(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2023-12-14
(45)【発行日】2023-12-22
(54)【発明の名称】加工装置
(51)【国際特許分類】
H01L 21/02 20060101AFI20231215BHJP
【ＦＩ】
H01L21/02 Z
【請求項の数】
5
(21)【出願番号】P 2020077699
(22)【出願日】2020-04-24
(65)【公開番号】P2021174880
(43)【公開日】2021-11-01
【審査請求日】2023-02-28
(73)【特許権者】
【識別番号】000134051
【氏名又は名称】株式会社ディスコ
(74)【代理人】
【識別番号】110002147
【氏名又は名称】弁理士法人酒井国際特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】川口 吉洋
(72)【発明者】
【氏名】政田 孝行
(72)【発明者】
【氏名】相川 真紀
【審査官】堀江 義隆
(56)【参考文献】
【文献】特開２０１８－１２２４２１（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１９－１９８９４０（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１０－４０８４７（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開平８－１９１０４０（ＪＰ，Ａ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｈ０１Ｌ ２１／０２
Ｈ０１Ｌ ２１／３０４
Ｇ０５Ｂ １９／４１８
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
被加工物を保持する保持テーブルと、該保持テーブルに保持された被加工物を加工する加工ユニットと、
被加工物を複数収容したカセットと、
加工装置内の複数の構成ユニットの間で被加工物を搬送する搬送アームと、
複数の構成ユニットイラストと被加工物イラストとで構成される装置内イラストと、を表示するタッチパネルと、
制御ユニットと、を備える加工装置であって、
該制御ユニットは、
被加工物をフルオート加工する際の複数の構成ユニットの一連の動作を記憶するフルオート動作記憶部と、
被加工物の現在位置を把握し、該被加工物イラストの位置に反映させる位置反映部と、
被加工物毎にフルオート加工の進捗を記憶する進捗記憶部と、を有し、
フルオート加工が中断されている状態で、該装置内イラストで任意の被加工物イラストをオペレータが選択すると、該被加工物を処理可能な構成ユニットを識別可能に表示し、オペレータが識別可能に表示された該構成ユニットを選択することで、該構成ユニットに被加工物を搬送することを特徴とする加工装置。
【請求項2】
該制御ユニットは、該進捗記憶部に基づき、該フルオート加工の一連の動作の中でまだ終了していない処理を行う構成ユニットを、処理可能な構成ユニットとして識別可能に表示することを特徴とする請求項１に記載の加工装置。
【請求項3】
制御ユニットは、各構成ユニットが被加工物を処理しているかを把握する処理把握部をさらに有し、被加工物を処理していない構成ユニットを処理可能な構成ユニットとして識別可能に表示することを特徴とする請求項１に記載の加工装置。
【請求項4】
被加工物を保持する保持テーブルと、該保持テーブルに保持された被加工物を加工する加工ユニットと、
被加工物を複数収容したカセットが載置されるカセットステージと、
加工装置内の複数の構成ユニットの間で被加工物を搬送する搬送アームと、
複数の構成ユニットと被加工物とのイラストで構成される装置内イラストと、を表示するタッチパネルと、
制御ユニットと、を備える加工装置であって、
該制御ユニットは、
各構成ユニットの複数の動作を記憶する構成ユニット動作記憶部を有し、
オペレータが構成ユニットのイラストを選択すると、該構成ユニットの動作の選択肢を該装置内イラスト上に表示し、オペレータが選択した項目を実施することを特徴とする加工装置。
【請求項5】
該動作の選択肢は、該動作を表現するイラストまたは動画で表示されることを特徴とする請求項４に記載の加工装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、加工装置に関する。
【背景技術】
【0002】
加工装置の各構成ユニットの操作を行う画面を操作して、装置内の構成ユニットを操作したり、各構成ユニットを操作して被加工物を処理したりする加工装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【文献】特開２０１８－１２２４２１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
各構成ユニットの操作を行う画面は、メインメニューよりも深い階層にあるため、複数の画面を変遷して操作しなければならず非効率的であった。
【0005】
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、各構成ユニットの操作や、被加工物への処理を容易に行える加工装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【0006】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の加工装置は、被加工物を保持する保持テーブルと、該保持テーブルに保持された被加工物を加工する加工ユニットと、被加工物を複数収容したカセットと、加工装置内の複数の構成ユニットの間で被加工物を搬送する搬送アームと、複数の構成ユニットイラストと被加工物イラストとで構成される装置内イラストと、を表示するタッチパネルと、制御ユニットと、を備える加工装置であって、該制御ユニットは、被加工物をフルオート加工する際の複数の構成ユニットの一連の動作を記憶するフルオート動作記憶部と、被加工物の現在位置を把握し、該被加工物イラストの位置に反映させる位置反映部と、被加工物毎にフルオート加工の進捗を記憶する進捗記憶部と、を有し、フルオート加工が中断されている状態で、該装置内イラストで任意の被加工物イラストをオペレータが選択すると、該被加工物を処理可能な構成ユニットを識別可能に表示し、オペレータが識別可能に表示された該構成ユニットを選択することで、該構成ユニットに被加工物を搬送することを特徴とする。
【0007】
該制御ユニットは、該進捗記憶部に基づき、該フルオート加工の一連の動作の中でまだ終了していない処理を行う構成ユニットを、処理可能な構成ユニットとして識別可能に表示してもよい。
【0008】
制御ユニットは、各構成ユニットが被加工物を処理しているかを把握する処理把握部をさらに有し、被加工物を処理していない構成ユニットを処理可能な構成ユニットとして識別可能に表示してもよい。
【0009】
また、上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の加工装置は、被加工物を保持する保持テーブルと、該保持テーブルに保持された被加工物を加工する加工ユニットと、被加工物を複数収容したカセットが載置されるカセットステージと、加工装置内の複数の構成ユニットの間で被加工物を搬送する搬送アームと、複数の構成ユニットと被加工物とのイラストで構成される装置内イラストと、を表示するタッチパネルと、制御ユニットと、を備える加工装置であって、該制御ユニットは、各構成ユニットの複数の動作を記憶する構成ユニット動作記憶部を有し、オペレータが構成ユニットのイラストを選択すると、該構成ユニットの動作の選択肢を該装置内イラスト上に表示し、オペレータが選択した項目を実施することを特徴とする。
【0010】
該動作の選択肢は、該動作を表現するイラストまたは動画で表示されてもよい。
【発明の効果】
【0011】
本発明は、各構成ユニットの操作や、被加工物への処理を容易に行える。
【図面の簡単な説明】
【0012】
【発明を実施するための形態】
【0013】
本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。
【0014】
〔実施形態１〕
本発明の実施形態１に係る加工装置１を図面に基づいて説明する。図１は、実施形態１に係る加工装置１の構成例を示す斜視図である。図２は、図１の加工装置１の機能構成の一例を模式的に示す図である。実施形態１に係る加工装置１は、図１に示すように、保持テーブル１０と、ターンテーブル２０と、仮置きテーブル３０と、加工ユニット４０と、搬送アーム５０と、タッチパネル６０と、洗浄ユニット７０と、カセットステージ８０と、カセット８１，８２と、制御ユニット９０と、を備える。加工装置１は、実施形態１では、装置基台２と、装置カバー３とを備え、上記の加工装置１の各構成要素を装置基台２上に備え、タッチパネル６０を除く上記の各構成要素を装置カバー３で覆っている。本発明に係る構成ユニットは、上記した加工装置１の構成要素のうち後述する被加工物１００をカセット８１，８２から搬出して加工ユニット４０による加工処理を経てカセット８１，８２に搬入するまでの間に所定の動作を実施して被加工物１００に対して保持、搬送、加工などの処理を実施するユニット全般であり、本実施形態では、具体的には、保持テーブル１０、ターンテーブル２０、仮置きテーブル３０、加工ユニット４０、搬送アーム５０、洗浄ユニット７０、カセット８１，８２を示す。
本発明の実施形態１に係る加工装置１を図面に基づいて説明する。図１は、実施形態１に係る加工装置１の構成例を示す斜視図である。図２は、図１の加工装置１の機能構成の一例を模式的に示す図である。実施形態１に係る加工装置１は、図１に示すように、保持テーブル１０と、ターンテーブル２０と、仮置きテーブル３０と、加工ユニット４０と、搬送アーム５０と、タッチパネル６０と、洗浄ユニット７０と、カセットステージ８０と、カセット８１，８２と、制御ユニット９０と、を備える。加工装置１は、実施形態１では、装置基台２と、装置カバー３とを備え、上記の加工装置１の各構成要素を装置基台２上に備え、タッチパネル６０を除く上記の各構成要素を装置カバー３で覆っている。本発明に係る構成ユニットは、上記した加工装置１の構成要素のうち後述する被加工物１００をカセット８１，８２から搬出して加工ユニット４０による加工処理を経てカセット８１，８２に搬入するまでの間に所定の動作を実施して被加工物１００に対して保持、搬送、加工などの処理を実施するユニット全般であり、本実施形態では、具体的には、保持テーブル１０、ターンテーブル２０、仮置きテーブル３０、加工ユニット４０、搬送アーム５０、洗浄ユニット７０、カセット８１，８２を示す。
【0015】
実施形態１において、加工装置１が加工する加工対象である被加工物１００は、図１に示すように、例えば、シリコン、サファイア、シリコンカーバイド（ＳｉＣ）、ガリウムヒ素などを母材とする円板状の半導体ウエーハや光デバイスウエーハなどである。被加工物１００は、平坦な表面の格子状に形成される複数の分割予定ラインによって区画された領域にチップサイズのデバイスが形成されている。被加工物１００は、本発明では、表面の裏側の裏面に粘着テープが貼着され、粘着テープの外縁部に環状のフレームが装着されていても良い。また、本発明では、被加工物１００は、樹脂により封止されたデバイスを複数有した矩形状のパッケージ基板、セラミックス板、又はガラス板等でも良い。
【0016】
加工装置１は、実施形態１では、自動的に加工装置１の各構成ユニットに一連の動作を実施させて被加工物１００の搬送と加工を繰り返し、カセット８１，８２に収容された被加工物１００を順次加工するフルオート加工を実施する。
【0017】
保持テーブル１０は、保持面１１で被加工物１００を保持する。保持テーブル１０は、被加工物１００を保持する平坦な保持面１１が上面に形成されかつ多数のポーラス孔を備えたポーラスセラミック等から構成された円盤形状の吸着部と、吸着部を上面中央部の窪み部に嵌め込んで固定する枠体とを備えた円盤形状である。保持面１１は、水平面であるＸＹ平面に概ね平行に形成されている。保持テーブル１０は、不図示の回転駆動源により水平面に直交するＺ軸方向と平行な軸心回りに回転自在に設けられている。保持テーブル１０は、吸着部が、図示しない真空吸引経路を介して図示しない真空吸引源と接続され、保持面１１全体で、被加工物１００を吸引保持する。保持テーブル１０の動作は、実施形態１では、保持面１１で被加工物１００を吸引保持する動作、及び、保持面１１での被加工物１００の吸引保持を解除する動作等である。保持テーブル１０は、不図示のセンサが設けられている。保持テーブル１０に設けられたセンサは、保持面１１で保持している被加工物１００、保持面１１での被加工物１００の吸引保持動作の開始、当該動作の終了（吸引保持の解除動作）、及び当該動作のエラーの発生を検出し、検出結果を制御ユニット９０に送信する。
【0018】
保持テーブル１０は、図１に示すように、ターンテーブル２０上に２つ設置されている。これら２つの保持テーブル１０は、ターンテーブル２０上において、ターンテーブル２０とは独立して概ね水平面内で回転可能に設けられている。ターンテーブル２０は、図１に示すように、円盤状のテーブルであり、水平面内で回転可能に設けられ、所定のタイミングで回転駆動されることで、保持テーブル１０を移動させて保持テーブル１０上の被加工物１００を搬送する。２つの保持テーブル１０は、ターンテーブル２０上には、例えば１８０°の位相角で等間隔に配設されている。これらの２つの保持テーブル１０は、ターンテーブル２０の回転によって、搬入搬出位置、加工位置に順次移動される。ターンテーブル２０の動作は、実施形態１では、ターンテーブル２０を回転させてターンテーブル２０上の保持テーブル１０を搬入搬出位置から加工位置へ移動させる動作、ターンテーブル２０を回転させてターンテーブル２０上の保持テーブル１０を加工位置から搬入搬出位置へ移動させる動作等である。ターンテーブル２０は、不図示のセンサが設けられている。ターンテーブル２０に設けられたセンサは、ターンテーブル２０の回転角、ターンテーブル２０の回転動作の開始、当該動作の終了、及び当該動作のエラーの発生を検出し、検出結果を制御ユニット９０に送信する。
【0019】
仮置きテーブル３０は、カセットステージ８０に載置されたカセット８１，８２から取り出した加工前の被加工物１００が保持テーブル１０に搬入される前に仮置きされ、被加工物１００の中心位置合わせを行う。仮置きテーブル３０の動作は、実施形態１では、仮置きテーブル３０上に搬出された被加工物１００の中心位置合わせを行う動作等である。仮置きテーブル３０は、不図示のセンサが設けられている。仮置きテーブル３０に設けられたセンサは、仮置きテーブル３０が保持している被加工物１００、仮置きテーブル３０による被加工物１００の中心位置合わせ動作の開始、当該動作の終了、及び当該動作のエラーの発生を検出し、検出結果を制御ユニット９０に送信する。
【0020】
加工ユニット４０は、保持テーブル１０に保持された被加工物１００を加工する。加工ユニット４０は、実施形態１では、研削ユニットであり、研削ホイール４１を有する。研削ホイール４１は、環状に配された研削砥石を有し、Ｚ軸方向と平行な軸心回りの回転動作が加えられながら、加工位置に位置付けられた保持テーブル１０に保持された被加工物１００にＺ軸方向に沿って押圧されて、被加工物１００を研削加工する。加工ユニット４０の動作は、実施形態１では、研削ホイール４１で被加工物１００を研削加工する動作等である。加工ユニット４０は、不図示のセンサが設けられている。加工ユニット４０に設けられたセンサは、加工ユニット４０が研削加工している被加工物１００、加工ユニット４０による被加工物１００の研削加工動作の開始、当該動作の終了、当該動作のエラーの発生を検出し、検出結果を制御ユニット９０に送信する。
【0021】
搬送アーム５０は、加工装置１内の複数の構成ユニットの間で被加工物１００を搬送する。搬送アーム５０は、実施形態１では、第１の搬送アーム５１と、第２の搬送アーム５２と、を備える。第１の搬送アーム５１は、例えばＵ字型ハンドを備えるロボットピックであり、Ｕ字型ハンドによって被加工物１００を吸着保持して被加工物１００を搬送する。第１の搬送アーム５１は、加工前の被加工物１００をカセット８１，８２から１枚取り出して仮置きテーブル３０へ搬出するとともに、加工後の被加工物１００を洗浄ユニット７０からカセット８１，８２へ搬入する。第１の搬送アーム５１は、加工前にカセット８１に収容されていた加工後かつ洗浄後の被加工物１００を、カセット８１に搬入し、加工前にカセット８２に収容されていた加工後かつ洗浄後の被加工物１００を、カセット８２に搬入する。第２の搬送アーム５２は、吸着パッドを有し、仮置きテーブル３０で位置合わせされた加工前の被加工物１００を吸着保持して搬入搬出位置に位置する保持テーブル１０上に搬入するとともに、搬入搬出位置に位置する保持テーブル１０上に保持された加工後の被加工物１００を吸着保持して洗浄ユニット７０の洗浄テーブル７１上に搬出する。
【0022】
第１の搬送アーム５１の動作は、実施形態１では、被加工物１００を吸着保持する動作、被加工物１００の吸着保持を解除する動作、カセット８１，８２前へ移動する動作、仮置きテーブル３０上へ移動する動作、洗浄ユニット７０の洗浄テーブル７１上へ移動する動作等である。フルオート加工する際の第１の搬送アーム５１の動作は、実施形態１では、被加工物１００をカセット８１，８２から１枚取り出して仮置きテーブル３０へ搬送（搬出）する動作、被加工物１００を洗浄ユニット７０からカセット８１，８２へ搬送（搬入）する動作等である。第１の搬送アーム５１は、不図示のセンサが設けられている。第１の搬送アーム５１に設けられたセンサは、第１の搬送アーム５１を構成する各アームの回転角等の第１の搬送アーム５１の駆動に関する情報である駆動情報、第１の搬送アーム５１が吸着保持している被加工物１００及びその位置、上記した各動作の開始、当該動作の終了及び当該動作のエラーの発生を検出し、これらの検出結果を制御ユニット９０に送信する。
【0023】
第２の搬送アーム５２の動作は、実施形態１では、被加工物１００を吸着保持する動作、被加工物１００の吸着保持を解除する動作、搬入搬出位置に位置する保持テーブル１０上へ移動する動作、仮置きテーブル３０上へ移動する動作、洗浄ユニット７０の洗浄テーブル７１上へ移動する動作等である。フルオート加工する際の第２の搬送アーム５２の動作は、実施形態１では、被加工物１００を仮置きテーブル３０から搬入搬出位置に位置する保持テーブル１０へ搬送（搬入）する動作、被加工物１００を搬入搬出位置に位置する保持テーブル１０から洗浄ユニット７０へ搬送（搬出）する動作等である。第２の搬送アーム５２は、不図示のセンサが設けられている。第２の搬送アーム５２に設けられたセンサは、第２の搬送アーム５２を構成する各アームの回転角や位置等の第２の搬送アーム５２の駆動に関する情報である駆動情報、第２の搬送アーム５２が吸着保持している被加工物１００、上記した各動作の開始、当該動作の終了及び当該動作のエラーの発生を検出し、これらの検出結果を制御ユニット９０に送信する。
【0024】
タッチパネル６０は、図１に示すように、表示面を外側に向けた状態で装置カバー３に設置される。タッチパネル６０は、加工装置１に関する各種情報を表示するモニター６１と、加工条件の設定入力など、加工装置１に関する各種操作入力をオペレータから受け付ける入力部６２と、を有する。タッチパネル６０は、モニター６１に複数の構成ユニットイラスト３０１（図５参照）と被加工物イラスト３０２（図５参照）とで構成される装置内イラスト３００（図５参照）を表示する。タッチパネル６０は、入力部６２で、加工装置１のオペレータによるモニター６１に表示された構成ユニットイラスト３０１及び被加工物イラスト３０２への選択の入力を受け付ける。
【0025】
洗浄ユニット７０は、研削後の被加工物１００を保持する洗浄テーブル７１を有する。洗浄ユニット７０は、洗浄テーブル７１上の研削後の被加工物１００を洗浄し、研削された加工面に付着している研削屑等のコンタミネーションを除去する。洗浄ユニット７０の動作は、実施形態１では、洗浄テーブル７１で被加工物１００を保持する動作、洗浄テーブル７１での被加工物１００の保持を解除する動作、洗浄テーブル７１上の被加工物１００の洗浄動作等である。洗浄ユニット７０は、不図示のセンサが設けられている。洗浄ユニット７０に設けられたセンサは、洗浄テーブル７１が保持している被加工物１００、洗浄ユニット７０による被加工物１００の洗浄動作の開始、当該動作の終了、及び当該動作のエラーの発生を検出し、検出結果を制御ユニット９０に送信する。
【0026】
カセットステージ８０は、複数の被加工物１００を収容するための収容器であるカセット８１，８２を載置する載置台である。加工装置１は、実施形態１では、２箇所のカセットステージ８０を備え、一方にカセット８１が載置され、他方にカセット８２が載置されるが、本発明ではこれに限定されず、少なくとも１箇所以上のカセットステージ８０を備えていれば良い。
【0027】
カセット８１，８２は、開口を通して被加工物１００を出し入れ可能にするとともに、被加工物１００をＺ軸方向に間隔をあけて保持するスロットを複数備えている。カセット８１，８２に収容される被加工物１００は、加工装置１では、収容されるスロットの段数で、１枚１枚が管理、区別されて取り扱われる。カセット８１，８２の動作は、実施形態１では、第１の搬送アーム５１による被加工物１００の搬出及び搬入の各動作を受け付ける動作等である。カセット８１，８２は、実施形態１では、いずれも１０層のスロットを備え、１０枚の被加工物１００が区別されて取り扱われるが、本発明ではこれに限定されず、スロットは何層でも良い。カセット８１，８２は、開口が第１の搬送アーム５１側に向けられた状態でカセットステージ８０に載置される。
【0028】
制御ユニット９０は、加工装置１の各構成ユニットをそれぞれ制御して、被加工物１００を加工する加工処理に関する各動作を加工装置１に実施させる。制御ユニット９０は、各構成ユニット等に設けられたセンサの検出結果を受信する。また、制御ユニット９０は、これらのセンサの検出結果に基づいて、モニター６１の装置内イラスト３００及び入力部６２が制御する装置内イラスト３００への入力受付機能を制御する。制御ユニット９０は、図２に示すように、記憶部９１と、処理部９２とを備える。
【0029】
記憶部９１は、処理部９２により実行される加工装置１の各種処理等の機能を実現するプログラムや、プログラムによる処理に用いられるデータ（加工条件）などを記憶する。記憶部９１は、ＲＡＭ（Random Access Memory）、ＲＯＭ（Read Only Memory）、フラッシュメモリ、ＥＰＲＯＭ（Erasable Programmable Read Only Memory）、ＥＥＰＲＯＭ（登録商標）（Electrically Erasable Programmable Read Only Memory）などの不揮発性または揮発性の半導体メモリなどの記憶装置を含む。記憶部９１に記憶されるプログラムは、処理部９２が備えるプロセッサにより実行可能なデータ処理を行うための複数の命令を含むプロセッサによる読取り可能かつ非遷移的な（non-transitory）記憶媒体を有するプログラムプロダクトであるともいえる。記憶部９１は、処理部９２が備えるプロセッサがプログラムに記述された命令を実行する際の一時的な作業領域としても利用できる。
【0030】
実施形態１に係る記憶部９１は、図２に示すように、イラスト記憶部９３と、フルオート動作記憶部９４と、進捗記憶部９５と、構成ユニット動作記憶部９６と、を有する。イラスト記憶部９３、フルオート動作記憶部９４、進捗記憶部９５及び構成ユニット動作記憶部９６の機能は、記憶部９１に含まれる記憶装置により実現される。
【0031】
イラスト記憶部９３は、各構成ユニットのイラストである複数の各構成ユニットイラスト３０１と、被加工物１００のイラストである被加工物イラスト３０２を記憶する。イラスト記憶部９３が記憶する各構成ユニットイラスト３０１は、実施形態１では、加工装置１の上方から見た、各構成ユニットの外形を示す平面図のイラストである。イラスト記憶部９３は、第１の搬送アーム５１及び第２の搬送アーム５２の外形が回転移動によって変化する場合、複数の回転角度における複数の平面図のイラストを記憶する。イラスト記憶部９３は、第１の搬送アーム５１及び第２の搬送アーム５２以外の各構成ユニットの構成ユニットイラスト３０１として、各構成ユニットの平面図のイラストを１つのみ記憶する。ここで、第１の搬送アーム５１及び第２の搬送アーム５２以外の各構成ユニットの構成ユニットイラスト３０１は、実施形態１では、保持テーブル１０の構成ユニットイラスト３０１、ターンテーブル２０の構成ユニットイラスト３０１、仮置きテーブル３０の構成ユニットイラスト３０１、加工ユニット４０の構成ユニットイラスト３０１、洗浄ユニット７０の構成ユニットイラスト３０１及びカセット８１，８２の構成ユニットイラスト３０１である。
【0032】
イラスト記憶部９３が記憶する洗浄ユニット７０の構成ユニットイラスト３０１は、実施形態１では、洗浄ユニット７０の上方を覆う部分を省略した平面図のイラストとなっており、実質的に洗浄テーブル７１の構成ユニットイラスト３０１となっている。また、イラスト記憶部９３が記憶するカセット８１，８２のそれぞれの構成ユニットイラスト３０１は、実施形態１では、カセット８１，８２の上方を覆う部分を省略した平面図のイラストとなっている。これにより、洗浄テーブル７１上やカセット８１，８２に収容されている被加工物１００を表す被加工物イラスト３０２は、装置内イラスト３００において洗浄テーブル７１及びカセット８１，８２のそれぞれの構成ユニットイラスト３０１よりも手前側に表示され、モニター６１で視認しやすく、入力部６２で選択しやすくなっている。
【0033】
イラスト記憶部９３が記憶する被加工物イラスト３０２は、実施形態１では、加工装置１の上方から見た、被加工物１００の外径を示す平面図に被加工物１００が加工前に収容されるスロットの段数の番号の表示を付した被加工物１００のイラストである。なお、被加工物イラスト３０２は、被加工物１００毎にそれぞれ加工前に収容されるスロットの段数の番号が紐づけられているので、加工前に収容されるスロットの番号で識別可能となる。
【0034】
また、イラスト記憶部９３は、モニター６１に表示する装置内イラスト３００における各構成ユニットイラスト３０１の配置位置及び配置順序のデータである配置データも合わせて記憶している。これらの各構成ユニットイラスト３０１、被加工物イラスト３０２及び各構成ユニットイラスト３０１の配置データは、予め加工装置１のオペレータや管理者等により、イラスト記憶部９３に記憶される。
【0035】
図３は、図２のフルオート動作記憶部９４が記憶するフルオート動作データ２０１の一例を示す図である。フルオート動作記憶部９４は、フルオート加工において被加工物１００を処理する際の複数の構成ユニットの一連の動作を記憶する。具体的には、フルオート動作記憶部９４は、図３に示すように、フルオート加工する際の加工装置１が備える複数の構成ユニットの動作を実施する順序と、各動作を実施する際に被加工物１００を保持している構成ユニット及び被加工物１００に対して実施する動作の内容と、を１対１で対応付けてフルオート動作データ２０１として記憶している。フルオート動作データ２０１は、予め加工装置１のオペレータや管理者等により、フルオート動作記憶部９４に記憶される。
【0036】
フルオート動作データ２０１は、図３に示す例では、１番目に、第１の搬送アーム５１が被加工物１００をカセット８１，８２から１枚取り出して仮置きテーブル３０へ搬送（搬出）する動作を実施し、２番目に、第２の搬送アーム５２が被加工物１００を仮置きテーブル３０から搬入搬出位置に位置する保持テーブル１０へ搬送する動作を実施し、３番目に、加工位置に位置付けられた保持テーブル１０上で加工ユニット４０が被加工物１００を研削加工する動作を実施し、４番目に、第２の搬送アーム５２が被加工物１００を搬入搬出位置に位置する保持テーブル１０から洗浄ユニット７０へ搬送する動作を実施し、５番目に、洗浄ユニット７０が洗浄テーブル７１上の被加工物１００の洗浄動作を実施し、６番目に、第１の搬送アーム５１が被加工物１００を洗浄ユニット７０からカセット８１，８２へ搬送（搬入）する動作を実施することを示している。なお、フルオート動作データ２０１は、図３に示す例では、フルオート加工する際の加工装置１が備える複数の構成ユニットの動作のうち、一部のみが示されているが、実際には、フルオート加工の開始から終了までの間に加工装置１が備える複数の構成ユニットが実行する動作がさらに細かく、さらに多く記憶されている。
【0037】
図４は、図２の進捗記憶部９５が記憶する進捗データ２０２の一例を示す図である。進捗記憶部９５は、被加工物１００毎にフルオート加工の進捗を記憶する。進捗記憶部９５は、フルオート加工の実行中に、リアルタイムで得られる各構成ユニットに設けられたセンサの検出結果に基づいて、フルオート動作データ２０１に記憶されている各動作の内容の変化を検出する毎に、当該動作の内容が変化した旨をフルオート加工の進捗として記憶、更新する。ここで、動作の内容の変化は、動作の開始、動作の終了、及び動作中のエラーの発生であり、動作による被加工物１００の移動を含む。進捗記憶部９５は、このようにフルオート動作データ２０１に記憶されている各動作の内容の変化を記憶することで、被加工物１００毎のフルオート加工の進捗を、図４に示すような進捗データ２０２として記憶する。進捗記憶部９５は、また、フルオート加工が中断されており、後述するように処理部９２が各構成ユニットの動作を実施させる際にも、各構成ユニットに設けられたセンサの検出結果に基づいて、フルオート動作データ２０１に記憶されている各動作の内容の変化を検出する毎に、当該動作の内容が変化した旨をフルオート加工の進捗として記憶、更新する。
【0038】
進捗記憶部９５は、実施形態１では、例えば、被加工物１００の移動前の構成ユニットのセンサからの被加工物１００の検出信号が消滅し、被加工物１００の移動先の構成ユニットのセンサからの被加工物１００の検出信号が発生したことを認識すると、当該被加工物１００が移動前の構成ユニットから移動先の構成ユニットに搬送する動作が実施されたと認識し、当該動作が実施された（開始及び終了した）旨を進捗データ２０２に記憶、更新する。例えば、進捗記憶部９５は、第１の搬送アーム５１や第２の搬送アーム５２のセンサからの被加工物１００の検出信号が継続し、第１の搬送アーム５１や第２の搬送アーム５２のセンサからの各アームの角度の検出信号を検出すると、被加工物１００を搬送する動作を開始したと認識し、その旨を進捗データ２０２に記録、更新する。
【0039】
進捗データ２０２は、図４に示す例では、被加工物１００の名称を、ワークの文字と被加工物１００が収容されたスロットの段数とで示しており、被加工物１００毎に、終了した動作の欄には「終了」を、開始された状態にある動作の欄に「開始」を、エラーの発生した動作の欄には「エラー」を、まだ実行されていない動作の欄には空欄及び斜線のハッチングを示すことで、被加工物１００毎のフルオート加工の進捗を示している。進捗データ２０２は、図４に示す例では、ワーク１からワーク３についてはフルオート動作データ２０１に記憶されている全ての動作が処理済みであり、ワーク４については研削加工済みで洗浄テーブル７１上で洗浄中であり、ワーク５については研削加工済みで第２の搬送アーム５２による洗浄テーブル７１への搬送中であり、ワーク６については研削加工中にエラーが発生した状態となっており、ワーク７からワーク１０についてはフルオート動作データ２０１に記憶されている全ての動作が未処理であることを示している。
【0040】
記憶部９１は、上記の他に、加工ユニット４０による被加工物１００の加工処理に必要な加工条件等の情報を記憶している。この加工条件等の情報は、予め加工装置１のオペレータや管理者等により、記憶部９１に記憶される。
【0041】
処理部９２は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）マイクロプロセッサ、マイクロコンピュータ、ＤＳＰ（Digital Signal Processor）、システムＬＳＩ（Large Scale Integration）などのプロセッサなどの演算処理装置を含む。処理部９２が備えるプロセッサは、記憶部９１が備えるＲＡＭ上にロードされたプログラムを実行する。これにより、加工装置１により実行される各種処理等の機能が実現される。記憶部９１が備えるＲＡＭ上にロードされ、処理部９２が備えるプロセッサが実行するプログラムには、モニター６１に装置内イラスト３００を表示し、入力部６２で装置内イラスト３００への入力受付するプログラム、入力部６２で受け付けた入力に基づいて加工装置１の各構成ユニットを動作させるプログラム等がある。加工装置１により実行される各種処理等の機能として、加工ユニット４０による被加工物１００の加工処理の機能、モニター６１による装置内イラスト３００の表示機能、入力部６２による装置内イラスト３００への入力受付機能、入力部６２で受け付けた入力に基づいて加工装置１の各構成ユニットを動作させる機能などが例示される。
【0042】
処理部９２は、記憶部９１に格納されたプログラムに基づいて動作し、以下に説明する加工装置１の各種処理等を実行する。ここで、処理部９２が実施する加工装置１の各種処理等は、実施形態１では、フルオート加工する際の加工装置１が備える複数の構成ユニットの動作の処理、及び、入力部６２で受け付けた入力に基づいて加工装置１の各構成ユニットを動作させる処理等である。実施形態１に係る処理部９２は、図２に示すように、加工処理部９７と、位置反映部９８と、処理把握部９９と、を有する。加工処理部９７、位置反映部９８及び処理把握部９９の機能は、記憶部９１の記憶装置に記憶されたプログラムを演算処理装置が実行することで実現される。
【0043】
加工処理部９７は、記憶部９１に記憶された加工条件等の情報に基づいて加工装置１の各構成ユニットを制御して、加工ユニット４０による被加工物１００の加工処理を実行する。加工処理部９７は、実施形態１では、入力部６２によりオペレータによる被加工物１００をフルオート加工する旨の入力を受け付けることに応じて、装置内イラスト３００を生成してモニター６１に表示させる処理を実行し、フルオート動作データ２０１に従って各構成ユニットに各構成ユニットの動作を順番に実施させることによりフルオート加工を実行する。加工処理部９７は、フルオート加工の実行中に、各構成ユニットに設けられたセンサが各構成ユニットの動作にエラーが発生したことを検出した場合、当該エラーが発生した構成ユニットにおける被加工物１００の加工処理を停止し、当該エラーが発生した旨を装置内イラスト３００の表示に反映させ、当該エラーが発生していない各構成ユニットにおける被加工物１００の加工処理を完了させる。加工処理部９７は、フルオート加工の実行中以外のときには、入力部６２によりオペレータによる各構成ユニットを動作させる旨の入力を受け付けることに応じて、当該構成ユニットの動作を実施させる。
【0044】
位置反映部９８は、各被加工物１００の現在位置を把握し、装置内イラスト３００における各被加工物イラスト３０２の位置に反映させる。なお、位置反映部９８の詳細な機能は、後述する加工装置１の動作の説明と合わせて説明する。また、構成ユニット動作記憶部９６及び処理把握部９９は、図２に図示されているが、以下に説明する実施形態１に係る加工装置１の動作には関与しないので、後述する実施形態２及び実施形態３においてその機能及び動作を説明する。
【0045】
処理部９２の加工処理部９７は、加工装置１の入力部６２がオペレータによる被加工物１００のフルオート加工の旨の入力もしくは各動作を実施する旨の入力を受け付けると、イラスト記憶部９３に記憶されている各構成ユニットイラスト３０１、被加工物イラスト３０２、各構成ユニットイラスト３０１の配置データ、及び、各構成ユニットに設けられたセンサの検出結果に基づいて、以下に説明するように、図５に示す装置内イラスト３００を生成し、モニター６１に表示させる。処理部９２の加工処理部９７は、まず、装置内イラスト３００において移動や回転を伴わないターンテーブル２０、仮置きテーブル３０、加工ユニット４０、洗浄ユニット７０及びカセット８１，８２の各構成ユニットイラスト３０１を、各構成ユニットイラスト３０１の配置データに従って装置内イラスト３００上に配置する。
【0046】
処理部９２の加工処理部９７は、次に、各構成ユニットに設けられたセンサの検出結果に基づいて各保持テーブル１０の現在位置を把握し、各保持テーブル１０の構成ユニットイラスト３０１を、各保持テーブル１０の現在位置に対応する装置内イラスト３００における位置に表示させる。また、処理部９２の加工処理部９７は、各構成ユニットに設けられたセンサの検出結果に基づいて保持テーブル１０の移動を把握し、各保持テーブル１０の構成ユニットイラスト３０１を、保持テーブル１０の移動前の位置に対応する装置内イラスト３００における位置から、保持テーブル１０の移動後の位置に対応する装置内イラスト３００における位置に移動させる。処理部９２の加工処理部９７は、フルオート加工の実行中には、リアルタイムで進捗記憶部９５により更新される進捗データ２０２に基づいて、各保持テーブル１０の現在位置及び移動を把握してもよい。
【0047】
処理部９２の加工処理部９７は、また、第１の搬送アーム５１に設けられたセンサの検出結果に基づいて第１の搬送アーム５１の移動や回転を把握し、第１の搬送アーム５１の現在の状態に対応する外形の第１の搬送アーム５１の構成ユニットイラスト３０１を、装置内イラスト３００に表示させる。処理部９２の加工処理部９７は、第２の搬送アーム５２に設けられたセンサの検出結果に基づいて第２の搬送アーム５２の移動や回転を把握し、第２の搬送アーム５２の現在の状態に対応する外形の第２の搬送アーム５２の構成ユニットイラスト３０１を、装置内イラスト３００に表示させる。
【0048】
処理部９２の位置反映部９８は、また、各構成ユニットに設けられたセンサの検出結果に基づいて各被加工物１００の現在位置を把握し、各被加工物イラスト３０２を、被加工物１００毎の現在位置に対応する装置内イラスト３００における各位置に表示させる。また、処理部９２の位置反映部９８は、各構成ユニットに設けられたセンサの検出結果に基づいて各被加工物１００の移動を把握し、各被加工物イラスト３０２を、被加工物１００の移動前の位置に対応する装置内イラスト３００における位置から、被加工物１００の移動後の位置に対応する装置内イラスト３００における位置に移動させる。処理部９２の位置反映部９８は、フルオート加工の実行中には、リアルタイムで進捗記憶部９５により更新される進捗データ２０２に基づいて、各被加工物１００の現在位置及び移動を把握してもよい。
【0049】
処理部９２の加工処理部９７は、フルオート加工を実行中には、モニター６１に装置内イラスト３００を表示させ、入力部６２による装置内イラスト３００への入力受付機能を停止する。処理部９２の加工処理部９７は、エラーが発生してフルオート加工が中断すると、エラーが発生した構成ユニットにおいて加工処理が行われていた被加工物１００の被加工物イラスト３０２の表示またはエラーが発生した構成ユニットイラスト３０１を着色するまたは印を表示するなどして、その他の被加工物イラスト３０２または構成ユニットイラスト３０１に対して識別可能に変更する。また、処理部９２の加工処理部９７は、エラーが発生してフルオート加工が中断すると、入力部６２による装置内イラスト３００への入力受付を開始する。処理部９２の加工処理部９７は、実施形態１では、入力部６２により、装置内イラスト３００に表示している被加工物１００の被加工物イラスト３０２の選択の入力受付を開始する。
【0050】
図５及び図６は、図２の処理部９２の処理の一例を示す図である。図５及び図６は、いずれも、加工ユニット４０の動作でエラーが発生してフルオート加工が中断した後における装置内イラスト３００を示している。図５の左は、加工ユニット４０の動作でエラーが発生してフルオート加工が中断した際の装置内イラスト３００を示しており、ワーク４（被加工物１００）が洗浄ユニット７０の洗浄テーブル７１で洗浄済みの状態で保持されており、ワーク５（被加工物１００）が搬入搬出位置に位置付けられた保持テーブル１０で研削加工済みの状態で保持されており、ワーク６（被加工物１００）が加工位置に位置付けられた保持テーブル１０で研削加工が中断されて研削加工途中となった状態で保持されていることを示している。
【0051】
図５の左に示すように、処理部９２の加工処理部９７は、まず、フルオート加工が中断されている状態で、入力部６２により、オペレータによる被加工物１００（ワーク４）の被加工物イラスト３０２への選択の入力を受け付ける。入力は、例えばオペレータがモニター６１を触れることで行う。
【0052】
処理部９２の加工処理部９７は、次に、実施形態１では、進捗記憶部９５に記憶された図４に示す進捗データ２０２に基づき、選択の入力を受け付けた被加工物イラスト３０２に対応付けられている被加工物１００（ワーク４）についてフルオート加工の一連の動作の中でまだ終了していない処理を行う構成ユニットの構成ユニットイラスト３０１を、被加工物１００（ワーク４）を処理可能な構成ユニットの構成ユニットイラスト３０１として識別可能に表示する。
【0053】
処理部９２の加工処理部９７は、具体的には、まず、フルオート加工する際の一連の各構成ユニットの動作の中で、被加工物１００（ワーク４）について進捗データ２０２で未処理である旨が記憶されている動作を抽出する。処理部９２の加工処理部９７は、図５に示す例では、第１の搬送アーム５１が被加工物１００（ワーク４）を洗浄ユニット７０からカセット８２へ搬送（搬入）する動作、を抽出する。処理部９２の加工処理部９７は、次に、図５の左に示すように、前の処理で抽出した動作による被加工物１００（ワーク４）の移動先であるカセット８２の構成ユニットイラスト３０１を、装置内イラスト３００において識別可能に強調表示する（ステップ１０１１）。処理部９２の加工処理部９７は、実施形態１では、このように、まだ終了していない動作が被加工物１００を移動させる動作である場合、当該動作の移動先の構成ユニットの構成ユニットイラスト３０１を、処理可能な構成ユニットの構成ユニットイラスト３０１として識別可能に表示する。処理部９２の加工処理部９７は、そして、入力部６２により、装置内イラスト３００において識別可能に表示する構成ユニットの構成ユニットイラスト３０１の選択の入力受付を開始する。
【0054】
処理部９２の加工処理部９７は、処理可能な構成ユニットの構成ユニットイラスト３０１として被加工物１００（ワーク４）の移動先であるカセット８２の構成ユニットイラスト３０１を識別可能に表示した後、図５の中央に示すように、入力部６２により、識別可能に表示されたカセット８２の構成ユニットイラスト３０１を選択する入力を受け付ける（ステップ１０１２）。
【0055】
処理部９２の加工処理部９７は、ステップ１０１２でカセット８２の構成ユニットイラスト３０１への選択の入力を受け付けると、第１の搬送アーム５１が被加工物１００（ワーク４）を洗浄ユニット７０からカセット８２へ搬送（搬入）する動作を実施する旨の入力を受け付けたと認識し、この動作を第１の搬送アーム５１に実施させる。また、処理部９２は、この動作の実施による実際の第１の搬送アーム５１の移動や回転に応じて、装置内イラスト３００において、第１の搬送アーム５１の構成ユニットイラスト３０１を変化させる動画を表示する。また、処理部９２の位置反映部９８は、この動作の実施による実際の被加工物１００（ワーク４）の移動に応じて、装置内イラスト３００において、被加工物１００（ワーク４）の被加工物イラスト３０２を洗浄テーブル７１の構成ユニットイラスト３０１上からカセット８２の構成ユニットイラスト３０１上へ移動させる動画を表示する（ステップ１０１３）。処理部９２の位置反映部９８は、この動画を表示させた後、図５の右に示すように、カセット８２の構成ユニットイラスト３０１上へ移動させた被加工物１００（ワーク４）の被加工物イラスト３０２を非表示にする。また、処理部９２の位置反映部９８は、被加工物１００の移動に対応する動画の代替として、移動元の構成ユニットイラスト３０１上の被加工物イラスト３０２を非表示にし、移動先の構成ユニットイラスト３０１上に被加工物イラスト３０２を表示するようにしても良い。
【0056】
なお、実施形態１では、処理部９２は、オペレータによる被加工物１００（ワーク４）の被加工物イラスト３０２への選択の入力の受け付けと、カセット８２の構成ユニットイラスト３０１への選択の入力の受け付けとに応じて、第１の搬送アーム５１が被加工物１００（ワーク４）を洗浄ユニット７０からカセット８２へ搬送（搬入）する動作と、装置内イラスト３００における第１の搬送アーム５１の構成ユニットイラスト３０１の変化及び被加工物１００（ワーク４）の被加工物イラスト３０２の移動についての表示処理を実施したが、本発明ではこれに限定されず、オペレータによる被加工物１００（ワーク４）の被加工物イラスト３０２への接触を継続した状態で、当該被加工物イラスト３０２をカセット８２の構成ユニットイラスト３０１へのドラッグすることで、被加工物１００（ワーク４）の構成ユニット（カセット８２）への搬送動作と装置内イラスト３００における表示処理を実施してもよい。
【0057】
図６の左は、加工ユニット４０の動作でエラーが発生してフルオート加工が中断した後に、図５を用いて説明した各処理に従って第１の搬送アーム５１が被加工物１００（ワーク４）を洗浄ユニット７０からカセット８２へ搬送（搬入）する動作を実施した後の状態での装置内イラスト３００を示している。図６の左に示すように、処理部９２の加工処理部９７は、入力部６２により、オペレータによる被加工物１００（ワーク５）の被加工物イラスト３０２への選択の入力を受け付けると、第２の搬送アーム５２が被加工物１００を搬入搬出位置に位置する保持テーブル１０から洗浄ユニット７０へ搬送する動作、及び、第１の搬送アーム５１が被加工物１００を洗浄ユニット７０からカセット８２へ搬送（搬入）する動作を抽出し、第２の搬送アーム５２が被加工物１００を搬入搬出位置に位置する保持テーブル１０から洗浄ユニット７０へ搬送する動作の移動先である洗浄テーブル７１と、第１の搬送アーム５１が被加工物１００を洗浄ユニット７０からカセット８２へ搬送（搬入）する動作の移動先であるカセット８２との各構成ユニットイラスト３０１を、装置内イラスト３００において識別可能に強調表示する（ステップ１０２１）。
【0058】
処理部９２の加工処理部９７は、上述のように強調表示処理をした後、図６の中央に示すように、オペレータによる、ステップ１０２１で識別可能に表示された洗浄テーブル７１の構成ユニットイラスト３０１への選択の入力を受け付ける（ステップ１０２２）。
【0059】
処理部９２の加工処理部９７は、ステップ１０２２で洗浄テーブル７１の構成ユニットイラスト３０１への選択の入力を受け付けると、第２の搬送アーム５２が被加工物１００を搬入搬出位置に位置する保持テーブル１０から洗浄ユニット７０へ搬送（搬出）する動作を実施する旨の入力を受け付けたと認識し、この動作を第２の搬送アーム５２に実施させる。また、処理部９２は、この動作の実施による実際の第２の搬送アーム５２の回転や移動に応じて、装置内イラスト３００において、第２の搬送アーム５２の構成ユニットイラスト３０１を変化させる動画を表示する。また、処理部９２の位置反映部９８は、この動作の実施による実際の被加工物１００（ワーク５）の移動に応じて、装置内イラスト３００において、被加工物１００（ワーク５）の被加工物イラスト３０２を搬入搬出位置に位置する保持テーブル１０の構成ユニットイラスト３０１上から洗浄テーブル７１の構成ユニットイラスト３０１上へ移動させる動画を表示する（ステップ１０２３）。
【0060】
加工装置１は、図５及び図６を用いて説明した処理部９２の処理の例と同様にして、処理部９２の加工処理部９７が、入力部６２によりオペレータからの入力を受け付けることに応じて、エラーが発生して研削加工が中断された被加工物１００（ワーク６）を、研削加工途中の状態でカセット８２に搬入して回収する。なお、加工装置１は、図５及び図６を用いて説明した処理部９２の処理の例では、処理部９２の加工処理部９７が、入力部６２によりオペレータからの入力を受け付けることに応じて、構成ユニットの一連の動作のうち処理済みの動作が多い被加工物１００から順番にカセット８２に搬入して回収しているが、本発明ではこれに限定されず、任意の順番で被加工物１００をカセット８２に搬入して回収してもよい。
【0061】
制御ユニット９０は、このように、加工処理部９７、位置反映部９８、イラスト記憶部９３、フルオート動作記憶部９４及び進捗記憶部９５により、本発明における、フルオート加工が中断されている状態で、装置内イラスト３００で任意の被加工物イラスト３０２をオペレータが選択すると、被加工物１００を処理可能な構成ユニットを識別可能に表示し、オペレータが識別可能に表示された構成ユニットを選択することで、構成ユニットに被加工物１００を搬送する機能を実現する。制御ユニット９０は、さらに、処理部９２及び進捗記憶部９５により、フルオート加工の一連の動作の中でまだ終了していない処理を行う構成ユニットを、処理可能な構成ユニットとして識別可能に表示する機能を実現する。
【0062】
以上のような構成を有する実施形態１に係る加工装置１は、制御ユニット９０の処理部９２の加工処理部９７が、フルオート加工が中断されている状態で、装置内イラスト３００で任意の被加工物イラスト３０２をオペレータが選択すると、選択した被加工物イラスト３０２に関する被加工物１００を処理可能な構成ユニットの構成ユニットイラスト３０１を識別可能に表示し、オペレータが識別可能に表示された構成ユニットイラスト３０１を選択することで、選択した構成ユニットイラスト３０１の構成ユニットに被加工物１００を搬送する。このため、実施形態１に係る加工装置１は、各構成ユニットを動作させるための操作や、被加工物１００への処理を容易に行えるという作用効果を奏する。
【0063】
従来では、被加工物を自動で搬送し加工するフルオート加工を行う装置において、何らかのトラブルが発生し、フルオート加工が中断すると、オペレータが、メインメニューよりも深い階層にある各構成ユニットの複数の操作画面を変遷して操作することにより被加工物を回収していたため、オペレータの工数もかかりミスが発生する恐れがあった。しかしながら、実施形態１に係る加工装置１は、モニター６１に表示された装置内イラスト３００を選択する操作をすることで、加工後の被加工物１００を洗浄して回収する処理等を容易に行える。
【0064】
また、実施形態１に係る加工装置１は、処理部９２の加工処理部９７が、進捗記憶部９５に基づき、フルオート加工の一連の動作の中でまだ終了していない処理を行う構成ユニットの構成ユニットイラスト３０１を、処理可能な構成ユニットとして識別可能に表示することができるので、オペレータがすでに処理済みの処理を誤って繰り返し実行してしまう恐れを低減することができるという作用効果を奏する。
【0065】
〔実施形態２〕
本発明の実施形態２に係る加工装置１を図面に基づいて説明する。図７は、実施形態２に係る加工装置１の処理把握部９９が把握する処理状態データ２０３の一例を示す図である。図７は、実施形態１と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。
本発明の実施形態２に係る加工装置１を図面に基づいて説明する。図７は、実施形態２に係る加工装置１の処理把握部９９が把握する処理状態データ２０３の一例を示す図である。図７は、実施形態１と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。
【0066】
実施形態２に係る加工装置１は、実施形態１に係る加工装置１において、装置内イラスト３００において、被加工物イラスト３０２の選択の入力を受け付けた後に、識別可能に表示する処理可能な構成ユニットを抽出する方法を変更したものである。
【0067】
処理把握部９９は、リアルタイムで、進捗記憶部９５が記憶及び更新する進捗データ２０２に基づいて、各構成ユニットが被加工物１００を処理しているかを把握する。処理把握部９９は、例えば、各構成ユニットが被加工物１００（ワーク）を保持しているか否かを把握する。処理把握部９９は、各構成ユニットが被加工物１００（ワーク）を保持しているか否かに基づいて、各構成ユニットが処理可能であるか否かを判定しており、具体的には、被加工物１００を保持していない各構成ユニットについては被加工物１００を処理可能であると判定し、被加工物１００を保持している各構成ユニットについては被加工物１００を処理不可能であると判定する。処理把握部９９は、例えば、図７に示す処理状態データ２０３を把握する。
【0068】
処理状態データ２０３は、図７に示す例では、各構成ユニットが被加工物１００（ワーク）を保持しているか否かの情報を、被加工物１００を保持していない各構成ユニットについては保持していないと、被加工物１００を保持している各構成ユニットについて保持中と、それぞれ示している。また、処理状態データ２０３は、図７に示す例では、各構成ユニットが処理可能であるか否かの情報を、処理可能である各構成ユニットについてはＹＥＳと、処理可能でない各構成ユニットについてはＮＯと、それぞれ示している。処理状態データ２０３は、図７に示す例では、カセット８１，８２が処理可能であり、第１の搬送アーム５１及び仮置きテーブル３０が被加工物１００を保持していないため処理可能であり、第２の搬送アーム５２、保持テーブル１０及び洗浄テーブル７１が被加工物１００を保持中であるため処理可能でないことを示している。
【0069】
次に、本明細書は、実施形態２に係る加工装置１の動作の一例を図面に基づいて説明する。処理部９２の加工処理部９７は、実施形態２では、処理把握部９９が把握している図７に示す処理状態データ２０３に基づいて、被加工物１００を処理していない構成ユニットを処理可能な構成ユニットとして抽出する。処理部９２の加工処理部９７は、図７に示す処理状態データ２０３の例では、カセット８２に加えて、被加工物１００を処理していない構成ユニットである第１の搬送アーム５１と、仮置きテーブル３０とを、処理可能な構成ユニットとして抽出する。処理部９２の加工処理部９７は、図７に示す処理状態データ２０３の例では、この抽出結果に基づいて、第１の搬送アーム５１による搬送の行き先であるカセット８２の構成ユニットイラスト３０１と、仮置きテーブル３０の構成ユニットイラスト３０１とを装置内イラスト３００において識別可能に強調表示する。
【0070】
処理部９２の加工処理部９７は、図７に示す処理状態データ２０３の例では、洗浄テーブル７１が保持している被加工物１００については、第１の搬送アーム５１が被加工物１００を洗浄ユニット７０からカセット８２へ搬送（搬入）する動作だけでなく、第１の搬送アーム５１が被加工物１００を洗浄ユニット７０から仮置きテーブル３０へ搬送（退避）する動作の入力も、受け付けることができる。
【0071】
制御ユニット９０は、このように、さらに、加工処理部９７及び処理把握部９９により、被加工物１００を処理していない構成ユニットを処理可能な構成ユニットとして識別可能に表示する機能を実現する。
【0072】
以上のような構成を有する実施形態２に係る加工装置１は、装置内イラスト３００において、被加工物イラスト３０２の選択後に、識別可能に表示する処理可能な構成ユニットを抽出する方法以外は、実施形態１に係る加工装置１と同様であるので、実施形態１に係る加工装置１と同様の作用効果を奏するものとなる。
【0073】
また、実施形態２に係る加工装置１は、被加工物１００を処理していない構成ユニットの構成ユニットイラスト３０１を、処理可能な構成ユニットとして識別可能に表示するので、オペレータが実際の装置内部を確認し、搬送可能な構成ユニットを判断した後に操作をするという工数を削減できるとともに、誤って実行してしまう恐れを低減することができるという作用効果を奏する。また、実施形態２に係る加工装置１は、被加工物１００を処理済みの構成ユニットが処理可能である場合に当該構成ユニットの構成ユニットイラスト３０１を選択することで一度処理済みの動作を再度実施させることができるという作用効果を奏する。また、実施形態２に係る加工装置１は、構成ユニットが処理可能である場合に当該構成ユニットの構成ユニットイラスト３０１を選択することでフルオート加工する際の一連の各構成ユニットの動作以外の動作を実施させることができるという作用効果を奏する。
【0074】
〔実施形態３〕
本発明の実施形態３に係る加工装置１を図面に基づいて説明する。図８は、実施形態３に係る加工装置１の構成ユニット動作記憶部９６が記憶する構成ユニット動作データ２０４の一例を示す図である。図９は、実施形態３に係る加工装置１の処理部９２の処理の一例を示す図である。図８及び図９は、実施形態１と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。
本発明の実施形態３に係る加工装置１を図面に基づいて説明する。図８は、実施形態３に係る加工装置１の構成ユニット動作記憶部９６が記憶する構成ユニット動作データ２０４の一例を示す図である。図９は、実施形態３に係る加工装置１の処理部９２の処理の一例を示す図である。図８及び図９は、実施形態１と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。
【0075】
実施形態３に係る加工装置１は、実施形態１に係る加工装置１において、装置内イラスト３００において、被加工物イラスト３０２の選択を受け付けて各構成ユニットを動作させることに代えて、構成ユニットイラスト３０１の選択を受け付けて各構成ユニットを動作させるように変更したものである。実施形態３に係る加工装置１は、実施形態１と同様にフルオート加工を実施するものでもよいし、実施形態１とは異なりフルオート加工を実施せずにオペレータの操作に従って１つ１つの動作を実施する搬送アームを有さないマニュアル機であってもよい。
【0076】
構成ユニット動作記憶部９６は、図８に示すように、各構成ユニットが実行可能な複数の動作を構成ユニット動作データ２０４として記憶している。構成ユニット動作データ２０４は、図６に示す例では、実際にターンテーブル２０が実行する動作が保持テーブル１０の動作に含められて示している。また、構成ユニット動作データ２０４は、図６に示す例では、仮置きテーブル３０及び加工ユニット４０の動作が省略されているが、実際には仮置きテーブル３０及び加工ユニット４０の動作も記憶されている。構成ユニット動作データ２０４は、予め加工装置１のオペレータや管理者等により、構成ユニット動作記憶部９６に記憶される。
【0077】
次に、本明細書は、実施形態３に係る加工装置１の動作の一例を図面に基づいて説明する。図９の左は、図６の左と同様の状態での装置内イラスト３００を示している。処理部９２は、実施形態３では、まず、入力部６２により、装置内イラスト３００に表示している各構成ユニットの構成ユニットイラスト３０１の選択の入力受付を開始する。処理部９２は、図９の左に示すように、入力部６２により、オペレータによる第２の搬送アーム５２の構成ユニットイラスト３０１への選択の入力を受け付ける。
【0078】
処理部９２は、次に、構成ユニット動作データ２０４に基づき、この選択の入力に応じて選択された構成ユニットイラスト３０１に関する第２の搬送アーム５２の動作の選択肢３０３を、装置内イラスト３００上に表示する（ステップ１０３１）。処理部９２の加工処理部９７は、そして、入力部６２により、装置内イラスト３００に表示する動作の選択肢３０３の選択の入力受付を開始する。処理部９２が表示する動作の選択肢３０３は、各動作のリストであり、各動作をオペレータが選択可能となっている。
【0079】
なお、図６の左に示す例では、第２の搬送アーム５２の構成ユニットイラスト３０１は、搬入搬出位置に位置する保持テーブル１０の構成ユニットイラスト３０１上に表示されているので、構成ユニット動作データ２０４で記憶されている全ての第２の搬送アーム５２の動作のうち、搬入搬出位置に位置する保持テーブル１０上へ移動する動作は、意味をなさない。処理部９２の加工処理部９７は、このような意味をなさない動作を省略して、動作の選択肢３０３を表示する。
【0080】
また、処理部９２の加工処理部９７が表示する動作の選択肢３０３は、実施形態３ではリストであるが、本発明ではこれに限定されず、当該動作を表現する第２の搬送アーム５２のイラストまたは動画で表示し、オペレータがイラストまたは動画に触れて選択する事で構成ユニットの動作を受け付けても良い。例えば、処理部９２の加工処理部９７は、第２の搬送アーム５２が搬入搬出位置に位置する保持テーブル１０上にある場合、仮置きテーブル３０の構成ユニットイラスト３０１上に第２の搬送アーム５２の構成ユニットイラスト３０１を表示することにより、第２の搬送アーム５２が仮置きテーブル３０上へ移動する動作の選択肢３０３を表示し、洗浄テーブル７１の構成ユニットイラスト３０１上に第２の搬送アーム５２の構成ユニットイラスト３０１を表示することにより、第２の搬送アーム５２が洗浄ユニット７０の洗浄テーブル７１上へ移動する動作の選択肢３０３を表示してもよい。また、例えば、処理部９２の加工処理部９７は、第２の搬送アーム５２が搬入搬出位置に位置する保持テーブル１０上にある場合、搬入搬出位置に位置する保持テーブル１０の構成ユニットイラスト３０１上から仮置きテーブル３０の構成ユニットイラスト３０１上へ第２の搬送アーム５２の構成ユニットイラスト３０１を移動させる動画を表示することにより、第２の搬送アーム５２が仮置きテーブル３０上へ移動する動作の選択肢３０３を表示し、搬入搬出位置に位置する保持テーブル１０の構成ユニットイラスト３０１上から洗浄テーブル７１の構成ユニットイラスト３０１上に第２の搬送アーム５２の構成ユニットイラスト３０１を移動させる動画を表示することにより、第２の搬送アーム５２が洗浄ユニット７０の洗浄テーブル７１上へ移動する動作の選択肢３０３を表示してもよい。
【0081】
図９の中央に示すように、処理部９２の加工処理部９７は、ステップ１０３１で表示された動作の選択肢３０３への選択の入力を受け付ける（ステップ１０３２）。処理部９２の加工処理部９７は、図９の中央に示す例では、第２の搬送アーム５２が洗浄ユニット７０の洗浄テーブル７１上へ移動する動作を実施する旨の入力を受け付ける。
【0082】
図９の右に示すように、処理部９２の加工処理部９７は、ステップ１０３２で第２の搬送アーム５２が洗浄ユニット７０の洗浄テーブル７１上へ移動する動作を実施する旨の入力を受け付けると、第２の搬送アーム５２を駆動させて、第２の搬送アーム５２が被加工物１００（ワーク５）を吸着保持した状態で、洗浄ユニット７０の洗浄テーブル７１上へ移動する動作を実施する。また、処理部９２の加工処理部９７は、実際の第２の搬送アーム５２が洗浄ユニット７０の洗浄テーブル７１上へ移動する動作の実施に合わせて、装置内イラスト３００において、第２の搬送アーム５２の構成ユニットイラスト３０１を変化させるとともに、被加工物１００（ワーク５）の被加工物イラスト３０２を保持テーブル１０の構成ユニットイラスト３０１上から洗浄テーブル７１の構成ユニットイラスト３０１上に移動させる動画を表示する（ステップ１０３３）。なお、被加工物イラスト３０２の移動を表示する手段は動画でなく、移動前の構成ユニットイラスト３０１上の被加工物イラスト３０２を非表示にし、移動後の構成ユニットイラスト３０１上に被加工物イラスト３０２を表示する処理でもよい。
【0083】
制御ユニット９０は、このように、さらに、加工処理部９７及び処理把握部９９により、被加工物１００を保持していない構成ユニットを処理可能な構成ユニットとして識別可能に表示する機能を実現する。または制御ユニット９０は、加工処理部９７及び進捗記憶部９５及びフルオート動作記憶部９４により、フルオート加工の一連の動作の中でまだ終了していない処理を行う構成ユニットを、処理可能な構成ユニットとして識別可能に表示する機能を実現してもよい。
【0084】
以上のような構成を有する実施形態３に係る加工装置１は、被加工物イラスト３０２を選択して各構成ユニットを動作させることに代えて、構成ユニットイラスト３０１を選択して各構成ユニットを動作させるようにしたこと以外は、実施形態１に係る加工装置１と同様であるので、実施形態１に係る加工装置１と同様の作用効果を奏するものとなる。
【0085】
従来では、フルオート加工でなくオペレータがタッチパネルから各構成ユニットを操作し加工を行う場合にも、各構成ユニットの操作には複数の画面を変遷する必要があり、非効率的であった。しかしながら、実施形態３に係る加工装置１は、モニター６１に表示された装置内イラスト３００内の構成ユニットイラスト３０１を選択する操作をすることで、加工後の被加工物１００の加工処理等を容易に行える。
【0086】
また、実施形態３に係る加工装置１は、処理部９２の加工処理部９７が、構成ユニットの動作の選択肢３０３を、当該操作を表現するイラストまたは動画で表示することができるので、オペレータが各構成ユニットの動作を感覚的に選択できるという作用効果を奏する。
【0087】
〔変形例１〕
本発明の変形例１に係る加工装置１を図面に基づいて説明する。図１０は、変形例１に係る加工装置１の処理部９２の処理の一例を示す図である。図１０は、実施形態１～３と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。
本発明の変形例１に係る加工装置１を図面に基づいて説明する。図１０は、変形例１に係る加工装置１の処理部９２の処理の一例を示す図である。図１０は、実施形態１～３と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。
【0088】
変形例１に係る加工装置１は、実施形態１～３に係る加工装置１において、イラスト記憶部９３が記憶する各種イラストを、平面図のイラストから斜めから見て立体的（３次元的）に表示する２次元の斜視イラストに変更したものである。イラスト記憶部９３は、変形例１では、各構成ユニットイラスト４０１（図１０参照）、被加工物イラスト４０２（図１０参照）及びモニター６１に表示する装置内イラスト４００（図１０参照）における各構成ユニットイラスト４０１の配置位置及び配置順序のデータである配置データを記憶する。
【0089】
イラスト記憶部９３が記憶する各構成ユニットイラスト４０１及び被加工物イラスト４０２は、変形例１では、加工装置１の各構成ユニットの外形を斜めから見て立体的（３次元的）に表示する２次元の斜視イラストであり、全て、加工装置１の各構成ユニットを同一の方向から見た立体的な２次元の斜視画像である。イラスト記憶部９３が記憶する各構成ユニットイラスト４０１及び被加工物イラスト４０２は、変形例１では、オペレータが概ねタッチパネル６０のある位置から加工装置１の各構成ユニットを斜めに見たものとなっている。イラスト記憶部９３は、第１の搬送アーム５１及び第２の搬送アーム５２の構成ユニットイラスト４０１は、動作によって変化する互いに外形の異なる複数の斜視図のイラストを記憶する。イラスト記憶部９３は、第１の搬送アーム５１及び第２の搬送アーム５２以外の各構成ユニットの構成ユニットイラスト４０１として、各構成ユニットの斜視図のイラストを１つのみ記憶する。
【0090】
これらの各構成ユニットイラスト４０１、被加工物イラスト４０２及び各構成ユニットイラスト４０１の配置データは、予め加工装置１のオペレータや管理者等により、イラスト記憶部９３に記憶される。
【0091】
処理部９２の加工処理部９７は、変形例１では、実施形態１と同様のタイミングで、イラスト記憶部９３に記憶された各構成ユニットイラスト４０１、被加工物イラスト４０２及び各構成ユニットイラスト４０１の配置データに基づいて、図１０に示す装置内イラスト４００を生成し、モニター６１に表示させる。処理部９２の加工処理部９７は、変形例１では、入力部６２により、オペレータによる各構成ユニットイラスト４０１または被加工物１００の被加工物イラスト４０２への選択の入力を受け付ける。処理部９２の加工処理部９７は、この選択の入力を受け付けた以降の処理は、実施形態１～３と同様である。
【0092】
以上のような構成を有する変形例１に係る加工装置１は、斜めから見て立体的（３次元的）に表示する２次元の斜視イラストをタッチパネル６０で表示して操作の入力を受け付けるようにしたこと以外は、実施形態１に係る加工装置１と同様であるので、実施形態１に係る加工装置１と同様の作用効果を奏するものとなる。
【0093】
また、変形例１に係る加工装置１は、上下方向に重なっている位置関係にある各構成ユニット及び被加工物１００の各イラストを上下方向にずらして表示することができるので、加工装置１内の状況を正確に把握できるという作用効果を奏する。
【0094】
なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。即ち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。上記実施形態では、表示及び操作の入力を受け付けるタッチパネル６０が設けられた加工装置１は、被加工物１００を研削する研削装置であるが、本発明では研削装置に限定されず、被加工物１００を切削する切削装置、被加工物１００を研磨する研磨装置、被加工物１００をレーザー加工するレーザー加工装置、被加工物１００に貼着されたテープを拡張するテープ拡張装置でもよい。また、これらの加工装置は、さらに、紫外線照射ユニットを備えていてもよく、この場合、紫外線照射ユニットは、カセットの下方に、カセットと重ねられて配置され、カセットとともにカセットエレベータにより昇降自在に設けられる。
【符号の説明】
【0095】
１ 加工装置
１０ 保持テーブル
４０ 加工ユニット
５０ 搬送アーム
６０ タッチパネル
８０ カセットステージ
８１，８２ カセット
９０ 制御ユニット
９４ フルオート動作記憶部
９５ 進捗記憶部
９６ 構成ユニット動作記憶部
９８ 位置反映部
９９ 処理把握部
１００ 被加工物
３００，４００ 装置内イラスト
３０１，４０１ 構成ユニットイラスト
３０２，４０２ 被加工物イラスト
１０ 保持テーブル
４０ 加工ユニット
５０ 搬送アーム
６０ タッチパネル
８０ カセットステージ
８１，８２ カセット
９０ 制御ユニット
９４ フルオート動作記憶部
９５ 進捗記憶部
９６ 構成ユニット動作記憶部
９８ 位置反映部
９９ 処理把握部
１００ 被加工物
３００，４００ 装置内イラスト
３０１，４０１ 構成ユニットイラスト
３０２，４０２ 被加工物イラスト
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】