特許7398013半導体装置及びクリーンルーム内の化学ガス汚染物質を測定するためのポータブルディスク

発明の名称　半導体装置及びクリーンルーム内の化学ガス汚染物質を測定するためのポータブルディスク

出願人　アプライド　マテリアルズ　インコーポレイテッド　（識別番号 390040660）

　　　　特許公開件数ランキング 23 位（235件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 60 位（125件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7398013

公報発行日　2023年12月13

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7398013

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