特許 7402379 半導体加工装置のアンロック機構、半導体加工装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2023-12-12

(45)【発行日】2023-12-20

(54)【発明の名称】半導体加工装置のアンロック機構、半導体加工装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/673 20060101AFI20231213BHJP

   E05B 65/00 20060101ALI20231213BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 T

E05B65/00 Z

【請求項の数】 11

(21)【出願番号】P 2023507602

(86)(22)【出願日】2021-08-16

(65)【公表番号】

(43)【公表日】2023-08-31

(86)【国際出願番号】 CN2021112751

(87)【国際公開番号】W WO2022037523

(87)【国際公開日】2022-02-24

【審査請求日】2023-03-28

(31)【優先権主張番号】202010853833.8

(32)【優先日】2020-08-21

(33)【優先権主張国・地域又は機関】CN

【早期審査対象出願】

(73)【特許権者】

【識別番号】510182294

【氏名又は名称】北京北方華創微電子装備有限公司

【氏名又は名称原語表記】ＢＥＩＪＩＮＧ ＮＡＵＲＡ ＭＩＣＲＯＥＬＥＣＴＲＯＮＩＣＳ ＥＱＵＩＰＭＥＮＴ ＣＯ．， ＬＴＤ．

【住所又は居所原語表記】ＮＯ．８ Ｗｅｎｃｈａｎｇ Ａｖｅｎｕｅ Ｂｅｉｊｉｎｇ Ｅｃｏｎｏｍｉｃ－Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｃａｌ Ｄｅｖｅｌｏｐｍｅｎｔ Ａｒｅａ， Ｂｅｉｊｉｎｇ １００１７６， Ｃｈｉｎａ

(74)【代理人】

【識別番号】110001771

【氏名又は名称】弁理士法人虎ノ門知的財産事務所

(72)【発明者】

【氏名】スン ジンブォ

【審査官】三浦 みちる

(56)【参考文献】

【文献】特許第４６２０８５４（ＪＰ，Ｂ２）

【文献】特開２００２－３５３２８９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特許第６５４４１２８（ＪＰ，Ｂ２）

【文献】特開２００３－０２３０５７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００３－０７４５１５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００１－２４８６１０（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００２－１６４４０１（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ２１／６７３

Ｅ０５Ｂ ６５／００

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

チップ収容ボックスの封止ドア上のロック本体構造を開閉するための半導体加工装置のアンロック機構であって、前記アンロック機構はキー及び駆動装置を含み、前記キーが前記ロック本体構造のキー溝の内外に移動することができ、且つ前記キーが前記キー溝に挿着して係合され、
前記駆動装置は、前記封止ドアが閉鎖状態である場合に、前記キーを初期位置から前記封止ドアを開放可能状態にすることができる第１所定位置に回転駆動し、前記封止ドアが前記開放可能状態である場合に、前記キーを前記第１所定位置から前記封止ドアを前記閉鎖状態にすることができる第２所定位置に回転駆動することに用いられ、
前記駆動装置は、さらに、前記駆動装置が前記キーを前記第１所定位置から前記第２所定位置に回転駆動した後に、前記キーを前記第２所定位置から前記初期位置に回転駆動することに用いられ、前記キーが前記キー溝と前記初期位置に接触せず、前記キーを前記キー溝から取り出し、
前記駆動装置は伸縮機構及びリンク機構を含み、
前記伸縮機構は予め設定された第１ストローク及び第２ストロークに基づいて前記リンク機構を移動駆動することに用いられ、前記リンク機構が前記キーに接続され、
前記第１ストロークにおいて、前記伸縮機構は常に第１直線方向に沿って前記リンク機構を移動駆動することで、前記封止ドアを前記閉鎖状態から前記開放可能状態に切り替えるように、前記リンク機構は、前記キーを駆動して前記初期位置から第１方向に沿って前記第２所定位置に回転させてから、前記第２所定位置から前記第１方向に反対の第２方向に沿って前記第１所定位置に回転させることができ、
前記第２ストロークにおいて、前記伸縮機構は常に前記第１直線方向に反対の第２直線方向に沿って前記リンク機構を移動駆動することで、前記封止ドアを前記開放可能状態から前記閉鎖状態に切り替えるように、前記リンク機構は、前記キーを駆動して前記第１所定位置から前記第１方向に沿って前記第２所定位置に回転させてから、前記第２所定位置から前記第２方向に沿って前記初期位置に戻させることができる、ことを特徴とする半導体加工装置のアンロック機構。

【請求項2】

前記リンク機構は第１リンク及び第２リンクを含み、前記第１リンクの第１端が前記伸縮機構の伸縮ロッドにヒンジ接続され、前記第１リンクの第２端が前記第２リンクの第１端にヒンジ接続され、前記キーが前記第２リンクの第２端に接続され、
前記伸縮機構の駆動で、前記第１リンクは前記第２リンクの第１端を駆動して前記第１方向又は前記第２方向に沿って前記第２リンクの第２端の周りに回転させることができ、それと同時に、前記第２リンクは前記キーを駆動して同心的に回転させることができる、ことを特徴とする請求項１に記載のアンロック機構。

【請求項3】

前記キー溝、前記キー及び前記第２リンクはいずれも少なくとも２つであり、前記第２リンクが前記キーに１対１で対応して接続され、各前記キーはこれに対応する前記キー溝の内外に移動することができ、前記アンロック機構は連動機構をさらに含み、少なくとも２つの前記第２リンクが前記連動機構によって接続され、前記第１リンクの第２端がそのうち１つの前記第２リンクの第１端にヒンジ接続され、前記伸縮機構の駆動で、前記第１リンクは前記連動機構によって少なくとも２つの前記第２リンクを駆動して同期回転させることができる、ことを特徴とする請求項２に記載のアンロック機構。

【請求項4】

各前記第２リンクはいずれも本体及び接続部を含み、前記第１リンクの第２端が前記本体にヒンジ接続され、前記連動機構が各前記第２リンクの前記接続部に接続される、ことを特徴とする請求項３に記載のアンロック機構。

【請求項5】

前記連動機構は接続ロッドを含み、各前記接続部がいずれも前記接続ロッドにヒンジ接続される、ことを特徴とする請求項４に記載のアンロック機構。

【請求項6】

前記伸縮機構の伸縮ロッドが前記第１ストローク又は前記第２ストロークに基づいて移動する距離を制限するための位置規制部をさらに含む、ことを特徴とする請求項１～５のいずれか１項に記載のアンロック機構。

【請求項7】

前記位置規制部はストッパー及び止めブロックを含み、前記ストッパーが固定して設けられ、前記止めブロックは前記伸縮ロッドに設けられ、且つ前記伸縮ロッドが前記第１ストローク又は前記第２ストロークに基づいて移動する過程で前記ストッパーに接触して、前記伸縮ロッドが継続的に移動しないようにすることができる、ことを特徴とする請求項６に記載のアンロック機構。

【請求項8】

前記伸縮機構はリニアモーター又はシリンダーである、ことを特徴とする請求項１～５のいずれか１項に記載のアンロック機構。

【請求項9】

前記ロック本体構造は回転盤及びロックレバーを含み、前記ロックレバーは前記封止ドアに可動に接続され、且つ前記封止ドアを前記閉鎖状態にするロック位置、又は前記封止ドアを前記開放可能状態にするロック解除位置に、移動することができ、
前記回転盤が前記ロックレバーに可動に接続され、且つ前記回転盤が接続部品に固定して接続され、前記接続部品に前記キー溝が設けられ、前記駆動装置が前記キー溝に位置する前記キーを回転駆動する時に、前記回転盤が同期して前記ロックレバーを前記ロック位置又は前記ロック解除位置に移動駆動するように、前記キーは前記回転盤を回転駆動する、ことを特徴とする請求項１～５のいずれか１項に記載のアンロック機構。

【請求項10】

前記回転盤には円弧状溝が開けられ、前記ロック本体構造は、一端が前記回転盤に可動に接続され、前記円弧状溝に沿って回転可能であり、他端が前記ロックレバーに固定して接続される摺動部材をさらに含む、ことを特徴とする請求項９に記載のアンロック機構。

【請求項11】

チップ収容ボックスの封止ドア及びアンロック機構を含み、前記封止ドアにはロック本体構造が設けられ、前記アンロック機構が前記ロック本体構造を開閉することに用いられる半導体加工装置であって、前記アンロック機構が請求項１～１０のいずれか１項に記載のアンロック機構を用いる、ことを特徴とする半導体加工装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本願は、半導体加工装置の技術分野に関し、特に半導体加工装置のアンロック機構、半導体加工装置に関する。

【背景技術】

【0002】

半導体加工装置では、成膜の均一性、成膜の品質、金属イオン汚染の抑制及び粒子汚染の抑制等の重要なプロセスパラメータが非常に強く要求されている。ウェハーの製造において、微粒子の汚染はウェハーの生産歩留まりに影響を与える主な要因の１つであり、従って粒子のウェハーへの汚染を厳密に抑制する必要がある。

【0003】

現在、粒子のウェハーへの汚染を抑制するために、半導体生産プロセス作業場内に、一般的に、チップ収容ボックス（又はウェハカセットとも呼ばれる）でウェハーを収容及び転送する。従来のチップ収容ボックスは、一側に開口を有するボックス本体及び該開口を封止するためのカバーを含み、該カバーがボックス本体に可動に接続され、且つ該カバーがロック本体構造をさらに有し、通常の状況で、アンロック機構の移動によって該ロック本体構造による封止ドアのロック又はロック解除を制御することで、カバーの閉鎖状態と開放可能状態との間の切り替えを制御する。

【0004】

具体的には、通常、アンロック構造のキーをロック本体構造のキー溝に挿入し、且つキーを回転することによりカバーの閉鎖状態と開放可能状態との間の切り替えを実現し、しかしながら、キー溝からキーを取り出す必要がある場合に、キーとキー溝との間には接触による摩擦が生じ、摩擦により生じた粒子がウェハーを汚染し、さらにウェハーの生産歩留まりに影響を与える恐れがある。

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

本願は、半導体加工装置を開示し、アンロック過程で粒子が発生してウェハーを汚染しやすいという問題を解決することができる。

【課題を解決するための手段】

【0006】

上記問題を解決するために、本願は以下の技術的解決手段を採用する。

【0007】

本願の実施例は、チップ収容ボックスの封止ドア上のロック本体構造を開閉するための半導体加工装置のアンロック機構を開示し、前記アンロック機構はキー及び駆動装置を含み、前記キーが前記ロック本体構造のキー溝の内外に移動することができ、且つ前記キーが前記キー溝に挿着して係合され、
前記駆動装置は、前記キーに接続され、前記封止ドアが閉鎖状態である場合に、前記キーを初期位置から前記封止ドアを開放可能状態にすることができる第１所定位置に回転駆動し、前記封止ドアが前記開放可能状態である場合に、前記キーを前記第１所定位置から前記封止ドアを前記閉鎖状態にすることができる第２所定位置に回転駆動することに用いられ、
前記駆動装置は、さらに、前記駆動装置が前記キーを前記第１所定位置から前記第２所定位置に回転駆動した後に、前記キーを前記第２所定位置から前記初期位置に回転駆動することに用いられ、前記キーが前記キー溝と前記初期位置に接触しない。

【0008】

別の技術的解決手段として、本願の実施例は、さらに、チップ収容ボックスの封止ドア及びアンロック機構を含み、前記封止ドアにはロック本体構造が設けられ、前記アンロック機構が前記ロック本体構造を開閉することに用いられる半導体加工装置であって、前記アンロック機構が本願の実施例に開示される上記アンロック機構を用いることを特徴とする半導体加工装置を開示する。

【発明の効果】

【0009】

本願が用いる技術的解決手段は以下の有益な効果を有する。

【0010】

本願に開示されている半導体加工装置のアンロック機構の技術的解決手段では、駆動装置はキーに接続され、封止ドアが閉鎖状態である場合に、キーを初期位置から封止ドアを開放可能状態にすることができる第１所定位置に回転駆動し、封止ドアが開放可能状態である場合に、キーを第１所定位置から封止ドアを閉鎖状態にすることができる第２所定位置に回転駆動することに用いられ、それにより封止ドアの開放可能状態と閉鎖状態との間の切り替えを実現することができる。それと同時に、上記駆動装置は、駆動装置がキーを第１所定位置から第２所定位置に回転駆動した後に、キーを上記第２所定位置から初期位置に回転駆動することにさらに用いられ、キーとキー溝が該初期位置に接触せず、つまり、上記駆動装置は、封止ドアの閉鎖を確保するようにキーを第２所定位置に回転駆動した後、キーを該第２所定位置から初期位置に回転駆動し、該初期位置でキーがキー溝に接触しないため、この時、キー溝からキーを取り出すと、キーとキー溝との間に摩擦が生じにくく、それにより粒子の生成を減らし、粒子のウェハーへの汚染を軽減し、さらにウェハーの生産歩留まりを向上させることができ、最終的に、アンロック過程でウェハーが汚染されやすいという問題を解決する。

【0011】

本願に開示されている半導体加工装置は、本願の実施例に開示されている上記アンロック機構を用いることにより、粒子の生成を減らし、粒子のウェハーへの汚染を軽減し、さらにウェハーの生産歩留まりを向上させることができ、最終的に、アンロック過程でウェハーが汚染されやすいという問題を解決する。

【図面の簡単な説明】

【0012】

ここで説明した図面は本願に対する更なる理解を提供するために用いられ、本願の一部を構成し、本願の例示的な実施例及びその説明は本願を説明するために用いられ、本願を不当に限定するものではない。図面において、

【図1】本願の実施例に開示されている半導体加工装置の構造模式図である。

【図2】本願の実施例に開示されているチップ収容ボックスの構造模式図である。

【図3】本願の実施例に開示されているロック本体構造のロック状態での構造模式図である。

【図4】キーとキー溝の位置関係図である。

【図5】本願の実施例に開示されているロック本体構造のロック解除状態での構造模式図である。

【図6】本願の実施例に開示されているアンロック機構の１つの視点での一部の構造模式図である。

【図7】本願の実施例に開示されているアンロック機構の別の視点での一部の構造模式図である。

【図8】図３の部分拡大模式図である。

【図9】図５の部分拡大模式図である。

【図10A】本願の実施例に開示されている駆動装置の第１ストロークでの移動過程図である。

【図10B】本願の実施例に開示されている駆動装置の第２ストロークでの移動過程図である。

【発明を実施するための形態】

【0013】

本願の目的、技術的解決手段及び利点をより明確にするために、以下は本願の具体的な実施例及び対応する図面を参照しつつ本願の技術的解決手段を明瞭で完全に説明する。明らかに、説明された実施例は本願の一部の実施例にすぎず、全ての実施例ではない。本願の実施例に基づき、当業者が創造的な労働をせずに得られた全ての他の実施例は、いずれも本願の保護範囲に属する。

【0014】

本願の明細書及び特許請求の範囲における用語「第１」、「第２」等は類似する対象を区別するために用いられ、特定の順序又は前後順序を説明するために用いられない。このように使用されるデータは、本願の実施例が本明細書で図示または説明されているもの以外の順序で実施できるように、適切な場合に交換可能であることを理解すべきである。そして、「第１」、「第２」等の区分された対象は通常同じ種類のものであり、対象の個数は限定されず、例えば、第１対象は１つであってもよいし、複数であってもよい。また、明細書及び特許請求の範囲における「及び／又は」は接続対象の少なくとも一つを示し、文字「／」は、一般的に前後の関連対象が「又は」の関係を有していることを示す。

【0015】

以下は図面を参照しつつ具体的な実施例及びその応用シーンによって本願の各実施例に開示される技術的解決手段を詳細に説明する。

【0016】

図１に示すように、本願の実施例は半導体加工装置を開示し、開示されている半導体加工装置はチャンバー部１００及びアンロック機構３００を含み、一般的に、チャンバー部１００は伝送チャンバー、プロセスチャンバー等を含んでもよく、該半導体加工装置が使用したチップ収容ボックス２００がチャンバー部１００の外に位置し、図２及び図３に示すように、チップ収容ボックス２００はボックス本体２１０及び該ボックス本体２１０に可動に接続された封止ドア２２０を含み、封止ドア２２０には、封止ドア２２０をロック又はロック解除して、閉鎖状態又は開放可能状態にすることができるためのロック本体構造２３０が設けられ、閉鎖状態とは、封止ドア２２０がボックス本体２１０と係止する位置にあり、且つ封止ドア２２０がロック本体構造２３０のロックにより開放できない状態を指し、開放可能状態とは、封止ドア２２０がボックス本体２１０と係止する位置にあるが、封止ドア２２０が開放できる状態を指す。アンロック機構３００は、ロック本体構造２３０による封止ドア２２０のロック又はロック解除を実現するように、上記ロック本体構造２３０を開閉することに用いられる。

【0017】

具体的な作業過程で、ウェハーが最初チップ収容ボックス２００内に配置され、対応するマニピュレーターによって、チップ収容ボックス２００をアンロック機構３００の前端の一側に設けられた載置台（例えば、図１におけるチップ収容ボックス２００の位置）に伝送し、次に、ロック本体構造２３０による封止ドア２２０のロックを解除するように、アンロック機構３００によってロック本体構造２３０をアンロックすることで、封止ドア２２０を開放することができ、この状態で、チャンバー部１００中のマニピュレーターによってチップ収容ボックス２００内のウェハーをチャンバー部１００中のウェハーボートに転送し、次にウェハーボートでチャンバー部１００内に送って加工し、ウェハー加工が完了した後に、チャンバー部１００中のマニピュレーターによってウェハーをチップ収容ボックス２００内に再び入れ、次に封止ドア２２０を閉鎖し、アンロック機構３００によってロック本体構造２３０を閉鎖し、ロック本体構造２３０が封止ドア２２０をロックし、プロセスを完了する。

【0018】

具体的には、図３、図６及び図７に示すように、ロック本体構造２３０にはキー溝２３１が開けられ、アンロック機構３００はキー３１０及び駆動装置３２０を含み、キー３１０がキー溝２３１の内外に移動することができ、駆動装置が前記キーに接続され、キー３１０がキー溝２３１内に移動した後、駆動装置３２０はキー３１０を回転駆動することで、キー溝２３１をそれに伴って回転駆動することができる。キー３１０の内外への移動を便利にするために、キー溝２３１の寸法がキー３１０の寸法よりも僅かに大きく、すなわち、キー３１０とキー溝２３１との間に隙間があり、このようにして、キー３１０とキー溝２３１の回転角度が異なる。例えば、図４に示すように、キー３１０が水平状態から反時計回り方向に沿ってθ角度（すなわち、９０°）回転する場合に、キー３１０が垂直状態であり、両者の間に隙間があるため、キー溝２３１はキー３１０に伴って（θ－α）角度しか回転できず、この時、キー３１０とキー溝２３１の回転角度には差分αがあり、該差分αの大きさが上記隙間によって決められる。同様に、キー３１０が垂直状態から時計回り方向に沿ってθ角度（すなわち、９０°）回転する場合に、キー３１０とキー溝２３１の回転角度には同様に差分αがある。差分αが存在するため、ロック本体構造２３０は、キー溝２３１が所定の位置に回転しないので正常にロック又はロック解除することができず、その結果、封止ドア２２０が正常に開閉できない。

【0019】

上記問題を解決するために、駆動装置３２０は、封止ドア２２０が閉鎖状態である場合に、キー３１０を初期位置から封止ドア２２０を開放可能状態にすることができる第１所定位置に回転駆動し、封止ドア２２０が開放可能状態である場合に、キー３１０を第１所定位置から封止ドア２２０を閉鎖状態にすることができる第２所定位置に回転駆動することに用いられる。具体的には、上記第１所定位置は封止ドア２２０が開放可能状態であり、すなわち、正常に開放できるように確保することを満たし、上記第２所定位置は、封止ドア２２０が閉鎖状態であり、すなわち、正常に閉鎖できるように確保することを満たす。

【0020】

キー溝２３１が垂直状態である場合に、封止ドア２２０は閉鎖状態であり、キー溝２３１が水平状態である場合に、封止ドア２２０は開放可能状態であり、封止ドア２２０を閉鎖状態から開放可能状態に切り替える必要がある場合に、キー３１０をキー溝２３１に挿入し、この時にキー３１０が垂直状態であり、該状態の対応する位置が初期位置であり、次に、駆動装置３２０によってキー３１０を垂直状態から時計回り方向に沿って（θ＋α）角度回転駆動する時、キー３１０が上記第１所定位置にあり、キー溝２３１はキー３１０に伴ってθ角度回転し、すなわち水平状態になることができ、それにより封止ドア２２０を開放可能状態に切り替える。封止ドア２２０を開放可能状態から閉鎖状態に切り替える必要がある場合に、駆動装置３２０によってキー３１０を上記第１所定位置から反時計回り方向に沿って（θ＋２α）角度回転駆動する時、キー３１０が上記第２所定位置にあり、キー溝２３１はキー３１０に伴ってθ角度回転し、すなわち垂直状態になることができ、それにより封止ドア２２０を閉鎖状態に切り替える。これにより、封止ドア２２０が正常に開閉できることを確保できる。

【0021】

これに基づき、駆動装置３２０は、さらに、駆動装置３２０がキー３１０を上記第１所定位置から上記第２所定位置に回転駆動した後に、キー３１０を該第２所定位置から初期位置に回転駆動することに用いられ、キー３１０がキー溝２３１と上記初期位置に接触しない。具体的には、キー３１０が上記第２所定位置にある場合に、垂直状態であるキー溝２３１との間に夾角（すなわち、差分α）があり、その結果、キー３１０とキー溝２３１が相互に接触し（図４参照）、この時、キー溝２３１からキー３１０を取り出すと、キー３１０とキー溝２３１との間に摩擦が生じ、粒子が発生し、粒子がウェハーを汚染する恐れがある。このため、駆動装置３２０によりキー３１０を第２所定位置から初期位置に回転駆動することで、キー３１０を垂直状態にして、キー３１０とキー溝２３１とを接触しないようにすることができ、この時、キー溝２３１からキー３１０を取り出すと、キー３１０とキー溝２３１との間に摩擦が生じにくく、それにより粒子の生成を減らし、粒子のウェハーへの汚染を軽減し、さらにウェハーの生産歩留まりを向上させることができ、最終的に、アンロック過程でウェハーが汚染されやすいという問題を解決する。

【0022】

具体的な作業過程で、キー３１０をキー溝２３１内に移動して、キー３１０をキー溝２３１に挿着して係合し、次に駆動装置３２０が作動し始め、キー３１０を上記第１所定位置に回転駆動し、それにより封止ドア２２０を正常に開放できることを確保し、封止ドア２２０が開放された後、マニピュレーターによってチップ収容ボックス２００内のウェハーをチャンバー部１００内に転送して加工し、ウェハー加工が完了した後、マニピュレーターによってウェハーをチップ収容ボックス２００内に再び入れ、この時、駆動装置３２０によりキー３１０を上記第１所定位置から上記第２所定位置に回転駆動することで、封止ドア２２０を正常に閉鎖できることを確保し、その後、駆動装置３２０によりキー３１０を第２所定位置から上記初期位置に回転駆動することで、キー３１０とキー溝２３１とを接触しないようにし、次に、キー３１０をキー溝２３１から取り出し、プロセスを完了する。

【0023】

これにより、本願に開示されているアンロック機構３００は、封止ドア２２０が正常に開閉できることを確保することができると同時に、粒子の生成を減らし、粒子のウェハーへの汚染を軽減し、さらにウェハーの生産歩留まりを向上させることができ、最終的に、アンロック過程でウェハーが汚染されやすいという問題を解決する。

【0024】

選択的に、上記駆動装置３２０は伸縮機構３２１及びリンク機構を含み、伸縮機構３２１は予め設定された第１ストローク及び第２ストロークに基づいて上記リンク機構を移動駆動することに用いられ、該リンク機構がキー３１０に接続される。キー溝２３１が垂直状態であると仮定すると、封止ドア２２０は閉鎖状態であり、キー溝２３１が水平状態であると、封止ドア２２０は開放可能状態であり、図１０Ａに示すように、封止ドア２２０を閉鎖状態から開放可能状態に切り替える必要がある場合に、キー３１０をキー溝２３１に挿入し、この時にキー３１０が垂直状態であり、該状態の対応する位置が初期位置（すなわち、図１０Ａにおける（１）図の位置）である。

【0025】

上記第１ストロークにおいて、伸縮機構３２１は常に第１直線方向（すなわち、図１０Ａにおける方向Ａ）に沿って上記リンク機構を移動駆動することで、該リンク機構は、キー３１０を駆動して初期位置から第１方向（すなわち、図１０Ａにおける反時計回り方向）に沿って上記第２所定位置（図示せず）に回転させてから、該第２所定位置から該第１方向に反対の第２方向（すなわち、図１０Ａにおける時計回り方向）に沿って上記第１所定位置（すなわち、図１０Ａにおける（３）図の位置）に回転させることができ、このとき、キー溝２３１が水平状態になることができ、封止ドア２２０が閉鎖状態から開放可能状態に切り替えることが実現される。なお、図１０Ａに示すように、キー３１０が初期位置から上記第１所定位置に回転する過程で、キー３１０が水平状態（すなわち、図１０Ａにおける（２）図の位置）に回転するとき、キー溝２３１は水平状態に回転しておらず、この時、封止ドア２２０が正常に開放できず、キー３１０が水平状態から上記第１所定位置に継続的に回転するとき、キー溝２３１が水平状態に回転し、この時、封止ドア２２０が正常に開放できる。

【0026】

封止ドア２２０を開放可能状態から閉鎖状態に切り替える必要がある場合に、図１０Ｂに示すように、上記第２ストロークにおいて、伸縮機構３２１は常に上記第１直線方向に反対の第２直線方向（すなわち、図１０Ａにおける方向Ｂ）に沿ってリンク機構を移動駆動することで、該リンク機構は、キー３１０を駆動して上記第１所定位置（すなわち、図１０Ａにおける（３）図の位置）から第１方向（すなわち、図１０Ｂにおける反時計回り方向）に沿って上記第２所定位置（すなわち、図１０Ｂにおける（２）図の位置）に回転させてから、該第２所定位置から第２方向（すなわち、図１０Ｂにおける時計回り方向）に沿って上記初期位置に戻させることができ、封止ドア２２０が開放可能状態から閉鎖状態に切り替えることが実現される。なお、図１０Ｂに示すように、キー３１０が第１所定位置から上記第２所定位置に回転する過程で、キー３１０が垂直状態（すなわち、図１０Ｂにおける（１）図の位置）に回転するとき、キー溝２３１は垂直状態に回転しておらず、この時、封止ドア２２０が正常に閉鎖できず、キー３１０が垂直状態から上記第２所定位置に継続的に回転するとき、キー溝２３１が垂直状態に回転し、この時、封止ドア２２０が正常に閉鎖できる。

【0027】

【表1】

【0028】

上記表１から明らかなように、上記第１ストロークにおいて、伸縮機構３２１は常に第１直線方向に沿って上記リンク機構を移動駆動し、キー３１０がリンク機構の駆動で反時計回りに回転した後、時計回りに回転し、すなわち、回転方向が変化し、上記第２ストロークにおいて、伸縮機構３２１は常に第２直線方向に沿って上記リンク機構を移動駆動し、キー３１０がリンク機構の駆動で反時計回りに回転した後、時計回りに回転し、回転方向も変化し、第２ストロークにおいて、このような回転方向が変化することにより、キー３１０が第２所定位置から初期位置に回転し、キー３１０がキー溝２３１と上記初期位置に接触しない目的を達成することができ、また、伸縮機構３２１が方向を変化しないように同一の方向に維持することができるため、伸縮機構３２１が途中で転舵する必要がなく、複数回で伸縮する必要がなく、複数点で位置決めを行う必要もなく、それにより、伸縮機構３２１の移動を簡単にし、作業者の制御を容易にするとともに、伸縮機構３２１が破損しにくく、且つ伸縮機構３２１としてリニアモーターとシリンダーの両方を用いることができ、それにより、伸縮機構３２１の選択範囲を広げることができる。実際の応用において、上記第１ストロークは伸縮機構３２１の後退ストロークであってもよく、第２ストロークは伸縮機構３２１の伸張ストロークであってもよい。

【0029】

上記解決手段を実現するリンク機構は様々であり、例えば、図６及び図７に示すように、該リンク機構は第１リンク３２２及び第２リンク３２３を含み、第１リンク３２２の第１端が伸縮機構３２１の伸縮ロッドにヒンジ接続され、第１リンク３２２の第２端が第２リンク３２３の第１端にヒンジ接続され、キー３１０が第２リンク３２３の第２端に接続される。伸縮機構３２１の駆動で、第１リンク３２２は第２リンク３２３の第１端を駆動して上記第１方向又は上記第２方向に沿って第２リンク３２３の第２端の周りに回転させることができ、それと同時に、第２リンク３２３はキー３１０を駆動して同心的に回転させることができ、つまり、第２リンク３２３の回転中心がキー３１０の回転中心と重なる。

【0030】

上記第１ストローク又は第２ストロークにおいて、伸縮機構３２１は上記第１リンク３２２を移動駆動し、該第１リンク３２２が第２リンク３２３を駆動して第１方向又は第２方向に沿って回転させ、それによりキー３１０を駆動して第１方向又は第２方向に沿って回転させる。実際の応用において、キー３１０が上記第１ストローク及び第２ストロークにおける回転方向、位置及び角度を達成できるように、具体的なニーズに応じて第１リンク３２２と第２リンク３２３の構造及び寸法を設計することができる。

【0031】

通常の場合、封止ドア２２０の安定性を向上させるために、封止ドア２２０には通常少なくとも２つのロック本体構造２３０が設けられ、少なくとも２つのロック本体構造２３０は封止ドア２２０が閉鎖状態である場合に封止ドア２２０をボックス本体２１０に安定して接続することができ、アンロック機構３００が少なくとも２つのロック本体構造２３０を同時にアンロックすることを容易し、アンロック効率を向上させるために、選択的に、キー溝２３１、キー３１０及び第２リンク３２３はいずれも少なくとも２つであってもよく、第２リンク３２３がキー３１０に１対１で対応して接続され、各キー３１０はこれに対応するキー溝の内外に移動することができ、図６及び図７に示すように、アンロック機構３００は連動機構３３０をさらに含んでもよく、少なくとも２つの第２リンク３２３が連動機構３３０によって接続され、第１リンク３２２の第２端がそのうち１つの第２リンク３２３の第１端にヒンジ接続され、伸縮機構３２１の駆動で、第１リンク３２２は連動機構３３０によって少なくとも２つの第２リンク３２３を駆動して同期回転させることができ、それにより、少なくとも２つのキー３１０を駆動して同期回転し、さらに少なくとも２つのロック本体構造２３０を同時にアンロックすることを実現する。

【0032】

上記構造及び作業過程から明らかなように、該アンロック機構３００は少なくとも２つのキー３１０を有し、且つ少なくとも２つのキー３１０が同期回転することができ、それにより封止ドア２２０上の少なくとも２つのロック本体構造２３０の同期アンロック又はロックを実現し、アンロック効率を向上させることができる。これと同時に、連動機構３３０の設置により、単一の駆動装置３２０が少なくとも２つのキー３１０を同時に駆動し同期回転させることを実現でき、それにより、アンロック機構３００の構造の複雑さを低減させるとともに、アンロック機構３００のコストを削減することができる。

【0033】

選択的に、第２リンク３２３は本体及び接続部３１１を含んでもよく、第１リンク３２２の第２端が該本体にヒンジ接続され、連動機構３３０が各第２リンク３２３の接続部３１１に接続される。キー３１０が本体と同心的に回転し、接続部３１１は連動機構３３０と第２リンク３２３に接続位置を提供し、連動機構３３０と第２リンク３２３の接続を便利にすることができ、それにより、作業者によるアンロック機構３００の取り付けを便利にし、設計者の設計難度を低減する。

【0034】

上記のように、駆動装置３２０は連動機構３３０によって少なくとも２つの第２リンク３２３を同期駆動して回転させることができ、選択的に、連動機構３３０は接続ロッドを含んでもよく、各接続部３１１がいずれも接続ロッドにヒンジ接続される。そのうち１つの接続部３１１が回転する時に、接続ロッドを移動駆動し、それにより他の接続部３１１を回転駆動する。このような連動機構３３０は構成が簡単で、便利に設置でき、コストが低く、且つ接続ロッドの伝動効果が比較的良好である。さらに、接続ロッドが伸縮ロッドであってもよく、作業者がキー３１０の回転角度を便利に調整でき、キー３１０が完全にアンロック又はロックすることができる。

【0035】

キー３１０のアンロック又はロックの精度を向上させ、キー３１０の過剰回転を回避するために、選択的に、アンロック機構３００は位置規制部３４０をさらに含んでもよく、位置規制部３４０は伸縮機構３２１の伸縮ロッドが上記第１ストローク又は第２ストロークに基づいて移動する距離、すなわち、伸縮機構３２１の第１直線方向又は第２直線方向に沿った変位量を制限し、キー３１０の過剰回転を回避することに用いられてもよく、それにより、キー３１０を所定の位置に正確に回転させ、さらにキー３１０のアンロック又はロックの精度を向上させる。

【0036】

選択的に、位置規制部３４０はストッパー３４１及び止めブロック３４２を含んでもよく、ストッパー３４１が固定して設けられてもよく、止めブロック３４２は伸縮ロッドに設けられ、且つ伸縮ロッドが上記第１ストローク又は第２ストロークに基づいて移動する過程でストッパー３４１に接触して、伸縮ロッドが継続的に移動しないようにすることができる。このような位置規制過程がシンプルであり、且つ位置規制が信頼できる。さらに、弾性的な位置規制を実現し、激しい接触を回避するように、止めブロック３４２は弾性ブロックであってもよく、又は止めブロック３４２に弾性部品が設けられ得る。

【0037】

本願の実施例では、伸縮機構３２１の種類は様々であり、例えば油圧伸縮ロッドであり、選択的に、伸縮機構３２１はリニアモーター又はシリンダーであってもよい。リニアモーターとシリンダーの駆動が信頼でき、技術が成熟しており、アンロック機構３００の安定性の向上に有利である。

【0038】

選択的に、図３及び図５に示すように、ロック本体構造２３０はキー溝２３１、回転盤２３２及びロックレバー２３３をさらに含んでもよく、ロックレバー２３３は封止ドア２２０に可動に接続され、且つ封止ドア２２０を閉鎖状態にするロック位置（すなわち、図３におけるロックレバー２３３の位置）、又は封止ドア２２０を開放可能状態にするロック解除位置（すなわち、図５におけるロックレバー２３３の位置）に、移動することができる。具体的には、図３に示すように、ロックレバー２３３の一端は、ボックス本体２１０中の対応する固定溝に伸び込むことができるように、封止ドア２２０の側辺に対して該側辺の外側に延出し、それにより封止ドア２２０のロックを実現する。図５に示すように、ロックレバー２３３の一端は、ボックス本体２１０中の対応する固定溝から離れることができるように、封止ドア２２０の側辺の内側に後退し、それにより封止ドア２２０のロック解除を実現する。

【0039】

回転盤２３２はロックレバー２３３に可動に接続され、且つ回転盤２３２が接続部品に固定して接続され、該接続部品に上記キー溝２３１が設けられ、上記駆動装置３２０がキー溝３１０に位置するキー３１０を回転駆動する時に、回転盤２３２が同期してロックレバー２３３を上記ロック位置又は前記ロック解除位置に移動駆動するように、キー３１０はキー溝３１０と連係することで、回転盤２３２を回転駆動する。このような構造のロック本体構造２３０は構成が簡単で信頼でき、便利に設置でき、それによりアンロック機構３００の構造の複雑さを低減させ、設計者の設計難度を低減することができる。

【0040】

回転盤２３２とロックレバー２３３の可動接続の方式が様々であり、例えば、図８及び図９に示すように、回転盤２３２には円弧状溝２３２ａが開けられ、アンロック機構３００は、一端が回転盤２３２に可動に接続され、円弧状溝２３２ａに沿って回転可能であり、他端がロックレバー２３３に固定して接続される摺動部材２３３ａをさらに含む。上記摺動部材２３３ａとして、例えばロックレバー２３３に設けられ、且つ該ロックレバー２３３のレバー本体に対して突出する凸起が挙げられ、該凸起は上記円弧状溝２３２ａ内に穿設され、且つ円弧状溝２３２ａに沿って回転できる。

【0041】

選択的に、ロックレバー２３３が複数であり、且つ対になって設けられ、対になった２つのロックレバー２３３は図３及び図５における垂直方向で間隔を空けて設けられ、且つ両者の間隔には回転盤２３２が設けられ、例えば、図３及び図５には２対のロックレバー２３３が設けられ、この場合、対応する回転盤２３２が２つである。各回転盤２３２に対応して、上記円弧状溝２３２ａは２つであり、且つ回転盤２３２の回転中心に対して対称的に設けられ、且つ摺動部材２３３ａは２つであり、両者の一端がそれぞれ対になった２つのロックレバー２３３に接続され、両者の他端が回転盤２３２に可動に接続され、それぞれ２つの円弧状溝２３２ａに沿って回転することができる。

【0042】

図８に示すように、キー溝２３１が垂直状態である場合に、摺動部材２３３ａは円弧状溝２３２ａの一端に位置し、キー溝２３１がキー３１０の駆動で時計回り回転するとき、回転盤２３２がそれに伴って時計回りに回転し、同時に、摺動部材２３３ａは円弧状溝２３２ａに沿って摺動し、ロックレバー２３３を移動駆動し、図９に示すように、対になった２つのロックレバー２３３は、摺動部材２３３ａが円弧状溝２３２ａの他端に摺動するまで互いに接近する方向に移動し、回転盤２３２は摺動部材２３３ａと円弧状溝２３２ａとの滑り嵌めによりロックレバー２３３を移動駆動し、アンロック機構３００の構造の複雑さをさらに低減させ、設計者の設計難度を低減することができる。

【0043】

勿論、実際の応用において、回転盤２３２はその他の任意の構造でロックレバー２３３を移動駆動することができ、例えば、回転盤２３２にはギアが設けられてもよく、ロックレバー２３３にはラックが設けられてもよく、回転盤２３２がギアとラックとの噛み合いによりロックレバー２３３を移動駆動する。又は、例えば、回転盤２３２とロックレバー２３３はさらにカム機構、クランクスライダー構造及びスパイラル伝動機構等で実現できる。

【0044】

別の技術的解決手段として、本願の実施例は半導体加工装置をさらに提供し、図１に示される半導体装置を例とし、開示されている半導体加工装置はチャンバー部１００及びアンロック機構３００を含み、一般的に、チャンバー部１００は伝送チャンバー、プロセスチャンバー等を含んでもよく、該半導体加工装置が使用したチップ収容ボックス２００がチャンバー部１００の外に位置し、図２及び図３に示すように、チップ収容ボックス２００はボックス本体２１０及び該ボックス本体２１０に可動に接続された封止ドア２２０を含み、封止ドア２２０には、封止ドア２２０をロック又はロック解除して、閉鎖状態又は開放可能状態にすることができるためのロック本体構造２３０が設けられる。アンロック機構３００は、ロック本体構造２３０による封止ドア２２０のロック又はロック解除を実現するように、上記ロック本体構造２３０を開閉することに用いられ、アンロック機構は本願の実施例に開示されている上記アンロック機構を用いる。

【0045】

以上のように、本願に開示されている半導体加工装置のアンロック機構、半導体加工装置の技術的解決手段では、駆動装置はキーに接続され、封止ドアが閉鎖状態である場合に、キーを初期位置から封止ドアを開放可能状態にすることができる第１所定位置に回転駆動し、封止ドアが開放可能状態である場合に、キーを第１所定位置から封止ドアを閉鎖状態にすることができる第２所定位置に回転駆動することに用いられ、それにより封止ドアの開放可能状態と閉鎖状態との間の切り替えを実現することができる。それと同時に、上記駆動装置は、駆動装置がキーを第１所定位置から第２所定位置に回転駆動した後に、キーを上記第２所定位置から初期位置に回転駆動することにさらに用いられ、キーとキー溝が該初期位置に接触せず、つまり、上記駆動装置は、封止ドアの閉鎖を確保するようにキーを第２所定位置に回転駆動した後、キーを該第２所定位置から初期位置に回転駆動し、該初期位置でキーがキー溝に接触しないため、この時、キー溝からキーを取り出すと、キーとキー溝との間に摩擦が生じにくく、それにより粒子の生成を減らし、粒子のウェハーへの汚染を軽減し、さらにウェハーの生産歩留まりを向上させることができ、最終的に、アンロック過程でウェハーが汚染されやすいという問題を解決する。

【0046】

本願の上記の実施例において重点的に説明するのは各実施例の間の相違であるが、各実施例の間の異なる最適化特徴は矛盾しない限り、いずれもより優れた実施例を組み合わせて形成することができ、文の流れの簡潔を考慮すると、ここで説明を省略する。

【0047】

以上は本願の実施例に過ぎず、本願を限定するものではない。当業者であれば、本願は様々な変更や変化が可能である。本願の精神と原理を逸脱せずに行われたいかなる修正、均等置換、改善などは、いずれも本願の特許請求の範囲内に含まれるべきである。

【符号の説明】

【0048】

１００ チャンバー部
２００ チップ収容ボックス
２１０ ボックス本体
２２０ 封止ドア
２３０ ロック本体構造
２３１ キー溝
２３２ 回転盤
２３２ａ 円弧状溝
２３３ ロックレバー
２３３ａ 摺動部材
３００ アンロック機構
３１０ キー
３１１ 接続部
３２０ 駆動装置
３２１ 伸縮機構
３２２ 第１リンク
３２３ 第２リンク
３３０ 連動機構
３４０ 位置規制部
３４１ ストッパー
３４２ 止めブロック

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10A】

【図10B】