特許 7401347 加工装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2023-12-11

(45)【発行日】2023-12-19

(54)【発明の名称】加工装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/301 20060101AFI20231212BHJP

【ＦＩ】

H01L21/78 W

【請求項の数】 3

(21)【出願番号】P 2020036704

(22)【出願日】2020-03-04

(65)【公開番号】P2021141157

(43)【公開日】2021-09-16

【審査請求日】2023-01-13

(73)【特許権者】

【識別番号】000134051

【氏名又は名称】株式会社ディスコ

(74)【代理人】

【識別番号】110001014

【氏名又は名称】弁理士法人東京アルパ特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】藤澤 晋一

【審査官】湯川 洋介

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１１－１７１５９４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１７－１６５５２５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開昭５７－１１７４０１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００９－１７０６４４（ＪＰ，Ａ）

【文献】欧州特許出願公開第００９８９５９２（ＥＰ，Ａ１）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ２１／３０１

Ｂ６５Ｈ ３１／００

Ｂ６５Ｈ ３１／１０

Ｂ６５Ｈ ３１／２６

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

上部に開口を有し、中央に円形の開口を有し外形が矩形で一方の面に粘着層を有するテープが廃棄される直方体のゴミ箱と、
該ゴミ箱にテープを搬送する搬送手段と、
該ゴミ箱と該搬送手段とを相対的に昇降させる昇降手段と、
を少なくとも備える加工装置であって、
該搬送手段は、該粘着層の反対の面を吸引保持する吸盤と、該吸盤が配置された搬送パッドと、を備え、
該ゴミ箱は、底板と、該底板の外周から立設した側板と、該側板の内面から内側に向かって延在して配置される突起と、を備え、
該昇降手段を用いて、該テープを吸引保持した該搬送手段と該ゴミ箱とを相対的に接近する方向に移動させることによって該搬送パッドが保持した該テープを該ゴミ箱内に進入させ、該ゴミ箱内でテープを積み重ねてテープ同士を貼着させる制御手段を備え、
該ゴミ箱に進入した該テープの外周縁に該突起を接触させ、該ゴミ箱内で積み重ねられた該テープの外周部分が膨らむのを防止することを特徴とする加工装置。

【請求項2】

該昇降手段を用いて該搬送手段と該ゴミ箱とを相対的に接近する方向に移動させて該搬送手段が該ゴミ箱の該底板を押した際の所定の力を検知する検知手段を備え、
該制御手段は、
該検知手段による該所定の力の検知によって、該搬送手段と該ゴミ箱との該相対的に接近する方向の移動を停止させる停止制御部と、
該相対的に接近する方向の移動の停止後、該吸盤を大気開放させる開放制御部と、
該吸盤を大気開放させた後に、該搬送手段と該ゴミ箱とを相対的に離間する方向に移動させる離間制御部と、
を備える請求項１記載の加工装置。

【請求項3】

該検知手段は、
該搬送手段または該ゴミ箱に配置される荷重センサと、
該荷重センサによって検出された値が予め設定した値になると、該所定の力で押し付けたと判断する判断部とから構成される
請求項２記載の加工装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、廃棄するテープをゴミ箱内において積み重ねることができる加工装置に関する。

【背景技術】

【0002】

半導体ウェーハ等の円形の被加工物に、被加工物の外周縁から外にはみ出したはみ出し部を設けて矩形のテープを貼着し、貼着した矩形のテープのはみ出し部を把持部が把持し、対向しているはみ出し部を含む外周縁を互いに遠ざかる方向に移動させてテープを拡張させることによって、被加工物の分割予定ラインに沿って形成された分割起点で被加工物を分割し、分割後の隣接するチップとチップとの間に隙間を形成する加工装置がある。（例えば、特許文献１、２参照）

【0003】

上記のような加工装置では、テープを拡張させ隣接するチップ間に隙間を形成した後、被加工物を収容可能な開口を有するリングフレームの開口に被加工物を配置した状態で、拡張したテープをリングフレーム及び被加工物に貼着してチップ間の隙間を固定している。
また、リングフレーム及び被加工物にテープを貼着した後、テープのうちリングフレームに貼着された部分のテープをリングフレームの幅の範囲内にて開口の中心を中心とする円にカットし、カットした部分より外側のテープをゴミ箱に廃棄している。したがって、廃棄するテープは、外周が矩形であり、中央には円形の開口を有している。

【0004】

このようにして廃棄するテープは、搬送手段によって保持され、ゴミ箱に搬送されている。搬送手段は、テープの粘着層を備える面の反対側の面の四隅を吸盤で吸引し、天板が開口した直方体のゴミ箱の当該開口から搬送手段を進入させ、ゴミ箱内で押し込んでいる。この押し込みによって、ゴミ箱に先に投入されているテープに対して投入するテープの粘着層を貼着し、テープを一体化させてテープゴミの体積を小さくしている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【文献】特開２０１８－００６３７０号公報

【文献】特開２０１９－１１０１８８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

ゴミ箱に投入されるテープにおいては、テープを拡張する際に把持部が把持した部分に凸凹が生じている。そのため、複数のテープを積み重ねると、外周部分が中央部分より高く積み重ねられる。さらに、テープは中央に開口を有するため、積み重ねられたテープには、外周部分と中央部分との間に高さの差が生まれる。

【0007】

また、上記のように、テープの外周部分と中央部分との間に高さの差が生じることで、あとから投入されるテープがゴミ箱内のテープに貼着されなくなり、投入された複数のテープを一体化することができなくなることがある。そして、テープを一体化できないことによって、搬送手段がテープを押し込んだ際に、投入されるテープの粘着層が搬送手段の吸盤に付着することがある。

【0008】

したがって、テープをゴミ箱に廃棄する加工装置においては、ゴミ箱にテープを綺麗に積み重ねていくという解決すべき課題がある。

【課題を解決するための手段】

【0009】

本発明は、上部に開口を有し、中央に円形の開口を有し外形が矩形で一方の面に粘着層を有するテープが廃棄される直方体のゴミ箱と、該ゴミ箱にテープを搬送する搬送手段と、
該ゴミ箱と該搬送手段とを相対的に昇降させる昇降手段と、を少なくとも備える加工装置であって、該搬送手段は、該粘着層の反対の面を吸引保持する吸盤と、該吸盤が配置された搬送パッドと、を備え、該ゴミ箱は、底板と、該底板の外周から立設した側板と、該側板の内面から内側に向かって延在して配置される突起と、を備え、該昇降手段を用いて、該テープを吸引保持した該搬送手段と該ゴミ箱とを相対的に接近する方向に移動させることによって該搬送パッドが保持した該テープを該ゴミ箱内に進入させ、該ゴミ箱内でテープを積み重ねてテープ同士を貼着させる制御手段を備え、該ゴミ箱に進入した該テープの外周縁に該突起を接触させ、該ゴミ箱内で積み重ねられた該テープの外周部分が膨らむのを防止することを特徴とする。
この加工装置には、該昇降手段を用いて該搬送手段と該ゴミ箱とを相対的に接近する方向に移動させて該搬送手段が該ゴミ箱の該底板を押した際の所定の力を検知する検知手段を備え、該制御手段は、該検知手段による該所定の力の検知によって、該搬送手段と該ゴミ箱との該相対的に接近する方向の移動を停止させる停止制御部と、該相対的に接近する方向の移動の停止後、該吸盤を大気開放させる開放制御部と、該吸盤を大気開放させた後に、該搬送手段と該ゴミ箱とを相対的に離間する方向に移動させる離間制御部と、を備えることが望ましい。
また、該検知手段は、該搬送手段または該ゴミ箱に配置される荷重センサと、該荷重センサによって検出された値が予め設定した値になると、該所定の力で押し付けたと判断する判断部とから構成されることが望ましい。

【発明の効果】

【0010】

本加工装置では、ゴミ箱に進入したテープの外周縁に突起を接触させ、テープの外周部分が膨らむのを防止するため、テープを綺麗に積み重ねることができる。したがって、より多くのテープをゴミ箱に収容することが可能となる。また、テープの下面である粘着面が露出するのを防ぐことができるため、吸盤にテープの粘着剤が付着するのを防止することができる。さらに、テープ同士が貼着されて外周側の盛り上がりが抑制されることにより、ゴミ箱に収容されたテープが一体化されるため、ゴミ箱からのテープの廃棄回数を低減することができる。
搬送手段がゴミ箱の底板を押した際の所定の力を検知する検知手段と、該所定の力の検知によって、搬送手段とゴミ箱との相対的に接近する方向の移動を停止させる停止制御部と、該相対的に接近する方向の移動の停止後、吸盤を大気開放させる開放制御部と、吸盤を大気開放させた後に、搬送手段とゴミ箱とを相対的に離間する方向に移動させる離間制御部と、を備えることにより、一定の力でテープを押し付けた時に吸盤による吸着を解除することができるため、テープを安定的に積み上げていくことができる。

【図面の簡単な説明】

【0011】

【図1】加工装置の例を示す分解斜視図である。

【図2】被加工物がテープに貼着された状態を示す斜視図である。

【図3】フレームに貼着されたテープをカットする状態を示す断面図である。

【図4】中央に円形の開口を有し外形が矩形のテープを示す平面図である。

【図5】搬送手段がテープをゴミ箱に収容する状態を示す断面図である。

【図6】搬送手段の別の例を示す斜視図である。

【発明を実施するための形態】

【0012】

図１に示す加工装置１は、テープに貼着された被加工物が加工される装置であり、加工後に被加工物から剥離したテープを収容するゴミ箱２と、ゴミ箱２にテープを搬送する搬送手段３と、搬送手段３とゴミ箱２とを相対的に昇降させる昇降手段４とを備えている。図１の例における昇降手段４は、搬送手段３を昇降させる機能を有しているが、昇降手段４がゴミ箱２を昇降させる構成としてもよい。昇降手段４の動作は、制御手段５によって制御される。

【0013】

ゴミ箱２は、矩形の底板２１と、底板２１の外周の各辺から立設された４枚の側板２２とを備えており、側板２２の上端によって囲まれた領域が矩形の開口部２３を形成している。開口部２３は、テープを収容する際のテープの入口となっている。

【0014】

側板２２の内面（内側の面）２２１には、ゴミ箱２２の内側、すなわち対面する側板２２に向けて延在する突起２４が複数形成されている。突起２４は、個々が串状に形成されており、図示の例では水平方向（Ｘ－Ｙ平面方向）に列をなして複数段に形成されている。個々の突起２４は、ゴム等の柔軟の部材によって形成されていてもよいし、硬質部材によって形成されていてもよい。

【0015】

突起の形状及び配置は、図示の例には限定されない。例えば、複数の突起２４は、形状が不揃いでもよいし、水平方向の位置がばらばらであってもよい。さらに、突起が水平方向に連なり、１枚の環状の板を構成していてもよい。

【0016】

底板２１の下面２１１には、複数の荷重センサ６１が配設されている。この荷重センサ６１は、図示の例では、底板２１の下面２１１の四隅に配設されているが、この位置には限定されない。
複数の荷重センサ６１は、判断部６２に接続されており、荷重センサ６１と判断部６２とで、搬送手段３によって底板２１を押す際の所定の力を検知する検知手段６が構成されている。

【0017】

搬送手段３は、昇降手段４によって駆動されて昇降する搬送パッド３１と、搬送パッド３１の下面３１１に配設された複数の吸盤３２とを備えている。搬送パッド３１は、内部に開口部３３が形成された矩形に形成され、開口部３３には架設部３４が形成されている。架設部３４は、昇降手段４によって支持されている。
吸盤３２は、バルブ３５を介して吸引源３６に接続されている。バルブ３５は、吸盤３２を吸引源３６と大気とに選択的に連通させることができる。

【0018】

制御手段５は、搬送手段３をゴミ箱２に接近する方向とゴミ箱２から離間する方向に相対移動させる機能を有しており、搬送手段３がゴミ箱２に対して接近する方向の移動を停止させる停止制御部５１と、バルブ３５の制御により吸盤３２を大気開放させる開放制御部５２と、搬送手段３をゴミ箱２から離間させる方向に移動させる離間制御部５３とを備えている。

【0019】

なお、加工装置１には、テープに貼着された被加工物を加工する工具を備えているが、工具については図示を省略する。

【0020】

図２に示すテープ１００は、外形が矩形に形成されている。テープ１００は、リングフレーム１０１の開口部１０２を閉塞するように貼着されており、開口部１０２に位置するテープ１００の粘着面１０３には被加工物１０４が貼着されている。図示の例における被加工物１０４は、分割予定ライン１０５が切断されることにより切断溝１０６が形成されて個々のチップ１０７に分割され、さらに、テープ１００を伸長させることによって切断溝１０６が拡張されている。

【0021】

個々のチップ１０７がテープ１００からピックアップされた後、図３に示すように、全体を裏返す。そして、リングフレーム１０１の面方向に対して垂直であってリングフレーム１０１の中心を通る軸１０８を中心としてテープ１００及びリングフレーム１０１を回転させながら、テープ１００超しにリングフレーム１０１の裏面１０９にカッター１１２の先端を押し当て、テープ１００を円形にカットする。そうすると、図４に示すように、外形が矩形でかつ中央部に円形の開口１１０が形成された使用済みのテープ１１１が切り出される。
なお、カッター１１２を開口１１０の中心を通る軸によって軸の周りを周回させテープ１００を円形にカットするようにしてもよい。

【0022】

次に、図５に示すように、搬送手段３の吸盤３２を、テープ１１１の上面（粘着層の反対側の面）に押し当て、図１に示したバルブ３５を開くことにより吸盤３２を吸引源３６に連通させ、吸盤３２に吸引力を発揮させてテープ１１１を吸引保持する。そして、テープ１１１をゴミ箱２の開口部２３の上方に位置させ、制御手段４による制御の下で昇降手段４によって搬送手段３を降下させ、搬送手段４とゴミ箱２とを相対的に接近させ、テープ１１１をゴミ箱２に進入させる。そうすると、テープ１１１の外周端部が、側板２２の内面から突出した突起２４に接触するが、その後も搬送手段３を降下させていくと、テープ１１１がさらに降下していく。

【0023】

搬送手段３をゴミ箱２に接近する方向にさらに下降させていき、これ以上は下降しない位置に達した時、すなわちゴミ箱２にテープ１１１が１枚も収容されていない場合は、搬送手段３が吸引保持したテープ１１１がゴミ箱２の底板２１に当接した時、ゴミ箱２にテープ１１１が１枚以上収容されている場合は、その中で最も上に位置するテープに搬送手段３が吸引保持したテープ１１１が当接した時に、搬送手段３による下方への押圧力によって、荷重センサ６１による計測値があらかじめ設定された所定の値に達する。そうすると、検知手段６によってそのことが検知され、これに対応して制御手段５の停止制御部５１が搬送手段３の下降を停止させる。テープ１１１の下面は粘着面であるため、ゴミ箱２にテープ１１１が１枚も収容されていない場合は、搬送手段３が吸引保持したテープ１１１がゴミ箱２の底板２１に貼着され、ゴミ箱２にテープ１１１が１枚以上収容されている場合は、その中で最も上に位置するテープの非粘着面にテープ１１１が貼着される。

【0024】

次に、制御手段５の解放制御部５２は、バルブ３５を解放して吸盤３２を大気に開放する。そして次に、制御手段５の離間制御部５３は、搬送手段３をゴミ箱２から相対的に離間する方向に移動させる。これにより、吸引保持していたテープ１１１が吸盤３２から離れ、そのテープ１１１が突起２４に押さえられた状態でゴミ箱２に収容される。その後、搬送手段３は、ゴミ箱２の開口部２３からその上方に退避する。

【0025】

このようにして複数のテープ１１１が順次積層されていくと、テープ１１１の中央部に開口部１１０が形成されているため、開口部１１０に対してその外周側の方が相対的にかさばりやすくなるが、テープ１１１の外周端部が突起２４によって押さえられる。突起２４が柔軟な材質からなる場合は、突起２４が変形しつつテープ１１１を押さえつける。

【0026】

図２に示したテープ１００を拡張する際には、拡張装置の把持部が把持した部分に凸凹が生じるが、突起２４によってテープ１１１の外周側の盛り上がりが抑制されるため、テープ１１１を綺麗に積み重ねることができ、より多くのテープ１１１をゴミ箱２に収容することが可能となる。また、テープ１１１の外周側の盛り上がりが抑制されることにより、ゴミ箱２に収容されたテープ１１１が一体化されるため、後の廃棄処理をしやすくなる。

【0027】

なお、荷重センサ６１の計測値は、テープ１１１を積み重ねる毎に大きな値を示す事となる。そのため、ゴミ箱２にテープ１１１を投入する直前に、荷重センサ６１が検知している計測値を基準値として記憶しておき、搬送手段３によりゴミ箱２にテープ１１１を搬入した際に搬送手段３がテープ１１１を下方へ押す押圧することによる荷重センサ６１の計測値の前記基準値からの増分が所定の値に達したら、所定の押圧力で押し込みが成されたと判断するようにして、停止制御部５１が搬送手段３の下降を停止させてもよい。当該所定の値は、ゴミ箱２にテープ１１１を１枚収容するごとに一定値が加算された値とする。
また、荷重センサを備えないで、搬送手段３がゴミ箱２にテープを搬送した回数をカウントさせ、停止制御部５１は、カウントした回数に応じて搬送手段３の停止位置を上げていくという制御をするようにしてもよい。
なお、ゴミ箱２にテープ１１１を投入する直前に、荷重センサ６１が検知している計測値とは、ゴミ箱２が空の状態での計測値や、ゴミ箱２にテープ１１１が投入された状態での計測値を示す。

【0028】

なお、上記実施形態では、ゴミ箱２に荷重センサ６１を設ける構成としたが、搬送手段側に荷重センサを備えてもよい。例えば、図１に示した搬送手段３に代えて、図６に示す搬送手段７を用いることができる。以下では、この搬送手段７において、図１に示した搬送手段３と同様に構成される部位については同一の符号を付し、その説明を省略することとする。

【0029】

搬送パッド３１と吸盤３２との間にはばね７１が介在している。ばね７１の上方には、下面が搬送パッド３１の上面に接した円状の回動板７２が配設されている。回動板７２には、外周側に突出する突起が設けられている。また、搬送パッド３１の上面にはその突起に嵌合するロック部材７３が配設されている。

【0030】

この搬送手段７では、テープ１１１を吸着してゴミ箱２の底板２１又は最も上に位置するテープを押圧すると、ばね７１が収縮する。そして、その押圧する力が所定の力に達すると、ばね７１が一定以上収縮し、ドグ７２が持ち上げられ、センサ７３の投光部と受光部との間のコの字に進入していたドグ７２が、センサ７３から離間するので、受光部が投光部から発光される光を受光して、ドグ２７が持ち上げられたことを検知する。この検知によって停止制御部５１が搬送手段３の下降を停止させる。また、バルブ３５を大気開放させ、吸盤３２が大気に開放され、吸盤３２がテープ１１１の吸着を解除する。

【0031】

なお、例えば搬送パッド３１または、吸盤３２が上方向に移動されたことを検知する近接センサを設け、搬送パッド３１がゴミ箱２の底板２１又は最も上に位置するテープを所定の押圧力で底板２１に向かって押し付けた時に吸盤３２によるテープ１１１の吸着を解除するようにしてもよい。

【符号の説明】

【0032】

１：加工装置
２：ゴミ箱 ２１：底板 ２１１：下面 ２２：側板 ２２１：内面 ２３：開口部
２４：突起
３：搬送手段 ３１：搬送パッド ３２：吸盤 ３３：開口部 ３４：架設部
３５：バルブ ３６：吸引源
４：昇降手段
５：制御手段 ５１：停止制御部 ５２：解放制御部 ５３：離間制御部
６：検知手段 ６１：荷重センサ ６２：判断部
７：搬送手段 ７１：ばね ７２：ドグ ７３：センサ
１００：テープ １０１：フレーム １０２：開口部 １０３：粘着面
１０４：被加工物 １０５：分割予定ライン １０６：切断溝 １０７：チップ
１０８：軸 １０９：裏面 １１０：開口 １１１：使用済みテープ
１１２：カッター

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】