(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2023-12-05
(45)【発行日】2023-12-13
(54)【発明の名称】ファイバーケーブル切断装置
(51)【国際特許分類】
B26D 1/14 20060101AFI20231206BHJP
B26D 3/16 20060101ALI20231206BHJP
B26D 1/15 20060101ALI20231206BHJP
B24B 27/06 20060101ALI20231206BHJP
G02B 6/46 20060101ALI20231206BHJP
【ＦＩ】
B26D1/14 F
B26D3/16 A
B26D1/15
B24B27/06 M
G02B6/46
【請求項の数】
2
(21)【出願番号】P 2022130345
(22)【出願日】2022-08-18
(62)【分割の表示】P 2018156423の分割
【原出願日】2018-08-23
(65)【公開番号】P2022164727
(43)【公開日】2022-10-27
【審査請求日】2022-08-18
(73)【特許権者】
【識別番号】000151494
【氏名又は名称】株式会社東京精密
(74)【代理人】
【識別番号】100083116
【弁理士】
【氏名又は名称】松浦 憲三
(74)【代理人】
【識別番号】100170069
【弁理士】
【氏名又は名称】大原 一樹
(74)【代理人】
【識別番号】100128635
【弁理士】
【氏名又は名称】松村 潔
(74)【代理人】
【識別番号】100140992
【弁理士】
【氏名又は名称】松浦 憲政
(72)【発明者】
【氏名】清水 翼
【審査官】石川 健一
(56)【参考文献】
【文献】特開２００４－１４２０１６（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開平１１－２６４９０９（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開昭５９－１６０１０２（ＪＰ，Ａ）
【文献】米国特許第０６６３４０７９（ＵＳ，Ｂ１）
【文献】特開平０５－２０３８１３（ＪＰ，Ａ）
【文献】実開平０１－１３２６５１（ＪＰ，Ｕ）
【文献】国際公開第２０１７／００２５８２（ＷＯ，Ａ１）
【文献】中国特許出願公開第１０７４４３４５０（ＣＮ，Ａ）
【文献】特開２０１０－１６０２０７（ＪＰ，Ａ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｂ２６Ｄ １／１４
Ｂ２６Ｄ ３／１６
Ｂ２６Ｄ １／１５
Ｂ２６Ｄ ７／０６
Ｂ２４Ｂ ２７／０６
Ｇ０２Ｂ ６／４６
Ｇ０２Ｂ ６／２５
Ｇ０２Ｂ ６／０４
Ｃ０３Ｂ ３７／１６
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
ファイバーケーブルの被切断部が固定されて水平方向のうち第１方向に移動可能なテーブルと、水平方向のうち前記第１方向に直交する第２方向に回転軸を有するブレードと、
前記テーブルに対して前記第２方向に離間した位置に配置され、前記ファイバーケーブルの被固定部を固定する固定部と、
を備え、前記ブレード及び前記固定部に対して前記テーブルを前記第１方向に移動させながら、回転する前記ブレードによって前記被切断部を切断するファイバーケーブル切断装置であって、
前記テーブルと前記固定部と間に設けられ、前記ファイバーケーブルの前記被切断部と前記被固定部との間のケーブル領域を前記第１方向に摺動自在に支持した状態で鉛直方向下側から受け支える支持部材を有する、ファイバーケーブル切断装置。
【請求項2】
前記支持部材は、前記第１方向と前記第２方向とに直交する第３方向の位置を調整する調整機構を有する、請求項１に記載のファイバーケーブル切断装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、ファイバーケーブル切断装置に係り、特にファイバーケーブルの端部を切断するファイバーケーブル切断装置に関する。
【背景技術】
【0002】
ファイバーケーブルは、主に基板と基板との間で信号を伝達するケーブルとして使用される。また、ファイバーケーブルは、その端部を基板のコネクタに挿入して使用するものなので、端部を高精度に切断加工する必要がある。
【0003】
特許文献１には、ファイバーケーブル切断装置の一例が開示されている。この切断装置は、ファイバーケーブルを送り出す搬送手段と、ファイバーケーブルを切断する切断刃と、を備えており、搬送手段によってファイバーケーブルを送りつつ、切断刃によってファイバーケーブルの端部を切断する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【文献】特開２０１０－１６０２０７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
一方、特許文献１に開示されたファイバーケーブル切断装置とは別に、半導体ウェーハ等のワークを切削加工するダイシング装置やスライサー等の切削加工装置をファイバーケーブル切断装置に適用することが考えられる。
【0006】
ここで、上記の切削加工装置は、一般的に、ワークに対して相対的にＹ方向にインデックス送りとＺ方向に切り込み送りとがされるブレードと、ワークを載置してブレードに対し相対的にＸ方向の切削送りがされるテーブルとを有している。
【0007】
しかしながら、このような構成の切削加工装置をファイバーケーブル切断装置として適用した場合、加工対象物が板状のワークから長尺状のファイバーケーブルに変更されることに伴い、以下の問題点を改善する必要がある。
【0008】
切削加工装置のテーブルにファイバーケーブルの被切断部を固定して、ファイバーケーブルの他端部を切削加工装置の装置外に配置した場合、テーブルをＸ方向に切削送りしたときに、テーブルの移動に伴ってファイバーケーブルに垂れ下がりや捩じれが発生する。このような現象が発生すると、加工端部であるファイバーケーブルの被切断部に引っ張りや捩じれの力が加わるため、ブレードによる加工精度が悪化して加工品質が低下するという問題があった。
【0009】
上記の問題は、切削加工装置のテーブルに全長分のファイバーケーブルを載置すれば解消できるが、ファイバーケーブルの長さが例えば１０メートルを超えるような場合には困難であった。
【0010】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、ファイバーケーブルの被加工部をテーブルに固定し、テーブルを移動させながらファイバーケーブルの被加工部をブレードによって切断するファイバーケーブル切断装置において、ファイバーケーブルの加工品質を向上させることができるファイバーケーブル切断装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0011】
本発明のファイバーケーブル切断装置は、本発明の目的を達成するために、ファイバーケーブルの被切断部が固定されて水平方向のうち第１方向に移動可能なテーブルと、水平方向のうち第１方向に直交する第２方向に回転軸を有するブレードと、テーブルに対して第２方向に離間した位置に配置され、ファイバーケーブルの被固定部を固定する固定部と、を備え、ブレード及び固定部に対してテーブルを第１方向に移動させながら、回転するブレードによって被切断部を切断するファイバーケーブル切断装置であって、テーブルと固定部と間に設けられ、ファイバーケーブルの被切断部と被固定部との間のケーブル領域を第１方向に摺動自在に支持した状態で鉛直方向下側から受け支える支持部材を有し、支持部材は、第２方向から見た場合、固定部からテーブルが離れる第１方向に沿って、テーブルに近づくように鉛直方向下方側に屈曲される。
【0012】
本発明の一形態は、支持部材は、第１方向と第２方向とに直交する第３方向の位置を調整する調整機構を有することが好ましい。
【0013】
本発明のファイバーケーブル切断装置は、本発明の目的を達成するために、ファイバーケーブルの被切断部が固定されて水平方向のうち第１方向に移動可能なテーブルと、水平方向のうち第１方向に直交する第２方向に回転軸を有するブレードと、テーブルに対して第２方向に離間した位置に配置され、ファイバーケーブルの被固定部を固定する固定部と、を備え、ブレード及び固定部に対してテーブルを第１方向に移動させながら、回転するブレードによって被切断部を切断するファイバーケーブル切断装置であって、テーブルと固定部と間に設けられ、ファイバーケーブルの被切断部と被固定部との間のケーブル領域を第１方向に摺動自在に支持した状態で鉛直方向下側から受け支える支持部材と、支持部材を鉛直方向下方側及び鉛直方向上側に移動させる移動機構と、第２方向から見た場合、固定部からテーブルが離れる動作に連動してテーブルに近づくように支持部材を鉛直方向下方側に移動させ、固定部にテーブルが近づく動作に連動してテーブルから離れるように支持部材を鉛直方向上側に移動させるように移動機構を制御する制御部と、を有する。
【発明の効果】
【0014】
本発明によれば、ファイバーケーブルの加工品質を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【0015】
【発明を実施するための形態】
【0016】
以下、添付図面に従って本発明に係るファイバーケーブル切断装置の好ましい実施形態について詳説する。
【0017】
図１は、本発明の第１実施形態のファイバーケーブル切断装置１０の正面図、図２は、図１に示したファイバーケーブル切断装置１０の左側面図、図３は、ファイバーケーブル切断装置１０の全体斜視図である。図１から図３に示すＸ方向は、水平方向のうちの第１方向であって後述するテーブル１６の移動方向を指す。また、Ｙ方向は、水平方向のうちＸ方向に直交する第２方向を指す。更に、Ｚ方向は、鉛直方向であって、Ｘ方向及びＹ方向に直交する第３方向を指す。
【0018】
実施形態においては、ファイバーケーブルとして、複数本のファイバーケーブルからなる帯状部材１２を例示する。帯状部材１２は、一例として、直径が２００μｍの１００本のファイバーケーブルを有し、その幅寸法Ｗ（図３参照）は約８０ｍｍである。なお、図１から図３おいて、帯状部材１２はその大きさを誇張して示している。
【0019】
ファイバーケーブル切断装置１０は、一例として、半導体ウェーハ等のワークを切削加工するダイシング装置が適用されたものであり、その構成は、帯状部材１２の加工端部である被切断部１２Ａが固定されるテーブル１６と、帯状部材１２の被切断部１２Ａを幅方向に切断するブレード１８と、を有している。また、特有の構成部材として、帯状部材１２の被固定部１２Ｂを固定する固定部２０と、帯状部材１２を支持するガイドバー２２と、有している。このガイドバー２２は、本発明の構成要素である支持部材の一例である。
【0020】
テーブル１６は、一例として円盤状に構成されており、その上面には水平方向に平坦な固定面２４を備え、この固定面２４に帯状部材１２の被切断部１２Ａが固定される。固定面２４に対する被切断部１２Ａの固定方式として、固定面２４を真空吸着可能な吸引口を備えた吸着面として構成し、この固定面２４に被切断部１２Ａを真空吸着する方式を例示する。また、真空吸着方式に代えてメカニカルな構造にて被切断部１２Ａを固定面２４に固定する方式であってもよい。なお、実施形態では、被切断部１２Ａの下面に金属製又は樹脂製のプレート２５を着脱自在に接着し、このプレート２５を介して被切断部１２Ａを固定面２４に固定している。
【0021】
テーブル１６は、その下部に、テーブル１６をＸ方向に沿って往復移動させるＸ移動機構部２６を備えている。Ｘ移動機構部２６は、Ｘ方向に沿って配設された一対のガイドレール２８、２８と、一対のガイドレール２８、２８の間に配置されたボールネジ装置３０と、を備えている。このＸ移動機構部２６によれば、ボールネジ装置３０を正転又は反転駆動することにより、テーブル１６を一対のガイドレール２８、２８に沿ってＸ（＋）方向又はＸ（－）方向に移動させることができる。Ｘ移動機構部２６として、上記のボールネジ装置３０を使用することにより、端面研磨に要求される低速で高精細な送り速度（例えば、０．０２～０．０３ｍｍ／ｓ）を実現することが可能となるので好ましい。
【0022】
ここで、図２及び図３の実線で示すテーブル１６の位置が切断開始位置であることを示しており、図２及び図３の二点鎖線で示すテーブル１６の位置が切断終了位置であることが示されている。したがって、上記のＸ移動機構部２６によりテーブル１６を切断開始位置から切断終了位置に向けてＸ（－）方向に移動させることにより、帯状部材１２の被切断部１２Ａを回転するブレード１８によって切断することができる。また、切断終了位置からテーブル１６をＸ（＋）方向に移動させることにより切断開始位置にテーブル１６を戻すことができる。なお、図２及び図３では、Ｙ方向において被切断部１２Ａと被固定部１２Ｂとが互いに対向した位置、つまり、ＸＹＺ座標において被切断部１２Ａと被固定部１２Ｂとが最も近接した位置が切断開始位置に設定されているが、切断開始位置は任意の位置に設定可能である。
【0023】
ブレード１８は、一例として、ダイヤモンド砥粒又はＣＢＮ（cubic boron nitride）砥粒をニッケルで電着した電着ブレードを例示することができる。また、電着ブレードの他、金属粉末を混入した樹脂で結合したメタルレジンボンドのブレードも使用することができる。このよう構成されたブレード１８は、Ｙ方向に沿って配置された高周波モータ内蔵型のスピンドル３２に連結されており、このスピンドル３２によって、例えば、６０００ｒｐｍ～８００００ｒｐｍで高速回転される。また、スピンドル３２は、図１に示すように、Ｚ移動機構部３４に取り付けられており、Ｚ移動機構部３４はＹ移動機構部３６に取り付けられている。このような構成によりブレード１８は、Ｚ移動機構部３４によってＺ方向における切り込み量の調整と、Ｙ移動機構部３６によってＹ方向における切断位置の調整と、がなされる。なお、Ｚ移動機構部３４及びＹ移動機構部３６においても、Ｘ移動機構部２６と同様の構造（ガイドレールとボールネジ装置とを有する構造）を適用することができる。
【0024】
このように構成されたファイバーケーブル切断装置１０のように、ワークに対して相対的にＹ方向にインデックス送りとＺ方向に切り込み送りとがされるブレードと、ワークを載置してブレードに対し相対的にＸ方向の切削送りがされるテーブルとを有する構成の場合、図２及び図３に示した切断開始位置と切断終了位置との間でテーブル１６が移動したときに、ケーブル領域１３に垂れ下がりや捩じれが発生する。
【0025】
そこで、実施形態のファイバーケーブル切断装置１０は、上記の垂れ下がりと捩じれを防止するために、固定部２０とガイドバー２２とを備えている。
【0026】
固定部２０は、テーブル１６に対してＹ（－）方向側に離間して配置される。固定部２０は、テーブル１６の外側に配置された台座部３８と、台座部３８の上面に着脱自在なクランプ部材４０と、を有し、台座部３８とクランプ部材４０との間で被固定部１２Ｂを挟持することにより、帯状部材１２の被固定部１２Ｂを固定することができる。
【0027】
ガイドバー２２は、テーブル１６と固定部２０との間でＸ方向に沿って配置されている。このガイドバー２２は、ファイバーケーブル１２の被切断部１２Ａと被固定部１２Ｂとの間のケーブル領域１３（図１参照）をＸ方向に摺動自在に支持した状態でＺ方向下側から受け支え可能に構成されている。これにより、ケーブル領域１３の垂れ下がりが防止されている。
【0028】
ここで、ガイドバーがＸ方向に沿った直棒状の支持部材により構成された場合、次のような課題がある。すなわち、ケーブル領域１３の長さは、固定部２０からテーブル１６が最も離れた位置、つまりテーブル１６が切断終了位置に対応した長さに設定する必要がある。しかしながら、このような長さにケーブル領域１３を設定すると、固定部２０にテーブル１６が最も接近した位置、つまりテーブル１６が切断開始位置に位置したときにケーブル領域１３の余長が大きくなり、その余長に応じてケーブル領域１３が捩じれやすくなってしまうので、余長分の捩じれを防止する必要がある。
【0029】
そこで、実施形態のガイドバー２２は、上記の課題を解決するために、次のように構成されている。すなわち、ガイドバー２２は、切断開始位置に対応した上位部２２Ａと、切断終了位置に対応した下位部２２Ｂと、上位部２２Ａと下位部２２Ｂとを連結する傾斜部２２Ｃと、を有し、Ｙ方向から見た場合、固定部２０からテーブル１６が離れるＸ（－）方向に沿って、テーブル１６に近づくようにＺ方向下方側に屈曲されている。ガイドバー２２にＺ方向下方側に傾斜した傾斜部２２Ｃを備えることにより、ケーブル領域１３の長さを、上記した直棒状の支持部材を適用した場合の長さよりも短くすることができる。これにより、テーブル１６が切断開始位置に位置したときに生じるケーブル領域１３の余長分の長さを短くすることができる。
【0030】
このような構成のガイドバー２２を備えることにより、ケーブル領域１３の垂れ下がりと余長分の捩じれを防止することができるので、被切断部１２Ａに引っ張りや捩じれの力が加わることを抑制することができる。よって、実施形態のファイバーケーブル切断装置１０によれば、ブレード１８による加工精度が良好となり加工品質が向上する。
【0031】
なお、ガイドバー２２の傾斜部２２Ｃは、全体として角部の無い円弧状に構成されており、また、上位部２２ＣＡの連結部、及び下位部２２Ｂとの連結部においても角部の無い形状に構成されている。
【0032】
次に、ファイバーケーブル切断装置１０の作用について説明する。
【0033】
まず、テーブル１６を図２及び図３の切断開始位置に位置させる。次に、帯状部材１２の被切断部１２Ａを、ガイドバー２２の上方からテーブル１６に向けて這わせてテーブル１６の固定面２４に固定する。このとき、図１に示すように、ガイドバー２２の上位部２２Ａにケーブル領域１３の下面１３Ａが、Ｘ方向に摺動自在に支持される。次に、図２に示すように帯状部材１２の被固定部１２Ｂを固定部２０に固定する。これにより、ファイバーケーブル切断装置１０に対する帯状部材１２の取り付け作業が完了する。
【0034】
次に、Ｚ移動機構部３４によってブレード１８のＺ方向における切り込み量の調整と、Ｙ移動機構部３６によってブレード１８のＹ方向における切断位置の調整と、を行う。これにより、切断準備が完了する。
【0035】
次に、Ｘ移動機構部２６によってテーブル１６を図２及び図３の切断開始位置から切断終了位置に向けてＸ（－）方向に移動させて、被切断部１２Ａの切断を開始する。このテーブル１６の移動に伴ってケーブル領域１３の下面１３Ａは、上位部２２Ａから傾斜部２２Ｃを摺動して傾斜部２２Ｃに支持される。そして、テーブル１６が切断終了位置に移動して被切断部１２Ａの切断が終了すると、上記の下面１３Ａは、傾斜部２２Ｃから下位部２２Ｂに支持される。
【0036】
被切断部１２Ａの切断が終了すると、次の切断を開始するために、テーブル１６を切断終了位置から切断開始位置に向けてＸ（＋）方向に移動させる。このテーブル１６の移動に伴ってケーブル領域１３の下面１３Ａは、下位部２２Ｂから傾斜部２２Ｃを摺動して傾斜部２２Ｃに支持される。そして、テーブル１６が切断開始位置に移動されると、上記の下面１３Ａは、傾斜部２２Ｃから上位部２２Ａに支持される。
【0037】
したがって、実施形態のファイバーケーブル切断装置１０によれば、テーブル１６と固定部２０と間にガイドバー２２を設け、このガイドバー２２によってケーブル領域１３をＸ方向に摺動自在に支持した状態でＺ方向下側から受け支えるようにしたので、切断加工中のケーブル領域１３の垂れ下がりを防止することができる。また、ガイドバー２２は、Ｙ方向から見た場合、固定部２０からテーブル１６が離れるＸ（－）方向に沿って、テーブル１６に近づくようにＺ方向下方側に屈曲されているので、テーブル１６が切断開始位置に位置したときに生じるケーブル領域１３の余長分の長さを短くすることができる。これにより、ケーブル領域１３の垂れ下がりと余長分の捩じれを防止することができるので、被切断部１２Ａに引っ張りや捩じれの力が加わることを抑制することができ、よって、ブレード１８による加工精度が良好となり加工品質が向上する。
【0038】
【0039】
調整機構５０は、装置本体６２にＺ方向に立設されたポール５２と、ポール５２に沿ってＺ方向に昇降自在なホルダ本体５４と、を有している。ホルダ本体５４は、ポール５２が挿入される孔部５６と、ガイドバー２２の上位部２２ＡのＸ（＋）側の端部２２Ｄを保持する一対のホルダ５８と、ホルダ本体５４に螺入されてポール５２に押圧されるネジ部６０と、を有している。
【0040】
このように構成された調整機構５０によれば、ネジ部６０を緩めることにより、ポール５２に対するホルダ本体５４のＺ方向の位置を、図２の矢印Ａに示すように調整することができ、これによって、ガイドバー２２のＺ方向の位置を調整することができる。
【0041】
ガイドバー２２のＺ方向の位置を調整可能とすることにより、幅寸法の異なる帯状部材１２に対応することができる。例えば、図３に示した幅寸法Ｗよりも大きい幅寸法を有する帯状部材１２の場合、切断開始位置と切断終了位置との間のＸ方向の長さ（テーブル１６のＸ方向移動ストロークとも言う）を、幅寸法Ｗの帯状部材１２の場合よりも長めに設定する必要がある。このような場合には、ガイドバー２２の高さを図３の位置よりも高めに設定する。これにより、幅寸法Ｗよりも大きい幅寸法を有する帯状部材１２であっても、被切断部１２Ａを安定して切断することができる。これとは逆に、幅寸法Ｗよりも小さい幅寸法を有する帯状部材１２の場合、テーブル１６のＸ方向移動ストロークを、幅寸法Ｗの帯状部材１２の場合よりも短めに設定する必要がある。このような場合には、ガイドバー２２の高さを図３の位置よりも低めに設定する。これにより、幅寸法Ｗよりも小さい幅寸法を有する帯状部材１２であっても、被切断部１２Ａを安定して切断することができる。
【0042】
実施形態のガイドバー２２においては、その表面に自己潤滑作用のある潤滑剤をコーティングすることが好ましい。これにより、帯状部材１２の下面１３Ａとガイドバー２２との間の摩擦抵抗を小さくすることができるので、ガイドバー２２に対して下面１３Ａが円滑に摺動し、被切断部１２Ａの切断を更に安定して実施することができる。
【0043】
また、実施形態では固定部２０を装置本体３６に固定したが、図１に示すように、Ｚ方向に沿った軸Ｂを中心に回動自在に構成してもよい。この構成によれば、テーブル１６の移動位置に応じて固定部２０の向きを追従させることができるので、帯状部材１２に生じる捩じれを抑制することができる。なお、固定部２０の回転機構として、台座部３８を装置本体６２（図３参照）に軸Ｂを中心に回動自在に連結する構造を例示することができる。
【0044】
図４は、第２実施形態に係るファイバーケーブル切断装置７０の左側面図である。
【0045】
第２実施形態では、支持部材の一例であるガイドバー７２が直棒状に構成され、第１実施形態のガイドバー２２と同様にテーブル１６と固定部２０との間でＸ方向に沿って配置されている。
【0046】
ガイドバー７２のＸ（＋）側の端部７２Ａは、ネジ装置７４を構成するナット部７６に固定されている。送りネジ装置７４は、モータ７８と、ネジ部８０と、ナット部７６と、を備えており、ネジ部８０がＺ方向に沿って配置され、このネジ部８０にナット部７６が螺合されている。したがって、モータ７８によってネジ部８０を正転又は逆転させることにより、矢印Ｃに示すようにナット部７６がネジ部８０に沿ってＺ方向に昇降するので、ガイドバー７２をＺ方向に昇降移動させることができる。なお、ガイドバー７２のＸ（－）側の端部７２Ｂは、ガイドバー７２をＺ方向に移動自在に支持する直動ガイド部８２に支持されている。直動ガイド部８２は、Ｚ方向に立設されたポール８４と、ポール８４に摺動自在に取り付けられた可動部８６と、を有し、可動部８６に上記の端部７２Ｂが取り付けられている。このような構成により、ガイドバー７２はＺ方向に円滑に昇降移動することができる。なお、送りネジ装置７４は、本発明の構成要素である移動機構の一例である。
【0047】
送りネジ装置７４のモータ７８は、制御部８８によってその回転方向及び回転速度が制御されている。制御部８８は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）、及び入出力インターフェース等を備えている。制御部８８では、ＲＯＭに記憶されている制御プログラム等の各種プログラムがＲＡＭに展開され、ＲＡＭに展開されたプログラムがＣＰＵによって実行されることにより、モータ７８を下記のように制御してガイドバー７２を移動させる。すなわち、ガイドバー７２をＹ方向から見た場合、固定部２０からテーブル１６がＸ（－）方向に離れる動作に連動して、ガイドバー７２がテーブル１６に近づくようにガイドバー７２をＺ方向下方側に移動させる。そして、固定部２０にテーブル１６が近づく動作に連動して、ガイドバー７２がテーブル１６から離れるようにガイドバー７２をＺ方向上側に移動させる。
【0048】
このような構成の第２実施形態においても、第１実施形態と同様に、切断加工中の帯状部材１２の垂れ下がりを防止しつつ、テーブル１６が切断開始位置に位置したときに生じるケーブル領域１３の余長分の長さを短くすることができる。これにより、ケーブル領域１３の垂れ下がりと余長分の捩じれを防止することができるので、被切断部１２Ａに引っ張りや捩じれの力が加わることを抑制することができ、よって、ブレード１８による加工精度が良好となり加工品質が向上する。なお、第２実施形態では、ガイドバー７２を直棒状に構成したが、これに限らず、例えば、第１実施形態のように傾斜部２２Ｃを備えた屈曲タイプのものであってもよい。
【0049】
以上説明した実施形態では、帯状部材１２を切断するファイバーケーブル切断装置１０を例示した。この帯状部材１２としては、複数のファイバーをまとめたもの、又は、複数のファイバーをまとめたものの集合体であってもよい。このような帯状部材１２は、被切断部１２Ａで不図示の基材と一体化されていることが好ましい。また、ファイバーケーブル切断装置１０は、１本のファイバーケーブルのみを切断する切断装置としても適用可能である。
【0050】
また、上記の実施形態では、ファイバーケーブル切断装置１０、７０としてダイシング装置を適用したので、特許文献１のようなファイバーケーブル切断装置と比較して、以下の効果を有する。すなわち、ファイバーケーブルの加工工程は、切断による切断工程の他、研磨手段によって端面を研磨する研磨工程が必要となるが、特許文献１のファイバーケーブル切断装置は切断工程のみ行う装置なので、スループットを向上させることができない。これに対して、ダイシング装置に適用されるブレード１８は、一般的に砥粒の小さい砥石が使用され、その回転速度も速く、また、加工速度も低速度に制御することができるので高精細にワークを加工可能である。このようなブレード１８の性能を利用することにより、ファイバーケーブルの端部の切断工程と端面の研磨工程とを同時に実施することが可能となるので、スループットを向上させることができる。
【符号の説明】
【0051】
１０…ファイバーケーブル切断装置、１２…帯状部材、１６…テーブル、１８…ブレード、２０…固定部、２２…ガイドバー、２４…固定面、２６…Ｘ移動機構部、２８…ガイドレール、３０…ボールネジ装置、３２…スピンドル、３４…Ｚ移動機構部、３６…Ｙ移動機構部、３８…台座部、４０…クランプ部材、５０…位置調整機構、５２…ポール、５４…ホルダ本体、５６…孔部、５８…ホルダ、６０…ネジ部、６２…装置本体、７０…ファイバーケーブル切断装置、７２…ガイドバー、７４…送りネジ装置、７６…ナット部、７８…モータ、８０…ネジ部、８２…直動ガイド部、８４…ポール、８６…可動部、８８…制御部
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】