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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2023-12-13
(45)【発行日】2023-12-21
(54)【発明の名称】ウエハを処理する方法
(51)【国際特許分類】
H01L 21/3065 20060101AFI20231214BHJP
【ＦＩ】
H01L21/302 105A
【請求項の数】
11
(21)【出願番号】P 2020039233
(22)【出願日】2020-03-06
(65)【公開番号】P2021141260
(43)【公開日】2021-09-16
【審査請求日】2022-11-22
(73)【特許権者】
【識別番号】000219967
【氏名又は名称】東京エレクトロン株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100088155
【弁理士】
【氏名又は名称】長谷川 芳樹
(74)【代理人】
【識別番号】100113435
【弁理士】
【氏名又は名称】黒木 義樹
(74)【代理人】
【識別番号】100122507
【弁理士】
【氏名又は名称】柏岡 潤二
(72)【発明者】
【氏名】岡部 憲明
(72)【発明者】
【氏名】清野 拓哉
(72)【発明者】
【氏名】小塚 亮太
(72)【発明者】
【氏名】濱田 康弘
(72)【発明者】
【氏名】季子 祐太郎
【審査官】鈴木 智之
(56)【参考文献】
【文献】中国特許出願公開第１０９７５５１２６（ＣＮ，Ａ）
【文献】特開平１１－３５４５１７（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１６－１９２５２２（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１２－０６９８０３（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１７－０４９５８０（ＪＰ，Ａ）
【文献】米国特許出願公開第２０１５／００４７８９１（ＵＳ，Ａ１）
【文献】特開２０１５－０４１６２４（ＪＰ，Ａ）
【文献】国際公開第２０１８／０８４１８６（ＷＯ，Ａ１）
【文献】特開２０１５－２１３１０８（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１５－１２９９３８（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００１－２８４３２９（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０００－２６９１９２（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００７－１４０４６０（ＪＰ，Ａ）
【文献】特表２０１３－５０９００３（ＪＰ，Ａ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｈ０１Ｌ ２１／３０６５
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
ウエハを処理する方法であって、基板と該基板上に設けられたシリコン含有膜とを有するウエハを準備する工程と、
前記シリコン含有膜上にハードマスクを形成する工程と、
前記ハードマスクをエッチングして、該ハードマスクにパターンを形成する工程と、
前記パターンが形成された前記ハードマスクを用いて前記シリコン含有膜をエッチングする工程と、
を備え、
前記ハードマスクは、前記シリコン含有膜上に設けられタングステン及びシリコンを含む第１の膜と、該第１の膜上に設けられジルコニウム又はチタン及び酸素を含む第２の膜とを有する、
方法。
【請求項2】
ウエハを処理する方法であって、基板と該基板上に設けられたシリコン含有膜とを有するウエハを準備する工程と、
前記シリコン含有膜上にタングステン及びシリコンを含む第１の膜を形成する工程と、
前記第１の膜上にジルコニウム又はチタン及び酸素を含む第２の膜を形成する工程と、
前記第２の膜をマスクとして前記第１の膜をエッチングして、該第１の膜にパターンを形成する工程と、
前記パターンが形成された前記第１の膜をマスクとして、前記シリコン含有膜をエッチングする工程と、
を備える、
方法。
【請求項3】
第１の膜を形成する前記工程では、スパッタリングによって前記第１の膜を前記シリコン含有膜上に形成する、請求項２に記載の方法。
【請求項4】
第１の膜を形成する前記工程では、化学気相成長法によって前記第１の膜を前記シリコン含有膜上に形成する、請求項２に記載の方法。
【請求項5】
第２の膜を形成する前記工程では、塗布処理によって前記第２の膜を前記第１の膜上に形成する、請求項２～４の何れか一項に記載の方法。
【請求項6】
前記塗布処理は、スピンコート処理である、請求項５に記載の方法。
【請求項7】
第２の膜を形成する前記工程では、化学気相成長法又は原子層堆積法によって前記第２の膜を前記第１の膜上に形成する、請求項２～４の何れか一項に記載の方法。
【請求項8】
第２の膜にパターンを形成する前記工程において行われる前記第２の膜のエッチング、及び第１の膜にパターンを形成する前記工程において行われる前記第１の膜のエッチングのそれぞれは、ハロゲン原子を含むガスのプラズマを用いた異方的なエッチングである、請求項２～７の何れか一項に記載の方法。
【請求項9】
前記第１の膜及び前記第２の膜のそれぞれは、アモルファス膜である、請求項１～８の何れか一項に記載の方法。
【請求項10】
シリコン含有膜をエッチングする前記工程において行われる前記シリコン含有膜のエッチングは、フルオロカーボン系ガスのプラズマ又はハイドロフルオロカーボン系ガスのプラズマを用いた異方的なエッチングである、請求項１～９の何れか一項に記載の方法。
【請求項11】
前記シリコン含有膜は、単結晶シリコンの膜、多結晶シリコンの膜、酸化シリコンの膜、及び窒化シリコンの膜のうち何れか一つの膜を有する単層膜、或いは、何れか二以上の膜を有する多層膜である、請求項１～１０の何れか一項に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本開示の例示的実施形態は、ウエハを処理する方法に関するものである。
【背景技術】
【0002】
半導体デバイスといった電子デバイスの製造においては、シリコン含有膜にホール又は溝といった開口を形成するために、シリコン含有膜に対してプラズマエッチングが行われることがある。このような開口の形成のために、シリコン含有膜上にはマスクが設けられる。マスクとしては、レジストマスクが知られている。
【0003】
近年、電子デバイス内の素子は、三次元構造を有するようになっている。これに伴い、シリコン含有膜に相当に深い開口が形成されるようになっている。しかしながら、レジストマスクは、シリコン含有膜のプラズマエッチング中に大きく消耗する。そこで、ハードマスクが用いられるようになっている。ハードマスクとしては、特許文献１～４に記載されているように、タングステンシリサイド又はチタンナイトライド（ＴｉＮ）から形成されたハードマスクが用いられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【文献】特開２００７－２９４８３６号公報
【文献】特開２００３－２４３５２６号公報
【文献】特開２００５－１５０４０３号公報
【文献】米国特許出願公開第２０１９／００１９６７５号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
本開示は、シリコン含有膜のエッチングを高アスペクト比で行うための技術を提供する。
【課題を解決するための手段】
【0006】
一つの例示的実施形態において、ウエハを処理する方法が提供される。当該方法は、基板と基板上に設けられたシリコン含有膜とを有するウエハを準備する工程を備える。当該方法は、更に、シリコン含有膜上にハードマスクを形成する工程を備える。当該方法は、更に、ハードマスクを用いてシリコン含有膜をエッチングする工程を備える。ハードマスクは、シリコン含有膜上に設けられタングステンを含む第１の膜と、第１の膜上に設けられジルコニウム又はチタン及び酸素を含む第２の膜とを有する。
【発明の効果】
【0007】
本開示によれば、シリコン含有膜のエッチングを高アスペクト比で行うための技術が提供される。
【図面の簡単な説明】
【0008】
【図1】一つの例示的実施形態に係るウエハを処理する方法を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【0009】
近年、電子デバイスの高速化、高密度化に伴い、微細パターンの加工が困難となりつつある。特にメモリデバイス（DRAM）のキャパシタの形成では、ＣＤ（Critical Dimension）が２０ｎｍ以下及び深さが１．０μｍ以上である５０以上のＡ／Ｒ（Aspect Ratio）の加工が要求される。
【0010】
現在はハードマスクにアモルファスシリコンを用いて、シリコン含有膜をエッチングしている。アモルファスシリコンは、例えば、酸化シリコンのハードマスクを用いてエッチングしている。Ａ／Ｒの増加と共に、アモルファスシリコンハードマスクを厚くしなければならない。アモルファスシリコンハードマスクが厚くなると、アモルファスシリコンをエッチングするための酸化シリコンのハードマスクも厚くしなければならない。ハードマスクの厚さが増すとイオンの垂直入射が抑制されるため、よれ（Twisting）が発生しやすくなる。したがって、シリコン含有膜のエッチング時にアモルファスシリコンよりもプラズマエッチングに対して高い耐性を有するハードマスクが必要となっている。また、このプラズマエッチングに対して高い耐性を有するハードマスクをエッチングする時に用いるハードマスクについても、同様にプラズマエッチングに対して高い耐性を有することが求められる。
【0011】
以下、種々の例示的実施形態について説明する。一つの例示的実施形態において、ウエハを処理する方法が提供される。当該方法は、基板と基板上に設けられたシリコン含有膜とを有するウエハを準備する工程を備える。当該方法は、更に、シリコン含有膜上にハードマスクを形成する工程を備える。当該方法は、ハードマスクをエッチングして、ハードマスクにパターンを形成する工程を備える。当該方法は、更に、パターンが形成されたハードマスクを用いてシリコン含有膜をエッチングする工程を備える。ハードマスクは、シリコン含有膜上に設けられタングステンを含む第１の膜と、第１の膜上に設けられジルコニウム又はチタン及び酸素を含む第２の膜とを有する。
【0012】
別の一つの例示的実施形態において、ウエハを処理する方法が提供される。当該方法は、基板と基板上に設けられたシリコン含有膜とを有するウエハを準備する工程を備える。当該方法は、更に、シリコン含有膜上にタングステンを含む第１の膜を形成する工程を備える。当該方法は、更に、第１の膜上にジルコニウム又はチタン及び酸素を含む第２の膜を形成する工程を備える。当該方法は、更に、第２の膜をマスクとして第１の膜をエッチングして、第１の膜にパターンを形成する工程を備える。当該方法は、更に、パターンが形成された第１の膜をマスクとして、シリコン含有膜をエッチングする工程を備える。
【0013】
上記した一つの例示的実施形態において、シリコン含有膜上にタングステンを含む第１の膜が設けられ、第１の膜上にジルコニウム又はチタンを含む第２の膜が設けられたハードマスクを用いて、シリコン含有膜がエッチングされる。ジルコニウム又はチタンを含む第２の膜は、タングステンを含む第１の膜に比較して十分に高いエッチング耐性を有する。このため、第１の膜及び第２の膜を有するハードマスクに対するパターン形成ではパターンの形状異常が十分に抑制される。従って、形状異常が十分に抑制されたパターンが形成された第１の膜（更にはハードマスク）を用いたシリコン含有膜のエッチングによってシリコン含有膜に形成されるパターンの形状異常も十分に抑制され得る。従って、シリコン含有膜に形成されるパターンが高アスペクト比の場合であっても、よれ（Twisting）等が抑制されて十分に良好となり得る。
【0014】
一つの例示的実施形態において、第１の膜を形成する工程では、スパッタリングによって第１の膜をシリコン含有膜上に形成し得る。
【0015】
一つの例示的実施形態において、第１の膜を形成する工程では、化学気相成長法によって第１の膜をシリコン含有膜上に形成し得る。
【0016】
一つの例示的実施形態において、第２の膜を形成する工程では、塗布処理によって第２の膜を第１の膜上に形成し得る。
【0017】
一つの例示的実施形態において、塗布処理は、スピンコート処理であり得る。
【0018】
一つの例示的実施形態において、第２の膜を形成する工程では、化学気相成長法又は原子層堆積法によって第２の膜を第１の膜上に形成し得る。
【0019】
一つの例示的実施形態において、第２の膜にパターンを形成する工程において行われる第２の膜のエッチングは、ハロゲン原子を含むガスのプラズマを用いた異方的なエッチングであり得る。第１の膜にパターンを形成する工程において行われる第１の膜のエッチングは、ハロゲン原子を含むガスのプラズマを用いた異方的なエッチングであり得る。
【0020】
一つの例示的実施形態において、第１の膜及び第２の膜のそれぞれは、アモルファス膜であり得る。
【0021】
一つの例示的実施形態において、第１の膜は、シリコンを更に含み得る。
【0022】
一つの例示的実施形態において、シリコン含有膜をエッチングする工程において行われるシリコン含有膜のエッチングは、フルオロカーボン系ガスのプラズマ又はハイドロフルオロカーボン系ガスのプラズマを用いた異方的なエッチングであり得る。
【0023】
一つの例示的実施形態においてシリコン含有膜は、単結晶シリコンの膜、多結晶シリコンの膜、酸化シリコンの膜、及び窒化シリコンの膜のうち何れか一つの膜を有する単層膜、或いは、何れか二以上の膜を有する多層膜であり得る。
【0024】
以下、図面を参照して種々の例示的実施形態について詳細に説明する。なお、各図面において同一又は相当の部分に対しては同一の符号を附すこととする。
【0025】
以下、図１～図４を参照して、ウエハを処理する方法の一つの例示的実施形態について説明する。図１は、一つの例示的実施形態に係るウエハを処理する方法（方法ＭＴという）を示す流れ図である。図２は、図１に示す方法ＭＴの実行に用いることが可能な成膜装置の構成の一例を示す図である。図３は、図１に示す方法ＭＴの実行に用いることが可能な塗布装置の構成の一例を示す図である。図４は、図１に示す方法ＭＴの実行に伴って実現され得るウエハＷの複数の状態を示す図である。
【0026】
まず、図２を参照して、一つの例示的実施形態に係る成膜装置１０の構成を説明する。図２に示す成膜装置１０は、スパッタリングによって成膜を行う装置である。成膜装置１０は、チャンバ本体１２を備えている。チャンバ本体１２は、略筒形状を有している。チャンバ本体１２は、その内部空間をチャンバ１２ｃとして提供している。チャンバ本体１２は、例えば、アルミニウムといった導体から形成されている。チャンバ本体１２は、接地電位に接続されている。
【0027】
チャンバ本体１２の底部には、チャンバ１２ｃを減圧するための排気装置１４が、アダプタ１４ａを介して接続されている。排気装置１４は、圧力制御器、並びに、ドライポンプ及び／又はターボ分子ポンプといった減圧ポンプを含んでいる。また、チャンバ本体１２の側壁には、ウエハＷのチャンバ１２ｃ内への搬入、及び、ウエハＷのチャンバ１２ｃからの搬出のための開口１２ｔが形成されている。この開口１２ｔは、ゲートバルブ１２ｇによって開閉可能になっている。
【0028】
チャンバ本体１２には、ポート１２ｐが設けられている。ポート１２ｐは、チャンバ本体１２にガスを導入するための流路を提供している。ポート１２ｐには、ガス供給部が接続される。ガス供給部からは、ポート１２ｐを介してチャンバ１２ｃにガスが供給される。チャンバ１２ｃに供給されるガスは、希ガス又は窒素ガスといった不活性ガスであり得る。
【0029】
チャンバ１２ｃ内には、ステージ１６が設けられている。ステージ１６は、その上に配置されたウエハＷを支持するよう構成されている。ステージ１６は、ウエハＷを保持する静電チャックを有していてもよい。また、ステージ１６は、ヒータといった温度調整機構を有していてもよい。
【0030】
ステージ１６は、駆動機構１８に接続されている。駆動機構１８は、支軸１８ａ及び駆動装置１８ｂを含んでいる。支軸１８ａは、ステージ１６の直下からチャンバ本体１２の底部を通ってチャンバ本体１２の外部まで延在している。支軸１８ａの中心軸線は、鉛直方向に延びる軸線ＡＸに一致している。この支軸１８ａとチャンバ本体１２の底部との間には、封止部材４０が設けられている。封止部材４０は、支軸１８ａが回転及び上下動可能であるように、チャンバ本体１２の底部と支軸１８ａとの間の空間を封止するように構成されている。このような封止部材４０は、例えば、磁性流体シールであり得る。
【0031】
支軸１８ａの一端には、ステージ１６が結合されており、当該支軸１８ａの他端には駆動装置１８ｂが接続されている。駆動装置１８ｂは、支軸１８ａを回転及び上下動させるための駆動力を発生するように構成されている。ステージ１６は、支軸１８ａが回転することによって軸線ＡＸ中心に回転し、支軸１８ａが上下動することに伴って上下動するように構成されている。
【0032】
チャンバ本体１２の天部には、ホルダ２０及びホルダ２２が取り付けられている。ホルダ２０及びホルダ２２は、金属から形成されている。ホルダ２０は、絶縁性部材２４を介してチャンバ本体１２の天部に支持されている。ホルダ２２は、絶縁性部材２６を介してチャンバ本体１２の天部に支持されている。ホルダ２０は、ターゲット２８（第１のターゲット）を保持し、ホルダ２２はターゲット３０（第２のターゲット）を保持する。
【0033】
ホルダ２０及びホルダ２２はそれぞれ、軸線ＡＸを含む仮想の平面に対して略対称にターゲット２８及びターゲット３０が配置されるよう、ターゲット２８及びターゲット３０を保持する。また、ホルダ２０及びホルダ２２はそれぞれ、ターゲット２８及びターゲット３０が上方に向かうにつれて軸線ＡＸに近づく傾斜を有するように、ターゲット２８及びターゲット３０を保持する。
【0034】
ホルダ２０には、電源３２が電気的に接続されている。電源３２は、ホルダ２０に印加される電圧を発生するように構成されている。電源３２からの電圧は、ホルダ２０を介してターゲット２８に印加される。電源３２は、直流電源であってもよく、高周波電源であってもよい。電源３２が高周波電源である場合には、当該電源３２は、その負荷側のインピーダンスを整合ポイントに近づけるか又は一致させるための整合器を介して、ホルダ２０に接続される。
【0035】
ホルダ２２には、電源３４が電気的に接続されている。電源３４は、ホルダ２２に印加される電圧を発生するように構成されている。電源３４からの電圧は、ホルダ２２を介してターゲット３０に印加される。電源３４は、直流電源であってもよく、高周波電源であってもよい。電源３４が高周波電源である場合には、当該電源３４は、その負荷側のインピーダンスを整合ポイントに近づけるか又は一致させるための整合器を介して、ホルダ２２に接続される。
【0036】
成膜装置１０は、カソードマグネット３６及びカソードマグネット３８を更に備え得る。カソードマグネット３６は、ホルダ２０を介してターゲット２８と対峙するよう、チャンバ本体１２の外側に設けられている。カソードマグネット３８は、ホルダ２２を介してターゲット３０と対峙するよう、チャンバ本体１２の外側に設けられている。カソードマグネット３６及びカソードマグネット３８には、マグネット駆動部３６ａ及びマグネット駆動部３８ａがそれぞれ接続されている。
【0037】
成膜装置１０での成膜時には、チャンバ本体１２内にウエハＷが搬入され、当該ウエハＷがステージ１６上に載置されて当該ステージ１６によって支持される。そして、ステージ１６の鉛直方向の位置が駆動機構１８によって調整され、ステージ１６が軸線ＡＸ中心に回転される。なお、ステージ１６の回転は、成膜が行われる間、継続する。
【0038】
次いで、ガス供給部からチャンバ１２ｃにガスが供給され、排気装置１４によってチャンバ１２ｃが減圧される。そして、電源３２及び電源３４によってターゲット２８及びターゲット３０に電圧が印加される。また、カソードマグネット３６及びカソードマグネット３８がマグネット駆動部３６ａ及びマグネット駆動部３８ａによって駆動される。これにより、プラズマがターゲット２８及びターゲット３０の近傍に集中する。
【0039】
そして、ターゲット２８及びターゲット３０にプラズマ中の正イオンが衝突することで、ターゲット２８及びターゲット３０からそれぞれの構成物質が放出される。放出された構成物質はウエハＷ上に堆積する。これにより、ウエハＷ上に膜が形成される。
【0040】
一実施形態では、ターゲット２８及びターゲット３０の各々は、タングステンとシリコンを含有するターゲットであり得る。この実施形態のターゲット２８及びターゲット３０では、ウエハＷ上に形成される膜がタングステン及びシリコンを含むアモルファス膜となるように、タングステン濃度及びシリコン濃度が調整されている。
【0041】
成膜装置１０において用いられるターゲットがタングステンとシリコンを含有するターゲットである場合には、ターゲット２８及びターゲット３０のうち少なくとも一方のターゲットが成膜に用いられ得る。ターゲット２８及びターゲット３０のうち一方のターゲットのみが成膜に用いられる場合には、当該一方のターゲットを保持するホルダのみに電圧が印加される。また、当該一方のターゲットに対応するカソードマグネットのみが対応のマグネット駆動部によって駆動される。
【0042】
別の実施形態では、ターゲット２８はタングステンから形成されており、ターゲット３０はシリコンから形成されている。この実施形態では、ターゲット２８及びターゲット３０の双方が成膜に用いられる。また、タングステン及びシリコンを含有するアモルファス膜がウエハＷ上に形成されるように、ターゲット２８に印加される電圧及びターゲット３０に印加される電圧が調整される。
【0043】
次に図３を参照して、一つの例示的実施形態に係る塗布装置ＰＭ２の構成を説明する。塗布装置ＰＭ２は、カセットステーションＰＭ１０、処理ステーションＰＭ１１、及びインターフェイスステーションＰＭ１３を備える。塗布装置ＰＭ２は、カセットステーションＰＭ１０、処理ステーションＰＭ１１、及びインターフェイスステーションＰＭ１３が一体に接続された構成を有し得る。
【0044】
カセットステーションＰＭ１０は、複数枚のウエハＷを収容したカセットＣが搬入出されるように構成されている。処理ステーションＰＭ１１は、ウエハＷに所定の処理を施すように構成された複数の各種処理装置を備えている。インターフェイスステーションＰＭ１３は、処理ステーションＰＭ１１に隣接する露光装置ＰＭ１２との間でウエハＷの受け渡しを行うように構成されている。
【0045】
カセットステーションＰＭ１０には、カセット載置台ＰＭ２０が設けられている。カセット載置台ＰＭ２０には、塗布装置ＰＭ２の外部に対してカセットＣを搬入出する際に、カセットＣを載置するカセット載置板ＰＭ２１が複数設けられている。
【0046】
カセットステーションＰＭ１０には、図３に示すようにＸ方向に延びる搬送路ＰＭ２２上を移動自在なウエハ搬送装置ＰＭ２３が設けられている。ウエハ搬送装置ＰＭ２３は、上下方向及び鉛直軸周り（θ方向）にも移動自在である。ウエハ搬送装置ＰＭ２３は、各カセット載置板ＰＭ２１上のカセットＣと、後述する処理ステーションＰＭ１１の第３のブロックＧ３の受け渡し装置との間でウエハＷを搬送できるように構成されている。
【0047】
処理ステーションＰＭ１１には、各種装置を備えた複数例えば４つのブロック（第１のブロックＧ１、第２のブロックＧ２、第３のブロックＧ３、及び第４のブロックＧ４）が設けられている。例えば処理ステーションＰＭ１１の正面側（図３のＸ方向負方向側）には、第１のブロックＧ１が設けられている。処理ステーションＰＭ１１の背面側（図３のＸ方向正方向側）には、第２のブロックＧ２が設けられている。また、処理ステーションＰＭ１１のカセットステーションＰＭ１０の側（図３のＹ方向負方向側）には、第３のブロックＧ３が設けられている。処理ステーションＰＭ１１のインターフェイスステーションＰＭ１３の側（図３のＹ方向正方向側）には、第４のブロックＧ４が設けられている。
【0048】
第１のブロックＧ１には、複数の液処理装置が設けられている。複数の液処理装置はそれぞれ、例えば、現像装置、有機溶剤供給装置、反射防止膜形成装置、中性層形成装置、レジスト塗布装置、及びブロック共重合体塗布装置等であり得る。現像装置、有機溶剤供給装置、反射防止膜形成装置、中性層形成装置、レジスト塗布装置、及びブロック共重合体塗布装置は、例えば、下から順に重ねられて配置されている。現像装置、有機溶剤供給装置、反射防止膜形成装置、中性層形成装置、レジスト塗布装置、及びブロック共重合体塗布装置は、例えば、それぞれ水平方向に三つ並べて配置されている。液処理装置の数や配置は、任意に選択され得る。
【0049】
現像装置は、ウエハＷを現像処理するように構成されている。有機溶剤供給装置は、ウエハＷ上に有機溶剤を供給するように構成されたポリマー除去装置として用いられている。反射防止膜形成装置は、ウエハＷ上に反射防止膜を形成するように構成されている。中性層形成装置は、ウエハＷ上に中性剤を塗布して中性層を形成するように構成されている。レジスト塗布装置は、ウエハＷ上にレジスト液を塗布してレジスト膜を形成するように構成されている。ブロック共重合体塗布装置は、ウエハＷ上にブロック共重合体を塗布するように構成されている。
【0050】
上記の液処理装置では、ウエハＷ上に予め設定された塗布液を塗布するスピンコート処理が行われる。スピンコート処理では、例えば塗布ノズルからウエハＷ上に塗布液を吐出すると共にウエハＷをコーターで回転させて、塗布液をウエハＷの表面に拡散させる。
【0051】
第２のブロックＧ２では、熱処理装置、紫外線照射装置、アドヒージョン装置、周辺露光装置、及びポリマー分離装置が、上下方向と水平方向に並べて設けられている。熱処理装置、紫外線照射装置、アドヒージョン装置、周辺露光装置、及びポリマー分離装置の数や配置は、任意に選択され得る。
【0052】
熱処理装置は、ウエハＷの熱処理を行うように構成されている。熱処理装置は、ウエハＷを載置して加熱する熱板と、ウエハＷを載置して冷却する冷却板とを有し、加熱処理と冷却処理の両方を行えるように構成されている。
【0053】
紫外線照射装置は、ウエハＷに対して紫外線を照射するように構成されている。アドヒージョン装置は、ウエハＷを疎水化処理するように構成されている。周辺露光装置は、ウエハＷの外周部を露光するように構成されている。ポリマー分離装置は、ブロック共重合体塗布装置でウエハＷ上に塗布されたブロック共重合体を親水性ポリマーと疎水性ポリマーに相分離させるように構成されている。
【0054】
第３のブロックＧ３には、複数の受け渡し装置が下から順に設けられている。第４のブロックＧ４には、複数の受け渡し装置が下から順に設けられている。
【0055】
第１のブロックＧ１～第４のブロックＧ４に囲まれた領域には、ウエハ搬送領域Ｄが形成されている。ウエハ搬送領域Ｄには、複数のウエハ搬送装置ＰＭ７０が配置されている。
【0056】
ウエハ搬送装置ＰＭ７０は、ウエハ搬送領域Ｄ内を移動し、周囲の第１のブロックＧ１、第２のブロックＧ２、第３のブロックＧ３、及び第４のブロックＧ４内の所定の装置にウエハＷを搬送できるように構成されている。複数のウエハ搬送装置ＰＭ７０のそれぞれは、搬送アームＰＭ７０ａを有する。搬送アームＰＭ７０ａは、例えばＹ方向、Ｘ方向、θ方向、及び上下方向に移動自在に構成されている。
【0057】
図３に示すように第３のブロックＧ３のＸ方向正方向側の隣には、ウエハ搬送装置ＰＭ９０が設けられている。ウエハ搬送装置ＰＭ９０は、例えばＸ方向、θ方向、及び上下方向に移動自在に構成された搬送アームＰＭ９０ａを有している。ウエハ搬送装置ＰＭ９０は、ウエハＷを支持した状態で上下に移動して、第３のブロックＧ３内の各受け渡し装置にウエハＷを搬送できるように構成されている。
【0058】
インターフェイスステーションＰＭ１３には、ウエハ搬送装置ＰＭ９１と受け渡し装置ＰＭ９２が設けられている。ウエハ搬送装置ＰＭ９１は、例えばＹ方向、θ方向及び上下方向に移動自在に構成された搬送アームＰＭ９１ａを有している。ウエハ搬送装置ＰＭ９１は、例えば搬送アームにウエハＷを支持して、第４のブロックＧ４内の各受け渡し装置、受け渡し装置ＰＭ９２、及び露光装置ＰＭ１２との間でウエハＷを搬送できるように構成されている。
【0059】
塗布装置ＰＭ２及び成膜装置１０には、制御部ＰＭ３００が接続されている。制御部ＰＭ３００は、例えばコンピュータであり、プログラム格納部（図示せず）を有している。プログラム格納部には、塗布装置ＰＭ２及び成膜装置１０を統括的に制御するコンピュータプログラムが格納されている。プログラム格納部には、図１に示されている方法ＭＴを実現するためのコンピュータプログラムが格納されている。
【0060】
このようなコンピュータプログラムは、例えばハードディスク、フレキシブルディスク、コンパクトディスク、マグネットオプティカルデスク、及びメモリーカードなどのコンピュータが読み取り得る記憶媒体に記録されたものであってよい。この場合、記録媒体に記録されたコンピュータプログラムは、当該記憶媒体から制御部ＰＭ３００にインストールされて用いられ得る。
【0061】
図１に戻って方法ＭＴについて詳細に説明する。方法ＭＴは、工程ＳＴ１～工程ＳＴ６を有する。工程ＳＴ１では、図４に示す状態Ｋ１のウエハＷが準備される。状態Ｋ１のウエハＷは、基板１０１及びシリコン含有膜１０２を有する。シリコン含有膜１０２は、基板１０１上に設けられている。なお、図４では基板１０１に接してシリコン含有膜１０２が設けられているが、基板１０１とシリコン含有膜１０２の間に、例えば、導電性や絶縁性を有する他の膜が設けられていてもよい。シリコン含有膜１０２は、単結晶シリコンの膜、多結晶シリコンの膜、酸化シリコンの膜、及び窒化シリコンの膜のうち何れか一つの膜を有する単層膜、或いは、何れか二以上の膜を有する多層膜であり得る。
【0062】
続く工程ＳＴ２では、図４に示す状態Ｋ２のウエハＷのように、シリコン含有膜１０２上にハードマスクが形成される。このハードマスクは、第１のハードマスク１０３（第１の膜）と、第１のハードマスク１０３上に設けられた第２のハードマスク１０４（第２の膜）とを有する。より具体的に、工程ＳＴ２では、第１のハードマスク１０３及び第２のハードマスク１０４がシリコン含有膜１０２上に順次形成される。工程ＳＴ２では、炭素含有膜１０５が第２のハードマスク１０４上に更に形成され得る。
【0063】
工程ＳＴ２では、まず、第１のハードマスク１０３がシリコン含有膜１０２上に形成される。第１のハードマスク１０３は、シリコン含有膜１０２に対するプラズマエッチング用のハードマスクである。当該プラズマエッチングは、ハロゲン系ガスのプラズマを用いたドライエッチング（異方的反応性イオンエッチング）であり得る。第１のハードマスク１０３は、当該プラズマエッチング（後述の工程ＳＴ４）に対して高い耐性を有する。
【0064】
第１のハードマスク１０３は、タングステン（Ｗ）及びシリコン（Ｓｉ）を含む。第１のハードマスク１０３は、Ｗ及びＳｉを含むアモルファス膜である。例えば、第１のハードマスク１０３は、ＷＳｉを含む。第１のハードマスク１０３のＷの濃度は、アモルファス状態が維持され、耐熱性（耐結晶化性）が実現され得る範囲内にある。第１のハードマスク１０３の膜厚は、３００～４００ｎｍの範囲内にあり得るが、シリコン含有膜１０２の膜厚及びエッチング選択比に依存して設定され得る。
【0065】
第１のハードマスク１０３は、プラズマエッチング（工程ＳＴ４）に対して高い耐性を有しているので、第１のハードマスク１０３の膜厚をより薄くすることができると共に、よれ（Twisting）が低減される。
【0066】
第１のハードマスク１０３の成膜は、例えばスパッタリングによって実行され得る。第１のハードマスク１０３の成膜には、成膜装置１０が用いられ、単体のターゲット又は複数のターゲットを用いたスパッタリング又はコスパッタリングが用いられ得る。コスパッタリングの場合、タングステン濃度は任意に設定され得る。
【0067】
スパッタリングによる第１のハードマスク１０３の成膜に用いられる材料は、第１のハードマスク１０３がＷＳｉを含む場合、例えば、一元系の場合にはＷＳｉであり、二元系の場合にはＷ及びＳｉであり得る。スパッタリングによる第１のハードマスク１０３の成膜に用いられる温度は、室温であり得る。第１のハードマスク１０３の成膜にスパッタリングが用いられる場合には、タングステン濃度の制御及び結晶性の制御が良好に行われ得ると共に、不純物が低減され得る。
【0068】
なお、第１のハードマスク１０３の成膜に、Chemical Vapor Deposition（ＣＶＤ：化学気相成長）法を用いることもできる。この場合、熱又はプラズマによる気相成長によって第１のハードマスク１０３が成膜され得る。ＣＶＤ法による第１のハードマスク１０３の成膜では、成膜に用いられるガスの混合比を調整することによって、Ｗの濃度が任意に設定され得る。
【0069】
工程ＳＴ２では、第１のハードマスク１０３の成膜の後に、第２のハードマスク１０４の成膜が行われる。工程ＳＴ２によって、第２のハードマスク１０４は、第１のハードマスク１０３上に形成される。
【0070】
第２のハードマスク１０４は、第１のハードマスク１０３に対するプラズマエッチング用のハードマスクである。当該プラズマエッチングは、ハロゲン系ガスのプラズマを用いたドライエッチング（異方的反応性イオンエッチング）であり得る。
【0071】
第２のハードマスク１０４は、当該プラズマエッチング（後述の工程ＳＴ４）に対して高い耐性を有する。第２のハードマスク１０４は、ジルコニウム（Ｚｒ）又はチタン（Ｔｉ）及び酸素（Ｏ）を含む。第２のハードマスク１０４は、Ｚｒ又はＴｉ及び酸素を含むアモルファス膜である。例えば、第２のハードマスク１０４は、酸化ジルコニウム又は酸化チタンであり得る。第２のハードマスク１０４のＺｒ又はＴｉの濃度は、アモルファス状態が維持され、耐熱性（耐結晶化性）が実現され得る範囲内にある。第２のハードマスク１０４の膜厚は、３０～２００ｎｍの範囲内にあり得るが、第１のハードマスク１０３の膜厚及びエッチング選択比に依存して設定され得る。
【0072】
第２のハードマスク１０４は、塗布処理によって第１のハードマスク１０３上に形成される。より具体的に、第２のハードマスク１０４の形成（成膜）処理は、例えばスピンコート処理によって行われ得る。第２のハードマスク１０４の成膜には、塗布装置ＰＭ２が用いられる。
【0073】
スピンコート処理による第２のハードマスク１０４の成膜に用いられる材料は、Ｚｒ又はＴｉを含む金属酸化物カルボキシレート、及び有機溶剤を含む。この有機溶剤は、例えば、エーテル、エステル、エーテルエステル、ケトン、ケトンエステル等であり得る。
【0074】
スピンコート処理による第２のハードマスク１０４の成膜に用いられる温度（乾燥温度）は、摂氏２００～４００度の範囲内であり得る。スピンコート処理による第２のハードマスク１０４の成膜に用いられる温度は、第１のハードマスク１０３及び第２のハードマスク１０４が結晶化されない（アモルファス状態が維持される）温度範囲に設定され得る。
【0075】
第２のハードマスク１０４の成膜にスピンコート処理が用いられる場合には、非真空系の装置で実行されるため、真空系の装置で実行される場合に比較して成膜処理が容易となり、コストが低減され得る。
【0076】
なお、第２のハードマスク１０４の成膜にＣＶＤ法又はAtomic Layer Deposition（ＡＬＤ：原子層堆積）法を用いることもできる。この場合、熱若しくはプラズマによる気相成長、又は界面成長によって第２のハードマスク１０４が成膜され得る。
【0077】
工程ＳＴ２では、第２のハードマスク１０４の成膜の後に、炭素含有膜１０５の成膜が行われる。工程ＳＴ２によって、炭素含有膜１０５は、第２のハードマスク１０４上に形成される。
【0078】
炭素含有膜１０５は、第１のハードマスク１０３及び第２のハードマスク１０４に対するプラズマエッチング用のマスクとして機能し得る。炭素含有膜１０５の膜厚は、２００～３００ｎｍの範囲内にあり得る、第１のハードマスク１０３及び第２のハードマスク１０４の膜厚及びエッチング選択比に依存して設定され得る。
【0079】
炭素含有膜１０５の成膜は、例えばスピンコート処理によって実現され得る。炭素含有膜１０５の成膜には、例えば塗布装置ＰＭ２が用いられる。スピンコート処理による炭素含有膜１０５の成膜に用いられる温度（乾燥温度）は、摂氏４００～６００度の範囲内にあり得る。スピンコート処理による炭素含有膜１０５の成膜に用いられる温度（乾燥温度）は、第１のハードマスク１０３及び第２のハードマスク１０４が結晶化されない（アモルファス状態が維持される）温度範囲に設定され得る。
【0080】
続く工程ＳＴ３では、図４に示す状態Ｋ３のウエハＷのように、シリコン含有膜１０２に転写されるパターンが炭素含有膜１０５に形成される。パターンは、ホール又は溝であり得る。
【0081】
続く工程ＳＴ４では、図４に示す状態Ｋ４のウエハＷのように、第１のハードマスク１０３及び第２のハードマスク１０４が、炭素含有膜１０５に形成されたパターンに従ってエッチングされる。
【0082】
工程ＳＴ４では、エッチング装置（図示略）が用いられる。工程ＳＴ４では、まず、第２のハードマスク１０４がエッチングされる。より具体的に、工程ＳＴ４では、シリコン含有膜１０２に転写されるパターンが形成された炭素含有膜１０５をマスクとして第２のハードマスク１０４がエッチングされて、第２のハードマスク１０４に当該パターンが形成される。
【0083】
第２のハードマスク１０４に対するエッチングは、ハロゲン原子を含むガスのプラズマを用いた異方的なエッチングである。より具体的に、第２のハードマスク１０４に対するエッチングは、例えばＣｌ２ガス、ＢＣｌ３ガス等のプラズマを用いた異方的反応性イオンエッチングであり得る。
【0084】
工程ＳＴ４では、次いで、第１のハードマスク１０３がエッチングされる。より具体的に、工程ＳＴ４では、シリコン含有膜１０２に転写されるパターンが形成された第２のハードマスク１０４をマスクとして第１のハードマスク１０３がエッチングされて、第１のハードマスク１０３に当該パターンが形成される。
【0085】
第１のハードマスク１０３に対するエッチングは、ハロゲン原子を含むガスのプラズマを用いた異方的なエッチングである。より具体的に、第１のハードマスク１０３に対するエッチングは、例えばＣｌ２ガス等のプラズマを用いた異方的反応性イオンエッチングであり得る。工程ＳＴ４の終了時には、第２のハードマスク１０４が残留し得るが、第２のハードマスク１０４が全て除去される場合もあり得る。
【0086】
続く工程ＳＴ５では、図４に示す状態Ｋ５のウエハＷのように、ハードマスクを用いてシリコン含有膜１０２がエッチングされる。工程ＳＴ５では、エッチング装置（図示略）が用いられる。より具体的に、工程ＳＴ５では、シリコン含有膜１０２に転写されるパターンが形成された第１のハードマスク１０３（更に第２のハードマスク１０４を含む場合があり得る）をマスクとしてシリコン含有膜１０２がエッチングされる。これにより、第１のハードマスク１０３に当該パターンが形成される。従って、工程ＳＴ５によって、シリコン含有膜１０２には、基板１０１に至るホール又は溝が形成され得る。工程ＳＴ５の終了時には、第１のハードマスク１０３のみが残留し得る。
【0087】
工程ＳＴ５において実行されるシリコン含有膜１０２に対するエッチングは、フルオロカーボン系ガス（例えばＣ４Ｆ６ガス）、又は、ハイドロフルオロカーボン系ガス（例えばＣＨ２Ｆ２ガス）のプラズマを用いた異方的反応性イオンエッチングであり得る。
【0088】
続く工程ＳＴ６では、図４に示す状態Ｋ６のウエハＷのように、第１のハードマスク１０３が除去される。工程ＳＴ５の終了時に第２のハードマスク１０４が残留している場合には、工程ＳＴ６では、第１のハードマスク１０３及び第２のハードマスク１０４が共に除去される。
【0089】
工程ＳＴ６において実行される第１のハードマスク１０３を除去する処理は、スピンクリーニングによって実行され得る。この場合、薬液として、ＡＰＭ（ammonia peroxide mixture）液やＦＰＭ（hydrofluoric acid-hydrogen peroxide mixture）液等が用いられ得る。工程ＳＴ６における温度（洗浄温度）は、室温～摂氏７０度の範囲内であり得る。
【0090】
以下、第２のハードマスク１０４の評価のために行った実験について説明する。実験では、第２のハードマスク１０４と同様の構成の複数のハードマスクを形成し、これら複数のハードマスクの表面をＸ線回折法によって分析した。
【0091】
図５及び図６には、本実験によって得られた結果が表されている。本実験のＸ線回折法では、２θ－ωスキャンにより、複数のハードマスク各々の内部のＸ線回折スペクトルを取得した。図５及び図６において、横軸は回折角２θ［ｄｅｇ．］を示しており、縦軸はＬｏｇ強度［ａ．ｕ．］を示している。
【0092】
図５は、三つの酸化ジルコニウムのハードマスクをそれぞれ異なる温度で熱処理を行った後にＸ線回折法による解析を行った結果を示すグラフである。図５のグラフＧＰａ１、ＧＰａ２、ＧＰａ３のそれぞれは、摂氏４００度、摂氏５００度、摂氏５８０度のそれぞれの温度で酸化ジルコニウムのハードマスクを熱処理した場合のＸ線解析法による解析結果を表している。
【0093】
図６は、三つの酸化チタンのハードマスクをそれぞれ異なる温度で熱処理を行った後にＸ線回折法による解析を行った結果を示すグラフである。図６のグラフＧＰｂ１、ＧＰｂ２、ＧＰｂ３のそれぞれは、摂氏４００度、摂氏５００度、摂氏５８０度のそれぞれの温度で酸化チタンのハードマスクを熱処理した場合のＸ線解析法による解析結果を表している。
【0094】
図５に示すように、熱処理温度５００℃以上の場合には、結晶面の回折ピークが観察されており、ハードマスク中に酸化ジルコニウムの結晶が存在することが確認された。一方、ハードマスクの熱処理温度が４００℃の場合には、結晶面の回折ピークが観察されず、したがって、ハードマスク中に酸化ジルコニウムの結晶がほぼ存在しないことが確認された。
【0095】
また、図６に示すように、熱処理温度５００℃以上の場合には、結晶面の回折ピークが観察されており、ハードマスク中に酸化チタンの結晶が存在することが確認された。一方、ハードマスクの熱処理温度が４００℃の場合には、結晶面の回折ピークが観察されず、したがって、ハードマスク中に酸化チタンの結晶が略存在しないことが確認された。
【0096】
次に、第２のハードマスク１０４を用いて第１のハードマスク１０３のエッチング（工程ＳＴ４）を行った実験結果について説明する。本実験では第１のハードマスク１０３としてタングステンシリコン膜のハードマスクを形成し、更に第２のハードマスク１０４と同様の酸化ジルコニウム、酸化チタン、酸化シリコンのハードマスクを第２のハードマスク１０４として形成して工程ＳＴ４を実行した。なお、比較例として、酸化シリコンのハードマスクを、ＴＥＯＳ（tetraethyl orthosilicate）を原料ガスとしたプラズマＣＶＤ（PE CVD）により形成して工程ＳＴ４を実行した。
【0097】
工程ＳＴ４において、第１のハードマスク１０３のエッチング時には、第２のハードマスク１０４もエッチングされる。このため、図７には、第１のハードマスク１０３のエッチング膜厚と第２のハードマスク１０４のエッチング膜厚を比にしたエッチング選択比の計算結果が示されている。このエッチング膜厚は、エッチングによって除去された膜厚である。
【0098】
第１のハードマスク１０３のエッチング膜厚は、ＥＡ１によって表される。第２のハードマスク１０４のエッチング膜厚は、ＥＡ２によって表される。
【0099】
図７の縦軸は、エッチング選択比（Etch selectivity）を表している。このエッチング選択比は、ＥＡ１／ＥＡ２である。
【0100】
図７に示されているように、摂氏４００度以上の熱処理後において、酸化ジルコニウム及び酸化チタンの何れの第２のハードマスク１０４であっても、酸化シリコンのハードマスクに比べ極めて高いエッチング選択比が得られることが確認された。即ち、酸化ジルコニウム又は酸化チタンの第２のハードマスク１０４は、タングステンシリコンの第１のハードマスク１０３よりも、工程ＳＴ４で実行されるエッチングに対する耐性が高いことが確認された。このため、第１のハードマスク１０３の膜厚を例えば４００ｎｍに設定する場合、第２のハードマスク１０４の膜厚を２０～３０ｎｍ程度に設定することが可能となり、第２のハードマスク１０４の薄膜化が可能となる。
【0101】
従って、第１のハードマスク１０３のエッチングによって第１のハードマスク１０３に形成されるパターンの形状異常は、十分に抑制され得る。このため、第１のハードマスク１０３の下層にあるシリコン含有膜１０２のエッチングによってシリコン含有膜１０２に形成される高アスペクト比のパターンの形状も、よれ（Twisting）等が抑制されて十分に良好となり得る。
【0102】
上記説明した一つの例示的実施形態に係る方法ＭＴによれば、シリコン含有膜１０２上に第１のハードマスク１０３及び第２のハードマスク１０４が順次設けられたハードマスクを用いて、シリコン含有膜１０２がエッチングされる。第１のハードマスク１０３はタングステンを含み、第２のハードマスク１０４は、ジルコニウム又はチタンを含む。第２のハードマスク１０４は第１のハードマスク１０３に比較して十分に高いエッチング耐性を有する。このため、第１のハードマスク１０３及び第２のハードマスク１０４を有するハードマスクに対するパターン形成ではパターンの形状異常が十分に抑制される。従って、形状異常が十分に抑制されたパターンが形成された第１のハードマスク１０３（更には第２のハードマスク１０４）を用いたシリコン含有膜１０２のエッチングによってシリコン含有膜１０２に形成されるパターンの形状異常も十分に抑制され得る。従って、シリコン含有膜１０２に形成されるパターンが高アスペクト比の場合であっても、よれ（Twisting）等が抑制されて十分に良好となり得る。
【0103】
以上、種々の例示的実施形態について説明してきたが、上述した例示的実施形態に限定されることなく、様々な省略、置換、及び変更がなされてもよい。また、異なる実施形態における要素を組み合わせて他の実施形態を形成することが可能である。
【0104】
以上の説明から、本開示の種々の実施形態は、説明の目的で本明細書で説明されており、本開示の範囲及び主旨から逸脱することなく種々の変更をなし得ることが、理解されるであろう。したがって、本明細書に開示した種々の実施形態は限定することを意図しておらず、真の範囲と主旨は、添付の特許請求の範囲によって示される。
【符号の説明】
【0105】
１０…成膜装置、１２…チャンバ本体、１２ｃ…チャンバ、１２ｇ…ゲートバルブ、１２ｐ…ポート、１２ｔ…開口、１４…排気装置、１４ａ…アダプタ、１６…ステージ、１８…駆動機構、１８ａ…支軸、１８ｂ…駆動装置、２０…ホルダ、２２…ホルダ、２４…絶縁性部材、２６…絶縁性部材、２８…ターゲット、３０…ターゲット、３２…電源、３４…電源、３６…カソードマグネット、３６ａ…マグネット駆動部、３８…カソードマグネット、３８ａ…マグネット駆動部、４０…封止部材、ＡＸ…軸線、Ｄ…ウエハ搬送領域、Ｇ１…第１のブロック、Ｇ２…第２のブロック、Ｇ３…第３のブロック、Ｇ４…第４のブロック、ＭＴ…方法、ＰＭ１０…カセットステーション、ＰＭ１１…処理ステーション、ＰＭ１２…露光装置、ＰＭ１３…インターフェイスステーション、ＰＭ２…塗布装置、ＰＭ２０…カセット載置台、ＰＭ２１…カセット載置板、ＰＭ２２…搬送路、ＰＭ２３…ウエハ搬送装置、ＰＭ３００…制御部、ＰＭ７０…ウエハ搬送装置、ＰＭ７０ａ…搬送アーム、ＰＭ９０…ウエハ搬送装置、ＰＭ９０ａ…搬送アーム、ＰＭ９１…ウエハ搬送装置、ＰＭ９１ａ…搬送アーム、ＰＭ９２…受け渡し装置、Ｗ…ウエハ、Ｋ１…状態、Ｋ２…状態、Ｋ３…状態、Ｋ４…状態、Ｋ５…状態、Ｋ６…状態、１０１…基板、１０２…シリコン含有膜、１０３…第１のハードマスク、１０４…第２のハードマスク、１０５…炭素含有膜。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】