技術分野
反射防止膜及びその製造方法、及び反射防止膜を備える光学部品
発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋
従って本発明の目的は、可視域から赤外域までの波長400~900 nmの広帯域で優れた分光反射特性を有し、かつ5層又は6層構成の層数の少ない広帯域反射防止膜を提供することである。
課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋
課題に鑑み鋭意研究の結果、本発明者は、8層構成の広帯域反射防止膜の第1層~第4層の4層膜を、光学基材の屈折率に応じて1層膜又は2層膜に置き換えることにより、波長400~900 nmの分光反射特性を損なうことなく、5層又は6層構成の層数の少ない広帯域反射防止膜が得られることを発見し、本発明に想到した。
発明の効果[発明の詳細な説明]から抜粋
本発明によれば、可視域から赤外域までの波長400~900 nmの広帯域で優れた分光反射特性を有し、かつ5層又は6層構成の層数の少ない広帯域反射防止膜が得られる。
この特許の権利範囲[特許請求の範囲]
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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋
【図1】
本発明の一実施例による反射防止膜を備えた光学部品を示す図である。
【図2】
本発明の他の実施例による反射防止膜を備えた光学部品を示す図である。
【図3】
実施例1の反射防止膜の分光反射率を示すグラフである。
【図4】
実施例2の反射防止膜の分光反射率を示すグラフである。
【図5】
実施例3の反射防止膜の分光反射率を示すグラフである。
【図6】
実施例4の反射防止膜の分光反射率を示すグラフである。
【図7】
実施例5の反射防止膜の分光反射率を示すグラフである。
【図8】
実施例6の反射防止膜の分光反射率を示すグラフである。
【図9】
実施例7の反射防止膜の分光反射率を示すグラフである。
【図10】
実施例8の反射防止膜の分光反射率を示すグラフである。
【図11】
実施例9の反射防止膜の分光反射率を示すグラフである。
【図12】
実施例10の反射防止膜の分光反射率を示すグラフである。
【図13】
比較例1の反射防止膜の分光反射率を示すグラフである。
10,30・・・基材
20,40・・・反射防止膜
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