過ぎない。つまり、加工システムＳＹＳ１は、第１のステージ装置３ａから第４のステージ装置３ｄとは異なる構造を有するステージ装置３を備えていてもよい。
続いて、動力源３２が外部空間６４ＯＵＴに配置されるステージ装置３の具体例について説明する。第１実施形態では、加工システムＳＹＳ１は、ステージ装置３として、第１のステージ装置３ａ、第２のステージ装置３ｂ、第３のステージ装置３ｃ及び第４のステージ装置３ｄの少なくとも一つを用いてもよい。このため、以下では、第１のステージ装置３ａから第４のステージ装置３ｄのそれぞれの構造について順に説明する。尚、以下に説明する第１のステージ装置３ａから第４のステージ装置３ｄはあくまで一例に過ぎない。つまり、加工システムＳＹＳ１は、第１のステージ装置３ａから第４のステージ装置３ｄとは異なる構造を有するステージ装置３を備えていてもよい。
【0048】
（１－２－１）第１のステージ装置３ａの構造
はじめに、図３及び図４を参照しながら、第１のステージ装置３ａの構造について説明する。図３は、仕切り部材６１ａの一部の図示が省略された第１のステージ装置３ａの構造を示す斜視図である。図４は、仕切り部材６１ｂの一部の図示が省略されていない第１のステージ装置３ａの構造を示す斜視図である。
はじめに、図３及び図４を参照しながら、第１のステージ装置３ａの構造について説明する。図３は、仕切り部材６１ａの一部の図示が省略された第１のステージ装置３ａの構造を示す斜視図である。図４は、仕切り部材６１ｂの一部の図示が省略されていない第１のステージ装置３ａの構造を示す斜視図である。
【0049】
図３及び図４に示すように、第１のステージ装置３ａは、ステージ３１の一例であるステージ３１ａを備えている。第１のステージ装置３ａは更に、それぞれが動力源３２の一例である３つのモータ３２ａ（具体的には、モータ３２ａ＃１、モータ３２ａ＃２及びモータ３２ａ＃３）を備えている。第１のステージ装置３ａは更に、それぞれが動力伝達部材３３の一例である３つの動力伝達部材３３ａ（具体的には、動力伝達部材３３ａ＃１、動力伝達部材３３ａ＃２及び動力伝達部材３３ａ＃３）を備えている。動力伝達部材３３ａ＃１から３３ａ＃３は、それぞれ、モータ３２ａ＃１から３２ａ＃３が発生させた動力をステージ３１ａに伝達する。
【0050】
動力伝達部材３３ａ＃１は、ボールねじ（或いは、すべりねじ、以下同じ）３３０ａ＃１と、連結部材３３３ａ＃１とを備える。ボールねじ３３０ａ＃１は、軸部材３３１ａ＃１と、ナット３３２ａ＃１とを備える。動力伝達部材３３ａ＃２は、ボールねじ３３０ａ＃２と、連結部材３３３ａ＃２とを備える。ボールねじ３３０ａ＃２は、軸部材３３１ａ＃２と、ナット３３２ａ＃２とを備える。動力伝達部材３３＃３は、ボールねじ３３０ａ＃２と、連結部材３３３ａ＃３とを備える。ボールねじ３３０ａ＃３は、軸部材３３１ａ＃３と、ナット３３２ａ＃３とを備える。
【0051】
軸部材３３１ａ＃１から３３１ａ＃３のそれぞれは、側面にねじ山が形成されたねじ軸である。軸部材３３１ａ＃１から３３１ａ＃３のそれぞれは、Ｚ軸方向に沿って延びるように配置される。軸部材３３１ａ＃１から３３１ａ＃３は、それぞれ、モータ３２ａ＃１から３２ａ＃３の回転軸に連結される。軸部材３３１ａ＃１から３３１ａ＃３は、それぞれ、モータ３２ａ＃１から３２ａ＃３によってＺ軸周りに沿って回転する。その結果、軸部材３３１ａ＃１から３３１ａ＃３にそれぞれはめ込まれたナット３３２ａ＃１から３３２ａ＃３は、Ｚ軸方向に沿って移動する。このため、軸部材３３１ａ＃１から軸部材３３１ａ＃３は、それぞれ、モータ３２ａ＃１から３２ａ＃３が発生させた動力をＺ軸方向に沿って伝達することになる。軸部材３３１ａ＃１から３３１ａ＃３は、それぞれ、ＸＹ平面に沿って面内において、三角形（典型的には、正三角形）の形状の領域の頂点又は当該頂点の近傍に配置される。このため、モータ３２ａ＃１から３２ａ＃３もまた、ＸＹ平面に沿って面内において、三角形（典型的には、正三角形）の形状の領域の頂点又は当該頂点の近傍に配置される。
【0052】
ナット３３２ａ＃１から３３２ａ＃３には、それぞれ、連結部材３３３ａ＃１から３３３ａ＃３の一端が連結されている。連結部材３３３ａ＃１から３３３ａ＃３のそれぞれの他端は、ステージ３１ａに連結されている。ナット３３２ａ＃１から３３２ａ＃３のＺ軸方向の移動に合わせて、連結部材３３３ａ＃１から３３３ａ＃３の一端もまたそれぞれＺ軸方向に沿って移動する。その結果、連結部材３３３ａ＃１から３３３ａ＃３の他端は、それぞれ、連結部材３３３ａ＃１から３３３ａ＃３の一端の移動に合わせて、Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸の少なくとも一つに沿って移動する。その結果、ステージ３１ａは、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸、θＸ方向、θＹ方向及びθＺ方向の少なくとも一つに沿って移動する。このような動力伝達部材３３ａ＃１から３３ａ＃３を備える加工システムＳＹＳ１は、いわゆるデルタ型の３Ｄプリンタと称される。
【0053】
加工システムＳＹＳ１が第１のステージ装置３ａを備えている場合には、加工システムＳＹＳ１は、第１のステージ装置３ａに応じた筐体６ａを、筐体６として備えている。具体的には、筐体６ａは、それぞれが仕切り部材６１の一部を構成する天井部材６１１ａと、底部材６１２ａと、支柱部材６１３ａ＃１と、支柱部材６１３ａ＃２と、支柱部材６１３ａ＃３と、側壁部材６１４ａ＃１と、側壁部材６１４ａ＃２と、側壁部材６１４ａ＃３とを備える。天井部材６１１ａは、チャンバ空間６３ＩＮの上方（つまり、＋Ｚ側）の境界を規定する部材である。天井部材６１１ａは、例えば、ＸＹ平面に沿った板状の部材である。底部材６１２ａは、チャンバ空間６３ＩＮの下方（つまり、－Ｚ側）の境界を規定する部材である。底部材６１２ａは、天井部材６１１ａの下方に配置される。底部材６１２ａは、例えば、ＸＹ平面に沿った板状の部材である。支柱部材６１３ａ＃１から６１３ａ＃３のそれぞれは、底部材６１２ａから天井部材６１１ａに向かって延びる柱状の部材である。つまり、支柱部材６１３ａ＃１から６１３ａ＃３のそれぞれは、Ｚ軸方向に沿って延びる柱状の部材である。側壁部材６１４ａ＃１から６１４ａ＃３のそれぞれは、チャンバ空間６３ＩＮの側方の境界を規定する部材である。側壁部材６１４ａ＃１から６１４ａ＃３のそれぞれは、Ｚ軸に沿って延びる板状の部材である。側壁部材６１４ａ＃１は、天井部材６１１ａと底部材６１２ａと支柱部材６１３ａ＃１と支柱部材６１３＃２との間の開口をふさぐように配置される。但し、図３では、側壁部材６１４ａ＃１の記載が省略されている。側壁部材６１４ａ＃２は、天井部材６１１ａと底部材６１２ａと支柱部材６１３ａ＃２と支柱部材６１３＃３との間の開口をふさぐように配置される。側壁部材６１４ａ＃３は、天井部材６１１ａと底部材６１２ａと支柱部材６１３ａ＃３と支柱部材６１３＃１との間の開口をふさぐように配置される。その結果、天井部材６１１ａと、底部材６１２ａと、側壁部材６１４ａ＃１と、側壁部材６１４ａ＃２と、側壁部材６１４ａ＃３とによって囲まれた空間が、チャンバ空間６３ＩＮとして規定される。尚、チャンバ空間６３ＩＮの気密性を維持する（その結果、モータ３２ａからの火花のチャンバ空間６３ＩＮへの侵入を防止する）ために、天井部材６１１ａと、底部材６１２ａと、支柱部材６１３ａ＃１と、支柱部材６１３ａ＃２と、支柱部材６１３ａ＃３と、側壁部材６１４ａ＃１と、側壁部材６１４ａ＃２と、側壁部材６１４ａ＃３との間の隙間は、シール部材によってシールされていてもよい。
【0054】
チャンバ空間６３ＩＮには、動力伝達部材３３ａ＃１から３３ａ＃３が配置される。一方で、外部空間６４ＯＵＴには、モータ３２ａ＃１から３２ａ＃３が配置される。但し、軸部材３３１ａ＃１から軸部材３３１ａ＃３は、それぞれ、天井部材６１１ａに形成される開口６５ａ＃１から６５ａ＃３を介して、チャンバ空間６３ＩＮからモータ３２ａ＃１から３２ａ＃３の回転軸に向かって延びる。開口６５ａ＃１から６５ａ＃３のそれぞれは、Ｚ軸方向に沿って天井部材６１１ａを貫通する（つまり、板状の天井部材６１１ａの表面に交差する方向に沿って天井部材６１１ａを貫通する）ようにＺ軸方向に沿って延びる貫通孔である。このため、軸部材３３１ａ＃１から軸部材３３１ａのそれぞれの一部は、外部空間６４ＯＵＴに配置される。但し、モータ３２ａ＃１から３２ａ＃３のそれぞれの回転軸が、開口６５ａ＃１から６５ａ＃３を介して、外部空間６４ＯＵＴからチャンバ空間６３ＩＮに延びる場合は、軸部材３３１ａ＃１から軸部材３３１ａのそれぞれは、外部空間６４ＯＵＴに配置されていなくてもよい。
【0055】
天井部材６１１ａは、ＸＹ平面に沿って面内において、三角形（典型的には、正三角形）の形状を有する。また、Ｚ軸方向に沿って天井部材６１１ａに対向する底部材６１２ａもまた、ＸＹ平面に沿って面内において、三角形（典型的には、正三角形）の形状を有する。天井部材６１１ａの三角形の３つの頂点又は当該３つの頂点の近傍には、それぞれ、モータ３２ａ＃１から３２ａ＃３が配置される。天井部材６１１ａの三角形の３つの頂点又は当該３つの頂点の近傍には、それぞれ、開口６５の一例である開口６５ａ＃１から６５ａ＃３が形成される。開口６５ａ＃１から６５ａ＃３は、それぞれ、シール部材６６の一例であるシール部材６６ａ＃１から６６ａ＃３によってシールされている。ここで、動力伝達部材３３ａ＃１から３３ａ＃３の軸部材３３１ａ＃１から軸部材３３１ａ＃３が回転しても、軸部材３３１ａ＃１から軸部材３３１ａ＃３と開口６５ａ＃１から６５ａ＃３との間隔が変化しないため、シール部材６６ａ＃１から６６ａ＃３によるシールの不完全さが生じにくい。尚、天井部材６１１ａは、三角形以外の形状を有していてもよい。例えば、矩形、多角形、円形を有していてもよい。そのときには、チャンバ空間６３ＩＮの形状も、四角柱、多角柱、円柱となってもよい。
【0056】
（１－２－２）第２のステージ装置３ｂの構造
続いて、図５及び図６を参照しながら、第２のステージ装置３ｂの構造について説明する。図５は、仕切り部材６１ｂの一部の図示が省略された第２のステージ装置３ｂの構造を示す斜視図である。図６は、仕切り部材６１ｂの一部の図示が省略されていない第２のステージ装置３ｂの構造を示す斜視図である。尚、第１のステージ装置３ａが備える構成要素と同一の構成要素については、同一の参照符号を付してその詳細な説明を省略する。
続いて、図５及び図６を参照しながら、第２のステージ装置３ｂの構造について説明する。図５は、仕切り部材６１ｂの一部の図示が省略された第２のステージ装置３ｂの構造を示す斜視図である。図６は、仕切り部材６１ｂの一部の図示が省略されていない第２のステージ装置３ｂの構造を示す斜視図である。尚、第１のステージ装置３ａが備える構成要素と同一の構成要素については、同一の参照符号を付してその詳細な説明を省略する。
【0057】
図５及び図６に示すように、第２のステージ装置３ｂは、ステージ３１の一例であるステージ３１ｂを備えている。第２のステージ装置３ｂは、第１のステージ装置３ａと同様に、３つのモータ３２ａ（具体的には、モータ３２ａ＃１から３２ａ＃３）を備えている。第２のステージ装置３ｂは更に、それぞれが動力伝達部材３３の一例である３つの動力伝達部材３３ｂ（具体的には、動力伝達部材３３ｂ＃１、動力伝達部材３３ｂ＃２及び動力伝達部材３３ｂ＃３）を備えている。動力伝達部材３３ｂ＃１から３３ｂ＃３は、それぞれ、モータ３２ａ＃１から３２ａ＃３が発生させた動力をステージ３１ｂに伝達する。
【0058】
動力伝達部材３３ｂ＃１は、ドライブシャフト３３１ｂ＃１と、かさ歯車機構３３２ｂ＃１と、ドライブシャフト３３３ｂ＃１と、アーム機構３３４ｂ＃１とを備える。動力伝達部材３３ｂ＃２は、ドライブシャフト３３１ｂ＃２と、かさ歯車機構３３２ｂ＃２と、ドライブシャフト３３３ｂ＃２と、アーム機構３３４ｂ＃２とを備える。動力伝達部材３３ｂ＃３は、ドライブシャフト３３１ｂ＃３と、かさ歯車機構３３２ｂ＃３と、ドライブシャフト３３３ｂ＃３と、アーム機構３３４ｂ＃３とを備える。尚、ドライブシャフトは、軸部材と称してもよい。
【0059】
ドライブシャフト３３１ｂ＃１から３３１ｂ＃３のそれぞれは、Ｚ軸方向に沿って延びるように配置される。ドライブシャフト３３１ｂ＃１から３３１ｂ＃３は、それぞれ、モータ３２ａ＃１から３２ａ＃３の回転軸に連結される。ドライブシャフト３３１ｂ＃１から３３１ｂ＃３は、それぞれ、モータ３２ａ＃１から３２ａ＃３によってＺ軸周りに沿って回転する。このため、ドライブシャフト３３１ｂ＃１から３３１ｂ＃３のそれぞれは、Ｚ軸方向に沿って動力を伝達する。ドライブシャフト３３１ｂ＃１から３３１ｂ＃３は、それぞれ、ＸＹ平面に沿って面内において、三角形（典型的には、正三角形）の形状の領域の頂点又は当該頂点の近傍に配置される。
【0060】
ドライブシャフト３３１ｂ＃１から３３１ｂ＃３のＺ軸周りの回転は、それぞれ、かさ歯車機構３３２ｂ＃２から３３２ｂ＃３によってドライブシャフト３３３ｂ＃１から３３３ｂ＃３に伝達される。その結果、ドライブシャフト３３３ｂ＃１から３３３ｂ＃３のそれぞれは、Ｚ軸に交差する軸周りに回転する。このため、ドライブシャフト３３３ｂ＃１から３３３ｂ＃３のそれぞれは、Ｚ軸方向に交差する方向に沿って動力を伝達する。ドライブシャフト３３３ｂ＃１から３３３ｂ＃３の回転は、それぞれ、アーム機構３３４ｂ＃１から３３４ｂ＃３に伝達される。具体的には、アーム機構３３４ｂ＃１は、ベース部材３３４１ｂ＃１と、関節部材３３４２ｂ＃１と、リンク部材３３４３ｂ＃１と、関節部材３３４４ｂ＃１と、リンク部材３３４５ｂ＃１とを備える。ベース部材３３４１ｂは、底部材６１２ａに固定される。ベース部材３３４１ｂ＃１とリンク部材３３４３ｂ＃１とは、関節部材３３４２ｂ＃１によって連結される。関節部材３３４２ｂ＃１には、ドライブシャフト３３３ｂ＃１が連結される。このため、関節部材３３４２ｂ＃１には、ドライブシャフト３３３ｂ＃１の回転が伝達される。ここで、間接部材３３４２ｂは、リンク部材３３４３ｂに固定される。このため、ドライブシャフト３３３ｂ＃１の回転に伴ってリンク部材３３４３ｂ＃１が移動する。リンク部材３３４３ｂ＃１は、関節部材３３４４ｂ＃１を介してリンク部材３３４５ｂ＃１に連結される。このため、リンク部材３３４３ｂ＃１の移動に伴ってリンク部材３３４５ｂ＃１が移動する。更に、リンク部材３３４５ｂ＃１は、ステージ３１ｂに連結されている。その結果、リンク部材３３４５ｂ＃１の移動に伴ってステージ３１ｂが移動する。説明の簡略化のために詳述しないものの、アーム機構３３４ｂ＃２及び３３４ｂ＃３のそれぞれもまた、アーム機構３３４ｂ＃１と同様の構造を有する。このため、ステージ３１ｂは、アーム機構３３４ｂ＃１から３３４ｂ＃３の動作に合わせて、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸、θＸ方向、θＹ方向及びθＺ方向の少なくとも一つに沿って移動する。
【0061】
加工システムＳＹＳ１が第２のステージ装置３ｂを備えている場合には、加工システムＳＹＳ１は、第２のステージ装置３ｂに応じた筐体６ｂを、筐体６として備えている。尚、筐体６ｂは、上述した筐体６ａと同一であってもよいため、その詳細な説明を省略する。但し、加工システムＳＹＳ１が第２のステージ装置３ｂを備えている場合には、軸部材３３１ａ＃１から軸部材３３１ａ＃３に代えて、ドライブシャフト３３１ｂ＃１から３３１ｂ＃３が、それぞれ、開口６５ａ＃１から６５ａ＃３を介して、チャンバ空間６３ＩＮからモータ３２ａ＃１から３２ａ＃３の回転軸に向かって延びる。
【0062】
（１－２－３）第３のステージ装置３ｃの構造
続いて、図７及び図８を参照しながら、第３のステージ装置３ｃの構造について説明する。図７は、仕切り部材６１ｃの一部の記載が省略された第３のステージ装置３ｃの構造を示す斜視図である。図８は、仕切り部材６１ｃの一部の記載が省略されていない第３のステージ装置３ｃの構造を示す斜視図である。
続いて、図７及び図８を参照しながら、第３のステージ装置３ｃの構造について説明する。図７は、仕切り部材６１ｃの一部の記載が省略された第３のステージ装置３ｃの構造を示す斜視図である。図８は、仕切り部材６１ｃの一部の記載が省略されていない第３のステージ装置３ｃの構造を示す斜視図である。
【0063】
図７及び図８に示すように、第３のステージ装置３ｃは、ステージ３１の一例であるステージ３１ｃを備えている。第３のステージ装置３ｃは更に、それぞれが動力源３２の一例である２つのモータ３２ｃ（具体的には、モータ３２ｃ＃１及びモータ３２ｃ＃２）を備えている。第３のステージ装置３ｃは更に、それぞれが動力伝達部材３３の一例である２つの動力伝達部材３３ｃ（具体的には、動力伝達部材３３ｃ＃１及び動力伝達部材３３ｃ＃２）を備えている。動力伝達部材３３ｃ＃１から３３ｃ＃２は、それぞれ、モータ３２ｃ＃１から３２ｃ＃２が発生させた動力をステージ３１ｃに伝達する。第３のステージ装置３ｃは更に、可動ベース３３３ｃと可動ベース３３４ｃとを備えている。
【0064】
動力伝達部材３３ｃ＃１は、ベルト３３１１ｃ＃１と、ベルト３３１２ｃ＃１と、ドライブプーリー３３２１ｃ＃１と、ベンドプーリー３３２２ｃ＃１と、ベンドプーリー３３２３ｃ＃１と、ベンドプーリー３３２４ｃ＃１と、ベンドプーリー３３２５ｃ＃１とを備えている。動力伝達部材３３ｃ＃２は、ベルト３３１１ｃ＃２と、ベルト３３１２ｃ＃２と、ドライブプーリー３３２１ｃ＃２と、ベンドプーリー３３２２ｃ＃２と、ベンドプーリー３３２３ｃ＃２と、ベンドプーリー３３２４ｃ＃２と、ベンドプーリー３３２５ｃ＃２を備えている。
【0065】
ベルト３３１１ｃ＃１は、モータ３２ｃ＃１の回転軸とドライブプーリー３３２１ｃ＃１の回転軸とをつなぐ。図７及び図８に示す例では、モータ３２ｃ＃１の回転軸及びドライブプーリー３３２１ｃ＃１の回転軸のそれぞれはＺ軸に平行であり、ベルト３３１１ｃ＃１は、Ｘ軸方向に沿って延びると共に、Ｘ軸方向に沿ってモータ３２ｃ＃１の回転軸とドライブプーリー３３２１ｃ＃１の回転軸とをつなぐ。従って、ベルト３３１１ｃ＃１は、モータ３２ｃ＃１の回転軸の回転に伴い、Ｘ軸方向に沿って移動する。その結果、ベルト３３１１ｃ＃１の移動に伴い、ドライブプーリー３３２１ｃ＃１は、Ｚ軸周りに回転する。ドライブプーリー３３２１ｃ＃１の回転は、ベルト３３１２ｃ＃１に伝達される。ベルト３３１２ｃ＃１の一端は、ステージ３１ｃの－Ｙ側の端部に接続される。ベルト３３１２ｃ＃１の他端は、ステージ３１ｃの＋Ｙ側の端部に接続される。ベルト３３１２ｃ＃１は、ステージ３１ｃの－Ｙ側の端部から、ベンドプーリー３３２２ｃ＃１、ドライブプーリー３３２１ｃ＃１、ベンドプーリー３３２３ｃ＃１、ベンドプーリー３３２４ｃ＃１及びベンドプーリー３３２５ｃ＃１をこの順に経由して、ステージ３１ｃの＋Ｙ側の端部に向かって延びる。この場合、ベルト３３１２ｃ＃１は、ＸＹ平面に沿った複数の方向のうちの少なくとも一つ（例えば、Ｘ軸方向及びＹ軸方向の少なくとも一方）に沿って延びる。
【0066】
ベルト３３１１ｃ＃２は、モータ３２ｃ＃２の回転軸とドライブプーリー３３２１ｃ＃２の回転軸とをつなぐ。図７及び図８に示す例では、モータ３２ｃ＃２の回転軸及びドライブプーリー３３２１ｃ＃２の回転軸のそれぞれはＺ軸に平行であり、ベルト３３１１ｃ＃２は、Ｘ軸方向に沿って延びると共に、Ｘ軸方向に沿ってモータ３２ｃ＃２の回転軸とドライブプーリー３３２１ｃ＃２の回転軸とをつなぐ。従って、ベルト３３１１ｃ＃２は、モータ３２ｃ＃２の回転軸の回転に伴い、Ｘ軸方向に沿って移動する。その結果、ベルト３３１１ｃ＃２の移動に伴い、ドライブプーリー３３２１ｃ＃２は、Ｚ軸周りに回転する。ドライブプーリー３３２１ｃ＃２の回転は、ベルト３３１２ｃ＃２に伝達される。ベルト３３１２ｃ＃２の一端は、ステージ３１ｃの－Ｙ側の端部に接続される。ベルト３３１２ｃ＃２の他端は、ステージ３１ｃの＋Ｙ側の端部に接続される。ベルト３３１２ｃ＃２は、ステージ３１ｃの＋Ｙ側の端部から、ベンドプーリー３３２２ｃ＃２、ドライブプーリー３３２１ｃ＃２、ベンドプーリー３３２３ｃ＃２、ベンドプーリー３３２４ｃ＃２及びベンドプーリー３３２５ｃ＃２をこの順に経由して、ステージ３１ｃの－Ｙ側の端部に向かって延びる。この場合、ベルト３３１２ｃ＃２は、ＸＹ平面に沿った複数の方向のうちの少なくとも一つ（例えば、Ｘ軸方向及びＹ軸方向の少なくとも一方）に沿って延びる。
【0067】
可動ベース３３３ｃには、ベンドプーリー３３２２ｃ＃１と３３２５ｃ＃２とが配置されている。可動ベース３３３ｃは、ベルト３３１２ｃ＃１からベンドプーリー３３２２ｃ＃１に加わる力及び／又はベルト３３１２ｃ＃２からベンドプーリー３３２５ｃ＃２に加わる力により、ＸＹ平面に沿って（例えば、Ｘ軸方向及びＹ軸方向の少なくとも一方に沿って）移動可能である。
【0068】
可動ベース３３４ｃには、ベンドプーリー３３２５ｃ＃１と３３２２ｃ＃２とが配置されている。可動ベース３３４ｃは、ベルト３３１２ｃ＃１からベンドプーリー３３２５ｃ＃１に加わる力及び／又はベルト３３１２ｃ＃２からベンドプーリー３３２２ｃ＃２に加わる力により、ＸＹ平面に沿って（例えば、Ｘ軸方向及びＹ軸方向の少なくとも一方に沿って）移動可能である。
【0069】
このようなステージ装置３ｃでは、モータ３２ｃ＃１及び３２ｃ＃２の回転軸の回転方向によってステージ３１ｃの移動方向が定まる。
【0070】
具体的には、モータ３２ｃ＃１及び３２ｃ＃２のそれぞれの回転軸がＺ軸周りであって且つ時計回りに回転している場合には、動力伝達部材３３ｃ＃１は、モータ３２ｃ＃１が発生した動力を、ステージ３１ｃを－Ｙ側に向かって移動させるように作用する力としてステージ３１ｃに伝達し、動力伝達部材３３ｃ＃２は、モータ３２ｃ＃２が発生した動力を、ステージ３１ｃを－Ｙ側に向かって移動させるように作用する力としてステージ３１ｃに伝達する。その結果、ステージ３１ｃは、－Ｙ側に向かって移動する。
【0071】
モータ３２ｃ＃１及び３２ｃ＃２のそれぞれの回転軸がＺ軸周りであって且つ反時計回りに回転している場合には、動力伝達部材３３ｃ＃１は、モータ３２ｃ＃１が発生した動力を、ステージ３１ｃを＋Ｙ側に向かって移動させるように作用する力としてステージ３１ｃに伝達し、動力伝達部材３３ｃ＃２は、モータ３２ｃ＃２が発生した動力を、ステージ３１ｃを＋Ｙ側に向かって移動させるように作用する力としてステージ３１ｃに伝達する。その結果、ステージ３１ｃは、＋Ｙ側に向かって移動する。
【0072】
モータ３２ｃ＃１の回転軸がＺ軸周りであって且つ時計回りに回転している一方で、モータ３２ｃ＃２の回転軸がＺ軸周りであって且つ反時計回りに回転している場合には、動力伝達部材３３ｃ＃１は、モータ３２ｃ＃１が発生した動力を、ステージ３１ｃを－Ｙ側に向かって移動させるように作用する力としてステージ３１ｃに伝達し、動力伝達部材３３ｃ＃２は、モータ３２ｃ＃２が発生した動力を、ステージ３１ｃを＋Ｙ側に向かって移動させるように作用する力としてステージ３１ｃに伝達する。このため、動力伝達部材３３ｃ＃１を介してステージ３１ｃに伝達される力と、動力伝達部材３３ｃ＃２を介してステージ３１ｃに伝達される力とが相殺しあう。その結果、ステージ３１ｃはＹ軸方向に沿って移動しない。一方で、動力伝達部材３３ｃ＃１を介してステージ３１ｃに伝達される力によってステージ３１ｃが移動しないがゆえに、当該力は、ベンドプーリー３３２２ｃ＃１及び３３２５ｃ＃１を＋Ｘ側に向けて移動させるように作用する力としてベンドプーリー３３２２ｃ＃１及び３３２５ｃ＃１に作用する。同様に、動力伝達部材３３ｃ＃２を介してステージ３１ｃに伝達される力によってステージ３１ｃが移動しないがゆえに、当該力は、ベンドプーリー３３２２ｃ＃２及び３３２５ｃ＃２を＋Ｘ側に向けて移動させるように作用する力としてベンドプーリー３３２２ｃ＃２及び３３２５ｃ＃２に作用する。その結果、ベンドプーリー３３２２ｃ＃１及び３３２５ｃ＃２が配置された可動ベース３３３ｃとベンドプーリー３３２５ｃ＃１及び３３２２ｃ＃２が配置された可動ベース３３４ｃとが＋Ｘ側に向かって移動する。その結果、可動ベース３３３ｃ及び３３４ｃの移動に合わせて、ステージ３１ｃが＋Ｘ側に向かって移動する。
【0073】
モータ３２ｃ＃１の回転軸がＺ軸周りであって且つ反時計回りに回転している一方で、モータ３２ｃ＃２の回転軸がＺ軸周りであって且つ時計回りに回転している場合には、動力伝達部材３３ｃ＃１は、モータ３２ｃ＃１が発生した動力を、ステージ３１ｃを＋Ｙ側に向かって移動させるように作用する力としてステージ３１ｃに伝達し、動力伝達部材３３ｃ＃２は、モータ３２ｃ＃２が発生した動力を、ステージ３１ｃを－Ｙ側に向かって移動させるように作用する力としてステージ３１ｃに伝達する。このため、動力伝達部材３３ｃ＃１を介してステージ３１ｃに伝達される力と、動力伝達部材３３ｃ＃２を介してステージ３１ｃに伝達される力とが相殺しあう。その結果、ステージ３１ｃはＹ軸方向に沿って移動しない。一方で、動力伝達部材３３ｃ＃１を介してステージ３１ｃに伝達される力によってステージ３１ｃが移動しないがゆえに、当該力は、ベンドプーリー３３２２ｃ＃１及び３３２５ｃ＃１を－Ｘ側に向けて移動させるように作用する力としてベンドプーリー３３２２ｃ＃１及び３３２５ｃ＃１に作用する。同様に、動力伝達部材３３ｃ＃２を介してステージ３１ｃに伝達される力によってステージ３１ｃが移動しないがゆえに、当該力は、ベンドプーリー３３２２ｃ＃２及び３３２５ｃ＃２を－Ｘ側に向けて移動させるように作用する力としてベンドプーリー３３２２ｃ＃２及び３３２５ｃ＃２に作用する。その結果、ベンドプーリー３３２２ｃ＃１及び３３２５ｃ＃２が配置された可動ベース３３３ｃとベンドプーリー３３２５ｃ＃１及び３３２２ｃ＃２が配置された可動ベース３３４ｃとが－Ｘ側に向かって移動する。その結果、可動ベース３３３ｃ及び３３４ｃの移動に合わせて、ステージ３１ｃが－Ｘ側に向かって移動する。
【0074】
加工システムＳＹＳ１が第３のステージ装置３ｃを備えている場合には、加工システムＳＹＳ１は、第３のステージ装置３ｃに応じた筐体６ｃを、筐体６として備えている。具体的には、筐体６ｃは、それぞれが仕切り部材６１の一部を構成する天井部材６１１ｃと、底部材６１２ｃと、側壁部材６１３ｃとを備える。天井部材６１１ｃは、チャンバ空間６３ＩＮの上方（つまり、＋Ｚ側）の境界を規定する部材である。天井部材６１１ｃは、例えば、ＸＹ平面に沿った板状の部材である。但し、図７では、天井部材６１１ｃの記載が省略されている。底部材６１２ｃは、チャンバ空間６３ＩＮの下方（つまり、－Ｚ側）の境界を規定する部材である。底部材６１２ｃは、天井部材６１１ｃの下方に配置される。底部材６１２ｃは、例えば、ＸＹ平面に沿った板状の部材である。側壁部材６１３ｃは、チャンバ空間６３ＩＮの側方の境界を規定する部材である。側壁部材６１３ｃは、天井部材６１１ｃと底部材６１２ｃとの間の空間を取り囲むように配置される。側壁部材６１３ｃは、Ｚ軸に沿って延びる筒状の（例えば、角筒状の）部材である。その結果、天井部材６１１ｃと、底部材６１２ｃと、側壁部材６１３ｃとによって囲まれた空間が、チャンバ空間６３ＩＮとして規定される。尚、チャンバ空間６３ＩＮの気密性を維持する（その結果、モータ３２ｃからの火花のチャンバ空間６３ＩＮへの侵入を防止する）ために、天井部材６１１ｃと、底部材６１２ｃと、側壁部材６１３ｃとの間の隙間は、シール部材によってシールされていてもよい。
【0075】
チャンバ空間６３ＩＮには、動力伝達部材３３ｃ＃１から３３ｃ＃２が配置される。一方で、外部空間６４ＯＵＴには、モータ３２ｃ＃１から３２ｃ＃２が配置される。但し、ベルト３３１１ｃ＃１及び３３１１ｃ＃２は、それぞれ、側壁部材６１３ｃに形成された開口６５ｃ＃１及び６５ｃ＃２を介して、チャンバ空間６３ＩＮからモータ３２ｃ＃１及びモータ３２ｃ＃２の回転軸に向かって延びる。開口６５ｃ＃１及び６５ｃ＃２のそれぞれは、Ｘ軸方向に沿って側壁部材６１３ｃを貫通する（つまり、側壁部材６１３ｃの表面（つまり、筐体６ｃの側面）に交差する方向に沿って側壁部材６１３ｃを貫通する）ようにＸ軸方向に沿って延びる貫通孔である。このため、ベルト３３１１ｃ＃１及び３３１１ｃ＃２のそれぞれの一部は、外部空間６４ＯＵＴに配置される。また、開口６５ｃ＃１から６５ｃ＃２は、それぞれ、シール部材６６の一例であるシール部材６６ｃ＃１から６６ｃ＃２によってシールされている。ここで、動力伝達部材３３ｃ＃１から３３ｃ＃２のベルト３３１１ｃ＃１及び３３１１ｃ＃２が駆動されても、ベルト３３１１ｃ＃１及び３３１１ｃ＃２と開口６５ａ＃１及び６５ａ＃２との間隔が変化しないため、シール部材６６ａ＃１及び６６ａ＃２によるシールの不完全さが生じにくい。
【0076】
（１－２－４）第４のステージ装置３ｄの構造
続いて、図９及び図１０を参照しながら、第４のステージ装置３ｄの構造について説明する。図９は、仕切り部材６１ｄの一部の記載が省略された第４のステージ装置３ｄの構造を示す斜視図である。図１０は、仕切り部材６１ｄの一部の記載が省略されていない第４のステージ装置３ｄの構造を示す斜視図である。
続いて、図９及び図１０を参照しながら、第４のステージ装置３ｄの構造について説明する。図９は、仕切り部材６１ｄの一部の記載が省略された第４のステージ装置３ｄの構造を示す斜視図である。図１０は、仕切り部材６１ｄの一部の記載が省略されていない第４のステージ装置３ｄの構造を示す斜視図である。
【0077】
図９及び図１０に示すように、第４のステージ装置３ｄは、ステージ３１の一例であるステージ３１ｄを備えている。第４のステージ装置３ｄは更に、それぞれが動力源３２の一例である２つのモータ３２ｄ（具体的には、モータ３２ｄ＃１及びモータ３２ｄ＃２）を備えている。第４のステージ装置３ｄは更に、それぞれが動力伝達部材３３の一例である２つの動力伝達部材３３ｄ（具体的には、動力伝達部材３３ｄ＃１及び動力伝達部材３３ｄ＃２）を備えている。動力伝達部材３３ｄ＃１から３３ｄ＃２は、それぞれ、モータ３２ｄ＃１から３２ｄ＃２が発生させた動力をステージ３１ｄに伝達する。
【0078】
動力伝達部材３３ｄ＃１は、ベルト３３１１ｄ＃１と、ベルト３３１２ｄ＃１と、ベルト３３１３ｄ＃１と、プーリー３３２１ｄ＃１と、プーリー３３２２ｄ＃１と、プーリー３３２３ｄ＃１と、プーリー３３２４ｄ＃１と、プーリー３３２５ｄ＃１と、ドライブシャフト３３３１ｄ＃１と、ドライブシャフト３３３２ｄ＃１と、可動部材３３４１ｄ＃１と、可動部材３３４２ｄ＃１と、連結部材３３５１ｄ＃１と、連結部材３３５２ｄ＃１とを備えている。動力伝達部材３３ｄ＃２は、ベルト３３１１ｄ＃２と、ベルト３３１２ｄ＃２と、ベルト３３１３ｄ＃２と、プーリー３３２１ｄ＃２と、プーリー３３２２ｄ＃２と、プーリー３３２３ｄ＃２と、プーリー３３２４ｄ＃２と、プーリー３３２５ｄ＃２と、ドライブシャフト３３３１ｄ＃２と、ドライブシャフト３３３２ｄ＃２と、可動部材３３４１ｄ＃２と、可動部材３３４２ｄ＃２と、連結部材３３５１ｄ＃２と、連結部材３３５２ｄ＃２とを備えている。
【0079】
ベルト３３１１ｄ＃１は、モータ３２ｄ＃１の回転軸とプーリー３３２１ｄ＃１とをつなぐ。図９及び図１０に示す例では、モータ３２ｄ＃１の回転軸及びプーリー３３２１ｄ＃１の回転軸のそれぞれはＸ軸に平行であり、ベルト３３１１ｄ＃１は、Ｙ軸方向に沿って延びると共に、Ｙ軸方向に沿ってモータ３２ｄ＃１の回転軸とプーリー３３２１ｄ＃１の回転軸とをつなぐ。従って、ベルト３３１１ｄ＃１は、モータ３２ｄ＃１の回転軸の回転に伴い、Ｙ軸方向に沿って移動する。その結果、ベルト３３１１＃１の移動に伴い、プーリー３３２１ｄ＃１は、Ｘ軸周り（或いは、Ｚ軸に交差する軸周り）に回転する。プーリー３３２１ｄ＃１には、Ｘ軸方向に沿って延びるドライブシャフト３３３１ｄ＃１が連結されている。このため、プーリー３３２１ｄ＃１の回転に合わせて、ドライブシャフト３３３１ｄ＃１もまた、Ｘ軸周り（或いは、Ｚ軸に交差する軸周り）に回転する。ドライブシャフト３３３１ｄ＃１の両端には、プーリー３３２２ｄ＃１及び３３２３ｄ＃１がそれぞれ連結されている。このため、ドライブシャフト３３３１ｄ＃１の回転に合わせて、プーリー３３２２ｄ＃１及び３３２３ｄ＃１のそれぞれもまた、Ｘ軸周り（或いは、Ｚ軸に交差する軸周り）に回転する。
【0080】
ベルト３３１２ｄ＃１は、Ｙ軸方向に沿って延びる。ベルト３３１２ｄ＃１は、Ｙ軸方向に沿ってプーリー３３２２ｄ＃１とプーリー３３２４ｄ＃１とをつなぐ。ベルト３３１３ｄ＃１は、Ｙ軸方向に沿って延びる。ベルト３３１３ｄ＃１は、Ｙ軸方向に沿ってプーリー３３２３ｄ＃１とプーリー３３２５ｄ＃１とをつなぐ。プーリー３３２４ｄ＃１及び３３２５ｄ＃１は、Ｘ軸方向に沿って延びるドライブシャフト３３３２ｄ＃１の両端に連結されている。このため、プーリー３３２２ｄ＃１及び３３２３ｄ＃１の回転に合わせて、プーリー３３２４ｄ＃１及び３３２５＃１並びにドライブシャフト３３３２ｄ＃１もまた、Ｘ軸周り（或いは、Ｚ軸に交差する軸周り）に回転する。その結果、プーリー３３２２ｄ＃１の回転が、プーリー３３２２ｄ＃１とプーリー３３２４ｄ＃１とをつなぐベルト３３１２ｄ＃１のＹ軸方向における移動に変換される。同様に、プーリー３３２３ｄ＃１の回転が、プーリー３３２３ｄ＃１とプーリー３３２５ｄ＃１とをつなぐベルト３３１３ｄ＃１のＹ軸方向における移動に変換される。
【0081】
ベルト３３１２ｄ＃１には、可動部材３３４１ｄ＃１が固定されている。このため、ベルト３３１２ｄ＃１のＹ軸方向における移動に合わせて、可動部材３３４１ｄ＃１がＹ軸方向に沿って移動する。ベルト３３１３ｄ＃１には、可動部材３３４２ｄ＃１が固定されている。このため、ベルト３３１３ｄ＃１のＹ軸方向における移動に合わせて、可動部材３３４２ｄ＃１がＹ軸方向に沿って移動する。連結部材３３５１ｄ＃１は、可動部材３３４１ｄ＃１とステージ３１ｄとを連結する。連結部材３３５２ｄ＃１は、可動部材３３４２ｄ＃１とステージ３１ｄとを連結する。具体的には、ベルト３３１２ｄ＃１及び３３１３ｄ＃１並びに可動部材３３４１ｄ＃１及び３３４２ｄ＃１は、ベルト３３１２ｄ＃１とベルト３３１３ｄ＃１とがＸ軸方向に沿ってステージ３１ｄを挟み込み且つ可動部材３３４１ｄ＃１と可動部材３３４２ｄ＃１とがＸ軸方向に沿ってステージ３１ｄを挟み込むように配置される。このため、連結部材３３５１ｄ＃１及び３３５２ｄ＃１は、Ｘ軸方向に沿ってステージ３１ｄを支持するようにステージ３１ｄに連結される。この場合、可動部材３３４１ｄ＃１及び３３４２ｄ＃１のＹ軸方向における移動に合わせて、ステージ３１ｄがＹ軸方向に沿って移動する。このため、モータ３２ｄ＃１及び動力伝達部材３３ｄ＃１は、主として、ステージ３１ｄをＹ軸方向に沿って移動させるための駆動系として機能する。
【0082】
ベルト３３１１ｄ＃２は、モータ３２ｄ＃２の回転軸とプーリー３３２１ｄ＃２とをつなぐ。図９及び図１０に示す例では、モータ３２ｄ＃２の回転軸及びプーリー３３２１ｄ＃２の回転軸のそれぞれはＹ軸に平行であり、ベルト３３１１ｄ＃２は、Ｘ軸方向に沿って延びると共に、Ｘ軸方向に沿ってモータ３２ｄ＃２の回転軸とプーリー３３２１ｄ＃２の回転軸とをつなぐ。従って、ベルト３３１１ｄ＃２は、モータ３２ｄ＃２の回転軸の回転に伴い、Ｘ軸方向に沿って移動する。その結果、ベルト３３１１＃２の移動に伴い、プーリー３３２１ｄ＃２は、Ｙ軸周り（或いは、Ｚ軸に交差する軸周り）に回転する。プーリー３３２１ｄ＃２には、Ｙ軸方向に沿って延びるドライブシャフト３３３１ｄ＃２が連結されている。このため、プーリー３３２１ｄ＃２の回転に合わせて、ドライブシャフト３３３１ｄ＃２もまた、Ｙ軸周り（或いは、Ｚ軸に交差する軸周り）に回転する。ドライブシャフト３３３１ｄ＃２の両端には、プーリー３３２２ｄ＃２及び３３２３ｄ＃２がそれぞれ連結されている。このため、ドライブシャフト３３３１ｄ＃２の回転に合わせて、プーリー３３２２ｄ＃２及び３３２３ｄ＃２のそれぞれもまた、Ｙ軸周り（或いは、Ｚ軸に交差する軸周り）に回転する。
【0083】
ベルト３３１２ｄ＃２は、Ｘ軸方向に沿って延びる。ベルト３３１２ｄ＃２は、Ｘ軸方向に沿ってプーリー３３２２ｄ＃２とプーリー３３２４ｄ＃２とをつなぐ。ベルト３３１３ｄ＃２は、Ｘ軸方向に沿って延びる。ベルト３３１３ｄ＃２は、Ｘ軸方向に沿ってプーリー３３２３ｄ＃２とプーリー３３２５ｄ＃２とをつなぐ。プーリー３３２４ｄ＃２及び３３２５ｄ＃２は、Ｙ軸方向に沿って延びるドライブシャフト３３３２ｄ＃２の両端に連結されている。このため、プーリー３３２２ｄ＃２及び３３２３ｄ＃２の回転に合わせて、プーリー３３２４ｄ＃２及び３３２５＃２並びにドライブシャフト３３３２ｄ＃２もまた、Ｙ軸周り（或いは、Ｚ軸に交差する軸周り）に回転する。その結果、プーリー３３２２ｄ＃２の回転が、プーリー３３２２ｄ＃２とプーリー３３２４ｄ＃２とをつなぐベルト３３１２ｄ＃２のＸ軸方向における移動に変換される。同様に、プーリー３３２３ｄ＃２の回転が、プーリー３３２３ｄ＃２とプーリー３３２５ｄ＃２とをつなぐベルト３３１３ｄ＃２のＸ軸方向における移動に変換される。
【0084】
ベルト３３１２ｄ＃２には、可動部材３３４１ｄ＃２が固定されている。このため、ベルト３３１２ｄ＃２のＸ軸方向における移動に合わせて、可動部材３３４１ｄ＃２がＸ軸方向に沿って移動する。ベルト３３１３ｄ＃２には、可動部材３３４２ｄ＃２が固定されている。このため、ベルト３３１３ｄ＃２のＸ軸方向における移動に合わせて、可動部材３３４２ｄ＃２がＸ軸方向に沿って移動する。連結部材３３５１ｄ＃２は、可動部材３３４１ｄ＃２とステージ３１ｄとを連結する。連結部材３３５２ｄ＃２は、可動部材３３４２ｄ＃２とステージ３１ｄとを連結する。具体的には、ベルト３３１２ｄ＃２及び３３１３ｄ＃２並びに可動部材３３４１ｄ＃２及び３３４２ｄ＃２は、ベルト３３１２ｄ＃２とベルト３３１３ｄ＃２とがＸ軸方向に沿ってステージ３１ｄを挟み込み且つ可動部材３３４１ｄ＃２と可動部材３３４２ｄ＃２とがＹ軸方向に沿ってステージ３１ｄを挟み込むように配置される。このため、連結部材３３５１ｄ＃２及び３３５２ｄ＃２は、Ｙ軸方向に沿ってステージ３１ｄを支持するようにステージ３１ｄに連結される。この場合、可動部材３３４１ｄ＃２及び３３４２ｄ＃２のＸ軸方向における移動に合わせて、ステージ３１ｄがＸ軸方向に沿って移動する。このため、モータ３２ｄ＃２及び動力伝達部材３３ｄ＃２は、主として、ステージ３１ｄをＸ軸方向に沿って移動させるための駆動系として機能する。
【0085】
尚、Ｘ軸方向に沿ってステージ３１ｄと可動部材３３４１ｄ＃１及び３３４２ｄ＃１とをそれぞれ連結する連結部材３３５１ｄ＃１及び３３５２ｄ＃１は、Ｘ軸方向に沿って伸縮可能である。その結果、可動部材３３４１ｄ＃２及び３３４２ｄ＃２の移動に合わせたステージ３１ｄのＸ軸方向における移動が、連結部材３３５１ｄ＃１及び３３５２ｄ＃１によって妨げられることがなくなる。同様に、Ｙ軸方向に沿ってステージ３１ｄと可動部材３３４１ｄ＃２及び３３４２ｄ＃２とをそれぞれ連結する連結部材３３５１ｄ＃２及び３３５２ｄ＃２は、Ｙ軸方向に沿って伸縮可能である。その結果、可動部材３３４１ｄ＃１及び３３４２ｄ＃１の移動に合わせたステージ３１ｄのＹ軸方向における移動が、連結部材３３５１ｄ＃２及び３３５２ｄ＃２によって妨げられることがなくなる。
【0086】
加工システムＳＹＳ１が第４のステージ装置３ｄを備えている場合には、加工システムＳＹＳ１は、第４のステージ装置３ｄに応じた筐体６ｄを、筐体６として備えている。具体的には、筐体６ｄは、それぞれが仕切り部材６１の一部を構成する天井部材６１１ｄと、底部材６１２ｄと、側壁部材６１３ｄとを備える。天井部材６１１ｄは、チャンバ空間６３ＩＮの上方（つまり、＋Ｚ側）の境界を規定する部材である。天井部材６１１ｄは、例えば、ＸＹ平面に沿った板状の部材である。但し、図９では、天井部材６１１ｄの記載が省略されている。底部材６１２ｄは、チャンバ空間６３ＩＮの下方（つまり、－Ｚ側）の境界を規定する部材である。底部材６１２ｄは、天井部材６１１ｄの下方に配置される。底部材６１２ｄは、例えば、ＸＹ平面に沿った板状の部材である。側壁部材６１３ｄは、チャンバ空間６３ＩＮの側方の境界を規定する部材である。側壁部材６１３ｄは、天井部材６１１ｄと底部材６１２ｄとの間の空間を取り囲むように配置される。側壁部材６１３ｄは、Ｚ軸に沿って延びる筒状の（例えば、角筒状の）部材である。その結果、天井部材６１１ｄと、底部材６１２ｄと、側壁部材６１３ｄとによって囲まれた空間が、チャンバ空間６３ＩＮとして規定される。尚、チャンバ空間６３ＩＮの気密性を維持する（その結果、モータ３２ｄからの火花のチャンバ空間６３ＩＮへの侵入を防止する）ために、天井部材６１１ｄと、底部材６１２ｄと、側壁部材６１３ｄとの間の隙間は、シール部材によってシールされていてもよい。
【0087】
チャンバ空間６３ＩＮには、動力伝達部材３３ｄ＃２から３３ｄ＃２が配置される。一方で、外部空間６４ＯＵＴには、モータ３２ｄ＃１から３２ｄ＃２が配置される。但し、ベルト３３１１ｄ＃１及び３３１１ｄ＃２は、それぞれ、側壁部材６１３ｄに形成された開口６５ｄ＃１及び６５ｄ＃２を介して、チャンバ空間６３ＩＮからモータ３２ｄ＃１及びモータ３２ｄ＃２の回転軸に向かって延びる。開口６５ｄ＃１は、Ｙ軸方向に沿って側壁部材６１３ｄを貫通する（つまり、側壁部材６１３ｄの表面（つまり、筐体６ｄの側面）に交差する方向に沿って側壁部材６１３ｄを貫通する）ようにＹ軸方向に沿って延びる貫通孔である。開口６５ｄ＃２は、Ｘ軸方向に沿って側壁部材６１３ｄを貫通する（つまり、側壁部材６１３ｄの表面（つまり、筐体６ｄの側面）に交差する方向に沿って側壁部材６１３ｄを貫通する）ようにＸ軸方向に沿って延びる貫通孔である。このため、ベルト３３１１ｄ＃１及び３３１１ｄ＃２のそれぞれの一部は、外部空間６４ＯＵＴに配置される。また、開口６５ｄ＃１から６５ｄ＃２は、それぞれ、シール部材６６の一例であるシール部材６６＃１から６６ｄ＃２によってシールされている。
【0088】
（１－３）加工システムＳＹＳ１の加工動作
続いて、加工システムＳＹＳ１による加工動作（つまり、３次元構造物ＳＴを形成するための動作）について説明する。上述したように、加工システムＳＹＳ１は、レーザ肉盛溶接法により３次元構造物ＳＴを形成する。このため、加工システムＳＹＳ１は、レーザ肉盛溶接法に準拠した既存の加工動作（この場合、造形動作）を行うことで、３次元構造物ＳＴを形成してもよい。以下、レーザ肉盛溶接法を用いて３次元構造物ＳＴを形成する加工動作の一例について簡単に説明する。
続いて、加工システムＳＹＳ１による加工動作（つまり、３次元構造物ＳＴを形成するための動作）について説明する。上述したように、加工システムＳＹＳ１は、レーザ肉盛溶接法により３次元構造物ＳＴを形成する。このため、加工システムＳＹＳ１は、レーザ肉盛溶接法に準拠した既存の加工動作（この場合、造形動作）を行うことで、３次元構造物ＳＴを形成してもよい。以下、レーザ肉盛溶接法を用いて３次元構造物ＳＴを形成する加工動作の一例について簡単に説明する。
【0089】
加工システムＳＹＳ１は、形成するべき３次元構造物ＳＴの３次元モデルデータ（例えば、ＣＡＤ（Ｃｏｍｐｕｔｅｒ Ａｉｄｅｄ Ｄｅｓｉｇｎ）データ）等に基づいて、ワークＷ上に３次元構造物ＳＴを形成する。３次元モデルデータとして、加工システムＳＹＳ１内に設けられた不図示の計測装置で計測された立体物の計測データ、及び、加工システムＳＹＳ１とは別に設けられた３次元形状計測機の計測データの少なくとも一方を用いてもよい。３次元形状計測機の一例として、ワークＷに対して移動可能でワークＷに接触可能なプローブを有する接触型の３次元座標測定機があげられる。３次元形状計測機の一例として、非接触型の３次元計測機があげられる。非接触型の３次元計測機の一例として、パターン投影方式の３次元計測機、光切断方式の３次元計測機、タイム・オブ・フライト方式の３次元計測機、モアレトポグラフィ方式の３次元計測機、ホログラフィック干渉方式の３次元計測機、ＣＴ（Ｃｏｍｐｕｔｅｄ Ｔｏｍｏｇｒａｐｈｙ）方式の３次元計測機、及び、ＭＲＩ（Ｍａｇｎｅｔｉｃ ｒｅｓｏｎａｎｃｅ ｉｍａｇｉｎｇ）方式の３次元計測機等の少なくとも一つがあげられる。尚、３次元モデルデータとしては、例えばＳＴＬ（Ｓｔｅｒｅｏ Ｌｉｔｈｏｇｒａｐｈｙ）フォーマット、ＶＲＭＬ（Ｖｉｒｔｕａｌ Ｒｅａｌｉｔｙ Ｍｏｄｅｌｉｎｇ Ｌａｎｇｕａｇｅ）フォーマット、ＡＭＦ（Ａｄｄｉｔｉｖｅ Ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇ Ｆｉｌｅ Ｆｏｒｍａｔ）、ＩＧＥＳ（Ｉｎｉｔｉａｌ Ｇｒａｐｈｉｃｓ Ｅｘｃｈａｎｇｅ Ｓｐｅｃｉｆｉｃａｔｉｏｎ）フォーマット、ＶＤＡ－ＦＳ（Ａｓｓｏｃｉａｔｉｏｎ ｏｆ Ｇｅｒｍａｎ Ａｕｔｏｍｏｔｉｖｅ Ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｅｓ－Ｓｕｒｆａｃｅｓ Ｉｎｔｅｒｆａｃｅ）フォーマット、ＨＰ／ＧＬ（Ｈｅｗｌｅｔｔ－Ｐａｃｋａｒｄ Ｇｒａｐｈｉｃｓ Ｌａｎｇｕａｇｅ）フォーマット、ビットマップフォーマット等を用いることができる。
【0090】
加工システムＳＹＳ１は、３次元構造物ＳＴを形成するために、例えば、Ｚ軸方向に沿って並ぶ複数の層状の部分構造物（以下、“構造層”と称する）ＳＬを順に形成していく。例えば、加工システムＳＹＳ１は、３次元構造物ＳＴをＺ軸方向に沿って輪切りにすることで得られる複数の構造層ＳＬを１層ずつ順に形成していく。その結果、複数の構造層ＳＬが積層された積層構造体である３次元構造物ＳＴが形成される。以下、複数の構造層ＳＬを１層ずつ順に形成していくことで３次元構造物ＳＴを形成する動作の流れについて説明する。
【0091】
まず、各構造層ＳＬを形成する動作について図１１（ａ）から図１１（ｅ）を参照して説明する。加工システムＳＹＳ１は、制御装置７の制御下で、ワークＷの表面又は形成済みの構造層ＳＬの表面に相当する造形面ＭＳ上の所望領域に照射領域ＥＡを設定し、当該照射領域ＥＡに対して照射光学系２１１から加工光ＥＬを照射する。尚、照射光学系２１１から照射される加工光ＥＬが造形面ＭＳ上に占める領域を照射領域ＥＡと称してもよい。第１実施形態においては、加工光ＥＬのフォーカス位置（つまり、集光位置）が造形面ＭＳに一致している。その結果、図１１（ａ）に示すように、照射光学系２１１から射出された加工光ＥＬによって造形面ＭＳ上の所望領域に溶融池（つまり、加工光ＥＬによって溶融した金属のプール）ＭＰが形成される。更に、加工システムＳＹＳ１は、制御装置７の制御下で、造形面ＭＳ上の所望領域に供給領域ＭＡを設定し、当該供給領域ＭＡに対して材料ノズル２１２から造形材料Ｍを供給する。ここで、上述したように照射領域ＥＡと供給領域ＭＡとが一致しているため、供給領域ＭＡは、溶融池ＭＰが形成された領域に設定されている。このため、加工システムＳＹＳ１は、図１１（ｂ）に示すように、溶融池ＭＰに対して、材料ノズル２１２から造形材料Ｍを供給する。その結果、溶融池ＭＰに供給された造形材料Ｍが溶融する。ステージ３１の移動に伴って溶融池ＭＰに加工光ＥＬが照射されなくなると、溶融池ＭＰにおいて溶融した造形材料Ｍは、冷却されて固化（つまり、凝固）する。その結果、図１１（ｃ）に示すように、固化した造形材料Ｍが造形面ＭＳ上に堆積される。つまり、固化した造形材料Ｍの堆積物による造形物が形成される。
【0092】
このような加工光ＥＬの照射による溶融池ＭＰの形成、溶融池ＭＰへの造形材料Ｍの供給、供給された造形材料Ｍの溶融及び溶融した造形材料Ｍの固化を含む一連の造形処理が、図１１（ｄ）に示すように、加工ヘッド２１に対してステージ３１をＸＹ平面に沿って相対的に移動されながら繰り返される。つまり、加工ヘッド２１に対してステージ３１が相対的に移動すると、造形面ＭＳに対して照射領域ＥＡもまた相対的に移動する。従って、一連の造形処理が、造形面ＭＳに対して照射領域ＥＡをＸＹ平面に沿って（つまり、二次元平面内において）相対的に移動されながら繰り返される。この際、加工光ＥＬは、造形面ＭＳ上において造形物を形成したい領域に設定された照射領域ＥＡに対して選択的に照射される一方で、造形面ＭＳ上において造形物を形成したくない領域に設定された照射領域ＥＡに対して選択的に照射されない（造形物を形成したくない領域には照射領域ＥＡが設定されないとも言える）。つまり、加工システムＳＹＳ１は、造形面ＭＳ上を所定の移動軌跡に沿って照射領域ＥＡを移動させながら、造形物を形成したい領域の分布の態様に応じたタイミングで加工光ＥＬを造形面ＭＳに照射する。尚、造形物を形成したい領域の分布の態様を分布パターンとも構造層ＳＬのパターンとも称してもよい。その結果、溶融池ＭＰもまた、照射領域ＥＡの移動軌跡に応じた移動軌跡に沿って造形面ＭＳ上を移動することになる。具体的には、溶融池ＭＰは、造形面ＭＳ上において、照射領域ＥＡの移動軌跡に沿った領域のうち加工光ＥＬが照射された部分に順次形成される。更に、上述したように照射領域ＥＡと供給領域ＭＡとが一致しているため、供給領域ＭＡもまた、照射領域ＥＡの移動軌跡に応じた移動軌跡に沿って造形面ＭＳ上を移動することになる。その結果、図１１（ｅ）に示すように、造形面ＭＳ上に、凝固した造形材料Ｍによる造形物の集合体に相当する構造層ＳＬが形成される。つまり、溶融池ＭＰの移動軌跡に応じたパターンで造形面ＭＳ上に形成された造形物の集合体に相当する構造層ＳＬ（つまり、平面視において、溶融池ＭＰの移動軌跡に応じた形状を有する構造層ＳＬ）が形成される。なお、造形物を形成したくない領域に照射領域ＥＡが設定されている場合、加工光ＥＬを照射領域ＥＡに照射するとともに、造形材料Ｍの供給を停止してもよい。また、造形物を形成したくない領域に照射領域ＥＡが設定されている場合に、造形材料Ｍを照射領域ＥＬに供給するとともに、溶融池ＭＰができない強度の加工光ＥＬを照射領域ＥＬに照射してもよい。尚、上述した説明では、造形面ＭＳに対して照射領域ＥＡを移動させたが、照射領域ＥＡに対して造形面ＭＳを移動させてもよい。
【0093】
加工システムＳＹＳ１は、このような構造層ＳＬを形成するための動作を、制御装置７の制御下で、３次元モデルデータに基づいて繰り返し行う。具体的には、まず、３次元モデルデータを積層ピッチでスライス処理してスライスデータを作成する。尚、加工システムＳＹＳ１の特性に応じてこのスライスデータを一部修正したデータを用いてもよい。加工システムＳＹＳ１は、ワークＷの表面に相当する造形面ＭＳ上に１層目の構造層ＳＬ＃１を形成するための動作を、構造層ＳＬ＃１に対応する３次元モデルデータ、即ち構造層ＳＬ＃１に対応するスライスデータに基づいて行う。例えば、加工システムＳＹＳ１は、構造層ＳＬ＃１に対応するスライスデータのうち構造層ＳＬ＃１が存在する領域を通過する、照射領域ＥＡ（供給領域ＭＡ）の軌跡であるツールパスに関する情報を用いて動作されてもよい。その結果、造形面ＭＳ上には、図１２（ａ）に示すように、構造層ＳＬ＃１が形成される。その後、加工システムＳＹＳ１は、構造層ＳＬ＃１の表面（つまり、上面）を新たな造形面ＭＳに設定した上で、当該新たな造形面ＭＳ上に２層目の構造層ＳＬ＃２を形成する。構造層ＳＬ＃２を形成するために、制御装置７は、まず、ステージ３１がＺ軸に沿って移動するようにステージ駆動系（特に、動力源３２）を制御する。具体的には、制御装置７は、ステージ駆動系を制御して、照射領域ＥＡ及び供給領域ＭＡが構造層ＳＬ＃１の表面（つまり、新たな造形面ＭＳ）に設定されるように、－Ｚ側に向かってステージ３１を移動させる。これにより、加工光ＥＬのフォーカス位置が新たな造形面ＭＳに一致する。その後、加工システムＳＹＳ１は、制御装置７の制御下で、構造層ＳＬ＃１を形成する動作と同様の動作で、構造層ＳＬ＃２に対応するスライスデータに基づいて、構造層ＳＬ＃１上に構造層ＳＬ＃２を形成する。その結果、図１２（ｂ）に示すように、構造層ＳＬ＃２が形成される。以降、同様の動作が、ワークＷ上に形成するべき３次元構造物ＳＴを構成する全ての構造層ＳＬが形成されるまで繰り返される。その結果、図１２（ｃ）に示すように、複数の構造層ＳＬが積層された積層構造物によって、３次元構造物ＳＴが形成される。
【0094】
（１－４）加工システムＳＹＳ１の技術的効果
以上説明したように、第１実施形態の加工システムＳＹＳ１によれば、ワークＷに対して適切に付加加工を行うことができる。また、加工システムＳＹＳ１では、着火源を備えている動力源３２が、仕切り部材６１によってチャンバ空間６３ＩＮから隔離された外部空間６４ＯＵＴに配置される。このため、チャンバ空間６３ＩＮ内における造形材料Ｍと動力源３２が備える着火源との接触に起因した爆発が防止される。
以上説明したように、第１実施形態の加工システムＳＹＳ１によれば、ワークＷに対して適切に付加加工を行うことができる。また、加工システムＳＹＳ１では、着火源を備えている動力源３２が、仕切り部材６１によってチャンバ空間６３ＩＮから隔離された外部空間６４ＯＵＴに配置される。このため、チャンバ空間６３ＩＮ内における造形材料Ｍと動力源３２が備える着火源との接触に起因した爆発が防止される。
【0095】
尚、造形材料Ｍがチャンバ空間６３ＩＮに供給されている期間中は、チャンバ空間６３ＩＮは、パージガスでパージされた空間である。このため、仮に動力源３２がチャンバ空間６３ＩＮに配置されていたとしても、チャンバ空間６３ＩＮ内における造形材料Ｍと動力源３２が備える着火源との接触に起因した爆発が生ずることはない。しかしながら、動力源３２がチャンバ空間６３ＩＮから隔離された位置に配置されていれば、チャンバ空間６３ＩＮがパージガスでパージされていない場合であっても、チャンバ空間６３ＩＮ内における造形材料Ｍと動力源３２が備える着火源との接触に起因した爆発が生ずることはない。このため、加工システムＳＹＳ１は、チャンバ空間６３ＩＮがパージガスでパージされていない場合であっても、動力源３２が発生させた動力を用いてステージ３１を移動させることができるという効果を享受することができる。
【0096】
（２）第２実施形態の加工システムＳＹＳ
続いて、図１３を参照しながら、第２実施形態の加工システムＳＹＳ（以降、第２実施形態の加工システムＳＹＳを、“加工システムＳＹＳ２”と称する）について説明する。図１３は、第２実施形態の加工システムＳＹＳ２の構造の一例を示す断面図である。尚、第１実施形態の加工システムＳＹＳ１が備える構成要素と同一の構成要素については、同一の参照符号を付することでその詳細な説明を省略する。
続いて、図１３を参照しながら、第２実施形態の加工システムＳＹＳ（以降、第２実施形態の加工システムＳＹＳを、“加工システムＳＹＳ２”と称する）について説明する。図１３は、第２実施形態の加工システムＳＹＳ２の構造の一例を示す断面図である。尚、第１実施形態の加工システムＳＹＳ１が備える構成要素と同一の構成要素については、同一の参照符号を付することでその詳細な説明を省略する。
【0097】
図１３に示すように、加工システムＳＹＳ２は、加工システムＳＹＳ１と比較して、ステージ装置３に代えてステージ装置３ｅを備えているという点で異なる。更に、加工システムＳＹＳ２は、開口６５が筐体６に形成されていなくてもよいと言う点において、開口６５が筐体６に形成されている加工システムＳＹＳ１とは異なる。加工システムＳＹＳ２のその他の特徴は、加工システムＳＹＳ１と同一であってもよい。
【0098】
ステージ装置３ｅは、ステージ装置３と比較して、動力源３２に代えて動力源３４ｅを備えていると言う点で異なる。更に、ステージ装置３ｅは、動力源３４ｅがチャンバ空間６３ＩＮに配置されていてもよいと言う点において、動力源３２が外部空間６４ＯＵＴに配置される（つまり、チャンバ空間６３ＩＮに配置されない）ステージ装置３とは異なる。ステージ装置３ｅのその他の特徴は、ステージ装置３と同一であってもよい。
【0099】
動力源３４ｅは、防爆構造を有すると言う点で、防爆構造を有していなくてもよい動力源３２とは異なる。具体的には、動力源３４ｅは、チャンバ空間６３ＩＮ内における造形材料Ｍと動力源３４ｅが備える着火源との接触に起因した爆発を防止可能な防爆構造を有している。例えば、動力源３４ｅは、動力源３４ｅが備える着火源に起因したチャンバ空間６３ＩＮ内における造形材料Ｍの爆発を防止可能な本質安全防爆構造を有していてもよい。或いは、例えば、動力源３４ｅは、電気火花又は高温部が発生するべきではないチャンバ空間６３ＩＮに電気火花又は高温部を発生させないように構造上の安全度を増加させた安全増防爆構造を有していてもよい。動力源３４ｅのその他の特徴は、動力源３２と同一であってもよい。以下、図１４を参照しながら、防爆構造を有する動力源３４ｅの構造について説明する。図１４は、第２実施形態の加工システムＳＹＳ２が備える動力源３４ｅの構造を示す断面図である。
【0100】
図１４に示すように、動力源３４ｅは、筐体３４１ｅと、動力源３４２ｅと、動力伝達部材３４３ｅとを備える
筐体３４１ｅは、筐体３４１ｅの内部空間である収容空間３４４ｅに少なくとも動力発生源３４２を収容する収容装置である。筐体３４１ｅは、収容空間３４４ｅを規定する仕切り部材３４１１ｅを含む。仕切り部材３４１１ｅは、収容空間３４４ｅと、筐体３４１ｅの外部の空間とを隔てる（つまり、隔離する）部材である。第２実施形態では、動力源３４ｅがチャンバ空間６３ＩＮに配置されているがゆえに、筐体３４１ｅの外部の空間は、チャンバ空間６３ＩＮの少なくとも一部を含む。仕切り部材３４１１ｅは、その内壁を介して収容空間３４４ｅに面し、その外壁を介して筐体３４１ｅの外部の空間（つまり、チャンバ空間６３ＩＮ）に面する。この場合、仕切り部材３４１１ｅによって囲まれた空間（より具体的には、仕切り部材３４１１ｅの内壁によって囲まれた空間）が、収容空間３４４ｅとなる。
筐体３４１ｅは、筐体３４１ｅの内部空間である収容空間３４４ｅに少なくとも動力発生源３４２を収容する収容装置である。筐体３４１ｅは、収容空間３４４ｅを規定する仕切り部材３４１１ｅを含む。仕切り部材３４１１ｅは、収容空間３４４ｅと、筐体３４１ｅの外部の空間とを隔てる（つまり、隔離する）部材である。第２実施形態では、動力源３４ｅがチャンバ空間６３ＩＮに配置されているがゆえに、筐体３４１ｅの外部の空間は、チャンバ空間６３ＩＮの少なくとも一部を含む。仕切り部材３４１１ｅは、その内壁を介して収容空間３４４ｅに面し、その外壁を介して筐体３４１ｅの外部の空間（つまり、チャンバ空間６３ＩＮ）に面する。この場合、仕切り部材３４１１ｅによって囲まれた空間（より具体的には、仕切り部材３４１１ｅの内壁によって囲まれた空間）が、収容空間３４４ｅとなる。
【0101】
動力源３４２ｅは、ステージ３１を移動させるための動力を発生させる装置である。具体的には、動力源３４２ｅは、電気的に動力を発生させる。つまり、動力源３４２ｅは、不図示の電源から供給される電流を用いて動力を発生させる。言い換えれば、動力源３４２ｅは、不図示の電源から供給される電流を動力に変換することで動力を発生させる。動力源３４２ｅの一例として、モータがあげられる。この場合、動力源３４２ｅは、着火源を含むことになる。着火源の一例として、既に上述したように、電流が供給される導通部分（例えば、コイル）があげられる。尚、上述した動力源３２が、動力源３４２ｅとして用いられてもよい。この場合、動力源３４ｅは、筐体３４１ｅと、筐体３４１ｅの内部空間３４４ｅに収容された動力源３２とを備える装置と等価であると言える。
【0102】
動力源３４２ｅが内部空間３４４ｅに配置されると、動力源３４２ｅが備える着火源もまた、内部空間３４４ｅに配置される。つまり、動力源３４２ｅが備える着火源は、チャンバ空間６３ＩＮには配置されない。動力源３４２ｅが備える着火源は、仕切り部材３４１１ｅによってチャンバ空間６３ＩＮから隔離されている。動力源３４２ｅが備える着火源は、仕切り部材３４１１ｅによってチャンバ空間６３ＩＮから隔離された位置に配置されている。この場合、仕切り部材３４１１ｅは、内部空間３４４ｅを取り囲むことで動力源３４２ｅが備える着火源をチャンバ空間６３ＩＮから隔離する（つまり、動力源３４２ｅが備える着火源からチャンバ空間６３ＩＮを隔離する）部材として機能可能である。
【0103】
その結果、当該チャンバ空間６３ＩＮに供給される造形材料Ｍ（特に、粉粒体である造形材料Ｍ）と、内部空間３４４ｅに配置されている動力源３４２ｅが備える着火源との接触が防止される。このため、チャンバ空間６３ＩＮ内における造形材料Ｍと動力源３４２ｅが備える着火源との接触に起因した爆発（典型的には、粉塵爆発）が防止される。
【0104】
この場合、筐体３４１ｅは、チャンバ空間６３ＩＮ内における造形材料Ｍと駆動力発生源３４２ｅが備える着火源との接触に起因した爆発を防止可能な防爆構造を有していてもよい。例えば、筐体３４１ｅは、動力源３４２ｅが備える着火源に発生する電気火花又は高温部による造形材料Ｍの爆発を防止可能な本質安全防爆構造を有していてもよい。或いは、例えば、筐体３４１ｅは、電気火花又は高温部が発生するべきではないチャンバ空間６３ＩＮに電気火花又は高温部を発生させないように構造上の安全度を増加させた安全増防爆構造を有していてもよい。
【0105】
動力伝達部材３４３ｅは、動力源３４２ｅが発生させた動力を、動力源３４ｅの外部（特に、動力伝達部材３３）に伝達する部材である。動力源３４２ｅが筐体３４１ｅの内部空間３４４ｅに配置されているがゆえに、動力伝達部材３４３ｅは、内部空間３４４ｅで動力源３４２ｅが発生させた動力を、内部空間３４４ｅから動力源３４ｅの外部に伝達する部材である。動力伝達部材３４３ｅは、動力源３４２ｅが発生させた動力を、非電気的に伝達する。例えば、動力伝達部材３４３ｅは、動力源３４２ｅが発生させた動力を、機械的に伝達してもよい。例えば、動力伝達部材３４３ｅは、動力源３４２ｅと動力伝達部材３３とを機械的に連結することで、動力源３４２ｅが発生させた動力を動力源３４ｅの外部に伝達してもよい。動力を機械的に伝達可能な部材の一例は、既に上述したとおりである。尚、上述した動力伝達部材３３の少なくとも一部が、動力伝達部材３４３ｅとして用いられてもよい。
【0106】
内部空間３４４ｅからチャンバ空間６３ＩＮに動力を伝達するために、仕切り部材３４１１ｅには、開口３４１２ｅが形成されている。開口３４１２ｅは、内部空間３４４ｅからチャンバ空間６３ＩＮに向けて仕切り部材３４１１ｅを貫通する貫通孔である。開口３４１２ｅには、動力伝達部材３４３ｅの一部が配置される。つまり、動力伝達部材３４３ｅは、開口３４１２ｅを介して内部空間３４４ｅからチャンバ空間６３ＩＮへと延びる。その結果、動力伝達部材３４３ｅは、開口３４１２ｅを介して、内部空間３４４ｅからチャンバ空間６３ＩＮに動力を伝達することができる。つまり、内部空間３４４ｅにおいて動力源３４２ｅが発生させた動力は、開口３４１２ｅを介して、チャンバ空間６３ＩＮ内に配置されるステージ３１に伝達される。
【0107】
仕切り部材３４１１ｅに開口３４１２ｅが形成されると、開口３４１２ｅを介して内部空間６４４ｅとチャンバ空間６３ＩＮとがつながる。このため、開口３４１２ｅを規定する仕切り部材３４１１ｅの壁面と開口３４１２ｅに配置される動力伝達部材３４３ｅとの間に隙間（特に、相対的に大きな隙間）が存在する場合には、チャンバ空間６３ＩＮ内の造形材料Ｍと、動力源３４２ｅが備える着火源とが、開口３４１２ｅを介して接触してしまう可能性がある。このため、開口３４１２ｅは、シール部材３４５ｅによってシールされていてもよい。シール部材３４５ｅは、開口３４１２ｅを規定する仕切り部材３４１１ｅの壁面と開口３４１２ｅに配置される動力伝達部材３４３ｅとの間をシールする部材である。具体的には、シール部材３４５ｅは、開口３４１２ｅを規定する仕切り部材３４１１ｅの壁面と開口３４１２ｅに配置される動力伝達部材３４３ｅとの間の隙間を埋めるための部材である。尚、ここで言う「仕切り部材３４１１ｅの壁面と動力伝達部材３４３ｅとの間の隙間を埋める」ことは、「仕切り部材３４１１ｅの壁面と動力伝達部材３４３ｅとの間の隙間を完全になくす（つまり、ふさぐ）」ことを意味していてもよいし、仕切り部材３４１１ｅの壁面と動力伝達部材３４３ｅとの間の隙間を、内部空間３４４ｅを密閉することができる程度に小さくすることを意味していてもよい。つまり、シール部材３４５ｅは、内部空間３４４ｅを密閉する（つまり、内部空間３４４ｅの気密性を維持する）部材として機能可能である。より具体的には、シール部材３４５ｅは、仕切り部材３４１１ｅ及び動力伝達部材３４３ｅと共に、内部空間３４４ｅを密閉する。尚、シール部材３４５ｅの一例として、ゴムシール、オイルシール及びラビリンスシールの少なくとも一方があげられる。
【0108】
シール部材３４５ｅによって開口３４１２ｅがシールされると、チャンバ空間６３ＩＮ内の造形材料Ｍと動力源３４２ｅが備える着火源との開口３４１２ｅを介した接触が防止される。つまり、シール部材３４５ｅは、チャンバ空間６３ＩＮ内の造形材料Ｍと動力源３４２ｅが備える着火源との開口３４１２ｅを介した接触を防止するための部材として機能可能である。具体的には、例えば、シール部材３４５ｅは、仕切り部材３４１１ｅ及び動力伝達部材３４３ｅと共に、内部空間３４４ｅにおいて動力源３４２ｅが発生させた電気火花が、開口３４１２ｅを介して、造形材料Ｍが供給されるチャンバ空間６３ＩＮに入ることを防止する部材として機能可能である。例えば、シール部材３４５ｅは、仕切り部材３４１１ｅ及び動力伝達部材３４３ｅと共に、チャンバ空間６３ＩＮに供給された造形材料Ｍが、開口３４１２ｅを介して、着火源を含む動力源３４２ｅが配置される内部空間３４４ｅに入ることを防止する部材として機能可能である。
【0109】
以上説明した第２実施形態の加工システムＳＹＳ２によれば、第１実施形態の加工システムＳＹＳ１と同様に、ワークＷに対して適切に付加加工を行うことができる。また、加工システムＳＹＳ２では、動力源３４ｅが備える着火源（例えば、動力源３４２ｅの着火源）が、仕切り部材３４１１ｅによってチャンバ空間６３ＩＮから隔離された内部空間３４４ｅに配置される。このため、チャンバ空間６３ＩＮ内における造形材料Ｍと動力源３４ｅが備える着火源との接触に起因した爆発が防止される。つまり、第２実施形態の加工システムＳＹＳ２は、第１実施形態の加工システムＳＹＳ１が享受可能な効果と同様の効果を享受することができる。また、加工システムＳＹＳ２では、動力源３４ｅがチャンバ空間６３ＩＮに収容可能となるため、動力源３４ｅの配置の自由度が増す。
【0110】
尚、動力源３４ｅは、チャンバ空間６３ＩＮとは異なる位置に配置されていてもよい。例えば、動力源３４ｅは、第１実施形態の動力源３２と同様に、外部空間６４ＯＵＴに配置されていてもよい。或いは、加工システムＳＹＳ２は、チャンバ空間６３ＩＮに配置される動力源３４ｅに加えて、外部空間６４ＯＵＴに配置される動力源３２も備えていてもよい。
【0111】
（３）第３実施形態の加工システムＳＹＳ
続いて、図１５及び図１６を参照しながら、第５実施形態の加工システムＳＹＳ（以降、第３実施形態の加工システムＳＹＳを、“加工システムＳＹＳ３”と称する）について説明する。図１５は、第３実施形態の加工システムＳＹＳ３の構造の一例を示す断面図である。図１６は、第３実施形態の加工システムＳＹＳ３のシステム構成の一例を示すシステム構成図である。尚、第１実施形態の加工システムＳＹＳ１が備える構成要素と同一の構成要素については、同一の参照符号を付することでその詳細な説明を省略する。
続いて、図１５及び図１６を参照しながら、第５実施形態の加工システムＳＹＳ（以降、第３実施形態の加工システムＳＹＳを、“加工システムＳＹＳ３”と称する）について説明する。図１５は、第３実施形態の加工システムＳＹＳ３の構造の一例を示す断面図である。図１６は、第３実施形態の加工システムＳＹＳ３のシステム構成の一例を示すシステム構成図である。尚、第１実施形態の加工システムＳＹＳ１が備える構成要素と同一の構成要素については、同一の参照符号を付することでその詳細な説明を省略する。
【0112】
図１５及び図１６に示すように、加工システムＳＹＳ３は、加工システムＳＹＳ１及びＳＹＳ２の少なくとも一方と比較して、加工装置２に代えて加工装置２ｆを備えていると言う点で異なる。更に、加工システムＳＹＳ２は、加工システムＳＹＳ１と比較して、ステージ装置３に代えてステージ装置３ｆを備えていると言う点で異なる。加工システムＳＹＳ３のその他の特徴は、加工システムＳＹＳ１及びＳＹＳ２の少なくとも一方と同一であってもよい。
【0113】
加工装置２ｆは、加工装置２と比較して、動力源２２ｆと動力伝達機構２３ｆとを更に備えていると言う点で異なる。動力源２２ｆ及び動力伝達機構２３ｆは、チャンバ空間６３ＩＮ内で加工ヘッド２１を移動させるためのヘッド駆動系を構成する。加工装置２ｆのその他の特徴は、加工装置２と同一であってもよい。
【0114】
動力源２２ｆは、加工ヘッド２１を移動させるための動力を発生させる装置であるという点で、ステージ３１を移動させるための動力を発生させる装置である動力源３２とは異なる。動力源２２ｆのその他の特徴は、動力源３２と同一であってもよい。
【0115】
動力伝達機構２３ｆは、動力源２２ｆが発生させた動力を加工ヘッド２１に伝達する装置であるという点で、動力源３２が発生させた動力をステージ３１に伝達する装置である動力伝達部材３３とは異なる。このため、動力伝達機構２３ｆは、動力源２２ｆから加工ヘッド２１へと延びる動力伝達経路を形成する。具体的には、動力伝達機構２３ｆそのものが動力伝達経路となるがゆえに、動力伝達機構２３ｆは、動力源２２ｆから加工ヘッド２１へと延びる。その結果、加工ヘッド２１は、動力源２２ｆから動力伝達機構２３ｆを介して伝達される動力によって移動する。動力伝達機構２３ｆのその他の特徴は、動力伝達部材３３と同一であってもよい。
【0116】
尚、図１５は、加工システムＳＹＳ３が複数の（図１５に示す例では、２つの）動力源２２ｆを備える例を示しているが、加工システムＳＹＳ３は、単一の動力源２２ｆを備えていてもよい。同様に、図１５は、加工システムＳＹＳ３が複数の（図１５に示す例では、２つの）動力伝達機構２３ｆを備える例を示しているが、加工システムＳＹＳ３は、単一の動力伝達機構２３ｆを備えていてもよい。
【0117】
動力源２２ｆは、動力源３２と同様に、外部空間６４ＯＵＴに配置される。つまり、動力源２２ｆは、動力源３２と同様に、チャンバ空間６３ＩＮには配置されない。このため、動力源２２ｆが備える着火源もまた、チャンバ空間６３ＩＮには配置されない。その結果、当該チャンバ空間６３ＩＮに供給される造形材料Ｍ（特に、粉粒体である造形材料Ｍ）と、外部空間６４ＯＵＴに配置されている動力源２２ｆが備える着火源との接触が防止される。このため、チャンバ空間６３ＩＮ内における造形材料Ｍと動力源２２ｆが備える着火源との接触に起因した爆発（典型的には、粉塵爆発）が防止される。
【0118】
但し、外部空間６４ＯＵＴにおいて動力源２２ｆが発生させた動力は、チャンバ空間６３ＩＮ内に配置される加工ヘッド２１に伝達される必要がある。このため、動力伝達機構２３ｆは、動力伝達部材３３と同様に、開口６５を介して外部空間６４ＯＵＴからチャンバ空間６３ＩＮへと延びる。その結果、動力伝達機構２３ｆは、開口６５を介して、外部空間６４ＯＵＴからチャンバ空間６３ＩＮに動力を伝達することができる。つまり、外部空間６４ＯＵＴにおいて動力源２２ｆが発生させた動力は、開口６５を介して、チャンバ空間６３ＩＮ内に配置される加工ヘッド２１に伝達される。また、第３実施形態においても、第１実施形態と同様に、開口６５は、シール部材６６によってシールされていてもよい。
【0119】
ステージ装置３ｆは、ステージ装置３と比較して、動力源３２と動力伝達機構３３とを備えていなくてもよいと言う点で異なる。ステージ装置３ｆは、ステージ装置３ｅと比較して、動力源３４ｅと動力伝達機構３３とを備えていなくてもよいと言う点で異なる。但し、ステージ装置３は、動力源３２及び３４ｅの少なくとも一方と動力伝達部材３３とを備えていてもよい。ステージ装置３ｆのその他の特徴は、ステージ装置３又は３ｅと同一であってもよい。
【0120】
以上説明したように、第３実施形態の加工システムＳＹＳ３によれば、ワークＷに対して適切に付加加工を行うことができる。また、加工システムＳＹＳ３では、着火源を備えている動力源２２ｆが、仕切り部材６１によってチャンバ空間６３ＩＮから隔離された外部空間６４ＯＵＴに配置される。このため、チャンバ空間６３ＩＮ内における造形材料Ｍと動力源２２ｆが備える着火源との接触に起因した爆発が防止される。また、加工システムＳＹＳ３は、チャンバ空間６３ＩＮがパージガスでパージされていない場合であっても、動力源２２ｆが発生させた動力を用いて加工ヘッド２１を移動させることができるという効果を享受することができる。
【0121】
（４）第４実施形態の加工システムＳＹＳ
続いて、図１７を参照しながら、第４実施形態の加工システムＳＹＳ（以降、第４実施形態の加工システムＳＹＳを、“加工システムＳＹＳ４”と称する）について説明する。図１７は、第４実施形態の加工システムＳＹＳ４の構造の一例を示す断面図である。尚、第３実施形態の加工システムＳＹＳ３が備える構成要素と同一の構成要素については、同一の参照符号を付することでその詳細な説明を省略する。
続いて、図１７を参照しながら、第４実施形態の加工システムＳＹＳ（以降、第４実施形態の加工システムＳＹＳを、“加工システムＳＹＳ４”と称する）について説明する。図１７は、第４実施形態の加工システムＳＹＳ４の構造の一例を示す断面図である。尚、第３実施形態の加工システムＳＹＳ３が備える構成要素と同一の構成要素については、同一の参照符号を付することでその詳細な説明を省略する。
【0122】
図１７に示すように、加工システムＳＹＳ４は、加工システムＳＹＳ３と比較して、加工装置２ｆに代えて加工装置２ｇを備えているという点で異なる。更に、加工システムＳＹＳ４は、開口６５が筐体６に形成されていなくてもよいと言う点において、開口６５が筐体６に形成されている加工システムＳＹＳ３とは異なる。加工システムＳＹＳ４のその他の特徴は、加工システムＳＹＳ３と同一であってもよい。
【0123】
加工装置２ｇは、加工装置２ｆと比較して、動力源２２ｆに代えて動力源２４ｇを備えていると言う点で異なる。更に、加工装置２ｇは、動力源２４ｇがチャンバ空間６３ＩＮに配置されていてもよいと言う点において、動力源２２ｆが外部空間６４ＯＵＴに配置される（つまり、チャンバ空間６３ＩＮに配置されない）加工装置２ｆとは異なる。加工装置２ｇのその他の特徴は、加工装置２ｆと同一であってもよい。
【0124】
動力源２４ｇは、防爆構造を有すると言う点で、防爆構造を有していなくてもよい動力源２２ｆとは異なる。具体的には、動力源２４ｇは、チャンバ空間６３ＩＮ内における造形材料Ｍと動力源２４ｇが備える着火源との接触に起因した爆発を防止可能な防爆構造を有している。例えば、動力源２４ｇは、動力源２４ｇが備える着火源に起因したチャンバ空間６３ＩＮ内における造形材料Ｍの爆発を防止可能な本質安全防爆構造を有していてもよい。或いは、例えば、動力源２４ｇは、電気火花又は高温部が発生するべきではないチャンバ空間６３ＩＮに電気火花又は高温部を発生させないように構造上の安全度を増加させた安全増防爆構造を有していてもよい。動力源２４ｇは、第２実施形態で説明した動力源３４ｅと同一の構造を有していてもよい。このため、動力源２４ｇの詳細な説明については省略する。動力源２４ｇのその他の特徴は、動力源２２ｆと同一であってもよい。
【0125】
以上説明した第４実施形態の加工システムＳＹＳ４によれば、第３実施形態の加工システムＳＹＳ３と同様に、ワークＷに対して適切に付加加工を行うことができる。また、加工システムＳＹＳ４では、動力源２４ｇが備える着火源が、チャンバ空間６３ＩＮから隔離された空間（例えば、図１４に示す、仕切り部材３４１１ｅで隔離された内部空間３４４ｅ）に配置される。このため、チャンバ空間６３ＩＮ内における造形材料Ｍと動力源２４ｇが備える着火源との接触に起因した爆発が防止される。つまり、第４実施形態の加工システムＳＹＳ４は、第３実施形態の加工システムＳＹＳ３が享受可能な効果と同様の効果を享受することができる。また、加工システムＳＹＳ４では、動力源２４ｇがチャンバ空間６３ＩＮに収容可能となるため、動力源２４ｇの配置の自由度が増す。
【0126】
尚、動力源２４ｇは、チャンバ空間６３ＩＮとは異なる位置に配置されていてもよい。例えば、動力源２４ｇは、第３実施形態の動力源２４ｆと同様に、外部空間６４ＯＵＴに配置されていてもよい。或いは、加工システムＳＹＳ４は、チャンバ空間６３ＩＮに配置される動力源２４ｇに加えて、外部空間６４ＯＵＴに配置される動力源２２ｆも備えていてもよい。
【0127】
（５）変形例
上述した説明では、動力伝達部材３３は、動力源３２が発生させた動力を機械的にステージ３１に伝達している。しかしながら、動力伝達部材３３は、液圧式動力伝達装置や空圧式動力伝達装置等の流体を利用した動力伝達機構であってもよい。
上述した説明では、動力伝達部材３３は、動力源３２が発生させた動力を機械的にステージ３１に伝達している。しかしながら、動力伝達部材３３は、液圧式動力伝達装置や空圧式動力伝達装置等の流体を利用した動力伝達機構であってもよい。
【0128】
上述した説明では、加工装置２は、造形材料Ｍに加工光ＥＬを照射することで、造形材料Ｍを溶融させている。しかしながら、加工装置２は、任意のエネルギビームを造形材料Ｍに照射することで、造形材料Ｍを溶融させてもよい。この場合、加工装置２は、照射光学系２１１に加えて又は代えて、任意のエネルギビームを照射可能なビーム照射装置を備えていてもよい。任意のエネルギビームは、限定されないが、電子ビーム、イオンビーム等の荷電粒子ビーム又は電磁波を含む。
【0129】
上述した説明では、加工システムＳＹＳは、レーザ肉盛溶接法により３次元構造物ＳＴを形成可能である。しかしながら、加工システムＳＹＳは、造形材料Ｍに加工光ＥＬ（或いは、任意のエネルギビーム）を照射することで３次元構造物ＳＴを形成可能なその他の方式により造形材料Ｍから３次元構造物ＳＴを形成してもよい。その他の方式として、例えば、粉末焼結積層造形法（ＳＬＳ：Ｓｅｌｅｃｔｉｖｅ Ｌａｓｅｒ Ｓｉｎｔｅｒｉｎｇ）等の粉末床溶融結合法（Ｐｏｗｄｅｒ Ｂｅｄ Ｆｕｓｉｏｎ）、結合材噴射法（Ｂｉｎｄｅｒ Ｊｅｔｔｉｎｇ）又は、レーザメタルフュージョン法（ＬＭＦ：Ｌａｓｅｒ Ｍｅｔａｌ Ｆｕｓｉｏｎ）があげられる。或いは、加工システムＳＹＳは、造形材料Ｍに加工光ＥＬ（或いは、任意のエネルギビーム）を照射することで３次元構造物ＳＴを形成可能な方式とは異なる、付加加工のための任意の方式により３次元構造物ＳＴを形成してもよい。
【0130】
上述した説明では、加工システムＳＹＳは、照射光学系２１１が加工光ＥＬを照射する照射領域ＥＡに向けて材料ノズル２１２から造形材料Ｍを供給することで、３次元構造物ＳＴを形成している。しかしながら、加工システムＳＹＳは、照射光学系２１１から加工光ＥＬを照射することなく、材料ノズル２１２から造形材料Ｍを供給することで３次元構造物ＳＴを形成してもよい。例えば、加工システムＳＹＳは、材料ノズル２１２から、造形面ＭＳに対して造形材料Ｍを吹き付けることで、造形面ＭＳにおいて造形材料Ｍを溶融させると共に、溶融した造形材料Ｍを固化させることで、３次元構造物ＳＴを形成してもよい。例えば、加工システムＳＹＳは、材料ノズル２１２から造形面ＭＳに対して造形材料Ｍを含む気体を超高速で吹き付けることで、造形面ＭＳにおいて造形材料Ｍを溶融させると共に、溶融した造形材料Ｍを固化させることで、３次元構造物ＳＴを形成してもよい。例えば、加工システムＳＹＳは、材料ノズル２１２から造形面ＭＳに対して加熱した造形材料Ｍを吹き付けることで、造形面ＭＳにおいて造形材料Ｍを溶融させると共に、溶融した造形材料Ｍを固化させることで、３次元構造物ＳＴを形成してもよい。このように照射光学系２１１から加工光ＥＬを照射することなく３次元構造物ＳＴを形成する場合には、加工システムＳＹＳ（特に、加工ヘッド２１）は、照射光学系２１１を備えていなくてもよい。
【0131】
或いは、加工システムＳＹＳは、付加加工に加えて又は代えて、ワークＷ等の物体に加工光ＥＬ（或いは、任意のエネルギビーム）を照射して物体の少なくとも一部を除去可能な除去加工を行ってもよい。或いは、加工システムＳＹＳは、付加加工及び除去加工の少なくとも一方に加えて又は代えて、ワークＷ等の物体に加工光ＥＬ（或いは、任意のエネルギビーム）を照射して物体の少なくとも一部にマーク（例えば、文字、数字又は図形）を形成可能なマーキング加工を行ってもよい。この場合であっても、上述した効果が享受可能である。
【0132】
（６）付記
以上説明した実施形態に関して、更に以下の付記を開示する。
［付記１］
物体が収容された加工空間内で付加加工を行う加工装置と、
前記物体と前記加工装置との相対位置を変更するための動力を発生させる動力発生装置と
を備え、
前記動力発生装置のうちの着火源となる部分は、隔壁部材によって前記加工空間から隔離された隔離空間に配置されている
加工システム。
［付記２］
前記隔壁部材は、前記加工空間を取り囲んで前記加工空間を前記隔離空間から隔離する第１部材を含む
付記１に記載の加工システム。
［付記３］
前記加工空間は、前記第１部材によって取り囲まれる空間の内部に位置し、
前記隔離空間は、前記第１部材によって取り囲まれる空間の外部に位置する
付記２に記載の加工システム。
［付記４］
前記動力発生装置は、前記隔離空間に配置されている
付記２又は３に記載の加工システム。
［付記５］
前記隔壁部材は、前記隔離空間を取り囲んで前記隔離空間を前記加工空間から隔離する第２部材を含む
付記１から４のいずれか一項に記載の加工システム。
［付記６］
前記動力発生装置は、前記第２部材によって防爆対策が施された防爆構造を有する
付記５に記載の加工システム。
［付記７］
前記動力発生装置は、防爆モータを含む
付記５又は６に記載の加工システム。
［付記８］
前記第２部材は、前記動力発生装置の筐体を含み、
前記隔離空間は、前記筐体の内部空間を含む
付記５から７のいずれか一項に記載の加工システム。
［付記９］
前記動力発生装置は、前記加工空間に配置されている
付記５から８のいずれか一項に記載の加工システム。
［付記１０］
前記第２部材は、前記加工空間に配置されている
付記５から９のいずれか一項に記載の加工システム。
［付記１１］
前記隔壁部材は、防爆構造を有する
付記１から１０のいずれか一項に記載の加工システム。
［付記１２］
前記動力を用いて前記物体及び前記加工装置の少なくとも一方を前記加工空間内で移動させることで、前記相対位置を変更する
付記１から１１のいずれか一項に記載の加工システム。
［付記１３］
前記動力を前記物体及び前記加工装置の少なくとも一方に伝達する動力伝達機構を更に備える
付記１から１２のいずれか一項に記載の加工システム。
［付記１４］
前記動力伝達機構の少なくとも一部は、前記加工空間に配置される
付記１３に記載の加工システム。
［付記１５］
前記動力伝達機構の少なくとも一部は、前記隔離空間に配置される
付記１３又は１４に記載の加工システム。
［付記１６］
前記動力伝達機構は、着火源を含んでいない
付記１３から１５のいずれか一項に記載の加工システム。
［付記１７］
前記動力伝達機構は、非電気的に前記動力を伝達する
付記１３から１６のいずれか一項に記載の加工システム。
［付記１８］
前記隔壁部材には、シール部材でシールされた開口が形成されており、
前記動力伝達機構は、前記開口を介して前記動力を前記物体及び前記加工装置の少なくとも一方に伝達する
付記１３から１７のいずれか一項に記載の加工システム。
［付記１９］
前記動力伝達機構は、前記開口を介して前記隔離空間から前記加工空間に延びる
付記１８に記載の加工システム。
［付記２０］
前記動力発生装置のうちの着火源となる部分は、前記動力を発生させるために電流が供給される部分を含む
付記１から１９のいずれか一項に記載の加工システム。
［付記２１］
前記動力発生装置のうちの着火源となる部分は、前記動力を発生させる際に発熱する部分を含む
付記１から２０のいずれか一項に記載の加工システム。
［付記２２］
前記加工装置は、加工対象物に対して付加加工を行い、
前記物体は、前記加工対象物を含む
付記１から２１のいずれか一項に記載の加工システム。
［付記２３］
前記加工装置は、加工対象物に対して付加加工を行い、
前記加工対象物が載置される載置装置を更に備え、
前記物体は、前記載置装置を含む
付記１から２２のいずれか一項に記載の加工システム。
［付記２４］
前記加工装置は、前記加工空間内でエネルギビームを照射する照射装置と、前記エネルギビームの照射位置に材料を供給する供給装置とを備える
付記１から２３のいずれか一項に記載の加工システム。
［付記２５］
前記材料は、粉粒体を含む
付記２４に記載の加工システム。
［付記２６］
物体を載置する載置装置と、
前記物体に対して粉体を供給して、前記物体に付加加工を行う加工装置と、
動力を発生させる動力源と、
前記動力源と前記加工装置の少なくとも一部との間に設けられた隔離部材と
前記隔離部材に形成された貫通孔を介して前記載置装置および前記加工装置との少なくとも一方に前記動力を伝達する動力伝達部材と、
前記動力源が位置する空間から前記載置装置が位置する空間へ火花が入ることを防止するシール部材と
を備える加工システム。
［付記２７］
物体を載置する載置装置と、
前記物体に対して粉体を供給して、前記物体に付加加工を行う加工装置と、
動力を発生させる動力源と、
前記動力源と前記加工装置の少なくとも一部との間に設けられた隔離部材と、
前記隔離部材に形成された貫通孔を介して前記載置装置および前記加工装置との少なくとも一方に前記動力を伝達する動力伝達部材と、
前記載置装置が位置する空間から前記動力源が位置する空間へ前記粉体が入ることを防止するシール部材と
備える加工システム。
［付記２８］
第１空間内の物体を載置する載置装置と、
前記物体に対して粉体を供給して、前記第１空間内で前記物体に付加加工を行う加工装置と、
第２空間内に配置され、動力を発生させる動力源と、
前記第１空間と前記第２空間との間に設けられた隔離部材と、
前記隔離部材に形成された貫通孔を介して前記載置装置および前記加工装置との少なくとも一方に前記動力を伝達する動力伝達部材と、
前記動力伝達部材と前記隔離部材との間をシールするシール部材と
を備える加工システム。
［付記２９］
第１空間内の物体を載置する載置装置と、
前記物体に対して粉体を供給して、前記第１空間内で前記物体に付加加工を行う加工装置と、
第２空間内に配置され、動力を発生させる動力源と、
前記第１空間と前記第２空間との間に設けられた隔離部材と、
前記隔離部材に形成された貫通孔を介して前記載置装置および前記加工装置との少なくとも一方に前記動力を伝達する動力伝達部材と、
前記第２空間から前記第１空間への火花の伝達を防止するシール部材と
を備える加工システム。
［付記３０］
第１空間内の物体を載置する載置装置と、
前記物体に対して粉体を供給して、前記第１空間内で前記物体に付加加工を行う加工装置と、
第２空間内に配置され、動力を発生させる動力源と、
前記第１空間と前記第２空間とを隔離する隔離部材と、
前記隔離部材に形成された貫通孔を介して前記載置装置および前記加工装置との少なくとも一方に前記動力を伝達する動力伝達部材と、
前記第２空間から前記第１空間への火花の伝達を防止するシール部材と
を備える加工システム。
［付記３１］
第１空間内の物体を載置する載置装置と、
前記物体に対して粉体を供給して、前記第１空間内で前記物体に付加加工を行う加工装置と、
第２空間内に配置され、動力を発生させる動力源と、
前記第１空間と前記第２空間との間に設けられた隔離部材と
前記隔離部材に形成された貫通孔を介して前記載置装置および前記加工装置との少なくとも一方に前記動力を伝達する動力伝達部材と、
前記第１空間から前記第２空間への粉の伝達を防止するシール部材と
を備える加工システム。
［付記３２］
付記１から３１のいずれか一項に記載の加工システムを用いて付加加工を行う加工方法。
［付記３３］
物体を載置装置に載置することと、
前記物体に対して粉体を供給して、前記物体に付加加工を行うことと、
動力源を用いて動力を発生させることと、
前記動力源と前記付加加工が行われる空間との間に隔離部材を設けることと、
前記隔離部材に形成された貫通孔を通過する動力伝達部材を用いて前記載置装置および前記加工装置との少なくとも一方に前記動力を伝達することと、
前記動力伝達部材と前記隔離部材との間をシールすることと
を含む加工方法。
［付記３４］
物体を載置装置に載置することと、
前記物体に対して粉体を供給して、前記物体に付加加工を行うことと、
動力源を用いて動力を発生させることと、
前記動力源と前記付加加工が行われる空間との間に隔離部材を設けることと、
前記隔離部材に形成された貫通孔を通過する動力伝達部材を用いて前記載置装置および前記加工装置との少なくとも一方に前記動力を伝達することと、
前記動力源が位置する空間から前記載置装置が位置する空間への火花の伝達を防止することと
を含む備える加工方法。
［付記３５］
物体を載置装置に載置することと、
前記物体に対して粉体を供給して、前記物体に付加加工を行うことと、
動力源を用いて動力を発生させることと、
前記動力源と前記付加加工が行われる空間との間に隔離部材を設けることと、
前記隔離部材に形成された貫通孔を通過する動力伝達部材を用いて前記載置装置および前記加工装置との少なくとも一方に前記動力を伝達することと、
前記載置装置が位置する空間から前記動力源が位置する空間への粉の伝達を防止することと
を含む加工方法。
［付記３６］
第１空間内の載置装置に物体を載置することと、
前記物体に対して粉体を供給して、前記第１空間内で前記物体に付加加工を行うことと、
第２空間内に配置された動力源で動力を発生させることと、
前記第１空間と前記第２空間との間に隔離部材を設けることと、
前記隔離部材に形成された貫通孔を通過する動力伝達部材を用いて前記載置装置および前記加工装置との少なくとも一方に前記動力を伝達することと、
前記動力伝達部材と前記隔離部材との間をシールすることと
を含む加工方法。
［付記３７］
第１空間内の載置装置に物体を載置することと、
前記物体に対して粉体を供給して、前記第１空間内で前記物体に付加加工を行うことと、
第２空間内に配置された動力源で動力を発生させることと、
前記第１空間と前記第２空間との間に隔離部材を設けることと、
前記隔離部材に形成された貫通孔を通過する動力伝達部材を用いて前記載置装置および前記加工装置との少なくとも一方に前記動力を伝達することと、
前記第２空間から前記第１空間への火花の伝達を防止することと
を含む加工方法。
［付記３８］
第１空間内の載置装置に物体を載置することと、
前記物体に対して粉体を供給して、前記第１空間内で前記物体に付加加工を行うことと、
第２空間内に配置された動力源で動力を発生させることと、
前記第１空間と前記第２空間を隔離部材によって隔てることと、
前記隔離部材に形成された貫通孔を通過する動力伝達部材を用いて前記載置装置および前記加工装置との少なくとも一方に前記動力を伝達することと、
前記第２空間から前記第１空間への火花の伝達を防止することと
を含む加工方法。
［付記３９］
第１空間内の載置装置に物体を載置することと、
前記物体に対して粉体を供給して、前記第１空間内で前記物体に付加加工を行うことと、
第２空間内に配置された動力源で動力を発生させることと、
前記第１空間と前記第２空間との間に隔離部材を設けることと、
前記隔離部材に形成された貫通孔を通過する動力伝達部材を用いて前記載置装置および前記加工装置との少なくとも一方に前記動力を伝達することと、
前記第１空間から前記第２空間への粉の伝達を防止することと
を含む加工方法。
以上説明した実施形態に関して、更に以下の付記を開示する。
［付記１］
物体が収容された加工空間内で付加加工を行う加工装置と、
前記物体と前記加工装置との相対位置を変更するための動力を発生させる動力発生装置と
を備え、
前記動力発生装置のうちの着火源となる部分は、隔壁部材によって前記加工空間から隔離された隔離空間に配置されている
加工システム。
［付記２］
前記隔壁部材は、前記加工空間を取り囲んで前記加工空間を前記隔離空間から隔離する第１部材を含む
付記１に記載の加工システム。
［付記３］
前記加工空間は、前記第１部材によって取り囲まれる空間の内部に位置し、
前記隔離空間は、前記第１部材によって取り囲まれる空間の外部に位置する
付記２に記載の加工システム。
［付記４］
前記動力発生装置は、前記隔離空間に配置されている
付記２又は３に記載の加工システム。
［付記５］
前記隔壁部材は、前記隔離空間を取り囲んで前記隔離空間を前記加工空間から隔離する第２部材を含む
付記１から４のいずれか一項に記載の加工システム。
［付記６］
前記動力発生装置は、前記第２部材によって防爆対策が施された防爆構造を有する
付記５に記載の加工システム。
［付記７］
前記動力発生装置は、防爆モータを含む
付記５又は６に記載の加工システム。
［付記８］
前記第２部材は、前記動力発生装置の筐体を含み、
前記隔離空間は、前記筐体の内部空間を含む
付記５から７のいずれか一項に記載の加工システム。
［付記９］
前記動力発生装置は、前記加工空間に配置されている
付記５から８のいずれか一項に記載の加工システム。
［付記１０］
前記第２部材は、前記加工空間に配置されている
付記５から９のいずれか一項に記載の加工システム。
［付記１１］
前記隔壁部材は、防爆構造を有する
付記１から１０のいずれか一項に記載の加工システム。
［付記１２］
前記動力を用いて前記物体及び前記加工装置の少なくとも一方を前記加工空間内で移動させることで、前記相対位置を変更する
付記１から１１のいずれか一項に記載の加工システム。
［付記１３］
前記動力を前記物体及び前記加工装置の少なくとも一方に伝達する動力伝達機構を更に備える
付記１から１２のいずれか一項に記載の加工システム。
［付記１４］
前記動力伝達機構の少なくとも一部は、前記加工空間に配置される
付記１３に記載の加工システム。
［付記１５］
前記動力伝達機構の少なくとも一部は、前記隔離空間に配置される
付記１３又は１４に記載の加工システム。
［付記１６］
前記動力伝達機構は、着火源を含んでいない
付記１３から１５のいずれか一項に記載の加工システム。
［付記１７］
前記動力伝達機構は、非電気的に前記動力を伝達する
付記１３から１６のいずれか一項に記載の加工システム。
［付記１８］
前記隔壁部材には、シール部材でシールされた開口が形成されており、
前記動力伝達機構は、前記開口を介して前記動力を前記物体及び前記加工装置の少なくとも一方に伝達する
付記１３から１７のいずれか一項に記載の加工システム。
［付記１９］
前記動力伝達機構は、前記開口を介して前記隔離空間から前記加工空間に延びる
付記１８に記載の加工システム。
［付記２０］
前記動力発生装置のうちの着火源となる部分は、前記動力を発生させるために電流が供給される部分を含む
付記１から１９のいずれか一項に記載の加工システム。
［付記２１］
前記動力発生装置のうちの着火源となる部分は、前記動力を発生させる際に発熱する部分を含む
付記１から２０のいずれか一項に記載の加工システム。
［付記２２］
前記加工装置は、加工対象物に対して付加加工を行い、
前記物体は、前記加工対象物を含む
付記１から２１のいずれか一項に記載の加工システム。
［付記２３］
前記加工装置は、加工対象物に対して付加加工を行い、
前記加工対象物が載置される載置装置を更に備え、
前記物体は、前記載置装置を含む
付記１から２２のいずれか一項に記載の加工システム。
［付記２４］
前記加工装置は、前記加工空間内でエネルギビームを照射する照射装置と、前記エネルギビームの照射位置に材料を供給する供給装置とを備える
付記１から２３のいずれか一項に記載の加工システム。
［付記２５］
前記材料は、粉粒体を含む
付記２４に記載の加工システム。
［付記２６］
物体を載置する載置装置と、
前記物体に対して粉体を供給して、前記物体に付加加工を行う加工装置と、
動力を発生させる動力源と、
前記動力源と前記加工装置の少なくとも一部との間に設けられた隔離部材と
前記隔離部材に形成された貫通孔を介して前記載置装置および前記加工装置との少なくとも一方に前記動力を伝達する動力伝達部材と、
前記動力源が位置する空間から前記載置装置が位置する空間へ火花が入ることを防止するシール部材と
を備える加工システム。
［付記２７］
物体を載置する載置装置と、
前記物体に対して粉体を供給して、前記物体に付加加工を行う加工装置と、
動力を発生させる動力源と、
前記動力源と前記加工装置の少なくとも一部との間に設けられた隔離部材と、
前記隔離部材に形成された貫通孔を介して前記載置装置および前記加工装置との少なくとも一方に前記動力を伝達する動力伝達部材と、
前記載置装置が位置する空間から前記動力源が位置する空間へ前記粉体が入ることを防止するシール部材と
備える加工システム。
［付記２８］
第１空間内の物体を載置する載置装置と、
前記物体に対して粉体を供給して、前記第１空間内で前記物体に付加加工を行う加工装置と、
第２空間内に配置され、動力を発生させる動力源と、
前記第１空間と前記第２空間との間に設けられた隔離部材と、
前記隔離部材に形成された貫通孔を介して前記載置装置および前記加工装置との少なくとも一方に前記動力を伝達する動力伝達部材と、
前記動力伝達部材と前記隔離部材との間をシールするシール部材と
を備える加工システム。
［付記２９］
第１空間内の物体を載置する載置装置と、
前記物体に対して粉体を供給して、前記第１空間内で前記物体に付加加工を行う加工装置と、
第２空間内に配置され、動力を発生させる動力源と、
前記第１空間と前記第２空間との間に設けられた隔離部材と、
前記隔離部材に形成された貫通孔を介して前記載置装置および前記加工装置との少なくとも一方に前記動力を伝達する動力伝達部材と、
前記第２空間から前記第１空間への火花の伝達を防止するシール部材と
を備える加工システム。
［付記３０］
第１空間内の物体を載置する載置装置と、
前記物体に対して粉体を供給して、前記第１空間内で前記物体に付加加工を行う加工装置と、
第２空間内に配置され、動力を発生させる動力源と、
前記第１空間と前記第２空間とを隔離する隔離部材と、
前記隔離部材に形成された貫通孔を介して前記載置装置および前記加工装置との少なくとも一方に前記動力を伝達する動力伝達部材と、
前記第２空間から前記第１空間への火花の伝達を防止するシール部材と
を備える加工システム。
［付記３１］
第１空間内の物体を載置する載置装置と、
前記物体に対して粉体を供給して、前記第１空間内で前記物体に付加加工を行う加工装置と、
第２空間内に配置され、動力を発生させる動力源と、
前記第１空間と前記第２空間との間に設けられた隔離部材と
前記隔離部材に形成された貫通孔を介して前記載置装置および前記加工装置との少なくとも一方に前記動力を伝達する動力伝達部材と、
前記第１空間から前記第２空間への粉の伝達を防止するシール部材と
を備える加工システム。
［付記３２］
付記１から３１のいずれか一項に記載の加工システムを用いて付加加工を行う加工方法。
［付記３３］
物体を載置装置に載置することと、
前記物体に対して粉体を供給して、前記物体に付加加工を行うことと、
動力源を用いて動力を発生させることと、
前記動力源と前記付加加工が行われる空間との間に隔離部材を設けることと、
前記隔離部材に形成された貫通孔を通過する動力伝達部材を用いて前記載置装置および前記加工装置との少なくとも一方に前記動力を伝達することと、
前記動力伝達部材と前記隔離部材との間をシールすることと
を含む加工方法。
［付記３４］
物体を載置装置に載置することと、
前記物体に対して粉体を供給して、前記物体に付加加工を行うことと、
動力源を用いて動力を発生させることと、
前記動力源と前記付加加工が行われる空間との間に隔離部材を設けることと、
前記隔離部材に形成された貫通孔を通過する動力伝達部材を用いて前記載置装置および前記加工装置との少なくとも一方に前記動力を伝達することと、
前記動力源が位置する空間から前記載置装置が位置する空間への火花の伝達を防止することと
を含む備える加工方法。
［付記３５］
物体を載置装置に載置することと、
前記物体に対して粉体を供給して、前記物体に付加加工を行うことと、
動力源を用いて動力を発生させることと、
前記動力源と前記付加加工が行われる空間との間に隔離部材を設けることと、
前記隔離部材に形成された貫通孔を通過する動力伝達部材を用いて前記載置装置および前記加工装置との少なくとも一方に前記動力を伝達することと、
前記載置装置が位置する空間から前記動力源が位置する空間への粉の伝達を防止することと
を含む加工方法。
［付記３６］
第１空間内の載置装置に物体を載置することと、
前記物体に対して粉体を供給して、前記第１空間内で前記物体に付加加工を行うことと、
第２空間内に配置された動力源で動力を発生させることと、
前記第１空間と前記第２空間との間に隔離部材を設けることと、
前記隔離部材に形成された貫通孔を通過する動力伝達部材を用いて前記載置装置および前記加工装置との少なくとも一方に前記動力を伝達することと、
前記動力伝達部材と前記隔離部材との間をシールすることと
を含む加工方法。
［付記３７］
第１空間内の載置装置に物体を載置することと、
前記物体に対して粉体を供給して、前記第１空間内で前記物体に付加加工を行うことと、
第２空間内に配置された動力源で動力を発生させることと、
前記第１空間と前記第２空間との間に隔離部材を設けることと、
前記隔離部材に形成された貫通孔を通過する動力伝達部材を用いて前記載置装置および前記加工装置との少なくとも一方に前記動力を伝達することと、
前記第２空間から前記第１空間への火花の伝達を防止することと
を含む加工方法。
［付記３８］
第１空間内の載置装置に物体を載置することと、
前記物体に対して粉体を供給して、前記第１空間内で前記物体に付加加工を行うことと、
第２空間内に配置された動力源で動力を発生させることと、
前記第１空間と前記第２空間を隔離部材によって隔てることと、
前記隔離部材に形成された貫通孔を通過する動力伝達部材を用いて前記載置装置および前記加工装置との少なくとも一方に前記動力を伝達することと、
前記第２空間から前記第１空間への火花の伝達を防止することと
を含む加工方法。
［付記３９］
第１空間内の載置装置に物体を載置することと、
前記物体に対して粉体を供給して、前記第１空間内で前記物体に付加加工を行うことと、
第２空間内に配置された動力源で動力を発生させることと、
前記第１空間と前記第２空間との間に隔離部材を設けることと、
前記隔離部材に形成された貫通孔を通過する動力伝達部材を用いて前記載置装置および前記加工装置との少なくとも一方に前記動力を伝達することと、
前記第１空間から前記第２空間への粉の伝達を防止することと
を含む加工方法。
【0133】
上述の各実施形態の構成要件の少なくとも一部は、上述の各実施形態の構成要件の少なくとも他の一部と適宜組み合わせることができる。上述の各実施形態の構成要件のうちの一部が用いられなくてもよい。また、法令で許容される限りにおいて、上述の各実施形態で引用した全ての公開公報及び米国特許の開示を援用して本文の記載の一部とする。
【0134】
本発明は、上述した実施例に限られるものではなく、特許請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨或いは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴う加工システム及び加工方法もまた本発明の技術的範囲に含まれるものである。
【符号の説明】
【0135】
ＳＹＳ 加工システム
１ 材料供給装置
２ 加工装置
２２ｆ、２４ｇ 動力源
２３ｆ 動力伝達部材
３ ステージ装置
３１ ステージ
３２、３４ｅ 動力伝達部材
３３ 動力伝達機構
６ 筐体
６１ 仕切り部材
６３ＩＮ チャンバ空間
６４ＯＵＴ 外部空間
６５ 開口
６６ シール部材
Ｗ ワーク
Ｍ 造形材料
ＳＬ 構造層
ＭＳ 造形面
ＥＡ 照射領域
ＭＡ 供給領域
ＭＰ 溶融池
ＥＬ 加工光
１ 材料供給装置
２ 加工装置
２２ｆ、２４ｇ 動力源
２３ｆ 動力伝達部材
３ ステージ装置
３１ ステージ
３２、３４ｅ 動力伝達部材
３３ 動力伝達機構
６ 筐体
６１ 仕切り部材
６３ＩＮ チャンバ空間
６４ＯＵＴ 外部空間
６５ 開口
６６ シール部材
Ｗ ワーク
Ｍ 造形材料
ＳＬ 構造層
ＭＳ 造形面
ＥＡ 照射領域
ＭＡ 供給領域
ＭＰ 溶融池
ＥＬ 加工光
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】