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北京北方微▲電▼子基地▲設▼▲備▼工▲芸▼研究中心有限▲責▼任公司

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  2024年 特許取得件数ランキング    第998位 19件 上昇2023年:第1353位 15件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7576176 メタルハードマスクのエッチング方法 2024年10月30日
特許 7576191 プラズマを生成するためのコイル構造及び半導体プロセス装置 2024年10月30日
特許 7558408 静電チャック及び半導体プロセス装置 2024年 9月30日
特許 7557548 加熱装置および半導体処理装置 2024年 9月27日
特許 7540090 半導体プロセス装置及び電力制御方法 2024年 8月26日
特許 7530519 シリコンチップのエッチング方法 2024年 8月 7日
特許 7522931 酸化物薄膜の製造方法 2024年 7月25日
特許 7495577 半導体反応チャンバ 2024年 6月 4日
特許 7482328 半導体プロセス装置及びプラズマ点火方法 2024年 5月13日
特許 7478906 インピーダンス整合方法、インピーダンス整合器及び半導体プロセス装置 2024年 5月 7日
特許 7469561 マニピュレーター 2024年 4月16日
特許 7457168 半導体デバイスのモデリング方法及び装置 2024年 3月27日
特許 7457209 載置装置及び半導体反応チャンバ 2024年 3月27日
特許 7430846 半導体プロセス装置及びそのプロセスチャンバ 2024年 2月13日
特許 7428853 捕集ユニット及び半導体予備洗浄チャンバ 2024年 2月 6日

19 件中 1-15 件を表示

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7576176 7576191 7558408 7557548 7540090 7530519 7522931 7495577 7482328 7478906 7469561 7457168 7457209 7430846 7428853

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