特許 7404582 真空蒸着装置用の蒸着源

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B1)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2023-12-15

(45)【発行日】2023-12-25

(54)【発明の名称】真空蒸着装置用の蒸着源

(51)【国際特許分類】

   C23C 14/24 20060101AFI20231218BHJP

【ＦＩ】

C23C14/24 A

C23C14/24 D

【請求項の数】 4

(21)【出願番号】P 2023096543

(22)【出願日】2023-06-12

【審査請求日】2023-06-13

(31)【優先権主張番号】P 2023024928

(32)【優先日】2023-02-21

(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP

【早期審査対象出願】

(73)【特許権者】

【識別番号】000231464

【氏名又は名称】株式会社アルバック

(74)【代理人】

【識別番号】110000305

【氏名又は名称】弁理士法人青莪

(72)【発明者】

【氏名】木本 孝仁

(72)【発明者】

【氏名】安田 仁

(72)【発明者】

【氏名】倉内 利春

(72)【発明者】

【氏名】佐々木 俊介

【審査官】宮崎 園子

(56)【参考文献】

【文献】実公昭４４－０２２３４２（ＪＰ，Ｙ１）

【文献】特開平０６－１５８２８７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開昭５４－５８８３（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｃ２３Ｃ １４／２４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

真空チャンバ内で蒸着材料を蒸発させて被蒸着物に対して蒸着するための真空蒸着装置用の蒸着源において、
蒸着材料の収容部を有するボート本体と当該ボート本体の両端に夫々張り出す電極取付板部とを有する蒸着ボートと、ボート本体の収容部に対してその上方からワイヤ状の蒸着材料を供給する材料供給手段とを備え、両電極取付板部の間に通電することでボート本体を加熱して収容部内の蒸着材料を蒸発させるものにおいて、
蒸着材料の供給によってもたらされる荷重が作用する、当該収容部を画成するボート本体の底板部分にその下方から当接する支持手段を設け、支持手段が、その上端をボート本体の底板部分に当接させた状態で設置される支持板を有することを特徴とする真空蒸着装置用の蒸着源。

【請求項2】

前記支持板は、ベース板に碍子を介して設けられる高融点金属製のものであることを特徴とする請求項１記載の真空蒸着装置用の蒸着源。

【請求項3】

前記支持板が一枚の板材をコ字状に屈曲させたものであり、当該支持板の２個をその両自由端側が前記収容部側を向く姿勢で且つ各支持板の一方の自由端が前記底板部分に夫々当接するように並設したことを特徴とする請求項２記載の真空蒸着装置用の蒸着源。

【請求項4】

前記支持手段は、前記ベース板の上方に配置される、前記蒸着ボートの底面と同等以上の面積を有するリフレクタ板を更に備えることを特徴とする請求項２または請求項３記載の真空蒸着装置用の蒸着源。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、真空チャンバ内で蒸着材料を蒸発させて被蒸着物に対して蒸着するための真空蒸着装置用の蒸着源に関する。

【背景技術】

【0002】

この種の真空蒸着装置用の蒸着源の中には、蒸着ボートを用いるものが例えば特許文献１で知られている。このものは、蒸着材料の収容部を有するボート本体と、当該ボート本体の一方向両端から上方に夫々起立する起立板部と、両起立板部の上端から外方に夫々張り出す電極取付板部とを備える。通常は、低コスト化等のため、ボート本体、起立板部及び電極取付板部といった各部が単一の金属製の板材から形成される。そして、蒸着ボートが、両電極取付板部を上下一対の電極プレートで夫々保持（挟持）させて真空チャンバ内に設置される。真空雰囲気の真空チャンバ内での被蒸着物への蒸着に際しては、電源によって電極プレートを介して両電極取付板部の間に通電することでボート本体をジュール熱で加熱し、例えば、ボート本体の収容部に対してその上方からワイヤ状の蒸着材料を連続または間欠的に供給して当該収容部内で溶解、蒸発させ、この蒸発した蒸着物質が飛散することで被蒸着物に蒸着される。このとき、溶解した蒸着材料は収容部で流動し、この流動したものが電極取付板部へと這い上がることが起立板部で防止される。

【0003】

ここで、加熱されたボート本体の収容部に対してワイヤ状の蒸着材料を供給すると、蒸着レートに応じたボート本体の加熱温度、蒸着材料の供給速度や蒸着材料の種類によっては、収容部を画成するボート本体の底板部分が下方に向けて膨出するように変形し、このときの変形量が蒸着時間の増加に従い大きくなって、やがて底板部分に孔が開くことが判明した。しかも、蒸着時間の増加に従い、ボート本体から電極取付板部に亘って蒸着ボート全体の変形が進行し、場合によっては、起立板部で破断することがあり、これでは、蒸着ボートが早期に寿命を迎えるという問題がある。このような場合、ボート本体、起立板部及び電極取付板部といった各部分を構成する板材の板厚を厚くすればよいが、これでは、電気抵抗値が低くなり、比較的速い蒸着レートを得ようとすると、ボート本体に大電流を通電することが必要になってしまう。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【文献】特開２００７－４６１０６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

本発明は、以上の点に鑑み、比較的速い蒸着レートで蒸着するときでも蒸着ボートの変形を可及的に抑制して高寿命化を図ることができる真空処理装置用の蒸着源を提供することをその課題とするものである。

【課題を解決するための手段】

【0006】

上記課題を解決するために、真空チャンバ内で蒸着材料を蒸発させて被蒸着物に対して蒸着するための本発明の真空蒸着装置用の蒸着源は、蒸着材料の収容部を有するボート本体と当該ボート本体の両端に夫々張り出す電極取付板部とを有する蒸着ボートと、ボート本体の収容部に対してその上方からワイヤ状の蒸着材料を供給する材料供給手段とを備え、両電極取付板部の間に通電することでボート本体を加熱して収容部内の蒸着材料を蒸発させ、蒸着材料の供給によってもたらされる荷重が作用する、当該収容部を画成するボート本体の底板部分にその下方から当接する支持手段を設け、支持手段が、その上端をボート本体の底板部分に当接させた状態で設置される支持板を有することを特徴とする。

【0007】

ここで、本願発明者らの鋭意研究の結果、蒸着中、加熱されたボート本体にワイヤ状の蒸着材料を供給したときに収容部を画成するボート本体の底板部分に生ずる変形は、高温度下におけるクリープによるもの（クリープ変形）であるとの知見を得た。そこで、本発明においては、蒸着材料の供給によってもたらされる荷重が作用するボート本体の底板部分にその下側から当接する支持手段を設けたことで、クリープ変形が可及的に抑制され、その結果、比較的速い蒸着レートで蒸着するときでも蒸着ボート全体の変形を可及的に抑制して高寿命化を図ることができる。

【0008】

ところで、底板部分をその下側から当接して支持する場合、当該支持用の部品には、蒸着材料の融点以上の温度における耐熱性と機械的強度を有することを前提として、ボート本体の電気抵抗値の低下や、ボート本体の温度応答性を低下させる熱容量の増加を招来しないことが求められる。本発明においては、前記支持手段がベース板とこのベース板に碍子を介して立設される高融点金属製の支持板とを備える構成を採用することができる。この場合、前記支持板が一枚の板材をコ字状に屈曲させたものであり、当該支持板の２個をその両自由端側が前記収容部側を向く姿勢で且つ各支持板の一方の自由端が前記底板部分に夫々当接するように並設するようにしてもよい。

【0009】

以上によれば、底板部分に対する接触面積を可及的に小さくでき、しかも、ワイヤ状の蒸着材料を供給するときの振動等により底板部分に対して荷重が作用する領域が多少変動したとしても、支持板の自由端を位置させるようにでき、常時、荷重が作用する底板部分を支持できる。その上、２個の屈曲した支持板を並設しておけば、各支持板の他方の自由端で当該底板部分以外の部分も支持できるため、ボート本体全体の変形を低減でき、蒸着中にはボート本体を常時略水平に保持することができる。なお、２個の屈曲した支持板を並設する場合、各支持板の幅方向が、ボート本体の長手方向に合致する姿勢またはボート本体の長手方向に直交する方向に合致する姿勢とすることができ、ワイヤ状の蒸着材料を供給したときの荷重が作用する領域の変動方向に応じて適宜選択することができる。

【0010】

また、本発明においては、前記支持手段が、ベース板の上方に配置される、前記凹部の底板と同等以上の面積を有するリフレクタ板を更に備える構成を採用することができる。これにより、蒸着中に何らかの原因によってボート本体の収容部内で突沸が発生したとき、この突沸により生ずる液体状又は固体状の蒸着材料が碍子に付着して絶縁破壊を招くといったことが確実に防止できる。更には、ボート本体からの輻射熱を反射することで、仮にボート本体の下方空間に何らかの部品が配置されているような場合には、当該部品を熱から保護することもでき、有利である。この場合、リフレクタ板もまた高融点金属で構成され、ボート本体に対向するリフレクタ板の面を鏡面加工するようにしてもよい。

【図面の簡単な説明】

【0011】

【図1】本実施形態の蒸着源を備えるインライン式の真空蒸着装置の構成を説明する断面図。

【図2】（ａ）は、図１に示す蒸着源の拡大平面図、（ｂ）は、蒸着源の拡大断面図。

【図3】起立板部への補強板の取付を説明する部分拡大図。

【図4】ボート本体に生ずるクリープ変形を説明する図。

【図5】（ａ）及び（ｂ）は、変形例に係る蒸着源の拡大部分平面図及び拡大部分断面図。

【図6】他の変形例に係る蒸着源の拡大部分断面図。

【発明を実施するための形態】

【0012】

以下、図面を参照して、被蒸着物を矩形のガラス基板（以下、「基板Ｓｇ」という）とし、また、蒸着材料Ｅｍをワイヤ状に成形された銅製のものとし、蒸着材料Ｅｍを供給しながら蒸発させて真空チャンバ内で基板Ｓｇの成膜面に銅膜を蒸着する場合を例に本発明の真空蒸着装置用の蒸着源ＢＳの実施形態を説明する。以下において、上、下といった方向を示す用語は、蒸着源ＢＳの設置姿勢である図１を基準とする。

【0013】

図１を参照して、インライン式の真空蒸着装置Ｅｓは真空チャンバ１を備え、真空チャンバ１には、図示省略の排気管を介して真空ポンプが接続され、その内部を所定圧力（真空度）に真空排気して真空雰囲気を形成できる。真空チャンバ１の上方空間には基板搬送装置２が設けられている。基板搬送装置２は、成膜面としての下面を開放した状態で基板Ｓｇを保持するキャリア２１を有し、図外の駆動装置によってキャリア２１、ひいては基板Ｓｇを真空チャンバ１内の一方向に所定速度で搬送できる。基板搬送装置２としては公知のものが利用できるため、これ以上の説明は省略する。そして、一方向に搬送される基板Ｓｇに対向させて真空チャンバ１の下方空間には本実施形態の蒸着源ＢＳが設けられている。

【0014】

図２も参照して、蒸着源ＢＳは蒸着ボート３を備える。蒸着ボート３は、平坦な底面を持つ蒸着材料Ｅｍの収容部としての凹部３１ａを有するボート本体３１と、ボート本体３１の長手方向（図１中、左右方向）両端から上方に略直角に夫々起立する起立板部３２と、両起立板部３２の上端から外方に水平に夫々張り出す電極取付板部３３とを備える。本実施形態では、蒸着ボート３が、蒸着材料Ｅｍより高い融点の金属製板材、具体的には、高融点金属製で０．３ｍｍ～３ｍｍの範囲の一定の板厚を持つ板材をプレス加工により一体に形成したものである。本発明にいう「高融点金属」としては、例えば、モリブデン、タングステンやタンタルが挙げられ、その中には、モリブデン、タングステン及びタンタルのいずれか１種を主成分とするもの（例えば、モリブデンに所定の重量比で酸化イットリウムを添加したもの）を含む。

【0015】

真空チャンバ下壁１ａの内面には、長手方向に間隔を存して絶縁材料で構成される２個の支持台４，４が設置されている。支持台４，４の上面には、導電性の良い銅などの金属で構成される上下一対の電極プレート５ａ，５ｂが、蒸着ボート３の各電極取付板部３３を上下方向から挟持させた状態でボルト等の締結手段４１によって着脱自在に夫々取り付けられる。この場合、電極取付板部３３を挟持する電極プレート５ａ，５ｂの部分は、両電極プレート５ａ，５ｂをその全面に亘って密着できるように電極プレート５ａ，５ｂより広い幅を有し、電極取付板部３３を挟持した状態で電極取付板部３３の両側で締結手段４１による締結が可能となっている。そして、電極取付板部３３を挟持した電極プレート５ａ，５ｂの取付状態では、凹部３１ａを画成するボート本体３１の底板が水平となる姿勢で蒸着ボート３が真空チャンバ下壁１ａの内面から所定の高さ位置に設置される。

【0016】

真空チャンバ１内には、ワイヤ状の蒸着材料Ｅｍをボート本体３１の凹部３１ａに対して連続または間欠的に供給するための材料供給手段６が設けられている。材料供給手段６は、真空チャンバ１内に配置される防着板１１の蒸着源ＢＳと背向する側に設置される繰出ローラ６１と、繰出ローラ６１を回転駆動するモータ６２と、上下一対のガイドローラ６３，６３とを備える。防着板１１には、蒸着ボート３の上方に位置させて蒸着材料Ｅｍが挿通する透孔１１ａが形成され、透孔１１ａの周囲を囲うようにして防着板１１の蒸着源ＢＳ側の面には、へ字状に湾曲させた所定長さのガイド管６４が取り付けられている。蒸着材料Ｅｍとしては、φ１ｍｍ～５ｍｍの外径に成形したものが利用され、繰出ローラ６１に予め巻回される。そして、繰出ローラ６１に巻回されたワイヤ状の蒸着材料Ｅｍの先端を引き出して上下一対のガイドローラ６３，６３の間を通し、透孔１１ａからガイド管６４内を挿通させる。ガイド管６４から突出する蒸着材料Ｅｍの先端を凹部３１ａの長手方向中央領域でその内底面に接するようにしてワイヤ状の蒸着材料Ｅｍが準備される。

【0017】

真空雰囲気の真空チャンバ１内で基板Ｓｇの下面に銅膜を蒸着する場合、図外の電源によって電極プレート５ａ，５ｂを介して両電極取付板部３３，３３の間に通電することでボート本体３１をジュール熱で加熱し、所定時間が経過すると、モータ６２により繰出ローラ６１を回転駆動してワイヤ状の蒸着材料Ｅｍを繰り出す。これにより、凹部３１ａ内に存する蒸着材料Ｅｍが溶解、蒸発し、この蒸発した蒸着物質が飛散することで、一方向に移動する基板Ｓｇの下面に銅膜が蒸着される。このとき、溶解した蒸着材料Ｅｍは凹部３１ａで流動し、この流動したものが電極取付板部３３へと這い上がることが起立板部３２で防止される。両電極取付板部３３，３３の間に通電する電流値とワイヤ状の蒸着材料Ｅｍの供給速度は、基板Ｓｇに蒸着しようとする蒸着レートに応じて適宜設定される。

【0018】

ここで、加熱されたボート本体３１の凹部３１ａに対してワイヤ状の蒸着材料Ｅｍを供給すると、起立板部３２が高温に過熱される場合がある。これは、ボート本体３１の電気抵抗値が減少し（言い換えると、通電電流が溶解した蒸着材料Ｅｍへと分流し）、起立板部３２の電気抵抗値が相対的に高くなることに起因すると考えられる。このように起立板部３２が過熱された状態が続くと、蒸着ボート３の各部に熱変形を招き、場合によっては、板厚が減少（薄肉化）して孔が開くという不具合が発生し、蒸着ボート３が早期に寿命を迎えてしまう。

【0019】

本実施形態では、起立板部３２と電極取付板部３３との輪郭とが一致するように、一定の板厚を持つ一枚の板材をＬ字状に成形した２枚の補強板７ａ，７ｂを準備し、電極プレート５ａ，５ｂに取り付けるときに、一対の補強板７ａ，７ｂによって電極取付板部３３及び起立板部３２がその板厚方向（上方方向）両側から挟持されるようにした。補強板７ａ，７ｂとしては、高融点金属製のものが利用できる。また、図３に示すように、起立板部３２と電極取付板部３３とに対し、その上方から取り付けられる一方の補強板７ａの下方に屈曲させた部分７１は、起立板部３２を通る延長線３２ａに対して起立板部３２側に向けて所定角度（例えば、２度～１０度）の範囲で傾けている。また、他方の補強板７ｂの下方に屈曲させた部分７２は、延長線３２ａに対して起立板部３２側に向けて所定角度（例えば、２度～１０度）の範囲で傾けている。これにより、起立板部３２及び電極取付板部３３に対して補強板７ａ，７ｂを一体化させて挟持するためのボルト等の固定手段を特段用いることなく、一対の補強板７ａ，７ｂによって板厚方向両側から起立板部３２を確実に挟持することができる。

【0020】

以上によれば、加熱状態のボート本体３１の凹部３１ａにワイヤ状の蒸着材料Ｅｍを供給して溶解させたときに、ボート本体３１の電気抵抗値が減少したとしても、一対の補強板７ａ，７ｂが通電電流の分流路としての役割を果たし、起立板部３２の電気抵抗値が相対的に高くなることが抑制されて当該起立板部３２の過熱を可及的に防止することができる。しかも、一対の補強板７ａ，７ｂによって電極取付板部３３や起立板部３２が補強されることで、蒸着ボート３の変形をより一層抑制することができる。その結果、蒸着ボート３の局所的な過熱や変形を抑制して高寿命化を図ることができる。この場合、起立板部３２での電気抵抗値が蒸着中におけるボート本体３１の電気抵抗値と同等になるよう各補強板７ａ，７ｂの断面積を設定することが好ましい。これにより、蒸着中、ボート本体３１と起立板部３２とを同等の温度にできることで、仮に蒸着中に凹部３１ａ内で溶解した蒸着材料Ｅｍが起立板部３２へと這い上がってきたとしても、這い上がってきた蒸着材料Ｅｍもまた速やかに蒸発することで、起立板部３２での蒸着材料Ｅｍの堆積を防止することができ、その上、蒸着レートの変更も抑制することができる。なお、起立板部３２が過熱されると、溶解した蒸着材料Ｅｍが起立板部３２へと這い上がって接触したときに突沸が発生するが、起立板部３２の過熱が防止されるため、突沸の発生も抑制することができる。

【0021】

ところで、上記のように、加熱されたボート本体３１の凹部３１ａにワイヤ状の蒸着材料Ｅｍを供給すると、蒸着レートに応じたボート本体３１の加熱温度、蒸着材料Ｅｍの供給速度によっては、図４に示すように、蒸着材料Ｅｍの供給によってもたらされる荷重が作用する、凹部３１ａを画成するボート本体３１の底板部分３１ｂが下方に向けて膨出するように変形する。このように底板部分３１ｂに生ずる変形は、高温度下におけるクリープによるもの（クリープ変形）であり、このときの変形量が蒸着時間の増加に従い大きくなると、やがてボート本体３１の底板部分３１ｂに孔が開く。また、蒸着時間の増加に従い、電極取付板部３３からボート本体３１に亘って蒸着ボート３全体の変形が進行し、場合によっては、起立板部３２が破断することがあり、この場合もまた蒸着ボート３が早期に寿命を迎えてしまう。

【0022】

本実施形態では、底板部分３１ｂにその下側から当接する支持手段８を設けた。支持手段８は、両支持台４，４の内側に位置させて、真空チャンバ下壁１ａの内面に第１の碍子８１ａを介して水平に設置される第１のベース板８２を備える。第１のベース板８２には上方にのびる２本の支柱８３，８３が立設されている。そして、各支柱８３で支持させて真空チャンバ下壁１ａの内面から所定の高さ位置には、第２のベース板８４が設けられている。第２のベース板８４には、第２の碍子８１ｂを介してその上端が、ボート本体３１の下面に当接する支持板８５が設けられている。支持板８５は、ボート本体３１とより長い幅（図２（ａ）における上下方向）を有し且つ０．１ｍｍ～２ｍｍの範囲の一定の板厚を有する一枚の高融点金属製の板材をコ字状に屈曲させたものである。本実施形態では、この屈曲した支持板８５の２個をその両自由端側が凹部３１ａ側を向く姿勢で且つ各支持板８５，８５の互いに隣接する一方の自由端８５ａ，８５ｂが底板部分３１ｂに夫々当接すると共に各支持板８５，８５の幅方向が、ボート本体３１の長手方向に直交する方向に夫々合致する姿勢で並設している。この場合、自由端８５ａ，８５ｂ相互の間の長手方向の隙間は、例えば底板部分３１ｂが変形範囲に応じて適宜設定される。

【0023】

また、各支柱８３で支持させて第２のベース板８４から所定の高さ位置には、蒸着ボート３の底面と同等以上の面積を有するリフレクタ板８６が設けられている。リフレクタ板８６は０．１ｍｍ～２ｍｍの範囲の板厚を有する高融点金属製の板材で構成される。この場合、ボート本体３１に対向するリフレクタ板８６の面を鏡面加工するようにしてもよい。また、リフレクタ板８６には、支持板８５，８５の挿通を可能とする長孔８６ａが形成されている。本実施形態では、支柱８３，８３の外周面にはねじ山８３ａが設けられ、ねじ山８３ａには複数個のナット部材８３ｂが螺合している。この場合、第２のベース板８４及びリフレクタ板８６には板厚方向に貫通する貫通孔（図示せず）が形成され、支柱８３，８３を挿通させて上下方向で対をなすナット部材８３ｂで位置決め保持されるようにし、第２のベース板８４やリフレクタ板８６のボート本体３１に対する高さ位置を適宜調整できるようにしている。

【0024】

以上によれば、蒸着材料Ｅｍの供給によってもたらされる荷重が作用するボート本体３１の底板部分３１ｂにその下側から当接する支持手段８を設けたことで、クリープ変形が可及的に抑制される。このとき、支持手段８を上記のように構成することで、底板部分３１ｂに対する接触面積を可及的に小さくでき、しかも、ワイヤ状の蒸着材料Ｅｍを供給するときの振動等により底板部分３１ｂに対して荷重が作用する領域が多少変動したとしても、支持板８５の自由端８５ａ，８５ｂを位置させるようにでき、常時、荷重が作用する底板部分３１ｂを支持できる。その上、２個の屈曲した支持板８５，８５を並設したため、各支持板８５，８５の他方の自由端が、ボート本体３１の長手方向両端側（底板部分３１ｂ以外の部分）を支持するため、ボート本体３１全体の変形を低減でき、蒸着中にはボート本体３１を常時略水平に保持することができる。

【0025】

また、リフレクタ板８６を更に備えるため、蒸着中に何らかの原因によってボート本体３１の凹部３１ａ内で突沸が発生したとき、この突沸により生ずる液体状又は固体状の蒸着材料Ｅｍが碍子８１ｂに付着して絶縁破壊を招くといったことが確実に防止できる。更には、ボート本体３１からの輻射熱を反射することで、仮にボート本体３１の下方空間に、配管や配線といった何らかの部品が配置されているような場合には、当該部品を熱から保護することもでき、有利である。結果として、分流路として機能する補強板７ａ，７ｂを設けことと相俟って蒸着ボート３の高寿命化を図ることができる。

【0026】

以上の効果を確認するために、図１に示す真空蒸着装置Ｅｓを用い、真空雰囲気の真空チャンバ１内で次の連続蒸着実験を行った。実験条件としては、蒸着ボート３を板厚が０．３ｍｍでタングステン（Ｗ）製のものとし、また、ワイヤ状の蒸着材料Ｅｍをφ２ｍｍの銅製のものとして材料供給手段６によって１０ｍｍ／ｓｅｃの供給速度で供給し、蒸着ボート３に対する印加電力を８ｋＷに設定した。第１実験では、支持手段８を設けることなく、電極取付板部３３及び起立板部３２に、図１に示すようにその板厚方向両側から挟持する一対の補強板７ａ，７ｂを取り付けた。補強板７ａ，７ｂとしては、板厚が０．３ｍｍのＭｏ製のものとした。先ず、比較実験として、補強板７ａ，７ｂのない状態で連続蒸着をしたところ、開始から数分経過に起立板部３２に変形がみられ、更に時間が経過すると、起立板部３２の板厚が減少して孔が開くことが確認された。そして、開始から３０分を待たずに起立板部３２が破断し、蒸着の継続が不能になった。それに対して、第１実験では、９０分間連続蒸着することができ、９０分間連続蒸着した後でも、蒸着ボート３の変形（起立板部３２での変形）が可及的に抑制されることが目視で確認され、また、起立板部３２の破断も確認されなかった。但し、ボート本体３１の底板部分３１ｂにクリープによる変形がみられ、支持手段８を用いないと、ボート本体３１の底板部分３１ｂの変形を有効に抑制できないことが明らかになった。そこで、第２実験として、補強板７ａ，７ｂと支持手段８の両方を設けて上記と同様の実験条件で連続蒸着実験を行った。その結果、９０分間連続蒸着することができ、９０分間連続蒸着した後でも、蒸着ボート３の底板部分３１ｂの変形も可及的に抑制されていることが目視で確認された。

【0027】

以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明の技術思想の範囲を逸脱しない限り、種々の変形が可能である。上記実施形態では、一対の補強板７ａ，７ｂで分流路を構成したものを例に説明したが、蒸着中に起立板部３２の電気抵抗値が相対的に高くなることが抑制できるように分流できるものであれば、これに限定されるものではなく、例えば、電線やブスバーといった導電性部品でボート本体３１と電極取付板部３３とを並列接続して起立板部の分流路を形成するようにしてもよい。また、上記実施形態では、起立板部３２に対して補強板７ａ，７ｂの一部を傾けて、一対の補強板７ａ，７ｂによって起立板部３２を挟持するものを例に説明したが、これに限定されるものではなく、例えば、起立板部３２及び電極取付板部３３の板厚方向両側に一対の補強板７ａ，７ｂを設置した後、高融点金属製のボルト等によって補強板７ａ，７ｂを締結し、または、スポット溶接することで一体化させて起立板部３２が挟持されるようにしてもよい。

【0028】

また、上記実施形態では、支持手段８として、コ字状に屈曲させた２個の支持板８５，８５を並設したものを有する場合を例に説明したが、蒸着材料Ｅｍの供給によってもたらされる荷重が作用する底板部分３１ｂにその下方から当接して支持できるものであれば、これに限定されるものではない。例えば、底板部分３１ｂを跨ぐように断面円形や長円形状の梁部材を設けて底板部分３１ｂを支持してもよく、また、支持板８５に複数本の柱状体を立設して底板部分３１ｂを支持するようにしてもよい。なお、支持手段８を設ける場合、蒸着ボート３として起立板部３２のない形状のものにも本発明は適用することができる。更に、上記実施形態では、支持板８５の自由端８５ａ，８５ｂがボート本体３１の長手方向に直交する方向に合致する姿勢で並設するものを例に説明したが、これに限定されるものではなく、ワイヤ状の蒸着材料Ｅｍを供給したときの蒸着材料Ｅｍの振動方向によっては、各支持板８５，８５の幅方向が、ボート本体３１の長手方向に合致する姿勢で並設することもできる。

【0029】

更に、上記実施形態では、補強板７ａ，７ｂとして一枚の板材をＬ字状に成形してなるものを例に説明したが、これに限定されるものではない。変形例に係るものでは、図５（ａ）及び（ｂ）に示すように、上側の補強板７ａの上面７０ａには、電極プレート５ａの凹部３１ａ側の端面より内側に位置させて、上方に突出する板状の衝立部７０ｂが設けられている。この場合、衝立部７０ｂは、補強板７ａと同等以上の幅を有する。また、補強板７ａの取付状態にて、衝立部７０ｂの上端が電極プレート５ａの上面より、好ましくは、締結手段４１より上方に位置するように衝立部７０ｂの高さが設定されている。この場合、衝立部７０ｂは、補強板７ａに一体に形成することができ、また、補強板７ａに別体の衝立部７０ｂをスポット溶接等により取り付けることもできる。これにより、仮に何等かの原因で、溶解した蒸着材料Ｅｍが起立板部３２を経て電極取付板部３３の上面まで這い上がってきたとしても、これが衝立部７０ｂで阻止されるため、電極プレート５ａに直接到達することが確実に防止できる。なお、補強板７ａ，７ｂを用いず、電極取付板部３３が上下一対の電極プレート５ａ，５ｂで直接挟持されるような場合には、電極取付板部３３の上面に衝立部７０ｂを形成すればよい。

【0030】

また、図６に示すように、一枚の板材をＬ字状に成形した屈曲板７０ｃを準備し、一方の自由端が上方を向く姿勢で屈曲板７０ｃを電極取付板部３３に設置した後、電極取付板部３３と共に上下一対の電極プレート５ａ，５ｂで挟持するようにしてもよい。これにより、上方をのびる屈曲板７０ｃの部分が衝立部として役割を果たし、溶解した蒸着材料Ｅｍが起立板部３２を経て電極取付板部３３の上面まで這い上がってきたとしても、これを衝立部７０ｂで阻止することができる。なお、補強板７ａ，７ｂを用いる場合にも屈曲板７０ｃを取り付けて衝立部を構成するようにしてもよい。

【符号の説明】

【0031】

ＢＳ…真空蒸着装置用の蒸着源、Ｅｍ…蒸着材料、Ｅｓ…真空蒸着装置、Ｓｇ…基板（被蒸着物）、１…真空チャンバ、３…蒸着ボート、３１…ボート本体、３１ａ…凹部（蒸着材料の収容部）、３１ｂ…ボート本体の底面部分（蒸着材料の供給によってもたらされる荷重が作用する部分）、３２…起立板部、３３…電極取付板部、６…材料供給手段、７ａ，７ｂ…補強板（分流路を構成するもの）、８…支持手段、８１ａ，８１ｂ…碍子、８２…第１のベース板、８４…第２のベース板（ベース板）、８５…支持板、８６…リフレクタ板。

【要約】

【課題】比較的速い蒸着レートで蒸着するときでも蒸着ボートの変形を可及的に抑制して高寿命化を図ることができる真空処理装置用の蒸着源を提供する。
【解決手段】蒸着材料Ｅｍの収容部３１ａを有するボート本体３１と当該ボート本体の両端に夫々張り出す電極取付板部３３とを有する蒸着ボート３と、ボート本体の収容部に対してその上方からワイヤ状の蒸着材料Ｅｍを供給する材料供給手段６とを備える、両電極取付板部の間に通電することでボート本体を加熱して収容部内の蒸着材料を蒸発させる。蒸着材料の供給によってもたらされる荷重が作用する、当該収容部を画成するボート本体の底板部分にその下方から当接する支持手段８を設ける。
【選択図】図２

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】