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北京北方微▲電▼子基地▲設▼▲備▼工▲芸▼研究中心有限▲責▼任公司

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7927167 静電チャック、下部電極アセンブリ及び半導体処理装置 2026年 9月30日
特許 7927205 シリコン含有有機誘電体層のエッチング方法及び半導体プロセス装置 2026年 9月30日
特許 7918385 半導体熱処理装置及びその温度制御方法 2026年 9月 9日
特許 7909121 ウェハ載置装置及び半導体プロセス機器 2026年 8月20日
特許 7858842 ウェハ載置装置及び半導体プロセス機器 2026年 5月14日
特許 7858843 半導体プロセス機器 2026年 5月14日
特許 7835898 半導体熱処理装置及びその制御方法 2026年 3月25日
特許 7835901 プロセスチャンバ及び半導体プロセス装置 2026年 3月25日
特許 7835905 半導体プロセス機器及びその載置装置 2026年 3月25日
特許 7819364 ガス混合装置及び半導体プロセス装置 2026年 2月24日
特許 7795006 半導体プロセス装置 2026年 1月 6日

11 件中 1-11 件を表示

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7927167 7927205 7918385 7909121 7858842 7858843 7835898 7835901 7835905 7819364 7795006

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