１…本発明の欠陥検査装置、 ２…センサーの受光面、 ３…演算処理部、 ４…閾値演算部、 ５…データ取得部、 ６…第１の集光光学系、 ７…第２の集光光学系、 ８…ゾーンプレート、 １０１…低熱膨張材からなる基板、 １０２…多層反射膜、 １０３…保護膜、 １０４…導電膜、 １０５…吸収体パターン、 １０６…反射型マスク、 ２００、２０１、２０２…暗視野検査像強度分布、 ＢＧＬ、ＢＧＬ１、ＢＧＬ２…バックグラウンドレベル、 ＢＭ１…ＥＵＶ光、 ＢＭ２…散乱光、 ＢＭ２１…正反射光、 ＤＩＭ…暗視野検査像、 ＩＬＯ…照明光学系、 ＩＬＳ…ＥＵＶ光源、 Ｍ０、Ｍ０１、Ｍ１、Ｍ２、Ｍ３…ミラー、 ＰＤＴ…位相欠陥、 ＰＲＯ…結像光学系、 ＲＭＢ…多層反射膜付き基板、 ＳＥ…２次元アレイセンサー、 ＳＩＧ、ＳＩＧ１、ＳＩＧ２…欠陥の輝度信号レベル、 ＳＴＧ…基板ステージ、 ＴＨＲ、ＴＨＲ１、ＴＨＲ２…閾値。