特許7402253インシトゥチャンバ洗浄能力を備えた物理的気相堆積（ＰＶＤ）チャンバ

発明の名称　インシトゥチャンバ洗浄能力を備えた物理的気相堆積（ＰＶＤ）チャンバ

出願人　アプライド　マテリアルズ　インコーポレイテッド　（識別番号 390040660）

　　　　特許公開件数ランキング 43 位（558件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 34 位（556件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7402253

公報発行日　2023年12月20

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7402253

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