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北京北方微▲電▼子基地▲設▼▲備▼工▲芸▼研究中心有限▲責▼任公司

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公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 7769725	半導体プロセス装置及びそのガス混合供給手段	2025年11月13日
特許 7761772	温度制御方法	2025年10月28日
特許 7761782	プラズマ発生用コイル構造及び半導体プロセス装置	2025年10月28日
特許 7759526	誘導コイルアセンブリの駆動システムおよびその制御方法、半導体プロセス装置	2025年10月23日
特許 7746607	半導体プロセス装置及びそのプロセスチャンバー並びにトレイの検出方法	2025年 9月30日
特許 7727098	プラズマ半導体プロセス用の多層フォーカスリング	2025年 8月20日
特許 7727152	半導体プロセスチャンバー及び半導体プロセス機器	2025年 8月20日
特許 7724388	プロセスチャンバー、半導体プロセス機器及びプロセス方法	2025年 8月15日
特許 7719296	複数の無線周波数（ＲＦ）電極を含む基板支持体	2025年 8月 5日
特許 7710987	シールド冷却アセンブリ、反応チャンバ、および半導体処理装置	2025年 7月22日
特許 7704976	半導体プロセスレシピの取得方法、システム及び半導体プロセス装置	2025年 7月 8日
特許 7704988	半導体プロセス機器及びその載置装置	2025年 7月 8日
特許 7674605	配管温度制御装置及び配管温度制御方法	2025年 5月 9日
特許 7662902	静電パレット及びベース	2025年 4月15日
特許 7651020	半導体プロセス装置及びその給気手段	2025年 3月25日

18 件中 1-15 件を表示

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7769725 7761772 7761782 7759526 7746607 7727098 7727152 7724388 7719296 7710987 7704976 7704988 7674605 7662902 7651020

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