特許7398460固体ドーパントを昇華させるための多孔質の仕切り部材を備えたドーピング導管を含むインゴット引上げ装置

発明の名称　固体ドーパントを昇華させるための多孔質の仕切り部材を備えたドーピング導管を含むインゴット引上げ装置

出願人　グローバルウェーハズ　カンパニー　リミテッド　（識別番号 518112516）

　　　　特許公開件数ランキング 836 位（27件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 843 位（23件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7398460

公報発行日　2023年12月14

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7398460

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